JP2000118715A

JP2000118715A - 吸着装置

Info

Publication number: JP2000118715A
Application number: JP10284653A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Furuhashi; 善男古橋; Riyouji Namiki; 良児並木; Tetsuo Kuroda; 哲郎黒田; Sakuhiro Sakane; 作裕坂根; Hayato Doi; 隼人土井
Original assignee: Hitachi Zosen Corp
Current assignee: Hitachi Zosen Corp
Priority date: 1998-10-07
Filing date: 1998-10-07
Publication date: 2000-04-25

Abstract

(57)【要約】【課題】薄肉シート・フィルムから厚肉シートまでの
広範囲のシート状物を、傷付けることなく取り扱える吸
着装置を提供する。【解決手段】シート状物１に対して相対的に昇降自在
な吸引形式の吸着手段３２を有し、吸着手段３２の下部
吸着面ａを偏平状の多孔板３２Ａにより形成した。吸着
手段３２によるシート状物１の吸着は、薄肉シート・フ
ィルム製品などは多孔板３２Ａを通しての低圧真空吸引
で行え、厚肉シートは高圧真空吸引で行え、以て薄肉シ
ート・フィルムから肉厚シート製品まで広範囲に容易に
適用できる。上下からの挟み込み方式を採用できること
により、多孔板３２Ａの下部吸着面ａシート状物１を軽
く押し当てて、多孔板３２Ａとシート状物表面との密着
性を高めることができ、以て吸引効果を増大できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば薄肉シー
ト・フィルムから厚肉シートまでのシート状物（板状製
品）を、積重ね部と搬送ラインとの間で移載させる移載
装置などに使用される吸着装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、たとえば搬送ラインで所定位置に
搬送されてきたシート状物（板状製品）を、一側方に設
けられた積載部のパレット上に積載する移載装置として
は、図８に示される構成が提供されている。

【０００３】すなわち、まず、搬送コンベヤ４０により
所定位置に搬送されてきたシート状物４１の上面に、移
載移送ユニット４２の下部に設けられた吸着パッド４３
を下降させて当接させる。ここで吸着パッド４３は、シ
ート状物４１のサイズに合わせて多数が取り付けられて
おり、そしてパッドはゴム製などからなる。

【０００４】次いで、真空ポンプの吸引力をパッド内部
の中空孔に作用させて、吸着パッド４３群によりシート
状物４１を吸着させ、この状態で吸着パッド４３群を上
昇させることにより、搬送コンベヤ４０上からシート状
物４１を持ち上げる。そしてシート状物４１を吸着した
吸着パッド４３群を、移載移送ユニット４２の移動によ
り横方向（あるいは前方向）に移動させ、積載部に対向
させて停止させる。

【０００５】この積載部にはリフター４４が設けられ、
このリフター４４はパレット４５を支持している。そし
て吸着パッド４３を下降させて、そのシート状物４１を
パレット４５上に、またはパレット４５上に既に積載さ
れているシート状物４１上に積載させる。次いで吸着パ
ッド４３を、その真空吸引を開放させたのち上昇させ、
そして搬送コンベヤ４０の上方に移動させることで、一
連のシート状物４１の移載作業を終えることになる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
構成による移載装置では、吸着パッド４３のシート状物
４１に対する密着性を良くするため、吸着パッド４３を
シート状物４１に強く押付ける必要があり、シート状物
４１はこの押圧により、変形湾曲しないことが必須条件
となる。そのため、剛性が高いシート状物４１や厚肉の
シート状物４１の積載に多用され、このようなシート状
物４１を精度良く積載できる。しかし、薄肉（プラスチ
ック製薄板やフィルムなど）のシート状物４１や剛性が
小さく変形・湾曲しやすいシート状物４１には安易に適
用できなかった。

【０００７】そこで本発明のうち請求項１記載の発明
は、薄肉シート・フィルムから厚肉シートまでの広範囲
のシート状物を、傷付けることなく取り扱える吸着装置
を提供することを目的としたものである。

【０００８】また請求項３記載の発明は、シート状物
を、接触痕を発生させることなく取り扱える吸着装置を
提供することを目的としたものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうちで請求項１記載の吸着装置は、シ
ート状物を取り扱う吸着装置であって、シート状物に対
して相対的に昇降自在な吸引形式の吸着手段を有し、こ
の吸着手段の下部吸着面が偏平状の多孔板により形成さ
れていることを特徴としたものである。

