JP2000223306A - 角形比を向上したr―t―b系希土類焼結磁石およびその製造方法 - Google Patents

角形比を向上したr―t―b系希土類焼結磁石およびその製造方法

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earth sintered
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久人 所
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信彦 藤森
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 還元拡散法により作製したR−T−B系希土
類焼結磁石用合金粉末を用いたR−T−B系の高性能希
土類焼結磁石およびその製造方法を提供する。 【解決手段】 希土類元素R の酸化物粉末と、含T粉
末と、含B粉末と、Ca,Mgおよびその水素化物から
選ばれる少なくとも1種とを混合し、この混合物を非酸
化性雰囲気において900〜1350℃に加熱後冷却
し、洗浄後乾燥し、次にこの合金粉末を1Torr以下の真
空中で900〜1100℃に加熱する脱Ca熱処理を施
し、その後この合金粉末を用いて粉砕、成形、真空焼
結、熱処理、表面処理を行うことを特徴とするR
14B型金属間化合物を主相とする角形比を向上したR
−T−B系希土類焼結磁石の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、還元拡散法により
作製したR−T−B系希土類焼結磁石用合金粉末を用い
たR−T−B系の高性能希土類焼結磁石およびその製造
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】希土類永久磁石の中でもR−T−B系希
土類焼結磁石(RはYを含む希土類元素の少なくとも1
種であり、Nd,Dy,Prの少なくとも1種を必ず含
む)は実用性に富んだ高性能磁石であり、高価なCoや
Smを多量に含有するSm−Co系永久磁石に比べてコ
ストパーフォーマンスに優れることから、各種磁石応用
製品分野で多用されている。
【0003】上記R−T−B系希土類焼結磁石用の合金
粉末は溶製合金(ストリップキャスト合金または高周波
溶解・鋳造合金等)を粉砕して得ることができる。他
方、より安価なR−T−B系合金粉末として、例えば希
土類元素の酸化物粉末と、Fe−Co−B系合金粉末
と、Fe粉末と、還元剤(Ca)とを適量配合し、混合
したものを不活性ガス雰囲気中で加熱し、前記希土類元
素酸化物を還元し、この還元した希土類金属とFe,C
o,Bとを拡散させてR14B型金属間化合物を主
相とするR−T−B系合金を生成せしめ、その後CaO
等の反応副生成物を洗浄工程により除去し、乾燥する還
元拡散法(Reduction and Diffusion Method、以
下、R/D法という)によるR−T−B系合金粉末(以
下、R/D粉末という)がある。
【0004】R/D粉末は溶製合金粉末に比べて安価で
あり、原料原価の低減に有利である。しかし、従来のR
/D粉末は溶製合金粉末に比べてCa、O等の不可避不
純物の含有量が多かった。このため、R/D粉を用いて
作製したR−T−B系希土類焼結磁石は溶製合金粉末を
用いて作製したR−T−B系希土類焼結磁石に比べて、
減磁曲線の角形比等が低く、高性能磁石の製造が困難だ
った。角形比の劣化は実用上多用される磁気回路のパー
ミアンス係数において所望の磁束量が得られないことで
あり、熱減磁率の劣化を招く。ここで、角形比は(Hk/iH
c)で定義した値である。Hkは4πI(磁化の強さ)−
H(磁界の強さ)曲線の第2象限において4πIが0.
