JP2000292138A - Sphericity measuring apparatus and sphericity measuring method - Google Patents
Sphericity measuring apparatus and sphericity measuring methodInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、輪郭が球状をなす
球状体、例えば、コンピュータ周辺機器であるマウスの
ゴム製ボール、あるいは軸受け用の鋼球等その他の球状
体を被測定物として、その真球度を測定する真球度測定
装置及び真球度測定方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for measuring a spherical object having a spherical outline, such as a rubber ball of a mouse as a computer peripheral device or a steel ball for a bearing, as an object to be measured. The present invention relates to a sphericity measuring device and a sphericity measuring method for measuring sphericity.
【０００２】[0002]
【従来の技術】コンピュータ機器のマウスに使用されて
いるボール等は、その回転を滑らかにするために真球に
近い輪郭であることが要求される。そこで、型成形等に
より製造されたボールは、その真球度が測定されて、所
定の基準を満足しないものは不良品として処理され、基
準を満たすものだけが良品として処理され、製品に組み
込まれている。この真球度を測定するにあたり、従来に
おいては、作業者が工具顕微鏡等を覗き込んで、ボール
の直径を複数点にわたって測定し、測定により得られた
複数の直径値のバラツキにより、そのボールの真球度を
判断していた。2. Description of the Related Art A ball or the like used for a mouse of a computer device is required to have a contour close to a true sphere in order to smoothly rotate the ball. Therefore, the sphericity of a ball manufactured by molding or the like is measured, and a ball that does not satisfy a predetermined standard is treated as a defective product, and only a ball that satisfies the standard is treated as a non-defective product and incorporated into a product. ing. Conventionally, when measuring this sphericity, an operator looks into a tool microscope or the like, measures the diameter of the ball at a plurality of points, and, due to the variation in the plurality of diameter values obtained by the measurement, the ball has a large diameter. Judging the sphericity.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の測定手法において、測定精度を高めるには、
測定点の個数を多くする必要があるものの、作業者によ
る手作業であるため、測定点の増加に伴ってその測定作
業に長時間を要することになる。また、測定作業が人に
よるため、測定にバラツキを生じ易く、測定点を多くし
てもそれに応じて高精度な結果が得られるとは限らなか
った。また、大量のボールの真球度を測定する場合は、
複数の作業者が必要となり、製造ラインのコスト削減あ
るいは省人化が困難であった。However, in such a conventional measuring method, in order to increase the measuring accuracy,
Although it is necessary to increase the number of measurement points, since the work is performed manually by an operator, the measurement work takes a long time as the number of measurement points increases. In addition, since the measurement operation is performed by a person, the measurement tends to vary, and even if the number of measurement points is increased, a highly accurate result is not always obtained. Also, when measuring the sphericity of a large number of balls,
A plurality of workers are required, which makes it difficult to reduce the cost of the manufacturing line or to save labor.
【０００４】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
成されたものであり、その目的とするところは、ボール
等の球状体である被測定物の真球度を測定するにあた
り、その測定作業の自動化を図ることができ、又、測定
の高精度化を図ることのできる真球度測定装置及び真球
度測定方法を提供することにある。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to measure the sphericity of a spherical object such as a ball when measuring the sphericity. It is an object of the present invention to provide a sphericity measuring device and a sphericity measuring method that can automate a measuring operation and can increase the accuracy of measurement.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の目的
を達成するべく鋭意検討を重ねた結果、以下の如き構成
をなす発明を見出すに至った。すなわち、本発明の真球
度測定装置は、輪郭が球状をなす被測定物の真球度を測
定する真球度測定装置であって、被測定物を支持する支
持手段と、この支持手段に支持された被測定物を所定位
置にて回転させる回転手段と、支持手段に支持された被
測定物を撮像する撮像手段と、被測定物を挟んで撮像手
段と対向するように配置されて上記撮像手段に向けて光
を照射する照明手段と、撮像手段により撮像された被測
定物の複数の画像データに基づいて被測定物の直径を複
数個算出して真球度を測定する画像処理手段と、を有す
ることを特徴としている。Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventor has come to find an invention having the following structure. That is, the sphericity measuring device of the present invention is a sphericity measuring device for measuring the sphericity of an object to be measured having a spherical outline, and a supporting means for supporting the object to be measured, and A rotation unit configured to rotate the supported object at a predetermined position; an imaging unit configured to image the object supported by the support unit; and an imaging unit configured to face the imaging unit with the object interposed therebetween. Illumination means for irradiating light to the imaging means, and image processing means for calculating a plurality of diameters of the measured object based on a plurality of image data of the measured object imaged by the imaging means and measuring sphericity And having the following.
【０００６】上記構成において、画像処理手段が、複数
の画像データの各画素を、その受光量に基づいて明領域
と暗領域との２つの領域に区分けする領域区分手段と、
この領域区分手段により区分けされた明領域と暗領域と
の境界線上の任意の３点を選択すると共にこの３点を通
る円の中心点の位置を算出する中心位置算出手段と、こ
の中心位置算出手段により算出された中心点を通る直線
が上記境界線と交差する２点間距離を直径として、上記
境界線の全周に渡って所定の角度間隔ごとに算出する直
径算出手段と、この直径算出手段により算出された複数
の直径の最大値と最小値との差を算出する直径差算出手
段と、この直径差算出手段によって算出された直径差に
基づいて被測定物の真球度を判別する判別手段とを有す
る構成を採用することができる。In the above configuration, the image processing means divides each pixel of the plurality of image data into two areas, a bright area and a dark area, based on the amount of received light,
A center position calculating means for selecting any three points on the boundary between the bright area and the dark area divided by the area dividing means and calculating a position of a center point of a circle passing through the three points; Diameter calculating means for calculating a distance between two points at which a straight line passing through the center point calculated by the means and intersecting the boundary line as a diameter at predetermined angular intervals over the entire circumference of the boundary line; Means for calculating the difference between the maximum value and the minimum value of the plurality of diameters calculated by the means; and determining the sphericity of the measured object based on the diameter difference calculated by the diameter difference calculating means. A configuration having a determination unit can be employed.
