JP2000140739A - 枚葉塗工装置、及び該装置を用いた塗工方法とカラーフィルタの製造方法 - Google Patents
枚葉塗工装置、及び該装置を用いた塗工方法とカラーフィルタの製造方法Info
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- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ダイコータによる塗膜の塗工において、均一
な膜厚で有効領域の広い塗膜を歩留良く形成する。 【解決手段】 口金を構成するリアリップ１２及びフロ
ントリップ１１本体に、チタン製のリアリッププレート
１８及びフロントリッププレート１７を接合し、口金先
端部の被塗工材に対向するリアリップ面及びフロントリ
ップ面を平均粗さＲz が０．０６〜１．０μｍとなるよ
うに研磨加工する。
な膜厚で有効領域の広い塗膜を歩留良く形成する。 【解決手段】 口金を構成するリアリップ１２及びフロ
ントリップ１１本体に、チタン製のリアリッププレート
１８及びフロントリッププレート１７を接合し、口金先
端部の被塗工材に対向するリアリップ面及びフロントリ
ップ面を平均粗さＲz が０．０６〜１．０μｍとなるよ
うに研磨加工する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
分野におけるレジスト塗工や、光学フィルタ製造分野に
おける紫外線吸収層塗工等の精密塗工において、液体上
の塗料を枚葉方式で供給される被塗工材の表面にダイコ
ータを用いて枚葉塗工を行なうための枚葉塗工装置及び
該装置を用いた塗工方法に関し、さらには、該塗工方法
を用いたカラーフィルタの製造方法に関する。
分野におけるレジスト塗工や、光学フィルタ製造分野に
おける紫外線吸収層塗工等の精密塗工において、液体上
の塗料を枚葉方式で供給される被塗工材の表面にダイコ
ータを用いて枚葉塗工を行なうための枚葉塗工装置及び
該装置を用いた塗工方法に関し、さらには、該塗工方法
を用いたカラーフィルタの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、光学フィルタ用のプラスチッ
ク基板や、液晶ディスプレイ用のガラス基板、カラーフ
ィルタ用のガラス基板などのように、塗工方向の長さが
１ｍにも満たないような小さな基板に様々な塗料を薄
く、しかも均一に塗布することが強く要請されている。
工業的にこのような基板に塗膜を形成するためには、被
塗工材を１枚ずつコータに供給し、塗料を塗布し、乾燥
などの次工程に搬送する枚葉塗工方式を採用することに
なる。
ク基板や、液晶ディスプレイ用のガラス基板、カラーフ
ィルタ用のガラス基板などのように、塗工方向の長さが
１ｍにも満たないような小さな基板に様々な塗料を薄
く、しかも均一に塗布することが強く要請されている。
工業的にこのような基板に塗膜を形成するためには、被
塗工材を１枚ずつコータに供給し、塗料を塗布し、乾燥
などの次工程に搬送する枚葉塗工方式を採用することに
なる。
【０００３】また、被塗工材に塗膜を形成するに当っ
て、スピンコータ、バーコータ、ロールコータが広く用
いられている。
て、スピンコータ、バーコータ、ロールコータが広く用
いられている。
【０００４】このうち、スピンコータを用いる方法は、
半導体ウエハのフォトレジスト塗布に広く用いられてい
る方法であり、回転する被塗工材の表面中央に塗料を滴
下することによって塗膜を形成することができる。そし
て、この方法により得られる塗膜は塗料の種類をこの方
法に適したものに設定することにより、被塗工材の全範
囲にわたって膜厚をかなり精度良く均一化できる。しか
しながら、所定の膜厚の塗膜を得るための塗料の使用量
が著しく多く、不経済である。また、被塗工材のエッジ
部や裏面に塗料が付着したり、装置内に飛散した塗料が
ゲル化或いは固形化することがあり、工程の安定性、清
浄性に欠けるので、塗工製品の品質低下の原因になって
しまう。
半導体ウエハのフォトレジスト塗布に広く用いられてい
る方法であり、回転する被塗工材の表面中央に塗料を滴
下することによって塗膜を形成することができる。そし
て、この方法により得られる塗膜は塗料の種類をこの方
法に適したものに設定することにより、被塗工材の全範
囲にわたって膜厚をかなり精度良く均一化できる。しか
しながら、所定の膜厚の塗膜を得るための塗料の使用量
が著しく多く、不経済である。また、被塗工材のエッジ
部や裏面に塗料が付着したり、装置内に飛散した塗料が
ゲル化或いは固形化することがあり、工程の安定性、清
浄性に欠けるので、塗工製品の品質低下の原因になって
しまう。
【０００５】ロールコータを用いる方法は、ローラを介
して塗料を被塗工材に転写する方法であり、長尺の被塗
工材、ロール状に巻き取られた被塗工材への塗工を行な
うことができる。しかし、塗料がパンからアプリケーシ
ョンロール、被塗工材へ順次送られている関係上、塗料
が空気に曝される時間が長く、ひいては、塗料の吸湿、
酸化による変質が起こり易いのみならず、異物の混入も
発生し易い。その結果、塗工製品の品質低下を招いてし
まう。
して塗料を被塗工材に転写する方法であり、長尺の被塗
工材、ロール状に巻き取られた被塗工材への塗工を行な
うことができる。しかし、塗料がパンからアプリケーシ
ョンロール、被塗工材へ順次送られている関係上、塗料
が空気に曝される時間が長く、ひいては、塗料の吸湿、
酸化による変質が起こり易いのみならず、異物の混入も
発生し易い。その結果、塗工製品の品質低下を招いてし
まう。
【０００６】バーコータを用いる方法は、ロッドに細い
ワイヤを巻いたバーを用いて被塗工材に塗料を塗布する
方法である。この方法ではロッドに巻かれたワイヤが被
塗工材に接するため塗膜にスジが入り易いという不都合
がある。
ワイヤを巻いたバーを用いて被塗工材に塗料を塗布する
方法である。この方法ではロッドに巻かれたワイヤが被
塗工材に接するため塗膜にスジが入り易いという不都合
がある。
【０００７】このような不都合を考慮して、近年に到っ
て、ダイコータを用いることが提案されている。そし
て、ダイコータをカラーフィルタの製造に応用する提案
が特開平５−１１１０５号公報、特開平５−１４２４０
７号公報、特開平６−３３９６５６号公報においてなさ
れている。
て、ダイコータを用いることが提案されている。そし
て、ダイコータをカラーフィルタの製造に応用する提案
が特開平５−１１１０５号公報、特開平５−１４２４０
７号公報、特開平６−３３９６５６号公報においてなさ
れている。
【０００８】ダイコータは、従来から厚膜塗工や、高粘
度塗料を連続塗布する用途に広く採用されており、ダイ
コータを用いて被塗工材塗膜を形成する場合には米国特
