JP2000171513A - パターン配線基板検査方法および検査装置 - Google Patents
パターン配線基板検査方法および検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】電気抵抗値測定用のプロ−ブとパターン配線基
板の電気配線の端子とが常に一定範囲内の接触抵抗値で
保持された状態で被検査電気配線の電気抵抗値を測定す
るパターン配線基板検査方法及び検査装置を提供する。 【解決手段】抵抗測定器５による標準電気配線の電気抵
抗測定値と標準抵抗値格納部７に格納されている標準電
気配線の電気抵抗値とを比較する比較処理部６を設け、
被検査電気配線の電気抵抗値を測定する毎に、標準電気
抵抗配線の測定値と標準抵抗値格納部７に格納されてい
る標準電気抵抗配線の電気抵抗値とを比較することによ
り、プロ−ブＡ３、プローブＢ４とパターン配線基板１
１の電気配線の端子とが一定値以内の接触抵抗値で保持
されていることを確認しながら被検査電気配線の電気抵
抗値を測定することを特徴とする。
板の電気配線の端子とが常に一定範囲内の接触抵抗値で
保持された状態で被検査電気配線の電気抵抗値を測定す
るパターン配線基板検査方法及び検査装置を提供する。 【解決手段】抵抗測定器５による標準電気配線の電気抵
抗測定値と標準抵抗値格納部７に格納されている標準電
気配線の電気抵抗値とを比較する比較処理部６を設け、
被検査電気配線の電気抵抗値を測定する毎に、標準電気
抵抗配線の測定値と標準抵抗値格納部７に格納されてい
る標準電気抵抗配線の電気抵抗値とを比較することによ
り、プロ−ブＡ３、プローブＢ４とパターン配線基板１
１の電気配線の端子とが一定値以内の接触抵抗値で保持
されていることを確認しながら被検査電気配線の電気抵
抗値を測定することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パターン配線基板
検査方法および検査装置に関し、特に、電気抵抗値測定
用のプロ−ブとパターン配線基板の電気配線の端子とが
常に一定範囲内の接触抵抗値で保持された状態で被検査
電気配線の電気抵抗値を測定するパターン配線基板検査
方法及び検査装置に関する。
検査方法および検査装置に関し、特に、電気抵抗値測定
用のプロ−ブとパターン配線基板の電気配線の端子とが
常に一定範囲内の接触抵抗値で保持された状態で被検査
電気配線の電気抵抗値を測定するパターン配線基板検査
方法及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のパターン配線基板検査装置のブロ
ック図を図３に示す。
ック図を図３に示す。
【０００３】図３を参照すると、パターン配線基板検査
装置６０は、パターン配線基板２３が搭載される可動式
ステージ部２１と、可動式ステージ部２１を三次元方向
に動作させるステージ駆動部２２と、パターン配線基板
２３に対向して設けられるパターン配線基板２３の電気
配線の端子間の電気抵抗値測定用のプローブＡ１３、プ
ローブＢ１４と、プローブＡ１３、プローブＢ１４を介
してパターン配線基板２３の電気配線の端子間の電気抵
抗値を測定する抵抗測定器１５と、被検査電気配線の期
待値を格納しておく良否判定条件格納部１９と、抵抗測
定器１５による測定値と良否判定条件格納部１９の被検
査電気配線の期待値とを比較し良否の判定をする良否判
定部１８と、良否判定部１８による良否判定結果を表示
する良否表示部２０とから構成されている。
装置６０は、パターン配線基板２３が搭載される可動式
ステージ部２１と、可動式ステージ部２１を三次元方向
に動作させるステージ駆動部２２と、パターン配線基板
２３に対向して設けられるパターン配線基板２３の電気
配線の端子間の電気抵抗値測定用のプローブＡ１３、プ
ローブＢ１４と、プローブＡ１３、プローブＢ１４を介
してパターン配線基板２３の電気配線の端子間の電気抵
抗値を測定する抵抗測定器１５と、被検査電気配線の期
