JP2001002236A - Sorting system - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ケースに収納され
た被処理体をケースごと選別して、後続の処理ラインに
選択的に搬送する際に用いられる選別装置に関し、特
に、ガラス基板にＳｉＯ2 膜、ＩＴＯ膜（透明導電膜）
等を形成する複数の成膜ラインに対して、ガラス基板を
収容したケースを選択的に搬送する際の選別に用いられ
る選別装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sorting apparatus used for sorting an object to be processed housed in a case for each case and selectively transporting the same to a subsequent processing line. 2 film, ITO film (transparent conductive film)
The present invention relates to a sorting apparatus used for sorting when a case accommodating a glass substrate is selectively transported to a plurality of film forming lines for forming a film.
【０００２】[0002]
【従来の技術】電卓、時計、タイマー等の表示部、ある
いは、デジタルカメラ等の液晶表示部又はコンピュータ
に接続された入力用のタッチパネル等として用いられる
ＩＴＯガラス基板の製造に際しては、洗浄装置、選別装
置、搬送装置、成膜装置等により構成される製造ライン
が用いられている。2. Description of the Related Art When manufacturing an ITO glass substrate used as a display unit such as a calculator, a clock, a timer, or a liquid crystal display unit such as a digital camera or an input touch panel connected to a computer, a cleaning device and a sorting machine are used. A production line including an apparatus, a transport apparatus, a film forming apparatus, and the like is used.
【０００３】この製造ラインにおいては、先ず原料であ
るガラス基板を受け入れた後、梱包を解いて抜き取り検
査を行ない、それぞれのサイズに合ったカセットにガラ
ス基板を立てた状態で詰める。そして、このガラス基板
を詰めたカセットを洗浄装置に送り、ガラス基板の洗浄
を行なう。この洗浄工程では、カセットごと洗浄槽に漬
けて超音波によりガラス基板の表面に付着した汚れを落
とし、水道水、純水等でリンスし、ＩＰＡ（イソプロピ
ルアルコール）で置換し、最後にＩＰＡの蒸気で乾燥さ
せる。[0003] In this production line, first, a glass substrate as a raw material is received, the package is unpacked, a sampling inspection is performed, and the glass substrates are packed upright in a cassette suitable for each size. Then, the cassette filled with the glass substrates is sent to a cleaning device to clean the glass substrates. In this cleaning step, the cassette is immersed in a cleaning tank, ultrasonically used to remove dirt attached to the surface of the glass substrate, rinsed with tap water, pure water, etc., replaced with IPA (isopropyl alcohol), and finally vaporized with IPA vapor. And dry.
【０００４】この洗浄工程が終了すると、選別装置によ
り、ガラス基板のサイズに応じてカセットの搬送先を選
別し、複数の成膜ラインからなる成膜装置へ送り出す。
この選別工程では、高さセンサを用いて、カセットに詰
められたガラス基板が高さセンサを横切るか否かにより
選別している。すなわち、大きいガラス基板を収容する
カセットと、小さいガラス基板を収容するカセットとを
選別して、対応する成膜ラインに向けて搬送するもので
ある。[0004] When the cleaning step is completed, the separation destination selects the transport destination of the cassette according to the size of the glass substrate, and sends out the cassette to a film forming apparatus including a plurality of film forming lines.
In this sorting step, sorting is performed by using a height sensor depending on whether or not the glass substrate packed in the cassette crosses the height sensor. That is, a cassette that accommodates a large glass substrate and a cassette that accommodates a small glass substrate are selected and transported toward the corresponding film forming line.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
製造ラインにおける選別装置では、カセットに収容され
たガラス基板の高さ寸法により選別していたため、大き
いガラス基板を収容するカセットと小さいガラス基板を
収容するカセットとは、常に異なる成膜ラインに振り分
けられることになる。したがって、それぞれの成膜ライ
ンの稼働状況に応じて、一方の成膜ラインに向けて、大
きいガラス基板を収容するカセットと小さいガラス基板
を収容するカセットとの両方を搬送することができな
い。In the above-described sorting apparatus in the conventional production line, the sorting is performed according to the height of the glass substrate accommodated in the cassette. Therefore, the cassette accommodating the large glass substrate and the small glass substrate are separated. The cassette to be accommodated is always assigned to a different film forming line. Therefore, it is impossible to transport both the cassette accommodating the large glass substrate and the cassette accommodating the small glass substrate toward one of the film forming lines in accordance with the operation state of each film forming line.
【０００６】また、ガラス基板の寸法が近似している場
合は、高さセンサによる検出方法では誤検出を招く場合
がある。この誤検出により、本来の成膜ラインと違う成
膜ラインに向けて搬送されると、作業者がこの誤搬送さ
れたカセットを運んで所望の成膜ラインに持ち込まなけ
ればならず、手間が掛かるのは勿論のこと、作業者が運
ぶ際に、ガラス基板に埃等が付着する虞がある。If the dimensions of the glass substrates are similar, the detection method using a height sensor may cause erroneous detection. Due to this erroneous detection, if the wafer is conveyed to a film forming line different from the original film forming line, the operator has to carry the erroneously conveyed cassette and bring it to a desired film forming line, which is troublesome. Needless to say, there is a possibility that dust or the like may adhere to the glass substrate when the worker carries the same.
【０００７】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
成されたものであり、その目的とするところは、ガラス
基板等の被処理体を収容したケースを、次工程の複数の
処理ラインのいずれかに向けて選別して搬送する際に、
作業者の判断により予め所望の処理ラインを選択し、そ
の処理ラインに向けてケースすなわち被処理体を確実に
選別でき、誤検出等を防止できる選別装置を提供するこ
とにある。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a case in which an object to be processed such as a glass substrate is accommodated in a plurality of processing lines in the next step. When sorting and transporting to any of
It is an object of the present invention to provide a sorting apparatus which can select a desired processing line in advance by an operator's judgment, reliably sort a case, that is, an object to be processed toward the processing line, and prevent erroneous detection and the like.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の目的
を達成するべく鋭意検討を重ねた結果、以下の如き構成
をなす発明を見出すに至った。すなわち、本発明の選別
装置は、被処理体を収容したケースを次工程にある複数
の処理ラインのそれぞれに搬送する搬送手段と、ケース
を選別するための選別手段と、この選別手段の出力信号
に基づいて搬送手段の駆動を制御する制御手段とを備
え、ケースを所望の処理ラインに向けて搬送するように
選別を行なう選別装置であって、上記選別手段は、発光
素子及び受光素子をもつ反射型の光センサと、この発光
素子から出射された光を受光素子に向けて反射し得ると
共にケースに対して着脱自在に取付けられた光反射部材
と、を有することを特徴としている。この構成によれ
ば、作業者が光反射部材を取付けたケースは、所定の位
置に達した時に光センサの発光素子から出射された光を
反射して受光素子に送る。すると、この光センサから出
力信号が発せられ、制御手段がこの信号を受信する。そ
して、制御手段がこの受信信号に基づいた制御信号を搬
送手段に送って搬送手段の駆動を制御し、このケースを
所定の処理ラインに向けて搬送する。Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventor has come to find an invention having the following structure. That is, the sorting apparatus of the present invention includes a conveying unit that conveys the case accommodating the object to be processed to each of the plurality of processing lines in the next process, a sorting unit for sorting the cases, and an output signal of the sorting unit. Control means for controlling the driving of the transfer means based on the sorting device, wherein the sorting device performs sorting so as to transfer the case toward a desired processing line, wherein the sorting device has a light emitting element and a light receiving element It is characterized by having a reflection type optical sensor and a light reflection member capable of reflecting light emitted from the light emitting element toward the light receiving element and detachably attached to the case. According to this configuration, the case in which the worker attaches the light reflecting member reflects the light emitted from the light emitting element of the optical sensor when reaching the predetermined position, and sends the light to the light receiving element. Then, an output signal is emitted from this optical sensor, and the control means receives this signal. Then, the control means sends a control signal based on the received signal to the transport means to control the driving of the transport means, and transports the case toward a predetermined processing line.
