JP2000292138A - 真球度測定装置及び真球度測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ボール等の球状体である被測定物の真球度を自
動的に測定することができ、測定の高精度化等を図れる
ようにする。 【解決手段】球状をなす被測定物Ｗの真球度を測定する
真球度測定装置において、被測定物Ｗを支持する支持平
板２０と、支持平板に支持された被測定物を凹部２１に
て回転（自転）させる回転平板３０と、支持平板に支持
された測定物を上方から撮像するＣＣＤカメラ４０と、
被測定物を挟んでＣＣＤカメラと対向するように配置さ
れ上方に向けて光を照射するハロゲンランプ５０と、Ｃ
ＣＤカメラ４０により撮像された被測定物の複数の画像
データに基づいて被測定物の直径を複数個算出して真球
度を測定する画像処理機能をもつコンピュータ６０とを
設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、輪郭が球状をなす
球状体、例えば、コンピュータ周辺機器であるマウスの
ゴム製ボール、あるいは軸受け用の鋼球等その他の球状
体を被測定物として、その真球度を測定する真球度測定
装置及び真球度測定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ機器のマウスに使用されて
いるボール等は、その回転を滑らかにするために真球に
近い輪郭であることが要求される。そこで、型成形等に
より製造されたボールは、その真球度が測定されて、所
定の基準を満足しないものは不良品として処理され、基
準を満たすものだけが良品として処理され、製品に組み
込まれている。この真球度を測定するにあたり、従来に
おいては、作業者が工具顕微鏡等を覗き込んで、ボール
の直径を複数点にわたって測定し、測定により得られた
複数の直径値のバラツキにより、そのボールの真球度を
判断していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の測定手法において、測定精度を高めるには、
測定点の個数を多くする必要があるものの、作業者によ
る手作業であるため、測定点の増加に伴ってその測定作
業に長時間を要することになる。また、測定作業が人に
よるため、測定にバラツキを生じ易く、測定点を多くし
てもそれに応じて高精度な結果が得られるとは限らなか
った。また、大量のボールの真球度を測定する場合は、
複数の作業者が必要となり、製造ラインのコスト削減あ
るいは省人化が困難であった。

【０００４】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
成されたものであり、その目的とするところは、ボール
等の球状体である被測定物の真球度を測定するにあた
り、その測定作業の自動化を図ることができ、又、測定
の高精度化を図ることのできる真球度測定装置及び真球
度測定方法を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の目的
を達成するべく鋭意検討を重ねた結果、以下の如き構成
をなす発明を見出すに至った。すなわち、本発明の真球
度測定装置は、輪郭が球状をなす被測定物の真球度を測
定する真球度測定装置であって、被測定物を支持する支
持手段と、この支持手段に支持された被測定物を所定位
置にて回転させる回転手段と、支持手段に支持された被
測定物を撮像する撮像手段と、被測定物を挟んで撮像手
段と対向するように配置されて上記撮像手段に向けて光
を照射する照明手段と、撮像手段により撮像された被測
定物の複数の画像データに基づいて被測定物の直径を複
数個算出して真球度を測定する画像処理手段と、を有す
ることを特徴としている。

【０００６】上記構成において、画像処理手段が、複数
の画像データの各画素を、その受光量に基づいて明領域
と暗領域との２つの領域に区分けする領域区分手段と、
この領域区分手段により区分けされた明領域と暗領域と
の境界線上の任意の３点を選択すると共にこの３点を通
る円の中心点の位置を算出する中心位置算出手段と、こ
の中心位置算出手段により算出された中心点を通る直線
が上記境界線と交差する２点間距離を直径として、上記
境界線の全周に渡って所定の角度間隔ごとに算出する直
径算出手段と、この直径算出手段により算出された複数
の直径の最大値と最小値との差を算出する直径差算出手
段と、この直径差算出手段によって算出された直径差に
基づいて被測定物の真球度を判別する判別手段とを有す
る構成を採用することができる。