【０００７】また、上記構成において、支持手段が、照
明手段から照射される照射光を透過させると共に被測定
物を所定位置にて回転自在に支持する支持平板であり、
回転手段が、照明手段から照射される照射光を透過させ
ると共に上記支持平板と協働して被測定物を挟持するよ
うに支持平板と平行に配置されかつ支持平板と平行な面
内において回転させられる回転平板である、構成を採用
することができる。また、上記構成において、支持平板
に対して、被測定物を所定位置に留めるための凹部が形
成された構成を採用することができる。さらに、上記構
成において、回転平板に対して、被測定物を支持平板と
の間に対して出し入れするための開口部が形成された構
成を採用することができる。In the above structure, the support means is a support plate which transmits the irradiation light emitted from the illumination means and rotatably supports the object to be measured at a predetermined position,
The rotating means is arranged in parallel with the supporting plate so as to transmit the irradiation light emitted from the illuminating means and cooperate with the supporting plate to sandwich the device under test, and rotates in a plane parallel to the supporting plate. The configuration of the rotating plate can be adopted. Further, in the above configuration, it is possible to adopt a configuration in which a concave portion for holding the measured object at a predetermined position is formed in the supporting flat plate. Further, in the above-described configuration, it is possible to adopt a configuration in which an opening is formed in the rotating flat plate to allow the object to be measured to be inserted into and taken out of the rotating flat plate.
【０００８】本発明の真球度測定方法は、輪郭が球状を
なす被測定物の真球度を測定する真球度測定方法であっ
て、被測定物を所定位置にて支持して回転させつつ、被
測定物の背後から光を照射して、その前方から被測定物
を撮像する撮像ステップと、この撮像ステップにより撮
像された複数の画像データを、その各画素の受光量に基
づいて、明領域と暗領域との２つの領域に区分けする領
域区分ステップと、この領域区分ステップにより得られ
た明領域と暗領域との境界線上の任意の３点を選択する
と共にこの３点を通る円の中心点の位置を算出する中心
位置算出ステップと、この中心位置算出ステップにより
算出された中心点を通る直線が上記境界線と交差する２
点間距離を直径として、境界線の全周に渡って所定の角
度間隔ごとに算出する直径算出ステップと、この直径算
出ステップにより算出された複数の直径の最大値と最小
値との差を算出する直径差算出ステップと、この直径差
算出ステップにより算出された直径差に基づいて被測定
物の真球度を判別する判別ステップと、を有することを
特徴としている。The sphericity measuring method of the present invention is a sphericity measuring method for measuring the sphericity of an object having a spherical outline, wherein the object is supported and rotated at a predetermined position. While irradiating light from behind the object to be measured, an imaging step of imaging the object from the front, and a plurality of image data imaged by this imaging step, based on the amount of light received by each pixel, An area dividing step for dividing into two areas, a bright area and a dark area, and any three points on the boundary between the bright area and the dark area obtained by the area dividing step are selected and a circle passing through the three points is selected. A center position calculating step of calculating the position of the center point of the above, and a straight line passing through the center point calculated by the center position calculating step intersects with the boundary line.
A diameter calculating step of calculating the distance between points as a diameter at predetermined angular intervals over the entire circumference of the boundary line, and calculating a difference between a maximum value and a minimum value of a plurality of diameters calculated in the diameter calculating step. And a discriminating step of discriminating the sphericity of the measured object based on the diameter difference calculated in the diameter difference calculating step.
【０００９】上記真球度測定装置及び真球度測定方法に
おいては、照明手段から照射された照射光は、その一部
が被測定物によって遮られ、その残りが撮像手段に入射
する。この状態において、支持手段に支持された被測定
物を回転手段により所定位置にて回転させつつ、被測定
物を含む領域を撮像手段により撮像する。この撮像によ
り得られた複数の画像データは、被測定物に対応する領
域では暗く、この領域から径方向外側に向かって徐々に
明るくなる。この画像データは、各画素の受光量に基づ
いて明領域と暗領域の２つの領域に区分けされ、中心位
置算出手段によって明領域と暗領域の境界線で形成され
る円周上の任意の３点を通る円の中心点が算出される。
そして、上記中心点を通る直線が上記境界線と交差する
２点間距離を直径として、境界線の全周に渡って所定の
角度間隔ごとに算出される。続いて、算出された複数の
直径の最大値と最小値との差が算出される。そして、こ
の算出された直径差に基づいて、被測定物の真球度が判
別される。以上のように、複数の被測定物の真球度が自
動的に測定される。In the sphericity measuring apparatus and the sphericity measuring method, part of the irradiation light emitted from the illumination means is blocked by the object to be measured, and the rest enters the imaging means. In this state, the region including the object to be measured is imaged by the imaging unit while the object to be measured supported by the support unit is rotated at a predetermined position by the rotating unit. A plurality of image data obtained by this imaging is dark in a region corresponding to the object to be measured, and gradually becomes brighter outward from this region in the radial direction. The image data is divided into two regions, a bright region and a dark region, based on the amount of light received by each pixel. The center point of the circle passing through the point is calculated.
Then, the distance between two points at which the straight line passing through the center point intersects the boundary line is calculated as a diameter at predetermined angular intervals over the entire circumference of the boundary line. Subsequently, the difference between the maximum value and the minimum value of the calculated plurality of diameters is calculated. Then, the sphericity of the measured object is determined based on the calculated diameter difference. As described above, the sphericity of a plurality of objects to be measured is automatically measured.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、添
付図面に基づいて説明する。図１は、輪郭が球状をなす
被測定物（例えば、コンピュータ機器の一つであるマウ
スのボール）の真球度を測定する真球度測定装置の一実
施形態を示す構成図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a sphericity measuring apparatus for measuring the sphericity of an object to be measured having a spherical outline (for example, a mouse ball which is one of computer devices).