9Br(Brは残留磁束密度)になる位置のHの値であ
り、減磁曲線の矩形性の尺度である。Hkをその保磁力
iHcで除した値(Hk/iHc)が角形比である。
【0005】特開昭63−310905号公報には、還
元拡散反応後の生成物を、インヒビター(腐食抑制剤)
を10−3〜10−2g/l添加した水を用いて洗浄
後、脱水、真空乾燥することにより、低酸素、低Caの
Nd−Fe−B系永久磁石用合金粉末が得られた旨の記
載がある。しかし、特開昭63−310905号公報の
実施例に従い作製したCa量が0.05〜0.06重量
%のNd−Fe−B系永久磁石用合金粉末を用いてジェ
ットミル微粉砕、磁場中成形、Arガス中焼結、熱処理
して得られた焼結磁石は、後述の表2に示す通り、Ca
含有量が0.01重量%超になり、角形比や熱安定性が
悪かった。次に、特許第2766681号公報には、希
土類酸化物粉末と、含鉄粉末と、含B粉末と、Caとを
混合し、この混合物を非酸化性雰囲気中において900
〜1200℃に加熱し、得られた反応生成物を湿式処理
し、さらに600〜1100℃で加熱した後、前記加熱
により得られた合金粉末を微粉砕して平均粒径1〜10
μmの微粉末とする焼結磁石用希土類−鉄−ホウ素系合
金粉末の製造方法の開示がある。特許第2766681
号公報の実施例には、R/D反応生成物を水中に投入し
洗浄後、真空乾燥し、さらに第1表に示す条件の真空加
熱処理を施した後常温まで冷却し、その後微粉砕、無磁
場で成形することにより、成形体の曲げ強度が改善され
る旨の記載がある。しかし、第1表の真空加熱処理とR
/D粉の残留Ca量との相関の記載がなく、さらに本発
明のようにR/D粉の真空加熱処理による脱Caの効果
と磁場中成形体を真空焼結することによる脱Caの効果
とを組み合わせてR−T−B系希土類焼結磁石のCa量
を大きく低減し角形比を顕著に向上したことは記載され
ていない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
課題は、還元拡散法により作製したR−T−B系希土類
焼結磁石用合金粉末を用いたR−T−B系の高性能希土
類焼結磁石およびその製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決した本発
明は、希土類元素R(RはYを含む希土類元素の少なく
とも1種であり、Nd,Dy,Prの少なくとも1種を必
ず含む)の酸化物粉末と、含T(TはFeまたはFeと
Coである)粉末と、含B粉末と、Ca,Mgおよびそ
の水素化物から選ばれる少なくとも1種とを混合し、こ
の混合物を非酸化性雰囲気において900〜1350℃
に加熱後冷却し、得られた反応生成物から反応副生成物
を除去する洗浄を行った後乾燥してR−T−B系希土類
焼結磁石用合金粉末を得、次にこの合金粉末を1Torr以
下の真空中で900〜1100℃に加熱する脱Ca熱処
理を施した後冷却してなる還元拡散法により作製された
R−T−B系希土類焼結磁石用合金粉末を得、その後こ
の合金粉末を用いて粉砕、成形、真空焼結、熱処理、表
面処理を行うR14B型金属間化合物を主相とする
角形比を向上したR−T−B系希土類焼結磁石の製造方
法である。脱Ca熱処理により除去されるCaは主に還
元に寄与していない金属Caであると考えられる。よっ
て、脱Ca温度はCaの融点以上である900℃以上が
好ましい。また、R/D粉末が溶融して容器と反応する
ことを避けるために1100℃以下が好ましい。さらに
CaをR/D粉末から除去するにはCaの蒸気圧以下の
真空度にしてCaを蒸発させる必要があり、900〜1
100℃の温度でかつ好ましくは1Torr以下、より好ま
しくは1×10−0〜9×10−6Torrの真空度とする
のがよい。真空度が1Torr超ではCaの除去が困難であ
り、9×10 −6Torr未満の高真空度を得るには高真空
排気設備を要しコストが増大する。脱Ca熱処理の加熱
時間は好ましくは0.5〜30時間であり、より好まし
くは1〜10時間である。0.5時間未満では脱Caが
ほとんど進まず、30時間超では脱Ca熱処理の効果が
飽和し、酸化が顕著になる。本発明の製造方法によれ
ば、従来に比べて、脱Ca熱処理によりR/D粉末のC
a量を低減できるとともに、真空焼結において成形体か
