JP2000275064A - 位置測定装置 - Google Patents

位置測定装置

Info

Publication number
JP2000275064A
JP2000275064A JP2000076591A JP2000076591A JP2000275064A JP 2000275064 A JP2000275064 A JP 2000275064A JP 2000076591 A JP2000076591 A JP 2000076591A JP 2000076591 A JP2000076591 A JP 2000076591A JP 2000275064 A JP2000275064 A JP 2000275064A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holder
measuring device
position measuring
scale
frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000076591A
Other languages
English (en)
Inventor
Ludwig Boege
ルートウイッヒ・ベーゲ
Hans-Joachim Freitag
ヨアヒム・フライターク ハンス−
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=7901577&utm_source=***_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP2000275064(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JP2000275064A publication Critical patent/JP2000275064A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C41/00—Other accessories, e.g. devices integrated in the bearing not relating to the bearing function as such
    • F16C41/007—Encoders, e.g. parts with a plurality of alternating magnetic poles
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/005—Guide rails or tracks for a linear bearing, i.e. adapted for movement of a carriage or bearing body there along
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の課題は、目盛板が機械的応
力に関してそのホルダから断絶されかつ目盛板が外部の
機械的影響に対しても簡単な方法で保護されるような位
置測定装置を提供することである。 【解決手段】 目盛板１を備えた位置測定装置であ
って、その際目盛板１の目盛６は、位置に依存した走査
信号を発生させるために走査ユニット７によって走査可
能であり、そして目盛板１は、弾性的中間フィルム２を
介してホルダ３の表面３．１上に固定されている前記位
置測定装置において、目盛６は、ホルダ３の表面３．１
に直接向かい合って配設されておりそして目盛６はホル
ダ３を通して走査可能であることを特徴とする前記位置
測定装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ホルダに固定され
た目盛板を備えた位置測定装置に関する。
【０００２】そのような位置測定装置は、特に工作物に
対する工具の相対位置の測定のために工作機械に使用さ
れる。その際目盛板は直接測定されるべき対象物（機械
部分）に接着されるか又はホルダ−例えば同時にハウジ
ングを形成する−を介してこの対象物に固定される。位
置測定装置の測定精度は、測定されるべき対象物への目
盛板の固定に実質的に依存することが示される。
【０００３】
【従来の技術】この固定の最適化のために、ドイツ国特
許第１９６１１９８３号明細書によれば目盛板とホルダ
との間に粘性液体が装入される。目盛板とホルダとの間
の連結は、粘性中間層の毛細管作用によって発生され、
それによって目盛板は発生する機械的応力に関してホル
ダから遮断されている。この構成では、目盛板の目盛が
完全に自由であることが不利である。
【０００４】この問題の解決のために、ヨーロッパ特許
第０４１６３９１号明細書中に位置測定装置が記載され
ており、その際目盛板はガラスから成りかつその目盛を
有する側によって粘性液体層を介してホルダに固定され
ている。目盛は、透明なガラス体を通して走査される。
【０００５】目盛自体は、この配列では、周囲の影響に
対して非常に良好に保護されて格納されている。しかし
目盛板自体は全ての周囲の影響に曝されることがここで
も欠点である。目盛板の中立面から目盛までの大きな距
離によって目盛を有する表面は外部の機械的な力の作用
の下にかつ非平坦の下層の下に著しく伸ばされ又は据え
込まれる。それによって生じる測定誤差は比較的高い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、目盛板が機
械的応力に関してそのホルダから遮断されかつ目盛板が
外部の機械的影響に対しても簡単な方法で保護されるよ