【００１１】この実施形態に係る真球度測定装置は、図
１に示すように、基台１０上に固定されて被測定物Ｗを
支持する支持手段としての支持平板２０と、この支持平
板２０に支持された被測定物Ｗを所定位置にて回転させ
る回転手段としての回転平板３０と、基台１０上で回転
平板３０の上方に保持された撮像手段としてのＣＣＤカ
メラ４０と、上下方向において支持平板２０に支持され
た被測定物Ｗを挟んでＣＣＤカメラ４０と対向するよう
に、すなわち、支持平板２０の下方に配置された照明手
段としてのハロゲンランプ５０と、ＣＣＤカメラ４０に
より撮像された被測定物Ｗの複数の画像データに基づい
て被測定物Ｗの直径を複数個算出して真球度を測定する
画像処理手段としてのコンピュータ６０等を、その基本
構成として備えている。As shown in FIG. 1, a sphericity measuring apparatus according to this embodiment includes a support plate 20 as a support means fixed on a base 10 and supporting an object W to be measured. A rotating plate 30 as rotating means for rotating the object to be measured W supported at a predetermined position, a CCD camera 40 as imaging means held above the rotating plate 30 on the base 10, and An image was taken by the CCD camera 40 and the halogen lamp 50 as an illuminating means arranged so as to face the CCD camera 40 with the device under test W supported by the support plate 20 interposed therebetween, that is, below the support plate 20. A computer 60 or the like as image processing means for calculating a plurality of diameters of the measured object W based on a plurality of image data of the measured object W and measuring sphericity is provided as a basic configuration thereof. That.
【００１２】ここで、支持平板２０は、基台１０に設け
られた支柱１１に対して固定されており、略円板状の輪
郭をなすように形成されている。また、支持平板２０
は、ハロゲンランプ５０から照射される照射光を拡散し
て透過させる機能を有するように、例えば、透明あるい
は半透明のアクリル板等により形成されている。尚、照
射光を拡散して透過する機能を有するものであれば、円
板状をなすものに限らず、その他の形状に形成されても
良い。また、ここでは、支持平板２０は回転不能に固定
された構成となっているが、回転可能に支持されて、所
定の位置にて回転不能にロックされる構成を採用するこ
とも可能である。Here, the support flat plate 20 is fixed to the support 11 provided on the base 10 and is formed to have a substantially disk-shaped contour. In addition, the support plate 20
Is formed of, for example, a transparent or translucent acrylic plate so as to have a function of diffusing and transmitting the irradiation light irradiated from the halogen lamp 50. In addition, as long as it has a function of diffusing and transmitting irradiation light, it is not limited to a disk-shaped one, and may be formed in other shapes. Further, here, the support plate 20 is configured to be non-rotatably fixed, but it is also possible to adopt a configuration in which the support plate 20 is rotatably supported and locked at a predetermined position so as not to rotate.
【００１３】さらに、この支持平板２０の上面でかつ周
縁部寄りには、図２に示すように、平面視円形状で凹球
面状に窪んだ凹部２１が形成されている。この凹部２１
は、載置された被測定物Ｗを転動（回転しながら２次元
的に移動）させるような外力が作用しても、転動するこ
となく所定の位置にて回転（自転）するようにその２次
元的な移動を規制して、その場に留める役割をなすもの
である。したがって、この凹部２１の半径ｒ１の寸法及
び深さＨの寸法は、被測定物Ｗが抵抗なく滑らかに回転
（自転）できるように、被測定物の設定半径ｒ等を考慮
して適宜選定するのが好ましい。Further, on the upper surface of the support plate 20 and near the peripheral edge, a concave portion 21 which is circular in plan view and concaved into a concave spherical shape is formed, as shown in FIG. This recess 21
Is to rotate (rotate) at a predetermined position without rolling even if an external force such as rolling (moving two-dimensionally while rotating) the mounted workpiece W is applied. It serves to regulate the two-dimensional movement and keep it there. Accordingly, the dimension of the radius r1 and the dimension of the depth H of the concave portion 21 are appropriately selected in consideration of the set radius r of the object to be measured so that the object W can be smoothly rotated (rotated) without resistance. Is preferred.
【００１４】また、図２に示すように、この凹部２１を
画定する凹球面上には、被測定物Ｗの回転を滑らかにす
るために、鋼球等のボールベアリング２２が複数配列さ
れている。したがって、この凹部２１領域に載置された
被測定物Ｗは、その外表面がボールベアリング２２に支
持されて、この凹部２１内で滑らかに回転（自転）する
ことができるようになっている。As shown in FIG. 2, a plurality of ball bearings 22 such as steel balls are arranged on a concave spherical surface defining the concave portion 21 in order to smoothly rotate the object W to be measured. . Therefore, the object to be measured W placed in the concave portion 21 region is supported by the ball bearing 22 on the outer surface, and can be smoothly rotated (rotated) in the concave portion 21.
【００１５】回転平板３０は、略円板状の輪郭をなすよ
うに形成されており、図１に示すように、支持平板２０
の中央部に設けられた所定の高さをなす円筒支柱１３を
挟んで、支持平板２０の上面２０ａとその下面３０ａと
が平行になるように配置されている。そして、その中央
部から下方に伸長した軸３１が、円筒支柱１３の軸受孔
に挿入されて支持平板２０の中心孔２３を通り抜け、そ
の下端部にてステッピングモータ３２に接続されてい
る。また、円筒支柱１３の上端には、ボールベアリング
３３が周方向に配列されており、スラスト方向において
この回転平板３０を支持している。したがって、ステッ
ピングモータ３２が所定の制御モードで駆動されること
により、回転平板３０の回転角度、回転速度、回転方向
等が制御されるようになっている。The rotary flat plate 30 is formed so as to have a substantially disk-shaped contour, and as shown in FIG.
The upper surface 20a of the support plate 20 and the lower surface 30a thereof are arranged in parallel with a cylindrical support 13 having a predetermined height provided at the center of the support plate 20 interposed therebetween. A shaft 31 extending downward from the center of the shaft 31 is inserted into the bearing hole of the cylindrical support 13, passes through the center hole 23 of the support plate 20, and is connected to the stepping motor 32 at the lower end. At the upper end of the cylindrical support 13, ball bearings 33 are arranged in the circumferential direction, and support the rotating flat plate 30 in the thrust direction. Therefore, when the stepping motor 32 is driven in a predetermined control mode, the rotation angle, the rotation speed, the rotation direction, and the like of the rotary plate 30 are controlled.
【００１６】また、回転平板３０は、上方のＣＣＤカメ
ラ４０に向かってハロゲンランプ５０から照射される照
射光を透過させる機能を有するように、例えば、透明な
ガラス板等により形成されている。尚、照射光を透過さ
せる機能を有するものであれば、円板状をなすものに限
らないが、そのものが回転することから、できるだけ無
駄なスペースを必要としない円板状が好ましい。The rotating flat plate 30 is formed of, for example, a transparent glass plate or the like so as to have a function of transmitting irradiation light irradiated from the halogen lamp 50 toward the upper CCD camera 40. In addition, as long as it has a function of transmitting irradiation light, it is not limited to a disc-shaped one, but a disc-shaped one that does not require as much useless space as possible is preferable because it itself rotates.