【０００７】また、上記構成において、支持手段が、照
明手段から照射される照射光を透過させると共に被測定
物を所定位置にて回転自在に支持する支持平板であり、
回転手段が、照明手段から照射される照射光を透過させ
ると共に上記支持平板と協働して被測定物を挟持するよ
うに支持平板と平行に配置されかつ支持平板と平行な面
内において回転させられる回転平板である、構成を採用
することができる。また、上記構成において、支持平板
に対して、被測定物を所定位置に留めるための凹部が形
成された構成を採用することができる。さらに、上記構
成において、回転平板に対して、被測定物を支持平板と
の間に対して出し入れするための開口部が形成された構
成を採用することができる。

【０００８】本発明の真球度測定方法は、輪郭が球状を
なす被測定物の真球度を測定する真球度測定方法であっ
て、被測定物を所定位置にて支持して回転させつつ、被
測定物の背後から光を照射して、その前方から被測定物
を撮像する撮像ステップと、この撮像ステップにより撮
像された複数の画像データを、その各画素の受光量に基
づいて、明領域と暗領域との２つの領域に区分けする領
域区分ステップと、この領域区分ステップにより得られ
た明領域と暗領域との境界線上の任意の３点を選択する
と共にこの３点を通る円の中心点の位置を算出する中心
位置算出ステップと、この中心位置算出ステップにより
算出された中心点を通る直線が上記境界線と交差する２
点間距離を直径として、境界線の全周に渡って所定の角
度間隔ごとに算出する直径算出ステップと、この直径算
出ステップにより算出された複数の直径の最大値と最小
値との差を算出する直径差算出ステップと、この直径差
算出ステップにより算出された直径差に基づいて被測定
物の真球度を判別する判別ステップと、を有することを
特徴としている。

【０００９】上記真球度測定装置及び真球度測定方法に
おいては、照明手段から照射された照射光は、その一部
が被測定物によって遮られ、その残りが撮像手段に入射
する。この状態において、支持手段に支持された被測定
物を回転手段により所定位置にて回転させつつ、被測定
物を含む領域を撮像手段により撮像する。この撮像によ
り得られた複数の画像データは、被測定物に対応する領
域では暗く、この領域から径方向外側に向かって徐々に
明るくなる。この画像データは、各画素の受光量に基づ
いて明領域と暗領域の２つの領域に区分けされ、中心位
置算出手段によって明領域と暗領域の境界線で形成され
る円周上の任意の３点を通る円の中心点が算出される。
そして、上記中心点を通る直線が上記境界線と交差する
２点間距離を直径として、境界線の全周に渡って所定の
角度間隔ごとに算出される。続いて、算出された複数の
直径の最大値と最小値との差が算出される。そして、こ
の算出された直径差に基づいて、被測定物の真球度が判
別される。以上のように、複数の被測定物の真球度が自
動的に測定される。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、添
付図面に基づいて説明する。図１は、輪郭が球状をなす
被測定物（例えば、コンピュータ機器の一つであるマウ
スのボール）の真球度を測定する真球度測定装置の一実
施形態を示す構成図である。

【００１１】この実施形態に係る真球度測定装置は、図
１に示すように、基台１０上に固定されて被測定物Ｗを
支持する支持手段としての支持平板２０と、この支持平
板２０に支持された被測定物Ｗを所定位置にて回転させ
る回転手段としての回転平板３０と、基台１０上で回転
平板３０の上方に保持された撮像手段としてのＣＣＤカ
メラ４０と、上下方向において支持平板２０に支持され
た被測定物Ｗを挟んでＣＣＤカメラ４０と対向するよう
に、すなわち、支持平板２０の下方に配置された照明手
段としてのハロゲンランプ５０と、ＣＣＤカメラ４０に
より撮像された被測定物Ｗの複数の画像データに基づい
て被測定物Ｗの直径を複数個算出して真球度を測定する
画像処理手段としてのコンピュータ６０等を、その基本
構成として備えている。