うな位置測定装置を提供することを課題の基礎とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、この課
題は、請求項１の特徴によって解決される。
【０００８】本発明によって得られる利点は、特に、簡
単な手段によって汚れ及び外部の機械的作用からの有効
な保護が達成され、その結果この位置測定装置が高精度
の測定に使用されることができることにある。
【０００９】本発明の有利な構成に基づいて得られる他
の利点は、次の記載において説明される。
【００１０】従属請求項に、本発明の有利な構成が記載
されている。
【００１１】本発明の実施例を、図面に基づいて詳しく
説明する。
【００１２】
【実施例】図１及び２には、本発明の第１実施例が表さ
れている。長さ測定装置の形のこの位置測定装置は、ホ
ルダ３に粘性液体フィルム２を介して接着力によって接
着する目盛板１から成る。ホルダ３は、更に枠４に固定
されている。目盛板１の保護された収容のために枠４に
溝５が形成されている。この溝５は、ホルダ３によって
気密にシールされる。
【００１３】目盛板１は、磨かれた市販の高級帯鋼板か
ら成る薄い可撓性ストリップ（例えば厚さ０．２ｍｍ、
幅８ｍｍ）である。ホルダ３に直接向かい合う目盛板１
の表面３．１上に、インクリメンタル目盛及び又はアブ
ソリュートコードの形の反射測定目盛６が付けられてい
る。この測定目盛６は、それ自体公知の方法で透明なホ
ルダ３を通して走査ユニット７によって光電的に走査さ
れる。従って走査ユニット７は、測定方向Ｘにおける測
定目盛６に対する相対移動の際に位置に依存する電気的
走査信号を送る。
【００１４】粘性液体フィルム２は、好ましくは略１
０．０００ｍｍ2 ／ｓの動粘性を有する透明シリコンオ
イルである。目盛板１は、液体フィルム２の粘性に基づ
いてのみホルダ３の下面３．１に接着保持される。液体
フィルム２は、目盛板１の応力を遮断された固定を保証
する。液体フィルムは、目盛板１に許容されない応力
（据え込み、伸び）が発生し又は目盛板１からホルダ上
に許容されない方法で伝達されることなしに、温度変化
の際にホルダ３に対する目盛板１の自由な長さ変化を可
能にする。この長さ変化は、測定方向Ｘにおけるホルダ
３に対する目盛板１の部分的な移動を生じさせ、その際
最小の接着摩擦のみか生じる。目盛板１の僅かな厚さの
ために、撓み影響は同様に無視できる程小さい。液体フ
ィルム２は、目盛板１とホルダ３の下面３．１との間に
全面的にかつ測定方向Ｘに延ばされて薄い中間層として
均一に取り付けられている。液体フィルム２の粘性は、
僅かな自重で薄くかつ可撓性の目盛板１が接着力を介し
てホルダ３の下面３．１に接着されかつこの表面３．１
は目盛板１の平坦性又は平滑性に関する基準面として役
立つ。目盛板１は、ホルダから持ち上がることなしに、
ホルダ３上に言わば浮動的である。ホルダ３の材料とし
てのガラスの使用は、ガラスが大きな長さに渡ってコス
ト安く高い表面品質及び直線度を有するという利点を有
する。ホルダ３の寸法及び材料は、有利な方法で、ホル
ダが高い自動安定性従って測定方向Ｘに沿って一定の平
坦度及び直線度を有するように選択される。
【００１５】毛細管作用は、隙間からの液体２の流出を
阻止しかつ下面３．１に対して目盛板１を引きつける。
【００１６】枠４へのホルダ３の固定は、ホルダ３と枠
４の熱膨張率に依存して選択される。等しい熱膨張率で
は、ホルダ３はその全長に渡って枠４に剛固に固定され
ることができる。しかし実際には等しい熱膨張率でも温
度勾配に基づいて相異なる膨張を生じる。従って固定
は、ホルダ３も枠４から−測定方向Ｘに見て−遮断され
るように構成されるのが有利である。枠４とホルダ３と
の間の接着剤８は、ホルダ３に許容されない応力が発生
し又はホルダに伝達されることなしに、枠４並びにホル
ダ３の自由な長さ変化を保証する。
【００１７】測定システムの固定点９の実現のために、
目盛板１は、一個所で、即ち目盛板１に沿う単一個所で
直接枠４と剛固に連結されている。この連結は、図中極
部的に剛固な接着結合部９として図式的にのみ記載され
ており、この連結は溶接結合又はねじ結合によっても実
現されることができる。図示の例において、溝５は、目
盛板１と枠４との間での接着結合部９が比較的厚く従っ
て不安定である程の深さである。この理由からレベル補
償のために、目盛板１の下面上に走査板１０が溶着され
かつ走査板１０と枠４との間に剛固な接着結合部９が形
成されている。剛固な接着結合部９は、目盛板１の下面
の代わりに側縁又は端面の端側にも設けられることがで
きる。選択的に固定点９は、ホルダ３を介しても実現さ
れ、その際目盛板１は片側で（Ｘ方向に見て）ホルダ３
に剛固に固定されておりかつ更にホルダ３はこの個所で
ホルダ４に剛固に固定されている。好ましくは固定点９
は、目盛板１の一端に形成されている。
【００１８】記載の配列によって、目盛板１はホルダ３
によって保護されて配設されている。ホルダ３の自由な
表面は、走査ユニット７に取り付けられたストリッパ１
１によって払拭されて、特別に簡単にきれいにされるこ
とができる。ストリッパ１１を介して万一の場合導入さ
れる力は、遮断された固定によって目盛板１上には伝達
されない。
【００１９】走査ユニット７は枠４に案内されることが
でき、案内はホルダ３でも行われることができ、その際
走査ユニット７は滑り要素又はローラ要素１２によって
ホルダ３に支持のみされ又はホルダ３に少なくとも測定
方向Ｘに延びるＶ溝１３が形成され、Ｖ溝は走査ユニッ
ト７の直線案内を、測定方向Ｘに対して横にも−即ちＹ
方向にも−保証する。この説明は図８に原理的に図式的
に表されている。
【００２０】図１及び図２による長さ測定装置の特別に
有利な使用は、独自の構成ユニットとして工作機械の機