【００１７】さらに、回転平板３０には、図３に示すよ
うに、径方向において支持平板２０に設けられた凹部２
１と対応する位置に、開口部３４が形成されている。こ
の開口部３４は、支持平板２０の凹部２１に被測定物Ｗ
を載置すべく、上方から被測定物Ｗを挿入するために、
あるいは、凹部２１に載置された被測定物Ｗを取り出す
ために用いられるものである。したがって、この開口部
３４の直径は被測定物Ｗの設定直径よりも大きく設定さ
れている。As shown in FIG. 3, the rotary flat plate 30 has a concave portion 2 provided in the support flat plate 20 in the radial direction.
An opening 34 is formed at a position corresponding to 1. The opening 34 is formed in the concave portion 21 of the
In order to insert the object to be measured W from above in order to place
Alternatively, it is used to take out the workpiece W placed in the concave portion 21. Therefore, the diameter of the opening 34 is set to be larger than the set diameter of the DUT W.
【００１８】上記回転平板３０と支持平板２０との構成
において、被測定物Ｗが支持平板２０の凹部２１に載置
された状態で、ステッピングモータ３２が駆動される
と、回転平板３０が回転し、この回転平板３０の下面３
０ａと被測定物Ｗとの摩擦力が、凹部２１内において被
測定物Ｗに回転（自転）を生じさせる。In the configuration of the rotating flat plate 30 and the supporting flat plate 20, when the stepping motor 32 is driven while the object to be measured W is mounted on the concave portion 21 of the supporting flat plate 20, the rotating flat plate 30 rotates. The lower surface 3 of the rotating flat plate 30
The frictional force between Oa and the workpiece W causes the workpiece W to rotate (rotate) in the recess 21.
【００１９】この関係を図４にて説明すると、回転平板
３０の回転中心から開口部３４の中心まで、すなわち、
支持平板２０の中心から凹部２１の中心までの半径を
Ｒ、回転平板３０の回転角度をθ、被測定物Ｗの設定半
径をｒ、被測定物Ｗの回転（自転）角度をφで表した場
合、Ｒ×θ＝ｒ×φが成立する。したがって、被測定物
Ｗの設定半径ｒに応じて、凹部２１までの半径Ｒを適宜
選定することにより、所望の測定感度を得ることができ
る。例えば、半径Ｒを小さくすることで、所定の回転角
度θあたりの被測定物Ｗの回転角度φを小さくして、測
定間隔を小刻みにすることができ、一方、半径Ｒを大き
くすることで、所定の回転角度θあたりの被測定物Ｗの
回転角度φを大きくして、測定間隔を大きくすることが
できる。Referring to FIG. 4, this relationship will be described. From the center of rotation of the rotary plate 30 to the center of the opening 34, ie,
The radius from the center of the support plate 20 to the center of the concave portion 21 is represented by R, the rotation angle of the rotary plate 30 is represented by θ, the set radius of the workpiece W is represented by r, and the rotation (rotation) angle of the workpiece W is represented by φ. In this case, R × θ = r × φ is satisfied. Therefore, a desired measurement sensitivity can be obtained by appropriately selecting the radius R up to the concave portion 21 according to the set radius r of the workpiece W. For example, by reducing the radius R, the rotation angle φ of the workpiece W per predetermined rotation angle θ can be reduced, and the measurement interval can be made smaller. On the other hand, by increasing the radius R, The measurement interval can be increased by increasing the rotation angle φ of the workpiece W per predetermined rotation angle θ.
【００２０】また、上記のような被測定物Ｗの滑らかな
回転（自転）を生じさせるには、支持平板２０の凹部２
１と回転平板３０の下面３０ａとにより及ぼされる被測
定物Ｗの挟持力すなわち接触力（あるいは接触圧）が、
被測定物Ｗの変形を招くことなくかつ確実に回転力を伝
えるような値に設定されるのが好ましい。In order to generate a smooth rotation (rotation) of the object to be measured W as described above, the concave portion 2 of the support plate 20 is required.
1 and the contact force (or contact pressure) of the workpiece W exerted by the lower surface 30a of the rotating flat plate 30,
It is preferable that the value be set to a value that does not cause deformation of the measured object W and reliably transmits the rotational force.
【００２１】撮像手段であるＣＣＤカメラ４０は、図１
に示すように、基台１０上に設けられた支柱１２により
支持されて、位置調節機構（不図示）により、上下方向
の所望の位置にセッティングできるようになっている。
このＣＣＤカメラ４０は、信号ケーブル４１を経由して
画像処理手段であるコンピュータ６０に接続されてい
る。そして、コンピュータ６０内の制御信号に基づい
て、被測定物Ｗの所定回転（自転）角度φごとに、被測
定物Ｗを撮像するようになっている。尚、ＣＣＤカメラ
４０としては、ＮＴＳＣ規格のものを使用するのが好ま
しいが、その他の撮像手段を適用することも可能であ
る。A CCD camera 40 as an image pickup means is shown in FIG.
As shown in FIG. 1, the support is supported by a support column 12 provided on a base 10, and can be set at a desired vertical position by a position adjusting mechanism (not shown).
The CCD camera 40 is connected via a signal cable 41 to a computer 60 as image processing means. Then, based on a control signal in the computer 60, an image of the measured object W is taken at every predetermined rotation (rotation) angle φ of the measured object W. It is preferable that the CCD camera 40 be of the NTSC standard, but other imaging means can be applied.
【００２２】照明手段であるハロゲンランプ５０は、支
持平板２０の下方において、支持平板２０に支持された
被測定物Ｗ及び支柱１２に支持されたＣＣＤカメラ４０
と対向するように設置されて、基台１０上の支柱１４に
より支持されている。そして、支柱１４に設けられた位
置調節機構（不図示）により、上下方向の所望の位置に
セッティングできるようになっている。A halogen lamp 50 serving as an illuminating means includes an object W supported by the support plate 20 and a CCD camera 40 supported by the column 12 below the support plate 20.