【０００９】上記構成において、光反射部材は、略直交
する２つの平面により形成された光反射板と、この光反
射板の非反射面側において所定間隔をおいて配置された
非反射板と、光反射板と非反射板とを接続する接続部材
とからなる、構成を採用することができる。この構成に
よれば、被処理体を収容したケースが略直方体の輪郭を
なし、４隅部すなわちコーナ部に直交するフレームある
いは側壁を有するような場合に、このコーナ部のフレー
ムあるいは側壁を、光反射板と非反射板との間に挟み込
むようにして、光反射部材がケースに取付けられる。こ
れにより、光反射部材は取付け後の位置ずれが防止され
る。In the above structure, the light reflecting member includes a light reflecting plate formed by two substantially orthogonal planes, a non-reflecting plate disposed at a predetermined interval on the non-reflecting surface side of the light reflecting plate, A configuration including a connecting member for connecting the light reflecting plate and the non-reflecting plate can be employed. According to this configuration, in a case where the case accommodating the object to be processed has a substantially rectangular parallelepiped contour and has four corners, that is, a frame or a side wall orthogonal to the corner, the frame or the side wall of the corner is formed by the light The light reflecting member is attached to the case so as to be sandwiched between the reflecting plate and the non-reflecting plate. This prevents the light reflecting member from being displaced after being mounted.
【００１０】また、上記構成において、非反射板は光反
射板と相似形状をなし、接続部材は光反射板の２つの平
面が交差する稜線の略中間領域において稜線に直交する
方向に伸長するように形成された構成を採用することが
できる。この構成によれば、被処理体を収容したケース
が略直方体の輪郭をなし、４隅部すなわちコーナ部に直
交するフレームあるいは側壁を有するような場合に、こ
のコーナ部のフレームあるいは側壁を、光反射板と非反
射板との間に挟み込むようにして、光反射部材がケース
に取付けられる。これにより、光反射部材は取付け後の
位置ずれが防止される。また、光反射板は略直交する２
つの平面により形成され、かつ、接続部材が略中間部に
配置されていることから、光反射部材を上下逆さまにし
て取り付けることも可能である。In the above structure, the non-reflection plate has a shape similar to that of the light reflection plate, and the connecting member extends in a direction substantially perpendicular to the ridge in a substantially intermediate region of the ridge where two planes of the light reflection plate intersect. Can be adopted. According to this configuration, in a case where the case accommodating the object to be processed has a substantially rectangular parallelepiped shape and has four corners, that is, a frame or a side wall orthogonal to the corner, the frame or the side wall of the corner is illuminated. The light reflecting member is attached to the case so as to be sandwiched between the reflecting plate and the non-reflecting plate. This prevents the light reflecting member from being displaced after being mounted. The light reflecting plate is substantially orthogonal
Since the light reflecting member is formed up of two flat surfaces and the connecting member is disposed substantially in the middle, the light reflecting member can be mounted upside down.
【００１１】また、本発明の選別装置は、被処理体を収
容したケースを次工程にある複数の処理ラインのそれぞ
れに搬送する搬送手段と、ケースを選別するための選別
手段と、この選別手段の出力信号に基づいて搬送手段の
駆動を制御する制御手段とを備え、ケースを所望の処理
ラインに向けて搬送するように選別を行なう選別装置で
あって、上記選別手段は、発光素子及び受光素子をもつ
透過型の光センサと、この光センサの光を遮断し得ると
共にケースに対して着脱自在に取付けられた光遮断部材
と、を有することを特徴としている。この構成によれ
ば、作業者が光遮断部材を取付けたケースは、所定の位
置に達した時に光センサの光を遮る。すると、この光セ
ンサから出力信号が発せられ、制御手段がこの信号を受
信する。そして、制御手段がこの受信信号に基づいた制
御信号を搬送手段に送って搬送手段の駆動を制御し、こ
のケースを所定の処理ラインに向けて搬送する。[0011] Further, the sorting apparatus of the present invention includes a conveying means for conveying a case accommodating the object to be processed to each of a plurality of processing lines in the next process, a selecting means for selecting the cases, and a separating means for selecting the cases. And control means for controlling the driving of the transfer means based on the output signal of the separation means, wherein the selection means performs selection so as to transfer the case toward a desired processing line, wherein the selection means comprises a light emitting element and a light receiving element. It is characterized by having a transmission type optical sensor having an element, and a light blocking member which can block the light of the light sensor and is detachably attached to the case. According to this configuration, the case where the worker has attached the light blocking member blocks the light of the optical sensor when the case reaches the predetermined position. Then, an output signal is emitted from this optical sensor, and the control means receives this signal. Then, the control means sends a control signal based on the received signal to the transport means to control the driving of the transport means, and transports the case toward a predetermined processing line.
【００１２】上記構成において、光遮断部材は、略直交
する２つの平面により形成された光遮断板と、この光遮
断板の非遮断面側において所定間隔をおいて配置された
非遮断板と、光遮断板と非遮断板とを接続する接続部材
とからなる、構成を採用することができる。この構成に
よれば、被処理体を収容したケースが略直方体の輪郭を
なし、４隅部すなわちコーナ部に直交するフレームある
いは側壁を有するような場合に、このコーナ部のフレー
ムあるいは側壁を、光遮断板と非遮断板との間に挟み込
むようにして、光遮断部材がケースに取付けられる。こ
れにより、光遮断部材は取付け後の位置ずれが防止され
る。In the above configuration, the light blocking member includes a light blocking plate formed by two substantially orthogonal planes, a non-blocking plate disposed at a predetermined interval on the non-blocking surface side of the light blocking plate, A configuration including a light blocking plate and a connecting member for connecting the non-blocking plate can be adopted. According to this configuration, in a case where the case accommodating the object to be processed has a substantially rectangular parallelepiped shape and has four corners, that is, a frame or a side wall orthogonal to the corner, the frame or the side wall of the corner is illuminated. The light blocking member is attached to the case so as to be sandwiched between the blocking plate and the non-blocking plate. This prevents the light blocking member from being displaced after being attached.