械ベッドに固定可能な案内ユニット４、１４へのスペー
ス節約した組み込みである。この組み込みは、図３に図
式的に表されている。目盛板１は枠を形成する案内４の
溝５に保護されて格納されている。走査ユニット７は、
案内キャリッジ１４に固定されている。案内ユニット
４、１４は、ボール転動案内、ローラ転動案内又は他の
市販の案内ユニット４、１４で有り得る。
【００２１】図示しない方法で直線駆動装置への組み込
みも可能である。
【００２２】図４に示された第２実施例は、第１実施例
とは、持続弾性的接着剤８の代わりに枠４へのホルダ３
の固定のための粘性液体２が使用されることによって相
違する。このためにホルダ３の表面と枠４の表面との間
に液体２を有する薄い隙間が設けられ、その結果ホルダ
３は液体２の粘性に基づいて枠４に測定方向Ｘにおいて
弾性的に保持されている。追加的に全溝空間５は液体２
を充填されることができる。しかしその際溝底と目盛板
１の下面との間の隙間は、目盛板１とホルダ３との間の
隙間よりも実質的に大きいことが注目される。目盛板１
とホルダ３との間の接着力は、目盛板１とホルダ３との
間の接着力よりも実質的に大きいことが保証されなけれ
ばならない。この説明では溝空間５は、目盛板１とホル
ダ３との間の均一な液体層２の形成のための液体溜とし
て役立ち、その際必要な液体２は毛細管作用に基づいて
隙間に引き込まれる。液体２は、ホルダ３と枠４との間
のシールの機能をも有する。更にこの構成では目盛板１
とホルダ３の簡単な交換可能性が可能である。
【００２３】図５による第３実施例では、ホルダ３はそ
の専ら表面３．１に対して垂直に延びる縦側３．２及び
３．３によって枠４に固定されている。このことは、Ｚ
方向への枠４の撓みが直接ホルダ３上には伝達されない
という利点を有する。固有の安定したホルダ３の平坦性
及び直線性は、液体フィルム２によって枠４から遮断さ
れている。ホルダ３と枠４との間には液体フィルム２の
代わりに持続弾性接着剤を使用されることができる。
【００２４】図５による実施例は、更に液体フィルム２
を目盛板１の全幅（Ｙ方向）に渡って設けることを条件
つきで必要とすることを示す。特別の条件で例えば測定
目盛６の走査領域が液体２から部分的に所期のように解
放維持されることができる。このために流動縁１５が目
盛板１及び又はホルダ３に設けられることができ、流動
縁は、解放されるべき空間１６への液体２の流入を阻止
する。
【００２５】図６は、第５実施例を示す。その際枠４が
簡単に組立てられかつ交換されるべき長さ測定装置の部
分として形成されていることが、本質的なことである。
枠４は特にレールとして形成されており、レールは使用
者によって公知の措置によって簡単に取外し可能に工作
機械又は測定機械１８に固定されることができる。この
固定は両面接着接着フィルムの形の接着層１７の存在に
よって行われることができる。ここでも枠４と例えばね
じ込み要素１９によって実現される組付け面１８との間
の単一の固定点（測定方向Ｘに見て一個所）が設けられ
る場合は有利である。その他の領域において組付け面１
８に対する枠４の力及び応力のない伸びが可能にされる
べきである。固定点１９及び固定点９がＸ方向における
同一の位置に設けられることは測定技術的に有利であ
る。
【００２６】枠４は同時に密閉された長さ測定装置の走
査ユニット７用のハウジングを形成することができる。
走査ユニット７の案内は、ハウジング及び又はホルダ３
で行われることができる。
【００２７】図７による第５実施例は、ホルダ３がプレ
ート状に形成されているのみならず、同時にホルダに目
盛板を収容するための溝５が設けられることができるこ
とを示す。この構成によって目盛板１は側方でも液体層
２を介してホルダ３に固定されておりかつ側方の移動又
はねじりを阻止されている。
【００２８】ホルダ３に対する目盛板１の側方の移動
（Ｙ方向）又はねじれを阻止するために、全ての実施例
で、目盛板１の側方のストッパがホルダ３に設けられる
ことができる。しかしこの移動又はねじれは、狭いウエ
ブによっても阻止されることができ、目盛板１は、ウエ
ブ上で液体フィルム２を介して保持されておりかつその
幅は、それ自体ヨーロッパ特許第０４１６３９１号明細
書の図２に示されるような目盛板１の幅に相応する。
【００２９】目盛板１としての鋼帯板の使用は、有利で
あるが、本発明にとっては条件つきで必要となる。この
ために他の材料も使用されることができる。
【００３０】測定目盛６が反射位相格子の形の光学的に
走査可能な構造として又は測定方向Ｘに交互に配設され
た反射する及び反射しない領域から成るものとして形成
されている場合、特別に高分解能の位置測定が達成され
ることができる。しかし測定目盛６は磁気的、誘導的又
は容量的に走査可能に形成されることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、第１長さ測定装置の横断面Ｉ−Ｉを示
す図である。
【図２】図２は、図１による長さ測定装置の縦断面ＩＩ
−ＩＩを示す図である。
【図３】図３は、第１長さ測定装置が案内に組み込まれ
ている状態を示す図である。
【図４】図４は、第２長さ測定装置の横断面図である。
【図５】図５は、第３長さ測定装置の横断面図である。
【図６】図６は、第４長さ測定装置の横断面図である。
【図７】図７は、第５長さ測定装置の横断面図である。
【図８】図８は、走査ユニットの案内を備えた他の長さ
測定装置の横断面図である。
【符号の説明】