【００１２】ここで、支持平板２０は、基台１０に設け
られた支柱１１に対して固定されており、略円板状の輪
郭をなすように形成されている。また、支持平板２０
は、ハロゲンランプ５０から照射される照射光を拡散し
て透過させる機能を有するように、例えば、透明あるい
は半透明のアクリル板等により形成されている。尚、照
射光を拡散して透過する機能を有するものであれば、円
板状をなすものに限らず、その他の形状に形成されても
良い。また、ここでは、支持平板２０は回転不能に固定
された構成となっているが、回転可能に支持されて、所
定の位置にて回転不能にロックされる構成を採用するこ
とも可能である。

【００１３】さらに、この支持平板２０の上面でかつ周
縁部寄りには、図２に示すように、平面視円形状で凹球
面状に窪んだ凹部２１が形成されている。この凹部２１
は、載置された被測定物Ｗを転動（回転しながら２次元
的に移動）させるような外力が作用しても、転動するこ
となく所定の位置にて回転（自転）するようにその２次
元的な移動を規制して、その場に留める役割をなすもの
である。したがって、この凹部２１の半径ｒ１の寸法及
び深さＨの寸法は、被測定物Ｗが抵抗なく滑らかに回転
（自転）できるように、被測定物の設定半径ｒ等を考慮
して適宜選定するのが好ましい。

【００１４】また、図２に示すように、この凹部２１を
画定する凹球面上には、被測定物Ｗの回転を滑らかにす
るために、鋼球等のボールベアリング２２が複数配列さ
れている。したがって、この凹部２１領域に載置された
被測定物Ｗは、その外表面がボールベアリング２２に支
持されて、この凹部２１内で滑らかに回転（自転）する
ことができるようになっている。

【００１５】回転平板３０は、略円板状の輪郭をなすよ
うに形成されており、図１に示すように、支持平板２０
の中央部に設けられた所定の高さをなす円筒支柱１３を
挟んで、支持平板２０の上面２０ａとその下面３０ａと
が平行になるように配置されている。そして、その中央
部から下方に伸長した軸３１が、円筒支柱１３の軸受孔
に挿入されて支持平板２０の中心孔２３を通り抜け、そ
の下端部にてステッピングモータ３２に接続されてい
る。また、円筒支柱１３の上端には、ボールベアリング
３３が周方向に配列されており、スラスト方向において
この回転平板３０を支持している。したがって、ステッ
ピングモータ３２が所定の制御モードで駆動されること
により、回転平板３０の回転角度、回転速度、回転方向
等が制御されるようになっている。

【００１６】また、回転平板３０は、上方のＣＣＤカメ
ラ４０に向かってハロゲンランプ５０から照射される照
射光を透過させる機能を有するように、例えば、透明な
ガラス板等により形成されている。尚、照射光を透過さ
せる機能を有するものであれば、円板状をなすものに限
らないが、そのものが回転することから、できるだけ無
駄なスペースを必要としない円板状が好ましい。

【００１７】さらに、回転平板３０には、図３に示すよ
うに、径方向において支持平板２０に設けられた凹部２
１と対応する位置に、開口部３４が形成されている。こ
の開口部３４は、支持平板２０の凹部２１に被測定物Ｗ
を載置すべく、上方から被測定物Ｗを挿入するために、
あるいは、凹部２１に載置された被測定物Ｗを取り出す
ために用いられるものである。したがって、この開口部
３４の直径は被測定物Ｗの設定直径よりも大きく設定さ
れている。

【００１８】上記回転平板３０と支持平板２０との構成
において、被測定物Ｗが支持平板２０の凹部２１に載置
された状態で、ステッピングモータ３２が駆動される
と、回転平板３０が回転し、この回転平板３０の下面３
０ａと被測定物Ｗとの摩擦力が、凹部２１内において被
測定物Ｗに回転（自転）を生じさせる。