許第４，２３０，７９３号、米国特許第４，６９６，８
８５号、米国特許第２，７６１，７９１号に見られるよ
うにカーテンフロー法、押出法、ビード法などの塗工方
法が知られる。中でも上記ビード法は、ダイコータの口
金に設けられたスリットから塗料を吐出して、口金と一
定の間隔を保って相対的に走行する被塗工材との間に塗
料ビードと呼ばれる塗料溜りを形成し、この状態で被塗
工材の走行に伴って塗料を引き出して塗膜を形成する。
そして、塗膜形成により消費される量と同量の塗料をス
リットから供給することにより塗膜を連続的に形成する
ビード法を採用すれば、形成された塗膜は膜厚の均一性
をかなり高精度に達成できる。また、塗料の無駄がほと
んどなく、また、スリットから吐出されるまで塗料送液
経路が密閉されているのであるから、塗料の変質、異物
の混入を防止でき、得られる塗膜の品質を高く維持でき
る。
度塗料を連続塗布する用途に広く採用されており、ダイ
コータを用いて被塗工材塗膜を形成する場合には米国特
許第４，２３０，７９３号、米国特許第４，６９６，８
８５号、米国特許第２，７６１，７９１号に見られるよ
うにカーテンフロー法、押出法、ビード法などの塗工方
法が知られる。中でも上記ビード法は、ダイコータの口
金に設けられたスリットから塗料を吐出して、口金と一
定の間隔を保って相対的に走行する被塗工材との間に塗
料ビードと呼ばれる塗料溜りを形成し、この状態で被塗
工材の走行に伴って塗料を引き出して塗膜を形成する。
そして、塗膜形成により消費される量と同量の塗料をス
リットから供給することにより塗膜を連続的に形成する
ビード法を採用すれば、形成された塗膜は膜厚の均一性
をかなり高精度に達成できる。また、塗料の無駄がほと
んどなく、また、スリットから吐出されるまで塗料送液
経路が密閉されているのであるから、塗料の変質、異物
の混入を防止でき、得られる塗膜の品質を高く維持でき
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、液晶デ
ィスプレイ用のカラーフィルタの製造において着色層の
塗布においては膜厚のムラは色のムラとして直接品質に
影響し、またオーバーコート層の塗布においては膜厚の
ムラは液晶層のギャップに影響する。このため、高い膜
厚均一性の薄膜の塗布が要求される。
ィスプレイ用のカラーフィルタの製造において着色層の
塗布においては膜厚のムラは色のムラとして直接品質に
影響し、またオーバーコート層の塗布においては膜厚の
ムラは液晶層のギャップに影響する。このため、高い膜
厚均一性の薄膜の塗布が要求される。
【００１０】ダイコータによる塗膜の膜厚ムラは、原理
上、塗工方法（被塗工材の相対移動方向）のムラと塗工
幅方向のムラに分けることができ、それぞれの現象に応
じた対策が必要となる。塗工方向のムラの主たる原因は
塗工中における被塗工材を保持するステージまたは塗料
吐出装置の水平移動速度の変動、塗料供給装置からの薬
液の吐出レートの変動などが挙げられる。
上、塗工方法（被塗工材の相対移動方向）のムラと塗工
幅方向のムラに分けることができ、それぞれの現象に応
じた対策が必要となる。塗工方向のムラの主たる原因は
塗工中における被塗工材を保持するステージまたは塗料
吐出装置の水平移動速度の変動、塗料供給装置からの薬
液の吐出レートの変動などが挙げられる。
【００１１】一方、塗布幅方向のムラに関しての原因
は、塗料供給装置のスリット内において塗料の圧力が塗
工幅方向に均一でないことなども挙げられるが、塗料供
給装置先端部、つまりフロントリップ面及びリアリップ
面と塗料、さらに被塗工材表面と塗料の界面物性や塗料
自身の凝集性などにより塗料ビードの部分的な容積が塗
工幅方向においてばらつくことが主な原因となってい
る。
は、塗料供給装置のスリット内において塗料の圧力が塗
工幅方向に均一でないことなども挙げられるが、塗料供
給装置先端部、つまりフロントリップ面及びリアリップ
面と塗料、さらに被塗工材表面と塗料の界面物性や塗料
自身の凝集性などにより塗料ビードの部分的な容積が塗
工幅方向においてばらつくことが主な原因となってい
る。
【００１２】塗料の表面エネルギーを上げたり、口金先
端部のフロントリップ幅やリアリップ幅（図３のｔ2 、
ｔ3 ）を塗料の凝集性や表面エネルギーに対して最適な
幅に設計することにより、塗工幅方向における塗料ビー
ドの部分的な容積のばらつきを抑制することが可能であ
る。
端部のフロントリップ幅やリアリップ幅（図３のｔ2 、
ｔ3 ）を塗料の凝集性や表面エネルギーに対して最適な
幅に設計することにより、塗工幅方向における塗料ビー
ドの部分的な容積のばらつきを抑制することが可能であ
る。
【００１３】しかしながら、ダイコータによる塗工にお
いては、塗工開始部付近と塗布終了部付近において塗料
が盛り上がるが、塗工直後から乾燥までの間に塗料の自
己レベリング作用により被塗工材中央部に向かって塗料
が戻り、塗料の戻った領域は塗膜の平均膜厚に対して厚
い塗膜が形成される。表面エネルギーを下げた場合、こ
の塗料の自己レベリング作用が大きくなる傾向にあり、
結果として塗膜の著しく厚い部分が拡大し、被塗工材の
有効領域が狭くなり、塗工品の品質を低下させ製造コス
トの増大を招く。
いては、塗工開始部付近と塗布終了部付近において塗料
が盛り上がるが、塗工直後から乾燥までの間に塗料の自
己レベリング作用により被塗工材中央部に向かって塗料
が戻り、塗料の戻った領域は塗膜の平均膜厚に対して厚
い塗膜が形成される。表面エネルギーを下げた場合、こ
の塗料の自己レベリング作用が大きくなる傾向にあり、
結果として塗膜の著しく厚い部分が拡大し、被塗工材の
有効領域が狭くなり、塗工品の品質を低下させ製造コス
トの増大を招く。
【００１４】塗料ビードを直線状に形成するために塗料
の凝集性や表面エネルギーなどを考慮した場合、フロン
トリップ幅及びリアリップ幅は狭くするのが良い。しか
しフロントリップ幅及びリアリップ幅を狭くした場合、
口金と被塗工材の相対速度によって生じる剪断力により
ビードが破壊され易くなる。よって、口金と被塗工材の
相対速度を速くすることには限界があり、口金と被塗工
材の間のクリアランスの許容範囲も小さくなる。そのた
め、塗工に要する時間の増加と歩留の低下を招くという
問題がある。
の凝集性や表面エネルギーなどを考慮した場合、フロン
トリップ幅及びリアリップ幅は狭くするのが良い。しか
しフロントリップ幅及びリアリップ幅を狭くした場合、
口金と被塗工材の相対速度によって生じる剪断力により
ビードが破壊され易くなる。よって、口金と被塗工材の
相対速度を速くすることには限界があり、口金と被塗工
材の間のクリアランスの許容範囲も小さくなる。そのた
め、塗工に要する時間の増加と歩留の低下を招くという
