JP2000216212A - 基板処理装置 - Google Patents

基板処理装置

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JP2000216212A JP11017267A JP1726799A JP2000216212A JP 2000216212 A JP2000216212 A JP 2000216212A JP 11017267 A JP11017267 A JP 11017267A JP 1726799 A JP1726799 A JP 1726799A JP 2000216212 A JP2000216212 A JP 2000216212A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】回転収納棚に必要数の収納容器を効率よく収納
させ、装置全体の大型化を伴うことなく収納容器の各種
搬送方式に対応可能とする。 【解決手段】被処理基板が装填される収納容器１３と、
該収納容器を複数収納し回転可能な回転収納棚３６と、
該回転収納棚に前記収納容器を搬送する搬送機２２とを
具備した基板処理装置に於いて、前記複数の収納容器が
前記回転収納棚の回転中心を通る放射中心線上に配置さ
れ、前記回転収納棚に配置された収納容器の向きが、前
記放射中心線に対して所要角度オフセットし、回転収納
棚に空きスペースが出来るだけ生じない様に前記収納容
器を前記回転収納棚に効率良く収納する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はシリコンウェーハ等
被処理基板に成膜処理等各種プロセス処理を施して半導
体素子を形成させる基板処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】基板処理装置には被処理基板を１枚或は
複数枚ずつ処理する枚葉式のものと１度に多数の被処理
基板を処理するバッチ式のものとがある。バッチ式の基
板処理装置に於いては、通常被処理基板は開放型収納容
器である基板カセット或は密閉型収納容器であるＦＯＵ
Ｐ（Front Opening Unified Pod ）に２５枚ずつ装填さ
れた状態で装置内に搬送され１度のプロセス処理（以降
１バッチと称す）で１００枚のウェーハが処理される。
この場合、スループットを向上させる為、装置内には製
品用ウェーハの他、ダミーウェーハ、モニタウェーハ、
フィルダミーウェーハ等を含めて２バッチ分計１４個の
収納容器が装置内に収納される。
【０００３】先ず、図９に於いて被処理基板を基板カセ
ットに収納して搬送する場合の従来の基板処理装置を説
明する。
【０００４】筐体１内の後方上部には反応炉２が設けら
れ、該反応炉２には下方から図示しないボートエレベー
タによりボート３が装入引出し可能となっている。下降
状態の該ボート３の前方にはウェーハ移載機４が設けら
れ、該ウェーハ移載機４の前方には上下に上カセット収
納棚５、下カセット収納棚６が設けられている。前記上
カセット収納棚５は２列３段で６個のウェーハカセット
７を収納可能であり、前記下カセット収納棚６は２列４
段で８個の前記ウェーハカセット７を収納可能となって
おり、前記上カセット収納棚５と下カセット収納棚６と
で合計１４個のウェーハカセット７を収納可能となって
いる。
【０００５】前記上カセット収納棚５及び下カセット収
納棚６の前方にはカセット搬送機８が設けられ、該カセ
ット搬送機８の前方にカセットステージ９が設けられて
いる。該カセットステージ９の上方にはカセットサブ収
納棚１０が設けられ、又、前記筐体１の前面には前記カ
セットステージ９に臨接するカセット搬入搬出口１１が
設けられている。
【０００６】ウェーハ１２の搬送は前記ウェーハカセッ
ト７に装填された状態で行われ、該ウェーハカセット７
