JPH11351847A - 欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents

欠陥検査装置および欠陥検査方法

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JPH11351847A
JPH11351847A JP15815998A JP15815998A JPH11351847A JP H11351847 A JPH11351847 A JP H11351847A JP 15815998 A JP15815998 A JP 15815998A JP 15815998 A JP15815998 A JP 15815998A JP H11351847 A JPH11351847 A JP H11351847A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】シールリングのシール面等の環状の被検査部の
欠陥検査を自動化でき、、確実に欠陥の検査が可能な欠
陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。 【解決手段】Oリング51の内周の被検査部を撮像する
撮像カメラ3と、Oリング51の背後から撮像カメラ3
に向けて光を照射する照明装置2と、撮像カメラ3から
の画像データのOリング51の内周形状に対応する領域
を明領域RL と暗領域RD との2つの領域に区分けする
区分部12と、境界線L上の任意の3点を通る円の中心
点Oを算出する中心位置算出部13と、中心点Oと境界
線L上に位置する各点との距離をそれぞれ算出する距離
算出部14と、境界線Lの各領域内における境界線L上
の各点と中心点Oとの距離の最大値と最小値との差δを
算出する距離差算出部15と、各距離差δに基づいてO
リング51の内周の欠陥を判別する判別部16とを有す
る画像処理装置11とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば、Oリン
グやオイルシールなどの環状の被検査部を有する検査対
象物の欠陥を検査する欠陥検査装置および欠陥検査方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】Oリング等のシールリングのシール面
は、シールリングに挿入される軸の方向から見ると環状
であり、この環状のシール面が変形したり、シール面に
傷が存在したり、ゴミ等の異物が付着しているとシール
リングのシール機能を十分に発揮させることができな
い。このため、シールリングを出荷する前に、シール面
に欠陥が存在しないかを検査する必要がある。また、シ
ールリングは、ゴム等の成形材料を成形機により成形す
ることによって生産されるが、成形工程において、シー
ルリングの成形に用いられる成形型は、通常、分割型で
あるため、シールリングの内周および外周にバリが発生
する。このバリは、バリを除去する工程で完全に除去さ
れないこともあり、バリの検査を行なう必要もある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来においては、上記
のシールリングの欠陥検査は、作業者が目視によって行
なっていた。このため、欠陥の有無の判断を誤ることも
あり、製品品質の安定化が十分ではなかった。また、大
量のシールリングの欠陥検査を行なうには、複数の作業
者が必要であり、省人化が難しかった。
【0004】本発明は、上述の問題に鑑みてなされたも
のであって、シールリングのシール面等の環状の被検査
部の欠陥検査を自動化でき、かつ、確実に欠陥の検査を
行なうことができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を
提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の欠陥検査装置
は、環状の被検査部を有する検査対象物の欠陥検査装置
であって、前記検査対象物の被検査部を軸方向から撮像
する撮像手段と、前記検査対象物の被検査部の背後から
前記撮像手段に向けて光を照射する照明手段と、前記撮
像手段からの画像データの前記検査対象物の環状の被検
査部の形状に対応する領域を、前記画像データの各画素
の受光量に基づいて、明領域と暗領域との2つの領域に
区分けする区分手段と、前記明領域と暗領域との境界線
上の任意の3点を決定し、この3点を通る円の中心点を
算出する中心位置算出手段と、前記中心点と前記中心点
を中心として所定角度間隔で前記境界線上に位置する各
点との距離をそれぞれ算出する距離算出手段と、前記境
界線を複数の領域に分割し、各領域内における前記境界
線上の各点と前記中心点との距離の最大値と最小値との
差を算出する距離差算出手段と、前記距離差算出手段に
よって算出された前記各領域内における各距離差に基づ
いて前記検査対象物の欠陥を判別する判別手段とを有す
る画像処理手段とを具備する。
【0006】本発明では、照明手段から照射された光