問題がある。
【００１５】本発明の目的は、上記問題を解決し、ダイ
コータによる塗工において、被塗工材に均一で有効領域
の広い膜厚の塗膜を短時間で且つ歩留良く形成する枚葉
塗工装置を構成し、該装置を用いて効率良く塗膜を形成
する塗工方法及び該塗工方法を利用したカラーフィルタ
の製造方法を提供することにある。
コータによる塗工において、被塗工材に均一で有効領域
の広い膜厚の塗膜を短時間で且つ歩留良く形成する枚葉
塗工装置を構成し、該装置を用いて効率良く塗膜を形成
する塗工方法及び該塗工方法を利用したカラーフィルタ
の製造方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記課題
を解決すべく鋭意検討した結果、塗料吐出装置の口金先
端部の被塗工材表面に平行なフロントリップ面及びリア
リップ面の表面粗さに注目し、該表面粗さが小さい程塗
膜の塗工幅方向の膜厚分布が均一になり、塗膜全体の膜
厚ばらつきを小さく抑えることに有効であることを突き
止めた。
を解決すべく鋭意検討した結果、塗料吐出装置の口金先
端部の被塗工材表面に平行なフロントリップ面及びリア
リップ面の表面粗さに注目し、該表面粗さが小さい程塗
膜の塗工幅方向の膜厚分布が均一になり、塗膜全体の膜
厚ばらつきを小さく抑えることに有効であることを突き
止めた。
【００１７】これは、表面粗さを下げることで、フロン
トリップ面及びリアリップ面の表面エネルギーが下が
り、フロントリップ面及びリアリップ面と塗料との界面
間力が増大し、密着性が増す結果、フロントリップ面及
びリアリップ面の形状を正確になぞるように直線状の塗
料ビードが形成されるのである。
トリップ面及びリアリップ面の表面エネルギーが下が
り、フロントリップ面及びリアリップ面と塗料との界面
間力が増大し、密着性が増す結果、フロントリップ面及
びリアリップ面の形状を正確になぞるように直線状の塗
料ビードが形成されるのである。
【００１８】即ち、請求項１の発明は、塗料供給装置
と、該塗料供給装置から供給された塗料を被塗工材に向
けて吐出するスリットを有する塗料吐出装置と、上記被
塗工材を保持するステージと、上記塗料吐出装置とステ
ージの少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させ
る手段とを備えた枚葉塗工装置であって、上記塗料吐出
装置の塗料を吐出する口金がリアリップとフロントリッ
プとをスリットを介して一体化してなり、上記被塗工材
表面に平行なリアリップ面及びフロントリップ面の表面
粗さＲz が０．０６〜１．０μｍの範囲に加工されてい
ることを特徴とする。
と、該塗料供給装置から供給された塗料を被塗工材に向
けて吐出するスリットを有する塗料吐出装置と、上記被
塗工材を保持するステージと、上記塗料吐出装置とステ
ージの少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させ
る手段とを備えた枚葉塗工装置であって、上記塗料吐出
装置の塗料を吐出する口金がリアリップとフロントリッ
プとをスリットを介して一体化してなり、上記被塗工材
表面に平行なリアリップ面及びフロントリップ面の表面
粗さＲz が０．０６〜１．０μｍの範囲に加工されてい
ることを特徴とする。
【００１９】また、請求項２の発明は、上記枚葉塗工装
置において、上記口金が、リアリップとフロントリップ
本体に、該本体とは異なる素材で形成された少なくとも
リアリップ面及びフロントリップ面を含む別部材を接合
してなることを特徴とする。
置において、上記口金が、リアリップとフロントリップ
本体に、該本体とは異なる素材で形成された少なくとも
リアリップ面及びフロントリップ面を含む別部材を接合
してなることを特徴とする。
【００２０】さらに、請求項３の発明は、上記枚葉塗工
装置において、上記口金が、リアリップとフロントリッ
プ本体のリアリップ面及びフロントリップ面に、上記本
体とは異なる素材からなる薄膜を被覆してなることを特
徴とする。
装置において、上記口金が、リアリップとフロントリッ
プ本体のリアリップ面及びフロントリップ面に、上記本
体とは異なる素材からなる薄膜を被覆してなることを特
徴とする。
【００２１】ダイコータの口金は、剛性、加工性、耐蝕
性、耐溶剤性、経済性などの点から多くの場合ＳＵＳ３
１６などのステンレス鋼が材料として選択されるのが一
般的である。しかしながら、ステンレス鋼は表面粗さＲ
z ＝０．４μｍ以下の研磨は一般的に困難である。よっ
て口金の接液部であるフロントリップ面やリアリップ面
の表面粗さもこの制約を受ける。例えば、チタンであれ
ばさらに表面粗さの小さい研磨が容易であるが、口金全
体をチタン材で作製するのは経済的に現実的ではない。
そこで、本発明者等は、少なくとも口金の接液部である
フロントリップ面及びリアリップ面の材料を口金本体の
材料より研磨性の高い材料とすることにより、塗膜の膜
厚分布の均一な塗工が可能であることを知見した。具体
的には、口金のフロントリップ面及びリアリップ面に対
して口金本体とは異なる素材をスパッタ等によって成膜
するか、別部材として作製し接合することによって実施
できる。
性、耐溶剤性、経済性などの点から多くの場合ＳＵＳ３
１６などのステンレス鋼が材料として選択されるのが一
般的である。しかしながら、ステンレス鋼は表面粗さＲ
z ＝０．４μｍ以下の研磨は一般的に困難である。よっ
て口金の接液部であるフロントリップ面やリアリップ面
の表面粗さもこの制約を受ける。例えば、チタンであれ
ばさらに表面粗さの小さい研磨が容易であるが、口金全
体をチタン材で作製するのは経済的に現実的ではない。
そこで、本発明者等は、少なくとも口金の接液部である
フロントリップ面及びリアリップ面の材料を口金本体の
材料より研磨性の高い材料とすることにより、塗膜の膜
厚分布の均一な塗工が可能であることを知見した。具体
的には、口金のフロントリップ面及びリアリップ面に対
して口金本体とは異なる素材をスパッタ等によって成膜
するか、別部材として作製し接合することによって実施
できる。
【００２２】またさらに、請求項４の発明は、上記本発
明の枚葉塗工装置を用い、被塗工材を保持したステージ
と塗料吐出装置の少なくとも一方を他方に対して相対的
に移動させながら、上記被塗工材表面に塗料吐出装置よ
り塗料を吐出させて塗膜を形成することを特徴とする枚
葉塗工方法であり、請求項５の発明は、透明基板上に、
開口部を有する遮光層と、少なくとも該開口部を埋める
着色層と、保護層を有するカラーフィルタの製造方法で
あって、上記遮光層、着色層、保護層、及びこれらの層
の製造工程において用いられるレジストの少なくとも１
層の形成工程において、本発明の枚葉塗工方法を用いる