は床上を走行するＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）
（図示せず）により前記カセット搬入搬出口１１を介し
て前記カセットステージ９上に搬送される。前記カセッ
ト搬送機８は昇降動、回転動、横行動の協働で前記ウェ
ーハカセット７を前記カセットステージ９から前記上カ
セット収納棚５、下カセット収納棚６或は前記カセット
サブ収納棚１０に搬送する。
【０００７】前記ウェーハ移載機４は昇降動、回転動、
進退動の協働で前記下カセット収納棚６に搬送された前
記ウェーハカセット７内のウェーハ１２を下降状態の前
記ボート３に移載し、該ボート３に所要数の前記ウェー
ハ１２が装填されると、前記ボートエレベータ（図示せ
ず）は前記ボート３を上昇させ前記反応炉２内に装入す
る。
【０００８】前記反応炉２内で前記ウェーハ１２に所要
の処理が施されると、前記ボートエレベータ（図示せ
ず）は前記ボート３を降下させ前記反応炉２より引出
す。前記ボート３、ウェーハ１２を炉外で冷却した後、
前記ウェーハ移載機４は前記ウェーハ１２を前記下カセ
ット収納棚６の前記ウェーハカセット７へ移載する。
【０００９】更に、次に処理されるウェーハ１２が前記
ウェーハ移載機４により前記ボート３に装填され、上記
したのと同様の手順で前記ウェーハ１２に所要の処理が
繰返される。又、所要の処理が完了し前記ウェーハカセ
ット７に移載された前記各ウェーハ１２は上記した手順
と逆の手順で前記カセット搬送機８、カセットステージ
９、カセット搬入搬出口１１を介して外部へ搬出され
る。
【００１０】上記した様に前記ウェーハ１２を前記ウェ
ーハカセット７に収納して搬送した場合、搬送中に前記
ウェーハ１２の表面に大気中のパーティクルが付着し、
或は無用の酸化膜が生成することがあり、製品の品質に
影響を及ぼす虞れがある。そこで、製品の品質の向上の
為、最近では前記ウェーハ１２を密閉型収納容器である
ＦＯＵＰ１３（後述）に収納し、大気を遮断して搬送す
ることも行われている。
【００１１】該ＦＯＵＰ１３は図１０及び図１１に示す
様に外形が半長円柱状であり、一側面がウェーハ１２挿
脱用の開口面１４となっており、該開口面１４は蓋１５
により気密に閉塞される様になっている。又、前記ＦＯ
ＵＰ１３の前記開口面１４に平行な方向の幅は該開口面
１４に垂直な方向の長さより長くなっている。
【００１２】次に、図１０及び図１１に於いて被処理基
板の収納容器として前記ＦＯＵＰ１３が使用された従来
の基板処理装置を説明する。
【００１３】筐体１６の内部は隔壁１７により気密に仕
切られ、該隔壁１７により前方部分が大気雰囲気のカセ
ット搬送室１８、前記隔壁１７より後方部分が不活性ガ
ス雰囲気のウェーハ移載室１９となっている。
【００１４】前記筐体１６の前面にはＦＯＵＰ搬入搬出
口２０が設けられ、該搬入搬出口２０の前方にＦＯＵＰ
ステージ２１が設けられている。
【００１５】前記カセット搬送室１８には前記ＦＯＵＰ
搬入搬出口２０の後方にＦＯＵＰ搬送機２２が設けら
れ、該ＦＯＵＰ搬送機２２の前方で前記ＦＯＵＰステー
ジ２１の上方にはＦＯＵＰサブ収納棚２３が設けられて
いる。又、前記ＦＯＵＰ搬送機２２の後方にＦＯＵＰ授
受ユニット２４が設けられると共に該ＦＯＵＰ授受ユニ
ット２４の上方に回転可能なＦＯＵＰ回転収納棚２５が
設けられている。
【００１６】該ＦＯＵＰ回転収納棚２５は鉛直に設けら
れた回転機構体２６と該回転機構体２６に設けられた３
段の棚板２７とで構成されている。該各段の棚板２７に
はＦＯＵＰ１３が４個ずつ収納可能であり、前記ＦＯＵ
Ｐ回転収納棚２５には合計１２個のＦＯＵＰ１３が収納
可能となっている。該各段のＦＯＵＰ１３は前後に２個
ずつ並列に配置され、後側に配置された２個のＦＯＵＰ
１３の前記開口面１４は前方に向き、前側に配置された
他の２個のＦＯＵＰ１３の前記開口面１４は後方に向く