ら焼結体に至る間に脱Caが行われて焼結磁石体のCa
量が低減され、角形比を向上することができる。
【0008】本発明の製造方法において、脱Ca熱処理
後の冷却物の表面は酸化されており、炭素も濃縮してい
るので、その表面部を機械的に除去することにより、酸
素量、炭素量を低減した高性能のR−T−B系希土類焼
結磁石を製造することができ、角形比が顕著に向上す
る。なお、機械的な加工による表面部の除去に替えて、
酸洗い等の手段も可能ではあるが、R元素が優先的に除
去され、酸化が顕著になる懸念がある。
【0009】また本発明は、R14B型金属間化合
物(RはYを含む希土類元素の少なくとも1種でありN
d,Dy,Prの少なくとも1種を必ず含み、TはFe
またはFeとCoである)を主相とするR−T−B系希
土類焼結磁石であって、不可避に含有されるCa量が
0.01重量%以下(0を含まず)であり、かつ主相結
晶粒の芯部のc軸方位に対してその主相結晶粒の表層部
(主相部)のc軸方位が5°以上ずれている角形比を向
上したR−T−B系希土類焼結磁石である。さらに、前
記表層部(主相部)を有する主相結晶粒を1個の主相結
晶粒としたとき、前記R−T−B系希土類焼結磁石の断
面写真の対象視野において主相結晶粒の総数に対して前
記表層部(主相部)を有する主相結晶粒の占める個数比
率が50%未満(0を含まず)である場合に角形比を向
上したR−T−B系希土類焼結磁石を得ることができ
る。さらに角形比を高めるために、前記表層部(主相
部)を有する主相結晶粒の占める個数比率は30%以下
(0を含まず)が好ましい。前記R−T−B系希土類焼
結磁石は、重量%で、主成分がR 27〜34%、B
0.5〜2%、残部Tからなり、不可避に含有される酸
素量が0.6%以下、炭素量が0.1%以下の場合が実
用性に富んでおり、室温で測定した角形比で95.0%
以上ものを提供することが可能である。実質的に、Rと
して(Nd、Dy)またはDyまたは(Dy、Pr)ま
たは(Nd、Dy、Pr)またはPrが選択される。R
量は27〜34%が好ましい。 Rが27%未満では保
磁力iHcが大きく低下し、34%を超えるとBrが大
きく低下する。B量は0.5〜2%が好ましく、0.9
〜1.5%がより好ましい。B量が0.5%未満では実
用に耐えるiHcが得られず、2%超ではBrが大きく
低下する。磁気特性を改善するために、Nb,Al,C
o,Ga,Cuの少なくとも1種を適量含有することが
好ましい。重量%で、Nbの含有量は0.1〜2%とさ
れる。Nbの添加により焼結過程でNbのほう化物が生
成し、結晶粒の異常粒成長を抑制する。Nb含有量が
0.1%未満では添加効果が認められず、2%超ではN
bのほう化物の生成量が多くなりBrが大きく低下す
る。Alの含有量は0.02〜2%とされる。Al含有
量が0.02%未満では添加効果が認められず、2%超
ではBrが急激に低下する。Co含有量は0.3〜5%
とされる。Co含有量が0.3%未満ではキュリー点、
Niめっきの密着性向上への寄与が非常に小さくなり、
5%超ではBr、iHcが低下する。Ga含有量は0.
01〜0.5%とされる。Ga含有量が0.01%未満
ではiHcがほとんど向上せず、0.5%超ではBrの
低下が顕著になる。Cu含有量は0.01〜1%とされ
る。Cuの微量添加はiHcの向上をもたらすが、Cu
含有量が1%を超えると添加効果は飽和し、0.01%
未満では添加効果が認められない。
【0010】R/D粉末の製造に用いる希土類酸化物と
してNd、Dy、Pr 11の少なくと
も1種が有用である。還元拡散温度が900℃未満では
工業生産上有益な還元拡散反応を行えず、1350℃超
では反応炉等の設備劣化が顕著になる。よって、還元拡
散温度は900〜1350℃が好ましい。還元剤(Ca
等)の添加量は還元に要する化学量論的必要量の0.5
〜2倍がよい。還元に要する化学量論的必要量とは、酸
化物を還元剤を用いて金属に還元する化学反応式におい
て還元を100%行うことができる還元剤の量をいう。
還元剤の添加量が化学量論的必要量の0.5倍未満では
工業生産上有益な還元効果を得ることが困難であり、2
倍超では残留する還元剤分が増大して磁気特性が低下す
る。
【0011】本発明で行う真空焼結は、緻密で高い密度