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
明の枚葉塗工装置を用い、被塗工材を保持したステージ
と塗料吐出装置の少なくとも一方を他方に対して相対的
に移動させながら、上記被塗工材表面に塗料吐出装置よ
り塗料を吐出させて塗膜を形成することを特徴とする枚
葉塗工方法であり、請求項５の発明は、透明基板上に、
開口部を有する遮光層と、少なくとも該開口部を埋める
着色層と、保護層を有するカラーフィルタの製造方法で
あって、上記遮光層、着色層、保護層、及びこれらの層
の製造工程において用いられるレジストの少なくとも１
層の形成工程において、本発明の枚葉塗工方法を用いる
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、図面に本発明の好ましい実
施形態を挙げて本発明を詳細に説明する。
施形態を挙げて本発明を詳細に説明する。
【００２４】図２は、本発明の枚葉塗工装置の一例の全
体の構成を示す概略図である。また、口金周りの拡大図
を図３に示す。尚、図２、図３において塗料供給装置に
ついては口金２７で表わす。また、本発明にかかる塗料
供給装置は図２における塗料タンク２１〜定量ポンプ２
６までの系を意味する。
体の構成を示す概略図である。また、口金周りの拡大図
を図３に示す。尚、図２、図３において塗料供給装置に
ついては口金２７で表わす。また、本発明にかかる塗料
供給装置は図２における塗料タンク２１〜定量ポンプ２
６までの系を意味する。
【００２５】図３に示されるように、フロントリップ１
１及びリアリップ１２からなる口金２７には塗料供給口
（図示しない）、及び塗料が塗料供給口からスリット３
２へと流れる間に塗料の圧力分布を均一とさせるための
マニホールド３３を備えている。塗料は塗料タンク２１
から定量ポンプ２６によって口金２７に供給される。こ
の定量ポンプ２６とは、ギヤポンプ、ダイヤフラムポン
プ、シリンジポンプなどの容積式ポンプを示している。
また、ポンプ以外の塗料供給機構として、塗料タンク２
１を圧力容器に入れ、この圧力容器に対して加圧ポンプ
により加圧空気を供給することによって塗料を塗料タン
クより押し出す形式も可能である。塗料タンク２１から
定量ポンプ２６までの配管２２の経路に必要に応じてフ
ィルタ２５、開閉弁２３が設けられる。
１及びリアリップ１２からなる口金２７には塗料供給口
（図示しない）、及び塗料が塗料供給口からスリット３
２へと流れる間に塗料の圧力分布を均一とさせるための
マニホールド３３を備えている。塗料は塗料タンク２１
から定量ポンプ２６によって口金２７に供給される。こ
の定量ポンプ２６とは、ギヤポンプ、ダイヤフラムポン
プ、シリンジポンプなどの容積式ポンプを示している。
また、ポンプ以外の塗料供給機構として、塗料タンク２
１を圧力容器に入れ、この圧力容器に対して加圧ポンプ
により加圧空気を供給することによって塗料を塗料タン
クより押し出す形式も可能である。塗料タンク２１から
定量ポンプ２６までの配管２２の経路に必要に応じてフ
ィルタ２５、開閉弁２３が設けられる。
【００２６】口金２７はフロントリップ１１またはリア
リップ１２、或いはその両方に穴をあけてマニホールド
３３とし、マニホールド３３に対して塗料供給口を設け
る。フロントリップ１１とリアリップ１２を向かい合わ
せて一定の間隔（スリットギャップｔ4 ）を介して接合
し、スリット３２を形成する。このスリットギャップｔ
4 は好ましくは１０〜２００μｍである。ｔ4 が２００
μｍよりも広いと塗工幅方向に均一な塗料の液圧が得ら
れず、１０μｍより狭いと吐出圧損が大きくなりすぎ、
滑らかな塗工が困難となる。
リップ１２、或いはその両方に穴をあけてマニホールド
３３とし、マニホールド３３に対して塗料供給口を設け
る。フロントリップ１１とリアリップ１２を向かい合わ
せて一定の間隔（スリットギャップｔ4 ）を介して接合
し、スリット３２を形成する。このスリットギャップｔ
4 は好ましくは１０〜２００μｍである。ｔ4 が２００
μｍよりも広いと塗工幅方向に均一な塗料の液圧が得ら
れず、１０μｍより狭いと吐出圧損が大きくなりすぎ、
滑らかな塗工が困難となる。
【００２７】フロントリップ１１及びリアリップ１２の
材料としては、加工性や耐薬品性、長期安定性に優れる
ＳＵＳ３１６やＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４などのステ
ンレス鋼が好ましい。
材料としては、加工性や耐薬品性、長期安定性に優れる
ＳＵＳ３１６やＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４などのステ
ンレス鋼が好ましい。
【００２８】口金２７の先端面であるフロントリップ面
３４とリアリップ面３５の塗工方向の幅をそれぞれフロ
ントリップ幅ｔ3 、リアリップ幅ｔ2 とすると、ｔ2 、
ｔ3はそれぞれ０．０２〜２．０ｍｍの範囲で作製する
のが良い。ｔ2 及びｔ3 が２．０ｍｍより広いと塗工幅
方向に均一な断面の塗料ビード３１が得られず、また、
０．０２ｍｍより狭いとフロントリップ１１及びリアリ
ップ１２の側面に塗料が回り込み易くなり、塗工幅方向
に一様な断面の塗料ビード３１が得られない。また、塗
料ビード３１の欠壊が起こり、塗工欠陥の発生が起こり
易くなってしまい、塗工の安定性に欠けてしまう。
３４とリアリップ面３５の塗工方向の幅をそれぞれフロ
ントリップ幅ｔ3 、リアリップ幅ｔ2 とすると、ｔ2 、
ｔ3はそれぞれ０．０２〜２．０ｍｍの範囲で作製する
のが良い。ｔ2 及びｔ3 が２．０ｍｍより広いと塗工幅
方向に均一な断面の塗料ビード３１が得られず、また、
０．０２ｍｍより狭いとフロントリップ１１及びリアリ
ップ１２の側面に塗料が回り込み易くなり、塗工幅方向
に一様な断面の塗料ビード３１が得られない。また、塗
料ビード３１の欠壊が起こり、塗工欠陥の発生が起こり
易くなってしまい、塗工の安定性に欠けてしまう。
【００２９】図１は、本発明の塗工装置に用いる好まし
い口金の一例であり、フロントリッププレート１７及び
リアリッププレート１８を別途作製してフロントリップ
本体及びリアリップ本体の、スリット表面に接着したも
のである。上記フロントリッププレート１７及びリアリ
ッププレート１８の素材としては、チタン、タンタル、
窒化アルミニウムなどの超硬材料が好ましい。これらの
材料は、表面研磨性に優れ、表面粗さＲz で１．０μｍ
以下の加工が可能である。ここで言う表面研磨性とは研
磨のし易さを示す意味ではなく、表面粗さを低く抑える
研磨が可能な性状を意味している。
い口金の一例であり、フロントリッププレート１７及び
リアリッププレート１８を別途作製してフロントリップ
本体及びリアリップ本体の、スリット表面に接着したも
