JP2000349585A

JP2000349585A - 圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品

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Publication number: JP2000349585A
Application number: JP11268303A
Authority: JP
Inventors: Shigemasa Kusakai; 重雅草開; Takeshi Yamazaki; 武志山崎; Yuji Kosugi; 裕二小杉; Takeshi Kubo; 健久保
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1999-03-30
Filing date: 1999-09-22
Publication date: 2000-12-15
Anticipated expiration: 2019-09-22
Also published as: EP1041714A3; CN1270446A; CN1147994C; EP1041714A2; US6376970B1; JP3677673B2

Abstract

(57)【要約】【課題】圧電共振子の支持部材への保持強度を維持し
ながら圧電共振子から支持部材への振動の伝播を抑制す
ることができる、圧電共振子の保持構造を提供する。【解決手段】圧電部品３０は、支持部材としての基板
３２を含む。基板３２には導体パターン３６、３８が形
成される。導体パターン３６、３８には、圧電共振子１
０の外部電極２２、２４が、それぞれ、保持部材４０を
介して保持される。保持部材４０は、圧電共振子１０に
接する部分の両方の外側部分４０ａ、４０ａが、圧電共
振子１０から保持部材４０を介して基板３２への振動の
伝播を抑制するための振動伝播抑制材料で形成され、他
の部分４０ｂが、ウレタン系合成樹脂にＡｇを含有した
ウレタン系導電材料で形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は圧電共振子の保持
構造およびそれを有する圧電部品に関し、特に長さ振動
を利用した圧電共振子を保持部材を介してたとえば基板
などの支持部材に保持するための圧電共振子の保持構造
およびそれを有する圧電部品に関する。

【０００２】

【従来の技術】図２１はこの発明の背景となりかつこの
発明が適用される圧電共振子の一例を示す図解図であ
り、図２２はその圧電共振子に用いられる基体に絶縁膜
を形成した状態を示す平面図である。図２１に示す圧電
共振子１０は、長さ４ｍｍ、幅１ｍｍ、高さ１ｍｍの直
方体状の基体１２を含む。基体１２は、たとえば圧電セ
ラミックからなり積層される２０層の圧電体層１４を含
む。これらの圧電体層１４は、それぞれ、同じ寸法に形
成される。また、これらの圧電体層１４は、図２１の矢
印で示すように、隣合う圧電体層１４の分極方向が互い
に逆向きになるように基体１２の長手方向に分極され
る。ただし、両端の圧電体層１４は、分極されていな
い。

【０００３】基体１２の２０層の圧電体層１４間には、
内部電極１６が、それぞれ形成される。したがって、こ
れらの内部電極１６は、基体１２の長手方向に直交しか
つ基体１２の長手方向に間隔を隔てて配置される。ま
た、これらの内部電極１６は、圧電体層１４の主面全面
に形成される。したがって、これらの内部電極１６は、
基体１２の４側面から露出するように形成される。

【０００４】基体１２の１つの側面部分には、その幅方
向における中央に、溝１７が形成される。また、基体１
２の１つの側面部分において、溝１７を除く幅方向にお
ける一方側部分では、１つおきの内部電極１６の端部が
絶縁膜１８でそれぞれ被覆される。さらに、基体１２の
１つの側面部分において、溝１７を除く幅方向における
他方側部分では、他の１つおきの内部電極１６の端部が
絶縁膜２０でそれぞれ被覆される。

【０００５】また、基体１２の１つの側面部分におい
て、外部電極２２が、１つおきの内部電極１６上に形成
した絶縁膜１８などの上に、他の１つおきの内部電極１
６に接続されるように形成される。さらに、基体１２の
１つの側面部分において、外部電極２４が、１つおきの
内部電極１６に接続されるように、他の１つおきの内部
電極１６上に形成した絶縁膜２０などの上に形成され
る。