の焼結体を得る以外に、成形体から焼結体に至る間に脱
Caを効率よく行えるように設定される。具体的には、
室温から焼結温度までの昇温過程における真空度と昇温
速度が特に重要である。焼結の加熱条件は1030〜1
150℃×0.5〜8時間が好ましい。焼結温度が10
30℃×0.5時間未満では実用に耐える十分な密度が
得られず、1150℃×8時間超では過焼結となり、結
晶粒が粗大化して角形比、保磁力が低下する。焼結の昇
温過程における真空度は酸化を抑制するために1×10
−2Torr以下がよく、設備コスト増を考慮して9×10
−6Torr以上が実用的である。焼結の昇温速度は0.1
〜500℃/分が好ましく、0.5〜200℃/分がよ
り好ましく、1〜100℃/分が特に好ましい、0.1
℃/分未満では有益な工業生産を行うことが困難であ
り、500℃/分超で昇温すると所望の焼結温度に到達
するまでのオーバーシュート時間が長くなり、磁気特性
の劣化を招来する。なお、前記の連続的な昇温加熱条件
に替えて、550℃以上、1050℃未満の昇温過程温
度において成形体を0.5〜10時間加熱する条件を付
加することにより脱Caがより促進されて角形比がさら
に向上する場合がある。前記条件で真空焼結した焼結体
の密度は7.50g/cm以上になり、後述の実施例2,
4のように耐酸化性油中に微粉を回収してスラリー化
し、成形、脱油、焼結、熱処理、表面処理した場合では
7.53〜7.60g/cmの焼結体密度を実現可能であ
る。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例により詳細
に説明するが、それら実施例により本発明が限定される
ものではない。 (実施例1)重量%で、主成分がNd:26.0%、P
r:6.5%、B:1.05%、Al:0.10%、G
a:0.14%、残部FeからなるR−Fe−B系希土
類焼結磁石用合金粉末が得られるように、純度99.9
%以上のNd粉、Pr 11粉、フェロボロン
粉、Ga−Fe粉およびFe粉を配合し、さらに還元剤
(粒状金属Ca)を重量比で化学量論的必要量の1.2
倍配合し、ミキサーに投入して混合した。次に、混合粉
をステンレス製容器に入れてArガス雰囲気中で110
0℃×4時間加熱するCa還元拡散反応を行い、室温ま
で冷却した。得られた反応生成物を洗浄後、真空乾燥し
てR/D粉末を得た。このR/D粉末のCa含有量は
0.05重量%だった。次に、このR/D粉末をステン
レス製の容器に充填後真空炉に入炉し、約1×10−4
Torrの真空中で1100℃×6時間加熱する脱Ca熱処
理を行い、その後室温まで冷却した。冷却物は焼結が部
分的に進行した塊状物になっていた。その塊状物の断面
を観察したところ、表面から深さ1〜3mmの部分が黒
色層を形成していた。表面の黒色層を削りとり、Ca,
O,N,H,C含有量を分析したところ、表1に示すよ
うに、黒色層はO,Cが非常に高いことがわかった。併
行して黒色層を削り取った後の前記塊状物のCa,O,
N,H,C含有量を分析したところ、表1に示すよう
に、黒色層に比べて、Ca量は若干高いがO含有量は約
半分であり、C含有量は非常に低かった。この知見か
ら、Arガス雰囲気中で前記塊状物の表面の黒色層をほ
ぼグラインダーを用いて削り取ったものを本発明のR−
T−B系希土類焼結磁石用の原料合金とした。次に、前
記原料合金を粗粉状にし、続いてこの粗粉を窒素ガス置
換により酸素濃度を0.01vol%としたジェットミ
ル内に投入してジェットミル微粉砕し、平均粒径4.1
μmの微粉を得た。次に、前記微粉を用いて8kOeの
横磁場を印加しつつ1.6ton/cmの圧力で圧縮成形を
行い、続いて成形体を約1×10−4Torrの真空中で、
平均昇温速度1℃/分で1080℃まで昇温し、続いて
1080℃×3.5時間焼結し、その後室温まで冷却し
た。次に、得られた焼結体にArガス雰囲気中で900
℃×1時間と550℃×1時間の2段熱処理を施し、室
温まで冷却して磁石体を得た。次に、この磁石体に電着
エポキシ樹脂をコーティングして本発明のR−T−B系
希土類焼結磁石が得られた。前記磁石体を分析したとこ
ろ、重量%で、主成分がNd:26.2%、Pr:6.
6%、B:1.07%、Al:0.08%、Ga:0.