のである。上記フロントリッププレート１７及びリアリ
ッププレート１８の素材としては、チタン、タンタル、
窒化アルミニウムなどの超硬材料が好ましい。これらの
材料は、表面研磨性に優れ、表面粗さＲz で１．０μｍ
以下の加工が可能である。ここで言う表面研磨性とは研
磨のし易さを示す意味ではなく、表面粗さを低く抑える
研磨が可能な性状を意味している。
【００３０】図１の構成は、フロントリップ１１本体及
びリアリップ１２本体とは異なる素材でスリット表面の
塗料ガイド面３６まで覆ったものであるが、例えば、図
４に示すように、フロントリップ面３４及びリアリップ
面３５のみをフロントリッププレート３７及びリアリッ
ププレート３８で覆う構成でも良い。チタンやタンタル
などといった材料はそれ自信高価な材料であり、加工費
もかさむため、表面粗さを低く抑えることが必要な部
分、即ちフロントリップ面及びリアリップ面をこれらの
材料で構成することにより、塗工装置としての価格を必
要以上に上げることなく均一な塗膜を得られるものとす
るものである。
びリアリップ１２本体とは異なる素材でスリット表面の
塗料ガイド面３６まで覆ったものであるが、例えば、図
４に示すように、フロントリップ面３４及びリアリップ
面３５のみをフロントリッププレート３７及びリアリッ
ププレート３８で覆う構成でも良い。チタンやタンタル
などといった材料はそれ自信高価な材料であり、加工費
もかさむため、表面粗さを低く抑えることが必要な部
分、即ちフロントリップ面及びリアリップ面をこれらの
材料で構成することにより、塗工装置としての価格を必
要以上に上げることなく均一な塗膜を得られるものとす
るものである。
【００３１】また、フロントリップ面３４及びリアリッ
プ面３５を本体と異なる素材で構成する手段としては、
前記したように別部材として加工したフロントリッププ
レート１７、３７及びリアリッププレート１８、３８を
それぞれフロントリップ１１及びリアリップ１２本体に
接着するだけでなく、スパッタ等により、窒化チタン、
窒化タンタル、窒化アルミニウム、ダイヤモンド状炭素
膜、ダイヤモンド薄膜などの材料を成膜しても良い。こ
れらの材料も研磨性に優れ、表面粗さを１．０μｍ以下
に抑えることが可能である。
プ面３５を本体と異なる素材で構成する手段としては、
前記したように別部材として加工したフロントリッププ
レート１７、３７及びリアリッププレート１８、３８を
それぞれフロントリップ１１及びリアリップ１２本体に
接着するだけでなく、スパッタ等により、窒化チタン、
窒化タンタル、窒化アルミニウム、ダイヤモンド状炭素
膜、ダイヤモンド薄膜などの材料を成膜しても良い。こ
れらの材料も研磨性に優れ、表面粗さを１．０μｍ以下
に抑えることが可能である。
【００３２】上記のように、別部材のプレートを本体に
接着するか、或いは別素材を本体に成膜したフロントリ
ップ面３４及びリアリップ面３５を必要に応じて研磨す
ることにより、表面粗さＲz を０．０６〜１．０μｍの
範囲に加工する。尚、本発明において表面粗さＲz は、
例えば日本工業規格ＪＩＳ Ｂ ０６０１−１９８２に
規定された表面粗さであり、基準長さ２．５ｍｍでの１
０点平均粗さであり、測定は東京精密社製の「ＳＵＲＦ
ＣＯＭ ５７５Ａ」もしくはＰｅｒｔｈｅｎ社製の「Ｐ
ｅｒｔｈｏｍｅｔｅｒ Ｃ５Ｄ」等で測定される。
接着するか、或いは別素材を本体に成膜したフロントリ
ップ面３４及びリアリップ面３５を必要に応じて研磨す
ることにより、表面粗さＲz を０．０６〜１．０μｍの
範囲に加工する。尚、本発明において表面粗さＲz は、
例えば日本工業規格ＪＩＳ Ｂ ０６０１−１９８２に
規定された表面粗さであり、基準長さ２．５ｍｍでの１
０点平均粗さであり、測定は東京精密社製の「ＳＵＲＦ
ＣＯＭ ５７５Ａ」もしくはＰｅｒｔｈｅｎ社製の「Ｐ
ｅｒｔｈｏｍｅｔｅｒ Ｃ５Ｄ」等で測定される。
【００３３】本発明の枚葉塗工装置を用いて被塗工材に
塗料を塗工する工程においては、図３に示すように、口
金２７を一定の間隙（クリアランスｔ1 ）を介して被塗
工材２９に相対して設置する。このクリアランスｔ1 は
２５〜５００μｍが好ましい。ｔ1 が５００μｍより広
いと塗料ビード３１が形成しづらくなり、また、形成で
きても欠壊し易くなり安定した塗工が望めない。また、
これより狭いと被塗工材の部分的な凹凸によりフロント
リップ面３４またはリアリップ面３５が被塗工材２９に
接触し、未塗布部が発生したり著しく膜厚の塗膜２８が
形成されてしまい、塗工品の品質を低下せしめる。
塗料を塗工する工程においては、図３に示すように、口
金２７を一定の間隙（クリアランスｔ1 ）を介して被塗
工材２９に相対して設置する。このクリアランスｔ1 は
２５〜５００μｍが好ましい。ｔ1 が５００μｍより広
いと塗料ビード３１が形成しづらくなり、また、形成で
きても欠壊し易くなり安定した塗工が望めない。また、
これより狭いと被塗工材の部分的な凹凸によりフロント
リップ面３４またはリアリップ面３５が被塗工材２９に
接触し、未塗布部が発生したり著しく膜厚の塗膜２８が
形成されてしまい、塗工品の品質を低下せしめる。
【００３４】被塗工材２９は平坦な搬送ステージ３０上
に設置されており、塗工中にずれることのないよう真空
吸着されている。
に設置されており、塗工中にずれることのないよう真空
吸着されている。
【００３５】口金２７に塗料を定量ポンプ２６から供給
を開始し、直ちにまたは一定時間経過後、口金２７また
は搬送ステージ３０を平行移動させる。被塗工材端部に
達しようとする時に定量ポンプ２６からの塗料の供給を
停止し、口金２７または搬送ステージ３０の移動も停止
する。こうして均一な膜厚分布の薄膜が塗工される。
を開始し、直ちにまたは一定時間経過後、口金２７また
は搬送ステージ３０を平行移動させる。被塗工材端部に
達しようとする時に定量ポンプ２６からの塗料の供給を
停止し、口金２７または搬送ステージ３０の移動も停止
する。こうして均一な膜厚分布の薄膜が塗工される。
【００３６】本発明の枚葉塗工装置を用いた塗工方法
は、カラー表示の液晶素子の構成部材であるカラーフィ
ルタの製造工程に好ましく適用される。通常、カラーフ
ィルタは、透明基板上に、ブラックマトリクス或いはブ
ラックストライプと呼ばれる黒色金属或いは黒色樹脂製
の遮光層と、該遮光層の開口部を着色画素とし、Ｒ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色の着色画素を有す
る着色層と、必要に応じて設けられる保護層を形成して
なる。従って、これら遮光層、着色層、保護層の塗布形
成或いはその塗膜のパターニングに用いられるレジスト
の塗工に、本発明の枚葉塗工装置を用いた、本発明の塗
