JP2000150614A - 搬送装置 - Google Patents
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- JP2000150614A JP2000150614A JP32677498A JP32677498A JP2000150614A JP 2000150614 A JP2000150614 A JP 2000150614A JP 32677498 A JP32677498 A JP 32677498A JP 32677498 A JP32677498 A JP 32677498A JP 2000150614 A JP2000150614 A JP 2000150614A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】被搬送物品がパーティクルの影響を受けること
ない搬送装置を提供することにある。 【解決手段】第1と第2の平行リンク機構28,29と
からなり、同機構は、回転駆動軸26aに一端部が固定
され、他端部に駆動側連結軸31が設けられた駆動内ア
ーム30と、これと平行に配置され、一端部が回転自在
に支持され、他端部に従動側連結軸34が設けられた従
動内アーム32と、駆動側連結軸31と従動側連結軸3
4に伝動部材からなるリバース機構41とを設ける。さ
らに、駆動側連結軸31に一端部が固定され、他端部に
物品を保持する保持部材43を有した駆動外アーム42
と、これと平行に配置され、一端部が従動側連結軸34
に固定され、他端部が保持部材43に連結された従動外
アーム45とからなる。
ない搬送装置を提供することにある。 【解決手段】第1と第2の平行リンク機構28,29と
からなり、同機構は、回転駆動軸26aに一端部が固定
され、他端部に駆動側連結軸31が設けられた駆動内ア
ーム30と、これと平行に配置され、一端部が回転自在
に支持され、他端部に従動側連結軸34が設けられた従
動内アーム32と、駆動側連結軸31と従動側連結軸3
4に伝動部材からなるリバース機構41とを設ける。さ
らに、駆動側連結軸31に一端部が固定され、他端部に
物品を保持する保持部材43を有した駆動外アーム42
と、これと平行に配置され、一端部が従動側連結軸34
に固定され、他端部が保持部材43に連結された従動外
アーム45とからなる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、主に半導体ウェ
ーハやLCD基板等の被処理体を搬送する搬送装置に関
する。
ーハやLCD基板等の被処理体を搬送する搬送装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】半導体デバイスを製造するための各工程
において、物品としての半導体ウェーハをクリーンルー
ム側から所定の処理を行うプロセス室側へ引き渡すため
に、あるいは処理済みの半導体ウェーハをプロセス室側
からクリーンルーム側へ引き渡すために、搬送装置が使
用されている。
において、物品としての半導体ウェーハをクリーンルー
ム側から所定の処理を行うプロセス室側へ引き渡すため
に、あるいは処理済みの半導体ウェーハをプロセス室側
からクリーンルーム側へ引き渡すために、搬送装置が使
用されている。
【0003】搬送装置としての搬送アームには、従来、
スカラ型ツインピックタイプ、スカラ型デュアルアーム
タイプ、フロッグレッグタイプが知られている。
スカラ型ツインピックタイプ、スカラ型デュアルアーム
タイプ、フロッグレッグタイプが知られている。
【0004】前記スカラ型ツインピックタイプは、図8
に示すように、旋回軸1に第1のアーム2が固定され、
この第1のアーム2に屈曲可能に支持された第2のアー
ム3が設けられ、第2のアーム3の先端部に関節部4を
介して一対のピック5a,5bを有する保持部材6が設
けられている。そして、図示しないが旋回軸1と同軸的
に設けられた駆動軸にプーリが固着され、このプーリに
掛け渡されたタイミングベルトによって第1および第2
のアーム2,3及び保持部材6を回動するようになって
いる。
に示すように、旋回軸1に第1のアーム2が固定され、
この第1のアーム2に屈曲可能に支持された第2のアー
ム3が設けられ、第2のアーム3の先端部に関節部4を
介して一対のピック5a,5bを有する保持部材6が設
けられている。そして、図示しないが旋回軸1と同軸的
に設けられた駆動軸にプーリが固着され、このプーリに
掛け渡されたタイミングベルトによって第1および第2
のアーム2,3及び保持部材6を回動するようになって
いる。
【0005】また、前記スカラ型デュアルアームタイプ
は、図9に示すように、旋回軸7によって旋回する旋回
板8に第1の回転駆動軸9aと第2の回転駆動軸9bと
が設けられ、この第1と第2回転駆動軸9a,9bにそ
れぞれ第1のアーム10を介して第2のアーム11が設
けられている。そして、第2のアーム11に関節部12
を介してピック13が設けられている。
は、図9に示すように、旋回軸7によって旋回する旋回
板8に第1の回転駆動軸9aと第2の回転駆動軸9bと
が設けられ、この第1と第2回転駆動軸9a,9bにそ
れぞれ第1のアーム10を介して第2のアーム11が設
けられている。そして、第2のアーム11に関節部12
を介してピック13が設けられている。
【0006】さらに、前記フロッグレッグタイプは、図
10に示すように、2対のリンク14a,14bが連結