14%、残部Feであり、この磁石体の総重量に対して
不可避に含有されるCa量は30ppm、O量は562
0ppm、C量は0.07%だった。次に、室温(25
℃)でこの焼結磁石の4πI−H減磁曲線を描き、角形
比(Hk/iHc)、iHc、熱減磁率等を測定した。熱減磁率
は、前記焼結磁石をパーミアンス係数Pc=1.0の形
状に加工した試料を作製後、磁気特性が飽和する条件で
着磁し、着磁した試料の磁束量(Φ1)を25℃で測定
した。次に、大気雰囲気の恒温槽に着磁した試料を入れ
て80℃×1時間加熱後25℃まで冷却して磁束量(Φ
2)を測定した。Φ1、Φ2から、下記式により熱減磁
率を算出した。 熱減磁率=[(Φ1)−(Φ2)]÷(Φ1)×100
(%) これらのうちの主な測定結果を表2に示す。
【0013】
【表1】
【0014】
【表2】
【0015】次に、実施例1で作製した磁石体の任意の
ものを厚み1mmの板状に切り出し、続いてラッピング
加工により100μmの厚みまで研磨した。次に、この
薄板状磁石体を数mm角に切断後、直径3mmのメッシ
ュで挟んだ状態でArイオンミリング等により薄膜状に
し、透過型電子顕微鏡(TEM)観察用の試料とした。
次に、試料を(株)日立製作所製のFE−TEM(HF
−2100)にセットし、加速電圧200kV、フィラ
メント電流50μA、分解能1.9オングストロームの
条件で、試料の断面写真を撮影した。図3(a)、図
4、図5は代表的な断面写真であり、図5は図3(a)
中の1a周辺を拡大した写真である。図3(b)は図3
(a)に対応する模式図である。本発明の焼結磁石の特
徴は、図3(a)、図5のミクロ組織と図4のミクロ組
織とが共存し、かつ従来のR/D粉末を用いたR−T−
B系希土類焼結磁石に比べて図3(a)、図5のミクロ
組織の比率を低減したことである。以下、図3〜5によ
り詳細に説明する。図3(a)、図5の特徴は、図3
(b)に示す通り、RFe14B型主相結晶粒からな
る芯部4とRリッチな相3との間に、芯部4およびRリ
ッチな相3の双方に対して格子像が不連続になっている
表層部1(RFe14B型主相部)を有することであ
る。同様に、芯部4’およびRリッチな相3の双方に対
して格子像が不連続になっている表層部1’(RFe
14B型主相部)が存在する。図3(a)、図5の表層
部1、1’の格子像の不連続さから、芯部4と表層部
1、芯部4’と表層部1’とは異なる結晶粒であると判
断される。この表層部はRリッチな相に沿って存在し、
その厚み(例えば芯部4とRリッチな相3との間の平均
間隔)は10nm程度であることがわかる。なお、芯部
4、4’、Rリッチな相3、表層部1、1’の同定は前
記試料をEDX分析装置(NORAN社製、商品名VA
NTAGE)にセットし行い、標準試料の同定結果に基
づいて判定した。同様にして後述の図4、6のミクロ組
織の同定を行った。次に、図4では主相結晶粒14、1
4’とRリッチな相13とが観察されるが、主相結晶粒
14、14’の表層部には不連続な格子像は観察されな
かった。前記試料の視野を変えて図3〜図5と同条件で
断面写真を30視野分撮影したところ、撮影した断面写
真において、図3のように不連続な格子像からなる表層
部を有する主相結晶粒の個数比率は主相結晶粒の総数の
8%であり、非常に少ないことがわかった。この個数比
率の算出上、便宜的に不連続な格子像からなる表層部を
有する主相結晶粒を1個の主相結晶粒とした。次に、図
3(b)における表層部1a,1b、芯部4aの位置で
電子回折像を撮影した。撮影した回折斑点をそれぞれ図
7(a)〜図9(a)に示す。また、図7(b)、図8
(b)、図9(b)はそれぞれ図7(a)、図8
(a)、図9(a)の回折斑点の要部に指数付をした図
である。図7において電子線の入射方向は[2,−4,
0]であり、芯部4のc軸方位と入射方向[2,−4,
0]とのなす角度が90°であることがわかった。次
に、図8において電子線の入射方向は[13,−9,−
12]であり、表層部1aのc軸方位と入射方向[1
3,−9,−12]とのなす角度が52.8°であるこ
とがわかった。よって、芯部4のc軸方位と表層部1a
のc軸方位とは47.2°(90−52.8)から14
2.8°(90+52.8)までの角度差を有すること
がわかった。次に、図9の回折斑点から、表層部1bは
表層部1aと同じc軸方位を有していることがわかっ
た。さらに、芯部4のc軸方位に対して47.2°から
142.8°までのずれたc軸方位を有することがわか
った。次に、他の視野の断面写真および対応した電子回
折結果から、主相結晶粒の芯部同士のc軸方位のずれは
図3の芯部4を基準にしていずれも5°未満であること
がわかった。また、他の表層部(主相部)と芯部4(主
相部)とのc軸方位のずれはいずれも5°以上あった。
【0016】図2はR/D粉を用いて作製した本発明の
R−T−B系希土類焼結磁石のc面を表面にした試料を
作製し、その表面をNd,Fe,Ca,O原子について
EPMAによりライン分析した一例である。図2より、
CaはNdリッチ相とほぼ同位置に存在することがわか
る。本発明では、真空雰囲気の脱Ca熱処理によるCa
量の低減効果に加えて、真空焼結によるCa量の低減効
果により、従来に比べてCa量を大きく低減したR−T
−B系希土類焼結磁石を実現した。この脱Ca反応は主
に拡散速度の大きい結晶粒界部(Rリッチな相)表面か
ら進行すると考えられ、詳細は不明であるが、脱Caさ
れてRリッチな相が清浄化するとともに、芯部の主相結
晶粒の表面に形成されている格子像の乱れた表層部領域
が減少するものと考えられる。この表層部の微結晶はラ
ンダムな方位を有するので、その存在比率が少ないほど
焼結磁石全体の配向度が向上して角形比が向上するとい
える。
【0017】(実施例2)実施例1において、脱Ca熱
処理後に表面の黒色層を機械的に切除後、粗粉状にした
R/D粉末50kgを準備した。このR/D粉末を、酸
素濃度が0.001vol%の窒素ガス雰囲気中に保持
されたジェットミルに投入して粉砕圧力7.5kg/cm2
平均粒径4.2μmの微粉に微粉砕し、その窒素ガス雰
囲気中からジェットミルの微粉排出口に設けた鉱物油
(出光興産(株)製の鉱物油、商品名:出光スーパーゾ
ルPA−30、引火点81℃、1気圧での分留点204
〜282℃、常温での動粘度2.0cst)槽中に微粉を
回収しスラリー化した。このスラリーを用いて、所定の
成形機により10kOeの配向磁場を印加しながら0.