工方法を用いることによって、有効領域の広い均一な膜
厚の塗膜を形成することができ、良好なカラーフィルタ
を歩留良く形成することができる。
は、カラー表示の液晶素子の構成部材であるカラーフィ
ルタの製造工程に好ましく適用される。通常、カラーフ
ィルタは、透明基板上に、ブラックマトリクス或いはブ
ラックストライプと呼ばれる黒色金属或いは黒色樹脂製
の遮光層と、該遮光層の開口部を着色画素とし、Ｒ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色の着色画素を有す
る着色層と、必要に応じて設けられる保護層を形成して
なる。従って、これら遮光層、着色層、保護層の塗布形
成或いはその塗膜のパターニングに用いられるレジスト
の塗工に、本発明の枚葉塗工装置を用いた、本発明の塗
工方法を用いることによって、有効領域の広い均一な膜
厚の塗膜を形成することができ、良好なカラーフィルタ
を歩留良く形成することができる。
【００３７】
【実施例】（実施例１）下記組成からなるアクリル系の
感光性樹脂組成物を塗料として用い、図１の構成の口金
を有する塗料吐出装置を備えた塗工装置を用いて塗工を
行なった。 感光性樹脂組成物 下記組成からなる３元共重合体 １０．０重量部 メチルメタクリレート ５．０重量部 ヒドロキシメチルメタクリレート ３．０重量部 Ｎ−メチロールアクリルアミド ２．０重量部 トリフェニルスルホニウムトリフラート ０．３重量部 （ミドリ化学社製「ＴＰＳ−１０５」） エチルセロソルブ ８９．７重量部
感光性樹脂組成物を塗料として用い、図１の構成の口金
を有する塗料吐出装置を備えた塗工装置を用いて塗工を
行なった。 感光性樹脂組成物 下記組成からなる３元共重合体 １０．０重量部 メチルメタクリレート ５．０重量部 ヒドロキシメチルメタクリレート ３．０重量部 Ｎ−メチロールアクリルアミド ２．０重量部 トリフェニルスルホニウムトリフラート ０．３重量部 （ミドリ化学社製「ＴＰＳ−１０５」） エチルセロソルブ ８９．７重量部
【００３８】３６０ｍｍ×４６５ｍｍ×０．７ｍｍの無
アルカリガラス基板（コーニング社製「１７３７」）を
被塗工材として使用し、スリットギャップを５０μｍ、
クリアランスを７５μｍに設定して、上記感光性樹脂組
成物からなる塗料を塗工した。定量ポンプとしてはダイ
ヤフラムポンプを用い、搬送ステージの駆動には高精度
サーボモータを採用した。上記塗料を塗料タンクに仕込
み、予め口金に到るまでの送液路内を塗料で満たした。
口金のフロントリップ面、リアリップ面の幅は共に０．
５ｍｍのものを用いた。また塗膜を上記ガラス基板の両
端２．５ｍｍの部分に形成しないようにスリット先端の
吐出口の渡り幅を３５５ｍｍとした。
アルカリガラス基板（コーニング社製「１７３７」）を
被塗工材として使用し、スリットギャップを５０μｍ、
クリアランスを７５μｍに設定して、上記感光性樹脂組
成物からなる塗料を塗工した。定量ポンプとしてはダイ
ヤフラムポンプを用い、搬送ステージの駆動には高精度
サーボモータを採用した。上記塗料を塗料タンクに仕込
み、予め口金に到るまでの送液路内を塗料で満たした。
口金のフロントリップ面、リアリップ面の幅は共に０．
５ｍｍのものを用いた。また塗膜を上記ガラス基板の両
端２．５ｍｍの部分に形成しないようにスリット先端の
吐出口の渡り幅を３５５ｍｍとした。
【００３９】フロントリップ及びリアリップはＳＵＳ３
０３にて作製し、図１に示すようなフロントリッププレ
ート及びリアリッププレートをチタン材によって作製し
てスリット表面に接合し、表面粗さＲz ＝０．０６μｍ
に研磨した。
０３にて作製し、図１に示すようなフロントリッププレ
ート及びリアリッププレートをチタン材によって作製し
てスリット表面に接合し、表面粗さＲz ＝０．０６μｍ
に研磨した。
【００４０】基板搬送速度＝１２ｍｍ／ｓ、３２．８μ
ｌ／ｓの吐出レートとし、塗工開始点及び終了点が基板
端部より１．０ｍｍ内側になるように塗工した。得られ
た塗工基板をホットプレートにて９０℃で２０分間焼成
し、塗膜を得た。
ｌ／ｓの吐出レートとし、塗工開始点及び終了点が基板
端部より１．０ｍｍ内側になるように塗工した。得られ
た塗工基板をホットプレートにて９０℃で２０分間焼成
し、塗膜を得た。
【００４１】得られた塗膜について、膜厚分布の評価を
行なった。該評価は、図５に示す塗工基板５１上の１５
点にて膜面を一部剥離し、その段差をテンコール社製の
触針式膜厚計「ＦＰ−２０」にて測定し、各点の膜厚と
した。その１５点の膜厚のうち、最大値と最小値の上記
１５点の膜厚の平均値に対する差の絶対値の大きい方
を、百分率で評価した結果を±％として表現する。
行なった。該評価は、図５に示す塗工基板５１上の１５
点にて膜面を一部剥離し、その段差をテンコール社製の
触針式膜厚計「ＦＰ−２０」にて測定し、各点の膜厚と
した。その１５点の膜厚のうち、最大値と最小値の上記
１５点の膜厚の平均値に対する差の絶対値の大きい方
を、百分率で評価した結果を±％として表現する。
【００４２】本実施例の塗膜については、平均膜厚が
１．１２μｍ、この平均膜厚に対するばらつきは±３．
８％であった。
１．１２μｍ、この平均膜厚に対するばらつきは±３．
８％であった。
【００４３】（実施例２）口金の構成を、図４に示す構
成とした以外は実施例１と全く同様にして塗膜を形成
し、実施例１と同様にして評価した。口金は、本体のフ
ロントリップ面及びリアリップ面をＲz ＝１．６μｍに
研磨し、その上にチタン材からなるプレートを接合して
表面粗さＲz ＝０．０８μｍに研磨して用いた。
成とした以外は実施例１と全く同様にして塗膜を形成
し、実施例１と同様にして評価した。口金は、本体のフ
ロントリップ面及びリアリップ面をＲz ＝１．６μｍに
研磨し、その上にチタン材からなるプレートを接合して
表面粗さＲz ＝０．０８μｍに研磨して用いた。
【００４４】得られた塗膜は、平均膜厚が１．１２μｍ
で、この平均膜厚に対するばらつきが±３．９％であっ
た。
で、この平均膜厚に対するばらつきが±３．９％であっ
た。
【００４５】（実施例３）フロントリップ及びリアリッ
プのフロントリップ面及びリアリップ面を除く他の表面
をカプトンテープにて被覆を施し、フロントリップ面及
びリアリップ面にのみ窒化チタンを０．０１ｍｍの厚み
に成膜した。これを研磨して表面粗さＲz＝０．１μｍ
とした。
プのフロントリップ面及びリアリップ面を除く他の表面
をカプトンテープにて被覆を施し、フロントリップ面及
びリアリップ面にのみ窒化チタンを０．０１ｍｍの厚み
に成膜した。これを研磨して表面粗さＲz＝０．１μｍ
とした。
【００４６】上記構成の口金を用いる以外は、実施例１
と同様にして塗膜を得、評価した。得られた塗膜の平均
