JP2000334403A - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
- Publication number
- JP2000334403A JP2000334403A JP11153141A JP15314199A JP2000334403A JP 2000334403 A JP2000334403 A JP 2000334403A JP 11153141 A JP11153141 A JP 11153141A JP 15314199 A JP15314199 A JP 15314199A JP 2000334403 A JP2000334403 A JP 2000334403A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- liquid
- nozzle port
- ultrasonic
- port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 超音波洗浄装置のハウジングは一般にステン
レス又はテフロン（登録商標）で構成されているため、
薬液をノズル口から噴出すると、ノズル口の周囲が侵食
され、この侵食されたものがパーティクルとして発生
し、洗浄するウエハーの液晶等に悪影響を与える。 【解決手段】 ハウジング１に空洞部１ａが形成され、
この空洞部１ａの端部にノズル口１ｂが形成され、ノズ
ル口１ｂの対抗部分に段付き部１ｃが形成され、この段
付き部１ｃにパッキン２を介して超音波振動子３が装着
され、この超音波振動子３にリード線４が接続され、
又、段付き部１ａの近傍のハウジング１に液体流入口５
が装着され、このハウジング１はシリコンカーバイトに
よって構成されている。
レス又はテフロン（登録商標）で構成されているため、
薬液をノズル口から噴出すると、ノズル口の周囲が侵食
され、この侵食されたものがパーティクルとして発生
し、洗浄するウエハーの液晶等に悪影響を与える。 【解決手段】 ハウジング１に空洞部１ａが形成され、
この空洞部１ａの端部にノズル口１ｂが形成され、ノズ
ル口１ｂの対抗部分に段付き部１ｃが形成され、この段
付き部１ｃにパッキン２を介して超音波振動子３が装着
され、この超音波振動子３にリード線４が接続され、
又、段付き部１ａの近傍のハウジング１に液体流入口５
が装着され、このハウジング１はシリコンカーバイトに
よって構成されている。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、ハウジングにシリ
コンカーバイトを使用して各種薬液に対して使用するこ
とができる超音波洗浄装置に関するものである。
コンカーバイトを使用して各種薬液に対して使用するこ
とができる超音波洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、端部にノズル口が形成され、中間
内部に段付き部が構成され、かつ該段付き部の近傍に液
体流入口が装着されたハウジングの前記段付き部にパッ
キンを介して超音波振動子を装着した超音波洗浄装置を
本出願人が提案している。
内部に段付き部が構成され、かつ該段付き部の近傍に液
体流入口が装着されたハウジングの前記段付き部にパッ
キンを介して超音波振動子を装着した超音波洗浄装置を
本出願人が提案している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この超音波洗浄装置
は、液体流入口から液体を流入させて超音波振動子を振
動させると、液体とともに超音波を前記ノズル口から流
出させることができ、このノズル口の近傍に設けた被洗
浄物を液体及び超音波で洗浄するようにしたものである
が、この超音波洗浄装置のハウジングは一般にステンレ
ス又はテフロンで構成されているため、薬液をノズル口
から噴出すると、ノズル口の周囲が侵食され、この侵食
されたものがパーティクルとして発生し、洗浄するウエ
ハーの液晶等に悪影響を与えるという欠点があった。
は、液体流入口から液体を流入させて超音波振動子を振
動させると、液体とともに超音波を前記ノズル口から流
出させることができ、このノズル口の近傍に設けた被洗
浄物を液体及び超音波で洗浄するようにしたものである
が、この超音波洗浄装置のハウジングは一般にステンレ
ス又はテフロンで構成されているため、薬液をノズル口
から噴出すると、ノズル口の周囲が侵食され、この侵食
されたものがパーティクルとして発生し、洗浄するウエ
ハーの液晶等に悪影響を与えるという欠点があった。
【０００４】
【課題を解決しようとする手段】本発明は、端部にノズ
ル口が形成され、中間内部に段付き部が構成され、かつ
該段付き部の近傍に液体流入口が装着されたハウジング
と、該ハウジングの前記段付き部にパッキンを介して前
記ノズル口と対向して装着した超音波振動子とからな
り、前記液体流入口から液体を流入させ、超音波ととも
に液体を前記ノズル口から流出してノズル口の近傍に設
けた被洗浄物を洗浄するようにした超音波洗浄装置にお
いて、前記ハウジングがシリコンカーバイトによって構
成されるものである。
ル口が形成され、中間内部に段付き部が構成され、かつ
該段付き部の近傍に液体流入口が装着されたハウジング