【００１３】また、上記構成において、非遮断板は光遮
断板と相似形状をなし、接続部材は光遮断板の２つの平
面が交差する稜線の略中間領域において稜線に直交する
方向に伸長するように形成された構成を採用することが
できる。この構成によれば、被処理体を収容したケース
が略直方体の輪郭をなし、４隅部すなわちコーナ部に直
交するフレームあるいは側壁を有するような場合に、こ
のコーナ部のフレームあるいは側壁を、光遮断板と非遮
断板との間に挟み込むようにして、光遮断部材がケース
に取付けられる。これにより、光遮断部材は取付け後の
位置ずれが防止される。また、光遮断板は略直交する２
つの平面により形成され、かつ、接続部材が略中間部に
配置されていることから、光遮断部材を上下逆さまにし
て取り付けることも可能である。In the above structure, the non-blocking plate has a similar shape to the light blocking plate, and the connecting member extends in a direction substantially perpendicular to the ridge in a substantially intermediate region of the ridge where two planes of the light blocking plate intersect. Can be adopted. According to this configuration, in a case where the case accommodating the object to be processed has a substantially rectangular parallelepiped shape and has four corners, that is, a frame or a side wall orthogonal to the corner, the frame or the side wall of the corner is illuminated. The light blocking member is attached to the case so as to be sandwiched between the blocking plate and the non-blocking plate. This prevents the light blocking member from being displaced after being attached. Further, the light blocking plate is substantially orthogonal
Since the light blocking member is formed of three flat surfaces and the connection member is disposed substantially in the middle, the light blocking member can be mounted upside down.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付図面に基づき説明する。図１は本発明に係る選
別装置により選別される被処理体としてのガラス基板を
収容するカセットを示す斜視図であり、図２はガラス基
板を収容したカセットを入れる洗浄カゴを示す斜視図で
あり、図３は本発明に係る選別装置の構成図であり、図
４は光反射部材及び光遮断部材を示す斜視図であり、図
５は光反射部材及び光遮断部材を洗浄カゴに取り付けた
状態を示す斜視図であり、図６は選別装置の動作を説明
するための図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a cassette accommodating a glass substrate as an object to be processed, which is sorted by a sorting apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a cleaning basket for accommodating a cassette containing a glass substrate. , FIG. 3 is a configuration diagram of a sorting device according to the present invention, FIG. 4 is a perspective view showing a light reflecting member and a light blocking member, and FIG. FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the sorting device.
【００１５】この選別装置は、電卓、時計、タイマー、
デジタルカメラ等の液晶ディスプレイ、エレクトロルミ
ネッセンスディスプレイ、面発熱体、コンピュータに接
続された入力用のタッチパネル等として用いられるＩＴ
Ｏガラス基板を製造する製造ラインにおいて適用される
ものである。This sorting device includes a calculator, a clock, a timer,
IT used as a liquid crystal display such as a digital camera, an electroluminescence display, a surface heating element, a touch panel for input connected to a computer, etc.
This is applied in a production line for producing an O glass substrate.
【００１６】この選別装置を備えた製造ラインにおいて
は、先ず原料であるガラス基板を受け入れた後、梱包を
解いて抜き取り検査を行ない、それぞれのサイズに合っ
たカセットにガラス基板を立てた状態で詰める。そし
て、このガラス基板を詰めたカセットを洗浄カゴに入れ
て洗浄装置に送り、ガラス基板の洗浄を行なう。この洗
浄工程では、カセット及び洗浄カゴごと洗浄槽に漬け
て、超音波によりガラス基板の表面に付着した汚れを落
とし、水道水、純水等でリンスし、ＩＰＡ（イソプロピ
ルアルコール）で置換し、最後にＩＰＡの蒸気で乾燥さ
せる。In a manufacturing line equipped with this sorting device, first, after receiving a glass substrate as a raw material, the packing is unpacked, a sampling inspection is performed, and the glass substrates are packed in a cassette suitable for each size in an upright state. . Then, the cassette filled with the glass substrates is put into a cleaning basket and sent to a cleaning device to clean the glass substrates. In this cleaning step, the cassette and the cleaning basket are immersed in a cleaning tank, the dirt attached to the surface of the glass substrate is removed by ultrasonic waves, rinsed with tap water, pure water, etc., and replaced with IPA (isopropyl alcohol). And dried with IPA vapor.
【００１７】この洗浄工程が終了すると、選別装置３０
により、ガラス基板のサイズあるいは次工程の処理状況
に応じてカセットの搬送先を選別し、搬送手段４０を経
由して、複数の成膜ラインからなる成膜装置のそれぞれ
の成膜ラインに向けて選択的に送り出す。When the washing process is completed, the sorting device 30
Thereby, the transport destination of the cassette is selected according to the size of the glass substrate or the processing status of the next process, and the transport destination is directed to each deposition line of the deposition apparatus including a plurality of deposition lines via the transport unit 40. Send out selectively.
【００１８】ところで、洗浄工程の前に、被処理体とし
てのガラス基板を収容するケースとしてのカセット１０
０は、図１に示すように、全体が略直方体あるいは長方
体の輪郭をなし、相対向するように配置された樹脂材料
からなる２つの支持板１０１と、この両支持板１０１を
連結する４本のフレーム１０２とにより構成されてい
る。この支持板１０１には、ガラス基板Ｗを立てた状態
で所定間隔をあけて配列させるための複数の支持溝１０
１ａが形成されている。Before the cleaning step, a cassette 10 as a case for accommodating a glass substrate as an object to be processed.
Reference numeral 0 denotes two support plates 101 made of a resin material arranged so as to face each other, and the two support plates 101 are connected to each other, as shown in FIG. It is composed of four frames 102. The support plate 101 has a plurality of support grooves 10 for arranging the glass substrate W at predetermined intervals in an upright state.
1a is formed.
【００１９】また、洗浄工程の際に用いるケースとして
の洗浄カゴ１１０は、ガラス基板Ｗを収容したカセット
１００を入れるものであり、図２に示すように、上側に
おいてカセット１００の出し入れを行なうための開口部
を画定する上側フレーム１１１と、カセット１００を支
持する底部を画定する下側フレーム１１２と、これらの
上側フレーム１１１と下側フレーム１１２とを連結する
縦フレーム１１３とにより構成されている。尚、これら
上側フレーム１１１、下側フレーム１１２、及び縦フレ
ーム１１３は、円筒状のステンレス製パイプにより形成
されている。The cleaning basket 110 as a case used in the cleaning step is for accommodating the cassette 100 containing the glass substrate W. As shown in FIG. It comprises an upper frame 111 defining an opening, a lower frame 112 defining a bottom supporting the cassette 100, and a vertical frame 113 connecting the upper frame 111 and the lower frame 112. The upper frame 111, the lower frame 112, and the vertical frame 113 are formed of a cylindrical stainless steel pipe.