【０００６】図２１に示す圧電共振子１０では、外部電
極２２、２４が入出力電極として使用される。このと
き、外部電極２２、２４に信号を与えることにより、隣
合う層の内部電極１６、１６間に電界が印加されるた
め、基体１２の両端の圧電体層１４を除く各圧電体層１
４は圧電的に活性となる。この場合、基体１２の互いに
逆向きに分極した圧電体層１４に、互いに逆向きの電界
が印加されるため、圧電体層１４は全体として同じ向き
に伸縮しようとする。つまり、外部電極２２、２４に接
続された内部電極１６、１６によって、個々の圧電体層
１４に、基体１２の長手方向の交流電界を印加し、個々
の圧電体層１４に伸縮の駆動力を発生させることによっ
て、圧電共振子１０全体としては、基体１２の長手方向
の中心部をノードとした長さ振動の基本振動が励振され
る。

【０００７】次に、図２１に示す圧電共振子１０を保持
部材を介して支持部材としての基板に保持した従来の圧
電部品の一例について説明する。図２３は従来の圧電部
品の一例において圧電共振子を保持する前の状態を示す
図解図であり、図２４はその圧電部品において圧電共振
子を保持した後の状態を示す図解図である。図２３およ
び図２４に示す圧電部品１は、支持部材としての基板２
を含む。基板２上には、２つのパターン電極３、３が形
成される。そして、圧電共振子１０の外部電極２２、２
４の長手方向における中央には、ウレタン系合成樹脂に
Ａｇを８５ｗｔ％含有したウレタン系導電材料からなる
保持部材４がそれぞれ形成される。そして、それらの保
持部材４、４は、基板２の２つのパターン電極３、３
に、それぞれ、エポキシ系合成樹脂にＡｇを含有したエ
ポキシ系導電材料からなる導電ペースト５で接着され
る。それによって、圧電共振子１０の外部電極２２、２
４が保持部材４、４を介して基板２上の２つのパターン
電極３、３にそれぞれ電気的に接続され、圧電共振子１
０が保持部材４、４を介して基板２に保持される。この
場合、圧電共振子１０の長手方向における保持部材４の
上部の寸法Ｗ１は、大きいほど振動が伝播しやすく、
１．０ｍｍ〜１．４ｍｍである。また、圧電共振子１０
の長手方向における保持部材４の下部の寸法Ｗ２は、特
に振動の伝播とは関係が薄いが、基板２と保持部材４と
の接地強度に関し、たとえば０．５ｍｍ以上である。さ
らに、保持部材４の厚みｔ１は、保持部材４の固さや保
持部材４中のＡｇの含有量によっても振動の伝播量が変
化するが、保持部材４の厚み方向でも振動の伝播をある
程度減衰でき、厚いほど振動の伝播は少なく、また、製
品の高さで上限があり、たとえば１３０μｍ〜１７０μ
ｍである。また、導電ペースト５の接着前（図２３参
照）の厚みｔ２は、振動の伝播とは直接関係ないが、導
電ペースト５が厚いと保持部材４へのフィレット大にな
り振動の伝播量が増加し、また、薄いと保持部材４の接
地強度が落ちるので、３５μｍ〜５５μｍである。

【０００８】なお、図２３および図２４に示す圧電部品
１では、図２５に示すインピーダンス特性および位相特
性を有するとともに、図２６に示すフィルタ特性を有す
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の従来
の圧電部品１では、振動の伝播を抑制するために保持部
材４の上部の寸法Ｗ１を小さくすると、必然的に保持部
材４の下部の寸法Ｗ２も小さくなり、保持強度をかせげ
ない。一方、保持部材４の下部の寸法Ｗ２を規格の０．
５ｍｍ以上にするためには、保持部材４の上部の寸法Ｗ
１は０．９ｍｍ以上になり、振動を伝播しやすくなる。
また、上述の従来の圧電部品１では、振動の伝播を抑制
するために保持部材４の厚みｔ１を大きくすると製品の
高さが高くなり、軽薄短小に逆行する。そして、現状の
商品では最大の高さが１．９ｍｍから１．７ｍｍまたは
１．５ｍｍへの要求も強く、ますます保持部材４の高さ
も減少していくため、エネルギーの伝播量を減らす方向
の検討が必要である。さらに、上述の従来の圧電部品１
の構造、寸法で振動の伝播を抑制するには、保持部材４
や導電ペースト５の材料の改善が必要となるが、効果の
ある低ヤング率化に関しては、強度面と圧電共振子の切
出しないしダイサーカットの際のカット性により不可で
ある。また、保持部材４中のＡｇフィラーを通して、振
動を伝播しているのが明確になっており、Ａｇ量を減ら
せば振動の伝播を抑制できるが、導通を確保するために
は現在のウレタン系合成樹脂をベースにした導電ペース
トではＡｇの含有量を８０ｗｔ％以下に減らすことは不
可能である。