And is supported by a support 14 on the base 10. A position adjusting mechanism (not shown) provided on the column 14 can set a desired position in the vertical direction.
【００２３】したがって、ハロゲンランプ５０から照射
された照射光は、支持平板２０にて均等に拡散されつつ
この支持平板２０を通過し、被測定物Ｗの輪郭の部分が
遮られ、それ以外の部分が回転平板３０を通過してＣＣ
Ｄカメラ４０に入射するようになっている。尚、照明手
段としては、ハロゲンランプ５０に限るものではなく、
その他の光源を適用することも可能である。Therefore, the irradiation light emitted from the halogen lamp 50 passes through the support plate 20 while being uniformly diffused by the support plate 20, and the contour of the object W is blocked, while the other portions are not. Passes through the rotating plate 30 and CC
The light enters the D camera 40. The lighting means is not limited to the halogen lamp 50,
Other light sources can be applied.
【００２４】画像処理手段であるコンピュータ６０に
は、図５に示すように、領域区分部（領域区分手段）６
１、中心位置算出部（中心位置算出手段）６２、直径算
出部（直径算出手段）６３、直径差算出部（直径差算出
手段）６４、判別部（判別手段）６５等の機能が少なく
とも含まれており、これらの機能は全て所定のソフトウ
エアにより実現されるものである。As shown in FIG. 5, a computer 60 serving as an image processing means has an area dividing unit (area dividing means) 6.
1. At least the functions of a center position calculation unit (center position calculation unit) 62, a diameter calculation unit (diameter calculation unit) 63, a diameter difference calculation unit (diameter difference calculation unit) 64, and a determination unit (discrimination unit) 65 are included. All of these functions are realized by predetermined software.
【００２５】領域区分部６１は、ＣＣＤカメラ４０から
出力される被測定物Ｗに関しての複数の画像データを、
それらの画像データの各画素の受光量に基づいて、図６
に示すように、明領域ＲＬと暗領域ＲＤとの２つの領域
に区分けする。この区分けは、照射光が十分に入射した
領域と被測定物Ｗによって照射光が遮られて入射しなか
った領域との間で、照射光が十分に入射した領域の画素
の受光量を基準として、照射光が入射しなかった領域に
向かって各画素の受光量が所定の割合に変化した位置を
境界位置として、この位置に境界線ＢＬを設定すること
により行なう。尚、画素の受光量の変化の割合は、たと
えば、１／３〜２／３の範囲のうちの所定の割合とする
ことが望ましい。The area dividing section 61 divides a plurality of pieces of image data of the object W output from the CCD camera 40 into
Based on the amount of light received by each pixel of the image data, FIG.
As shown in FIG. 7, the image is divided into two regions, a bright region RL and a dark region RD. This division is based on the amount of light received by the pixels in the region where the irradiation light is sufficiently incident between the region where the irradiation light is sufficiently incident and the region where the irradiation light is not blocked due to the measurement object W. This is performed by setting a position where the amount of received light of each pixel changes at a predetermined rate toward a region where irradiation light has not entered as a boundary position, and setting a boundary line BL at this position. It is desirable that the rate of change in the amount of received light of the pixel be a predetermined rate in the range of 1/3 to 2/3, for example.
【００２６】中心位置算出部６２は、図７に示すよう
に、領域区分部６１により区分けされた明領域ＲＬと暗
領域ＲＤとの境界線ＢＬ上の任意の３点すなわちＰ１，
Ｐ２，Ｐ３を選択し、この３点を通る円の中心点Ｐ０の
位置を算出する。ここで、これら３点は、境界線ＢＬ上
において、お互いに重なり合わないように所定角度だけ
間隔をあけた位置の点をそれぞれ選択する。As shown in FIG. 7, the center position calculating section 62 arbitrarily selects three points on the boundary line BL between the bright area RL and the dark area RD divided by the area dividing section 61, ie, P1,
P2 and P3 are selected, and the position of the center point P0 of the circle passing through these three points is calculated. Here, these three points are selected on the boundary line BL at points spaced by a predetermined angle so as not to overlap each other.
【００２７】直径算出部６３は、図８に示すように、中
心位置算出部６２により算出された中心点Ｐ０を通る複
数の直線Ｌが境界線ＢＬと交差する２点、すなわち、Ｑ
１１及びＱ１２、Ｑ２１及びＱ２２、・・・Ｑｎ１及び
Ｑｎ２のそれぞれの間の距離を直径として、所定角度θ
１（サンプリング角度）ごとに、境界線ＢＬの全周に渡
って算出する。As shown in FIG. 8, the diameter calculation unit 63 includes two points where a plurality of straight lines L passing through the center point P0 calculated by the center position calculation unit 62 intersect with the boundary line BL, ie, Q
A predetermined angle θ is defined as the distance between each of Q11, Q12, Q21 and Q22,..., Qn1 and Qn2.
The calculation is performed over the entire circumference of the boundary line BL for each 1 (sampling angle).
【００２８】ここで、所定角度（サンプリング角度）θ
１は、特に限定されないが、例えば、０．１度〜２度の
範囲の値、好ましくは１度程度の値とするのが良い。こ
のサンプリング角度θ1 が狭すぎると算出処理に時間を
要し、一方、サンプリング角度θ1 が広すぎると測定精
度が低下することになる。Here, a predetermined angle (sampling angle) θ
1 is not particularly limited, but is, for example, a value in the range of 0.1 to 2 degrees, and preferably a value of about 1 degree. If the sampling angle θ1 is too narrow, it takes a long time for the calculation process, while if the sampling angle θ1 is too wide, the measurement accuracy decreases.
【００２９】直径差算出部６４は、直径算出部６３によ
り算出された複数の直径の値のうち、最大値と最小値と
の直径差δを算出する。判別部６５は、直径差算出部６
４によって算出された直径差δに基づいて、被測定物Ｗ
の真球度を判別するものであり、この直径差δが所定の
基準値を越える場合は、この被測定物Ｗを不良品と判断
し、一方、この直径差δが所定の基準値を越えない場合
は、この被測定物Ｗを良品と判断するものである。The diameter difference calculation section 64 calculates a diameter difference δ between the maximum value and the minimum value among the plurality of diameter values calculated by the diameter calculation section 63. The discriminating unit 65 includes the diameter difference calculating unit 6
4 based on the diameter difference δ calculated by
When the diameter difference δ exceeds a predetermined reference value, the device under test W is determined to be defective, while the diameter difference δ exceeds the predetermined reference value. If not, the device under test W is determined to be non-defective.
