JP3677673B2 - 圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品 - Google Patents
圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3677673B2 JP3677673B2 JP26830399A JP26830399A JP3677673B2 JP 3677673 B2 JP3677673 B2 JP 3677673B2 JP 26830399 A JP26830399 A JP 26830399A JP 26830399 A JP26830399 A JP 26830399A JP 3677673 B2 JP3677673 B2 JP 3677673B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric resonator
- holding
- substrate
- component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 7
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 7
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/178—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of a laminated structure of multiple piezoelectric layers with inner electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
- H03H9/0514—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品に関し、特に長さ振動を利用した圧電共振子を保持部材を介してたとえば基板などの支持部材に保持するための圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品に関する。
【0002】
【従来の技術】
図7はこの発明の背景となりかつこの発明が適用される圧電共振子の一例を示す図解図であり、図8はその圧電共振子に用いられる基体に絶縁膜を形成した状態を示す平面図である。図7に示す圧電共振子10は、長さ4mm、幅1mm、高さ1mmの直方体状の基体12を含む。基体12は、たとえば圧電セラミックからなり積層される20層の圧電体層14を含む。これらの圧電体層14は、それぞれ、同じ寸法に形成される。また、これらの圧電体層14は、図7の矢印で示すように、隣合う圧電体層14の分極方向が互いに逆向きになるように基体12の長手方向に分極される。ただし、両端の圧電体層14は、分極されていない。
【0003】
基体12の20層の圧電体層14間には、内部電極16が、それぞれ形成される。したがって、これらの内部電極16は、基体12の長手方向に直交しかつ基体12の長手方向に間隔を隔てて配置される。また、これらの内部電極16は、圧電体層14の主面全面に形成される。したがって、これらの内部電極16は、基体12の4側面から露出するように形成される。
【0004】
基体12の1つの側面部分には、その幅方向における中央に、溝17が形成される。また、基体12の1つの側面部分において、溝17を除く幅方向における一方側部分では、1つおきの内部電極16の端部が絶縁膜18でそれぞれ被覆される。さらに、基体12の1つの側面部分において、溝17を除く幅方向における他方側部分では、他の1つおきの内部電極16の端部が絶縁膜20でそれぞれ被覆される。
【0005】
また、基体12の1つの側面部分において、外部電極22が、1つおきの内部電極16上に形成した絶縁膜18などの上に、他の1つおきの内部電極16に接続されるように形成される。さらに、基体12の1つの側面部分において、外部電極24が、1つおきの内部電極16に接続されるように、他の1つおきの内部電極16上に形成した絶縁膜20などの上に形成される。
【0006】
図7に示す圧電共振子10では、外部電極22、24が入出力電極として使用される。このとき、外部電極22、24に信号を与えることにより、隣合う層の内部電極16、16間に電界が印加されるため、基体12の両端の圧電体層14を除く各圧電体層14は圧電的に活性となる。この場合、基体12の互いに逆向きに分極した圧電体層14に、互いに逆向きの電界が印加されるため、圧電体層14は全体として同じ向きに伸縮しようとする。つまり、外部電極22、24に接続された内部電極16、16によって、個々の圧電体層14に、基体12の長手方向の交流電界を印加し、個々の圧電体層14に伸縮の駆動力を発生させることによって、圧電共振子10全体としては、基体12の長手方向の中心部をノードとした長さ振動の基本振動が励振される。
【0007】
次に、図7に示す圧電共振子10を保持部材を介して支持部材としての基板に保持した従来の圧電部品の一例について説明する。図9は従来の圧電部品の一例において圧電共振子を保持する前の状態を示す図解図であり、図10はその圧電部品において圧電共振子を保持した後の状態を示す図解図である。図9および図10に示す圧電部品1は、支持部材としての基板2を含む。基板2上には、2つのパターン電極3、3が形成される。そして、圧電共振子10の外部電極22、24の長手方向における中央には、ウレタン系合成樹脂にAgを85wt%含有したウレタン系導電材料からなる保持部材4がそれぞれ形成される。そして、それらの保持部材4、4は、基板2の2つのパターン電極3、3に、それぞれ、エポキシ系合成樹脂にAgを含有したエポキシ系導電材料からなる導電ペースト5で接着される。それによって、圧電共振子10の外部電極22、24が保持部材4、4を介して基板2上の2つのパターン電極3、3にそれぞれ電気的に接続され、圧電共振子10が保持部材4、4を介して基板2に保持される。この場合、圧電共振子10の長手方向における保持部材4の上部の寸法W1は、大きいほど振動が伝播しやすく、1.0mm〜1.4mmである。また、圧電共振子10の長手方向における保持部材4の下部の寸法W2は、特に振動の伝播とは関係が薄いが、たとえば0.5mm以上である。さらに、保持部材4の厚みt1は、保持部材4の固さや保持部材4中のAgの含有量によっても振動の伝播量が変化するが、保持部材4の厚み方向でも振動の伝播をある程度減衰でき、厚いほど振動の伝播は少なく、また、製品の高さで上限があり、たとえば130μm〜170μmである。また、導電ペースト5の接着前(図9参照)の厚みt2は、振動の伝播とは直接関係ないが、35μm〜55μmである。