と、該ハウジングの前記段付き部にパッキンを介して前
記ノズル口と対向して装着した超音波振動子とからな
り、前記液体流入口から液体を流入させ、超音波ととも
に液体を前記ノズル口から流出してノズル口の近傍に設
けた被洗浄物を洗浄するようにした超音波洗浄装置にお
いて、前記ハウジングがシリコンカーバイトによって構
成されるものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明では、ハウジングをシリコ
ンカーバイトで構成することにより、液体流入口から薬
液を流入し、ノズル口から液体と超音波を噴出しても、
ハウジングのノズル口が侵食されることがないので、パ
ーティクルが発生せず、ウエハーの液晶の洗浄に非常に
よい結果を与える。
ンカーバイトで構成することにより、液体流入口から薬
液を流入し、ノズル口から液体と超音波を噴出しても、
ハウジングのノズル口が侵食されることがないので、パ
ーティクルが発生せず、ウエハーの液晶の洗浄に非常に
よい結果を与える。
【０００６】
【実施例】図１は本発明の１実施例の超音波洗浄装置の
側面断面図で、ハウジング１に空洞部１ａが形成され、
この空洞部１ａの端部にノズル口１ｂが形成され、ノズ
ル口１ｂの対抗部分に段付き部１ｃが形成され、この段
付き部１ｃにパッキン２を介して超音波振動子３が装着
され、この超音波振動子３にリード線４が接続され、
又、段付き部１ａの近傍のハウジング１に液体流入口５
が装着され、このハウジング１はシリコンカーバイトに
よって構成されている。
側面断面図で、ハウジング１に空洞部１ａが形成され、
この空洞部１ａの端部にノズル口１ｂが形成され、ノズ
ル口１ｂの対抗部分に段付き部１ｃが形成され、この段
付き部１ｃにパッキン２を介して超音波振動子３が装着
され、この超音波振動子３にリード線４が接続され、
又、段付き部１ａの近傍のハウジング１に液体流入口５
が装着され、このハウジング１はシリコンカーバイトに
よって構成されている。
【０００７】このように構成された本実施例の超音波洗
浄装置では、図２に示すように、超音波振動子３にリー
ド線４を介して高周波発振装置６が接続され、液体流入
口５に液体供給装置７が接続され、液体供給装置７から
ハウジング１の空洞部１ａに液体が供給され、超音波振
動子３に高周波発振装置５から高周波電力が供給される
と、ノズル口１ｂの前に設置した被洗浄物８にノズル口
１ｂから液体とともに超音波が流出されるので、それに
よって被洗浄物８の表面が洗浄されるが、この時、液体
として薬液を使用すると、ハウジング１のノズル口１ｂ
が侵食されるが、本発明では、ハウジング１がシリコン
−カーバイトで構成されているので、ハウジング１のノ
ズル口１ｂが侵食されることがなく、パーチクルが発生
しないので、ウエハーの液晶のような被洗浄物に悪影響
を及ぼすことがない。
浄装置では、図２に示すように、超音波振動子３にリー
ド線４を介して高周波発振装置６が接続され、液体流入
口５に液体供給装置７が接続され、液体供給装置７から
ハウジング１の空洞部１ａに液体が供給され、超音波振
動子３に高周波発振装置５から高周波電力が供給される
と、ノズル口１ｂの前に設置した被洗浄物８にノズル口
１ｂから液体とともに超音波が流出されるので、それに
よって被洗浄物８の表面が洗浄されるが、この時、液体
として薬液を使用すると、ハウジング１のノズル口１ｂ
が侵食されるが、本発明では、ハウジング１がシリコン
−カーバイトで構成されているので、ハウジング１のノ
ズル口１ｂが侵食されることがなく、パーチクルが発生
しないので、ウエハーの液晶のような被洗浄物に悪影響
を及ぼすことがない。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超音波洗
浄装置では、ハウジングにシリコンカーバイトを使用し
て構成しているので、ハウジングが侵食することがな
く、侵食によるパーチクルが発生しないので、ウエハー
等の洗浄に非常に効果があるという利点がある。
浄装置では、ハウジングにシリコンカーバイトを使用し
て構成しているので、ハウジングが侵食することがな
く、侵食によるパーチクルが発生しないので、ウエハー
等の洗浄に非常に効果があるという利点がある。
【図１】本発明の１実施例の超音波洗浄装置の側面断面
図である。
図である。
【図２】図１の超音波洗浄装置で被洗浄物を洗浄する状
態を示した図である。
態を示した図である。
１ ハウジング ２ パッキン ３ 超音波振動子 ４ リード線 ５ 液体流入口子 ６ 高周波発振装置 ７ 液体供給装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 舞田 雄一 愛知県豊橋市大岩町字小山塚20番地 本多 電子株式会社内 (72)発明者 三浦 宏樹 愛知県豊橋市大岩町字小山塚20番地 本多 電子株式会社内 Ｆターム(参考） 3B201 AA02 AA03 AB42 BB32 BB83 4D074 AA09 DD09 DD22 DD34 DD55 DD70
Claims (1)
- 【請求項１】 端部にノズル口が形成され、中間内部に
段付き部が構成され、かつ該段付き部の近傍に液体流入
口が装着されたハウジングと、該ハウジングの前記段付
き部にパッキンを介して前記ノズル口に対向して装着し