【００１９】この関係を図４にて説明すると、回転平板
３０の回転中心から開口部３４の中心まで、すなわち、
支持平板２０の中心から凹部２１の中心までの半径を
Ｒ、回転平板３０の回転角度をθ、被測定物Ｗの設定半
径をｒ、被測定物Ｗの回転（自転）角度をφで表した場
合、Ｒ×θ＝ｒ×φが成立する。したがって、被測定物
Ｗの設定半径ｒに応じて、凹部２１までの半径Ｒを適宜
選定することにより、所望の測定感度を得ることができ
る。例えば、半径Ｒを小さくすることで、所定の回転角
度θあたりの被測定物Ｗの回転角度φを小さくして、測
定間隔を小刻みにすることができ、一方、半径Ｒを大き
くすることで、所定の回転角度θあたりの被測定物Ｗの
回転角度φを大きくして、測定間隔を大きくすることが
できる。

【００２０】また、上記のような被測定物Ｗの滑らかな
回転（自転）を生じさせるには、支持平板２０の凹部２
１と回転平板３０の下面３０ａとにより及ぼされる被測
定物Ｗの挟持力すなわち接触力（あるいは接触圧）が、
被測定物Ｗの変形を招くことなくかつ確実に回転力を伝
えるような値に設定されるのが好ましい。

【００２１】撮像手段であるＣＣＤカメラ４０は、図１
に示すように、基台１０上に設けられた支柱１２により
支持されて、位置調節機構（不図示）により、上下方向
の所望の位置にセッティングできるようになっている。
このＣＣＤカメラ４０は、信号ケーブル４１を経由して
画像処理手段であるコンピュータ６０に接続されてい
る。そして、コンピュータ６０内の制御信号に基づい
て、被測定物Ｗの所定回転（自転）角度φごとに、被測
定物Ｗを撮像するようになっている。尚、ＣＣＤカメラ
４０としては、ＮＴＳＣ規格のものを使用するのが好ま
しいが、その他の撮像手段を適用することも可能であ
る。

【００２２】照明手段であるハロゲンランプ５０は、支
持平板２０の下方において、支持平板２０に支持された
被測定物Ｗ及び支柱１２に支持されたＣＣＤカメラ４０
と対向するように設置されて、基台１０上の支柱１４に
より支持されている。そして、支柱１４に設けられた位
置調節機構（不図示）により、上下方向の所望の位置に
セッティングできるようになっている。

【００２３】したがって、ハロゲンランプ５０から照射
された照射光は、支持平板２０にて均等に拡散されつつ
この支持平板２０を通過し、被測定物Ｗの輪郭の部分が
遮られ、それ以外の部分が回転平板３０を通過してＣＣ
Ｄカメラ４０に入射するようになっている。尚、照明手
段としては、ハロゲンランプ５０に限るものではなく、
その他の光源を適用することも可能である。

【００２４】画像処理手段であるコンピュータ６０に
は、図５に示すように、領域区分部（領域区分手段）６
１、中心位置算出部（中心位置算出手段）６２、直径算
出部（直径算出手段）６３、直径差算出部（直径差算出
手段）６４、判別部（判別手段）６５等の機能が少なく
とも含まれており、これらの機能は全て所定のソフトウ
エアにより実現されるものである。

【００２５】領域区分部６１は、ＣＣＤカメラ４０から
出力される被測定物Ｗに関しての複数の画像データを、
それらの画像データの各画素の受光量に基づいて、図６
に示すように、明領域ＲＬと暗領域ＲＤとの２つの領域
に区分けする。この区分けは、照射光が十分に入射した
領域と被測定物Ｗによって照射光が遮られて入射しなか
った領域との間で、照射光が十分に入射した領域の画素
の受光量を基準として、照射光が入射しなかった領域に
向かって各画素の受光量が所定の割合に変化した位置を
境界位置として、この位置に境界線ＢＬを設定すること
により行なう。尚、画素の受光量の変化の割合は、たと
えば、１／３〜２／３の範囲のうちの所定の割合とする
ことが望ましい。