は、一部が検査対象物の環状の被検査部によって遮ら
れ、残りは撮像手段に入射する。撮像手段からの画像デ
ータは、検査対象物の被検査部に対応する領域では、検
査対象物の被検査部によって遮られた領域は暗く、この
領域から被検査部の側方領域に向けて徐々に明るくな
る。この画像データは、各画素の受光量に基づいて、区
分手段によって明領域と暗領域の2つの領域に区分けさ
れる。そして、中心位置算出手段によって、明領域と暗
領域の境界線で形成される円周上の任意の3点を通る円
の中心点が算出される。距離算出手段によって、中心点
を中心として所定角度間隔で境界線の全周に渡って中心
点と境界線上の各位置との距離が算出される。距離差算
出手段によって、境界線は複数の領域に分割され、各領
域内における境界線上の各点と中心点との距離の最大値
と最小値との差がそれぞれの領域について算出される。
したがって、検査対象物の環状の被検査部に傷が存在し
たり、変形したり、被検査部にバリ等の突起物が存在す
ると、境界線の各点と中心点との距離がばらつくことに
なり、境界線上の各点と中心点との距離の最大値と最小
値との距離差が大きくなる。このため、判別手段は、距
離差算出手段によって算出された各領域内における各距
離差に基づいて検査対象物の欠陥を判別することができ
る。
【0007】本発明の欠陥検査方法は、環状の被検査部
を有する検査対象物の欠陥検査方法であって、前記検査
対象物の被検査部の背後から光を照射して、軸方向から
当該検査対象物を撮像するステップと、前記検査対象物
の画像データの前記検査対象物の環状の被検査部に対応
する領域を、前記画像データの各画素の受光量に基づい
て、明領域と暗領域との2つの領域に区分けするステッ
プと、前記明領域と暗領域との境界線上の任意の3点を
決定し、この3点を通る円の中心点を算出するステップ
と、前記中心点と前記中心点を中心として所定角度間隔
で前記境界線上に位置する各点との距離をそれぞれ算出
するステップと、前記境界線を前記中心点を中心として
複数の領域に分割し、各領域内における前記境界線上の
各点と前記中心点との距離の最大値と最小値との差を算
出するステップと、前記距離差算出手段によって算出さ
れた前記各領域内における各距離差に基づいて前記検査
対象物の欠陥を判別するステップとを有する。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1および図2は、本発明
の一実施形態に係る欠陥検査システムの構成を示す説明
図であって、図1は側面図であり、図2は上面図であ
る。図1および図2において、本実施形態に係る欠陥検
査システムは、撮像部1と、回転テーブル5と、製品供
給部6と、不良品排出部7と、良品排出部8と、画像処
理装置11とから基本的に構成されている。なお、本実
施形態では、検査対象物としてOリングの場合について
説明し、特に、Oリングの内周を被検査部として欠陥検
査を行なう場合について説明する。
【0009】回転テーブル5は、図2の矢印方向に回転
可能に支持されており、図示しない駆動モータによって
回転位置が制御され、回転テーブル5上にOリング51
が載置されることによって、Oリング51の移動が行な
われる。回転テーブル5には、回転テーブル5に入射さ
れる光を拡散して透過する機能を有する拡散板が使用さ
れ、たとえば、半透明のアクリル板から形成することが
できる。
【0010】撮像部1は、撮像カメラ3と照明装置2と
を有している。撮像カメラ3は、回転テーブル5の上方
に配置されており、回転テーブル5の上に載置されたO
リング51を上方から、すなわち、Oリング51の中心
軸方向から撮像する。撮像カメラ3には、たとえば、C
CD(charge coupled device) を用いたCCDカメラを
使用することができる。CCDカメラには、NTSC規
格のものを使用するのが望ましい。撮像カメラ3は、信
号ケーブル4を介して画像処理装置11に接続されてい
る。
【0011】照明装置2は、回転テーブル5の下方に設
置されており、回転テーブル5を通じて撮像カメラ3に
光を照射する。これにより、回転テーブル5に載置され
たOリング51は背後から光が照射されることになる。
照明装置2からの光は、光を拡散する回転テーブル5に
よって拡散され、光量が均等化された状態で撮像カメラ
3に入射する。照明装置2には、例えば、ハロゲンラン
プなどの光源を用いることができる。
【0012】製品供給部6は、多数のOリング51を収
容しており、これらのOリング51をひとつづつ順次回
転テーブル5上に排出する排出機構を有している。製品
供給部6から排出されたOリング51は、回転テーブル
5の上方に近接して配設されたOリングガイド61に当
接し、回転テーブル5上の所定の半径位置に載置され
る。
【0013】不良品排出部7は、不良品と判別された回
転テーブル5に載置されたOリング51を回転テーブル
5上から移動して取り込む。不良品排出部7は、回転テ
ーブル5の上方に近接して設けられた直動可能なアーム