【００１０】それゆえに、この発明の主たる目的は、圧
電共振子の支持部材への保持強度を維持しながら圧電共
振子から支持部材への振動の伝播を抑制することができ
る、圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品
を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明にかかる圧電共
振子の保持構造は、長さ振動を利用した圧電共振子を保
持部材を介して支持部材に保持するための圧電共振子の
保持構造であって、保持部材において圧電共振子に接す
る部分の一部分を、圧電共振子から保持部材を介して支
持部材への振動の伝播を抑制するための振動伝播抑制材
料で形成した、圧電共振子の保持構造である。この発明
にかかる圧電共振子の保持構造では、保持部材において
圧電共振子に接する部分の一部分は、たとえば保持部材
の外側部分または内側部分である。この発明にかかる圧
電共振子の保持構造では、保持部材において、圧電共振
子に接する部分の一部分から支持部材側の部分の一部分
にわたる部分を、振動伝播抑制材料で形成してもよい。
この発明にかかる圧電共振子の保持構造では、振動伝播
抑制材料はウレタンまたはシリコンを含む。また、この
発明にかかる圧電部品は、上述のこの発明にかかる圧電
共振子の保持構造を有する圧電部品であって、支持部材
は基板であり、圧電共振子を覆うように基板に蓋が設け
られる。この発明にかかる圧電部品では、圧電共振子と
して複数の圧電共振子を含んでもよい。

【００１２】この発明にかかる圧電共振子の保持構造お
よびそれを有する圧電部品では、保持部材において圧電
共振子に接する部分の一部分が振動伝播抑制材料で形成
されるため、圧電共振子の支持部材への保持強度を維持
しながら圧電共振子から支持部材への振動の伝播を抑制
することができる。

【００１３】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１はこの発明にかかる圧電部品
の一例を示す分解斜視図であり、図２はその圧電部品の
要部を示す正面図であり、図３はその圧電部品において
圧電共振子を保持する前の状態を示す図解図であり、図
４はその圧電部品において圧電共振子を保持した後の状
態を示す図解図である。

【００１５】図１に示す圧電部品３０は支持部材として
の基板３２を含む。基板３２の対向する端部には、それ
ぞれ２つずつの凹部３４が形成される。基板３２の一方
面上には、２つのパターン電極３６、３８が形成され
る。一方のパターン電極３６は、対向する凹部３４間に
形成され、その一端側から基板３２の中央部に向かっ
て、Ｌ字状に延びる部分を有する。また、他方のパター
ン電極３８は、別の対向する凹部３４間に形成され、そ
の他端側から基板３２の中央部に向かって、Ｌ字状に延
びる部分を有する。これらのパターン電極３６、３８
は、基板３２の凹部３４から他方面に向かって、回り込
むように形成される。

【００１６】基板３２の中央部には、図２１に示す圧電
共振子１０が２つの保持部材４０、４０を介して保持さ
れる。この場合、２つの保持部材４０、４０は、圧電共
振子１０の２つの外部電極２２、２４の長手方向におけ
る中央部にそれぞれ形成される。

【００１７】一方の保持部材４０は、外部電極２２に接
する部分であって圧電共振子１０の長手方向における両
方の外側部分４０ａ、４０ａが、圧電共振子１０からそ
の保持部材４０を介して基板３２への振動の伝播を抑制
するためのたとえばウレタンまたはシリコンなどの振動
伝播抑制材料で形成される。また、一方の保持部材４０
は、両方の外側部分４０ａ、４０ａの他の部分４０ｂ
が、ウレタン系合成樹脂にＡｇを８５ｗｔ％含有したウ
レタン系導電材料で形成される。なお、ウレタン系導電
材料としては、ウレタン系合成樹脂にＡｇを８５ｗｔ％
含有したものに限らず、ウレタン系合成樹脂にＡｇをた
とえば８０ｗｔ％以上８５ｗｔ％未満含有したものであ
ってもよい。