待値を格納しておく良否判定条件格納部１９と、抵抗測
定器１５による測定値と良否判定条件格納部１９の被検
査電気配線の期待値とを比較し良否の判定をする良否判
定部１８と、良否判定部１８による良否判定結果を表示
する良否表示部２０とから構成されている。
【０００４】次に、上述のように構成されたパターン配
線基板検査装置６０の動作について説明する。
線基板検査装置６０の動作について説明する。
【０００５】図４は、パターン配線基板２３の検査手順
を示すフローチャート図である。
を示すフローチャート図である。
【０００６】図３、および図４を参照すると、可動式ス
テージ部２１に搭載されたパターン配線基板２３の被検
査電気配線を測定する場合、まず最初にステージ駆動部
２２を用いて可動式ステージ部２１を移動し、パターン
配線基板２３上の端子（図示せず）とプロ−ブＡ１３、
プローブＢ１４とを接触させ、被検査電気配線の電気抵
抗を抵抗測定器１５で測定する。
テージ部２１に搭載されたパターン配線基板２３の被検
査電気配線を測定する場合、まず最初にステージ駆動部
２２を用いて可動式ステージ部２１を移動し、パターン
配線基板２３上の端子（図示せず）とプロ−ブＡ１３、
プローブＢ１４とを接触させ、被検査電気配線の電気抵
抗を抵抗測定器１５で測定する。
【０００７】次に、その測定値と良否判定条件格納部１
９に記憶されている被検査電気配線の期待値とを、良否
判定部１８で比較することにより良否判定を行い、その
結果を良否表示部２０に表示し、その後、可動式ステー
ジ部２１を移動して、パターン配線基板２３の他の被検
査電気配線を測定する。この手順を繰り返して実行する
ことにより、パターン配線基板２３の検査を行う。
９に記憶されている被検査電気配線の期待値とを、良否
判定部１８で比較することにより良否判定を行い、その
結果を良否表示部２０に表示し、その後、可動式ステー
ジ部２１を移動して、パターン配線基板２３の他の被検
査電気配線を測定する。この手順を繰り返して実行する
ことにより、パターン配線基板２３の検査を行う。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述の、パターン配線
基板検査装置は、パターン配線基板内の被検査対象電気
配線の電気抵抗値を正しく測定し良否判定を実施するた
めには、プローブが、被検査対象であるパターン配線基
板の端子と一定の低い接触抵抗値によって接触状態を保
持していることが重要な条件となるが、プロ−ブと端子
間が一定の低い接触抵抗値で接触できているか否かを確
認しておらず、パターン配線基板内の被検査対象電気配
線の電気抵抗値を正しく測定した結果による良否判定と
はならないという課題がある。
基板検査装置は、パターン配線基板内の被検査対象電気
配線の電気抵抗値を正しく測定し良否判定を実施するた
めには、プローブが、被検査対象であるパターン配線基
板の端子と一定の低い接触抵抗値によって接触状態を保
持していることが重要な条件となるが、プロ−ブと端子
間が一定の低い接触抵抗値で接触できているか否かを確
認しておらず、パターン配線基板内の被検査対象電気配
線の電気抵抗値を正しく測定した結果による良否判定と
はならないという課題がある。
【０００９】本発明の目的は、電気抵抗値測定用のプロ
−ブとパターン配線基板の電気配線の端子とが常に一定
範囲内の接触抵抗値で保持された状態で被検査電気配線
の電気抵抗値を測定するパターン配線基板検査方法及び
検査装置を提供することにある。
−ブとパターン配線基板の電気配線の端子とが常に一定
範囲内の接触抵抗値で保持された状態で被検査電気配線
の電気抵抗値を測定するパターン配線基板検査方法及び
検査装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のパターン配線基
板検査方法は、パターン配線基板が搭載される可動式ス
テージ部を三次元方向に動作させるステージ駆動工程