【００１０】したがって請求項１の発明によると、吸着
手段によるシート状物の吸着は、薄肉シート・フィルム
製品などは多孔板を通しての低圧真空吸引で行え、また
厚肉シートは高圧真空吸引で行える。そして、上下から
の挟み込み方式を採用したことで、多孔板の下部吸着面
にシート状物を軽く押し当てて、多孔板とシート状物表
面との密着性を高め得る。

【００１１】また本発明の請求項２記載の吸着装置は、
上記した請求項１記載の構成において、多孔板は、吸引
孔が全面にほぼ等間隔で均一に明けられていることを特
徴としたものである。

【００１２】したがって請求項２の発明によると、多数
の吸引孔を通してシート状物を吸着することにより、一
個の吸引孔当りの吸引力は小さくし得る。そして本発明
の請求項３記載の吸着装置は、上記した請求項１または
２記載の構成において、吸着手段の幅は、取り扱うシー
ト状物の最大幅とほぼ同じであり、また長さは小さくし
て、シート状物の長さに対応して複数個の吸着手段が配
置されることを特徴としたものである。

【００１３】したがって請求項３の発明によると、吸着
装置を小型軽量化して慣性力も小さくし得、かつ中空状
の吸着手段における内部の密封効果を高め得る。さらに
本発明の請求項４記載の吸着装置は、上記した請求項１
〜３のいずれかに記載の構成において、下部吸着面は、
偏平状の多孔板に弾性体を積層して形成されていること
を特徴としたものである。

【００１４】したがって請求項４の発明によると、弾性
体の弾性変形による緩衝作用によって、より一層、吸着
時の接触痕は発生しないことになる。しかも本発明の請
求項５記載の吸着装置は、上記した請求項１〜４のいず
れかに記載の構成において、吸着手段が、複数箇所のシ
ート状物取り扱い部の上方間で移動されることを特徴と
したものである。

【００１５】したがって請求項５の発明によると、或る
箇所のシート状物取り扱い部に上方から対向させた吸着
手段によりシート状物の吸着を行い、そして吸着手段を
他の箇所のシート状物取り扱い部の上方へ移動させるこ
とで、シート状物を他の箇所のシート状物取り扱い部に
移載し得る。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の第一の実施の形
態を、搬送ラインで搬送されてきたシート状物を積重ね
部に位置されたパレット上に積載する移載装置に採用し
た状態として、図１〜図５に基づいて説明する。

【００１７】図４、図５において、シート状物（板状製
品）１の搬送を行う搬送コンベヤ２により、一つのシー
ト状物取り扱い部の一例が形成され、この搬送コンベヤ
２は、複数条のベルト３などにより構成されている。前
記搬送コンベヤ２の所定位置（終端部分など）にはリフ
ト手段４が設けられ、このリフト手段４は、エアシリン
ダー５などにより昇降自在な昇降体６と、この昇降体６
上の複数箇所に設けられた持ち上げ用部材７などにより
構成される。ここで持ち上げ用部材７は、複数条のベル
ト３間を通って昇降自在であり、その昇降によって、搬
送コンベヤ２の搬送面に対して出退自在に構成される。

【００１８】前記搬送コンベヤ２における所定位置の両
側方それぞれには、別のシート状物取り扱い部の一例で
あるシート状物１の積重ね部１０，１５が設けられる。
これら積重ね部１０，１５には、それぞれパンタグラフ
形式のリフター１１，１６が設けられ、これらリフター
１１，１６はパレット１２，１７を支持可能である。な
お両積重ね部１０，１５は、コンベヤ中心に対して左右
に同様な距離Ｌを置いた状態で配設されている。

【００１９】前述した所定位置において、搬送コンベヤ
２と両積重ね部１０，１５の上方間に亘って固定枠体２
０が設けられ、この固定枠体２０側には昇降枠体２１が
設けられる。固定枠体２０と昇降枠体２１との間には、
たとえばクランク形式の昇降駆動装置２２が設けられ、
さらに昇降を垂直状で円滑に行わせるためのガイド手段
（図示せず。）が設けられている。

【００２０】前記昇降枠体２１側には、搬送コンベヤ２
と両積重ね部１０，１５の上方間に亘って移動自在な移
動体２３が設けられ、この移動体２３は、昇降枠体２１
側に設けられたレールに車輪（いずれも図示せず。）を
介して支持案内されることで、一定経路で往復移動自在
に構成される。