【００２０】上記選別装置３０は、図３に示すように、
被処理体であるガラス基板Ｗを収容したケースすなわち
洗浄カゴ１１０を次工程にある複数の処理ラインすなわ
ち成膜ラインのそれぞれに向けて搬送する搬送手段とし
てのベルトコンベア４０と、洗浄カゴ１１０を選別する
ための選別手段１３０と、この選別手段１３０の出力信
号に基づいてベルトコンベア４０の駆動を制御する制御
手段としてのマイクロコンピュータ等からなる制御部１
６０等を備えている。As shown in FIG. 3, the sorting device 30
A case that accommodates the glass substrate W as an object to be processed, ie, the cleaning basket 110, and a belt conveyor 40 as a transporting unit that transports the cleaning basket 110 to each of a plurality of processing lines, ie, film forming lines in the next process, and the cleaning basket 110 are selected. And a control unit 1 including a microcomputer or the like as control means for controlling the driving of the belt conveyor 40 based on an output signal of the selection means 130.
60 and the like.
【００２１】ここで、選別手段１３０は、上下方向にお
いて、下側に配置された第１選別手段１３０ａと、上側
に配置された第２選別手段１３０ｂとからなる。そし
て、第１選別手段１３０ａは、発光素子１４１ａ及び受
光素子１４２ａをもつ反射型の第１光センサ１４０ａ
と、この発光素子１４１ａから出射された光を受光素子
１４２ａに向けて反射し得ると共に洗浄カゴ１１０に対
して着脱自在に取付けられた背丈の低い光反射部材１５
０ａとにより構成されている。また、第２選別手段１３
０ｂは、発光素子１４１ｂ及び受光素子１４２ｂをもつ
反射型の第２光センサ１４０ｂと、この発光素子１４１
ｂから出射された光を受光素子１４２ｂに向けて反射し
得ると共に洗浄カゴ１１０に対して着脱自在に取付けら
れた背丈の高い光反射部材１５０ｂとにより構成されて
いる。Here, the sorting means 130 is composed of a first sorting means 130a arranged on the lower side and a second sorting means 130b arranged on the upper side in the vertical direction. Then, the first sorting means 130a includes a reflective first optical sensor 140a having a light emitting element 141a and a light receiving element 142a.
The light reflecting member 15 that can reflect the light emitted from the light emitting element 141a toward the light receiving element 142a and is detachably attached to the cleaning basket 110.
0a. Also, the second sorting means 13
0b denotes a reflective second optical sensor 140b having a light emitting element 141b and a light receiving element 142b;
and a tall light reflecting member 150b which can reflect the light emitted from the light receiving element b toward the light receiving element 142b and is detachably attached to the cleaning basket 110.
【００２２】この光反射部材１５０（１５０ａ，１５０
ｂ）は、光を効率良く反射する材料により形成されてお
り、図４に示すように、略直交する２つの平面１５１
ａ，１５１ｂにより形成された光反射板１５１と、この
光反射板１５１の非反射面１５１ｃ側において所定間隔
をおいて配置された非反射板１５２と、光反射板１５１
と非反射板１５２とを接続する接続部材１５３とにより
構成されている。ここで、非反射板１５２は、光反射板
１５１と相似形状をなすように形成されており、接続部
材１５３は、光反射板１５１の２つの平面１５１ａ，１
５１ｂが交差する稜線Ｌの略中間領域において稜線Ｌに
直交する方向に伸長するように形成されている。また、
背丈の低い光反射部材１５０ａと背丈の高い光反射部材
１５０ｂとは、上記光反射板１５１の稜線Ｌ方向におけ
る長さを異ならせて形成されている。The light reflecting member 150 (150a, 150
b) is formed of a material that efficiently reflects light, and as shown in FIG.
a and 151b, a non-reflection plate 152 arranged at a predetermined interval on the non-reflection surface 151c side of the light reflection plate 151, and a light reflection plate 151.
And a connection member 153 that connects the non-reflection plate 152 to the non-reflection plate 152. Here, the non-reflection plate 152 is formed so as to have a similar shape to the light reflection plate 151, and the connection member 153 is formed by two planes 151 a, 1 of the light reflection plate 151.
51b is formed so as to extend in a direction orthogonal to the ridge line L in a substantially intermediate region of the ridge line L intersecting. Also,
The low-height light reflecting member 150a and the high-height light reflecting member 150b are formed to have different lengths in the ridge L direction of the light reflecting plate 151.
【００２３】上記のような構成をなす光反射部材１５０
は、図５に示すように、洗浄カゴ１１０の上側の４隅部
（コーナ部）のうち一つのコーナ部に装着される。すな
わち、コーナ部の直交する２つの上側フレーム１１１及
び縦フレーム１１３を、光反射板１５１と非反射板１５
２との間に挟み込むようにして、光反射部材１５０を上
方から外嵌し、略中間部に配置された接続部材１５３の
下端面を上側フレーム１１１の上面に当接させる。これ
により、光反射部材１５０は、洗浄カゴ１１０に対して
確実に固定され、又、直交する２つの面１５１ａ，１５
１ｂをもつような断面Ｌ字形状に形成されていることか
ら、取付け後の位置ずれを確実に防止することができ
る。The light reflecting member 150 having the above configuration
As shown in FIG. 5, is mounted on one of the four upper corners (corners) of the cleaning basket 110. That is, the two upper frames 111 and the vertical frames 113 that are orthogonal to each other at the corners are separated by the light reflecting plate 151 and the non-reflecting plate 15.
The light reflecting member 150 is externally fitted from above so as to be sandwiched between the connecting member 2 and the lower end surface of the connecting member 153 disposed substantially in the middle, and is brought into contact with the upper surface of the upper frame 111. Accordingly, the light reflecting member 150 is securely fixed to the cleaning basket 110, and the two orthogonal surfaces 151a and 151
Since it is formed in an L-shaped cross section having 1b, it is possible to surely prevent displacement after mounting.
【００２４】上記ベルトコンベア４０は、選別手段１３
０により選別する洗浄カゴ１１０を載置して搬送するメ
インベルトコンベア４０ａと、選別手段１３０により選
別されたそれぞれの洗浄カゴ１１０を、第１の成膜ライ
ンに向けて搬送する第１ベルトコンベア４０ｂと、第２
の成膜ラインに向けて搬送する第２ベルトコンベア４０
ｃと、第３の成膜ラインに向けて搬送する第３ベルトコ
ンベア４０ｄと、により構成されている。The belt conveyor 40 is provided with the sorting means 13
The main belt conveyor 40a for mounting and transporting the cleaning baskets 110 to be sorted according to 0, and the first belt conveyor 40b for transporting each cleaning basket 110 sorted by the sorting means 130 toward the first film forming line. And the second
Belt conveyor 40 that conveys the film toward the film forming line
c, and a third belt conveyor 40d that conveys toward the third film forming line.