と、パターン配線基板に対向して設けられるパターン配
線基板の電気配線の端子間の電気抵抗値測定用のプロー
ブを介してパターン配線基板の電気配線の端子間の電気
抵抗値を測定する抵抗測定工程と、被検査電気配線の期
待値を格納しておく良否判定条件格納工程と、抵抗測定
工程による測定値と良否判定条件格納工程に格納されて
いる被検査電気配線の期待値とを比較し良否の判定をす
る良否判定工程と、良否判定工程による良否判定結果を
表示する良否表示工程と、標準電気配線の電気抵抗値を
記憶し格納しておく標準抵抗値格納工程と、抵抗測定工
程による標準電気配線の電気抵抗測定値と標準抵抗値格
納工程に格納されている標準電気配線の電気抵抗値とを
比較する比較処理工程と、比較処理工程での比較値が規
定値を越える場合に異常を表示する異常情報表示工程と
を有することを特徴とする。
板検査方法は、パターン配線基板が搭載される可動式ス
テージ部を三次元方向に動作させるステージ駆動工程
と、パターン配線基板に対向して設けられるパターン配
線基板の電気配線の端子間の電気抵抗値測定用のプロー
ブを介してパターン配線基板の電気配線の端子間の電気
抵抗値を測定する抵抗測定工程と、被検査電気配線の期
待値を格納しておく良否判定条件格納工程と、抵抗測定
工程による測定値と良否判定条件格納工程に格納されて
いる被検査電気配線の期待値とを比較し良否の判定をす
る良否判定工程と、良否判定工程による良否判定結果を
表示する良否表示工程と、標準電気配線の電気抵抗値を
記憶し格納しておく標準抵抗値格納工程と、抵抗測定工
程による標準電気配線の電気抵抗測定値と標準抵抗値格
納工程に格納されている標準電気配線の電気抵抗値とを
比較する比較処理工程と、比較処理工程での比較値が規
定値を越える場合に異常を表示する異常情報表示工程と
を有することを特徴とする。
【００１１】ステージ駆動工程により可動式ステージ部
を、パターン配線基板の電気配線の端子とプローブとが
接触する位置まで移動させ、被検査電気配線の電気抵抗
値を測定することを特徴とする。
を、パターン配線基板の電気配線の端子とプローブとが
接触する位置まで移動させ、被検査電気配線の電気抵抗
値を測定することを特徴とする。
【００１２】比較処理工程は、被検査電気配線の電気抵
抗値を測定する毎に、標準電気抵抗配線の測定値と標準
抵抗値格納工程に格納されている標準電気抵抗配線の電
気抵抗値とを比較することを特徴とする。
抗値を測定する毎に、標準電気抵抗配線の測定値と標準
抵抗値格納工程に格納されている標準電気抵抗配線の電
気抵抗値とを比較することを特徴とする。
【００１３】比較処理工程は、被検査電気配線の電気抵
抗値を測定する毎に、標準電気抵抗配線の測定値と標準
抵抗値格納工程に格納されている標準電気抵抗配線の電
気抵抗値とを比較することにより、プロ−ブとパターン
配線基板の電気配線の端子とが一定値以内の接触抵抗値
で保持されていることを確認しながら被検査電気配線の
電気抵抗値を測定することを特徴とする。
抗値を測定する毎に、標準電気抵抗配線の測定値と標準
抵抗値格納工程に格納されている標準電気抵抗配線の電
気抵抗値とを比較することにより、プロ−ブとパターン
配線基板の電気配線の端子とが一定値以内の接触抵抗値
で保持されていることを確認しながら被検査電気配線の
電気抵抗値を測定することを特徴とする。
【００１４】比較処理工程は、抵抗測定工程による標準
電気配線の電気抵抗測定値と標準抵抗値格納工程に格納
されている標準電気配線の電気抵抗値とを比較し、両抵
抗値の差が予め設定した規定値を越えるとき、プロ−ブ
とパターン配線基板の電気配線の端子との接触抵抗値が
異常であることを異常情報表示工程で表示し、かつ、ス
テ−ジ駆動工程に可動式ステ−ジ部の動作の停止信号を
送信することを特徴とする。
電気配線の電気抵抗測定値と標準抵抗値格納工程に格納
されている標準電気配線の電気抵抗値とを比較し、両抵
抗値の差が予め設定した規定値を越えるとき、プロ−ブ