【００３０】次に、上記構成をなす真球度測定装置を用
いた測定方法の一実施形態について、図９に示すフロー
チャートに基づき説明する。図９に示すように、先ず、
回転平板３０の開口部３４と支持平板２０の凹部２１と
を位置合わせした状態において、回転平板３０の開口部
３４を通して被測定物Ｗが供給され、支持平板２０の凹
部２１上に載置される（ステップＳ１）。尚、支持平板
２０も回転可能に構成されている場合は、ＣＣＤカメラ
４０の直下から離れた回転角度位置において、支持平板
２０の凹部２１上に被測定物Ｗが載置された後、この支
持平板２０及び回転平板３０を回転させて、被測定物Ｗ
をＣＣＤカメラ４０の直下に位置付け、その後、支持平
板２０を回転不能にロックし、後続のステップに移行さ
れる。Next, an embodiment of a measuring method using the sphericity measuring device having the above configuration will be described with reference to a flowchart shown in FIG. First, as shown in FIG.
In a state where the opening 34 of the rotating flat plate 30 and the concave portion 21 of the supporting flat plate 20 are aligned, the DUT W is supplied through the opening 34 of the rotating flat plate 30 and is placed on the concave portion 21 of the supporting flat plate 20. (Step S1). When the support plate 20 is also configured to be rotatable, after the object W is placed on the concave portion 21 of the support plate 20 at a rotation angle position away from directly below the CCD camera 40, the support plate 20 By rotating the flat plate 20 and the rotating flat plate 30, the DUT W
Is positioned immediately below the CCD camera 40, then the support plate 20 is locked so as not to rotate, and the process proceeds to the subsequent steps.
【００３１】続いて、ハロゲンランプ５０を点灯させて
被測定物Ｗの背後から光を照射した状態で、ＣＣＤカメ
ラ４０により被測定物Ｗが撮像される。撮像により得ら
れた画像データは、コンピュータ６０に向けて送信され
る。この際、ステッピングモータ３２により回転平板３
０を所定の角度θ間隔で回転させ、被測定物Ｗが所定の
角度φだけ回転（自転）した位置ごとに撮像を行なう
（撮像ステップＳ２）。尚、ここでは、角度φを１０度
として、合計３６枚の撮像を行なった。Subsequently, the object to be measured W is imaged by the CCD camera 40 while the halogen lamp 50 is turned on and light is irradiated from behind the object to be measured W. The image data obtained by the imaging is transmitted to the computer 60. At this time, the rotating flat plate 3 is driven by the stepping motor 32.
0 is rotated at a predetermined angle θ interval, and an image is taken at each position where the object W is rotated (rotated) by a predetermined angle φ (imaging step S2). In addition, here, the angle φ was set to 10 degrees, and a total of 36 images were taken.
【００３２】その後、画像処理手段であるコンピュータ
６０では、以下のような処理が行なわれる。先ず、領域
区分部６１により、撮像ステップ（Ｓ２）により撮像さ
れた複数の画像データを、その各画素の受光量に基づい
て、明領域と暗領域との２つの領域に区分けする区分け
処理が行なわれる（領域区分ステップＳ３）。この区分
け処理により、図６に示すように、被測定物Ｗの輪郭に
対応する形状が暗領域ＲＤとして、それ以外の領域が明
領域ＲＬとして区分けされる。尚、本実施形態では、１
／２の割合で受光量が変化した位置を結んだ線を境界線
ＢＬとした。Thereafter, the following processing is performed in the computer 60 as the image processing means. First, the region dividing unit 61 performs a dividing process of dividing a plurality of image data captured in the imaging step (S2) into two regions, a bright region and a dark region, based on the amount of light received by each pixel. (Area division step S3). As a result of this division processing, as shown in FIG. 6, the shape corresponding to the contour of the DUT W is classified as a dark region RD, and the other regions are classified as bright regions RL. In this embodiment, 1
A line connecting the positions where the amount of received light changed at a rate of / 2 was defined as a boundary line BL.
【００３３】続いて、中心位置算出部６２により、図７
に示すように、明領域ＲＬと暗領域ＲＤとの境界線ＢＬ
上の任意の３点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３が選択され、この３点
を通る円の中心点Ｐ０の位置が算出される（中心位置算
出ステップＳ４）。この際、選択される３点は、お互い
に重なり合わない点が選択される。Subsequently, the center position calculating section 62 performs the operations shown in FIG.
As shown in the figure, the boundary line BL between the bright region RL and the dark region RD
The above three arbitrary points P1, P2, and P3 are selected, and the position of the center point P0 of the circle passing through these three points is calculated (center position calculation step S4). At this time, the three selected points are points that do not overlap each other.
【００３４】続いて、直径算出部６３により、図８に示
すように、算出された中心点Ｐ０を通る複数の直線Ｌが
境界線ＢＬと交差する２点、すなわち、Ｑ１１及びＱ１
２、Ｑ２１及びＱ２２、・・・Ｑｎ１及びＱｎ２のそれ
ぞれの間の距離を直径として、境界線ＢＬの全周に渡っ
て所定のサンプリング角度θ１ごとに算出される（直径
算出ステップＳ５）。尚、ここでは、サンプリング角度
θ１を１度に設定し、１つの画像データにつき、３６０
本の直径Ｌを設定し、それらの寸法を算出した。Then, as shown in FIG. 8, the diameter calculating unit 63 crosses the calculated center point P0 at two points at which the plurality of straight lines L intersect the boundary line BL, ie, Q11 and Q1.
The distance between each of Q2, Q21 and Q22,..., Qn1 and Qn2 is defined as the diameter, and is calculated for each predetermined sampling angle θ1 over the entire circumference of the boundary line BL (diameter calculation step S5). Here, the sampling angle θ1 is set to 1 degree, and 360 ° per image data.
The diameter L of the book was set, and their dimensions were calculated.