【００２６】中心位置算出部６２は、図７に示すよう
に、領域区分部６１により区分けされた明領域ＲＬと暗
領域ＲＤとの境界線ＢＬ上の任意の３点すなわちＰ１，
Ｐ２，Ｐ３を選択し、この３点を通る円の中心点Ｐ０の
位置を算出する。ここで、これら３点は、境界線ＢＬ上
において、お互いに重なり合わないように所定角度だけ
間隔をあけた位置の点をそれぞれ選択する。

【００２７】直径算出部６３は、図８に示すように、中
心位置算出部６２により算出された中心点Ｐ０を通る複
数の直線Ｌが境界線ＢＬと交差する２点、すなわち、Ｑ
１１及びＱ１２、Ｑ２１及びＱ２２、・・・Ｑｎ１及び
Ｑｎ２のそれぞれの間の距離を直径として、所定角度θ
１（サンプリング角度）ごとに、境界線ＢＬの全周に渡
って算出する。

【００２８】ここで、所定角度（サンプリング角度）θ
１は、特に限定されないが、例えば、０．１度〜２度の
範囲の値、好ましくは１度程度の値とするのが良い。こ
のサンプリング角度θ1 が狭すぎると算出処理に時間を
要し、一方、サンプリング角度θ1 が広すぎると測定精
度が低下することになる。

【００２９】直径差算出部６４は、直径算出部６３によ
り算出された複数の直径の値のうち、最大値と最小値と
の直径差δを算出する。判別部６５は、直径差算出部６
４によって算出された直径差δに基づいて、被測定物Ｗ
の真球度を判別するものであり、この直径差δが所定の
基準値を越える場合は、この被測定物Ｗを不良品と判断
し、一方、この直径差δが所定の基準値を越えない場合
は、この被測定物Ｗを良品と判断するものである。

【００３０】次に、上記構成をなす真球度測定装置を用
いた測定方法の一実施形態について、図９に示すフロー
チャートに基づき説明する。図９に示すように、先ず、
回転平板３０の開口部３４と支持平板２０の凹部２１と
を位置合わせした状態において、回転平板３０の開口部
３４を通して被測定物Ｗが供給され、支持平板２０の凹
部２１上に載置される（ステップＳ１）。尚、支持平板
２０も回転可能に構成されている場合は、ＣＣＤカメラ
４０の直下から離れた回転角度位置において、支持平板
２０の凹部２１上に被測定物Ｗが載置された後、この支
持平板２０及び回転平板３０を回転させて、被測定物Ｗ
をＣＣＤカメラ４０の直下に位置付け、その後、支持平
板２０を回転不能にロックし、後続のステップに移行さ
れる。

【００３１】続いて、ハロゲンランプ５０を点灯させて
被測定物Ｗの背後から光を照射した状態で、ＣＣＤカメ
ラ４０により被測定物Ｗが撮像される。撮像により得ら
れた画像データは、コンピュータ６０に向けて送信され
る。この際、ステッピングモータ３２により回転平板３
０を所定の角度θ間隔で回転させ、被測定物Ｗが所定の
角度φだけ回転（自転）した位置ごとに撮像を行なう
（撮像ステップＳ２）。尚、ここでは、角度φを１０度
として、合計３６枚の撮像を行なった。

【００３２】その後、画像処理手段であるコンピュータ
６０では、以下のような処理が行なわれる。先ず、領域
区分部６１により、撮像ステップ（Ｓ２）により撮像さ
れた複数の画像データを、その各画素の受光量に基づい
て、明領域と暗領域との２つの領域に区分けする区分け
処理が行なわれる（領域区分ステップＳ３）。この区分
け処理により、図６に示すように、被測定物Ｗの輪郭に
対応する形状が暗領域ＲＤとして、それ以外の領域が明
領域ＲＬとして区分けされる。尚、本実施形態では、１
／２の割合で受光量が変化した位置を結んだ線を境界線
ＢＬとした。