様になっており、４個のＦＯＵＰ１３は左右前後の２方
向に対称的な配置となっている。
【００１７】前記隔壁１７にはウェーハ搬入搬出口２８
が設けられ、該ウェーハ搬入搬出口２８は図示しない蓋
開閉機構により開閉される様になっている。
【００１８】前記ウェーハ移載室１９には後方上部に反
応炉２９が設けられ、該反応炉２９には下方から図示し
ないボートエレベータによりボート３０が装入引出し可
能となっている。下降状態の該ボート３０と前記ウェー
ハ搬入搬出口２８との間にはウェーハ移載機３１が設け
られている。
【００１９】ウェーハ１２の搬送は前記ＦＯＵＰ１３に
装填され密閉の状態で行われ、該ＦＯＵＰ１３は床上を
走行するＡＧＶ（図示せず）により前記開口面１４を後
方（図１０中右側）に向けた状態で前記ＦＯＵＰステー
ジ２１上に搬送される。前記ＦＯＵＰ回転収納棚２５は
回転し、次のＦＯＵＰ１３の収納位置を前方のＦＯＵＰ
授受位置に移動させた状態で待機する。前記ＦＯＵＰ搬
送機２２は昇降動、回転動、横行動の協働で前記ＦＯＵ
Ｐステージ２１から前記ＦＯＵＰ搬入搬出口２０を通し
て前記ＦＯＵＰ回転収納棚２５或はＦＯＵＰサブ収納棚
２３に前記ＦＯＵＰ１３を搬送し、該ＦＯＵＰ１３は前
記ＦＯＵＰ回転収納棚２５或はＦＯＵＰサブ収納棚２３
に収納される。以上の動作が繰返され、所要数のＦＯＵ
Ｐ１３が前記ＦＯＵＰ回転収納棚２５、ＦＯＵＰサブ収
納棚２３に搬送される。
【００２０】次にボート３０へウェーハ１２を移載する
場合は、前記ＦＯＵＰ回転収納棚２５が回転し、移載の
対象となっているＦＯＵＰ１３を前記ＦＯＵＰ授受位置
に移動させた状態で待機する。前記ＦＯＵＰ搬送機２２
は再び昇降動、回転動、横行動の協働により前記ＦＯＵ
Ｐ回転収納棚２５から前記ＦＯＵＰ授受ユニット２４に
前記ＦＯＵＰ１３を搬送し、或はＦＯＵＰサブ収納棚２
３から前記ＦＯＵＰ授受ユニット２４に搬送する。該Ｆ
ＯＵＰ１３は前記開口面１４を後方に向けた状態で前記
ＦＯＵＰ授受ユニット２４に載置される。
【００２１】前記ＦＯＵＰ１３の開口面１４を前記ウェ
ーハ搬入搬出口２８の周縁部に密着させた後、前記蓋開
閉機構（図示せず）は該ウェーハ搬入搬出口２８を開放
すると共に前記蓋１５を前記ＦＯＵＰ１３から取外す。
前記ウェーハ移載機３１は昇降動、回転動、進退動の協
働で前記ＦＯＵＰ１３内のウェーハ１２を下降状態の前
記ボート３０に移載する。ウェーハ１２の移載は予定さ
れた枚数となる迄複数のＦＯＵＰ１３に対して実行され
る。該ボート３０に所要数の前記ウェーハ１２が装填さ
れると、前記ボートエレベータ（図示せず）は前記ボー
ト３０を上昇させ前記反応炉２９内に装入する。
【００２２】前記反応炉２９内で前記ウェーハ１２に所
要の処理が施されると、前記ボートエレベータ（図示せ
ず）は前記ボート３０を降下させ前記反応炉２９より引
出す。前記ボート２９、ウェーハ１２が所要温度に冷却
された後、処理済みのウェーハ１２は上記した手順と逆
の手順で外部へ搬出される。
【００２３】次に、図１０及び図１２に於いて各段にＦ
ＯＵＰ１３が５個ずつ収納可能なＦＯＵＰ回転収納棚３
２を具備した従来の基板処理装置を説明する。
【００２４】尚、図１２中、図１１中と同等のものには
同符号を付し、説明は省略する。
【００２５】前記ＦＯＵＰ回転収納棚３２は３段の棚板
３３を有し、該各段の棚板３３には前記ＦＯＵＰ回転収
納棚３２の回転中心に対して放射状に正五角形を形成す
る様にＦＯＵＰ１３が５個ずつ載置され、前記ＦＯＵＰ
回転収納棚３２全体で合計１５個のＦＯＵＰ１３が収納
可能となっている。
【００２６】前記ＦＯＵＰ回転収納棚３２と前記ＦＯＵ
Ｐ授受ユニット２４間の前記ＦＯＵＰ１３の搬送手順
は、前記ＦＯＵＰ回転収納棚３２の各段にＦＯＵＰ１３
を４個ずつ収納した場合と同様であるので説明は省略す
る。
【００２７】
【発明が解決しようとする課題】冒頭で述べた様に通