【0008】
なお、図9および図10に示す圧電部品1では、図11に示すインピーダンス特性および位相特性を有するとともに、図12に示すフィルタ特性を有する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述の従来の圧電部品1では、振動の伝播を抑制するために保持部材4の上部の寸法W1を小さくすると、必然的に保持部材4の下部の寸法W2も小さくなり、保持強度をかせげない。一方、保持部材4の下部の寸法W2を規格の0.5mm以上にするためには、保持部材4の上部の寸法W1は0.9mm以上になり、振動を伝播しやすくなる。
また、上述の従来の圧電部品1では、振動の伝播を抑制するために保持部材4の厚みt1を大きくすると製品の高さが高くなり、軽薄短小に逆行する。そして、現状の商品では最大の高さが1.9mmから1.7mmまたは1.5mmへの要求も強く、ますます保持部材4の高さも減少していくため、エネルギーの伝播量を減らす方向の検討が必要である。
さらに、上述の従来の圧電部品1の構造、寸法で振動の伝播を抑制するには、保持部材4や導電ペースト5の材料の改善が必要となるが、効果のある低ヤング率化に関しては、強度面と圧電共振子の切出しないしダイサーカットの際のカット性により不可である。また、保持部材4中のAgフィラーを通して、振動を伝播しているのが明確になっており、Ag量を減らせば振動の伝播を抑制できるが、導通を確保するためには現在のウレタン系合成樹脂をベースにした導電ペーストではAgの含有量を80wt%以下に減らすことは不可能である。
【0010】
それゆえに、この発明の主たる目的は、圧電共振子の支持部材への保持強度を維持しながら圧電共振子から支持部材への振動の伝播を抑制することができる、圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この発明にかかる圧電共振子の保持構造は、長さ振動を利用した圧電共振子を保持部材を介して支持部材に保持するための圧電共振子の保持構造であって、前記保持部材は、前記圧電共振子の長手方向に関する長さが前記圧電共振子側で短く前記支持部材側で長いウレタン系導電材料と、前記圧電共振子の長手方向に関して前記ウレタン系導電材料の両側において前記ウレタン系導電材料および前記圧電共振子にのみ接し、前記保持部材には接しない振動伝播抑制材料としてのウレタンまたはシリコンからなる材料で形成されている、圧電共振子の保持構造である。また、この発明にかかる圧電部品は、上述のこの発明にかかる圧電共振子の保持構造を有する圧電部品であって、支持部材は基板であり、圧電共振子を覆うように基板に蓋が設けられる。この発明にかかる圧電部品では、圧電共振子として複数の圧電共振子を含んでもよい。
【0012】
この発明にかかる圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品では、保持部材において圧電共振子に接する部分の一部分が振動伝播抑制材料で形成されるため、圧電共振子の支持部材への保持強度を維持しながら圧電共振子から支持部材への振動の伝播を抑制することができる。
【0013】
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1はこの発明にかかる圧電部品の一例を示す分解斜視図であり、図2はその圧電部品の要部を示す正面図であり、図3はその圧電部品において圧電共振子を保持する前の状態を示す図解図であり、図4はその圧電部品において圧電共振子を保持した後の状態を示す図解図である。
【0015】
図1に示す圧電部品30は支持部材としての基板32を含む。基板32の対向する端部には、それぞれ2つずつの凹部34が形成される。基板32の一方面上には、2つのパターン電極36、38が形成される。一方のパターン電極36は、対向する凹部34間に形成され、その一端側から基板32の中央部に向かって、L字状に延びる部分を有する。また、他方のパターン電極38は、別の対向する凹部34間に形成され、その他端側から基板32の中央部に向かって、L字状に延びる部分を有する。これらのパターン電極36、38は、基板32の凹部34から他方面に向かって、回り込むように形成される。
【0016】
基板32の中央部には、図21に示す圧電共振子10が2つの保持部材40、40を介して保持される。この場合、2つの保持部材40、40は、圧電共振子10の2つの外部電極22、24の長手方向における中央部にそれぞれ形成される。
【0017】
一方の保持部材40は、外部電極22に接する部分であって圧電共振子10の長手方向における両方の外側部分40a、40aが、圧電共振子10からその保持部材40を介して基板32への振動の伝播を抑制するためのたとえばウレタンまたはシリコンなどの振動伝播抑制材料で形成される。また、一方の保持部材40は、両方の外側部分40a、40aの他の部分40bが、ウレタン系合成樹脂にAgを85wt%含有したウレタン系導電材料で形成される。なお、ウレタン系導電材料としては、ウレタン系合成樹脂にAgを85wt%含有したものに限らず、ウレタン系合成樹脂にAgをたとえば80wt%以上85wt%未満含有したものであってもよい。
【0018】