【００３３】続いて、中心位置算出部６２により、図７
に示すように、明領域ＲＬと暗領域ＲＤとの境界線ＢＬ
上の任意の３点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３が選択され、この３点
を通る円の中心点Ｐ０の位置が算出される（中心位置算
出ステップＳ４）。この際、選択される３点は、お互い
に重なり合わない点が選択される。

【００３４】続いて、直径算出部６３により、図８に示
すように、算出された中心点Ｐ０を通る複数の直線Ｌが
境界線ＢＬと交差する２点、すなわち、Ｑ１１及びＱ１
２、Ｑ２１及びＱ２２、・・・Ｑｎ１及びＱｎ２のそれ
ぞれの間の距離を直径として、境界線ＢＬの全周に渡っ
て所定のサンプリング角度θ１ごとに算出される（直径
算出ステップＳ５）。尚、ここでは、サンプリング角度
θ１を１度に設定し、１つの画像データにつき、３６０
本の直径Ｌを設定し、それらの寸法を算出した。

【００３５】続いて、直径差算出部６４により、前ステ
ップＳ５で算出された複数の直径の値のうち、その最大
値と最小値との直径差δが算出される（直径差算出ステ
ップＳ６）。

【００３６】続いて、判別部６５により、前ステップＳ
６で算出された直径差δに基づいて、測定物Ｗの真球度
が判別される。すなわち、この直径差δが所定の基準値
を越える場合は、この被測定物Ｗを不良品と判断し、一
方、この直径差δが所定の基準値を越えない場合は、こ
の被測定物Ｗを良品と判断するものである（判別ステッ
プＳ７）。

【００３７】最後に、回転平板３０の開口部３４と支持
平板２０の凹部２１との位置合わせが行なわれて、測定
が終了した被測定物Ｗが、開口部３４から取り出される
（ステップＳ８）。

【００３８】以上のように、ＣＣＤカメラ４０により撮
像された撮像データをコンピュータ６０で処理して、球
状をなす被測定物Ｗの真球度を測定（判定）することに
より、迅速かつ高精度にして、真球度を自動的に測定す
ることができる。これにより、作業者が手作業により測
定する場合に懸念される測定のムラ、測定誤差等を解消
することができる。

【００３９】上記実施形態においては、被測定物とし
て、コンピュータ機器であるマウスのボールを対象とし
て述べたが、これに限定されるものではなく、輪郭が球
状をなす被測定物であれば、その他いずれのものでも対
象とすることができる。

【００４０】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の真球度の測
定装置及び測定方法によれば、球状をなす被測定物の真
球度を測定するにあたり、撮像された被測定物に係る画
像データを処理することにより、測定の自動化を行なう
ことができ、測定の迅速化、測定精度の高精度化、省人
化等を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る真球度測定装置の一実施形態を示
す構成図である。

【図２】図１に示す装置の一部をなす支持平板を示すも
のであり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその断面図で
ある。

【図３】図１に示す装置の一部をなす回転平板を示す平
面図である。

【図４】本発明に係る真球度測定装置の原理を説明する
ための図である。

【図５】図１に示す装置の一部をなす画像処理手段の構
成を示す構成図である。

【図６】画像処理手段において区分け処理された画像の
一例を示す図である。

【図７】画像処理装置において境界線上の３点を通る円
の中心点を求める方法を示す図である。

【図８】画像処理装置において中心点を通る直線と境界
線とから複数の直径を算出する方法を示す図である。

【図９】本発明に係る真球度測定方法の手順を示すフロ
ーチャートである。

【符号の説明】

１０…基台 ２０…支持平板（支持手段） ２１…凹部 ２２…ボールベアリング ３０…回転平板（回転手段） ３２…ステッピングモータ ３４…開口部 ４０…ＣＣＤカメラ（撮像手段） ５０…ハロゲンランプ（照明手段） ６０…コンピュータ（画像処理手段） ６１…領域区分部（領域区分手段） ６２…中心位置算出部（中心位置算出手段） ６３…直径算出部（直径算出手段） ６４…直径差算出部（直径差算出手段） ６５…判別部（判別手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA17 AA26 AA48 BB07 DD06 FF02 FF04 GG02 HH02 JJ03 JJ26 LL49 MM04 PP01 PP13 QQ25 QQ29 QQ31