常、装置内には２バッチ分で合計１４個の前記ＦＯＵＰ
１３を収納させる必要がある。
【００２８】ところが、上記した様に各段に前記ＦＯＵ
Ｐ１３が４個ずつ収納可能な前記ＦＯＵＰ回転収納棚２
５を具備した従来の基板処理装置では、該ＦＯＵＰ回転
収納棚２５に前記ＦＯＵＰ１３を最大で１２個迄しか収
納できず、又、前記ＦＯＵＰ回転収納棚２５の下方には
前記ＦＯＵＰ授受ユニット２４、蓋開閉機構（図示せ
ず）が設置され前記ＦＯＵＰ回転収納棚２５の下方に別
のＦＯＵＰ収納棚を設置するスペースを確保できないの
で、前記ＦＯＵＰステージ２１の上方に前記ＦＯＵＰサ
ブ収納棚２３を設置することが必要であった。然し、前
記ＦＯＵＰ１３の装置への搬送は床上を走行する前記Ａ
ＧＶ搬送による他、天井に付設されたレールに沿って走
行するＯＨＴ(Over Head Transfer)搬送により行われる
場合もあり、該ＯＨＴ搬送の場合には前記ＦＯＵＰ１３
は前記ＦＯＵＰステージ２１の上方から該ＦＯＵＰステ
ージ２１に搬送されるので、前記ＦＯＵＰステージ２１
の上方に前記ＦＯＵＰサブ収納棚２３を設置することは
できない。従って、前記ＯＨＴ搬送が可能な装置とする
には、前記ＦＯＵＰ回転収納棚２５の段数を増やす他に
手段がなく、該ＦＯＵＰ回転収納棚２５の段数を増やす
と装置全体の高さが高くなり過ぎて、該装置の高さ制限
を超えたり、該装置搬送時の分解、組立作業が煩雑にな
ったり、該装置の設置場所が制限される等の問題が生じ
る虞れがあった。
【００２９】又、各段に前記ＦＯＵＰ１３を５個ずつ収
納可能な前記ＦＯＵＰ回転収納棚３２を具備した従来の
基板処理装置では、前記ＦＯＵＰ１３が正五角形を成す
様に配置されているが、該ＦＯＵＰ１３は前記開口面１
４に平行な方向の幅の方が該開口面１４に垂直な方向の
長さ（奥行）より長く、又前記開口面１４が相互に干渉
しない様配置されるので、前記ＦＯＵＰ回転収納棚３２
の平面寸法は前記ＦＯＵＰ１３の幅、奥行によって決定
される。斯かる配置では前記ＦＯＵＰ回転収納棚３２の
中心部分が無駄な空スペースとなり、従って、前記ＦＯ
ＵＰ回転収納棚３２の平面寸法が大きくなり過ぎて、該
ＦＯＵＰ回転収納棚３２の回転円の直径により装置全体
の幅寸法が決定され、該装置が大型化するという問題が
あった。
【００３０】本発明は斯かる実情に鑑み、回転収納棚に
必要数のＦＯＵＰ等の収納容器を効率良く収納させ、装
置全体の大型化を伴うことなくＡＧＶ搬送及びＯＨＴ搬
送を可能とするものである。
【００３１】
【課題を解決するための手段】本発明は、被処理基板が
装填される収納容器と、該収納容器を複数収納し回転可
能な回転収納棚と、該回転収納棚に前記収納容器を搬送
する搬送機とを具備した基板処理装置に於いて、前記複
数の収納容器が前記回転収納棚の回転中心を通る放射中
心線上に配置され、前記回転収納棚に配置された収納容
器の向きが、前記放射中心線に対して所要角度オフセッ
トされている基板処理装置に係り、又前記収納容器が前
記収納容器授受位置で前記搬送機に正対する様に前記回
転収納棚に配置された基板処理装置に係り、又前記収納
容器授受位置に於ける収納容器の向きを、収納容器搬入
出部上の載置される収納容器の向きと同一とした基板処
理装置に係り、又前記放射中心線は全周を４等分するも
のである基板処理装置に係り、又前記放射中心線は全周
を５等分するものである基板処理装置に係り、又前記放
射中心線は全周を６等分するものである基板処理装置に
係り、回転収納棚に空きスペースが出来るだけ生じない
様に前記収納容器を前記回転収納棚に効率良く収納す
る。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。
【００３３】先ず、図１〜図３に於いて本発明の第１の
実施の形態を説明する。
【００３４】尚、図１〜図３中、図１１〜図１３中と同