１ 目盛板 ２ 中間フィルム ３ ホルダ ３．１ ホルダの表面 ６ 測定目盛 ７ 走査ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ルートウイッヒ・ベーゲ ドイツ連邦共和国、07751 イエーナープ リースニッツ、エドウアルト− メーリケ − ヴエーク、１ (72)発明者 ハンス− ヨアヒム・フライターク ドイツ連邦共和国、07749 イエーナー、 リンデンヘーエ、16

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 目盛板（２）を備えた位置測定装置であ
    って、その際目盛板（１）の目盛（６）は、位置に依存
    した走査信号を発生させるために走査ユニット（７）に
    よって走査可能であり、そして目盛板（１）は、弾性的
    中間フィルム（２）を介してホルダ（３）の表面（３．
    １）上に固定されている前記位置測定装置において、 目盛（６）は、ホルダ（３）の表面（３．１）に直接向
    かい合って配設されておりそして目盛（６）は、ホルダ
    （３）を通して走査可能であることを特徴とする前記位
    置測定装置。
  2. 【請求項２】 弾性的中間フィルムが、粘性液体
    （２）、特にシリコンオイルであることを特徴とする、
    請求項１に記載の位置測定装置。
  3. 【請求項３】 目盛板が、薄い可撓性帯鋼板（１）であ
    ることを特徴とする、請求項１又は２に記載の位置測定
    装置。
  4. 【請求項４】 目盛板（６）が、反射しかつ光電的に走
    査可能な構造であることを特徴とする、請求項１から３
    までのうちのいずれか１つに記載の位置測定装置。
  5. 【請求項５】 ホルダが、透明で比較的自動安定なかつ
    撓み剛固なガラス体（３）であることを特徴とする、請
    求項１から４までのうちのいずれか１つに記載の位置測
    定装置。
  6. 【請求項６】 中間フィルムが、目盛板（１）とホルダ
    （３）との間の目盛（６）の領域に均一に設けられてい
    る粘性液体（２）であることを特徴とする、請求項１か
    ら５までのうちのいずれか１つに記載の位置測定装置。
  7. 【請求項７】 中間フィルムが、目盛板（１）とホルダ
    （３）との間に部分的にのみ設けられている粘性液体
    （２）であり、その際目盛板（１）とホルダ（３）との
    間の空間（１６）を液体（２）から解放維持するための
    手段（１５）が設けられていることを特徴とする請求項
    １から５までのうちのいずれか１つに記載の位置測定装
    置。
  8. 【請求項８】 ホルダ（３）が、枠（４）に固定されて
    いることを特徴とする請求項１から７までのうちのいず
    れか１つに記載の位置測定装置。
  9. 【請求項９】 枠（４）に、目盛板（１）の収容のため
    の溝（５）が形成されており，そして溝（５）はホルダ
    （３）によってカバーされていることを特徴とする請求
    項８に記載の位置測定装置。
  10. 【請求項１０】 ホルダ（３）が、測定方向（Ｘ）にお
    いて弾性的手段（２、８）を介して枠（４）に固定され
    ていることを特徴とする請求項８又は９に記載の位置測
    定装置。
  11. 【請求項１１】 弾性的手段（２、８）が、ホルダ
    （３）と枠との間の空間を少なくともシールすることを
    特徴とする請求項９又は１０に記載の位置測定装置。
  12. 【請求項１２】 弾性的手段が、持続弾性接着剤（８）
    又は粘性液体（２）であることを特徴とする請求項１１
    に記載の位置測定装置。
  13. 【請求項１３】 溝空間（５）が粘性液体（２）を充填
    されていることを特徴とする請求項１２に記載の位置測
    定装置。
  14. 【請求項１４】 ホルダ（３）が、その表面（３．１）
    に対して垂直に延びる縦側（３．２、３．３）によっ
    て、この縦側（３．２、３．３）に対して平行に延びる
    枠（４）のストッパ面に固定されていることを特徴とす
    る請求項８から１３までのうちのいずれか１つに記載の
    位置測定装置。
  15. 【請求項１５】 目盛板（１）が、単一位置（９）で直
    接枠（４）に剛固に固定されていることを特徴とする請
    求項８から１４までのうちのいずれか１つに記載の位置
    測定装置。
  16. 【請求項１６】 目盛板（１）が、単一位置でホルダ
    （３）に剛固に、そしてホルダ（３）が更にこの位置で
    枠（４）に剛固に固定されていることを特徴とする、請
    求項８から１４までのうちのいずれか１つに記載の位置
    測定装置。
  17. 【請求項１７】 枠（４）が、直線案内であることを特
    徴とする請求項８から１６までのうちのいずれか１つに
    記載の位置測定装置。
  18. 【請求項１８】 走査ユニット（７）が、ホルダ（３）
    に案内されていることを特徴とする請求項１から１７ま
    でのうちのいずれか１つに記載の位置測定装置。
  19. 【請求項１９】 ホルダ（３）に、測定方向（Ｘ）に延
    びる少なくとも１つのＶ形の溝（１３）が形成され、Ｖ
    形溝には、走査ユニット（７）の案内要素（１２）が嵌
    入していることを特徴とする請求項１８に記載の位置測
    定装置。
JP2000076591A 1999-03-19 2000-03-17 位置測定装置 Withdrawn JP2000275064A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19912310A DE19912310B4 (de) 1999-03-19 1999-03-19 Positionsmeßeinrichtung