【００２１】前記固定枠体２０と移動体２３との間には
往復駆動装置２４が設けられる。この往復駆動装置２４
は、固定枠体２０側に設けられた駆動部（モータ）２
５、制御部（電磁クラッチやブレーキ）２６、連動部
（ベベル歯車機構）２７、ならびに連動部２７の出力軸
に設けられたクランク形式の伝動部２８、移動体２３側
に設けられ移動距離が倍になる倍速機構（図示せず。）
などにより構成され、そして伝動部２８と倍速機構と
は、昇降枠体２１の昇降量を許容する構造で連動されて
いる。

【００２２】前記移動体２３の下部には、一対の吸着装
置３０，３１が設けられている。その際に吸着装置３
０，３１は、前述した距離Ｌと同等の間隔Ｐを置いて配
設され、以て一方の吸着装置３０または３１を搬送コン
ベヤ２に対向させたとき他方の吸着装置３１または３０
がいずれかの積重ね部１０，１５に対向すべく構成され
ている。

【００２３】両吸着装置３０，３１は、吸引形式でかつ
同様に構成されている。すなわち、図１〜図５に示すよ
うに、移動体２３の下面側には、搬送ラインに沿った方
向の三箇所（一箇所または複数箇所）に、直方体でかつ
中空ボックス状の吸着手段３２が設けられ、これら吸着
手段３２の内部は、ホース３３や切換え弁（電磁弁な
ど）３４や流量制御弁３５などを介してブロワー３６側
に連通されている。

【００２４】これにより吸着手段３２の内部は、ブロワ
ー３６により真空化し得、またブロワー排気を利用して
真空状態を瞬時に開放し得るように構成されている。そ
して前記吸着手段３２の下部吸着面ａは偏平状の多孔板
３２Ａにより形成されている。その際に多孔板３２Ａ
は、たとえば径１０φｍｍ程度の吸引孔３２ａを、全面
にほぼ等間隔で均一に明けている。

【００２５】前記吸着装置３０，３１の幅、すなわち、
吸着手段３２の幅Ｗは、取り扱うシート状物１の最大幅
とほぼ同じである。また、長さｎは小さく（３００〜５
００ｍｍ程度）して、シート状物１の長さＮに対応して
この小さな吸着手段３２の数を三個（複数個）としてい
る。

【００２６】以下に、上記した第一の実施の形態におけ
る作用を説明する。搬送コンベア２で搬送されてきたシ
ート状物１を、検出信号などにより定位置に停止させた
のち、昇降動装置２２の下降作動によって昇降枠体２１
を下降させることにより、両吸着装置３０，３１を下降
させる。すると、図４の実線に示すように、搬送コンベ
ア２の上方、すなわち、中心線上に停止していた吸着装
置３１が、図４の仮想線に示すように下降するととも
に、リフト手段４の作動により上昇される持ち上げ用部
材７が搬送コンベア２上のシート状物１を、図４の仮想
線に示すように持ち上げることになり、以てシート状物
１は上下より挟み込まれる。

【００２７】このように、下降と上昇とによる上下から
の挟み込み方式を採用することにより、吸着装置３１側
のストロークを小さくし得、以てサイクルの高速化を図
り得る。

【００２８】上述した上下からの挟み込みは、シート状
物１を多孔板３２Ａの下部吸着面ａに軽く押当てる状態
で行われ、これによりシート状物１と多孔板３２Ａの各
吸引孔３２ａの密着性を高め得る。したがって、ブロワ
ー３６による吸引作用をシート状物１に効率良く与え
得、以て吸着装置３１によるシート状物１の吸着保持は
確実に行える。

【００２９】なお、他方の吸着装置３０側では、図４の
仮想線に示すように吸着装置３０が下降した状態でシー
ト状物１の積載作業が行われており、これは一方の吸着
装置３１による後述する積載作業と同様であることか
ら、その詳細は省略する。

【００３０】前述したように、吸着装置３１によってシ
ート状物１を吸着保持した状態で、昇降動装置２２の上
昇作動によって昇降枠体２１を上昇させ、これにより吸
着装置３１を介してシート状物１を上昇させる。次い
で、往復駆動装置２４の作動によって移動体２３を、搬
送ラインに対して直角方向に横移動（左側移動）させ、
図５の実線に示すように、吸着装置３１により吸着保持
しているシート状物１を、積重ね部１５のパレット１７
の上方に位置させる。