とパターン配線基板の電気配線の端子との接触抵抗値が
異常であることを異常情報表示工程で表示し、かつ、ス
テ−ジ駆動工程に可動式ステ−ジ部の動作の停止信号を
送信することを特徴とする。
【００１５】比較処理工程は、抵抗測定工程による標準
電気配線の電気抵抗測定値と標準抵抗値格納工程に格納
されている標準電気配線の電気抵抗値とを比較し、両抵
抗値の差が予め設定した規定値以下のとき、プロ−ブと
パターン配線基板の電気配線の端子との接触抵抗値が正
常と判断し、パターン配線基板の電気配線の端子間の電
気抵抗値の測定を継続して行うことを特徴とする。
電気配線の電気抵抗測定値と標準抵抗値格納工程に格納
されている標準電気配線の電気抵抗値とを比較し、両抵
抗値の差が予め設定した規定値以下のとき、プロ−ブと
パターン配線基板の電気配線の端子との接触抵抗値が正
常と判断し、パターン配線基板の電気配線の端子間の電
気抵抗値の測定を継続して行うことを特徴とする。
【００１６】本発明のパターン配線基板検査装置は、パ
ターン配線基板が搭載される可動式ステージ部と、可動
式ステージ部を三次元方向に動作させるステージ駆動部
と、パターン配線基板に対向して設けられるパターン配
線基板の電気配線の端子間の電気抵抗値測定用のプロー
ブと、プローブを介してパターン配線基板の電気配線の
端子間の電気抵抗値を測定する抵抗測定器と、被検査電
気配線の期待値を格納しておく良否判定条件格納部と、
抵抗測定器による測定値と良否判定条件格納部の被検査
電気配線の期待値とを比較し良否の判定をする良否判定
部と、良否判定部による良否判定結果を表示する良否表
示部と、標準電気配線の電気抵抗値を記憶し格納してお
く標準抵抗値格納部と、抵抗測定器による標準電気配線
の電気抵抗測定値と標準抵抗値格納部に格納されている
標準電気配線の電気抵抗値とを比較する比較処理部と、
比較処理部での比較値が規定値を越える場合に異常を表
示する異常情報表示部とを有することを特徴とする。
ターン配線基板が搭載される可動式ステージ部と、可動
式ステージ部を三次元方向に動作させるステージ駆動部
と、パターン配線基板に対向して設けられるパターン配
線基板の電気配線の端子間の電気抵抗値測定用のプロー
ブと、プローブを介してパターン配線基板の電気配線の
端子間の電気抵抗値を測定する抵抗測定器と、被検査電
気配線の期待値を格納しておく良否判定条件格納部と、
抵抗測定器による測定値と良否判定条件格納部の被検査
電気配線の期待値とを比較し良否の判定をする良否判定
部と、良否判定部による良否判定結果を表示する良否表
示部と、標準電気配線の電気抵抗値を記憶し格納してお
く標準抵抗値格納部と、抵抗測定器による標準電気配線
の電気抵抗測定値と標準抵抗値格納部に格納されている
標準電気配線の電気抵抗値とを比較する比較処理部と、
比較処理部での比較値が規定値を越える場合に異常を表
示する異常情報表示部とを有することを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に本発明の一実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１８】図１は、本発明のパターン配線基板検査装
置を示すブロック図である。
置を示すブロック図である。
【００１９】図１を参照すると、本発明のパターン配線
基板検査装置５０は、パターン配線基板１１が搭載され
る可動式ステージ部１と、可動式ステージ部１を三次元
方向に動作させるステージ駆動部２と、パターン配線基
板１１に対向して設けられるパターン配線基板１１の電
気配線の端子間の電気抵抗値測定用のプローブＡ３、プ
ローブＢ４と、プローブＡ３、プローブＢ４を介してパ
ターン配線基板１１の電気配線の端子間の電気抵抗値を
測定する抵抗測定器５と、被検査電気配線の期待値を格
納しておく良否判定条件格納部９と、抵抗測定器５によ
る測定値と良否判定条件格納部９の被検査電気配線の期