8ton/cm2の成形圧力で圧縮成形し、成形体を得た。続
いて、成形体を真空炉に入炉し、約5×10-2Torrの真
空中で200℃×2時間加熱する脱油処理を施した後、
続いて約5×10-4Torrの真空中において200℃から
1070℃まで平均昇温速度1.5℃/分で昇温後10
70℃×3時間焼結し、室温まで冷却した。以降は実施
例1と同様にして本発明の焼結磁石を得た。この磁石体
を分析したところ、主成分は実施例1と同様であり、重
量比で不可避に含まれるCa含有量は30ppm、O含
有量は4440ppm、C含有量は0.06%だった。
また、実施例1と同様にしてこの磁石の磁気特性、磁石
体のミクロ組織を評価した。それらの主な結果を表2に
示す。また、ミクロ組織の解析結果から、主相結晶粒の
芯部同士のc軸方位のずれは基準の主相結晶粒の芯部に
対していずれも5°未満だった。また、表層部(主相
部)と基準の芯部(主相部)とのc軸方位のずれはいず
れも5°以上あった。
【0018】(実施例3)脱Ca熱処理の加熱条件を1
000℃×3時間とした以外は実施例1と同様にして微
粉砕に供するR/D粉末を作製した。このR/D粉末を
用いた以外は実施例1と同様にして本発明の焼結磁石を
作製し、評価した。結果を表2に示す。 この磁石体の
C含有量は0.07%だった。また、ミクロ組織の解析
結果より、主相結晶粒の芯部同士のc軸方位のずれは基
準の芯部に対していずれも5°未満だった。また、表層
部(主相部)と基準の芯部(主相部)とのc軸方位のず
れはいずれも5°以上あった。
【0019】(実施例4)実施例3のR/D粉末を用い
た以外は、実施例2と同様にして本発明の焼結磁石を作
製し、評価した。結果を表2に示す。 この磁石体のC
含有量は0.06%だった。また、ミクロ組織の解析か
ら、主相結晶粒の芯部同士のc軸方位のずれは基準の芯
部に対していずれも5°未満だった。また、表層部(主
相部)と基準の芯部(主相部)とのc軸方位のずれはい
ずれも5°以上あった。
【0020】(実施例5)脱Ca熱処理の加熱条件を9
00℃×6時間とした以外は実施例1と同様にして微粉
砕に供するR/D粉末を作製した。このR/D粉末を用
いた以外は実施例1と同様にして本発明の焼結磁石を作
製し、評価した。結果を表2に示す。この磁石体のC含
有量は0.07%だった。また、ミクロ組織の解析か
ら、主相結晶粒の芯部同士のc軸方位のずれは基準の芯
部に対していずれも5°未満だった。また、表層部(主
相部)と基準の芯部(主相部)とのc軸方位のずれはい
ずれも5°以上あった。
【0021】(実施例6)脱Ca熱処理後の冷却物の表
面の黒色層を除去しないまま粗粉状にして微粉砕に供す
るR/D粉末とした以外は実施例1と同様にして本発明
の焼結磁石を作製し、評価した。結果を表2に示す。こ
の磁石体のC含有量は0.09%だった。また、ミクロ
組織の解析から、主相結晶粒の芯部同士のc軸方位のず
れは基準の芯部に対していずれも5°未満だった。ま
た、表層部(主相部)と基準の芯部(主相部)とのc軸
方位のずれはいずれも5°以上あった。
【0022】(比較例1)脱Ca熱処理の加熱条件を7
00℃×6時間とした以外は実施例1と同様にして比較
例の焼結磁石を作製し、評価した。結果を表2に示す。
【0023】(比較例2)大気圧のArガス雰囲気中で
焼結した以外は実施例1と同様にして比較例の焼結磁石
を作製し、評価した。結果を表2に示す。
【0024】(比較例3)実施例1においてR/D反応
生成物を洗浄後、真空乾燥して得られたR/D粉末(脱
Ca熱処理を施していないもの)を粗粉化し、この粗粉
を用いた以外は実施例1と同様にして比較例の焼結磁石
を作製し、評価した。結果を表2に示す。
【0025】(比較例4)実施例1で作製したR/D粉
末と同一主成分に調整された溶製合金を準備した。この
合金を用いた以外は実施例1と同様にして微粉砕以降を
行い、比較例の焼結磁石を作製して評価した。結果を表
2に示す。また、図6にこの比較例の磁石体の断面写真
を示す。図6から、この比較例の磁石体のミクロ組織は