【００３１】そして昇降動装置２２の下降作動によって
昇降枠体２１を下降させ、これにより図５の仮想線に示
すように、吸着装置３１により吸着保持しているシート
状物１を、パレット１７上に既に積層されている最上位
のシート状物１の上面に対して、もしくはパレット１７
の上面に対して、接近させる。

【００３２】次いで、切換え弁３４の切換えにより、ブ
ロワー３６の排気Ｇを吸着手段３２の内部に導入させ、
多孔板３２Ａの吸引孔３２ａ群を介しての吸着状態を瞬
時に開放させる。これによりシート状物１を、最上位の
シート状物１の上、もしくはパレット１７の上、すなわ
ち所定の位置に精度良く整列させて積載し得る。

【００３３】このように、シート状物１の積載を終えた
状態で、昇降動装置２２の上昇作動によって昇降枠体２
１を上昇させ、これにより空状態の吸着手段３１を上昇
させる。その後、往復駆動装置２４の逆作動によって移
動体２３を、搬送ラインに対して逆の直角方向に横移動
（右側移動）させ、再び図４の実線に示すように、空の
吸着装置３１を搬送コンベヤ２の上方に位置させる。以
上により、吸着装置３１を利用して、搬送コンベヤ２で
搬送されてきたシート状物１を順次、積重ね部１５のパ
レット１７上に積載させるところの、一連のシート状物
１の移載作業を終えることになる。

【００３４】このとき、前述したように吸着装置３０側
も同時進行状で、この吸着装置３０を利用して、搬送コ
ンベヤ２で搬送されてきたシート状物１を順次、積重ね
部１０のパレット１２上に積載し得る。その際に両吸着
装置３０，３１は、交互に全く同じ動作を繰返すことに
なる。

【００３５】すなわち、図４に示すように、吸着装置３
１が搬送コンベヤ２上のシート状物１に対して吸着保持
作用を行っているときに、吸着装置３０は積重ね部１０
のパレット１２に対して積載作用を行い、また図５に示
すように、吸着装置３１が積重ね部１５のパレット１７
に対して積載作用を行っているときに、吸着装置３０は
搬送コンベヤ２上のシート状物１に対して吸着保持作用
を行っている。

【００３６】このように両側の吸着装置３０，３１が、
交互に全ったく同じ動作を効率的に繰返すことで、シー
ト状物１を、その生産効率を低下することなく、高速サ
イクルと高精度積載を実現している。なお積重ね部１
０，１５側の積載レベルは、リフター１１，１６の自動
的な動作により、最適となるように調整されている。

【００３７】前述したように、吸着手段３２の長さｎを
小さくして、シート状物長さＮに対応してこの小さな吸
着手段３２の数を三個（複数個に増減）としたことによ
り、吸着装置３０，３１を小型軽量化できるとともに慣
性力も小さくなるので、高速・高精度の移載が可能とな
り、かつ中空状の吸着手段３２における内部の密封効果
を高め、低い真空吸引力でも確実にシート状物１を吸着
保持できる。

【００３８】前記ブロワー３６などによる真空吸引力の
高低は、取り扱うシート状物１に応じて流量制御弁３５
を調整することで、任意に調整し得る。すなわち、薄肉
シート・フィルムをはじめ多くのプラスチックシート製
品は、低圧の真空吸引力で確実に吸着・保持できる。ま
た、厚肉のプラスチックシート製品や比重の重い板製品
に対しては、高真空の吸引圧で吸着保持することによ
り、薄物と同様に確実に吸着保持できる。

【００３９】前記吸着装置３０，３１における吸着手段
３２は、その多孔板３２Ａに吸引孔３２ａを全面にほぼ
等間隔で均一に明けている。このような多数の吸引孔３
２ａを通してシート状物（製品）１を吸着することによ
り、一個の吸引孔３２ａ当りの吸引力は小さくでき、製
品表面への接触痕を避けることができる。それでも、多
孔板３２Ａはシート状物１に直接・接触するので、軟ら
かいプラスチック製品に対しては、多孔板３２Ａをプラ
スチック製の材質にすれば、吸着時の接触痕は発生しな
いことになる。同様に、シート状物１に接する搬送コン
ベヤ２の材質も、軟らかいプラスチック製を採用すると
良い。