軸15を介して直列に連結され、その先端部にリバース
機構16を介してピック17が設けられている。そし
て、リンク14a,14bを蛙の足のように屈曲、伸長
させるようになっている。
10に示すように、2対のリンク14a,14bが連結
軸15を介して直列に連結され、その先端部にリバース
機構16を介してピック17が設けられている。そし
て、リンク14a,14bを蛙の足のように屈曲、伸長
させるようになっている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記スカラ
型ツインピックタイプは、次のような問題がある。
型ツインピックタイプは、次のような問題がある。
【0008】(1)タイミングベルトとプーリによって
アーム2,3を駆動しているため、プーリ及びタイミン
グベルト部でのバックラッシュにより搬送精度を高める
ことが困難である。
アーム2,3を駆動しているため、プーリ及びタイミン
グベルト部でのバックラッシュにより搬送精度を高める
ことが困難である。
【0009】(2)片側のピックによって半導体ウェー
ハを搬送する時、同期して反対側のピックも動いてしま
うため、搬送速度が上げられない。
ハを搬送する時、同期して反対側のピックも動いてしま
うため、搬送速度が上げられない。
【0010】(3)搬送装置を真空チャンバ内で使用し
た時、タイミングベルトやプーリのベアリング部から脱
ガスが多い。
た時、タイミングベルトやプーリのベアリング部から脱
ガスが多い。
【0011】(4)アーム旋回領域を小さくした場合、
関節部とピックに保持されたウェーセンタ間の距離が短
くなってしまい、熱プロセス(通常1000℃程度)へ
のアクセス時には関節部が輻射熱等の影響を受けやす
い。
関節部とピックに保持されたウェーセンタ間の距離が短
くなってしまい、熱プロセス(通常1000℃程度)へ
のアクセス時には関節部が輻射熱等の影響を受けやす
い。
【0012】また、スカラ型デュアルアームタイプは、
前述したスカラ型ツインピックタイプの(1),
(3),(4)と同じ問題がある。さらに、フロッグレ
ッグタイプは、前述したスカラ型ツインピックタイプの
(4)と同じ問題があるとともに、リバース機構が半導
体ウェーハの近くにあるため、リバース機構から発生す
るパーティクルが半導体ウェーハに付着する虞がある。
前述したスカラ型ツインピックタイプの(1),
(3),(4)と同じ問題がある。さらに、フロッグレ
ッグタイプは、前述したスカラ型ツインピックタイプの
(4)と同じ問題があるとともに、リバース機構が半導
体ウェーハの近くにあるため、リバース機構から発生す
るパーティクルが半導体ウェーハに付着する虞がある。
【0013】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、従来のフロッグレッ
グタイプの効果を保ちつつ、リバース機構からパーティ
クルが発生しても半導体ウェーハ等の被搬送物品に付着
するのを防止でき、かつフロックレッグの弱点である剛
性低下を改善した搬送装置を提供することにある。
もので、その目的とするところは、従来のフロッグレッ
グタイプの効果を保ちつつ、リバース機構からパーティ
クルが発生しても半導体ウェーハ等の被搬送物品に付着
するのを防止でき、かつフロックレッグの弱点である剛
性低下を改善した搬送装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、請求項1は、物品を搬送する搬送装置
において、旋回駆動軸と、この旋回駆動軸と一体的に旋
回運動する同一構造の第1と第2の平行リンク機構とか
らなる。そして、前記第1と第2の平行リンク機構は、
回転駆動軸に一端部が固定され、他端部に駆動側連結軸
が設けられた駆動内アームと、この駆動内アームに対し
て平行に配置され、一端部が回転自在に支持され、他端
部に従動側連結軸が設けられた従動内アームと、前記駆
動側連結軸に固定された駆動プーリと、前記従動側連結
軸に設けられた従動プーリと、前記駆動プーリと従動プ
ーリとの間に掛け渡された伝動部材からなるリバース機
構と、前記駆動側連結軸に一端部が固定され、他端部に
物品を保持する保持部材を有した駆動外アームと、この
駆動外アームと平行に配置され、一端部が前記従動側連
結軸に固定され、他端部が前記保持部材に連結された従
動外アームとを具備したことを特徴とする。
達成するために、請求項1は、物品を搬送する搬送装置
において、旋回駆動軸と、この旋回駆動軸と一体的に旋
回運動する同一構造の第1と第2の平行リンク機構とか
らなる。そして、前記第1と第2の平行リンク機構は、
回転駆動軸に一端部が固定され、他端部に駆動側連結軸
が設けられた駆動内アームと、この駆動内アームに対し
て平行に配置され、一端部が回転自在に支持され、他端
部に従動側連結軸が設けられた従動内アームと、前記駆
動側連結軸に固定された駆動プーリと、前記従動側連結
軸に設けられた従動プーリと、前記駆動プーリと従動プ
ーリとの間に掛け渡された伝動部材からなるリバース機
構と、前記駆動側連結軸に一端部が固定され、他端部に
物品を保持する保持部材を有した駆動外アームと、この
駆動外アームと平行に配置され、一端部が前記従動側連
結軸に固定され、他端部が前記保持部材に連結された従
動外アームとを具備したことを特徴とする。
【0015】請求項2は、請求項1の前記第1と第2の
平行リンク機構は、同方向または相反する方向に進退す