【００２５】次に、上記選別装置３０の動作を説明す
る。前工程としての洗浄工程が終了した後、作業者が背
丈の低い光反射部材１５０ａを洗浄カゴ１１０に取り付
けた場合、この洗浄カゴ１１０がメインベルトコンベア
４０ａにより搬送されて所定の位置に達すると、図６に
示すように、第１光センサ１４０ａの発光素子１４１ａ
から出射された光が、この光反射部材１５０ａにより受
光素子１４２ａに向けて反射される。すると、第１光セ
ンサ１４０ａから制御部１６０に信号が送られ、この信
号に基づいて制御部１６０から第１ベルトコンベア４０
ｂに制御信号が送られる。これにより、上記洗浄カゴ１
１０は、第１ベルトコンベア４０ｂを介して第１の成膜
ラインに向けて搬送されることになる。Next, the operation of the sorting device 30 will be described. When the operator attaches the short light reflecting member 150a to the cleaning basket 110 after the completion of the pre-cleaning step, when the cleaning basket 110 is transported by the main belt conveyor 40a and reaches a predetermined position, As shown in FIG. 6, the light emitting element 141a of the first optical sensor 140a
Is reflected by the light reflecting member 150a toward the light receiving element 142a. Then, a signal is sent from the first optical sensor 140a to the control unit 160, and based on the signal, the control unit 160 sends the signal to the first belt conveyor 40.
The control signal is sent to b. Thereby, the washing basket 1
10 is conveyed toward the first film forming line via the first belt conveyor 40b.
【００２６】また、前工程としての洗浄工程が終了した
後、作業者が背丈の高い光反射部材１５０ｂを洗浄カゴ
１１０に取り付けた場合、この洗浄カゴ１１０がメイン
ベルトコンベア４０ａにより搬送されて所定の位置に達
すると、図６に示すように、第１光センサ１４０ａの発
光素子１４１ａから出射された光が、この光反射部材１
５０ｂにより受光素子１４２ａに向けて反射され，又、
第２光センサ１４０ｂの発光素子１４１ｂから出射され
た光が、この光反射部材１５０ｂにより受光素子１４２
ｂに向けて反射される。すると、第１光センサ１４０ａ
及び第２光センサ１４０ｂから制御部１６０に信号が送
られ、この信号に基づいて制御部１６０から第２ベルト
コンベア４０ｃに制御信号が送られる。これにより、上
記洗浄カゴ１１０は、第２ベルトコンベア４０ｃを介し
て第２の成膜ラインに向けて搬送されることになる。When the operator attaches the tall light reflecting member 150b to the cleaning basket 110 after the completion of the pre-cleaning step, the cleaning basket 110 is conveyed by the main belt conveyor 40a to a predetermined position. When reaching the position, as shown in FIG. 6, the light emitted from the light emitting element 141a of the first optical sensor 140a
50b, the light is reflected toward the light receiving element 142a.
The light emitted from the light emitting element 141b of the second optical sensor 140b is transmitted to the light receiving element 142 by the light reflecting member 150b.
Reflected toward b. Then, the first optical sensor 140a
A signal is sent from the second optical sensor 140b to the control unit 160, and a control signal is sent from the control unit 160 to the second belt conveyor 40c based on the signal. Thus, the cleaning basket 110 is transported toward the second film forming line via the second belt conveyor 40c.
【００２７】さらに、前工程としての洗浄工程が終了し
た後、作業者が光反射部材１５０（１５０ａ，１５０
ｂ）を洗浄カゴ１１０に取り付けなかった場合、この洗
浄カゴ１１０がメインベルトコンベア４０ａにより搬送
されて所定の位置に達しても、第１光センサ１４０ａ及
び第２光センサ１４０ｂの発光素子１４１ａ，１４１ｂ
から出射された光のいずれも、対応する受光素子１４２
ａ，１４２ｂに向けて反射されない。このとき、制御部
１６０は、第１光センサ１４０ａ及び第２光センサ１４
０ｂのいずれからも信号が送られなかったことを判断す
る。そして、この判断に基づき、制御部１６０から第３
ベルトコンベア４０ｄに制御信号が送られる。これによ
り、上記洗浄カゴ１１０は、第３ベルトコンベア４０ｄ
を介して第３の成膜ラインに向けて搬送されることにな
る。Further, after the cleaning step as a pre-process is completed, the worker reflects the light reflecting member 150 (150a, 150a).
When b) is not attached to the cleaning basket 110, the light emitting elements 141a and 141b of the first optical sensor 140a and the second optical sensor 140b even when the cleaning basket 110 is transported by the main belt conveyor 40a and reaches a predetermined position.
Of the light emitted from the corresponding light receiving element 142
a, 142b. At this time, the control unit 160 controls the first optical sensor 140a and the second optical sensor 14
It is determined that no signal has been sent from any of Ob. Then, based on this determination, the control unit 160
A control signal is sent to the belt conveyor 40d. As a result, the cleaning basket 110 is moved to the third belt conveyor 40d.
And is conveyed toward the third film forming line.
【００２８】以上のように、背丈の異なる２つの光反射
部材１５０（１５０ａ，１５０ｂ）のどちらかを取り付
ける場合と、何も取り付けない場合との３パターンによ
り、作業者の判断に応じて、ガラス基板を入れた洗浄カ
ゴ１１０を、それぞれの成膜ラインに選択的に選別し搬
送することができる。これにより、従来のような誤選別
を防止でき、成膜ラインの稼働状況に応じて適宜搬送先
を決定することができ、生産効率を向上させることがで
きる。As described above, according to the judgment of the operator, the glass is determined according to the three patterns of the case where one of the two light reflecting members 150 (150a, 150b) having different heights is attached and the case where nothing is attached. The cleaning basket 110 containing the substrate can be selectively sorted and transported to each film forming line. As a result, erroneous sorting as in the related art can be prevented, the transfer destination can be appropriately determined according to the operation status of the film forming line, and the production efficiency can be improved.
【００２９】尚、上記実施形態においては、３つの成膜
ラインに向けて洗浄カゴ１１０を選別する構成を示した
が、これに限定されるものではなく、例えば、２つの成
膜ラインに向けて振り分ける場合は、一つの光反射部材
１５０を取り付ける場合と取り付けない場合との２パタ
ーンにより選別するようにしてもよい。また、光反射部
材１５０を取り付ける場所は、洗浄カゴ１１０に限るも
のではなく、カセット１００に対して取り付けるように
してもよい。In the above embodiment, the configuration in which the cleaning basket 110 is selected toward three film forming lines has been described. However, the present invention is not limited to this. In the case of sorting, one light reflection member 150 may be selected according to two patterns, that is, the case where one light reflection member 150 is attached and the case where it is not attached. Further, the place where the light reflecting member 150 is attached is not limited to the cleaning basket 110, but may be attached to the cassette 100.