た超音波振動子とからなり、前記液体流入口から液体を
流入させ、超音波とともに液体を前記ノズル口から流出
してノズル口の近傍に設けた被洗浄物を洗浄するように
した超音波洗浄装置において、前記ハウジングがシリコ
ンカーバイトによって構成されることを特徴とする超音
波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11153141A JP2000334403A (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11153141A JP2000334403A (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 超音波洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000334403A true JP2000334403A (ja) | 2000-12-05 |
Family
ID=15555921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11153141A Pending JP2000334403A (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000334403A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6511914B2 (en) * | 1999-01-22 | 2003-01-28 | Semitool, Inc. | Reactor for processing a workpiece using sonic energy |
| SG130976A1 (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-26 | United Technologies Corp | Squirter jet ultrasonic cleaning |
| CN109201586A (zh) * | 2018-10-15 | 2019-01-15 | 神铄环保科技（江苏）有限公司 | 一种绝缘瓷瓶用超声波清洗装置 |
| JP6507358B1 (ja) * | 2018-07-25 | 2019-05-08 | 本多電子株式会社 | 流水式超音波洗浄機及びそのノズル、超音波洗浄方法 |
| CN116516486A (zh) * | 2023-07-03 | 2023-08-01 | 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 | 一种碳化硅晶体生长中抑制表面台阶粗化的方法 |
-
1999
- 1999-05-31 JP JP11153141A patent/JP2000334403A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6511914B2 (en) * | 1999-01-22 | 2003-01-28 | Semitool, Inc. | Reactor for processing a workpiece using sonic energy |
| SG130976A1 (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-26 | United Technologies Corp | Squirter jet ultrasonic cleaning |
| JP6507358B1 (ja) * | 2018-07-25 | 2019-05-08 | 本多電子株式会社 | 流水式超音波洗浄機及びそのノズル、超音波洗浄方法 |
| CN110730693A (zh) * | 2018-07-25 | 2020-01-24 | 本多电子株式会社 | 水流式超声波清洗机及其喷头、超声波清洗方法 |
| WO2020021648A1 (ja) * | 2018-07-25 | 2020-01-30 | 本多電子株式会社 | 流水式超音波洗浄機及びそのノズル、超音波洗浄方法 |
| KR20200012835A (ko) | 2018-07-25 | 2020-02-05 | 혼다덴시 가부시키가이샤 | 유수식 초음파 세정기 및 그 노즐, 초음파 세정 방법 |
| CN109201586A (zh) * | 2018-10-15 | 2019-01-15 | 神铄环保科技（江苏）有限公司 | 一种绝缘瓷瓶用超声波清洗装置 |
| CN116516486A (zh) * | 2023-07-03 | 2023-08-01 | 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 | 一种碳化硅晶体生长中抑制表面台阶粗化的方法 |
| CN116516486B (zh) * | 2023-07-03 | 2023-09-19 | 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 | 一种碳化硅晶体生长中抑制表面台阶粗化的方法 |
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