72と、アーム72の先端に設けられたハンド部71と
を有している。回転テーブル5上を移動してきて不良品
排出部7の前方に運ばれてきた不良品と判断されたOリ
ング51は、アーム72の不良品排出部7へ向かう直動
動作によってハンド部71に係合して不良品排出部7内
に取り込まれる。
【0014】良品排出部7は、回転テーブル5の回転方
向の不良品排出部7の前方に配設されており、良品と判
断されたOリング51を排出光82を通じて取り込む。
回転テーブル5上には、ガイド81が設けられており、
回転テーブル5によって移動されてきた良品のOリング
51は、このガイド81に当接して排出口82に向けて
案内され、回転テーブル5上から落下する。
【0015】図3は、画像処理装置11の構成例を示す
図である。画像処理装置11は、区分部12と、中心位
置算出部13と、距離算出部14と、距離差算出部15
と、判別部16とを有している。画像処理装置11は、
たとえば、パーソナルコンピュータによって構成するこ
とができ、区分部12、中心位置算出部13、距離算出
部14、距離差算出部15および判別部16はソフトウ
エアによって実現される。
【0016】区分部12は、撮像カメラ3から出力され
たOリング51の画像データを、画像データの各画素の
受光量に基づいて、明領域と暗領域との2つの領域に区
分けする。明領域と暗領域との2つの領域に区分けは、
光が十分に入射した領域とOリング51によって光が遮
られて光が入射しない領域との間で、光が十分に入射し
た領域の画素の受光量を基準として、光が入射しない領
域に向かって各画素の受光量が所定の割合に変化した位
置を境界位置とすることにより行なう。この明領域と暗
領域との2つの領域の区分けによって、暗領域はOリン
グの形状に対応して環状となる。画素の受光量の変化の
割合は、たとえば、1/3〜2/3の範囲のうちの所定
の割合とすることが望ましい。
【0017】中心位置算出部13は、Oリング51の画
像データの明領域と暗領域との境界線L上の任意の3点
を決定し、この3点を通る円の中心点Oを算出する。こ
れら境界線L上の位置は、互いに重なり合わない位置を
選択する。
【0018】距離算出部14は、所定角度θ1 の間隔で
境界線L上に位置する各点と、中心点Oとの距離を全周
に渡って算出する。角度θ1 は、特に限定されないが、
たとえば、0.1〜1度程度の値とするのが好ましい。
角度間隔θ1 が狭すぎると、算出処理に時間を要し、角
度θ1 が広すぎると、欠陥検出の精度が低下することに
なる。
【0019】距離差算出部15は、Oリング51の画像
データの明領域と暗領域との境界線Lを複数の領域に分
割し、各領域内における境界線L上の各点と中心点Oと
の距離の最大値と最小値との距離差δを算出する。境界
線Lを複数の領域に分けて、各領域内における境界線L
上の各点と中心点Oとの距離の最大値と最小値との距離
差δを算出するのは、たとえば、Oリング51が理想的
な環状でない場合や、算出した中心点OがOリング51
の実際の中心とずれている場合に、距離差δから欠陥を
検出することが困難になるためである。すなわち、Oリ
ング51が理想的な環状でない場合や、算出した中心点
OがOリング51の実際の中心とずれている場合には、
これらの誤差が距離差δに大きく含まれることになるか
らである。したがって、境界線Lを複数の領域に分ける
ことにより、その各領域内での境界線L上の各点と中心
点Oとの距離の最大値と最小値との距離差δに含まれる
上記の誤差の割合を減少させることができる。境界線L
の分割方法は、中心点Oを中心として、所定の角度θ2
で等間隔に分割する。角度θ2 は、上記の距離算出部1
4の角度間隔θ1 よりも当然に大きくする必要がある
が、たとえば、10〜30度の範囲とするのが上記の角
度θ1 の範囲との兼ね合いからは好ましい。
【0020】判別部16は、距離差算出部15によって
算出された各領域内における各距離差δに基づいてOリ
ング51の欠陥を判別する。具体的には、分割された境
界線Lの各領域について算出された距離差δが所定の基
準値を越える場合には、当該領域には欠陥箇所が存在す
ると判断して、このOリング51を不良品と判断する。
【0021】次に、上記構成の欠陥検査システムによる
検査対象物の欠陥検査の一例を図4に示すフローチャー
トおよび図5〜図9を参照して説明する。
【0022】まず、Oリング51が製品供給部6から回
転テーブル5上に供給され、回転テーブル5上の所定の
半径位置に載置される(ステップS1)。次いで、所定
の回転角度で回転テーブル5が回転し、撮像カメラ3の
下方の所定の撮像位置にOリング51が移動される(ス
テップS2)。
【0023】このとき、照明装置2からは回転テーブル
5を通じてOリング51の配合から光が照射された状態
にある。この状態で、撮像カメラ3によってOリング5
1が撮像される(ステップS3)。撮像カメラ3からの
画像信号は、画像処理装置11に出力される。
【0024】画像処理装置11では、以下の処理が行な
