JP2000071453A - インクジェットヘッド用駆動装置及び該駆動装置を備えたインクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パルス電圧を活用して、異なる径のインク滴
を安定して吐出する。 【解決手段】 ３μｍの圧電素子と２μｍの振動板と
０．１μｍの個別電極とを積層して成るアクチュエータ
を備える。アクチュエータの固有振動数が低いので、ア
クチュエータはパルス電圧の印加から遅れて変位する。
駆動回路は、アクチュエータの固有周期λの１／４より
も小さなパルス幅を有する第１パルス電圧P1と、第１パ
ルス電圧P1よりもパルス幅の小さな第２パルス電圧P2と
を選択的に圧電素子に印加する。両パルス電圧P1,P2の
電圧値は等しい。アクチュエータは、第１パルス電圧P1
を印加されると変位Ｌ１まで変位して大径のインク滴を
吐出し、第２パルス電圧P2を印加されると変位Ｌ２（＜
Ｌ１）まで変位し、小径のインク滴を吐出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッド用駆動装置及びインクジェットヘッドに係り、特
に、圧電素子に電圧を印加することにより、同一のノズ
ルから異なる径のインク滴を吐出させることのできるイ
ンクジェットヘッド及びその駆動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、圧電素子の圧電効果を利用し
て圧力室を収縮または膨張させ、当該圧力室内のインク
をノズルから吐出するようにしたインクジェットヘッド
が知られている。この種のインクジェットヘッドでは、
圧電素子に対し異なるレベルの電圧を印加することによ
って、異なる径のインク滴を吐出可能とし、これによ
り、階調性の高い高品質な印刷を実現している。

【０００３】例えば、特開平１０−８１０１２号公報に
は、図９に示すように、圧電素子に対して電圧値の大き
な第１パルス電圧V1と電圧値の小さな第２パルス電圧V2
とを選択的に印加することにより、同一のノズルから径
の異なるインク滴を吐出させるようにしたインクジェッ
トヘッドが開示されている。

【０００４】しかし、径の大きなインク滴を吐出するた
めには、比較的高い電圧値のパルス電圧を圧電素子に印
加する必要がある。ところが、高電圧領域での電圧値の
制御は難しく、また、高電圧用の電気回路や電圧の昇圧
装置は高価である。そのため、電圧値の大小に基づいて
インク滴の径を調節するインクジェットヘッドの駆動装
置は、高価なものになっていた。そこで、特開平１０−
１５１７７０号公報では、図１０に示すように、電圧値
が一定の１または２以上のパルス電圧を印加することと
し、一印刷周期中に印加するパルス電圧の数を変更する
ことにより、径の異なるインク滴を吐出させる方法が提
案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記特開平１
０−１５１７７０号公報に開示されたインクジェットヘ
ッドでは、パルス電圧の数だけ圧電素子が周期的な変位
動作を繰り返すため、実際には大径のインク滴を安定し
て吐出することが困難であった。例えば、一印刷周期中
に５つのパルス電圧を印加する場合には、圧電素子は一
印刷周期中に５周期の変位動作を行うことになる。しか
し、図１１に示すように、圧電素子が一周期変位する毎
に、ノズルから吐出されたインク滴dは根本部がくびれ
た状態になる。そのため、５周期の変位動作を完了する
以前（例えば３周期目の変位を終了した時点等）に、イ
ンク滴の先端部分が慣性力によって飛散してしまい、イ
ンク滴が分断されて所定サイズのインク滴を形成するこ
とが困難であった。

【０００６】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、パルス電圧を活用し
つつ、異なる径のインク滴を安定して吐出できるインク
ジェットヘッド及びその駆動装置を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、圧電素子を備えたアクチュエータを、パ
ルス電圧の印加開始時から遅れて変位させ、上記アクチ
ュエータの固有周期の１／４以下のパルス幅を有するパ
ルス電圧を有効利用することとした。

【０００８】具体的には、第１の発明は、圧電素子に電
圧を印加することにより該圧電素子を備えたアクチュエ
ータを変位させ、ノズルからインク滴を吐出させるイン
クジェットヘッド用駆動装置であって、上記アクチュエ
ータの一次固有周期の１／４未満のパルス幅を有し、第
１の径のインク滴を吐出させるための第１パルス電圧
と、該第１パルス電圧よりもパルス幅が長く、該第１の
径よりも大きな第２の径のインク滴を吐出させるための
第２パルス電圧とを少なくとも含む複数種類のパルス電
圧を出力自在なパルス電圧発生手段と、上記ノズルから
吐出されるインク滴の径が変更されるように、上記パル
ス電圧発生手段が出力する複数種類のパルス電圧のいず
れか一つを選択して上記圧電素子に印加するパルス電圧
印加手段とを備えていることとしたものである。

【０００９】上記事項により、パルス電圧発生手段は、
第１パルス電圧と第２パルス電圧とを含む複数種類のパ
ルス電圧を出力する。ここで、第１パルス電圧のパルス
幅はアクチュエータの固有周期の１／４未満であるの
で、アクチュエータの変位は、パルス幅に応じて異なる
ことになる。そのため、印加するパルス電圧のパルス幅
に応じてインク滴の吐出量が異なり、その径も異なるこ
とになる。そこで、比較的小さな第１の径のインク滴を
吐出させる場合には、パルス電圧印加手段は、パルス電
圧発生手段が発生した第１パルス電圧を選択し、当該第
１パルス電圧を圧電素子に印加する。これにより、アク
チュエータが変位動作を行い、ノズルから比較的小径の
インク滴が吐出される。その結果、用紙等の記録媒体に
小径のドットが印字されることになる。一方、比較的大
きな第２の径のインク滴を吐出させる場合には、パルス
電圧印加手段は、パルス電圧発生手段が発生した第２パ
ルス電圧を選択し、当該第２パルス電圧を圧電素子に印
加する。これにより、アクチュエータが変位動作を行
い、ノズルから比較的大径のインク滴が吐出される。そ
の結果、記録媒体に大径のドットが印字されることにな
る。このように、パルス電圧印加手段が複数種類のパル
ス電圧を選択的に圧電素子に印加することにより、吐出
前のインクが中途部分でくびれることなく、同一のノズ
ルから異なる径のインク滴が吐出されることになる。