る保持部材を有し、独立して駆動することを特徴とす
る。
平行リンク機構は、同方向または相反する方向に進退す
る保持部材を有し、独立して駆動することを特徴とす
る。
【0016】前記構成によれば、回転駆動軸が右方向に
回転したとすると、駆動内アームが同方向に回動し、従
動内アームは平行状態を維持した追従して同方向に回動
する。駆動内アームの右方向の回転によって、駆動内ア
ームの他端部に設けられた駆動側連結軸及び駆動プーリ
が右方向に回転する。駆動プーリの回転力はベルトを介
して従動プーリに伝えられることにより、従動プーリ及
び従動側連結軸が左回転する。これによって駆動側連結
軸に固着されている駆動外アームが左方向に回動し、従
動外アームが平行状態を維持したまま左方向に回動す
る。この結果、駆動外アーム及び従動外アームに保持さ
れた保持部材は、第1の平行リンク機構の伸長とともに
直進する。
回転したとすると、駆動内アームが同方向に回動し、従
動内アームは平行状態を維持した追従して同方向に回動
する。駆動内アームの右方向の回転によって、駆動内ア
ームの他端部に設けられた駆動側連結軸及び駆動プーリ
が右方向に回転する。駆動プーリの回転力はベルトを介
して従動プーリに伝えられることにより、従動プーリ及
び従動側連結軸が左回転する。これによって駆動側連結
軸に固着されている駆動外アームが左方向に回動し、従
動外アームが平行状態を維持したまま左方向に回動す
る。この結果、駆動外アーム及び従動外アームに保持さ
れた保持部材は、第1の平行リンク機構の伸長とともに
直進する。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【0018】図1〜図3は第1の実施形態を示す。図1
はマルチチャンバ処理システム等に配設され、物品とし
ての半導体ウェーハを搬送する同方向型平行リンク式ツ
インアームを示し、(a)はリンクを収縮した状態の平
面図、(b)は同側面図、(c)はリンクを伸長した状
態の平面図、図2は駆動機構の概略的構成図、図3はリ
バース機構の平面図である。
はマルチチャンバ処理システム等に配設され、物品とし
ての半導体ウェーハを搬送する同方向型平行リンク式ツ
インアームを示し、(a)はリンクを収縮した状態の平
面図、(b)は同側面図、(c)はリンクを伸長した状
態の平面図、図2は駆動機構の概略的構成図、図3はリ
バース機構の平面図である。
【0019】まず、図2に示す、駆動機構21について
説明すると、基台22の内部にはACサーボモータ等の
旋回用モータ23が旋回駆動軸24を上向きにして固定
されており、この旋回駆動軸24には円板状の旋回板2
5が固定されている。旋回板25上の旋回駆動軸24と
偏心した位置にはACサーボモータ等の第1の回転駆動
モータ26と第2の回転駆動モータ27とが上下2段に
搭載され、第1の回転駆動軸26aと第2の回転駆動軸
27aとは同軸的に設けられている。
説明すると、基台22の内部にはACサーボモータ等の
旋回用モータ23が旋回駆動軸24を上向きにして固定
されており、この旋回駆動軸24には円板状の旋回板2
5が固定されている。旋回板25上の旋回駆動軸24と
偏心した位置にはACサーボモータ等の第1の回転駆動
モータ26と第2の回転駆動モータ27とが上下2段に
搭載され、第1の回転駆動軸26aと第2の回転駆動軸
27aとは同軸的に設けられている。
【0020】そして、図1に示すように、第1の回転駆
動軸26aには第1の平行リンク機構28が設けられ、
第2の回転駆動軸27aには第2の平行リンク機構29
が設けられ、これらは旋回板25と一体に旋回するよう
になっている。
動軸26aには第1の平行リンク機構28が設けられ、
第2の回転駆動軸27aには第2の平行リンク機構29
が設けられ、これらは旋回板25と一体に旋回するよう
になっている。
【0021】前記第1と第2の平行リンク機構28,2
9は同一構造であるため、第1の平行リンク機構28に
ついて説明し、第2の平行リンク機構29の同一構成部
分には同一番号の後に「a」を付す。第1の回転駆動軸
26aには両端部に屈曲部を有し、全体がコ字状に形成
された駆動内アーム30の一端部が固定され、他端部に
は駆動側連結軸31が設けられている。また、駆動内ア
ーム30の隣側にはこれと同一形状の従動内アーム32
が相対向するように駆動内アーム30に対して平行に配
置されている。この従動内アーム32の一端部は旋回板
25に対して回転軸33を介して回転自在に支持され、
他端部には従動側連結軸34が設けられている。
9は同一構造であるため、第1の平行リンク機構28に
ついて説明し、第2の平行リンク機構29の同一構成部
分には同一番号の後に「a」を付す。第1の回転駆動軸
26aには両端部に屈曲部を有し、全体がコ字状に形成
された駆動内アーム30の一端部が固定され、他端部に
は駆動側連結軸31が設けられている。また、駆動内ア
ーム30の隣側にはこれと同一形状の従動内アーム32
が相対向するように駆動内アーム30に対して平行に配
置されている。この従動内アーム32の一端部は旋回板
25に対して回転軸33を介して回転自在に支持され、
他端部には従動側連結軸34が設けられている。
【0022】駆動側連結軸31と従動側連結軸34は軸
受35,36を介して保持板37に回転自在に支持さ
れ、駆動内アーム30と従動内アーム32とを平行に保
っている。図3に示すように、駆動側連結軸31には駆