われる。まず、画像処理装置11の区分部12におい
て、画像データの区分け処理が行なわれる(ステップS
4)。Oリング51を撮像した画像データは、この処理
により、図5に示すように、Oリング51に対応する形
状の暗領域RD と明領域RL に区分けされる。本実施形
態では、たとえば、1/2の割合で受光量が変化した位
置を結んだ線を境界線Lとした。なお、本実施形態で
は、欠陥検査を行なう被検査部は、Oリング51の内周
に対応する暗領域RD と明領域RL との境界線Lの領域
においてである。
【0025】次いで、画像処理装置11の中心位置算出
部13において、図6に示すように、境界線L上の互い
に重ならない点P1,P2およびP3が選択される(ス
テップS5)。これら3点P1,P2およびP3を通る
円の中心点Oが算出される(ステップS6)。互いに重
ならない点P1,P2およびP3が決定されれば、中心
点Oは一意に決定される。
【0026】次いで、画像処理装置11の距離算出部1
4において、中心点Oを中心として所定角度θ1 の間隔
で境界線L上に位置する各点Qnと中心点Oとの距離r
n が境界線Lの全周に渡って算出される(ステップS
7)。本実施形態では、角度θ1 を0.5度とした。し
たがって、境界線L上の720個の点Pn と中心点Oと
の各距離rn が算出される。ここで、図9は、Oリング
51の内周にたとえば、バリや異物が付着した不良品の
場合の画像である。図9に示すように、暗領域RD の内
周には、突起状部Tが形成されている。突起状部Tに位
置する境界線L上の点Pbと中心点Oとの距離rbと、
突起状部Tが形成されていない境界線L上の点Pcと中
心点Oとの距離rcとの距離差δは、点Paと中心点O
との距離raと距離rcとの差より大きくなる。なお、
図9では、バリや異物が付着した不良品の場合に突起状
部Tが形成される場合について説明したが、たとえば、
変形や傷等がOリング51の内周に存在した場合には、
傷などの位置での反射光量が他の内周面とは異なるた
め、画像上では凹状に映し出される場合もありうる。
【0027】次いで、画像処理装置11の距離差算出部
15において、図8に示すように、中心点Oを中心に所
定角度θ2 の間隔で、境界線Lが複数の領域Rnに分割
され、各領域Rn内で境界線L上の各点Pn と中心点O
との各距離rn の最大値と最小値との距離差δが算出さ
れる( ステップS8)。本実施形態では、角度θ2 を2
4度とした。したがって、15個の距離差δが算出され
る。
【0028】次いで、画像処理装置11の判別部16に
おいて、上記の各距離差δが所定の基準値より大きいか
否かが判断され、大きい場合には、たとえば図9に示し
たように、Oリング51の内周に欠陥が存在すると判断
される(ステップS9)。不良品と判断されたOリング
51は、回転テーブル5によって不良品排出部7の位置
まで運ばれ、不良品排出部7に排出される(ステップS
10)。
【0029】以上のように、本実施形態によれば、Oリ
ングの内周に存在する変形、傷、異物の付着、バリの残
存などの欠陥を画像処理装置11によって検出でき、欠
陥検査を自動化することができる。また、画像処理装置
11によって欠陥を検出するため、作業者による場合の
ように検査にムラがなく、確実に欠陥を検出することが
できる。
【0030】なお、本実施形態では、Oリング51の内
周を被検査部として欠陥検査する場合について説明した
が、Oリング51の外周についても当然に適用可能であ
る。また、本実施形態では、検査対象物としてOリング
の場合について説明したが、本発明はこれに限定されな
い。また、他の種類のシールリングのシール面の欠陥検
出に適用が可能であり、またリング状の検査対象物に限
らず、円盤状の検査対象物の環状の外周面にも適用可能
である。
【0031】
【発明の効果】本発明によれば、環状の被検査部を有す
る検査対象物の欠陥を画像処理手段によって自動化する
ことができ、検査ミスや検査のバラツキを低減すること
ができ、検査労力を軽減でき、省人化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る欠陥検査システムの
一構成例を示す側面図である。
【図2】図1の欠陥検査システムの上面図である。
【図3】画像処理装置の構成例を示す図である。
【図4】本発明の一実施形態に係る欠陥検査システムの
動作例を示すフローチャートである。
【図5】画像処理装置において区分け処理された画像の
一例を示す図である。
【図6】画像処理装置において境界線上の3点を通る円
の中心点を求める方法を示す図である。
【図7】画像処理装置において中心点と境界線上の各点
との距離を算出する方法を示す図である。
【図8】画像処理装置において境界線を複数の領域に分
割する方法を示す図である。
【図9】欠陥が存在する場合の画像の一例を示す図であ
る。
【符号の説明】
1…撮像部 2…照明装置 3…撮像カメラ 5…回転テーブル 7…不良品排出部 8…良品排出部 11…画像処理装置 12…区分部 13…中心位置算出部 14…距離算出部 15…距離差算出部 16…判別部 51…Oリング