【００１８】同様に、他方の保持部材４０は、外部電極
２４に接する部分であって圧電共振子１０の長手方向に
おける両方の外側部分４０ａ、４０ａが、圧電共振子１
０からその保持部材４０を介して基板３２への振動の伝
播を抑制するためのたとえばウレタンまたはシリコンな
どの振動伝播抑制材料で形成され、両方の外側部分４０
ａ、４０ａの他の部分４０ｂが、ウレタン系合成樹脂に
Ａｇを８５ｗｔ％含有したウレタン系導電材料で形成さ
れる。

【００１９】この場合、圧電共振子１０の長手方向にお
ける保持部材４０の外側部分４０ａ、４０ａ間の寸法Ｘ
１は、たとえば０．３ｍｍ〜０．５ｍｍ（圧電共振子１
０の長さの７．５％〜１２．５％）であるが、たとえば
１．０ｍｍ以下（圧電共振子１０の長さの２５％以下）
であってもよく、他の寸法であってもよい。なお、寸法
Ｘ１の下限は、外部電極２２、２４とパターン電極３
６、３８との導通性を確保する面から決定される。ま
た、圧電共振子１０の長手方向における保持部材４０の
下部の寸法Ｘ２は、たとえば０．５ｍｍ以上であるが、
他の寸法であってもよい。さらに、圧電共振子１０の長
手方向における保持部材４０の上部の寸法Ｘ３は、マウ
ント機の治具からたとえば１．５ｍｍ以下にすることが
好ましく、また、寸法Ｘ２から考えてたとえば０．８ｍ
ｍ以上（圧電共振子１０の長さの２０％以上）にするこ
とが好ましいが、他の寸法であってもよい。また、保持
部材４０の外側部分４０ａ、４０ａの厚みＴ１は、たと
えば２０μｍであるが、他の寸法であってもよい。さら
に、保持部材４０の外側部分４０ａ、４０ａの他の部分
４０ｂの厚みと外側部分４０ａ、４０ａの厚みの差Ｔ２
は、０ｍｍ以上であればよい。また、保持部材４０の厚
みＴ３は、たとえば２００μｍであるが、他の寸法であ
ってもよい。

【００２０】そして、２つの保持部材４０、４０は、基
板３２の２つパターン電極３６、３８に、それぞれ、エ
ポキシ系合成樹脂にＡｇを含有したエポキシ系導電材料
からなる導電ペースト４２で接着される。それによっ
て、圧電共振子１０の外部電極２２、２４が保持部材４
０、４０を介して基板３２上の２つのパターン電極３
６、３８にそれぞれ電気的に接続され、圧電共振子１０
が保持部材４０、４０を介して基板３２に保持される。

【００２１】さらに、基板３２上では、蓋としての金属
キャップ４４が圧電共振子１０にかぶせられる。この場
合、金属キャップ４４とパターン電極３６、３８とが導
通しないように、基板３２およびパターン電極３６、３
８上に絶縁性樹脂などの絶縁物が塗布される。そして、
金属キャップ４４がかぶせられることによって、たとえ
ば、圧電発振子や圧電ディスクリミネータなどの圧電部
品３０が作製される。この圧電部品３０では、基板３２
の凹部３４から裏面に回り込むように形成されたパター
ン電極３６、３８が、外部回路と接続するための入出力
端子として用いられる。

【００２２】図１に示す圧電部品３０では、保持部材４
０において圧電共振子１０に接する部分の一部分である
外側部分４０ａ、４０ａが振動伝播抑制材料で形成され
るため、圧電共振子１０の基板３２への保持強度を維持
しながら圧電共振子１０から基板３２への振動の伝播を
抑制することができる。