【００３０】図７は、本発明に係る選別装置の他の実施
形態を示すものである。尚、この実施形態では、光セン
サとして透過型の光センサを用い、前述の実施形態で用
いた光反射部材に代えて光遮断部材を用いるものであ
り、その他は前述の実施形態と同様である。したがっ
て、前述実施形態と同様の構成については説明を省略す
る。FIG. 7 shows another embodiment of the sorting apparatus according to the present invention. In this embodiment, a transmissive optical sensor is used as the optical sensor, and a light blocking member is used instead of the light reflecting member used in the above-described embodiment. The other components are the same as those in the above-described embodiment. . Therefore, the description of the same configuration as that of the above-described embodiment is omitted.
【００３１】この実施形態に係る選別装置２３０は、図
７に示すように、被処理体であるガラス基板Ｗを収容し
たケースすなわち洗浄カゴ１１０を次工程にある複数の
処理ラインすなわち成膜ラインのそれぞれに向けて搬送
する搬送手段としてのベルトコンベア４０と、洗浄カゴ
１１０を選別するための選別手段３３０と、この選別手
段３３０の出力信号に基づいてベルトコンベア４０の駆
動を制御する制御手段としてのマイクロコンピュータ等
からなる制御部３６０と等を備えている。As shown in FIG. 7, the sorting apparatus 230 according to this embodiment converts a case containing a glass substrate W as an object to be processed, that is, the cleaning basket 110, into a plurality of processing lines, ie, film forming lines, in the next step. The belt conveyor 40 as a transporting unit for transporting the cleaning basket 110, a sorting unit 330 for sorting the cleaning basket 110, and a control unit for controlling the driving of the belt conveyor 40 based on an output signal of the sorting unit 330. A control unit 360 including a microcomputer or the like is provided.
【００３２】ここで、選別手段３３０は、上下方向にお
いて、下側に配置された第１選別手段３３０ａと、上側
に配置された第２選別手段３３０ｂとからなる。そし
て、第１選別手段３３０ａは、発光素子３４１ａ及びこ
の発光素子３４１ａと直線上に並ぶように配置された受
光素子３４２ａをもつ透過型の第１光センサ３４０ａ
と、この発光素子３４１ａから受光素子３４２ａに向け
て出射された光を遮断し得ると共に洗浄カゴ１１０に対
して着脱自在に取付けられた背丈の低い光遮断部材３５
０ａとにより構成されている。また、第２選別手段３３
０ｂは、発光素子３４１ｂ及びこの発光素子３４１ｂと
直線上に並ぶように配置された受光素子３４２ｂをもつ
透過型の第２光センサ３４０ｂと、この発光素子３４１
ｂから受光素子３４２ｂに向けて出射された光を遮断し
得ると共に洗浄カゴ１１０に対して着脱自在に取付けら
れた背丈の高い光反射部材３５０ｂとにより構成されて
いる。Here, the sorting means 330 comprises, in the vertical direction, a first sorting means 330a arranged below and a second sorting means 330b arranged above. The first sorting means 330a is a transmission-type first optical sensor 340a having a light emitting element 341a and a light receiving element 342a arranged in a line with the light emitting element 341a.
And a low-height light blocking member 35 that can block light emitted from the light emitting element 341a toward the light receiving element 342a and that is detachably attached to the cleaning basket 110.
0a. Also, the second sorting means 33
0b is a transmissive second optical sensor 340b having a light emitting element 341b and a light receiving element 342b arranged in a line with the light emitting element 341b, and a light emitting element 341b.
and a tall light reflecting member 350b detachably attached to the cleaning basket 110 and capable of blocking light emitted from the light receiving element 342b toward the light receiving element 342b.
【００３３】この光反射部材３５０（３５０ａ，３５０
ｂ）は、光を効率良く遮断する材料により形成されてお
り、基本的な構成は前述光反射部材１５０と同様であ
り、図４に示すように、略直交する２つの平面３５１
ａ，３５１ｂにより形成された光遮断板３５１と、この
光遮断板３５１の非遮断面３５１ｃ側において所定間隔
をおいて配置された非遮断板３５２と、光遮断板３５１
と非遮断板３５２とを接続する接続部材３５３とにより
構成されている。ここで、非遮断板３５２は、光遮断板
３５１と相似形状をなすように形成されており、接続部
材３５３は、光遮断板３５１の２つの平面３５１ａ，３
５１ｂが交差する稜線Ｌの略中間領域において稜線Ｌに
直交する方向に伸長するように形成されている。また、
背丈の低い光遮断部材３５０ａと背丈の高い光遮断部材
３５０ｂとは、上記光遮断板３５１の稜線Ｌ方向におけ
る長さを異ならせて形成されている。The light reflecting member 350 (350a, 350
b) is made of a material that efficiently blocks light. The basic configuration is the same as that of the above-described light reflecting member 150. As shown in FIG.
a, 351b, a non-blocking plate 352 arranged at a predetermined interval on the non-blocking surface 351c side of the light blocking plate 351, and a light blocking plate 351.
And a connecting member 353 for connecting the non-blocking plate 352 to the connection member 353. Here, the non-blocking plate 352 is formed so as to have a similar shape to the light blocking plate 351, and the connection member 353 is formed of two flat surfaces 351 a and 351 of the light blocking plate 351.
51b is formed so as to extend in a direction orthogonal to the ridge line L in a substantially intermediate region of the ridge line L intersecting. Also,
The light shield member 350a having a shorter height and the light shield member 350b having a higher height are formed so that the lengths of the light shield plate 351 in the direction of the ridge line L are different.
【００３４】次に、上記選別装置２３０の動作を説明す
る。前工程としての洗浄工程が終了した後、作業者が背
丈の低い光遮断部材３５０ａを洗浄カゴ１１０に取り付
けた場合、この洗浄カゴ１１０がメインベルトコンベア
４０ａにより搬送されて所定の位置に達すると、図８に
示すように、第１光センサ３４０ａの発光素子３４１ａ
から出射された光が、この光遮断部材３５０ａにより遮
られて、受光素子３４２ａに届かなくなる。すると、第
１光センサ３４０ａから制御部３６０に信号が送られ、
この信号に基づいて制御部３６０から第１ベルトコンベ
ア４０ｂに制御信号が送られる。これにより、上記洗浄
カゴ１１０は、第１ベルトコンベア４０ｂを介して第１
の成膜ラインに向けて搬送されることになる。Next, the operation of the selection device 230 will be described. When the operator attaches the short light blocking member 350a to the cleaning basket 110 after the completion of the pre-cleaning step, when the cleaning basket 110 is transported by the main belt conveyor 40a and reaches a predetermined position, As shown in FIG. 8, the light emitting element 341a of the first optical sensor 340a
Is blocked by the light blocking member 350a and does not reach the light receiving element 342a. Then, a signal is sent from the first optical sensor 340a to the control unit 360,
A control signal is sent from the control unit 360 to the first belt conveyor 40b based on this signal. As a result, the cleaning basket 110 is moved to the first belt conveyor 40b via the first belt conveyor 40b.