DE19912310:1 1999-03-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000275064A true JP2000275064A (ja) 2000-10-06

Family

ID=7901577

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000076591A Withdrawn JP2000275064A (ja) 1999-03-19 2000-03-17 位置測定装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6442861B1 (ja)
EP (1) EP1039267B1 (ja)
JP (1) JP2000275064A (ja)
DE (2) DE19912310B4 (ja)
ES (1) ES2296578T3 (ja)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0023289D0 (en) * 2000-09-22 2000-11-08 Renishaw Plc Determination of displacement
JP4351379B2 (ja) * 2000-11-02 2009-10-28 村田機械株式会社 工作機械
DE10056947A1 (de) * 2000-11-17 2002-05-23 Optolab Licensing Gmbh Verfahren und Anordnung zur Montage von Messsystemen
US6777645B2 (en) * 2001-03-29 2004-08-17 Gsi Lumonics Corporation High-speed, precision, laser-based method and system for processing material of one or more targets within a field
JP2002318137A (ja) * 2001-04-20 2002-10-31 Mitsutoyo Corp 変位測定装置のスケール
JP4869505B2 (ja) * 2001-06-27 2012-02-08 株式会社ミツトヨ エンコーダの摺動機構
DE10254358B4 (de) * 2001-12-17 2005-04-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Trägerkörper für eine Positionsmessvorrichtung
DE10201496A1 (de) * 2002-01-17 2003-07-31 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Maßstab und Positionsmesseinrichtung zur absoluten Positionsbestimmung
US6612047B1 (en) * 2002-02-19 2003-09-02 Acu-Rite, Inc. Length measuring device
DE10225243B4 (de) * 2002-06-07 2013-01-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmessgerät und Verfahren zur Korrektur von Wärmeausdehnungen, insbesondere für eine Bearbeitungsmaschine
DE10229885B4 (de) * 2002-07-03 2010-06-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Anbringen eines Maßstabs oder Maßstabträgers oder einer Maßstabführung
DE10249882B3 (de) * 2002-10-25 2004-01-15 Optolab Licensing Gmbh Meßsystem und Befestigungsverfahren dafür
JP4223823B2 (ja) * 2003-02-10 2009-02-12 ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 スケール装置
JP4230810B2 (ja) * 2003-04-24 2009-02-25 株式会社ミツトヨ 測長装置
DE10334735A1 (de) * 2003-07-26 2005-03-03 Hübner Elektromaschinen AG Tragring für einen magnetischen Drehgeber
EP1528369B1 (de) * 2003-10-27 2014-03-12 SICK STEGMANN GmbH Optischer Drehwinkelsensor
US6910279B1 (en) 2004-05-12 2005-06-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Holder for a graduated element
DE102004027218A1 (de) * 2004-06-03 2005-12-29 Seeger Gmbh Meßeinrichtung mit Linearführung