等のものには同符号を付し、説明は省略する。
【００３５】カセット搬送室１８には筐体１６の前面に
沿ってＦＯＵＰ搬送機２２が設けられ、該ＦＯＵＰ搬送
機２２の後方上部に回転可能なＦＯＵＰ回転収納棚３６
が設けられると共に該ＦＯＵＰ回転収納棚３６の下方に
ＦＯＵＰ授受ユニット２４が設けられている。
【００３６】該ＦＯＵＰ回転収納棚３６は回転機構体３
７と該回転機構体３７に回転可能に支持された３段の棚
板３８とで構成されている。一段の棚板３８には該棚板
３８の回転中心点Ｏを通り、円周を５等分した放射中心
線Ａ上にＦＯＵＰ１３が各１個、計５個収納可能であ
り、前記ＦＯＵＰ回転収納棚３６には合計１５個の前記
ＦＯＵＰ１３が収納可能となっている。
【００３７】前記各棚板３８には該ＦＯＵＰ１３の平面
上の図形中心Ｐを通り該ＦＯＵＰ１３の開口面１４に垂
直な線Ｂと前記放射中心線Ａとの成す角度αが、例えば
３３．７°を成す様前記各ＦＯＵＰ１３が配置されてい
る。即ち、ＦＯＵＰ１３は、前記放射中心線Ａに対し、
角度α＝３３．７°だけオフセットにした位置で配置さ
れている。
【００３８】この角度αは、図３に見られる様に、前記
ＦＯＵＰ回転収納棚３６がＦＯＵＰの授受位置に停止し
た状態で、授受の対象となっているＦＯＵＰ１３が前記
ＦＯＵＰ搬送機２２に正対する様な角度であり、又前記
ＦＯＵＰ搬送機２２によるＦＯＵＰステージ２１と（収
納容器搬入出部）ＦＯＵＰ回転収納棚３６間でのＦＯＵ
Ｐ１３の授受を行う場合にＦＯＵＰ１３の搬送経路上に
隣接するＦＯＵＰ１３が突出しない角度である。更にこ
の角度αはＦＯＵＰ回転収納棚３６の停止回転角度、即
ち前記授受の対象となっているＦＯＵＰ１３を通る前記
放射中心線Ａと中心点Ｏを通る装置の中心線Ａ′との成
す角度βと等しい。即ち、ＦＯＵＰ１３は装置の中心線
Ａ′より前記角度β（＝α）だけ側方にずれた位置で授
受が行われる。
【００３９】前記したＦＯＵＰ１３の配置により、棚板
３８上の空間の利用率が大きくなり、前記各棚板３８に
前記ＦＯＵＰ１３を効率良く収納することができる。
又、前記棚板３８へのＦＯＵＰ１３の配置位置は、ＦＯ
ＵＰ１３間の円周方向のピッチが前記ＦＯＵＰ１３の長
手方向の寸法によって決定されなくなるので、ＦＯＵＰ
回転収納棚３６の平面寸法の直径を小さくすることが可
能となる。
【００４０】以下、図４〜図７に於いて前記回転機構体
３７を概説する。
【００４１】ベース４６に中空の固定軸４７が立設さ
れ、該固定軸４７に回転支柱体４０が回転自在に取付け
られ、該回転支柱体４０に前記棚板３８が固定されてい
る。前記固定軸４７を貫通する回転軸４８が該固定軸４
７に回転自在に設けられ、前記回転軸４８の上端は連結
ブロック４９に固着され、更に該連結ブロック４９は前
記回転支柱体４０に固着されている。而して、前記回転
軸４８と前記棚板３８は前記連結ブロック４９、回転支
柱体４０を介して連結され、一体に回転する様になって
いる。
【００４２】又、前記回転軸４８の下端には減速部３９
を介して駆動モータ４１が連結されている。
【００４３】前記減速部３９は第１減速器４２と第２減
速器４３から成り、前記第１減速器４２は動力伝達部に
ハーモニック減速器（商品名）、第２減速器４３はウォ
ーム４４、ウォームホイール４５をそれぞれ有する。
【００４４】前記ハーモニック減速器は剛性の高い上下
一対の内歯リングギア６０、内歯リングギア６１と該両
内歯リングギア６０、内歯リングギア６１に対し小径の
薄肉で可撓性を有する円筒外歯ギア６２と、該円筒外歯
ギア６２に内嵌する楕円形状のロータ６３とから成り、
該ロータ６３の存在で前記円筒外歯ギア６２は前記ロー
タ６３の長径部で前記内歯リングギア６０、内歯リング
ギア６１と部分的に噛合する。前記内歯リングギア６０
を固定し、前記ロータ６３を回転すると、前記内歯リン
グギア６０、内歯リングギア６１と前記円筒外歯ギア６