【００２３】また、図１に示す圧電部品３０では、図５
に示すインピーダンス特性および位相特性を有するとと
もに、図６に示すフィルタ特性を有する。図５に示すイ
ンピーダンス特性および位相特性などより、図１に示す
圧電部品３０では、図２３および図２４に示す圧電部品
１よりノイズが少ないことが分かる。さらに、２５℃か
ら−３０℃に変化した場合、図１に示す圧電部品３０で
は、中心周波数が０．５ｋＨｚ高くなるのに対して、図
２３および図２４に示す圧電部品１では、中心周波数が
１．５ｋＨｚ高くなる。そのため、図１に示す圧電部品
３０では、図２３および図２４に示す圧電部品１と比べ
て、温度特性に対しても良好な特性が得られる。

【００２４】図７は図１に示す圧電部品の変形例を示す
図解図である。図７に示す圧電部品３０では、図１に示
す圧電部品３０と比べて、保持部材４０において外側部
分４０ａ、４０ａの他の部分４０ｂが、外側部分４０
ａ、４０ａの厚みとほぼ同じ厚みに薄く形成される。図
７に示す圧電部品３０では、図１に示す圧電部品３０と
比べて、低背化ないし薄型化が可能であるという効果も
奏する。

【００２５】図８はこの発明にかかる圧電部品の他の例
において圧電共振子を保持する前の状態を示す図解図で
あり、図９はその圧電部品において圧電共振子を保持し
た後の状態を示す図解図である。

【００２６】図８および図９に示す圧電部品３０では、
図１に示す圧電部品３０と比べて、保持部材４０におい
て、外部電極２２、２４に接する部分であって圧電共振
子１０の長手方向における中央の内側部分４０ｃが、圧
電共振子１０からその保持部材４０を介して基板３２へ
の振動の伝播を抑制するためのたとえばウレタンまたは
シリコンなどの振動伝播抑制材料で形成され、内側部分
４０ｃの他の部分４０ｄが、ウレタン系合成樹脂にＡｇ
を８５ｗｔ％含有したウレタン系導電材料で形成され
る。

【００２７】この場合、圧電共振子１０の長手方向にお
ける保持部材４０の内側部分４０ｃの寸法ｘ１は、保持
部材４０の上部の寸法ｘ３のたとえば８０％以下である
が、他の寸法であってもよい。また、圧電共振子１０の
長手方向における保持部材４０の下部の寸法ｘ２は、た
とえば０．５ｍｍ以上であるが、他の寸法であってもよ
い。さらに、圧電共振子１０の長手方向における保持部
材４０の上部の寸法ｘ３は、マウント機の治具からたと
えば１．５ｍｍ以下にすることが好ましいが、他の寸法
であってもよい。また、保持部材４０の内側部分４０ｃ
の厚みＴ１は、たとえば２０μｍであるが、他の寸法で
あってもよい。さらに、保持部材４０の内側部分４０ｃ
の他の部分４０ｄの厚みと内側部分４０ｃの厚みの差Ｔ
２は、０ｍｍ以上であればよい。また、保持部材４０の
厚みＴ３は、たとえば２００μｍであるが、他の寸法で
あってもよい。

【００２８】図８および図９に示す圧電部品３０でも、
図１に示す圧電部品３０と同様の効果を奏する。

【００２９】また、図８およひ図９に示す圧電部品３０
では、図１０に示すインピーダンス特性および位相特性
を有する。図１０に示すインピーダンス特性および位相
特性などより、図８および図９に示す圧電部品３０で
は、図２３および図２４に示す圧電部品１よりノイズが
少ないことが分かる。さらに、図１に示す圧電部品３０
では、図８および図９に示す圧電部品３０よりノイズが
少ないことが分かる。

【００３０】なお、圧電共振子１０は長手方向における
中央がノード点でありその中央から離れるに従って変位
が大きくなるから、図１に示す圧電部品３０では、図８
および図９に示す圧電部品３０と比べて、保持部材４０
において振動伝播抑制材料で形成される部分が圧電共振
子１０の長手方向における外側にあるので、圧電共振子
１０から保持部材４０を介して基板３２への振動の伝播
を抑制することができる効果が大きい。