【００３５】続いて、直径差算出部６４により、前ステ
ップＳ５で算出された複数の直径の値のうち、その最大
値と最小値との直径差δが算出される（直径差算出ステ
ップＳ６）。Subsequently, the diameter difference calculator 64 calculates a diameter difference δ between the maximum value and the minimum value of the plurality of diameter values calculated in the previous step S5 (diameter difference calculation step S6). .
【００３６】続いて、判別部６５により、前ステップＳ
６で算出された直径差δに基づいて、測定物Ｗの真球度
が判別される。すなわち、この直径差δが所定の基準値
を越える場合は、この被測定物Ｗを不良品と判断し、一
方、この直径差δが所定の基準値を越えない場合は、こ
の被測定物Ｗを良品と判断するものである（判別ステッ
プＳ７）。Subsequently, the discriminating section 65 determines whether the previous step S
The sphericity of the measured object W is determined based on the diameter difference δ calculated in 6. That is, when the diameter difference δ exceeds a predetermined reference value, the object W is determined to be defective. On the other hand, when the diameter difference δ does not exceed the predetermined reference value, the object W Is determined to be non-defective (determination step S7).
【００３７】最後に、回転平板３０の開口部３４と支持
平板２０の凹部２１との位置合わせが行なわれて、測定
が終了した被測定物Ｗが、開口部３４から取り出される
（ステップＳ８）。Finally, the position of the opening 34 of the rotating flat plate 30 and the position of the concave portion 21 of the supporting flat plate 20 are adjusted, and the measured object W is taken out of the opening 34 (Step S8).
【００３８】以上のように、ＣＣＤカメラ４０により撮
像された撮像データをコンピュータ６０で処理して、球
状をなす被測定物Ｗの真球度を測定（判定）することに
より、迅速かつ高精度にして、真球度を自動的に測定す
ることができる。これにより、作業者が手作業により測
定する場合に懸念される測定のムラ、測定誤差等を解消
することができる。As described above, the image data captured by the CCD camera 40 is processed by the computer 60 to measure (determine) the sphericity of the spherical object to be measured W, thereby increasing the speed and accuracy. Thus, the sphericity can be automatically measured. As a result, it is possible to eliminate unevenness of measurement, measurement error, and the like, which are concerns when the operator performs manual measurement.
【００３９】上記実施形態においては、被測定物とし
て、コンピュータ機器であるマウスのボールを対象とし
て述べたが、これに限定されるものではなく、輪郭が球
状をなす被測定物であれば、その他いずれのものでも対
象とすることができる。In the above embodiment, the object to be measured is a mouse ball as a computer device. However, the present invention is not limited to this. If the object to be measured has a spherical outline, other objects can be used. Either one can be targeted.
【００４０】[0040]
【発明の効果】以上述べたように、本発明の真球度の測
定装置及び測定方法によれば、球状をなす被測定物の真
球度を測定するにあたり、撮像された被測定物に係る画
像データを処理することにより、測定の自動化を行なう
ことができ、測定の迅速化、測定精度の高精度化、省人
化等を行なうことができる。As described above, according to the sphericity measuring apparatus and the measuring method of the present invention, when measuring the sphericity of a spherical object to be measured, the sphericity of the object to be imaged is measured. By processing the image data, the measurement can be automated, and the measurement can be speeded up, the measurement accuracy can be increased, the manpower can be saved, and the like.
【図１】本発明に係る真球度測定装置の一実施形態を示
す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a sphericity measuring device according to the present invention.
【図２】図１に示す装置の一部をなす支持平板を示すも
のであり、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその断面図で
ある。FIGS. 2A and 2B show a supporting flat plate forming a part of the apparatus shown in FIG. 1, wherein FIG. 2A is a plan view and FIG.
【図３】図１に示す装置の一部をなす回転平板を示す平
面図である。FIG. 3 is a plan view showing a rotating flat plate forming a part of the apparatus shown in FIG. 1;
【図４】本発明に係る真球度測定装置の原理を説明する
ための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the principle of a sphericity measuring device according to the present invention.
【図５】図１に示す装置の一部をなす画像処理手段の構
成を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram illustrating a configuration of an image processing unit that forms a part of the apparatus illustrated in FIG. 1;
【図６】画像処理手段において区分け処理された画像の
一例を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating an example of an image that has been classified by an image processing unit.
【図７】画像処理装置において境界線上の３点を通る円
の中心点を求める方法を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a method of obtaining a center point of a circle passing through three points on a boundary line in the image processing apparatus.
【図８】画像処理装置において中心点を通る直線と境界
線とから複数の直径を算出する方法を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a method of calculating a plurality of diameters from a straight line passing through a center point and a boundary line in the image processing apparatus.
【図９】本発明に係る真球度測定方法の手順を示すフロ
ーチャートである。FIG. 9 is a flowchart showing a procedure of a sphericity measuring method according to the present invention.
１０…基台 ２０…支持平板（支持手段） ２１…凹部 ２２…ボールベアリング ３０…回転平板（回転手段） ３２…ステッピングモータ ３４…開口部 ４０…ＣＣＤカメラ（撮像手段） ５０…ハロゲンランプ（照明手段） ６０…コンピュータ（画像処理手段） ６１…領域区分部（領域区分手段） ６２…中心位置算出部（中心位置算出手段） ６３…直径算出部（直径算出手段） ６４…直径差算出部（直径差算出手段） ６５…判別部（判別手段） Reference Signs List 10 base 20 support flat plate (support means) 21 recess 22 ball bearing 30 rotating flat plate (rotation means) 32 stepping motor 34 opening 40 CCD camera (imaging means) 50 halogen lamp (illumination means) 60: Computer (image processing means) 61: Area dividing section (area dividing means) 62: Center position calculating section (central position calculating means) 63: Diameter calculating section (diameter calculating means) 64: Diameter difference calculating section (diameter difference) Calculation means) 65... Discrimination unit (discrimination means)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA17 AA26 AA48 BB07 DD06 FF02 FF04 GG02 HH02 JJ03 JJ26 LL49 MM04 PP01 PP13 QQ25 QQ29 QQ31 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2F065 AA17 AA26 AA48 BB07 DD06 FF02 FF04 GG02 HH02 JJ03 JJ26 LL49 MM04 PP01 PP13 QQ25 QQ29 QQ31
Claims (6)
定する真球度測定装置であって、 前記被測定物を支持する支持手段と、 前記支持手段に支持された被測定物を所定位置にて回転
させる回転手段と、 前記支持手段に支持された前記被測定物を撮像する撮像
手段と、 前記被測定物を挟んで前記撮像手段と対向するように配
置されて前記撮像手段に向けて光を照射する照明手段
と、 前記撮像手段により撮像された前記被測定物の複数の画
像データに基づいて、前記被測定物の直径を複数個算出
して真球度を測定する画像処理手段と、を有することを
特徴とする真球度測定装置。1. A sphericity measuring device for measuring the sphericity of an object to be measured having a spherical outline, comprising: support means for supporting the object to be measured; and an object to be measured supported by the support means. Rotating means for rotating the object at a predetermined position; imaging means for imaging the object to be measured supported by the support means; and the imaging means arranged to face the imaging means with the object to be measured interposed therebetween. An illuminating unit that irradiates light toward the device; and an image for measuring a sphericity by calculating a plurality of diameters of the measured object based on a plurality of image data of the measured object captured by the imaging unit. And a processing unit.