２との歯数の差分だけずれて前記円筒外歯ギア６２が回
転し、更に前記内歯リングギア６１が回転する。而し
て、前記ロータ６３の回転は大きく減速されて前記内歯
リングギア６１に伝達される。前記ハーモニック減速器
は大きな減速比と、高い噛合い率を有する。
【００４５】前記駆動モータ４１の出力軸６５を前記ウ
ォーム４４に連結し、ウォームホイール４５の回転軸６
６を前記ロータ６３に連結する。前記内歯リングギア６
１はカップリング６７を介して前記回転軸４８に連結さ
れている。而して、前記駆動モータ４１の回転は第１減
速器４２と第２減速器４３の２段で減速されて前記回転
軸４８に伝達される。又、前記ハーモニック減速器は高
い噛合い率を有しバックラッシュが少なく、更に高い減
速比を有するので前記ウォーム４４、ウォームホイール
４５間のバックラッシュは前記回転軸４８には殆ど伝達
されず、前記棚板３８の位置決め、停止精度は高いもの
となる。更に、モータをサーボモータ等の制御可能なも
のを使用することで、前記ＦＯＵＰ回転収納棚３６は高
精度の間欠回転が可能となる。
【００４６】前記回転軸４８に回転位置検出板６８が設
けられ、前記ベース４６には位置検出センサ６９が設け
られることで、該位置検出センサ６９によりＦＯＵＰ回
転収納棚３６のホーミングポジションを検出することが
できる。而して、該ホーミングポジションを基準に前記
ＦＯＵＰ回転収納棚３６は前記放射中心線が所要角度α
となる様回転位置決めが行われる。
【００４７】以下、作用を説明する。
【００４８】ウェーハ１２の搬送は前記ＦＯＵＰ１３に
装填された状態で行われ、該ＦＯＵＰ１３はＡＧＶ搬送
或はＯＨＴ搬送により前記開口面１４を後方に向けた状
態で前記ＦＯＵＰステージ２１上に搬送される。該ＦＯ
ＵＰステージ２１の上方にはサブ収納棚等はなく、該Ｆ
ＯＵＰステージ２１の前方及び上方に搬送空間を確保で
きるので、ＡＧＶ搬送或はＯＨＴ搬送のどちらにも対応
可能である。
【００４９】前記ＦＯＵＰ搬送機２２は前記ＦＯＵＰス
テージ２１から前記開口面１４を後方に向けた状態で前
記ＦＯＵＰ１３を受載した後、昇降動、回転動、横行動
の協働で前記ＦＯＵＰ搬入搬出口２０を通して前記ＦＯ
ＵＰ回転収納棚３６の前記ＦＯＵＰ授受位置に対峙す
る。
【００５０】前記ＦＯＵＰ搬送機２２の搬送動作と併行
して、前記駆動モータ４１を駆動し、減速部３９、回転
軸４８を介して前記棚板３８を回転する。該棚板３８の
ＦＯＵＰ未収納位置が前記ＦＯＵＰステージ２１に対峙
する位置で棚板３８を停止させる。前記ＦＯＵＰ搬送機
２２は前記開口面１４を後方に向けた状態で前記ＦＯＵ
Ｐ１３を前記収納位置に収納する。斯かる搬送動作の繰
返しにより、ＦＯＵＰ回転収納棚３６へ所定数のＦＯＵ
Ｐ１３の搬入が行われる。
【００５１】次に、前記ＦＯＵＰ回転収納棚３６を駆動
し、ウェーハ移載の対象となっているＦＯＵＰ１３を授
受位置に位置決めし、前記ＦＯＵＰ搬送機２２により、
前記ＦＯＵＰ回転収納棚３６から前記ＦＯＵＰ授受ユニ
ット２４に搬送する。図１に示す装置では、該ＦＯＵＰ
授受ユニット２４へのＦＯＵＰ１３の移載は２個行われ
る。
【００５２】前記ＦＯＵＰ１３の蓋１５が開けられ、前
記ウェーハ搬入搬出口２８を通し前記ウェーハ移載機３
１により、ＦＯＵＰ１３から前記ボート３０へのウェー
ハ１２の移載が行われる。前記ＦＯＵＰ１３のウェーハ
１２がなくなると、前記ＦＯＵＰ授受ユニット２４上の
ＦＯＵＰ１３は前記ＦＯＵＰ回転収納棚３６に戻され、
更に新たなＦＯＵＰ１３が前記ＦＯＵＰ授受ユニット２
４に搬送され、前記ボート３０へ所定のウェーハ１２の
移載が完了する迄、上記作動が繰返される。
【００５３】前記ボート３０が前記反応炉２９に装入さ
れ、ウェーハ１２に処理が行われる。処理の完了したウ
ェーハは上記した作動とは逆の作動により、前記ＦＯＵ
Ｐ授受ユニット２４上のＦＯＵＰ１３へのウェーハ１２