【００３１】図１１は図８および図９に示す圧電部品の
変形例を示す図解図である。図１１に示す圧電部品３０
では、図８および図９に示す圧電部品３０と比べて、保
持部材４０において内側部分４０ｃの他の部分４０ｄ
が、内側部分４０ｃの厚みとほぼ同じ厚みに形成され
る。図１１に示す圧電部品３０では、図８および図９に
示す圧電部品３０と比べて、低背化ないし薄型化が可能
であるという効果も奏する。

【００３２】図１２はこの発明にかかる圧電部品のさら
に他の例を示す図解図である。図１２に示す圧電部品３
０では、図１に示す圧電部品３０と比べて、保持部材４
０において、外部電極２２、２４およびパターン電極３
６、３８に接する部分であって圧電共振子１０の長手方
向における両方の外側部分４０ｅ、４０ｅが、圧電共振
子１０からその保持部材４０を介して基板３２への振動
の伝播を抑制するためのたとえばウレタンまたはシリコ
ンなどの振動伝播抑制材料で形成され、残りの内側部分
４０ｆが、エポキシ系合成樹脂にＡｇを含有したエポキ
シ系導電材料で形成される。

【００３３】この場合、圧電共振子１０の長手方向にお
ける保持部材４０の外側部分４０ｅ、４０ｅ間の寸法Ｘ
１は、たとえば０．３ｍｍ〜０．５ｍｍ（圧電共振子１
０の長さの７．５％〜１２．５％）であるが、たとえば
１．０ｍｍ以下（圧電共振子１０の長さの２５％以下）
であってもよく、他の寸法であってもよい。なお、寸法
Ｘ１の下限は、外部電極２２、２４とパターン電極３
６、３８との導通性を確保する面から決定される。ま
た、圧電共振子１０の長手方向における保持部材４０の
寸法Ｘ２は、寸法Ｘ１より大きく、強度面からたとえば
０．８ｍｍ以上（圧電共振子１０の長さの２０％以上）
であるが、他の寸法であってもよい。さらに、保持部材
４０の厚みＴ１は、たとえば２０μｍ〜１００μｍであ
るが、他の寸法であってもよい。

【００３４】そして、２つの保持部材４０、４０は、基
板３２の２つパターン電極３６、３８に、それぞれ、エ
ポキシ系導電材料からなる内側部分４０ｆで接着され
る。

【００３５】図１２に示す圧電部品３０でも、図１に示
す圧電部品３０と同様の効果を奏するとともに、低背化
ないし薄型化が可能であるという効果も奏する。

【００３６】さらに、図１２の示す圧電部品３０では、
保持部材４０を形成した後に導電ペーストを印刷する工
程が不要であるので、保持部材４０に導電ペーストがは
い上がって本来の特性がばらついたり振動の伝播を抑制
する効果が悪くなったりすることがほとんどない。

【００３７】図１３は図１２に示す圧電部品の変形例に
おいて圧電共振子を保持する前の状態を示す図解図であ
り、図１４は図１３に示す圧電部品において圧電共振子
を保持した後の状態を示す図解図である。図１３および
図１４に示す圧電部品３０では、図１２に示す圧電部品
３０と比べて、保持部材４０において、内側部分４０ｆ
が、ウレタン系合成樹脂にＡｇを８５ｗｔ％含有したウ
レタン系導電材料で、振動伝播抑制材料で形成された外
側部分４０ｅ、４０ｅを覆うようにして外側部分４０
ｅ、４０ｅの厚みより厚く形成されるとともに、エポキ
シ系合成樹脂にＡｇを含有したエポキシ系導電材料から
なる導電ペースト４２で保持部材４０の内側部分４０ｆ
を覆うようにして、保持部材４０、４０が２つの電極パ
ターン３６、３８にそれぞれ接着される。この場合、圧
電共振子１０の外部電極２２、２４と導電ペースト４２
との間の厚みＴは、保持部材４０の外側部分４０ｅの厚
みとほぼ同じ厚みのたとえば５０μｍ程度である。ま
た、導電ペースト４２の厚みは、たとえば８０μｍであ
る。