US20060000814A1 (en) 2004-06-30 2006-01-05 Bo Gu Laser-based method and system for processing targeted surface material and article produced thereby
JP2006017975A (ja) * 2004-07-01 2006-01-19 Ricoh Co Ltd 移動体、画像形成装置及び移動体のマーク形成方法
DE102004043055B4 (de) 2004-09-06 2009-04-02 Siemens Ag Führungsvorrichtung zur Führung eines bewegbaren Maschinenelementes einer Maschine
EP1742023A1 (de) * 2005-07-06 2007-01-10 Schneeberger Holding AG Linearführungssystem mit Vorrichtung zur Positionsmessung
JP5076752B2 (ja) * 2006-10-06 2012-11-21 日本精工株式会社 直動案内装置
GB0807088D0 (en) * 2008-04-18 2008-05-21 Eley Metrology Ltd Positioning apparatus
GB0902547D0 (en) 2009-02-16 2009-04-01 Renishaw Plc Encoder scale member and method for mounting
US8739424B2 (en) * 2011-06-24 2014-06-03 Mitutoyo Corporation Structure for protecting scale graduations
DE102011079464A1 (de) * 2011-07-20 2013-01-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Längenmesseinrichtung
JP2014224705A (ja) * 2013-05-15 2014-12-04 キヤノン株式会社 スケール保持装置、およびエンコーダ
JP6355349B2 (ja) 2014-02-04 2018-07-11 株式会社ミツトヨ リニアエンコーダ
DE102014218483B4 (de) * 2014-09-15 2016-10-13 Deckel Maho Pfronten Gmbh Positionsmesseinrichtung zum Einsatz an einer Werkzeugmaschine
DE102015105561A1 (de) 2015-04-13 2016-10-13 Klaus Winter Vorrichtung zur Ausrichtung eines zu vermessenden Bauteils
DE102017127955B4 (de) * 2017-11-27 2020-07-30 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Linearlager mit Messeinrichtung
CN108067642B (zh) * 2017-12-20 2019-05-14 齐重数控装备股份有限公司 一种静压刀架光栅尺安装结构
DE102018130985B3 (de) * 2018-10-02 2020-03-05 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Profilschiene und Verfahren zur Herstellung einer Profilschiene für eine Linearführung

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5726004U (ja) * 1980-07-21 1982-02-10
JPS60161523A (ja) * 1984-02-02 1985-08-23 Mitsutoyo Mfg Co Ltd 三次元測定機
DE3410944C1 (de) * 1984-03-24 1985-05-09 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Gekapselte Meßeinrichtung
DE3637628C1 (de) * 1986-11-05 1988-02-11 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren zur Herstellung einer Massverkoerperung
EP0385418B1 (en) * 1989-02-28 1995-01-18 Sony Magnescale, Inc. Hologram scale having moisture resistance
DE3918490C1 (ja) * 1989-06-07 1990-09-27 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De
DE3929629A1 (de) * 1989-09-06 1991-03-07 Zeiss Carl Fa Laengen- oder winkelmesseinrichtung
DE4021919C2 (de) * 1990-07-10 1995-06-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Maßverkörperung