の移載、更にＦＯＵＰ授受ユニット２４とＦＯＵＰ回転
収納棚３６間のＦＯＵＰ１３の搬送が行われる。
【００５４】前記ＦＯＵＰ回転収納棚３６からＦＯＵＰ
１３を外部に搬出する場合は、前記搬入動作と逆の手順
が行われる。
【００５５】前記ＦＯＵＰ搬送機２２の１回の動作によ
り前記ＦＯＵＰ回転収納棚３６へ収納或は取出し可能な
前記ＦＯＵＰ１３の数は１個だけであるが、前記ＦＯＵ
Ｐ搬送機２２及び前記ＦＯＵＰ回転収納棚３６に蓋開閉
機構（図示せず）の開閉動作、前記ウェーハ移載機３１
のウェーハ１２移載動作と併行して動作させることによ
り、スループットを向上させる。
【００５６】次に、図７に於いて本発明の第２の実施の
形態を説明する。
【００５７】尚、図７中、図１〜図６中と同等のものに
は同符号を付し、説明は省略し、又、作用は第１の実施
の形態と同様であるので説明を省略する。
【００５８】ＦＯＵＰ回転収納棚５１には３段の棚板５
２が設けられ、該各段の棚板５２には前記ＦＯＵＰ回転
収納棚５１の回転中心Ｏを通る４本の放射中心線Ａ上に
ＦＯＵＰ１３が４個ずつ収納可能であり、前記ＦＯＵＰ
回転収納棚５１には合計１２個の前記ＦＯＵＰ１３が収
納可能となっている。前記各棚板５２には該ＦＯＵＰ１
３の図心Ｐを通り該ＦＯＵＰ１３の開口面１４に垂直な
線Ｃと前記ＦＯＵＰ回転収納棚５１の回転中心Ｏとを通
る中心線Ａとの成す角度αが、例えば４５°を成す様前
記各ＦＯＵＰ１３が配置されている。即ち、ＦＯＵＰ１
３は、前記放射中心線Ａに対し、角度α＝４５°だけオ
フセットした位置で配置されている。該第２の実施の形
態では前記ＦＯＵＰ１３の授受位置は中心線Ａ′より４
５°だけ側方にずれた位置で授受が行われる。
【００５９】次に、図８に於いて本発明の第３の実施の
形態を説明する。
【００６０】尚、図８中、図１〜図６中と同等のものに
は同符号を付し、説明は省略し、又、作用は第１の実施
の形態と同様であるので説明を省略する。
【００６１】ＦＯＵＰ回転収納棚５３には３段の棚板５
４が設けられ、該各段の棚板５４にはＦＯＵＰ１３が６
個ずつ収納可能であり、前記ＦＯＵＰ回転収納棚５４に
は合計１８個の前記ＦＯＵＰ１３が収納可能となってい
る。前記各棚板５４には該ＦＯＵＰ１３の図心Ｐを通り
該ＦＯＵＰ１３の開口面１４に垂直な線Ｄと前記ＦＯＵ
Ｐ回転収納棚５３の回転中心Ｏとを通る中心線Ａとの成
す角度αが、例えば２９．３°を成す様前記各ＦＯＵＰ
１３が配置されている。即ち、ＦＯＵＰ１３は、前記中
心線Ａに対し、角度α＝２９．３°だけオフセットした
位置で配置されている。そして、第３の実施の形態で
は、前記ＦＯＵＰ１３の授受位置は中心線Ａ′より２
９．３°だけ側方にずれた位置で授受が行われる。
【００６２】尚、上記実施の形態に於いては、前記ウェ
ーハ１２の搬送を前記ＦＯＵＰ１３に装填した状態で行
う場合について説明したが、前記ウェーハ１２をウェー
ハカセット等の開放型収納容器或は前記ＦＯＵＰ１３以
外の密閉型収納容器に装填して搬送する場合についても
実施可能であることは言う迄もない。
【００６３】又、前記ＦＯＵＰ回転収納棚３６，５１，
５３の各段への前記ＦＯＵＰ１３の収納数は上記した数
に限るものではなく、３個以下或は７個以上であっても
よい。
【００６４】更に又、上記第１の実施の形態、第２の実
施の形態、第３の実施の形態中で示した放射中心線とＦ
ＯＵＰ１３の向きの角度は放射中心線の分割数に一義的
に決定されるものではなく、ＦＯＵＰ１３の形状によっ
て変わる可能性がある。要は、ＦＯＵＰステージ２１、
ＦＯＵＰ搬送機２２に正対し、その位置で搬送する際に
隣接するＦＯＵＰ１３に干渉しない角度ということとな
る。又、ＦＯＵＰ１３が非対称の形をしている場合等、
前記放射中心線は必ずしもＦＯＵＰ１３の図心を通過す
るとは限らないことは勿論である。
【００６５】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、回転収