主相結晶粒24,24’とRリッチな相23とからなっ
ており、格子像の不連続な表層部は観察されなかった、
【0026】上記の各実施例、各比較例のCa含有量と
角形比との相関を図1に示す。
【0027】表2の結果について詳しく説明する。ま
ず、実施例1〜6と比較例1との比較から、900〜1
100℃で脱Ca熱処理を行うことにより微粉砕に供す
るR/D粉末のCa含有量が低減されるが、700℃で
脱Ca熱処理を行っても脱Caの効果が認められないこ
とがわかる。また、実施例1〜6では真空焼結により9
0〜340ppmの脱Caが行われることがわかる。また
実施例1〜6で作製した焼結磁石体表層部の個数比率は
7〜27%に低減されており、95.0%以上の角形比
(Hk/iHc)、38.8MGOe以上の(BH)max、1.
5%以下の熱減磁率が得られることがわかる。一方、比
較例1の焼結磁石体表層部の個数比率は50%超であ
り、磁気特性が低いことがわかる。次に、脱Ca熱処理
および真空焼結を行った実施例1と、脱Ca熱処理およ
びAr中焼結を行った比較例2との比較から、脱Ca熱
処理によりR/D粉末のCa量を低減してもAr中焼結
を行うと磁石体のCa量を100ppm以下に低減するこ
とが困難なことがわかる。このため、比較例2の磁石体
は角形比、熱減磁率が悪く、表層部の存在比率(個数比
率)が50%超だった。次に、実施例1と実施例6との
比較から、脱Ca熱処理後の冷却物の表面の黒色層を除
去することにより、磁石体のCa量が低減されて、表層
部の存在比率が低減でき、角形比、熱減磁率が向上する
ことがわかる。このように、本発明によれば、溶製合金
を用いて作製した比較例4の焼結磁石と略同等の角形
比、熱減磁率を実現できることがわかる。なお、比較例
4の焼結磁石体では表層部は観察されなかった。
【0028】上記実施例では焼結磁石体にエポキシ樹脂
をコーティングした場合を記載したが、Niメッキ等の
良好な耐熱性を有する他の表面被膜を被覆すれば、例え
ばボイスコイルモータ、スピンドルモータあるいは他の
回転機等の厳しい耐熱性の用途へ供することが可能であ
る。
【0029】本発明はR/D粉末のみを用いて製造した
R−T−B系希土類焼結磁石に限定されず、R/D粉末
と溶製合金粉末とを所定比率で配合してなるR−T−B
系希土類焼結磁石を包含する。この場合、原料原価の低
減のために、 (R/D粉末):(溶製合金粉末)は、
10〜100重量部:90〜0重量部が好ましく、30
〜100重量部:70〜0重量部がより好ましく、50
〜100重量部:50〜0重量部が特に好ましい。
【0030】上記実施例では還元剤に金属Caを用いた
が、Caの水素化物、金属MgまたはMgの水素化物お
よびそれらの混合物を用いた場合にもMg含有量または
(Ca+Mg)含有量を0.01重量%以下(0を含ま
ず)にすることができ、上記実施例とほぼ同等の効果を
得ることができる。
【0031】
【発明の効果】本発明によれば、還元拡散法により作製
したR−T−B系希土類焼結磁石用合金粉末を用いたR
−T−B系の高性能希土類焼結磁石およびその製造方法
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】Ca還元拡散法によるR/D合金粉末を用いて
作製したR−T−B系希土類焼結磁石におけるCa含有
量と角形比との相関の一例を示す図である。
【図2】R−T−B系希土類焼結磁石におけるEPMA
分析結果の一例を示す図である。
【図3】本発明の焼結磁石の金属組織の一例を示す電子
顕微鏡写真(a)、その模式図(b)である。
【図4】比較例の焼結磁石の金属組織を示す電子顕微鏡
写真である。
【図5】図3(a)の要部を拡大した、R−T−B系希
土類焼結磁石の金属組織の一例を示す電子顕微鏡写真で
ある。
【図6】溶製合金を用いて作製した比較例の焼結磁石の
金属組織を示す電子顕微鏡写真である。
【図7】図3の芯部4aの電子回折像を透過型電子顕微
鏡で撮影した写真(a)、写真(a)に対応する回折斑