ATE108271T1 (de) * 1991-05-11 1994-07-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung.
DE4406799C2 (de) * 1994-03-02 1997-11-06 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE4406798C2 (de) * 1994-03-02 1997-11-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE4406797C2 (de) * 1994-03-02 1997-11-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE59404828D1 (de) * 1994-05-06 1998-01-29 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Temperatur-kompensierte Positionsmesseinrichtung
DE19611983C1 (de) * 1996-03-26 1997-07-31 Zeiss Carl Jena Gmbh Bandförmiges, elastisch biegbares Maßband für Längen- oder Winkelmeßeinrichtungen
EP0841540B1 (de) * 1996-11-11 2001-08-22 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesseinrichtung
DE19700367C2 (de) * 1997-01-08 1999-07-01 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Montagevorrichtung zum gerichteten Anbringen eines Maßbandes
JPH11183199A (ja) * 1997-12-25 1999-07-09 Merutekku:Kk フォトセンサー用スケール
DE19854318A1 (de) * 1998-11-25 2000-05-31 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längenmeßeinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
ES2296578T3 (es) 2008-05-01
US6442861B1 (en) 2002-09-03
EP1039267B1 (de) 2007-11-21
US20020066201A1 (en) 2002-06-06
DE50014792D1 (de) 2008-01-03
EP1039267A3 (de) 2001-10-31
DE19912310B4 (de) 2007-11-29
EP1039267A2 (de) 2000-09-27
DE19912310A1 (de) 2000-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000275064A (ja) 位置測定装置
US5065525A (en) Length or angle measuring device
US5979238A (en) Strip-shaped resiliently flexible measuring tape for length--or angle-measuring devices
US4815213A (en) Apparatus for temperature compensation of sensing means of a machine
JP4525991B2 (ja) 長さ測定装置
JPH08285566A (ja) 位置測定装置
US8156658B2 (en) Linear encoder
US6578283B2 (en) Position transducer
US9772204B2 (en) Length-measuring device
JP3007277B2 (ja) 位置測定装置
JPH07324925A (ja) 信号伝送装置
JP2962507B2 (ja) 位置測定装置
US11519763B2 (en) Assembly including a main support, an intermediate support disposed on the main support, and a scale disposed on the intermediate support
US5555633A (en) Scale assembly
JP6712827B2 (ja) リニアエンコーダ
US9835430B2 (en) Position-measuring device
CN113494933A (zh) 用于位置测量的组件
JPH1163966A (ja) スケール装置
JP3107365B2 (ja) リニアセンサ
JP2001235304A (ja) 真直度測定装置の真直運動精度測定方法
JP3331770B2 (ja) 位置検出ヘッド及びその製造方法
JPH0237962B2 (ja) Henisokuteiki
JPH0433373B2 (ja)
JPH11230714A (ja) 円筒形状測定装置
JPH0244368B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20070605