【００４０】上述した第一の実施の形態では、吸着装置
３０，３１および搬送コンベヤ２の一連の動作の中に、
従来の真空パッド方式の様なシート状物へのパッドの強
い押付け動作も発生しないので、軟らかいシート状物１
を傷付けることがないばかりか、押付け力によるシート
状物１の変形や湾曲も発生しない。

【００４１】そして二箇所に配置された吸着装置３０，
３１が、下降、吸着、上昇、移送、排出積載のどの工程
に於いても必要最小限の動作を効率的に実現しているの
で、薄肉シート・フィルムから厚肉シートの広範囲のシ
ート状物１に対して、傷付けることなく高速で高精度に
移載することができる。さらにシート状物１としては、
その表面が平滑状をしており真空吸引作用を与えること
ができる板状製品全てに、適用可能である。特に、金属
に較べて比重が小さく軽重なプラスチックのシート状製
品あるいはプラスチックを基材とする複合シート製品に
適用される。

【００４２】以下に、実施データを説明する。すなわ
ち、従来技術の装置では積載不可能である代表例とし
て、樹脂の粘着性が高く、表面が比較的軟らかくて傷付
きやすいＰＥＴ薄肉シート製品０．２ｍｍ厚×１０００
ｍｍ幅×２０００ｍｍ長さの保護紙のない長尺薄肉シー
ト製品を選定し、積載装置の性能を評価した。

【００４３】結果は表１に示す如く、Ｍａｘ３０ｍ／ｍ
ｉｎの高速生産ライン上で±３ｍｍの積載精度で、シー
ト表面を傷付けることなく積載することができた。

【００４４】

【表１】

【００４５】次に、本発明の第二の実施の形態を、図６
に基づいて説明する。前記吸着手段３２の下部は偏平状
の多孔板３２Ａにより形成されており、そして下部吸着
面ａは、多孔板３２Ａの下面に多孔ゴム板（弾性体の一
例であって、スポンジ類などであってもよい。）３８を
積層して形成されている。なお、多孔ゴム板３８として
は、シリコンゴムなどが採用される。

【００４６】前述したように、多孔板３２Ａはシート状
物１に直接・接触するので、特に軟らかいプラスチック
製品に対しては、この別の実施の形態のように、多孔ゴ
ム板３８、すなわち弾性体を積層しておくことで、その
弾性変形による緩衝作用によって、より一層、吸着時の
接触痕は発生しないことになる。

【００４７】次に、本発明の第三の実施の形態を、図７
に基づいて説明する。移動体２３には一個の吸着装置３
０が設けられ、この吸着装置３０によって、搬送コンベ
ヤ２で搬送されてきたシート状物１を、一側の積重ね部
１０に積載する形式の移載装置としている。

【００４８】上記した第一の実施の形態では、吸着手段
３２の長さｎを小さくして、シート状物長さＮに対応し
てこの小さな吸着手段３２の数を三個としているが、こ
の吸着手段３２としては、シート状物１に対して一個を
作用させる形式であってもよい。

【００４９】上記した第一の実施の形態では、搬送コン
ベヤ２で搬送されてきたシート状物１を、両側の積重ね
部１０，１５に振分けて積載する形式が示されている
が、これは積重ね部１０，１５側に積載されているシー
ト状物１を、交互に搬送コンベヤ２上に渡す形式であっ
てもよい。また同様にして、上記した第三の実施の形態
において、積重ね部１０側に積載されているシート状物
１を、搬送コンベヤ２上に渡す形式であってもよい。

【００５０】上記した第一、第三の実施の形態では、搬
送コンベヤ２と積重ね部１０，１５の上方間に亘って移
動体２３を移動させる往復駆動装置２４として、駆動部
２５、制御部２６、連動部２７、伝動部２８などにより
構成された形式が示されているが、これはリニアモータ
形式やエアシリンダー形式などを採用してもよい。

【００５１】

【発明の効果】上記した本発明の請求項１によると、吸
着手段によるシート状物の吸着は、薄肉シート・フィル
ム製品などは多孔板を通しての低圧真空吸引で行え、ま
た厚肉シートは高圧真空吸引で行うことができ、以て薄
肉シート・フィルムから肉厚シート製品まで広範囲に容
易に適用できる。そして、上下からの挟み込み方式を採
用できることにより、多孔板の下部吸着面にシート状物
を軽く押し当てて、多孔板とシート状物表面との密着性
を高めることができ、以て吸引効果を増大できる。