膜厚は１．１３μｍで、この平均膜厚に対するばらつき
は±４．１％であった。
と同様にして塗膜を得、評価した。得られた塗膜の平均
膜厚は１．１３μｍで、この平均膜厚に対するばらつき
は±４．１％であった。
【００４７】（実施例４）実施例１で用いた口金を用
い、カラーフィルタ用着色塗膜形成用塗料（富士フィル
ムオーリン社製「ＣＲ−７００１」）を塗膜した。この
塗料は粘度＝１２ｃＰ、固形分濃度＝２４．９重量％の
感光性樹脂組成物である。塗布基板及び塗布領域は実施
例１と同様とし、基板搬送速度＝３０ｍｍ／ｓ、吐出レ
ート＝２６．８ｍｌ／ｓとした。塗布と、ホットプレー
トにて９０℃で５分間の焼成を行なった。得られた塗膜
の平均膜厚は１．３０μｍ、この平均膜厚に対するばら
つきは±３．２％であった。
い、カラーフィルタ用着色塗膜形成用塗料（富士フィル
ムオーリン社製「ＣＲ−７００１」）を塗膜した。この
塗料は粘度＝１２ｃＰ、固形分濃度＝２４．９重量％の
感光性樹脂組成物である。塗布基板及び塗布領域は実施
例１と同様とし、基板搬送速度＝３０ｍｍ／ｓ、吐出レ
ート＝２６．８ｍｌ／ｓとした。塗布と、ホットプレー
トにて９０℃で５分間の焼成を行なった。得られた塗膜
の平均膜厚は１．３０μｍ、この平均膜厚に対するばら
つきは±３．２％であった。
【００４８】（実施例５）実施例１で用いたガラス基板
を用い、３層クロムブラックマトリクスをパターニング
した上に、実施例４で用いた塗料を用い、Ｒ、Ｇ、Ｂの
３色についてそれぞれ、塗工・焼成・露光・現像を繰り
返してカラーフィルタを得た。塗工条件は実施例４と同
様にした。
を用い、３層クロムブラックマトリクスをパターニング
した上に、実施例４で用いた塗料を用い、Ｒ、Ｇ、Ｂの
３色についてそれぞれ、塗工・焼成・露光・現像を繰り
返してカラーフィルタを得た。塗工条件は実施例４と同
様にした。
【００４９】得られたカラーフィルタを用いて液晶カラ
ーディスプレイを構成したところ、高精細な画像表示が
可能であった。
ーディスプレイを構成したところ、高精細な画像表示が
可能であった。
【００５０】（比較例１）フロントリップ及びリアリッ
プをＳＵＳ３０３にて作製し、口金を構成した。この口
金のフロントリップ面及びリアリップ面の表面粗さＲz
は１．６μｍ、リアリップ幅及びフロントリップ幅は共
に０．５ｍｍであった。この口金を用いる以外は実施例
１と同様にして塗工を行ない、塗膜を得た。
プをＳＵＳ３０３にて作製し、口金を構成した。この口
金のフロントリップ面及びリアリップ面の表面粗さＲz
は１．６μｍ、リアリップ幅及びフロントリップ幅は共
に０．５ｍｍであった。この口金を用いる以外は実施例
１と同様にして塗工を行ない、塗膜を得た。
【００５１】得られた塗膜の平均膜厚は１．１４μｍ
で、この平均膜厚に対するばらつきは±５．５％であっ
た。
で、この平均膜厚に対するばらつきは±５．５％であっ
た。
【００５２】（比較例２）比較例１に用いた口金を用
い、実施例４と同様にしてカラーフィルタ用着色塗膜形
成用塗料を塗工した。得られた塗膜の平均膜厚は１．３
２μｍ、この平均膜厚に対するばらつきは±５．１％で
あった。
い、実施例４と同様にしてカラーフィルタ用着色塗膜形
成用塗料を塗工した。得られた塗膜の平均膜厚は１．３
２μｍ、この平均膜厚に対するばらつきは±５．１％で
あった。
【００５３】以上の実施例及び比較例の結果を下記表１
にまとめる。
にまとめる。
【００５４】
【表１】
【００５５】（実施例６）さらに、比較例１と同様の構
成でフロントリップ面とリアリップ面の表面粗さＲｚが
１．６μｍ〜５．０μｍの口金と、実施例１と同様の構
成で表面粗さＲｚが１．６μｍ未満の口金を用意し、実
施例１と同様にして塗工し、表面粗さＲｚと得られた塗
膜の膜厚ばらつきとの関係を調べた。結果を図６に示
す。
成でフロントリップ面とリアリップ面の表面粗さＲｚが
１．６μｍ〜５．０μｍの口金と、実施例１と同様の構
成で表面粗さＲｚが１．６μｍ未満の口金を用意し、実
施例１と同様にして塗工し、表面粗さＲｚと得られた塗
膜の膜厚ばらつきとの関係を調べた。結果を図６に示
す。
【００５６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、フロントリップ面及びリアリップ面の表面粗さを限
定することにより、塗工幅全域にわたり均一な塗料ビー
ドの形成が可能となり、また表面粗さが向上したことに
よりフロントリップ面及びリアリップ面の表面エネルギ
ーを高くすることが可能となり、よって、塗工中の塗料
ビードの形状を安定的に保持することが可能となり、結
果として均一な膜厚の塗膜を得ることができる。
は、フロントリップ面及びリアリップ面の表面粗さを限
定することにより、塗工幅全域にわたり均一な塗料ビー
ドの形成が可能となり、また表面粗さが向上したことに
よりフロントリップ面及びリアリップ面の表面エネルギ
ーを高くすることが可能となり、よって、塗工中の塗料
ビードの形状を安定的に保持することが可能となり、結
果として均一な膜厚の塗膜を得ることができる。
【００５７】また、フロントリップ面及びリアリップ面
を本体とは別の素材で構成することにより、加工の自由
度が高まり、装置コストを著しく上昇させることなく、
均一な塗膜を得ることが可能となる。また、フロントリ
ップ面及びリアリップ面を含む部材を別部材として本体
に接合することにより、当該部材が損傷を受けた場合に
は、この部材のみを交換することができるため、経済的
でもある。また、フロントリップ面及びリアリップ面に
本体とは異なる素材の薄膜を形成する場合には、スリッ
ト内の塗料の圧力分布を塗工幅全域にわたり均一化し、
塗工幅方向の塗膜の膜厚を均一に塗工することが可能と
成り、さらに、経済性を著しく損なうことなく加工に適
した材料選択が可能となる。
を本体とは別の素材で構成することにより、加工の自由
度が高まり、装置コストを著しく上昇させることなく、
均一な塗膜を得ることが可能となる。また、フロントリ
ップ面及びリアリップ面を含む部材を別部材として本体
に接合することにより、当該部材が損傷を受けた場合に
は、この部材のみを交換することができるため、経済的
でもある。また、フロントリップ面及びリアリップ面に
本体とは異なる素材の薄膜を形成する場合には、スリッ
ト内の塗料の圧力分布を塗工幅全域にわたり均一化し、
塗工幅方向の塗膜の膜厚を均一に塗工することが可能と
成り、さらに、経済性を著しく損なうことなく加工に適
した材料選択が可能となる。
【００５８】さらに、本発明の塗工方法を用いてカラー
フィルタを製造することにより、該製造工程における塗
料の無駄が低減され、高速にしかも高精度に薄膜を形成
して品質の良いカラーフィルタを歩留良く提供すること
が可能となり、該カラーフィルタを用いた液晶ディスプ