Is transported toward the film forming line.
【００３５】また、前工程としての洗浄工程が終了した
後、作業者が背丈の高い光反射部材３５０ｂを洗浄カゴ
１１０に取り付けた場合、この洗浄カゴ１１０がメイン
ベルトコンベア４０ａにより搬送されて所定の位置に達
すると、図８に示すように、第１光センサ３４０ａの発
光素子３４１ａから出射された光が、この光遮断部材３
５０ｂにより遮られて、受光素子３４２ａに届かなくな
り、又、第２光センサ３４０ｂの発光素子３４１ｂから
出射された光が、この光遮断部材３５０ｂにより遮られ
て、受光素子３４２ｂに届かなくなる。すると、第１光
センサ３４０ａ及び第２光センサ３４０ｂから制御部３
６０に信号が送られ、この信号に基づいて制御部３６０
から第２ベルトコンベア４０ｃに制御信号が送られる。
これにより、上記洗浄カゴ１１０は、第２ベルトコンベ
ア４０ｃを介して第２の成膜ラインに向けて搬送される
ことになる。When the operator attaches the tall light reflecting member 350b to the cleaning basket 110 after the completion of the pre-cleaning step, the cleaning basket 110 is conveyed by the main belt conveyor 40a to a predetermined position. When it reaches the position, as shown in FIG. 8, the light emitted from the light emitting element 341a of the first optical sensor 340a is
The light emitted from the light emitting element 341b of the second optical sensor 340b is blocked by the light blocking member 350b and does not reach the light receiving element 342b. Then, the first optical sensor 340a and the second optical sensor 340b transmit the control unit 3
60 is sent to the control unit 360 based on the signal.
Sends a control signal to the second belt conveyor 40c.
Thus, the cleaning basket 110 is transported toward the second film forming line via the second belt conveyor 40c.
【００３６】さらに、前工程としての洗浄工程が終了し
た後、作業者が光遮断部材３５０（３５０ａ，３５０
ｂ）を洗浄カゴ１１０に取り付けなかった場合、この洗
浄カゴ１１０がメインベルトコンベア４０ａにより搬送
されて所定の位置に達しても、第１光センサ３４０ａ及
び第２光センサ３４０ｂの発光素子３４１ａ，３４１ｂ
から出射された光のいずれもが、遮られることなく対応
する受光素子３４２ａ，３４２ｂにより受光される。こ
のとき、制御部３６０は、第１光センサ３４０ａ及び第
２光センサ３４０ｂのいずれからも信号が送られなかっ
たことを判断する。そして、この判断に基づき、制御部
３６０から第３ベルトコンベア４０ｄに制御信号が送ら
れる。これにより、上記洗浄カゴ１１０は、第３ベルト
コンベア４０ｄを介して第３の成膜ラインに向けて搬送
されることになる。Further, after the cleaning step as a pre-process is completed, the operator operates the light shielding member 350 (350a, 350).
When b) is not attached to the cleaning basket 110, the light emitting elements 341a and 341b of the first optical sensor 340a and the second optical sensor 340b even when the cleaning basket 110 is transported by the main belt conveyor 40a and reaches a predetermined position.
Are emitted by the corresponding light receiving elements 342a and 342b without being interrupted. At this time, the control unit 360 determines that no signal has been sent from either the first optical sensor 340a or the second optical sensor 340b. Then, based on this determination, a control signal is sent from the control unit 360 to the third belt conveyor 40d. Thus, the cleaning basket 110 is transported toward the third film forming line via the third belt conveyor 40d.
【００３７】以上のように、背丈のことなる２つの光遮
断部材３５０（３５０ａ，３５０ｂ）のどちらかを取り
付ける場合と、何も取り付けない場合との３パターンに
より、作業者の判断に応じて、ガラス基板を入れた洗浄
カゴ１１０を、それぞれの成膜ラインに選択的に選別し
搬送することができる。これにより、従来のような誤選
別を防止でき、成膜ラインの稼働状況に応じて適宜搬送
先を決定することができ、生産効率を向上させることが
できる。As described above, according to the judgment of the operator, the three patterns of the case where one of the two light blocking members 350 (350a, 350b) having different heights are attached and the case where nothing is attached are provided. The cleaning basket 110 containing a glass substrate can be selectively sorted and transported to each film forming line. As a result, erroneous sorting as in the related art can be prevented, the transfer destination can be appropriately determined according to the operation status of the film forming line, and the production efficiency can be improved.
【００３８】尚、上記実施形態においては、３つの成膜
ラインに向けて洗浄カゴ１１０を選別する構成を示した
が、これに限定されるものではなく、例えば、２つの成
膜ラインに向けて振り分ける場合は、一つの光遮断部材
３５０を取り付ける場合と取り付けない場合との２パタ
ーンにより選別するようにしてもよい。また、光遮断部
材３５０を取り付ける場所は、洗浄カゴ１１０に限るも
のではなく、カセット１００に対して取り付けるように
してもよい。In the above embodiment, the configuration in which the cleaning basket 110 is selected toward three film forming lines has been described. However, the present invention is not limited to this. In the case of sorting, one light shielding member 350 may be selected according to two patterns, that is, the case where one light shielding member 350 is attached and the case where it is not attached. Further, the place where the light blocking member 350 is attached is not limited to the cleaning basket 110, and may be attached to the cassette 100.
【００３９】[0039]
【発明の効果】以上述べたように、本発明の選別装置に
よれば、被処理体を収容するケースに対して着脱自在に
設けられた光反射部材あるいは光遮断部材を採用したこ
とにより、作業者の判断に基づいて適宜次工程の送り先
を予め選択し、所望の送り先に向けて被処理体が搬送さ
れるように、確実に選別することができる。また、作業
者の判断に基づいて次工程の処理ラインを選択できるた
め、処理ラインの稼働状況に応じて適宜送り先を決定で
き、生産性を向上させることができる。As described above, according to the sorting apparatus of the present invention, the light reflecting member or the light blocking member which is provided detachably with respect to the case accommodating the object to be processed is employed. The destination of the next process is appropriately selected in advance based on the judgment of the user, and the target can be reliably sorted so that the object to be processed is conveyed toward the desired destination. In addition, since the processing line of the next process can be selected based on the judgment of the operator, the destination can be appropriately determined according to the operation status of the processing line, and the productivity can be improved.
【図１】ガラス基板を収容するためのカセットを示す斜
視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a cassette for accommodating a glass substrate.