動プーリ38が固着され、従動側連結軸34には従動プ
ーリ39が固着され、駆動プーリ38と従動プーリ39
は同一外径で、両者間にはベルト40が襷掛けに掛け渡
され、リバース機構41が構成されている。
受35,36を介して保持板37に回転自在に支持さ
れ、駆動内アーム30と従動内アーム32とを平行に保
っている。図3に示すように、駆動側連結軸31には駆
動プーリ38が固着され、従動側連結軸34には従動プ
ーリ39が固着され、駆動プーリ38と従動プーリ39
は同一外径で、両者間にはベルト40が襷掛けに掛け渡
され、リバース機構41が構成されている。
【0023】ベルト40は例えばステンレス製で、駆動
プーリ38と従動プーリ39の外周面に巻き付け、その
端部をねじ40xによって駆動プーリ38及び従動プー
リ39に固定されている。そして、駆動側連結軸31の
回転力を逆転させて従動側連結軸34に伝動させてお
り、駆動プーリ38が例えば右方向に角度θだけ回転す
ると、従動プーリ39が左方向に同一角度θだけ回転す
るようになっている。
プーリ38と従動プーリ39の外周面に巻き付け、その
端部をねじ40xによって駆動プーリ38及び従動プー
リ39に固定されている。そして、駆動側連結軸31の
回転力を逆転させて従動側連結軸34に伝動させてお
り、駆動プーリ38が例えば右方向に角度θだけ回転す
ると、従動プーリ39が左方向に同一角度θだけ回転す
るようになっている。
【0024】さらに、駆動側連結軸31には両端部に屈
曲部を有し、全体がコ字状に形成された駆動外アーム4
2の一端部が固定されている。駆動外アーム42の他端
部は半導体ウェーハWを保持する薄板状の保持部材43
に軸受44を介して回転自在に連結されている。また、
駆動外アーム42の隣側にはこれと同一形状の従動外ア
ーム45が相対向するように駆動外アーム42に対して
平行に配置されている。この従動外アーム45の一端部
は従動側連結軸34に固定され、他端部は軸受46を介
して保持部材43に回転自在に連結されている。
曲部を有し、全体がコ字状に形成された駆動外アーム4
2の一端部が固定されている。駆動外アーム42の他端
部は半導体ウェーハWを保持する薄板状の保持部材43
に軸受44を介して回転自在に連結されている。また、
駆動外アーム42の隣側にはこれと同一形状の従動外ア
ーム45が相対向するように駆動外アーム42に対して
平行に配置されている。この従動外アーム45の一端部
は従動側連結軸34に固定され、他端部は軸受46を介
して保持部材43に回転自在に連結されている。
【0025】したがって、半導体ウェーハWを保持する
保持部材43は駆動外アーム42及び従動外アーム45
の先端部にあり、リバース機構41から最も離れた位置
にあり、たとえリバース機構41からパーティクルが発
生したとしても、半導体ウェーハWに付着しないように
なっている。
保持部材43は駆動外アーム42及び従動外アーム45
の先端部にあり、リバース機構41から最も離れた位置
にあり、たとえリバース機構41からパーティクルが発
生したとしても、半導体ウェーハWに付着しないように
なっている。
【0026】次に、第1の実施形態の作用について説明
すると、図1(a)は第1及び第2の平行リンク機構2
8、29が収縮した状態にあり、半導体ウェーハWを保
持する保持部材43,43aは同一の方向に向いてい
る。この状態で、旋回用モータ23が駆動すると、旋回
駆動軸24が回転し、旋回板25が一体に回転するた
め、第1及び第2の平行リンク機構28,29は一体的
に旋回するため、保持部材43,43aの向きを360
゜任意の位置に向けることができる。
すると、図1(a)は第1及び第2の平行リンク機構2
8、29が収縮した状態にあり、半導体ウェーハWを保
持する保持部材43,43aは同一の方向に向いてい
る。この状態で、旋回用モータ23が駆動すると、旋回
駆動軸24が回転し、旋回板25が一体に回転するた
め、第1及び第2の平行リンク機構28,29は一体的
に旋回するため、保持部材43,43aの向きを360
゜任意の位置に向けることができる。
【0027】次に、第1の回転駆動モータ26が駆動す
ると、第1の回転駆動軸26aが回転する。第1の回転
駆動軸26aが右方向に回転したとすると、駆動内アー
ム30が同方向に回動する。このとき、保持板37に連
結されている従動内アーム32は平行状態を維持した追
従して同方向に回動する。
ると、第1の回転駆動軸26aが回転する。第1の回転
駆動軸26aが右方向に回転したとすると、駆動内アー
ム30が同方向に回動する。このとき、保持板37に連
結されている従動内アーム32は平行状態を維持した追
従して同方向に回動する。
【0028】駆動内アーム30の右方向の回転によっ
て、駆動内アーム30の他端部に設けられた駆動側連結
軸31及び駆動プーリ38が右方向に回転する。駆動プ
ーリ38の回転力はベルト40を介して従動プーリ39
に伝えられることにより、従動プーリ39及び従動側連
結軸34が左回転する。
て、駆動内アーム30の他端部に設けられた駆動側連結
軸31及び駆動プーリ38が右方向に回転する。駆動プ
ーリ38の回転力はベルト40を介して従動プーリ39
に伝えられることにより、従動プーリ39及び従動側連
結軸34が左回転する。
【0029】これによって駆動側連結軸31に固着され
ている駆動外アーム42が左方向に回動し、従動外アー
ム45が平行状態を維持したまま左方向に回動する。こ