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】環状の被検査部を有する検査対象物の欠陥
    検査装置であって、 前記検査対象物の被検査部を軸方向から撮像する撮像手
    段と、 前記検査対象物の被検査部の背後から前記撮像手段に向
    けて光を照射する照明手段と、 前記撮像手段からの画像データの前記検査対象物の環状
    の被検査部の形状に対応する領域を、前記画像データの
    各画素の受光量に基づいて、明領域と暗領域との2つの
    領域に区分けする区分手段と、 前記明領域と暗領域との境界線上の任意の3点を決定
    し、この3点を通る円の中心点を算出する中心位置算出
    手段と、 前記中心点と前記中心点を中心として所定角度間隔で前
    記境界線上に位置する各点との距離をそれぞれ算出する
    距離算出手段と、 前記境界線を複数の領域に分割し、各領域内における前
    記境界線上の各点と前記中心点との距離の最大値と最小
    値との差を算出する距離差算出手段と、 前記距離差算出手段によって算出された前記各領域内に
    おける各距離差に基づいて前記検査対象物の欠陥を判別
    する判別手段とを有する画像処理手段とを具備する欠陥
    検査装置。
  2. 【請求項2】環状の被検査部を有する検査対象物の欠陥
    検査方法であって、 前記検査対象物の被検査部の背後から光を照射して、軸
    方向から当該検査対象物を撮像するステップと、 前記検査対象物の画像データの前記検査対象物の環状の
    被検査部に対応する領域を、前記画像データの各画素の
    受光量に基づいて、明領域と暗領域との2つの領域に区
    分けするステップと、 前記明領域と暗領域との境界線上の任意の3点を決定
    し、この3点を通る円の中心点を算出するステップと、 前記中心点と前記中心点を中心として所定角度間隔で前
    記境界線上に位置する各点との距離をそれぞれ算出する
    ステップと、 前記境界線を前記中心点を中心として複数の領域に分割
    し、各領域内における前記境界線上の各点と前記中心点
    との距離の最大値と最小値との差を算出するステップ
    と、 前記距離差算出手段によって算出された前記各領域内に
    おける各距離差に基づいて前記検査対象物の欠陥を判別
    するステップとを有する欠陥検査方法。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100781094B1 (ko) * 2006-03-08 2007-12-05 (주)스마트비전텍 오링 자동검사장치
JP2012154788A (ja) * 2011-01-26 2012-08-16 Denso Corp 弾性材料からなるシール部材の検査方法及びその装置
CN104345313A (zh) * 2013-08-02 2015-02-11 无锡恩福油封有限公司 油封检查装置及检查方法
US9116133B2 (en) 2010-03-09 2015-08-25 Federal-Mogul Corporation Bore inspection system and method of inspection therewith
CN105424281A (zh) * 2014-09-22 2016-03-23 无锡宏利减震器有限公司 油封检查装置
CN106442557A (zh) * 2015-08-06 2017-02-22 青岛软控机电工程有限公司 用于复合件接头缺陷检测***的检测方法和缺陷检测***

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100781094B1 (ko) * 2006-03-08 2007-12-05 (주)스마트비전텍 오링 자동검사장치
US9116133B2 (en) 2010-03-09 2015-08-25 Federal-Mogul Corporation Bore inspection system and method of inspection therewith
JP2012154788A (ja) * 2011-01-26 2012-08-16 Denso Corp 弾性材料からなるシール部材の検査方法及びその装置
CN104345313A (zh) * 2013-08-02 2015-02-11 无锡恩福油封有限公司 油封检查装置及检查方法
CN105424281A (zh) * 2014-09-22 2016-03-23 无锡宏利减震器有限公司 油封检查装置
CN106442557A (zh) * 2015-08-06 2017-02-22 青岛软控机电工程有限公司 用于复合件接头缺陷检测***的检测方法和缺陷检测***

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