【００３８】図１３および図１４に示す圧電部品３０で
も、図１２に示す圧電部品３０と同様の効果を奏する。

【００３９】図１３および図１４に示す圧電部品３０に
おいて、保持部材４０の外側部分４０ｅ、４０ｅ間の寸
法Ｌを０．３１４ｍｍにした場合のインピーダンス特性
および位相特性を図１５に示し、その寸法Ｌを０．３１
６ｍｍにした場合のインピーダンス特性および位相特性
を図１６に示す。

【００４０】図１７は図１２に示す圧電部品の他の変形
例において圧電共振子を保持する前の状態を示す図解図
であり、図１８は図１７に示す圧電部品において圧電共
振子を保持した後の状態を示す図解図である。図１７お
よび図１８に示す圧電部品３０では、保持部材４０の内
側部分４０ｇがたとえばウレタンまたはシリコンなどの
振動伝播抑制材料で形成され、保持部材４０の外側部分
４０ｈがウレタン系合成樹脂にＡｇを８５ｗｔ％含有し
たウレタン系導電材料で内側部分４０ｇを覆うようにし
て形成され、エポキシ系合成樹脂にＡｇを含有したエポ
キシ系導電材料からなる導電ペースト４２で保持部材４
０の外側部分４０ｈを覆うようにして、保持部材４０、
４０が２つの電極パターン３６、３８にそれぞれ接着さ
れる。この場合、圧電共振子１０の外部電極２２、２４
と導電ペースト４２との間の厚みＴは、保持部材４０の
内側部分４０ｇの厚みとほぼ同じ厚みのたとえば５０μ
ｍ程度である。また、導電ペースト４２の厚みは、たと
えば８０μｍである。

【００４１】図１７および図１８に示す圧電部品３０で
も、図１２に示す圧電部品３０と同様の効果を奏する。

【００４２】図１７および図１８に示す圧電部品３０に
おいて、圧電共振子１０の長手方向における保持部材４
０の上部の外側部分４０ｈの寸法（Ｌ１＋Ｌ２）を０．
３０９ｍｍにした場合のインピーダンス特性および位相
特性を図１９に示し、その寸法（Ｌ１＋Ｌ２）を０．３
２２ｍｍにした場合のインピーダンス特性および位相特
性を図２０に示す。

【００４３】図１５、図１６、図１９および図２０に示
すインピーダンス特性および位相特性より、図１３およ
び図１４に示す圧電部品３０では、図１７および図１８
に示す圧電部品３０よりノイズが少ないことが分かる。

【００４４】なお、上述の各圧電部品３０では圧電共振
子として図２１に示す特別な構造の圧電共振子１０が用
いられているが、この発明ではたとえば単板状などの他
の構造の圧電共振子が用いられてもよい。

【００４５】また、上述の各圧電部品３０において各部
分が特別の寸法や特別の形状であるが、各部分は他の寸
法や他の形状であってもよい。

【００４６】さらに、上述の各圧電部品３０では保持部
材４０や導電ペースト４２の材料として特別な材料が用
いられているが、保持部材４０や導電ペースト４２の材
料として他の材料が用いられてもよい。

【００４７】

【発明の効果】この発明によれば、圧電共振子の支持部
材への保持強度を維持しながら圧電共振子から支持部材
への振動の伝播を抑制することができる、圧電共振子の
保持構造およびそれを有する圧電部品が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明にかかる圧電部品の一例を示す分解斜
視図である。