同様に、他方の保持部材40は、外部電極24に接する部分であって圧電共振子10の長手方向における両方の外側部分40a、40aが、圧電共振子10からその保持部材40を介して基板32への振動の伝播を抑制するためのたとえばウレタンまたはシリコンなどの振動伝播抑制材料で形成され、両方の外側部分40a、40aの他の部分40bが、ウレタン系合成樹脂にAgを85wt%含有したウレタン系導電材料で形成される。
【0019】
この場合、圧電共振子10の長手方向における保持部材40の外側部分40a、40a間の寸法X1は、たとえば0.3mm〜0.5mm(圧電共振子10の長さの7.5%〜12.5%)であるが、たとえば1.0mm以下(圧電共振子10の長さの25%以下)であってもよく、他の寸法であってもよい。なお、寸法X1の下限は、外部電極22、24とパターン電極36、38との導通性を確保する面から決定される。
また、圧電共振子10の長手方向における保持部材40の下部の寸法X2は、たとえば0.5mm以上であるが、他の寸法であってもよい。
さらに、圧電共振子10の長手方向における保持部材40の上部の寸法X3は、マウント機の治具からたとえば1.5mm以下にすることが好ましく、また、寸法X2から考えてたとえば0.8mm以上(圧電共振子10の長さの20%以上)にすることが好ましいが、他の寸法であってもよい。
また、保持部材40の外側部分40a、40aの厚みT1は、たとえば20μmであるが、他の寸法であってもよい。
さらに、保持部材40の外側部分40a、40aの他の部分40bの厚みと外側部分40a、40aの厚みの差T2は、0mm以上であればよい。
また、保持部材40の厚みT3は、たとえば200μmであるが、他の寸法であってもよい。
【0020】
そして、2つの保持部材40、40は、基板32の2つパターン電極36、38に、それぞれ、エポキシ系合成樹脂にAgを含有したエポキシ系導電材料からなる導電ペースト42で接着される。それによって、圧電共振子10の外部電極22、24が保持部材40、40を介して基板32上の2つのパターン電極36、38にそれぞれ電気的に接続され、圧電共振子10が保持部材40、40を介して基板32に保持される。
【0021】
さらに、基板32上では、蓋としての金属キャップ44が圧電共振子10にかぶせられる。この場合、金属キャップ44とパターン電極36、38とが導通しないように、基板32およびパターン電極36、38上に絶縁性樹脂などの絶縁物が塗布される。そして、金属キャップ44がかぶせられることによって、たとえば、圧電発振子や圧電ディスクリミネータなどの圧電部品30が作製される。この圧電部品30では、基板32の凹部34から裏面に回り込むように形成されたパターン電極36、38が、外部回路と接続するための入出力端子として用いられる。
【0022】
図1に示す圧電部品30では、保持部材40において圧電共振子10に接する部分の一部分である外側部分40a、40aが振動伝播抑制材料で形成されるため、圧電共振子10の基板32への保持強度を維持しながら圧電共振子10から基板32への振動の伝播を抑制することができる。
【0023】
また、図1に示す圧電部品30では、図5に示すインピーダンス特性および位相特性を有するとともに、図6に示すフィルタ特性を有する。図5に示すインピーダンス特性および位相特性などより、図1に示す圧電部品30では、図9および図10に示す圧電部品1よりノイズが少ないことが分かる。さらに、25℃から−30℃に変化した場合、図1に示す圧電部品30では、中心周波数が0.5kHz高くなるのに対して、図9および図10に示す圧電部品1では、中心周波数が1.5kHz高くなる。そのため、図1に示す圧電部品30では、図9および図10に示す圧電部品1と比べて、温度特性に対しても良好な特性が得られる。
【0044】
なお、上述の各圧電部品30では圧電共振子として図21に示す特別な構造の圧電共振子10が用いられているが、この発明ではたとえば単板状などの他の構造の圧電共振子が用いられてもよい。
【0045】
また、上述の各圧電部品30において各部分が特別の寸法や特別の形状であるが、各部分は他の寸法や他の形状であってもよい。
【0047】
【発明の効果】
この発明によれば、圧電共振子の支持部材への保持強度を維持しながら圧電共振子から支持部材への振動の伝播を抑制することができる、圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明にかかる圧電部品の一例を示す分解斜視図である。
【図2】 図1に示す圧電部品の要部を示す正面図である。
【図3】 図1に示す圧電部品において圧電共振子を保持する前の状態を示す図解図である。
【図4】 図1に示す圧電部品において圧電共振子を保持した後の状態を示す図解図である。
【図5】 図1に示す圧電部品のインピーダンス特性および位相特性を示すグラフである。
【図6】 図1に示す圧電部品のフィルタ特性を示すグラフである。
【図7】 この発明の背景となりかつこの発明が適用される圧電共振子の一例を示す図解図である。
【図8】 図7に示す圧電共振子に用いられる基体に絶縁膜を形成した状態を示す平面図である。
【図9】 従来の圧電部品の一例において圧電共振子を保持する前の状態を示す図解図である。
【図10】 図9に示す圧電部品において圧電共振子を保持した後の状態を示す図解図である。
【図11】 図9および図10に示す圧電部品のインピーダンス特性および位相特性を示すグラフである。
【図12】 図9および図10に示す圧電部品のフィルタ特性を示すグラフである。
【符号の説明】
10 圧電共振子
12 基体
14 圧電体層
16 内部電極
17 溝
18、20 絶縁膜
22、24 外部電極
30 圧電部品
32 基板
34 凹部
36、38 パターン電極
40 保持部材
40a 外側部分
40b 他の部分
42 導電ペースト
44 金属キャップ
Claims (3)
- 長さ振動を利用し、長手方向に沿って一対の外部電極を有する圧電共振子を前記外部電極の長手方向における中央部のみに接する保持部材を介して支持部材に保持するための圧電共振子の保持構造であって、