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 輪郭が球状をなす被測定物の真球度を測
   定する真球度測定装置であって、 前記被測定物を支持する支持手段と、 前記支持手段に支持された被測定物を所定位置にて回転
   させる回転手段と、 前記支持手段に支持された前記被測定物を撮像する撮像
   手段と、 前記被測定物を挟んで前記撮像手段と対向するように配
   置されて前記撮像手段に向けて光を照射する照明手段
   と、 前記撮像手段により撮像された前記被測定物の複数の画
   像データに基づいて、前記被測定物の直径を複数個算出
   して真球度を測定する画像処理手段と、を有することを
   特徴とする真球度測定装置。
2. 【請求項２】 前記画像処理手段は、前記複数の画像デ
   ータを、その各画素の受光量に基づいて明領域と暗領域
   との２つの領域に区分けする領域区分手段と、 前記明領域と暗領域との境界線上の任意の３点を選択す
   ると共に前記３点を通る円の中心点の位置を算出する中
   心位置算出手段と、 前記中心点を通る直線が前記境界線と交差する２点間距
   離を直径として、前記境界線の全周に渡って所定の角度
   間隔ごとに算出する直径算出手段と、 前記直径算出手段により算出された複数の直径の最大値
   と最小値との差を算出る直径差算出手段と、 前記直径差算出手段によって算出された直径差に基づい
   て前記被測定物の真球度を判別する判別手段と、を有す
   ることを特徴とする請求項１記載の真球度測定装置。
3. 【請求項３】 前記支持手段は、前記照明手段から照射
   される照射光を透過させると共に前記被測定物を所定位
   置にて回転自在に支持する支持平板であり、 前記回転手段は、前記照明手段から照射される照射光を
   透過させると共に前記支持平板と協働して前記被測定物
   を挟持するように前記支持平板と平行に配置されかつ前
   記支持平板と平行な面内において回転させられる回転平
   板である、ことを特徴とする請求項１又は２記載の真球
   度測定装置。
4. 【請求項４】 前記支持平板には、前記被測定物を所定
   位置に留めるための凹部が形成されている、ことを特徴
   とする請求項３記載の真球度測定装置。
5. 【請求項５】 前記回転平板には、前記被測定物を前記
   支持平板との間に対して出し入れするための開口部が形
   成されている、ことを特徴とする請求項３又は４記載の
   真球度測定装置。
6. 【請求項６】 輪郭が球状をなす被測定物の真球度を測
   定する真球度測定方法であって、 前記被測定物を所定位置にて支持して回転させつつ、前
   記被測定物の背後から光を照射して、その前方から前記
   被測定物を撮像する撮像ステップと、 前記撮像ステップにより撮像された複数の画像データ
   を、その各画素の受光量に基づいて明領域と暗領域との
   ２つの領域に区分けする領域区分ステップと、 前記明領域と暗領域との境界線上の任意の３点を選択す
   ると共に前記３点を通る円の中心点の位置を算出する中
   心位置算出ステップと、 前記中心点を通る直線が前記境界線と交差する２点間距
   離を直径として、前記境界線の全周に渡って所定の角度
   間隔ごとに算出する直径算出ステップと、 前記直径算出ステップにより算出された複数の直径の最
   大値と最小値との差を算出する直径差算出ステップと、 前記直径差算出ステップにより算出された直径差に基づ
   いて前記被測定物の真球度を判別する判別ステップと、
   を有することを特徴とする真球度測定方法。