【図２】図１に示す圧電部品の要部を示す正面図であ
る。

【図３】図１に示す圧電部品において圧電共振子を保持
する前の状態を示す図解図である。

【図４】図１に示す圧電部品において圧電共振子を保持
した後の状態を示す図解図である。

【図５】図１に示す圧電部品のインピーダンス特性およ
び位相特性を示すグラフである。

【図６】図１に示す圧電部品のフィルタ特性を示すグラ
フである。

【図７】図１に示す圧電部品の変形例を示す図解図であ
る。

【図８】この発明にかかる圧電部品の他の例において圧
電共振子を保持する前の状態を示す図解図である。

【図９】図８に示す圧電部品において圧電共振子を保持
した後の状態を示す図解図である。

【図１０】図８および図９に示す圧電部品のインピーダ
ンス特性および位相特性を示すグラフである。

【図１１】図８および図９に示す圧電部品の変形例を示
す図解図である。

【図１２】この発明にかかる圧電部品のさらに他の例を
示す図解図である。

【図１３】図１２に示す圧電部品の変形例において圧電
共振子を保持する前の状態を示す図解図である。

【図１４】図１３に示す圧電部品において圧電共振子を
保持した後の状態を示す図解図である。

【図１５】図１３および図１４に示す圧電部品のインピ
ーダンス特性および位相特性の一例を示す図解図であ
る。

【図１６】図１３および図１４に示す圧電部品のインピ
ーダンス特性および位相特性の他の例を示す図解図であ
る。

【図１７】図１２に示す圧電部品の他の変形例において
圧電共振子を保持する前の状態を示す図解図である。

【図１８】図１７に示す圧電部品において圧電共振子を
保持した後の状態を示す図解図である。

【図１９】図１７および図１８に示す圧電部品のインピ
ーダンス特性および位相特性の一例を示す図解図であ
る。

【図２０】図１７および図１８に示す圧電部品のインピ
ーダンス特性および位相特性の他の例を示す図解図であ
る。

【図２１】この発明の背景となりかつこの発明が適用さ
れる圧電共振子の一例を示す図解図である。

【図２２】図２１に示す圧電共振子に用いられる基体に
絶縁膜を形成した状態を示す平面図である。

【図２３】従来の圧電部品の一例において圧電共振子を
保持する前の状態を示す図解図である。

【図２４】図２３に示す圧電部品において圧電共振子を
保持した後の状態を示す図解図である。

【図２５】図２３および図２４に示す圧電部品のインピ
ーダンス特性および位相特性を示すグラフである。

【図２６】図２３および図２４に示す圧電部品のフィル
タ特性を示すグラフである。

【符号の説明】

１０圧電共振子１２基体１４圧電体層１６内部電極１７溝１８、２０絶縁膜２２、２４外部電極３０圧電部品３２基板３４凹部３６、３８パターン電極４０保持部材４０ａ、４０ｅ、４０ｈ外側部分４０ｂ、４０ｄ他の部分４０ｃ、４０ｆ、４０ｇ内側部分４２導電ペースト４４金属キャップ

フロントページの続き (72)発明者小杉裕二京都府長岡京市天神二丁目26番10号株式会社村田製作所内 (72)発明者久保健京都府長岡京市天神二丁目26番10号株式会社村田製作所内Ｆターム(参考） 5J108 AA01 BB04 CC04 CC09 DD06 EE03 EE06 EE13 EE18 GG15 HH02 JJ01 KK03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】長さ振動を利用した圧電共振子を保持部
材を介して支持部材に保持するための圧電共振子の保持
構造であって、前記保持部材において前記圧電共振子に接する部分の一
部分を、前記圧電共振子から前記保持部材を介して前記
支持部材への振動の伝播を抑制するための振動伝播抑制
材料で形成した、圧電共振子の保持構造。
【請求項２】前記保持部材において前記圧電共振子に
接する部分の一部分は、前記保持部材の外側部分であ
る、請求項１に記載の圧電共振子の保持構造。
【請求項３】前記保持部材において前記圧電共振子に
接する部分の一部分は、前記保持部材の内側部分であ
る、請求項１に記載の圧電共振子の保持構造。
【請求項４】前記保持部材において、前記圧電共振子
に接する部分の一部分から前記支持部材側の部分の一部
分にわたる部分を、前記振動伝播抑制材料で形成した、
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の圧電共振子
の保持構造。
【請求項５】前記振動伝播抑制材料はウレタンまたは
シリコンを含む、請求項１ないし請求項４のいずれかに
記載の圧電共振子の保持構造。
【請求項６】請求項１ないし請求項５のいずれかに記
載の圧電共振子の保持構造を有する圧電部品であって、前記支持部材は基板であり、前記圧電共振子を覆うように前記基板に蓋が設けられ
た、圧電部品。
【請求項７】前記圧電共振子として複数の圧電共振子
を含む、請求項６に記載の圧電部品。