レイにおけるカラー表示特性の向上と価格の低減を図る
ことが可能となる。
フィルタを製造することにより、該製造工程における塗
料の無駄が低減され、高速にしかも高精度に薄膜を形成
して品質の良いカラーフィルタを歩留良く提供すること
が可能となり、該カラーフィルタを用いた液晶ディスプ
レイにおけるカラー表示特性の向上と価格の低減を図る
ことが可能となる。
【図１】本発明の枚葉塗工装置に用いられる好ましい口
金の一例の構成を示す断面図である。
金の一例の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の枚葉塗工装置の一実施形態の構成を示
す概略図である。
す概略図である。
【図３】本発明の枚葉塗工装置の口金の周りの拡大図で
ある。
ある。
【図４】本発明の枚葉塗工装置に用いられる好ましい口
金の他の例の構成を示す断面図である。
金の他の例の構成を示す断面図である。
【図５】本発明の実施例における塗膜の膜厚の測定箇所
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図６】本発明の実施例６における表面粗さＲｚと塗膜
の膜厚ばらつきの関係を示す図である。
の膜厚ばらつきの関係を示す図である。
１１ フロントリップ １２ リアリップ １７ フロントリッププレート １８ リアリッププレート ２１ 塗料タンク ２２ 配管 ２３ 開閉弁 ２５ フィルタ ２６ 定量ポンプ ２７ 口金 ２８ 塗膜 ２９ 被塗工材 ３０ 搬送ステージ ３１ 塗料ビード ３２ スリット ３３ マニホールド ３４ フロントリップ面 ３５ リアリップ面 ３６ 塗料ガイド面 ３７ フロントリッププレート ３８ リアリッププレート ５１ 塗工基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H048 BA11 BA45 BA48 BB28 BB37 4D075 AC02 AC99 AE03 CA48 DA06 DB13 DC22 DC24 EA45 EC11 EC17 4F041 AA05 BA05 BA12 BA56
Claims (5)
- 【請求項１】 塗料供給装置と、該塗料供給装置から供
給された塗料を被塗工材に向けて吐出するスリットを有
する塗料吐出装置と、上記被塗工材を保持するステージ
と、上記塗料吐出装置とステージの少なくとも一方を他
方に対して相対的に移動させる手段とを備えた枚葉塗工
装置であって、上記塗料吐出装置の塗料を吐出する口金
がリアリップとフロントリップとをスリットを介して一
体化してなり、上記被塗工材表面に平行なリアリップ面
及びフロントリップ面の表面粗さＲz が０．０６〜１．
０μｍの範囲に加工されていることを特徴とする枚葉塗
工装置。 - 【請求項２】 上記口金が、リアリップとフロントリッ
プ本体に、該本体とは異なる素材で形成された少なくと
もリアリップ面及びフロントリップ面を含む別部材を接
合してなる請求項１記載の枚葉塗工装置。 - 【請求項３】 上記口金が、リアリップとフロントリッ
プ本体のリアリップ面及びフロントリップ面に、上記本
体とは異なる素材からなる薄膜を被覆してなる請求項１
記載の枚葉塗工装置。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の枚葉塗
工装置を用い、被塗工材を保持したステージと塗料吐出
装置の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させ
ながら、上記被塗工材表面に塗料吐出装置より塗料を吐
出させて塗膜を形成することを特徴とする枚葉塗工方
法。 - 【請求項５】 透明基板上に、開口部を有する遮光層
と、少なくとも該開口部を埋める着色層と、保護層を有
するカラーフィルタの製造方法であって、上記遮光層、
着色層、保護層、及びこれらの層の製造工程において用
いられるレジストの少なくとも１層の形成工程におい
て、請求項４記載の枚葉塗工方法を用いることを特徴と
するカラーフィルタの製造方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31852298A JP2000140739A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | 枚葉塗工装置、及び該装置を用いた塗工方法とカラーフィルタの製造方法 |
| US09/436,988 US6652653B2 (en) | 1998-11-10 | 1999-11-09 | Coating apparatus, method for producing color filter substrate by use of the coating apparatus, and liquid-crystal display apparatus using the color filter substrate produced by the method |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP31852298A JP2000140739A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | 枚葉塗工装置、及び該装置を用いた塗工方法とカラーフィルタの製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000140739A true JP2000140739A (ja) | 2000-05-23 |
Family
ID=18100060
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|---|---|---|---|
| JP31852298A Pending JP2000140739A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | 枚葉塗工装置、及び該装置を用いた塗工方法とカラーフィルタの製造方法 |
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| JP (1) | JP2000140739A (ja) |
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1999
- 1999-11-09 US US09/436,988 patent/US6652653B2/en not_active Expired - Fee Related
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