前記保持部材は、前記圧電共振子の長手方向に関する長さが前記圧電共振子側で短く前記支持部材側で長いウレタン系導電材料と、前記圧電共振子の長手方向に関して前記ウレタン系導電材料の両側において前記ウレタン系導電材料および前記圧電共振子にのみ接し、前記保持部材には接しない振動伝播抑制材料としてのウレタンまたはシリコンからなる材料で形成されている、圧電共振子の保持構造。 - 請求項1に記載の圧電共振子の保持構造を有する圧電部品であって、
前記支持部材は基板であり、
前記圧電共振子を覆うように前記基板に蓋が設けられた、圧電部品。 - 前記圧電共振子として複数の圧電共振子を含む、請求項2に記載の圧電部品。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26830399A JP3677673B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-09-22 | 圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品 |
EP00105223A EP1041714A3 (en) | 1999-03-30 | 2000-03-13 | Piezoelectric resonator supporting structure and a piezoelectric part including the same |
US09/537,591 US6376970B1 (en) | 1999-03-30 | 2000-03-28 | Piezoelectric resonator supporting structure and a piezoelectric component including the same |
CNB00104947XA CN1147994C (zh) | 1999-03-30 | 2000-03-29 | 压电谐振器支持结构和含有该结构的压电元件 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8956299 | 1999-03-30 | ||
JP11-89562 | 1999-03-30 | ||
JP26830399A JP3677673B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-09-22 | 圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000349585A JP2000349585A (ja) | 2000-12-15 |
JP3677673B2 true JP3677673B2 (ja) | 2005-08-03 |
Family
ID=26430982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26830399A Expired - Fee Related JP3677673B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-09-22 | 圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6376970B1 (ja) |
EP (1) | EP1041714A3 (ja) |
JP (1) | JP3677673B2 (ja) |
CN (1) | CN1147994C (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7407538B2 (en) * | 2004-09-08 | 2008-08-05 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | IR transparent inkjet ink set |
CN106935700A (zh) * | 2017-03-24 | 2017-07-07 | 苏州权素船舶电子有限公司 | 一种电子元器件 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1197129A (en) * | 1968-06-04 | 1970-07-01 | Gen Electric & English Elect | Improvements in or relating to Monolithic Crystal Filters |
US3733590A (en) * | 1971-04-15 | 1973-05-15 | A Kaufman | Optimum electrode configuration ceramic memories with ceramic motor element and mechanical damping |
JPH08335847A (ja) * | 1995-06-08 | 1996-12-17 | Murata Mfg Co Ltd | 厚みすべり振動型2重モードフィルタ |
JP3045053B2 (ja) * | 1995-10-11 | 2000-05-22 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
US6016024A (en) * | 1996-04-05 | 2000-01-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric component |
JPH118526A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 |
JP3262050B2 (ja) * | 1997-10-03 | 2002-03-04 | 株式会社村田製作所 | 電子部品およびラダーフィルタ |