【図２】ガラス基板を収容したカセットを入れる洗浄カ
ゴを示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a cleaning basket for inserting a cassette containing glass substrates.
【図３】選別装置の一実施形態を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram illustrating an embodiment of a sorting device.
【図４】選別装置の一部をなす光反射部材及び光遮断部
材を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a light reflecting member and a light blocking member which form a part of the sorting device.
【図５】光反射部材及び光遮断部材を洗浄カゴに取り付
けた状態を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a state in which a light reflecting member and a light blocking member are attached to a cleaning basket.
【図６】選別装置の動作を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the sorting device.
【図７】選別装置の他の実施形態を示す構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram showing another embodiment of the sorting device.
【図８】選別装置の動作を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the sorting device.
３０・・・選別装置 ４０・・・ベルトコンベア（搬送手段） ４０ａ・・・メインベルトコンベア ４０ｂ・・・第１ベルトコンベア ４０ｃ・・・第２ベルトコンベア ４０ｄ・・・第３ベルトコンベア １００・・・カセット １１０・・・洗浄カゴ １３０・・・選別手段 １４０・・・反射型の光センサ １５０・・・光反射部材 １５１・・・光反射板 １５２・・・非反射板 １５３・・・接続部材 １６０・・・制御部（制御手段） ３３０・・・選別手段 ３４０・・・透過型の光センサ ３５０・・・光反射部材 ３５１・・・光反射板 ３５２・・・非反射板 ３５３・・・接続部材 ３６０・・・制御部（制御手段） Reference Signs List 30 sorting device 40 belt conveyor (transporting means) 40a main belt conveyor 40b first belt conveyor 40c second belt conveyor 40d third belt conveyor 100 Cassette 110 Cleaning basket 130 Sorting means 140 Reflective optical sensor 150 Light reflecting member 151 Light reflecting plate 152 Non-reflecting plate 153 Connection member 160 ... Control unit (control means) 330 ... Selecting means 340 ... Transmissive optical sensor 350 ... Light reflecting member 351 ... Light reflecting plate 352 ... Non-reflecting plate 353 ... Connection member 360: control unit (control means)
フロントページの続き (72)発明者 大崎 清 千葉県市原市五井南海岸12−８ 日本曹達 株式会社千葉工場内所内 Ｆターム(参考） 3F015 AA16 HA01 JC03 JC06 JC11 JC17 JC23 Continued on the front page (72) Inventor Kiyoshi Osaki 12-8, Goi-minamikaigan, Ichihara-shi, Chiba F-term (reference) in Nippon Soda Co., Ltd. Chiba Plant 3F015 AA16 HA01 JC03 JC06 JC11 JC17 JC23
Claims (6)
る複数の処理ラインのそれぞれに搬送する搬送手段と、
前記ケースを選別するための選別手段と、前記選別手段
の出力信号に基づいて前記搬送手段の駆動を制御する制
御手段とを備え、前記ケースを所望の処理ラインに向け
て搬送するように選別を行なう選別装置であって、 前記選別手段は、発光素子及び受光素子をもつ反射型の
光センサと、前記発光素子から出射された光を前記受光
素子に向けて反射し得ると共に前記ケースに対して着脱
自在に取付けられた光反射部材と、を有することを特徴
とする選別装置。A transport unit configured to transport a case accommodating an object to be processed to each of a plurality of processing lines in a next process;
Sorting means for sorting the cases, and control means for controlling the drive of the transport means based on an output signal of the sorting means, wherein sorting is performed so that the cases are transported toward a desired processing line. A sorting device, wherein the sorting means is a reflective optical sensor having a light-emitting element and a light-receiving element, and is capable of reflecting light emitted from the light-emitting element toward the light-receiving element and for the case. And a light reflecting member detachably attached.
面により形成された光反射板と、前記光反射板の非反射
面側において所定間隔をおいて配置された非反射板と、
前記光反射板と非反射板とを接続する接続部材とからな
る、ことを特徴とする請求項１記載の成膜装置。2. The light reflecting member includes: a light reflecting plate formed by two substantially orthogonal planes; a non-reflecting plate disposed at a predetermined interval on a non-reflecting surface side of the light reflecting plate;
The film forming apparatus according to claim 1, further comprising a connection member that connects the light reflection plate and the non-reflection plate.
状をなし、 前記接続部材は、前記光反射板の２つの平面が交差する
稜線の略中間領域において前記稜線に直交する方向に伸
長するように形成されている、ことを特徴とする請求項
２記載の選別装置。3. The non-reflective plate has a shape similar to the light reflecting plate, and the connecting member is arranged in a direction substantially perpendicular to the ridge in a substantially intermediate region of a ridge where two planes of the light reflecting plate intersect. 3. The sorting device according to claim 2, wherein the sorting device is formed to extend.
る複数の処理ラインのそれぞれに搬送する搬送手段と、
前記ケースを選別するための選別手段と、前記選別手段
の出力信号に基づいて前記搬送手段の駆動を制御する制
御手段とを備え、前記ケースを所望の処理ラインに向け
て搬送するように選別を行なう選別装置であって、 前記選別手段は、発光素子及び受光素子をもつ透過型の
光センサと、前記光センサの光を遮断し得ると共に前記
ケースに対して着脱自在に取付けられた光遮断部材と、
を有することを特徴とする選別装置。4. A transport means for transporting a case accommodating an object to be processed to each of a plurality of processing lines in a next process;
Sorting means for sorting the cases, and control means for controlling the drive of the transport means based on an output signal of the sorting means, wherein sorting is performed so that the cases are transported toward a desired processing line. A sorting device, wherein the sorting means includes a transmission type optical sensor having a light emitting element and a light receiving element, and a light blocking member detachably attached to the case and capable of blocking light of the light sensor. When,
A sorting device comprising:
面により形成された光遮断板と、前記光遮断板の非遮断
面側において所定間隔をおいて配置された非遮断板と、
前記光遮断板と非遮断板とを接続する接続部材とからな
る、ことを特徴とする請求項４記載の選別装置。5. The light-blocking member includes: a light-blocking plate formed by two substantially orthogonal planes; and a non-blocking plate disposed at a predetermined interval on a non-blocking surface side of the light-blocking plate.
The sorting device according to claim 4, comprising a connection member that connects the light blocking plate and the non-blocking plate.
状をなし、 前記接続部材は、前記光遮断板の２つの平面が交差する
稜線の略中間領域において前記稜線に直交する方向に伸
長するように形成されている、ことを特徴とする請求項
５記載の選別装置。6. The non-blocking plate has a shape similar to the light blocking plate, and the connecting member is arranged in a direction orthogonal to the ridge in a substantially middle region of a ridge where two planes of the light blocking plate intersect. The sorting device according to claim 5, wherein the sorting device is formed to extend.
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| JP17543199A JP4327946B2 (en) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | Sorting device |
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- 1999-06-22 JP JP17543199A patent/JP4327946B2/en not_active Expired - Fee Related
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