ータを、その各画素の受光量に基づいて明領域と暗領域
との２つの領域に区分けする領域区分手段と、 前記明領域と暗領域との境界線上の任意の３点を選択す
ると共に前記３点を通る円の中心点の位置を算出する中
心位置算出手段と、 前記中心点を通る直線が前記境界線と交差する２点間距
離を直径として、前記境界線の全周に渡って所定の角度
間隔ごとに算出する直径算出手段と、 前記直径算出手段により算出された複数の直径の最大値
と最小値との差を算出る直径差算出手段と、 前記直径差算出手段によって算出された直径差に基づい
て前記被測定物の真球度を判別する判別手段と、を有す
ることを特徴とする請求項１記載の真球度測定装置。2. The image processing unit according to claim 1, wherein the plurality of image data are divided into two regions, a bright region and a dark region, based on an amount of light received by each pixel. A center position calculating means for selecting any three points on the boundary line with the region and calculating the position of the center point of a circle passing through the three points; and between two points at which a straight line passing through the center point intersects the boundary line. A diameter calculating means for calculating the distance as a diameter at predetermined angular intervals over the entire circumference of the boundary line; and calculating a difference between a maximum value and a minimum value of the plurality of diameters calculated by the diameter calculating means. The sphericity according to claim 1, further comprising: a diameter difference calculating unit; and a determining unit configured to determine a sphericity of the measured object based on the diameter difference calculated by the diameter difference calculating unit. measuring device.
される照射光を透過させると共に前記被測定物を所定位
置にて回転自在に支持する支持平板であり、 前記回転手段は、前記照明手段から照射される照射光を
透過させると共に前記支持平板と協働して前記被測定物
を挟持するように前記支持平板と平行に配置されかつ前
記支持平板と平行な面内において回転させられる回転平
板である、ことを特徴とする請求項１又は２記載の真球
度測定装置。3. The support means is a support plate that transmits the irradiation light emitted from the illumination means and rotatably supports the device under test at a predetermined position, and wherein the rotation means includes the illumination means. A rotating flat plate which is arranged in parallel with the support flat plate so as to sandwich the object to be measured and cooperates with the support flat plate and is rotated in a plane parallel to the support flat plate while transmitting the irradiation light emitted from The sphericity measuring device according to claim 1, wherein:
位置に留めるための凹部が形成されている、ことを特徴
とする請求項３記載の真球度測定装置。4. The sphericity measuring device according to claim 3, wherein a concave portion is formed in the supporting flat plate to hold the measured object at a predetermined position.
支持平板との間に対して出し入れするための開口部が形
成されている、ことを特徴とする請求項３又は４記載の
真球度測定装置。5. The true plate according to claim 3, wherein an opening is formed in the rotating flat plate to allow the object to be measured to be inserted into and removed from the supporting flat plate. Ball measurement device.
定する真球度測定方法であって、 前記被測定物を所定位置にて支持して回転させつつ、前
記被測定物の背後から光を照射して、その前方から前記
被測定物を撮像する撮像ステップと、 前記撮像ステップにより撮像された複数の画像データ
を、その各画素の受光量に基づいて明領域と暗領域との
２つの領域に区分けする領域区分ステップと、 前記明領域と暗領域との境界線上の任意の３点を選択す
ると共に前記３点を通る円の中心点の位置を算出する中
心位置算出ステップと、 前記中心点を通る直線が前記境界線と交差する２点間距
離を直径として、前記境界線の全周に渡って所定の角度
間隔ごとに算出する直径算出ステップと、 前記直径算出ステップにより算出された複数の直径の最
大値と最小値との差を算出する直径差算出ステップと、 前記直径差算出ステップにより算出された直径差に基づ
いて前記被測定物の真球度を判別する判別ステップと、
を有することを特徴とする真球度測定方法。6. A sphericity measuring method for measuring the sphericity of an object having a spherical outline, wherein the object is supported and rotated at a predetermined position while rotating the object. By irradiating light from behind, an imaging step of imaging the object to be measured from the front, a plurality of image data imaged by the imaging step, a bright region and a dark region based on the amount of light received by each pixel An area dividing step of dividing into two areas; a center position calculating step of selecting any three points on a boundary between the bright area and the dark area and calculating a position of a center point of a circle passing through the three points; A diameter calculating step of calculating a distance between two points at which a straight line passing through the center point intersects with the boundary line at a predetermined angular interval over the entire circumference of the boundary line, and calculating by the diameter calculating step Of multiple diameters The diameter difference calculation step of calculating a difference between the value and the minimum value, a determination step of determining the sphericity of the object to be measured based on the diameter difference calculated by said diameter difference calculation step,
A sphericity measuring method characterized by having:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11099002A JP2000292138A (en) | 1999-04-06 | 1999-04-06 | Sphericity measuring apparatus and sphericity measuring method |
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| JP11099002A JP2000292138A (en) | 1999-04-06 | 1999-04-06 | Sphericity measuring apparatus and sphericity measuring method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000292138A true JP2000292138A (en) | 2000-10-20 |
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ID=14234805
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP11099002A Pending JP2000292138A (en) | 1999-04-06 | 1999-04-06 | Sphericity measuring apparatus and sphericity measuring method |
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| Country | Link |
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