待値とを比較し良否の判定をする良否判定部８と、良否
判定部８による良否判定結果を表示する良否表示部１０
と、標準電気配線の電気抵抗値を記憶し格納しておく標
準抵抗値格納部７と、抵抗測定器５による標準電気配線
の電気抵抗測定値と標準抵抗値格納部７に格納されてい
る標準電気配線の電気抵抗値とを比較する比較処理部６
と、比較処理部６での比較値が規定値を越える場合に異
常を表示する異常情報表示部１２とから構成されてい
る。
基板検査装置５０は、パターン配線基板１１が搭載され
る可動式ステージ部１と、可動式ステージ部１を三次元
方向に動作させるステージ駆動部２と、パターン配線基
板１１に対向して設けられるパターン配線基板１１の電
気配線の端子間の電気抵抗値測定用のプローブＡ３、プ
ローブＢ４と、プローブＡ３、プローブＢ４を介してパ
ターン配線基板１１の電気配線の端子間の電気抵抗値を
測定する抵抗測定器５と、被検査電気配線の期待値を格
納しておく良否判定条件格納部９と、抵抗測定器５によ
る測定値と良否判定条件格納部９の被検査電気配線の期
待値とを比較し良否の判定をする良否判定部８と、良否
判定部８による良否判定結果を表示する良否表示部１０
と、標準電気配線の電気抵抗値を記憶し格納しておく標
準抵抗値格納部７と、抵抗測定器５による標準電気配線
の電気抵抗測定値と標準抵抗値格納部７に格納されてい
る標準電気配線の電気抵抗値とを比較する比較処理部６
と、比較処理部６での比較値が規定値を越える場合に異
常を表示する異常情報表示部１２とから構成されてい
る。
【００２０】次に、上述のように構成されたパターン配
線基板検査装置５０の動作について説明する。
線基板検査装置５０の動作について説明する。
【００２１】図２は、パターン配線基板１１の検査手順
を示すフローチャート図である。
を示すフローチャート図である。
【００２２】図１、および図２を参照すると、可動式ス
テージ部１に搭載されたパターン配線基板１１の被検査
電気配線を測定する場合、まず最初にステージ駆動部２
により、可動式ステージ部１を、パターン配線基板１１
上の被検査対象電気配線の端子とプローブＡ３、プロー
ブＢ４とが接触する様に移動し、その電気配線の電気抵
抗値をプローブＡ３とプローブＢ４とを用いて抵抗測定
器５にて測定し、その測定値と良否判定条件格納部９に
記憶されている被検査電気配線の期待値とを良否判定部
８で比較することにより被検査電気配線の良否判定を行
い、その結果を良否表示部１０に表示する。
テージ部１に搭載されたパターン配線基板１１の被検査
電気配線を測定する場合、まず最初にステージ駆動部２
により、可動式ステージ部１を、パターン配線基板１１
上の被検査対象電気配線の端子とプローブＡ３、プロー
ブＢ４とが接触する様に移動し、その電気配線の電気抵
抗値をプローブＡ３とプローブＢ４とを用いて抵抗測定
器５にて測定し、その測定値と良否判定条件格納部９に
記憶されている被検査電気配線の期待値とを良否判定部
８で比較することにより被検査電気配線の良否判定を行
い、その結果を良否表示部１０に表示する。
【００２３】その後、パターン配線基板１１内の電気抵
抗値が既知である標準電気抵抗配線の端子（図示せず）
とプローブＡ３、およびプローブ４とが接触するよう
に、ステージ駆動部２により可動式ステージ１を移動
し、標準電気抵抗配線の電気抵抗値をプローブＡ３とプ
ローブＢ４を用いて抵抗測定器５にて測定し、その測定
値を比較処理部６に引き渡す。その引き渡された測定値
と標準抵抗値格納部７に記憶されている標準電気抵抗配
線の電気抵抗値とを比較処理部６にて比較し、両抵抗値
の差が予め設定した規定値を越える場合は、異常情報表
示部１２に標準電気抵抗配線の端子とプローブＡ３、お
よびプローブＢ４との接触性の異常を表示し、かつ、ス
テ−ジ駆動部２に可動式ステ−ジ部１の動作の停止信号
を送信する。
抗値が既知である標準電気抵抗配線の端子（図示せず）
とプローブＡ３、およびプローブ４とが接触するよう
に、ステージ駆動部２により可動式ステージ１を移動
し、標準電気抵抗配線の電気抵抗値をプローブＡ３とプ
ローブＢ４を用いて抵抗測定器５にて測定し、その測定
値を比較処理部６に引き渡す。その引き渡された測定値
と標準抵抗値格納部７に記憶されている標準電気抵抗配
線の電気抵抗値とを比較処理部６にて比較し、両抵抗値
の差が予め設定した規定値を越える場合は、異常情報表
示部１２に標準電気抵抗配線の端子とプローブＡ３、お
よびプローブＢ４との接触性の異常を表示し、かつ、ス
テ−ジ駆動部２に可動式ステ−ジ部１の動作の停止信号
を送信する。
【００２４】また、両抵抗値の差が予め設定した規定値
以下のときは、プロ−ブＡ３、プローブＢ４とパターン
配線基板１１の電気配線の端子との接触状態が正常と判
断し、可動式ステージ部１を移動し、パターン配線基板
１１の電気配線の端子間の電気抵抗値の測定を継続して
行う。上述の動作手順を繰り返して行うことで、プロ−
ブＡ３、プロ−ブＢ４とパターン配線基板１１の電気配
線の端子間との接触状態を、常に一定範囲内の接触抵抗
値で保持された状態であること確認しながら、パターン
配線基板１１上の被検査電気配線の電気抵抗値の測定を
実施することが可能となる。
以下のときは、プロ−ブＡ３、プローブＢ４とパターン
配線基板１１の電気配線の端子との接触状態が正常と判
断し、可動式ステージ部１を移動し、パターン配線基板
１１の電気配線の端子間の電気抵抗値の測定を継続して
行う。上述の動作手順を繰り返して行うことで、プロ−
ブＡ３、プロ−ブＢ４とパターン配線基板１１の電気配
線の端子間との接触状態を、常に一定範囲内の接触抵抗
値で保持された状態であること確認しながら、パターン
配線基板１１上の被検査電気配線の電気抵抗値の測定を
実施することが可能となる。
【００２５】なお、本実施の形態では、パターン配線基
板１１上の被検査対象電気配線の電気抵抗値を一箇所測
定する毎に標準電気抵抗配線の電気抵抗値を測定してい
るが、被検査対象電気配線の電気抵抗値を複数箇所測定
した後に一回標準電気抵抗配線の電気抵抗値を測定して
も概ね同等の効果が得られ、本発明に含まれることはい
うまでもない。
板１１上の被検査対象電気配線の電気抵抗値を一箇所測
定する毎に標準電気抵抗配線の電気抵抗値を測定してい
るが、被検査対象電気配線の電気抵抗値を複数箇所測定
した後に一回標準電気抵抗配線の電気抵抗値を測定して
も概ね同等の効果が得られ、本発明に含まれることはい
うまでもない。
【００２６】
【発明の効果】以上説明した様に、パタ−ン配線基板検
査装置におけるプロ−ブの接触性の確認方法は、配線基
板上の被検査配線を測定する毎に、配線基板内の電気抵
抗値が既知である標準抵抗を測定し、その測定値とその
標準抵抗値の期待値とを比較し、両抵抗値の差が予め設
定した規定値を越える場合はプロ−ブの接触性の異常を
表示する機能を有することで、電気抵抗値測定用のプロ
−ブとパターン配線基板の電気配線の端子とが常に一定
範囲内の接触抵抗値で保持された状態で被検査電気配線
の電気抵抗値を測定することができるという効果があ
る。
査装置におけるプロ−ブの接触性の確認方法は、配線基
板上の被検査配線を測定する毎に、配線基板内の電気抵
抗値が既知である標準抵抗を測定し、その測定値とその
標準抵抗値の期待値とを比較し、両抵抗値の差が予め設
定した規定値を越える場合はプロ−ブの接触性の異常を
表示する機能を有することで、電気抵抗値測定用のプロ
−ブとパターン配線基板の電気配線の端子とが常に一定
範囲内の接触抵抗値で保持された状態で被検査電気配線
の電気抵抗値を測定することができるという効果があ
る。
【図１】本発明のパターン配線基板検査装置を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】本発明のパターン配線基板の検査手順を示すフ
ローチャート図である。
ローチャート図である。
【図３】従来のパターン配線基板検査装置を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図４】従来のパターン配線基板の検査手順を示すフロ
ーチャート図である。
ーチャート図である。
１、２１ 可動式ステージ部 ２、２２ ステージ駆動部 ３、１３ プローブＡ ４、１４ プローブＢ ５、１５ 抵抗測定器 ６ 比較処理部 ７ 標準抵抗値格納部 ８、１８ 良否判定部 ９、１９ 良否判定条件格納部 １０、２０ 良否表示部 １２ 異常情報表示部 １１、２３ パターン配線基板 ５０、６０ パターン配線基板検査装置
Claims (7)
- 【請求項１】 パターン配線基板が搭載される可動式ス
テージ部を三次元方向に動作させるステージ駆動工程
と、前記パターン配線基板に対向して設けられる前記パ
ターン配線基板の電気配線の端子間の電気抵抗値測定用
のプローブを介して前記パターン配線基板の電気配線の
端子間の電気抵抗値を測定する抵抗測定工程と、被検査
電気配線の期待値を格納しておく良否判定条件格納工程
と、前記抵抗測定工程による測定値と前記良否判定条件
格納工程に格納されている被検査電気配線の期待値とを
比較し良否の判定をする良否判定工程と、前記良否判定
工程による良否判定結果を表示する良否表示工程と、標
準電気配線の電気抵抗値を記憶し格納しておく標準抵抗
値格納工程と、前記抵抗測定工程による前記標準電気配
線の電気抵抗測定値と前記標準抵抗値格納工程に格納さ
れている標準電気配線の電気抵抗値とを比較する比較処
理工程と、前記比較処理工程での比較値が規定値を越え
る場合に異常を表示する異常情報表示工程とを有するこ
とを特徴とするパターン配線基板検査方法。 - 【請求項２】 前記ステージ駆動工程により前記可動式
ステージ部を、前記パターン配線基板の電気配線の端子
と前記プローブとが接触する位置まで移動させ、前記被
検査電気配線の電気抵抗値を測定することを特徴とする
請求項１記載のパターン配線基板検査方法。 - 【請求項３】 前記比較処理工程は、前記被検査電気配
線の電気抵抗値を測定する毎に、前記標準電気抵抗配線
の測定値と前記標準抵抗値格納工程に格納されている前
記標準電気抵抗配線の電気抵抗値とを比較することを特
徴とする請求項１記載のパターン配線基板検査方法。 - 【請求項４】 前記比較処理工程は、前記被検査電気配
線の電気抵抗値を測定する毎に、前記標準電気抵抗配線
の測定値と前記標準抵抗値格納工程に格納されている前
記標準電気抵抗配線の電気抵抗値とを比較することによ
り、前記プロ−ブと前記パターン配線基板の電気配線の
端子とが一定値以内の接触抵抗値で保持されていること
を確認しながら前記被検査電気配線の電気抵抗値を測定
することを特徴とする請求項１記載のパターン配線基板
検査方法。 - 【請求項５】 前記比較処理工程は、前記抵抗測定工程
による前記標準電気配線の電気抵抗測定値と前記標準抵
抗値格納工程に格納されている標準電気配線の電気抵抗
値とを比較し、両抵抗値の差が予め設定した規定値を越
えるとき、前記プロ−ブと前記パターン配線基板の電気
配線の端子との接触抵抗値が異常であることを前記異常
情報表示工程で表示し、かつ、前記ステ−ジ駆動工程に
前記可動式ステ−ジ部の動作の停止信号を送信すること
を特徴とする請求項１記載のパターン配線基板検査方
法。 - 【請求項６】 前記比較処理工程は、前記抵抗測定工程
による前記標準電気配線の電気抵抗測定値と前記標準抵
抗値格納工程に格納されている標準電気配線の電気抵抗
値とを比較し、両抵抗値の差が予め設定した規定値以下
のとき、前記プロ−ブと前記パターン配線基板の電気配
線の端子との接触抵抗値が正常と判断し、前記パターン
配線基板の電気配線の端子間の電気抵抗値の測定を継続
して行うことを特徴とする請求項１記載のパターン配線
基板検査方法。 - 【請求項７】 パターン配線基板が搭載される可動式ス
テージ部と、前記可動式ステージ部を三次元方向に動作
させるステージ駆動部と、前記パターン配線基板に対向
して設けられる前記パターン配線基板の電気配線の端子
間の電気抵抗値測定用のプローブと、前記プローブを介
して前記パターン配線基板の電気配線の端子間の電気抵
抗値を測定する抵抗測定器と、被検査電気配線の期待値
を格納しておく良否判定条件格納部と、前記抵抗測定器
による測定値と前記良否判定条件格納部の被検査電気配
線の期待値とを比較し良否の判定をする良否判定部と、
前記良否判定部による良否判定結果を表示する良否表示
部と、標準電気配線の電気抵抗値を記憶し格納しておく
標準抵抗値格納部と、前記抵抗測定器による前記標準電
気配線の電気抵抗測定値と前記標準抵抗値格納部に格納
されている標準電気配線の電気抵抗値とを比較する比較
処理部と、前記比較処理部での比較値が規定値を越える
場合に異常を表示する異常情報表示部とを有することを
特徴とするパターン配線基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10349881A JP2000171513A (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | パターン配線基板検査方法および検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10349881A JP2000171513A (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | パターン配線基板検査方法および検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000171513A true JP2000171513A (ja) | 2000-06-23 |
Family
ID=18406754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10349881A Pending JP2000171513A (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | パターン配線基板検査方法および検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000171513A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102998532A (zh) * | 2012-10-15 | 2013-03-27 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种接触电阻测量检测装置及方法 |
| JP2013228273A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Hioki Ee Corp | 測定装置および測定方法 |
-
1998
- 1998-12-09 JP JP10349881A patent/JP2000171513A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013228273A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Hioki Ee Corp | 測定装置および測定方法 |
| CN102998532A (zh) * | 2012-10-15 | 2013-03-27 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种接触电阻测量检测装置及方法 |
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|---|---|---|---|
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