【００５２】また上記した本発明の請求項２によると、
多数の吸引孔を通してシート状物を吸着することによ
り、一個の吸引孔当りの吸引力を小さくでき、シート状
物表面への接触痕を避けることができる。

【００５３】そして上記した本発明の請求項３による
と、吸着手段の長さを小さくして、シート状物長さに対
応してこの小さな吸着手段の数を複数個としたことによ
り、吸着装置を小型軽量化して慣性力も小さくでき、高
速・高精度の移載を可能にでき、かつ中空状の吸着手段
における内部の密封効果を高め、低い真空吸引力でも確
実にシート状物を吸着保持できる。

【００５４】さらに上記した本発明の請求項４による
と、弾性体の弾性変形による緩衝作用によって、より一
層、接触痕の発生しない吸着を行うことができる。しか
も上記した本発明の請求項５によると、或る箇所のシー
ト状物取り扱い部に上方から対向させた吸着手段により
シート状物の吸着を行い、そして吸着手段を他の箇所の
シート状物取り扱い部の上方へ移動させることで、シー
ト状物を他の箇所のシート状物取り扱い部に、傷付ける
ことなく移載できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施の形態を示し、吸着装置の
斜視図である。

【図２】同吸着装置における吸着手段部分の底面図であ
る。

【図３】同吸着装置における吸着手段部分の一部切り欠
き側面図である。

【図４】同吸着装置を使用した移載装置の一方側作用状
態の正面図である。

【図５】同吸着装置を使用した移載装置の他方側作用状
態の正面図である。

【図６】本発明の第二の実施の形態を示し、吸着装置に
おける吸着手段部分の要部縦断面図である。

【図７】本発明の第三の実施の形態を示し、吸着装置を
使用した移載装置の正面図である。

【図８】従来例を示し、吸着装置を使用した移載装置の
正面図である。

【符号の説明】

１シート状物（板状製品）２搬送コンベヤ（シート状物取り扱い部）４リフト手段１０積重ね部（シート状物取り扱い部）１１リフター１２パレット１５積重ね部（シート状物取り扱い部）１６リフター１７パレット２１昇降枠体２２昇降駆動装置２３移動体２４往復駆動装置３０吸着装置３１吸着装置３２吸着手段３２Ａ多孔板３２ａ吸引孔３４切換え弁３５流量制御弁３６ブロワー３８多孔ゴム板（弾性体）ａ下部吸着面Ｌ距離Ｐ間隔Ｗ吸着手段３２の幅Ｎシート状物１の長さｎ吸着手段３２の長さＧ排気

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者黒田哲郎大阪府大阪市住之江区南港北１丁目７番89 号日立造船株式会社内 (72)発明者坂根作裕大阪府大阪市住之江区南港北１丁目７番89 号日立造船株式会社内 (72)発明者土井隼人大阪府富田林市通法寺町3799−１ドウテック株式会社内Ｆターム(参考） 3F029 BA09 CA82 DA04 3F030 AA02 AB04 BC02 BC03 3F072 AA28 GD05 GF01 KA01 KD03 KD12

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シート状物を取り扱う吸着装置であっ
て、シート状物に対して相対的に昇降自在な吸引形式の
吸着手段を有し、この吸着手段の下部吸着面が偏平状の
多孔板により形成されていることを特徴とする吸着装
置。
【請求項２】多孔板は、吸引孔が全面にほぼ等間隔で
均一に明けられていることを特徴とする請求項１記載の
吸着装置。
【請求項３】吸着手段の幅は、取り扱うシート状物の
最大幅とほぼ同じであり、また長さは小さくして、シー
ト状物の長さに対応して複数個の吸着手段が配置される
ことを特徴とする請求項１または２記載の吸着装置。
【請求項４】下部吸着面は、偏平状の多孔板に弾性体
を積層して形成されていることを特徴とする請求項請求
項１〜３のいずれかに記載の吸着装置。
【請求項５】吸着手段が、複数箇所のシート状物取り
扱い部の上方間で移動されることを特徴とする請求項１
〜４のいずれかに記載の吸着装置。