【００１０】第２の発明は、圧電素子に電圧を印加する
ことにより該圧電素子を備えたアクチュエータを変位さ
せ、ノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘ
ッド用駆動装置であって、第１のパルス幅を有し、上記
アクチュエータに所定の第１変位を生じさせるための第
１パルス電圧と、該第１パルス電圧よりもパルス幅が長
く、該アクチュエータに該第１変位よりも大きな所定の
第２変位を生じさせるための第２パルス電圧とを少なく
とも含む電圧値の等しい複数種類のパルス電圧を出力自
在なパルス電圧発生手段と、上記アクチュエータの変位
を変更することにより上記ノズルから吐出するインク滴
の径が変更されるように、上記パルス電圧発生手段が出
力する複数種類のパルス電圧のいずれか一つを選択して
上記圧電素子に印加するパルス電圧印加手段とを備えて
いることとしたものである。

【００１１】上記事項により、パルス電圧発生手段は、
第１パルス電圧と第２パルス電圧とを含む電圧値の等し
い複数種類のパルス電圧を出力する。比較的小径のイン
ク滴を吐出させる場合には、パルス電圧印加手段は、パ
ルス電圧発生手段が発生した第１パルス電圧を選択し、
当該第１パルス電圧を圧電素子に印加する。これによ
り、アクチュエータが第１変位を伴う変位動作を行い、
ノズルから比較的小径のインク滴が吐出される。その結
果、用紙等の記録媒体に小径のドットが印字されること
になる。一方、比較的大径のインク滴を吐出させる場合
には、パルス電圧印加手段は、パルス電圧発生手段が発
生した第２パルス電圧を選択し、当該第２パルス電圧を
圧電素子に印加する。これにより、アクチュエータが第
２変位を伴う変位動作を行い、ノズルから比較的大径の
インク滴が吐出される。その結果、記録媒体に大径のド
ットが印字されることになる。このように、パルス電圧
印加手段が電圧値の等しい複数種類のパルス電圧を選択
的に圧電素子に印加することにより、同一のノズルから
異なる径のインク滴が吐出されることになる。そして、
各パルス電圧の電圧値はすべて等しいため、駆動装置は
容易かつ安価に構成される。

【００１２】第３の発明は、圧電素子に電圧を印加する
ことにより該圧電素子を備えたアクチュエータを変位さ
せ、ノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘ
ッド用駆動装置であって、上記アクチュエータの一周期
の変位動作中に複数のパルス電圧を出力自在なパルス電
圧発生手段と、上記ノズルから吐出されるインク滴の径
が所定値になるように、上記アクチュエータの一周期の
変位動作中に上記パルス電圧発生手段から出力されるパ
ルス電圧の数を調節し、該パルス電圧を上記圧電素子に
印加するパルス電圧印加手段とを備えていることとした
ものである。

【００１３】上記事項により、パルス電圧発生手段は、
アクチュエータの一周期の変位動作中に複数のパルス電
圧を出力する。パルス電圧印加手段は、ノズルから吐出
するインク滴の径が所定値になるように、パルス電圧発
生手段が出力する複数のパルス電圧を圧電素子に印加す
る。その結果、アクチュエータはパルス数に応じた変位
量を伴う一周期の変位動作を行い、所定径のインク滴を
吐出する。

【００１４】第４の発明は、上記第３の発明において、
パルス電圧発生手段は、２以上のパルス電圧から成る第
１パルス電圧群と、１または２以上のパルス電圧から成
る第２パルス電圧群とを少なくとも含む複数種類のパル
ス電圧群を出力自在に構成され、パルス電圧印加手段
は、ノズルから吐出されるインク滴の径が変更されるよ
うに、上記パルス電圧発生手段が出力する複数種類のパ
ルス電圧群のいずれか一つを選択して上記アクチュエー
タの一周期の変位動作中に上記圧電素子に印加するよう
に構成されていることとしたものである。

【００１５】上記事項により、吐出すべきインク滴の吐
出量に応じて、パルス電圧発生手段が複数種類のパルス
電圧群から所定のパルス電圧群を選択し、当該パルス電
圧群を圧電素子に印加する。その結果、アクチュエータ
は、印加されたパルス電圧群に含まれるパルス電圧の数
に応じた変位量を伴う変位動作を行い、当該変位量に応
じた径のインク滴を吐出することになる。従って、選択
するパルス電圧群を変更することにより、同一のノズル
から異なる径のインク滴が吐出されることになる。

【００１６】第５の発明は、上記第４の発明において、
パルス電圧発生手段が出力する複数種類のパルス電圧群
は、インク滴の吐出速度が所定の一定値になるように設
定されているいることとしたものである。

【００１７】上記事項により、複数種類のパルス電圧群
のうちいずれのパルス電圧群を印加した場合であって
も、ノズルから吐出されるインク滴の吐出速度は所定の
一定値になる。従って、インク滴の径の違いによる着弾
位置のずれの発生が回避され、高品質の印刷が行われ
る。

【００１８】第６の発明は、上記第５の発明において、
パルス電圧発生手段が出力する複数種類のパルス電圧群
は、アクチュエータの変位の増加時における各パルス電
圧の時間積分値の合計が、目標吐出速度に応じた所定値
になるように設定されていることとしたものである。

【００１９】上記事項により、アクチュエータの変位増
加時における複数のパルス電圧の間隔や各パルス幅を変
更等して、当該複数のパルス電圧の時間積分値の合計を
調節することにより、インク滴の吐出速度が調節される
ことになる。

【００２０】第７の発明は、上記第３の発明において、
パルス電圧発生手段が出力する複数のパルス電圧は、ア
クチュエータの変位の減少時における各パルス電圧の時
間積分値の合計が、メニスカス振動を抑制するように設
定された所定値になるように設定されていることとした
ものである。

【００２１】上記事項により、インク滴の吐出直後、す
なわちアクチュエータの変位が減少する際に、複数のパ
ルス電圧の各時間積分値の合計が所定値であるようなパ
ルス電圧が印加され、アクチュエータの急激な変位動作
が緩和される。従って、インクのメニスカス振動が抑制
され、サテライトの発生等が防止される。その結果、高
品質の印刷が実行されることになる。

【００２２】第８の発明は、上記第３〜第７のいずれか
一の発明において、パルス電圧発生手段は、電圧値が等
しくかつパルス幅の異なる複数のパルス電圧を出力する
ように構成されていることとしたものである。

【００２３】上記事項により、パルス電圧の電圧値の制
御が不要となるので、パルス電圧発生手段が容易かつ安
価に構成されることになる。

【００２４】第９の発明は、上記第３〜第７のいずれか
一の発明において、パルス電圧発生手段は、電圧値が等
しくかつパルス幅が等しい複数のパルス電圧を出力する
ように構成されていることとしたものである。

【００２５】上記事項により、パルス電圧の電圧値及び
パルス幅の制御が不要となるので、パルス電圧発生手段
が極めて容易かつ安価に構成されることになる。

【００２６】第１０の発明は、上記第１、２または４の
いずれか一の発明において、アクチュエータの各周期の
変位動作における最終の印加パルス電圧の印加終了時が
所定の一定周期となるように、パルス電圧発生手段のパ
ルス電圧の出力開始時を調節する開始時調節手段を備え
ていることとしたものである。

【００２７】上記事項により、パルス電圧発生手段が出
力するパルス電圧は一定の周期で終了するため、パルス
電圧の種類に拘わらず、パルス電圧の印加終了時に基づ
いて、その後の処理を進めることができる。

【００２８】第１１の発明は、上記第１〜第１０のいず
れか一の発明において、パルス電圧発生手段は、矩形パ
ルス電圧を出力するように構成されていることとしたも
のである。

【００２９】上記事項により、パルス電圧発生手段が簡
易かつ安価に構成されることになる。

【００３０】第１２の発明は、インクジェットヘッドで
あって、上記第１〜第１１のいずれか一の発明に係るイ
ンクジェットヘッドの駆動装置と、薄さが０．５μｍ〜
５．０μｍの薄膜ＰＺＴから成る圧電素子を有するアク
チュエータとを備えていることとしたものである。

【００３１】上記事項により、アクチュエータは電圧印
加開始時から遅れて変位しやすくなり、上記第１〜第１
１の発明が容易に実現される。

【００３２】第１３の発明は、インクジェットヘッドで
あって、上記第１〜第１１のいずれか一の発明に係るイ
ンクジェットヘッドの駆動装置と、一次の固有振動数が
５０ｋＨｚ〜５００ｋＨｚであるアクチュエータとを備
えていることとしたものである。

【００３３】上記事項により、アクチュエータは電圧印
加開始時から遅れて変位しやすくなり、上記第１〜第１
１の発明が容易に実現される。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。

【００３５】＜第１実施形態＞図１〜図３に示すよう
に、本実施形態に係るインクジェットヘッド1は、いわ
ゆるたわみ振動型の圧電素子13を用いたインクジェット
ヘッドである。すなわち、インクジェットヘッド1は、
圧電素子13に電圧を印加することによって当該圧電素子
13にたわみ変形を行わせて圧力室4を収縮または膨張さ
せ、これに伴う圧力室4の圧力変化によって、ノズル開
口2からインク滴を吐出するものである。

【００３６】−インクジェットヘッド1の構成− インクジェットヘッド1は、イエローヘッド、マゼンダ
ヘッド、シアンヘッド、及びブラックヘッドの合計４色
のヘッドを備え、各ヘッドからそれぞれの色のインク滴
を吐出するように構成されている。図１は、一色分のイ
ンクを吐出する一ヘッドの部分平面図である。

【００３７】図１に示すように、インクジェットヘッド
1の各ヘッドは、副走査方向（図１に示すＹ方向）に互
いに所定間隔を存して配設された６４個のノズル開口2
を備えている。インクジェットヘッド1は図示しないキ
ャリッジに取り付けられ、当該キャリッジと共に主走査
方向（図１に示すＸ方向）へ移動しつつ、所定の印刷周
期毎に各ノズル開口2から小径または大径のインク滴を
吐出して記録を行う。

【００３８】圧力室4は、各ノズル開口2に対し一つづつ
設けられ、インクジェットヘッド1の内部に区画形成さ
れている。圧力室4は主走査方向に延びる長溝状に形成
され、隣り合う圧力室4と平行に配設されている。各ノ
ズル開口2は、各圧力室4の右端部に形成されている。ヘ
ッド１の内部における圧力室4の左側には、副走査方向
にわたって延びるインク供給室3が区画形成されてい
る。インク供給室3と各圧力室4との間にはインク供給路
5がそれぞれ形成され、インク供給室3と各圧力室4とは
上記インク供給路5を通じて連通している。

【００３９】図２に示すように、インクジェットヘッド
1は、ノズル開口2が形成されたノズルプレート6と、圧
力室4及びインク供給路5を区画形成する区画壁7と、ア
クチュエータ10とが順に積層されて構成されている。ノ
ズルプレート6は厚さ２０μｍのポリイミド板、区画壁7
はステンレスのラミネート板（厚さ２８０μｍ）によっ
てそれぞれ形成されている。図３及び図４に誇張して示
すように、アクチュエータ10は、振動板11、圧電素子13
及び個別電極14が順に積層されて構成されている。振動
板11は、２μｍのクロム（Ｃｒ）で形成されており、共
通電極としても機能する。圧電素子13は、超薄型の圧電
素子であり、具体的には３μｍのＰＺＴ（ジルコル酸チ
タン酸鉛）で形成されている。また、圧電素子13が超薄
型であることから、アクチュエータ10の全体も、従来に
比べて極めて薄く構成されている。具体的には、個別電
極14が０．１μｍの白金（Ｐｔ）電極で形成されている
ことから、アクチュエータ10の全体の厚さは、約５μｍ
程度になっている。このため、本インクジェットヘッド
1のアクチュエータ10は、厚さ９μｍ以上の従来のアク
チュエータに比べて、たわみ剛性が低く、一次の固有振
動数が低い。言い換えると、従来のアクチュエータに比
べて、一次の固有周期が長い。なお、ここで言うアクチ
ュエータの一次固有振動数とは、厳密に言うと、圧力室
4内に存在するインクを含んだ系の一次固有振動数であ
る。

【００４０】なお、アクチュエータ10は、パルス電圧の
印加開始時から遅れて変位するように構成されていれば
よいが、特に、その一次固有振動数が５０ｋＨｚ以上か
つ５００ｋＨｚ以下に構成されていることが好ましく、
さらには、１５０ｋＨｚ以上かつ２５０ｋＨｚ以下に構
成されていることがより一層好ましい。本実施形態で
は、アクチュエータ10の一次固有振動数は約２００ｋＨ
ｚである。

【００４１】また、圧電素子13の薄さは０．５μｍ以上
かつ５μｍ以下が好ましく、２μｍ以上かつ４μｍ以下
がより一層好ましい。

【００４２】−駆動装置20の構成− 次に、図５のブロック図を参照しながら、駆動装置20の
構成を説明する。駆動装置20は、ＣＰＵから成る制御部
21と、各種データ処理のためのルーチン等を記憶したＲ
ＯＭ22と、各種データの記憶等を行うＲＡＭ23と、記録
用紙の紙送りを行う搬送モータ26やキャリッジモータ28
を駆動するためのモータ制御回路24と、印刷データを受
信するデータ受信回路29と、駆動信号部30とを備えてい
る。モータ制御回路24と搬送モータ26との間及びモータ
制御回路24とキャリッジモータ28との間には、それぞれ
ドライバ25,27が設けられている。

【００４３】駆動信号部30は、大径のインク滴を吐出さ
せるための第１パルス電圧と、小径のインク滴を吐出さ
せるための第２パルス電圧とを発生するように構成され
た回路である。図６に示すように、第１パルス電圧P1及
び第２パルス電圧P2はいずれも矩形パルス電圧であり、
互いの電圧値は等しいが、パルス幅は異なっている。具
体的には、第２パルス電圧P2のパルス幅Ｗ₂＝ｔ_E−ｔ₂
は、第１パルス電圧P1のパルス幅Ｗ₁＝ｔ_E−ｔ₁よりも
長い。本実施形態では、第１パルス電圧P1は約５ｐｌの
インク滴を吐出するように設定され、第２パルス電圧P2
は約１５ｐｌのインク滴を吐出するように設定されてい
る。

【００４４】図５に示すように、駆動信号部30は、第１
パルス信号開始回路31、第２パルス信号開始回路32、第
１パルス信号発生回路33、第２パルス信号発生回路34、
選択回路35a,35b,35c,…、及び増幅回路36a,36b,36c,…
を備えている。パルス信号開始回路31,32は、本発明で
言うところの「開始時調節手段」に対応し、パルス信号
発生回路33,34は、本発明で言うところの「パルス電圧
発生手段」に対応し、選択回路35a,35b,35c,…及び増幅
回路36a,36b,36c,…は、本発明で言うところの「パルス
電圧印加手段」に対応する。

【００４５】第１パルス信号開始回路31は、第１パルス
電圧の発生開始時間になると所定の第１信号を出力する
回路であり、第２パルス信号開始回路32は、第２パルス
電圧の発生開始時間になると所定の第２信号を出力する
回路である。両パルス電圧P1,P2の発生開始時間は、パ
ルス幅の異なる第１パルス電圧P1及び第２パルス電圧P2
の印加終了時ｔ_Eが共に等しくなるように、第２パルス
電圧P2の発生開始時間が第１パルス電圧P1の発生開始時
間よりも遅く設定されている。

【００４６】第１パルス信号発生回路33は、第１パルス
信号開始回路31から上記第１信号を入力すると第１パル
ス電圧P1を発生する回路である。同様に、第２パルス信
号発生回路34は、第２パルス信号開始回路32から上記第
２信号を入力すると第２パルス電圧P2を発生する回路で
ある。

【００４７】選択回路35a,35b,35c,…は、第１パルス信
号発生回路33からの第１パルス電圧P1、及び第２パルス
信号発生回路34からの第２パルス電圧P2を、選択的に各
圧電素子13a,13b,13c,…に印加するための回路であり、
各印刷周期毎に、吐出すべきインク滴の大きさに応じて
第１パルス電圧P1または第２パルス電圧P2のいずれかを
選択するように構成されている。増幅回路36a,36b,36c,
…はパルス電圧を増幅して各圧電素子13a,13b,13c,…に
供給する回路であり、選択回路35a,35b,35c,…と圧電素
子13a,13b,13c,…との間にそれぞれ設けられている。

【００４８】−パルス電圧とアクチュエータ10の変位と
の関係− 次に、パルス電圧とアクチュエータ10の変位との関係を
説明する。上述したように、本インクジェットヘッド1
のアクチュエータ10は、従来に比べて極めて薄型である
ことから、一次の固有振動数が小さい。そのため、従来
のアクチュエータは印加パルス電圧に瞬時に追従して変
位していたが、本アクチュエータ10は、パルス電圧の印
加開始時から遅れて変位することになる。なお、ここで
は、圧力室4を収縮させる方向に変位することを「正方
向の変位」、圧力室4を膨張させる方向に変位すること
を「負方向の変位」ということとする。従って、図２に
おいて、下方向への変位が正方向の変位に対応し、上方
向の変位が負方向の変位に対応する。

【００４９】図６（ｂ）に示すように、パルス電圧のパ
ルス幅Ｗ２がアクチュエータ10の一次の固有周期λ（固
有振動数の逆数。以下、単に「固有周期」と称する）の
１／４以上の場合は、一点鎖線で示すアクチュエータ10
の変位は、パルス電圧印加後λ／４の時点で電圧Ｖに対
応した第２変位Ｌ２に達し、その後、パルス電圧の印加
が終了するまで振動する。一方、図６（ａ）に示すよう
に、パルス幅Ｗ１が固有周期λの１／４未満の場合は、
アクチュエータ10は電圧Ｖに対応した第２変位Ｌ２にま
では変位せず、第２変位Ｌ２よりも小さな第１変位Ｌ１
だけ変位することになる。つまり、固有振動数の大きな
従来のアクチュエータでは、その変位量は、印加パルス
電圧の電圧値によって一義的に定まっていた。そのた
め、従来は、上記変位量を印加電圧の電圧値を変更する
ことにより調節していた。これに対し、本実施形態で
は、アクチュエータ10の変位量はパルス電圧の電圧値だ
けでは定まらず、パルス幅によっても異なってくる。そ
こで、本実施形態では、パルス電圧の電圧値は一定と
し、パルス幅を変更することにより、アクチュエータ10
の変位量を調節することとしている。

【００５０】また、本実施形態では、以下の理由によ
り、第１パルス電圧P1の印加終了時ｔ_Eは、印加開始時
ｔ１からλ／４よりも遅い時間に設定されている。すな
わち、アクチュエータ10を第２変位Ｌ２にまで変位させ
るのであれば、印加パルス電圧のパルス幅はλ／４で十
分である。しかし、本アクチュエータ10は固有振動数が
小さいことから、λ／４の時点で電圧の印加を終了する
と、圧電素子13は第２変位Ｌ２の位置から振動すること
になり、その振幅が大きくなってしまう。圧電素子13の
振幅が大きいと、ノズル開口2におけるインクのメニス
カス振動が大きくなる。そこで、本実施形態では、固有
周期λの１／４を越えてもパルス信号を印加し続け、圧
電素子13の変位が第２変位Ｌ２よりも小さくなった時点
で印加を終了することにしている。このことにより、パ
ルス信号を印加し続けた分、圧電素子13は変位の小さな
時点から振動を始めることになり、圧電素子13の振動が
抑制されて、インクのメニスカスは安定することにな
る。

【００５１】なお、パルス信号の印加終了時点は固有周
期λの１／４よりも遅ければよいが、アクチュエータ10
の変位曲線の増加率が低下する時点（図６（ｂ）の点Ｂ
〜点Ｄ間）、つまり変位曲線の２階微分の値が正である
時点がより好ましい。この場合は、アクチュエータ10の
変位自体が相対的に小さく、さらに、変位速度が増加す
る傾向にあるからである。振動は変位が減少する方向、
すなわち負方向の変位から始まるため、変位速度が増加
する傾向にあると、振動の初速度は小さくなる。

【００５２】また、変位曲線がいったん減少してから再
び増加し始める時点（点Ｃ〜点Ｄ間）も好ましい。この
場合もアクチュエータ10の変位自体が相対的に小さく、
さらに、アクチュエータ10は変位が増加する傾向にある
からである。より好適には、アクチュエータ10の変位速
度がゼロになる時点（点Ｄ）、すなわち、減少した変位
が再び増加する直前が望ましい。この場合、アクチュエ
ータ10の変位速度がゼロであることに加え、振動中のア
クチュエータ10の変位が最小となるからである。本実施
形態の第２パルス電圧P2では、アクチュエータ10の変位
速度がゼロになる時点でパルス信号の印加を終了するこ
ととしている。

【００５３】−駆動装置20の動作− 次に、図５及び図７を参照しながら、大径のインク滴
（以下、「大インク滴」と称する）と小径のインク滴
（以下、「小インク滴」と称する）とを適宜選択して吐
出することにより、記録用紙に多階調表現を行うインク
ジェットヘッド1の駆動方法の一例を説明する。

【００５４】図７（ａ）は第１圧電素子13aに印加され
るパルス電圧群、図７（ｂ）は第２圧電素子13bに印加
されるパルス電圧群を示す。所定の印刷周期ｔｃ毎にイ
ンク滴が吐出されるように、パルス電圧群の各パルス電
圧は、印刷周期ｔｃ毎に印加される。第２パルス電圧P2
は、各印刷周期の開始時から印加され始め、所定の終了
時ｔ_Eまで印加される。一方、第１パルス電圧P1は、印
刷周期の開始時から所定時間ｔ１経過時に印加され始
め、上記終了時ｔ_Eまで印加される。つまり、第１パル
ス電圧P1と第２パルス電圧P2とは、パルス幅が異なる
が、終了時点は等しい。

【００５５】図５に示すデータ受信回路29が画像データ
を受信すると、制御部21がＲＯＭ22に記憶された処理ル
ーチンを参照しながら、モータ制御回路24を介して搬送
モータ26及びキャリッジモータ28を制御する。第１パル
ス信号発生回路33及び第２パルス信号発生回路34は、そ
れぞれ第１パルス電圧P1及び第２パルス電圧P2を発生す
る。制御部21は、また、上記画像データに基づいて、各
選択回路35a,35b,35c,…に選択すべきパルス電圧の情報
を出力する。

【００５６】各選択回路35a,35b,35c,…は、上記情報に
基づいて、第１パルス電圧P1または第２パルス電圧P2の
いずれか一つを各増幅回路36a,36b,36c,…に出力する。
各増幅回路36a,36b,36c,…は、入力されたパルス電圧を
増幅して、各圧電素子13a,13b,13c,…に印加する。

【００５７】その結果、図７（ａ）に示すように、第１
圧電素子13aには、第２パルス電圧P2、第２パルス電圧P
2、第１パルス電圧P1、…の順にパルス電圧が印加され
るので、第１圧電素子13aに対応する第１ノズルから
は、大インク滴、大インク滴、小インク滴、…の順にイ
ンク滴が吐出される。一方、第２圧電素子13bには、第
２パルス電圧P2、第１パルス電圧P1、第１パルス電圧P
1、…の順にパルス電圧が印加されるので、第２圧電素
子13bに対応する第２ノズルからは、大インク滴、小イ
ンク滴、小インク滴、…の順にインク滴が吐出される。

【００５８】−第１実施形態の効果−以上のように、第
１実施形態によれば、異なるパルス幅を有する第１パル
ス電圧P1と第２パルス電圧P2とを圧電素子13に対し選択
的に印加することにより、同一のノズルから大インク滴
と小インク滴とを選択的に吐出させることができる。ま
た、印加するパルス電圧のパルス幅を調節することによ
り、様々な径のインク滴を吐出させることが可能とな
る。従って、インク滴の大きさに応じて印加電圧の電圧
値を調節する必要がないので、電圧値を調節するための
複雑な制御が不要である。そのため、駆動装置20は簡易
かつ安価に構成されており、多階調の記録を容易に実行
することができる。

【００５９】第１パルス電圧P1の開始時と第２パルス電
圧P2の印加開始時とをずらすことにより、両パルス電圧
P1,P2の終了時間を揃えることとしたので、パルス電圧
の印加終了時に基づいてその後の処理を実行することが
できる。

【００６０】固有振動数が小さいというアクチュエータ
10の特性を考慮して、第１パルス電圧P1の印加終了時を
アクチュエータ10の固有周期λの１／４よりも遅い時点
に設定しているので、アクチュエータ10の変位が第２変
位Ｌ２（最大の変位）よりも小さな状態で電圧印加を終
了することができ、インクのメニスカス振動を抑制する
ことができる。従って、サテライトの発生等を防止する
ことができ、印刷品質を向上させることができる。

【００６１】−変形例− 上記第１実施形態では、大インク滴及び小インク滴の２
種類のインク滴を吐出可能なように、２種類のパルス電
圧を選択的に印加することとしたが、３種類以上のイン
ク滴を選択的に吐出するように、パルス幅の異なる３種
類以上のパルス電圧を発生させ、印加させるように構成
してもよいことは勿論である。

【００６２】また、上記第１実施形態では、発生容易な
矩形パルス電圧を用いたが、圧電素子13に印加するパル
ス電圧は矩形パルス電圧に限定されるものではなく、様
々な波形のパルス電圧を利用することが可能である。例
えば、時間遅れを伴って立ち上がる台形波や、時間遅れ
を伴って立ち下がる台形波等であってもよい。

【００６３】パルス電圧の電圧値は一定であることが望
ましいが、駆動装置20の構成が簡易かつ安価である限
り、パルス電圧毎に電圧値が異なっていてもよい。

【００６４】＜第２実施形態＞第２実施形態は、パルス
電圧の数を調節することにより、アクチュエータ10の変
位量だけでなく、変位速度も調節可能にしたものであ
る。

【００６５】インクジェットヘッド1及び駆動装置20の
構成は実施形態１と同様である。従って、アクチュエー
タ10の一次固有振動数は低く、固有周期は長い。これに
より、本インクジェットヘッド1は、アクチュエータ10
の一周期の変位動作中に、圧電素子13に対し複数の小パ
ルス電圧を印加することが容易な構成となっている。

【００６６】−パルス電圧の数とアクチュエータ10の変
位との関係− アクチュエータ10の固有周期が長いことから、本駆動装
置20は、圧電素子13に印加するパルス電圧の数、パルス
幅、またはパルス電圧間の間隔等を調節することによ
り、アクチュエータ10の変位量だけでなく、その変位速
度も調節することができる。

【００６７】ここで、アクチュエータ10の変位速度の調
節原理を説明する。パルス電圧を印加すると、圧電素子
13が正方向に変位する力を受けるため、アクチュエータ
10は正方向に変位する。その後、パルス電圧の印加を停
止すると、圧電素子13は外力を受けないが、停止直後は
アクチュエータ10は慣性力を有しているので、正方向へ
の変位を続けることになる。ただし、パルス電圧の印加
を停止した後は、印加中に比べて変位速度は減少してい
る。従って、いったん印加を停止した後、微小時間経過
後に再び電圧を印加すると、アクチュエータ10の変位は
減少することなく、緩やかに増加していくことになる。

【００６８】このような原理を利用して、本駆動装置20
は、アクチュエータ10を急速に正方向に変位させる場合
には、パルス幅の大きなパルス電圧を印加するか、ある
いはパルス電圧の間隔を短くすることとしている。一
方、アクチュエータ10を正方向に緩やかに変位させる場
合には、パルス幅の短いパルス電圧を印加するか、ある
いはパルス電圧の間隔を長くすることとしている。

【００６９】また、同様にして、アクチュエータ10を急
速に負方向に変位させる場合には、アクチュエータ10の
変位が減少し始めた後に、パルス電圧の印加は行わない
こととしている。一方、アクチュエータ10を負方向に穏
やかに変位させる場合には、アクチュエータ10が負方向
に変位している際に、アクチュエータ10が正方向に変位
しない程度のパルス幅の短いパルス電圧を印加すること
としている。

【００７０】具体的には、第２実施形態では、図８
（ａ）及び（ｂ）に示すように、所定間隔で連続する複
数（図示の例では５つ）の小パルスP11〜P15から成る第
１パルス電圧群P1と、単一の小パルスP21からなる第２
パルス電圧群P2とを選択的に印加することとしている。
つまり、第２実施形態では、駆動装置20の第１パルス信
号発生回路33は、一印刷周期中に５つの小パルスP11〜P
15を発生するように構成されており、第２パルス信号発
生回路34は単一の小パルスP21を発生するように構成さ
れている。

【００７１】第１パルス電圧群P1は、上記小パルスP11
〜P15によってアクチュエータ10を一周期変位させるよ
うに設定されている。第１小パルスP11、第２小パルスP
12及び第３小パルスP13は、アクチュエータ10を正方向
に緩やかに変位させるための矩形パルス電圧である。こ
れに対し、第４小パルスP14及び第５小パルスP15は、ア
クチュエータ10の負方向への変位の速度を緩やかにする
ための矩形パルス電圧である。第１パルス電圧群P1は、
約１５ｐｌの大インク滴を吐出するように設定され、第
２パルス電圧群P2は、約５ｐｌの小インク滴を吐出する
ように設定されている。

【００７２】第１パルス電圧群P1の各小パルスP11〜P15
は、第１パルス電圧群P1による大インク滴と第２パルス
電圧群P2による小インク滴とが同一の吐出速度で吐出さ
れるように設定されている。第１パルス電圧群P1の小パ
ルスの数、各小パルスの幅及び高さは、インクジェット
ヘッド1の仕様やその他の条件により異なり、シミュレ
ーションや実験等により設定することができる。本実施
形態では、アクチュエータ10の変位曲線を立ち上げる
際、つまりアクチュエータ10の変位の増加時における小
パルスP11〜P13は、各小パルスP11〜P13の時間積分値
（電圧値×パルス幅）の合計が目標吐出速度に応じた所
定値になるように設定されている。具体的には、上記時
間積分値の合計は、全小パルスP11〜P15の時間積分値の
合計の６０％になるように設定されている。

【００７３】また、アクチュエータ10の変位曲線が立ち
下がる際、つまりアクチュエータ10の変位の減少時にお
ける小パルスP14,P15は、各小パルスP14,P15の時間積分
値の合計がメニスカス振動を抑制するための所定値にな
るように設定されている。具体的には、当該時間積分値
の合計は、全小パルスP11〜P15の時間積分値の合計の４
０％になるように設定されている。

【００７４】なお、第１実施形態と同様、各印刷周期後
の処理を行いやすいように、第１パルス電圧群P1の最終
の小パルスP15と第２パルス電圧群の小パルスP2とは、
同一の終了時刻ｔｅにおいて終了するように設定されて
いる。

【００７５】−第２実施形態の効果− 以上のように、第２実施形態によれば、アクチュエータ
10の一周期の変位動作中に圧電素子13に対し複数のパル
ス電圧を印加することとしたので、パルス電圧の数やパ
ルス間の間隔を調節することにより、アクチュエータ10
の変位量だけでなく、変位速度も調節することが可能に
なった。そのため、同一のノズルから異なる径のインク
滴を吐出させることができるとともに、インク滴の吐出
速度を調節することが可能になった。従って、インク滴
の径に拘わらず吐出速度を一定にすることができるの
で、記録媒体へのインク滴の着弾位置ずれを防止するこ
とができる。

【００７６】また、インク滴の吐出後の変位速度を緩や
かにすることができるので、インクのメニスカス振動を
抑制することができ、サテライトの発生等を防止するこ
とが可能となった。

【００７７】実施形態１と同様、印加するパルス電圧は
すべて電圧値が等しいため、電圧値を調節するための複
雑な制御が不要であり、多階調の記録を容易かつ安価に
実現することができる。

【００７８】−変形例− 上記第２実施形態では、大インク滴及び小インク滴の２
種類のインク滴を吐出可能なように、２種類のパルス電
圧群を選択的に印加することとしたが、３種類以上のイ
ンク滴を選択的に吐出するように、３種類以上のパルス
電圧群を発生させ、印加させるように構成してもよいこ
とは勿論である。例えば、表１に示すような第１〜第３
パルス電圧群を選択的に発生させ、印加させるようにし
てもよい。

【００７９】なお、表１において、「立ち上げ時間」と
は、パルス電圧を印加してからアクチュエータ10が最大
変位に達するまでの時間をいう。「立ち上げパルスの
％」とは、変位増加時の小パルス（立ち上げパルス）の
時間積分値の合計が、全小パルスの時間積分値の合計に
対して占める割合をいう。「立ち下げパルスの％」と
は、変位減少時の小パルス（立ち下げパルス）の時間積
分値の合計が、全小パルスの時間積分値の合計に対して
占める割合をいう。

【００８０】

【表１】

【００８１】なお、インク滴の吐出量は、上記表１の関
係に基づいて、任意に設定することができる。

【００８２】パルス電圧群を構成する小パルスは矩形パ
ルスに限定されず、他の波形状のパルス電圧であっても
よい。

【００８３】パルス電圧の電圧値は一定であることが望
ましいが、駆動装置20の構成が簡易かつ安価である限
り、パルス電圧毎に電圧値が異なっていてもよい。

【００８４】

【発明の効果】以上のように、第１の発明によれば、パ
ルス幅の異なる複数種類のパルス電圧を圧電素子に選択
的に印加することとしたので、アクチュエータの変位量
を容易に変更することが可能となり、同一のノズルから
異なる径のインク滴を吐出させることを容易かつ安価に
実現することができる。各インク滴は吐出前に中途部分
でくびれることがないので、インク滴を安定して吐出す
ることができる。

【００８５】第２の発明によれば、電圧値が等しくかつ
アクチュエータに生じさせる変位の異なる複数のパルス
電圧を、選択的に印加することとしたので、パルス電圧
の電圧制御を伴うことなく、同一のノズルから異なる径
のインク滴を吐出させることができる。

【００８６】第３の発明によれば、インク滴の径が所定
値になるように、一周期の変位動作中にアクチュエータ
に印加するパルス電圧の数を調節することとしたので、
インク滴の径を容易に調節することができる。

【００８７】第４の発明によれば、複数種類のパルス電
圧群のいずれか一つを選択的に圧電素子に印加すること
としたので、アクチュエータの変位量を容易に変更する
ことが可能となり、同一のノズルから異なる径のインク
滴を吐出させることを容易かつ安価に実現することがで
きる。

【００８８】第５の発明によれば、複数種類のパルス電
圧群は、ノズルから吐出されるインク滴の吐出速度が所
定の一定値になるように設定されていることとしたの
で、異なる径のインク滴の吐出速度を一定にすることが
でき、径の相違に起因するインク滴の着弾位置ずれを防
止することができる。従って、印刷品質を向上させるこ
とができる。

【００８９】第６の発明によれば、複数種類のパルス電
圧群は、アクチュエータの変位の増加時における複数の
パルス電圧の時間積分値の合計が目標吐出速度に応じた
所定値になるように設定されていることとしたので、上
記第５の発明を簡易な構成で実現することができる。

【００９０】第７の発明によれば、アクチュエータの変
位の減少時における複数のパルス電圧の時間積分値の合
計が、メニスカス振動を抑制するように設定された所定
値になるようにしたので、アクチュエータの急激な変位
動作を緩和することができ、インクのメニスカス振動を
抑制することができる。従って、サテライトの発生等を
防止することができ、印刷品質を向上させることができ
る。

【００９１】第８の発明によれば、電圧値が等しくかつ
パルス幅の異なる複数のパルス電圧を出力することとし
たので、パルス電圧の電圧制御が不要となり、上記第３
〜第７の発明を簡易かつ安価な構成で実現することがで
きる。

【００９２】第９の発明によれば、電圧値が等しくかつ
パルス幅が等しい複数のパルス電圧を出力することとし
たので、パルス電圧の電圧値及びパルス幅の制御が不要
となり、上記第３〜第７の発明を一層簡易かつ安価な構
成で実現することができる。

【００９３】第１０の発明によれば、アクチュエータの
各周期の変位動作における最終の印加パルス電圧が所定
の一定周期となるように、パルス電圧の出力開始時を調
節することとしたので、一印刷周期の電圧印加は常に所
定周期で終了することとなり、パルス電圧の種類に拘わ
らず、パルス電圧の印加終了時に基づいてその後の処理
を進めることができる。

【００９４】第１１の発明によれば、出力するパルス電
圧を矩形パルス電圧で構成することとしたので、パルス
電圧を簡易かつ安価に形成することができる。

【００９５】第１２の発明によれば、インクジェットヘ
ッドのアクチュエータの圧電素子が、薄さ０．５μｍ〜
５．０μｍの薄膜ＰＺＴで構成されていることとしたの
で、第１〜第１１の発明を実現することが極めて容易に
なる。

【００９６】第１３の発明によれば、アクチュエータの
一次固有振動数が５０ｋＨｚ〜５００ｋＨｚであること
としたので、第１〜第１１の発明を実現することが極め
て容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】インクジェットヘッドの部分平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図３】アクチュエータ近傍の部分断面図である。

【図４】図１のＢ−Ｂ線断面図である。

【図５】駆動装置の構成を示すブロック図である。

【図６】第１実施形態に係るパルス電圧及びアクチュエ
ータの変位を示す図である。

【図７】第１実施形態に係るパルス電圧制御を説明する
パルス電圧の波形図である。

【図８】第２実施形態に係るパルス電圧群及びアクチュ
エータの変位を示す図である。

【図９】従来のパルス電圧制御のパルス電圧の波形図で
ある。

【図１０】従来のパルス電圧制御のパルス電圧の波形図
である。

【図１１】従来のパルス電圧制御によるインク滴の吐出
挙動を説明する図である。

【符号の説明】

1 インクジェットヘッド 2 ノズル開口 4 圧力室 10 アクチュエータ 13 圧電素子 20 駆動装置 33,34 パルス信号発生回路（パルス電圧発生手段） 35a パルス信号選択回路（パルス電圧印加手段） 31,32 パルス信号開始回路（開始時調節手段） P1 第１パルス電圧 P2 第２パルス電圧