の結果、駆動外アーム42及び従動外アーム45に保持
された保持部材43は図1(c)に示すように、第1の
平行リンク機構28の伸長とともに矢印A方向に直進
し、半導体ウェーハWを搬送することができる。このと
き、第2のリンク機構29の駆動源としての第2の回転
駆動モータ27は停止しているので収縮状態を維持して
おり、第1のリンク機構28の伸長動作に左右されるこ
とはない。
ている駆動外アーム42が左方向に回動し、従動外アー
ム45が平行状態を維持したまま左方向に回動する。こ
の結果、駆動外アーム42及び従動外アーム45に保持
された保持部材43は図1(c)に示すように、第1の
平行リンク機構28の伸長とともに矢印A方向に直進
し、半導体ウェーハWを搬送することができる。このと
き、第2のリンク機構29の駆動源としての第2の回転
駆動モータ27は停止しているので収縮状態を維持して
おり、第1のリンク機構28の伸長動作に左右されるこ
とはない。
【0030】また、第1の回転駆動モータ26を駆動し
て第1の回転駆動軸26aを左方向に回転させると、駆
動内アーム30、従動内アーム32及び駆動外アーム4
2、従動外アーム45が前述と全く逆方向に回動して保
持部材43が矢印A方向と逆方向に後退して図1(a)
に示すように第1のリンク機構28が収縮する。
て第1の回転駆動軸26aを左方向に回転させると、駆
動内アーム30、従動内アーム32及び駆動外アーム4
2、従動外アーム45が前述と全く逆方向に回動して保
持部材43が矢印A方向と逆方向に後退して図1(a)
に示すように第1のリンク機構28が収縮する。
【0031】なお、第1のリンク機構28について説明
したが、第2のリンク機構29も全く同様の動作であ
り、説明を省略する。
したが、第2のリンク機構29も全く同様の動作であ
り、説明を省略する。
【0032】前記第1の実施形態によれば、第1及び第
2のリンク機構28,29を用いて保持部材43を移動
することにより、バックラッシュを低減でき、高搬送精
度が可能となる。また、スループットの向上と熱プロセ
スへのアクセス時にリバース機構41が熱的影響を受け
ることがない。さらに、リバース機構41が保持部材4
3と離れた位置にあり、リバース機構41の駆動時にこ
の部分からパーティクルが発生したも保持部材43に保
持された半導体ウェーハWに付着することはなく、半導
体ウェーハWの歩留まり向上を図ることができる。
2のリンク機構28,29を用いて保持部材43を移動
することにより、バックラッシュを低減でき、高搬送精
度が可能となる。また、スループットの向上と熱プロセ
スへのアクセス時にリバース機構41が熱的影響を受け
ることがない。さらに、リバース機構41が保持部材4
3と離れた位置にあり、リバース機構41の駆動時にこ
の部分からパーティクルが発生したも保持部材43に保
持された半導体ウェーハWに付着することはなく、半導
体ウェーハWの歩留まり向上を図ることができる。
【0033】図4〜図6は第2の実施形態の双方向型平
行リンク式ツインアームを示し、図4はリンクを収縮し
た状態の平面図及び側面図、図5はリンクを伸長した状
態の平面図及び側面図、図6は駆動機構の概略的構成図
であり、リバース機構41は第1の実施形態と同一構造
であるため説明を省略する。
行リンク式ツインアームを示し、図4はリンクを収縮し
た状態の平面図及び側面図、図5はリンクを伸長した状
態の平面図及び側面図、図6は駆動機構の概略的構成図
であり、リバース機構41は第1の実施形態と同一構造
であるため説明を省略する。
【0034】まず、図6に示す、駆動機構51について
説明すると、基台52の内部にはACサーボモータ等の
旋回用モータ53が旋回駆動軸54を上向きにして固定
されており、この旋回駆動軸54には円板状の旋回板5
5が固定されている。旋回板55上の旋回駆動軸54と
同軸的にACサーボモータ等の第1の回転駆動モータ5
6と第2の回転駆動モータ57とが上下2段に搭載され
ている。
説明すると、基台52の内部にはACサーボモータ等の
旋回用モータ53が旋回駆動軸54を上向きにして固定
されており、この旋回駆動軸54には円板状の旋回板5
5が固定されている。旋回板55上の旋回駆動軸54と
同軸的にACサーボモータ等の第1の回転駆動モータ5
6と第2の回転駆動モータ57とが上下2段に搭載され
ている。
【0035】第1の回転駆動軸56aには第1の平行リ
ンク機構58が設けられ、第2の回転駆動軸57aには
第2の平行リンク機構59が設けられ、これらは旋回板
55と一体に旋回するようになっている。
ンク機構58が設けられ、第2の回転駆動軸57aには
第2の平行リンク機構59が設けられ、これらは旋回板
55と一体に旋回するようになっている。
【0036】前記第1と第2の平行リンク機構58,5
9は同一構造であるため、第1の平行リンク機構58に
ついて説明し、第2の平行リンク機構59の同一構成部
分には同一番号の後に「a」を付す。第1の回転駆動軸
56には両端部に屈曲部を有し、全体がコ字状に形成さ
れた駆動内アーム60の一端部が固定され、他端部には
駆動側連結軸61が設けられている。また、駆動内アー
ム60の隣側にはこれと同一形状の従動内アーム62が
相対向するように駆動内アーム60に対して平行に配置
されている。この従動内アーム62の一端部は旋回板5
5に対して回転軸63を介して回転自在に支持され、他
端部には従動側連結軸64が設けられている。