JPH11150153A (ja) * | 1997-11-18 | 1999-06-02 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
-
1999
- 1999-09-22 JP JP26830399A patent/JP3677673B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-03-13 EP EP00105223A patent/EP1041714A3/en not_active Withdrawn
- 2000-03-28 US US09/537,591 patent/US6376970B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-03-29 CN CNB00104947XA patent/CN1147994C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6376970B1 (en) | 2002-04-23 |
EP1041714A3 (en) | 2001-06-27 |
EP1041714A2 (en) | 2000-10-04 |
JP2000349585A (ja) | 2000-12-15 |
CN1147994C (zh) | 2004-04-28 |
CN1270446A (zh) | 2000-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3378775B2 (ja) | 圧電共振子およびその周波数調整方法 | |
US5548180A (en) | Vibrator resonator and resonance component utilizing width expansion mode | |
JPH08288785A (ja) | 幅モードを利用した共振子及び共振部品 | |
JP3262049B2 (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 | |
JP3267171B2 (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 | |
JPH10107579A (ja) | 圧電部品 | |
JP3677673B2 (ja) | 圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品 | |
JPH1084244A (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 | |
JPH10126203A (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 | |
JPH118526A (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 | |
US6064142A (en) | Piezoelectric resonator and electronic component containing same | |
JP2016105581A (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP3271538B2 (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 | |
JP3378163B2 (ja) | 圧電部品 | |
JP3077523B2 (ja) | 圧電共振子 | |
JP2001358554A (ja) | 圧電共振部品 | |
JP2000114912A (ja) | 圧電部品 | |
JP3846779B2 (ja) | 圧電振動子、圧電部品及びその製造方法 | |
JPH11112277A (ja) | 電子部品およびラダーフィルタ | |
JPH07147526A (ja) | 幅拡がりモードを利用した振動体、共振子及び共振部品 | |
JP3395665B2 (ja) | 圧電部品 | |
JP3262021B2 (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 | |
JPH1065485A (ja) | 圧電共振子 | |
JPH11234083A (ja) | 圧電部品及びその製造方法 | |
JP2001358559A (ja) | ラダー型フィルタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050426 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090520 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090520 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100520 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100520 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110520 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120520 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120520 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130520 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130520 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |