JP2000089829A - 位置制御方法および装置 - Google Patents
位置制御方法および装置Info
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- JP2000089829A JP2000089829A JP10260209A JP26020998A JP2000089829A JP 2000089829 A JP2000089829 A JP 2000089829A JP 10260209 A JP10260209 A JP 10260209A JP 26020998 A JP26020998 A JP 26020998A JP 2000089829 A JP2000089829 A JP 2000089829A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 工作機械などで、垂直軸を上下動させ、位置
決めさせて加工物を切削するような場合に、従来の位置
制御装置では、オーバーシュートが大きくなり、加工物
に傷をつけることがあることや、オーバーシュートを小
さくした場合には、位置決め時間が長くなり、加工時間
に影響を与える問題点があった。 【解決手段】 機械可動部１０７の位置検出を行うとと
もに、該機械可動部１０７を駆動するモータ１０６の回
転軸にモータ回転軸角度位置検出装置を備えた位置制御
系において、前記モータ回転軸角度位置と前記機械可動
部位置の各フィードバック信号１０８、１０９の大きさ
の割合を、位置偏差１０３の大きさ、位置偏差１０３の
大きさと機械可動部位置ｙｌ、位置偏差１０３の大きさ
とモータ１０６の可動軸位置ｙｍ、あるいは位置偏差１
０３の大きさとトルク指令ｔｒｑとにより決定するよう
にしたことを特徴とする。
決めさせて加工物を切削するような場合に、従来の位置
制御装置では、オーバーシュートが大きくなり、加工物
に傷をつけることがあることや、オーバーシュートを小
さくした場合には、位置決め時間が長くなり、加工時間
に影響を与える問題点があった。 【解決手段】 機械可動部１０７の位置検出を行うとと
もに、該機械可動部１０７を駆動するモータ１０６の回
転軸にモータ回転軸角度位置検出装置を備えた位置制御
系において、前記モータ回転軸角度位置と前記機械可動
部位置の各フィードバック信号１０８、１０９の大きさ
の割合を、位置偏差１０３の大きさ、位置偏差１０３の
大きさと機械可動部位置ｙｌ、位置偏差１０３の大きさ
とモータ１０６の可動軸位置ｙｍ、あるいは位置偏差１
０３の大きさとトルク指令ｔｒｑとにより決定するよう
にしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、機械可動部の位置
を検出して、機械可動部の位置制御を行う位置制御装置
に関する。
を検出して、機械可動部の位置制御を行う位置制御装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、機械可動部の位置を検出して位置
制御を行う装置として、例えば特開昭５８−１８１１１
５「位置制御方式」に開示されたものがある。図７はこ
の従来の装置を説明するための図である。図において、
ＰＣＣは位置制御回路、ＶＣＣは速度制御回路、ＭＴは
モータ、ＭＥは機械可動部、ＴＣＭはタコジェネ、ＲＳ
Ｖはレゾルバ、ＩＤＳは位置検出器、ＦＤＣはフィル
タ、ＡＦは増幅器である。ここで、モータＭＴの回転位
置ＭＰと機械可動部ＭＥの移動量ＴＰの差ＰＥをフィル
タＦＤＣを通したフィードバック信号を位置指令ＣＰに
加えて、目標指令に対して追従するような構成としてい
る。しかし、フィルタＦＤＣの時定数が大きい時には、
目標指令に対してオーバーシュートは小さくなるが、緩
やかな追従をし、時定数が小さい時には、目標指令に対
して速く追従するが、オーバーシュートが大きくなる。
制御を行う装置として、例えば特開昭５８−１８１１１
５「位置制御方式」に開示されたものがある。図７はこ
の従来の装置を説明するための図である。図において、
ＰＣＣは位置制御回路、ＶＣＣは速度制御回路、ＭＴは
モータ、ＭＥは機械可動部、ＴＣＭはタコジェネ、ＲＳ
Ｖはレゾルバ、ＩＤＳは位置検出器、ＦＤＣはフィル
タ、ＡＦは増幅器である。ここで、モータＭＴの回転位
置ＭＰと機械可動部ＭＥの移動量ＴＰの差ＰＥをフィル
タＦＤＣを通したフィードバック信号を位置指令ＣＰに
加えて、目標指令に対して追従するような構成としてい
る。しかし、フィルタＦＤＣの時定数が大きい時には、
目標指令に対してオーバーシュートは小さくなるが、緩
やかな追従をし、時定数が小さい時には、目標指令に対
して速く追従するが、オーバーシュートが大きくなる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】工作機械などで、垂直
軸を上下動させ、位置決めさせて加工物を切削するよう
な場合に、従来の位置制御装置では、オーバーシュート
が大きくなり、加工物に傷をつけることがあることや、
オーバーシュートを小さくした場合には、位置決め時間
が長くなり、加工時間に影響を与える。本発明では、オ
ーバーシュートを小さくし、位置決め時間を短縮できる
ような位置制御系を提供することを目的とする。
軸を上下動させ、位置決めさせて加工物を切削するよう
な場合に、従来の位置制御装置では、オーバーシュート
が大きくなり、加工物に傷をつけることがあることや、
オーバーシュートを小さくした場合には、位置決め時間
が長くなり、加工時間に影響を与える。本発明では、オ
ーバーシュートを小さくし、位置決め時間を短縮できる
ような位置制御系を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、機械可動部の
位置検出を行うとともに、該機械可動部を駆動するモー
タの回転軸にモータ回転軸角度位置検出装置を備えた位
置制御系において、前記モータ回転軸角度位置と前記機
械可動部位置の各フィードバック信号の大きさの割合
を、位置偏差の大きさ、あるいは位置偏差の大きさと機
械可動部位置、位置偏差の大きさとモータの回転軸角度
位置、位置偏差の大きさとトルク指令とにより決定する
ようにしたことを特徴とする。
位置検出を行うとともに、該機械可動部を駆動するモー
タの回転軸にモータ回転軸角度位置検出装置を備えた位
置制御系において、前記モータ回転軸角度位置と前記機
械可動部位置の各フィードバック信号の大きさの割合
を、位置偏差の大きさ、あるいは位置偏差の大きさと機
械可動部位置、位置偏差の大きさとモータの回転軸角度
位置、位置偏差の大きさとトルク指令とにより決定する
ようにしたことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的実施例を図
において説明する。図１は本発明の請求項１、２に関す
る第１の実施例を示す図である。図において、１０１は
位置指令、１０２は位置フィードバック信号、１０３は
位置指令とフィードバック信号との偏差信号、１０４は
偏差信号を速度指令に変える位置制御部であり、１０５
は速度指令とモータ回転軸角度位置から速度を演算し、
該速度指令と該モータ速度との差をトルク指令に変換す
る速度制御部であり、１０６はモータで、その伝達関数
は１／（Ｊｍ・Ｓ2）である。Ｊｍはモータのイナーシ
ャ、Ｓはラプラス演算子である。１０７は機械可動部
で、その伝達関数は１／（ＭＳ2＋Ｋ'）であり、Ｍは機
械可動部のイナーシャ、Ｋ'は機械可動部の弾性定数で
ある。１０８はモータ回転角度位置信号であり、１０９
は機械可動部の位置信号である。１１０はモータ回転角
度位置信号１０８を入力する可変ゲイン機構であり、１
１１は機械可動部の位置信号１０９を入力する可変ゲイ
ン機構であり、図２のようにその伝達関数は位置偏差１
０３の絶対値｜ｅ｜の関数ｆ（｜ｅ｜）として表され、
絶対値｜ｅ｜がある値（図２中のα）以上になったとき
に、可変ゲイン機構１１０は１となり、１０２の信号は
１０８の信号のみとなり、１０９の信号は出力しない構
造となる。可変ゲイン機構１１０と１１１のゲインを加
えると１となるようにしている。１１２は、偏差１０３
の絶対値｜ｅ｜を可変ゲイン機構１１０、１１１へ出力
する絶対値回路である。位置制御が機械可動部１０７の
位置を使ったフルクローズ制御の場合に、速度ＩＰ（ま
たはＰＩ）制御、位置Ｐ制御では、機械可動部の摩擦力
が大きい場合には、目標値よりも実際値がオーバーする
オーバーシュート現象が現れる。それは、機械可動部１
０７の位置情報を使った位置制御を行っているからであ
り、位置指令１０１が入っても、機械可動部１０７の位
置は摩擦の影響で動かないが、位置偏差１０３が多く出
る為、モータ１０６のトルクがどんどん増し、モータ１
０６が回転して静止摩擦力を超えるまでは、ボールねじ
のねじれ力が溜まる。そして静止摩擦力を超えるような
ねじれ力が発生した時に機械可動部１０７が動き出す。
なお、制御の遅れ、オーバーシュートの発生を防止する
ためには、モータ１０６の回転角度位置信号１０８のフ
ィードバックが必要不可欠である。本実施例では、図２
に示されるように、位置偏差１０３の絶対値｜ｅ｜が大
きい時（図においてｆ（｜ｅ｜）＝１（｜ｅ｜＞＝αの
とき））は、目標値とは遠く過渡状態であると考え、モ
ータ回転角度位置信号１０８をフィードバックし、位置
偏差１０３の絶対値｜ｅ｜が小さい時（図においてｆ
（｜ｅ｜）＝Ｋ・｜ｅ｜（｜ｅ｜＜αのとき））には、
目標値に近い状態であると考えて機械可動部１０７の位
置信号１０９をフィードバックするようなフィードバッ
ク信号の配分機構にすることにより、オーバーシュート
を小さくし、追従性をよくすることができる。図３は本
発明の請求項３、４に関する第２の実施例を示す図であ
る。図１と同じ符号は説明を省略する。本実施例におい
ては、可変ゲイン機構４０１、４０２はともに位置偏差
１０３の絶対値｜ｅ｜と機械可動部１０７の位置信号１
０９の関数として、それぞれのゲインの和が１となるよ
うに、それぞれのゲインが図４のように変化する。図４
はモータ回転角度位置信号と機械可動部位置信号とのフ
ィードバックの配分量を決定する第２の関数を表す図で
ある。図４において、ｆ（ｙｌ，｜ｅ｜）＝Ｋ・ｙｌ・
｜ｅ｜（ｙｌ・｜ｅ｜＜α'のとき）、ｆ（（ｙｌ，｜
ｅ｜）＝１（ｙｌ・｜ｅ｜＞＝α'のとき）である。
（α'は実際に調整を行い、オーバーシュートが発生し
ないで整定時間が短くなるときの値を決める。）本実施
例の特徴は、目標値までの応答が第１の実施例に比べて
速くなるということである。図５は本発明の請求項５、
６に関する第３の実施例を示す図である。図１と同じ符
号は説明を省略する。本実施例においては、可変ゲイン
機構５０１、５０２はともに位置偏差１０３の絶対値｜
ｅ｜とモータ１０６の回転角度位置信号１０８の関数と
して、それぞれのゲインの和が１となるように、それぞ
れのゲインが図４のように変化する（図４のｙｌをｙｍ
におきかえればよい）。本実施例の特徴は、目標値まで
の応答が第１の実施例に比べて速くなるということであ
る。図６は本発明の請求項７、８に関する第４の実施例
を示す図である。図１と同じ符号は説明を省略する。本
実施例においては、可変ゲイン機構６０１、６０２はと
もに位置偏差１０３の絶対値｜ｅ｜と速度制御器１０５
の出力であるトルク指令の関数として、それぞれのゲイ
ンの和が１となるように、それぞれのゲインが図４のよ
うに変化する（図４のｙｌをｔｒｑにおきかえればよ
い）。本実施例の特徴は、目標値までの応答が第１の実
施例に比べて速くなるということである。図３、５、６
のそれぞれの適用に関しては、機械とモータの構成につ
いては、位置偏差信号、トルク指令信号、モータ回転角
度位置信号、機械可動部信号で変化が顕著で、信号波形
にリップルや、ノイズ成分が乗りにくいものを選んで、
適用する。
において説明する。図１は本発明の請求項１、２に関す
る第１の実施例を示す図である。図において、１０１は
位置指令、１０２は位置フィードバック信号、１０３は
位置指令とフィードバック信号との偏差信号、１０４は
偏差信号を速度指令に変える位置制御部であり、１０５
は速度指令とモータ回転軸角度位置から速度を演算し、
該速度指令と該モータ速度との差をトルク指令に変換す
る速度制御部であり、１０６はモータで、その伝達関数
は１／（Ｊｍ・Ｓ2）である。Ｊｍはモータのイナーシ
ャ、Ｓはラプラス演算子である。１０７は機械可動部
で、その伝達関数は１／（ＭＳ2＋Ｋ'）であり、Ｍは機
械可動部のイナーシャ、Ｋ'は機械可動部の弾性定数で
ある。１０８はモータ回転角度位置信号であり、１０９
は機械可動部の位置信号である。１１０はモータ回転角
度位置信号１０８を入力する可変ゲイン機構であり、１
１１は機械可動部の位置信号１０９を入力する可変ゲイ
ン機構であり、図２のようにその伝達関数は位置偏差１
０３の絶対値｜ｅ｜の関数ｆ（｜ｅ｜）として表され、
絶対値｜ｅ｜がある値（図２中のα）以上になったとき
に、可変ゲイン機構１１０は１となり、１０２の信号は
１０８の信号のみとなり、１０９の信号は出力しない構
造となる。可変ゲイン機構１１０と１１１のゲインを加
えると１となるようにしている。１１２は、偏差１０３
の絶対値｜ｅ｜を可変ゲイン機構１１０、１１１へ出力
する絶対値回路である。位置制御が機械可動部１０７の
位置を使ったフルクローズ制御の場合に、速度ＩＰ（ま
たはＰＩ）制御、位置Ｐ制御では、機械可動部の摩擦力
が大きい場合には、目標値よりも実際値がオーバーする
オーバーシュート現象が現れる。それは、機械可動部１
０７の位置情報を使った位置制御を行っているからであ
り、位置指令１０１が入っても、機械可動部１０７の位
置は摩擦の影響で動かないが、位置偏差１０３が多く出
る為、モータ１０６のトルクがどんどん増し、モータ１
０６が回転して静止摩擦力を超えるまでは、ボールねじ
のねじれ力が溜まる。そして静止摩擦力を超えるような
ねじれ力が発生した時に機械可動部１０７が動き出す。
なお、制御の遅れ、オーバーシュートの発生を防止する
ためには、モータ１０６の回転角度位置信号１０８のフ
ィードバックが必要不可欠である。本実施例では、図２
に示されるように、位置偏差１０３の絶対値｜ｅ｜が大
きい時（図においてｆ（｜ｅ｜）＝１（｜ｅ｜＞＝αの
とき））は、目標値とは遠く過渡状態であると考え、モ
ータ回転角度位置信号１０８をフィードバックし、位置
偏差１０３の絶対値｜ｅ｜が小さい時（図においてｆ
（｜ｅ｜）＝Ｋ・｜ｅ｜（｜ｅ｜＜αのとき））には、
目標値に近い状態であると考えて機械可動部１０７の位
置信号１０９をフィードバックするようなフィードバッ
ク信号の配分機構にすることにより、オーバーシュート
を小さくし、追従性をよくすることができる。図３は本
発明の請求項３、４に関する第２の実施例を示す図であ
る。図１と同じ符号は説明を省略する。本実施例におい
ては、可変ゲイン機構４０１、４０２はともに位置偏差
１０３の絶対値｜ｅ｜と機械可動部１０７の位置信号１
０９の関数として、それぞれのゲインの和が１となるよ
うに、それぞれのゲインが図４のように変化する。図４
はモータ回転角度位置信号と機械可動部位置信号とのフ
ィードバックの配分量を決定する第２の関数を表す図で
ある。図４において、ｆ（ｙｌ，｜ｅ｜）＝Ｋ・ｙｌ・
｜ｅ｜（ｙｌ・｜ｅ｜＜α'のとき）、ｆ（（ｙｌ，｜
ｅ｜）＝１（ｙｌ・｜ｅ｜＞＝α'のとき）である。
（α'は実際に調整を行い、オーバーシュートが発生し
ないで整定時間が短くなるときの値を決める。）本実施
例の特徴は、目標値までの応答が第１の実施例に比べて
速くなるということである。図５は本発明の請求項５、
６に関する第３の実施例を示す図である。図１と同じ符
号は説明を省略する。本実施例においては、可変ゲイン
機構５０１、５０２はともに位置偏差１０３の絶対値｜
ｅ｜とモータ１０６の回転角度位置信号１０８の関数と
して、それぞれのゲインの和が１となるように、それぞ
れのゲインが図４のように変化する（図４のｙｌをｙｍ
におきかえればよい）。本実施例の特徴は、目標値まで
の応答が第１の実施例に比べて速くなるということであ
る。図６は本発明の請求項７、８に関する第４の実施例
を示す図である。図１と同じ符号は説明を省略する。本
実施例においては、可変ゲイン機構６０１、６０２はと
もに位置偏差１０３の絶対値｜ｅ｜と速度制御器１０５
の出力であるトルク指令の関数として、それぞれのゲイ
ンの和が１となるように、それぞれのゲインが図４のよ
うに変化する（図４のｙｌをｔｒｑにおきかえればよ
い）。本実施例の特徴は、目標値までの応答が第１の実
施例に比べて速くなるということである。図３、５、６
のそれぞれの適用に関しては、機械とモータの構成につ
いては、位置偏差信号、トルク指令信号、モータ回転角
度位置信号、機械可動部信号で変化が顕著で、信号波形
にリップルや、ノイズ成分が乗りにくいものを選んで、
適用する。
【０００６】
【発明の効果】本発明によれば、オーバーシュートを小
さくし、位置決め時間を短縮できるので、工作機械など
で切削加工を行うときに、加工物に傷をつけることな
く、加工時間を短くできるという効果がある。
さくし、位置決め時間を短縮できるので、工作機械など
で切削加工を行うときに、加工物に傷をつけることな
く、加工時間を短くできるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例を示す図である。
【図２】モータ回転角度位置信号と機械可動部位置信号
とのフィードバックの配分量を決定する第１の関数であ
る。
とのフィードバックの配分量を決定する第１の関数であ
る。
【図３】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図４】モータ回転角度位置信号と機械可動部位置信号
とのフィードバックの配分量を決定する第２の関数であ
る。
とのフィードバックの配分量を決定する第２の関数であ
る。
【図５】本発明の第３の実施例を示す図である。
【図６】本発明の第４の実施例を示す図である。
【図７】従来の装置を説明するための図である。
１０１ 位置指令 １０２ 位置フィードバック信号 １０３ 位置偏差 １０４ 位置制御部 １０５ 速度制御部 １０６ モータ １０７ 機械可動部 １０８ モータの回転角度位置信号または可動部位置信
号 １０９ 機械可動部の位置信号 １１０、１１１、４０１、４０２、５０１、５０２、６
０１、６０２ 可変ゲイン機構 １１２ 絶対値回路
号 １０９ 機械可動部の位置信号 １１０、１１１、４０１、４０２、５０１、５０２、６
０１、６０２ 可変ゲイン機構 １１２ 絶対値回路
Claims (8)
- 【請求項１】 機械可動部の位置検出を行うとともに、
該機械可動部を駆動するモータの回転軸にモータ回転軸
角度位置検出装置を備えた位置制御系において、前記モ
ータ回転軸角度位置と前記機械可動部位置の各フィード
バック信号の大きさの割合を、位置偏差の大きさにより
決定するようにしたことを特徴とする位置制御方法。 - 【請求項２】 機械可動部の位置検出を行うとともに、
該機械可動部を駆動するモータの回転軸にモータ回転軸
角度位置検出装置を備えた位置制御系において、前記モ
ータ回転軸角度位置フィードバック信号を入力する第１
の可変ゲイン機構と、前記機械可動部位置フィードバッ
ク信号を入力し前記第１の可変ゲイン機構のゲインとの
和が１となるゲインを有する第２の可変ゲイン機構とを
備え、前記第１、第２の可変ゲイン機構の出力の和であ
る位置フィードバック信号と位置指令との偏差の絶対値
を出力する絶対値発生器とを備え、この絶対値発生器の
出力により前記第１、第２の可変ゲイン機構のゲインを
変えることを特徴とする位置制御装置。 - 【請求項３】 機械可動部の位置検出を行うとともに、
該機械可動部を駆動するモータの回転軸にモータ回転軸
角度位置検出装置を備えた位置制御系において、前記モ
ータ回転軸角度位置と前記機械可動部位置の各フィード
バック信号の大きさの割合を、位置偏差の大きさおよび
前記機械可動部の位置により決定するようにしたことを
特徴とする位置制御方法。 - 【請求項４】 機械可動部の位置検出を行うとともに、
該機械可動部を駆動するモータの回転軸にモータ回転軸
角度位置検出装置を備えた位置制御系において、前記モ
ータ回転軸角度位置フィードバック信号を入力する第３
の可変ゲイン機構と、前記機械可動部位置フィードバッ
ク信号を入力し前記第１の可変ゲイン機構のゲインとの
和が１となるゲインを有する第４の可変ゲイン機構とを
備え、前記第３、第４の可変ゲイン機構の出力の和であ
る位置フィードバック信号と位置指令との偏差の絶対値
を出力する絶対値発生器とを備え、この絶対値発生器の
出力および前記機械可動部の位置により前記第３、第４
の可変ゲイン機構のゲインを変えることを特徴とする位
置制御装置。 - 【請求項５】 機械可動部の位置検出を行うとともに、
該機械可動部を駆動するモータの回転軸にモータ回転軸
角度位置検出装置を備えた位置制御系において、前記モ
ータ回転軸角度位置と前記機械可動部位置の各フィード
バック信号の大きさの割合を、位置偏差の大きさおよび
前記モータの回転軸の位置により決定するようにしたこ
とを特徴とする位置制御方法。 - 【請求項６】 機械可動部の位置検出を行うとともに、
該機械可動部を駆動するモータの回転軸にモータ回転軸
角度位置検出装置を備えた位置制御系において、前記モ
ータ回転軸角度位置フィードバック信号を入力する第５
の可変ゲイン機構と、前記機械可動部位置フィードバッ
ク信号を入力し前記第１の可変ゲイン機構のゲインとの
和が１となるゲインを有する第６の可変ゲイン機構とを
備え、前記第５、第６の可変ゲイン機構の出力の和であ
る位置フィードバック信号と位置指令との偏差の絶対値
を出力する絶対値発生器とを備え、この絶対値発生器の
出力および前記モータの回転軸の位置により前記第５、
第６の可変ゲイン機構のゲインを変えることを特徴とす
る位置制御装置。 - 【請求項７】 機械可動部の位置検出を行うとともに、
該機械可動部を駆動するモータの回転軸にモータ回転軸
角度位置検出装置を備えた位置制御系において、前記モ
ータ回転軸角度位置と前記機械可動部位置の各フィード
バック信号の大きさの割合を、位置偏差の大きさおよび
トルク指令により決定するようにしたことを特徴とする
位置制御方法。 - 【請求項８】 機械可動部の位置検出を行うとともに、
該機械可動部を駆動するモータの回転軸にモータ回転軸
角度位置検出装置を備えた位置制御系において、前記モ
ータ回転軸角度位置フィードバック信号を入力する第７
の可変ゲイン機構と、前記機械可動部位置フィードバッ
ク信号を入力し前記第１の可変ゲイン機構のゲインとの
和が１となるゲインを有する第８の可変ゲイン機構とを
備え、前記第７、第８の可変ゲイン機構の出力の和であ
る位置フィードバック信号と位置指令との偏差の絶対値
を出力する絶対値発生器とを備え、この絶対値発生器の
出力およびトルク指令により前記第７、第８の可変ゲイ
ン機構のゲインを変えることを特徴とする位置制御装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10260209A JP2000089829A (ja) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | 位置制御方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10260209A JP2000089829A (ja) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | 位置制御方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000089829A true JP2000089829A (ja) | 2000-03-31 |
Family
ID=17344870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10260209A Abandoned JP2000089829A (ja) | 1998-09-14 | 1998-09-14 | 位置制御方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000089829A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006094668A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Yaskawa Electric Corp | サーボ制御装置およびその制御方法 |
| JP2007309684A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Mitsutoyo Corp | 測定制御装置、表面性状測定装置、および、測定制御方法 |
| JP2009237821A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | 位置制御装置 |
| JP2016001430A (ja) * | 2014-06-12 | 2016-01-07 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 位置制御装置及び位置制御方法 |
| CN109002062A (zh) * | 2017-06-06 | 2018-12-14 | 发那科株式会社 | 伺服电动机控制装置 |
-
1998
- 1998-09-14 JP JP10260209A patent/JP2000089829A/ja not_active Abandoned
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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