9は同一構造であるため、第1の平行リンク機構58に
ついて説明し、第2の平行リンク機構59の同一構成部
分には同一番号の後に「a」を付す。第1の回転駆動軸
56には両端部に屈曲部を有し、全体がコ字状に形成さ
れた駆動内アーム60の一端部が固定され、他端部には
駆動側連結軸61が設けられている。また、駆動内アー
ム60の隣側にはこれと同一形状の従動内アーム62が
相対向するように駆動内アーム60に対して平行に配置
されている。この従動内アーム62の一端部は旋回板5
5に対して回転軸63を介して回転自在に支持され、他
端部には従動側連結軸64が設けられている。
【0037】駆動側連結軸61と従動側連結軸64は軸
受65,66を介して1枚の保持板67に回転自在に支
持され、駆動内アーム60と従動内アーム62とを平行
に保っている。さらに、駆動側連結軸61には両端部に
屈曲部を有し、全体がコ字状に形成された駆動外アーム
72の一端部が固定されている。駆動外アーム72の他
端部は半導体ウェーハWを保持する保持部材73に軸受
74を介して回転自在に連結されている。また、駆動外
アーム72の隣側にはこれと同一形状の従動外アーム7
5が相対向するように駆動外アーム72に対して平行に
配置されている。この従動外アーム75の一端部は従動
側連結軸64に固定され、他端部は軸受76を介して保
持部材73に回転自在に連結されている。
受65,66を介して1枚の保持板67に回転自在に支
持され、駆動内アーム60と従動内アーム62とを平行
に保っている。さらに、駆動側連結軸61には両端部に
屈曲部を有し、全体がコ字状に形成された駆動外アーム
72の一端部が固定されている。駆動外アーム72の他
端部は半導体ウェーハWを保持する保持部材73に軸受
74を介して回転自在に連結されている。また、駆動外
アーム72の隣側にはこれと同一形状の従動外アーム7
5が相対向するように駆動外アーム72に対して平行に
配置されている。この従動外アーム75の一端部は従動
側連結軸64に固定され、他端部は軸受76を介して保
持部材73に回転自在に連結されている。
【0038】したがって、半導体ウェーハWを保持する
保持部材73は駆動外アーム72及び従動外アーム75
の先端部にあり、リバース機構41から最も離れた位置
にあり、たとえリバース機構41からパーティクルが発
生したも、半導体ウェーハWに付着しないようになって
いる。
保持部材73は駆動外アーム72及び従動外アーム75
の先端部にあり、リバース機構41から最も離れた位置
にあり、たとえリバース機構41からパーティクルが発
生したも、半導体ウェーハWに付着しないようになって
いる。
【0039】次に、第2の実施形態の作用について説明
すると、図4は第1及び第2の平行リンク機構58、5
9が収縮した状態にあり、半導体ウェーハWを保持する
保持部材73,73aは相反する方向に向いている。こ
の状態で、旋回用モータ53が駆動すると、旋回駆動軸
54が回転し、旋回板55が一体に回転するため、第1
及び第2の平行リンク機構58,59は一体的に旋回す
るため、保持部材73,73aの向きを360゜任意の
位置に向けることができる。
すると、図4は第1及び第2の平行リンク機構58、5
9が収縮した状態にあり、半導体ウェーハWを保持する
保持部材73,73aは相反する方向に向いている。こ
の状態で、旋回用モータ53が駆動すると、旋回駆動軸
54が回転し、旋回板55が一体に回転するため、第1
及び第2の平行リンク機構58,59は一体的に旋回す
るため、保持部材73,73aの向きを360゜任意の
位置に向けることができる。
【0040】次に、第1の回転駆動軸56が右方向に回
転したとすると、駆動内アーム60が同方向に回動す
る。このとき、保持板67に連結されている従動内アー
ム62は平行状態を維持した追従して同方向に回動す
る。
転したとすると、駆動内アーム60が同方向に回動す
る。このとき、保持板67に連結されている従動内アー
ム62は平行状態を維持した追従して同方向に回動す
る。
【0041】駆動内アーム60の右方向の回転によっ
て、駆動内アーム60の他端部に設けられた駆動側連結
軸31及び駆動プーリ68が右方向に回転する。駆動プ
ーリ68の回転力はリバース機構41を介して従動側連
結軸64が左回転する。
て、駆動内アーム60の他端部に設けられた駆動側連結
軸31及び駆動プーリ68が右方向に回転する。駆動プ
ーリ68の回転力はリバース機構41を介して従動側連
結軸64が左回転する。
【0042】これによって駆動側連結軸61に固着され
ている駆動外アーム72が左方向に回動し、従動外アー
ム75が平行状態を維持したまま左方向に回動する。こ
の結果、駆動外アーム72及び従動外アーム75に保持
された保持部材73は図5に示すように、第1の平行リ
ンク機構58の伸長とともに矢印A方向に直進し、半導
体ウェーハWを搬送することができる。このとき、第2
のリンク機構59の駆動源としての第2の回転駆動モー
タ27は停止しているので収縮状態を維持しており、第
1のリンク機構58の伸長動作に左右されることはな
い。
ている駆動外アーム72が左方向に回動し、従動外アー
ム75が平行状態を維持したまま左方向に回動する。こ
の結果、駆動外アーム72及び従動外アーム75に保持
された保持部材73は図5に示すように、第1の平行リ
ンク機構58の伸長とともに矢印A方向に直進し、半導
体ウェーハWを搬送することができる。このとき、第2