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 浩一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 池田 浩二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 深野 明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF28 AF39 AM03 AM15 AM21 AR16 BA04 BA14 CA01

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電素子に電圧を印加することにより該
   圧電素子を備えたアクチュエータを変位させ、ノズルか
   らインク滴を吐出させるインクジェットヘッド用駆動装
   置であって、 上記アクチュエータの一次固有周期の１／４未満のパル
   ス幅を有し、第１の径のインク滴を吐出させるための第
   １パルス電圧と、該第１パルス電圧よりもパルス幅が長
   く、該第１の径よりも大きな第２の径のインク滴を吐出
   させるための第２パルス電圧とを少なくとも含む複数種
   類のパルス電圧を出力自在なパルス電圧発生手段と、 上記ノズルから吐出されるインク滴の径が変更されるよ
   うに、上記パルス電圧発生手段が出力する複数種類のパ
   ルス電圧のいずれか一つを選択して上記圧電素子に印加
   するパルス電圧印加手段とを備えていることを特徴とす
   るインクジェットヘッド用駆動装置。
2. 【請求項２】 圧電素子に電圧を印加することにより該
   圧電素子を備えたアクチュエータを変位させ、ノズルか
   らインク滴を吐出させるインクジェットヘッド用駆動装
   置であって、 第１のパルス幅を有し、上記アクチュエータに所定の第
   １変位を生じさせるための第１パルス電圧と、該第１パ
   ルス電圧よりもパルス幅が長く、該アクチュエータに該
   第１変位よりも大きな所定の第２変位を生じさせるため
   の第２パルス電圧とを少なくとも含む電圧値の等しい複
   数種類のパルス電圧を出力自在なパルス電圧発生手段
   と、 上記アクチュエータの変位を変更することにより上記ノ
   ズルから吐出するインク滴の径が変更されるように、上
   記パルス電圧発生手段が出力する複数種類のパルス電圧
   のいずれか一つを選択して上記圧電素子に印加するパル
   ス電圧印加手段とを備えていることを特徴とするインク
   ジェットヘッド用駆動装置。
3. 【請求項３】 圧電素子に電圧を印加することにより該
   圧電素子を備えたアクチュエータを変位させ、ノズルか
   らインク滴を吐出させるインクジェットヘッド用駆動装
   置であって、 上記アクチュエータの一周期の変位動作中に複数のパル
   ス電圧を出力自在なパルス電圧発生手段と、 上記ノズルから吐出されるインク滴の径が所定値になる
   ように、上記アクチュエータの一周期の変位動作中に上
   記パルス電圧発生手段から出力されるパルス電圧の数を
   調節し、該パルス電圧を上記圧電素子に印加するパルス
   電圧印加手段とを備えていることを特徴とするインクジ
   ェットヘッド用駆動装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のインクジェットヘッド
   用駆動装置において、 パルス電圧発生手段は、２以上のパルス電圧から成る第
   １パルス電圧群と、１または２以上のパルス電圧から成
   る第２パルス電圧群とを少なくとも含む複数種類のパル
   ス電圧群を出力自在に構成され、 パルス電圧印加手段は、ノズルから吐出されるインク滴
   の径が変更されるように、上記パルス電圧発生手段が出
   力する複数種類のパルス電圧群のいずれか一つを選択し
   て上記アクチュエータの一周期の変位動作中に上記圧電
   素子に印加するように構成されていることを特徴とする
   インクジェットヘッド用駆動装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のインクジェットヘッド
   用駆動装置において、 パルス電圧発生手段が出力する複数種類のパルス電圧群
   は、インク滴の吐出速度が所定の一定値になるように設
   定されていることを特徴とするインクジェットヘッド用
   駆動装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載のインクジェットヘッド
   用駆動装置において、 パルス電圧発生手段が出力する複数種類のパルス電圧群
   は、アクチュエータの変位の増加時における各パルス電
   圧の時間積分値の合計が、目標吐出速度に応じた所定値
   になるように設定されていることを特徴とするインクジ
   ェットヘッド用駆動装置。
7. 【請求項７】 請求項３に記載のインクジェットヘッド
   用駆動装置において、 パルス電圧発生手段が出力する複数のパルス電圧は、ア
   クチュエータの変位の減少時における各パルス電圧の時
   間積分値の合計が、メニスカス振動を抑制するように設
   定された所定値になるように設定されていることを特徴
   とするインクジェットヘッド用駆動装置。
8. 【請求項８】 請求項３〜７のいずれか一つに記載のイ
   ンクジェットヘッド用駆動装置において、 パルス電圧発生手段は、電圧値が等しくかつパルス幅の
   異なる複数のパルス電圧を出力するように構成されてい
   ることを特徴とするインクジェットヘッド用駆動装置。
9. 【請求項９】 請求項３〜７のいずれか一つに記載のイ
   ンクジェットヘッド用駆動装置において、 パルス電圧発生手段は、電圧値が等しくかつパルス幅が
   等しい複数のパルス電圧を出力するように構成されてい
   ることを特徴とするインクジェットヘッド用駆動装置。
10. 【請求項１０】 請求項１、２または４のいずれか一つ
    に記載のインクジェットヘッド用駆動装置において、 アクチュエータの各周期の変位動作における最終の印加
    パルス電圧の印加終了時が所定の一定周期となるよう
    に、パルス電圧発生手段のパルス電圧の出力開始時を調
    節する開始時調節手段を備えていることを特徴とするイ
    ンクジェットヘッド用駆動装置。
11. 【請求項１１】 請求項１〜１０のいずれか一つに記載
    のインクジェットヘッド用駆動装置において、 パルス電圧発生手段は、矩形パルス電圧を出力するよう
    に構成されていることを特徴とするインクジェットヘッ
    ド用駆動装置。
12. 【請求項１２】 請求項１〜１１のいずれか一つに記載
    のインクジェットヘッド用駆動装置と、 薄さが０．５μｍ〜５．０μｍの薄膜ＰＺＴから成る圧
    電素子を有するアクチュエータとを備えていることを特
    徴とするインクジェットヘッド。
13. 【請求項１３】 請求項１〜１１のいずれか一つに記載
    のインクジェットヘッド用駆動装置と、 一次の固有振動数が５０ｋＨｚ〜５００ｋＨｚであるア
    クチュエータとを備えていることを特徴とするインクジ
    ェットヘッド。