納棚の平面寸法が収納容器の開口面の幅の寸法によって
決定されることがなく、収納容器を回転収納棚に平面的
に無駄なスペースがなく効率良く収納できるので、該回
転収納棚の回転円の直径を小さくでき、該回転収納棚の
小型化が図れ、装置の設置場所の省スペース化が図れ
る。
【００６６】又、各段に４個の前記収納容器が収納可能
な前記回転収納棚に於いては、２バッチ分の収納容器の
数量が１２個以下である場合には前記回転収納棚以外に
収納棚を設置する必要がなく、又、各段に５個以上の前
記収納容器が収納可能な前記回転収納棚に於いては、通
常の処理で必要な収納容器数である１４個より多くの収
納容器を装置内に収納可能であり、通常の処理の場合だ
けでなく１バッチ分の被処理基板の枚数が増加した場合
にも前記回転収納棚以外に収納棚を設置する必要がな
い。従って、前記収納容器の前記装置への搬送を上方及
び前方から行えるので、同一装置で前記収納容器の各種
搬送方式に柔軟に対応することが可能となる等種々の優
れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す斜視図であ
る。
【図２】該実施の形態を示す側面図である。
【図３】該実施の形態を示す平面図である。
【図４】該実施の形態に於ける回転収納棚の回転機構体
を示す断面図である。
【図５】図４のＸ矢視図である。
【図６】図４のＹ矢視図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態を示す平面図であ
る。
【図８】本発明の第３の実施の形態を示す平面図であ
る。
【図９】ウェーハをウェーハカセットに収納して搬送す
る場合の従来例を示す側面図である。
【図１０】ウェーハをＦＯＵＰに収納して搬送する場合
の従来例を示す側面図である。
【図１１】該従来例の平面図である。
【図１２】ＦＯＵＰ回転収納棚の各段にＦＯＵＰを５個
ずつ収納可能な場合の従来例を示す平面図である。
【符号の説明】
１ 筐体 １２ ウェーハ １３ ＦＯＵＰ ２１ ＦＯＵＰステージ ２２ ＦＯＵＰ搬送機 ２４ ＦＯＵＰ授受ユニット ２９ 反応炉 ３０ ボート ３１ ウェーハ移載機 ３６ ＦＯＵＰ回転収納棚 ３７ 回転機構体 ３８ 棚板 ３９ 減速部 ４１ 駆動モータ ５１ ＦＯＵＰ回転収納棚 ５３ ＦＯＵＰ回転収納棚

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被処理基板が装填される収納容器と、該
    収納容器を複数収納し回転可能な回転収納棚と、該回転
    収納棚に前記収納容器を搬送する搬送機とを具備した基
    板処理装置に於いて、前記複数の収納容器が前記回転収
    納棚の回転中心を通る放射中心線上に配置され、前記回
    転収納棚に配置された収納容器の向きが、前記放射中心
    線に対して所要角度オフセットされていることを特徴と
    する基板処理装置。
  2. 【請求項２】 前記収納容器が前記収納容器授受位置で
    前記搬送機に正対する様に前記回転収納棚に配置された
    請求項１の基板処理装置。
  3. 【請求項３】 前記収納容器授受位置に於ける収納容器
    の向きを、収納容器搬入出部上の載置される収納容器の
    向きと同一とした請求項１又は請求項２の基板処理装
    置。
  4. 【請求項４】 前記放射中心線は全周を４等分するもの
    である請求項１の基板処理装置。
  5. 【請求項５】 前記放射中心線は全周を５等分するもの
    である請求項１の基板処理装置。
  6. 【請求項６】 前記放射中心線は全周を６等分するもの
    である請求項１の基板処理装置。
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