のリンク機構59の駆動源としての第2の回転駆動モー
タ27は停止しているので収縮状態を維持しており、第
1のリンク機構58の伸長動作に左右されることはな
い。
【0043】また、第1の回転駆動軸56を左方向に回
転させると、駆動内アーム60、従動内アーム62及び
駆動外アーム72、従動外アーム75が前述と全く逆方
向に回動して保持部材73が矢印A方向と逆方向に後退
して図4に示すように第1のリンク機構58が収縮す
る。したがって、第2の実施形態によれば、第1の実施
形態と同様に効果が得られる。
転させると、駆動内アーム60、従動内アーム62及び
駆動外アーム72、従動外アーム75が前述と全く逆方
向に回動して保持部材73が矢印A方向と逆方向に後退
して図4に示すように第1のリンク機構58が収縮す
る。したがって、第2の実施形態によれば、第1の実施
形態と同様に効果が得られる。
【0044】なお、前記実施形態においては、駆動機構
51の第1の回転駆動軸56に駆動内アーム60及び駆
動外アーム72を連結して駆動側とし、従動内アーム6
2及び従動外アーム75を従動側にしたが、従動内アー
ム62及び従動外アーム75を駆動側としてもよい。こ
の場合には、図7に示す駆動機構20を用いる。この駆
動機構20は、旋回板8を旋回する旋回駆動モータ18
と、2対のアームを駆動する伸縮駆動モータ19a,1
9bの3台のモータが内蔵されている。
51の第1の回転駆動軸56に駆動内アーム60及び駆
動外アーム72を連結して駆動側とし、従動内アーム6
2及び従動外アーム75を従動側にしたが、従動内アー
ム62及び従動外アーム75を駆動側としてもよい。こ
の場合には、図7に示す駆動機構20を用いる。この駆
動機構20は、旋回板8を旋回する旋回駆動モータ18
と、2対のアームを駆動する伸縮駆動モータ19a,1
9bの3台のモータが内蔵されている。
【0045】なお、第1のリンク機構58について説明
したが、第2のリンク機構59も全く同様の動作であ
り、説明を省略する。
したが、第2のリンク機構59も全く同様の動作であ
り、説明を省略する。
【0046】また、前記実施形態においては、マルチチ
ャンバ処理システム等に配設され、物品としての半導体
ウェーハを搬送する搬送装置について説明したが、この
発明は、狭い空間、特に清浄度を必要とする空間で物品
を搬送する搬送装置に適用できる。
ャンバ処理システム等に配設され、物品としての半導体
ウェーハを搬送する搬送装置について説明したが、この
発明は、狭い空間、特に清浄度を必要とする空間で物品
を搬送する搬送装置に適用できる。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、リンクを用いて物品を保持する保持部材を移動する
ことにより、バックラッシュを低減でき、高搬送精度が
可能となる。また、スループットの向上と熱プロセスへ
のアクセス時にリバース機構が熱的影響を受けることが
ない。
ば、リンクを用いて物品を保持する保持部材を移動する
ことにより、バックラッシュを低減でき、高搬送精度が
可能となる。また、スループットの向上と熱プロセスへ
のアクセス時にリバース機構が熱的影響を受けることが
ない。
【0048】さらに、リバース機構が保持部材と離れた
位置にあり、リバース機構の駆動時にこの部分からパー
ティクルが発生したも保持部材に保持された物品に付着
することはなく、パーティクルの影響を受けることな
く、物品を搬送できるという効果がある。
位置にあり、リバース機構の駆動時にこの部分からパー
ティクルが発生したも保持部材に保持された物品に付着
することはなく、パーティクルの影響を受けることな
く、物品を搬送できるという効果がある。
【図1】この発明の第1の実施形態を示す同方向型平行
リンク式ツインアームを示し、(a)はリンクを収縮し
た状態の平面図、(b)は同側面図、(c)はリンクを
伸長した状態の平面図。
リンク式ツインアームを示し、(a)はリンクを収縮し
た状態の平面図、(b)は同側面図、(c)はリンクを
伸長した状態の平面図。
【図2】同実施形態の駆動機構の概略的構成図。
【図3】同実施形態のリバース機構の平面図。
【図4】この発明の第2の実施形態を示す双方向型平行
リンク式ツインアームのリンクを収縮した状態の平面図
及び側面図。
リンク式ツインアームのリンクを収縮した状態の平面図
及び側面図。
【図5】同実施形態のリンクを伸長した状態の平面図及
び側面図。
び側面図。
【図6】同実施形態の駆動機構の概略的構成図。
【図7】駆動機構の変形例を示す縦断側面図。
【図8】従来のスカラ型ツインピックタイプの搬送アー
ムを示すアーム収縮時とアーム伸長時の平面図。
ムを示すアーム収縮時とアーム伸長時の平面図。
【図9】従来のスカラ型ディアルアームタイプの搬送ア
ームを示すアーム収縮時とアーム伸長時の平面図。
ームを示すアーム収縮時とアーム伸長時の平面図。
【図10】従来のフロッグレッグタイプの搬送アームを
示すアーム収縮時とアーム伸長時の平面図。
示すアーム収縮時とアーム伸長時の平面図。
24…旋回駆動軸 26a,27a…回転駆動軸 28,29…平行リンク機構 30…駆動内アーム 31…駆動側連結軸 32…従動内アーム 34…従動側連結軸 41…リバース機構 42…駆動外アーム 43…保持部材 45…従動外アーム
Claims (2)
- 【請求項1】 物品を搬送する搬送装置において、旋回
駆動軸と、この旋回駆動軸と一体的に旋回運動する同一