点の要部に指数付をした図(b)である。
【図8】図3の表層部1aの電子回折像を透過型電子顕
微鏡で撮影した写真(a)、写真(a)に対応する回折
斑点の要部に指数付をした図(b)である。
【図9】図3の表層部1bの電子回折像を透過型電子顕
微鏡で撮影した写真(a)、写真(a)に対応する回折
斑点の要部に指数付をした図(b)である。
【符号の説明】
1、1’,1a,1b 表層部(主相)、3,13,2
3 Rリッチ相、4,4’,4a,14,14’,2
4,24’ 主相。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01F 1/053 C21D 6/00 B // C21D 6/00 H01F 1/04 H

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 希土類元素R(RはYを含む希土類元素
    の少なくとも1種であり、Nd,Dy,Prの少なくと
    も1種を必ず含む)の酸化物粉末と、含T(TはFeま
    たはFeとCoである)粉末と、含B粉末と、Ca,M
    gおよびその水素化物から選ばれる少なくとも1種とを
    混合し、この混合物を非酸化性雰囲気において900〜
    1350℃に加熱後冷却し、得られた反応生成物から反
    応副生成物を除去する洗浄を行った後乾燥してR−T−
    B系希土類焼結磁石用合金粉末を得、次にこの合金粉末
    を1Torr以下の真空中で900〜1100℃に加熱する
    脱Ca熱処理を施した後冷却してなる還元拡散法により
    作製されたR−T−B系希土類焼結磁石用合金粉末を
    得、その後この合金粉末を用いて粉砕、成形、真空焼
    結、熱処理、表面処理を行うことを特徴とするR
    14B型金属間化合物を主相とする角形比を向上したR
    −T−B系希土類焼結磁石の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記合金粉末を1Torr以下の真空中で9
    00〜1100℃に加熱する脱Ca熱処理を施した後冷
    却し、次に冷却物の表面層を除去してなる還元拡散法に
    より作製されたR−T−B系希土類焼結磁石用合金粉末
    を得、その後この合金粉末を用いて粉砕、成形、真空焼
    結、熱処理、表面処理を行う請求項1に記載のR
    14B型金属間化合物を主相とする角形比を向上したR
    −T−B系希土類焼結磁石の製造方法。
  3. 【請求項3】 R14B型金属間化合物(RはYを
    含む希土類元素の少なくとも1種でありNd,Dy,P
    rの少なくとも1種を必ず含み、TはFeまたはFeと
    Coである)を主相とするR−T−B系希土類焼結磁石
    であって、 不可避に含有されるCa量が0.01重量%以下(0を
    含まず)であり、かつ主相結晶粒の芯部のc軸方位に対
    してその主相結晶粒の表層部(主相部)のc軸方位が5
    °以上ずれていることを特徴とする角形比を向上したR
    −T−B系希土類焼結磁石。
  4. 【請求項4】 前記表層部(主相部)を有する主相結晶
    粒を1個の主相結晶粒としたとき、前記R−T−B系希
    土類焼結磁石の断面写真の対象視野において主相結晶粒
    の総数に対して前記表層部(主相部)を有する主相結晶
    粒の占める個数比率が50%未満(0を含まず)である
    請求項3に記載の角形比を向上したR−T−B系希土類
    焼結磁石。
  5. 【請求項5】 重量%で、主成分がR 27〜34%、
    B 0.5〜2%、残部Tからなり、不可避に含有され
    る酸素量が0.6%以下、炭素量が0.1%以下であ
    り、室温で測定した角形比が95.0%以上である請求
    項3または4に記載の角形比を向上したR−T−B系希
    土類焼結磁石。
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