構造の第1と第2の平行リンク機構とからなり、 前記第1と第2の平行リンク機構は、回転駆動軸と、こ
の回転駆動軸に一端部が固定され、他端部に駆動側連結
軸が設けられた駆動内アームと、この駆動内アームに対
して平行に配置され、一端部が回転自在に支持され、他
端部に従動側連結軸が設けられた従動内アームと、前記
駆動側連結軸に固定された駆動プーリと、前記従動側連
結軸に設けられた従動プーリと、前記駆動プーリと従動
プーリとの間に掛け渡された伝動部材からなるリバース
機構と、前記駆動側連結軸に一端部が固定され、他端部
に物品を保持する保持部材を有した駆動外アームと、こ
の駆動外アームと平行に配置され、一端部が前記従動側
連結軸に固定され、他端部が前記保持部材に連結された
従動外アームとを具備したことを特徴とする搬送装置。 - 【請求項2】 前記第1と第2の平行リンク機構は、同
方向または相反する方向に進退する保持部材を有し、独
立して駆動することを特徴とする請求項1記載の搬送装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32677498A JP2000150614A (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32677498A JP2000150614A (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000150614A true JP2000150614A (ja) | 2000-05-30 |
Family
ID=18191556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32677498A Pending JP2000150614A (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000150614A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008059815A1 (fr) * | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Ulvac, Inc. | Dispositif d'introduction de rotation, dispositif de transfert de substrat, appareil de traitement à vide |
KR100876950B1 (ko) | 2007-05-10 | 2009-01-09 | 주식회사 싸이맥스 | 4중 로봇 아암 조립체 |
WO2012026293A1 (ja) * | 2010-08-24 | 2012-03-01 | 株式会社アルバック | 搬送装置 |
CN105579201A (zh) * | 2014-09-03 | 2016-05-11 | 株式会社爱发科 | 运送装置以及真空装置 |
-
1998
- 1998-11-17 JP JP32677498A patent/JP2000150614A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008059815A1 (fr) * | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Ulvac, Inc. | Dispositif d'introduction de rotation, dispositif de transfert de substrat, appareil de traitement à vide |
KR101160242B1 (ko) | 2006-11-14 | 2012-06-26 | 가부시키가이샤 알박 | 회전 도입 기구, 기판 반송 장치 및 진공 처리 장치 |
US8366375B2 (en) | 2006-11-14 | 2013-02-05 | Ulvac, Inc. | Rotation introduction mechanism, substrate transfer apparatus, and vacuum processing apparatus |
JP5210878B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2013-06-12 | 株式会社アルバック | 回転導入機構、基板搬送装置、及び真空処理装置 |
KR100876950B1 (ko) | 2007-05-10 | 2009-01-09 | 주식회사 싸이맥스 | 4중 로봇 아암 조립체 |
WO2012026293A1 (ja) * | 2010-08-24 | 2012-03-01 | 株式会社アルバック | 搬送装置 |
CN103053017A (zh) * | 2010-08-24 | 2013-04-17 | 株式会社爱发科 | 输送装置 |
JP5286451B2 (ja) * | 2010-08-24 | 2013-09-11 | 株式会社アルバック | 搬送装置 |
CN105579201A (zh) * | 2014-09-03 | 2016-05-11 | 株式会社爱发科 | 运送装置以及真空装置 |
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