JP2000019213A - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents
基板検査装置及び基板検査方法Info
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- JP2000019213A JP2000019213A JP10190726A JP19072698A JP2000019213A JP 2000019213 A JP2000019213 A JP 2000019213A JP 10190726 A JP10190726 A JP 10190726A JP 19072698 A JP19072698 A JP 19072698A JP 2000019213 A JP2000019213 A JP 2000019213A
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 効率よく基板検査を行うことのできる装置を
提供する。 【解決手段】 基板上のパターン線の一端において所
定のパルス信号を印加し、該パターン線の他端で信号を
非接触プローブにて受信し、この受信信号に基づいてパ
ターン線の導通を検査する基板検査装置であって、所定
の時刻に前記パターン線の一端に検査パルス信号を印加
し、受信側では、前記検査パルス信号の印加タイミング
を受けて、その印加後に、前記プローブにて検出される
受信信号の変化を監視することを特徴とする基板検査方
法。
提供する。 【解決手段】 基板上のパターン線の一端において所
定のパルス信号を印加し、該パターン線の他端で信号を
非接触プローブにて受信し、この受信信号に基づいてパ
ターン線の導通を検査する基板検査装置であって、所定
の時刻に前記パターン線の一端に検査パルス信号を印加
し、受信側では、前記検査パルス信号の印加タイミング
を受けて、その印加後に、前記プローブにて検出される
受信信号の変化を監視することを特徴とする基板検査方
法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、狭ピッチの導体パ
ターンが印刷された基板（ＩＣチップを搭載される前の
ＬＳＩパッケージを含み、以下、これらを「基板」とい
う）上の一部のパターンにおける断線等の検査に適用さ
れる基板検査装置及び方法に関する。
ターンが印刷された基板（ＩＣチップを搭載される前の
ＬＳＩパッケージを含み、以下、これらを「基板」とい
う）上の一部のパターンにおける断線等の検査に適用さ
れる基板検査装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、基板上に印刷された狭ピッチ
の導体パターンの導通状態を検出さする方法として、そ
のパターン線の一端に信号を印加し、他端にてその信号
を受信し、その受信信号の振幅などに基づいて、パター
ン線の導通状態を検査する装置は広く知られている。
の導体パターンの導通状態を検出さする方法として、そ
のパターン線の一端に信号を印加し、他端にてその信号
を受信し、その受信信号の振幅などに基づいて、パター
ン線の導通状態を検査する装置は広く知られている。
【０００３】本出願人も、そのような検査装置として、
非接触式のシールド付きプローブを用いた検査装置を特
願平８−１０４１４８号において開示した。この従来技
術に関わる特願平８−１０４１４８号等の検査装置は、
検査信号として、所定の周波数の交流成分を有するパル
ス信号を用いる。受信側では、検査信号の受信レベルの
平均値を演算し、その平均値と所定の閾値との大小に基
づいて、導通状態を判定するものである。
非接触式のシールド付きプローブを用いた検査装置を特
願平８−１０４１４８号において開示した。この従来技
術に関わる特願平８−１０４１４８号等の検査装置は、
検査信号として、所定の周波数の交流成分を有するパル
ス信号を用いる。受信側では、検査信号の受信レベルの
平均値を演算し、その平均値と所定の閾値との大小に基
づいて、導通状態を判定するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例の検査方法及び装置では、平均値を演算する必要が
あるために、複数周期分の受信信号を受信する時間を必
要とするために、検査対象の基板の全パターンを検査し
終わるのに多くの時間を必要としていた。特に、昨今の
基板はパターン線の数や端子の数が膨大（例えば、１０
００サンプル数）であるので、１つのパターン線や端子
の検査に例えば５msの時間しかかからなくとも、一枚の
基板の検査を終了するのに５秒もかかってしまい、効率
化が必要である。
来例の検査方法及び装置では、平均値を演算する必要が
あるために、複数周期分の受信信号を受信する時間を必
要とするために、検査対象の基板の全パターンを検査し
終わるのに多くの時間を必要としていた。特に、昨今の
基板はパターン線の数や端子の数が膨大（例えば、１０
００サンプル数）であるので、１つのパターン線や端子
の検査に例えば５msの時間しかかからなくとも、一枚の
基板の検査を終了するのに５秒もかかってしまい、効率
化が必要である。
【０００５】
【課題を達成するための手段】本発明は、効率よく基板
上のパターン線の導通を検査する事のできる検査装置及
び方法を提案するものである。上記課題を達成するため
に、請求項１に記載の、基板上のパターン線の一端にお
いて所定のトランスミッタから信号を印加し、該パター
ン線の他端で信号を所定のプローブにて受信し、この受
信信号に基づいてパターン線の導通を検査する基板検査
装置は、所定の時刻に前記パターン線の一端に検査信号
を印加する印加手段と、前記検査信号の印加タイミング
を信号ピックアップ手段に報知する報知手段と、前記信
号ピックアップ手段において、前記報知を受けた後に、
前記プローブにて検出される受信信号の変化を監視する
監視手段を具備することを特徴とする。
上のパターン線の導通を検査する事のできる検査装置及
び方法を提案するものである。上記課題を達成するため
に、請求項１に記載の、基板上のパターン線の一端にお
いて所定のトランスミッタから信号を印加し、該パター
ン線の他端で信号を所定のプローブにて受信し、この受
信信号に基づいてパターン線の導通を検査する基板検査
装置は、所定の時刻に前記パターン線の一端に検査信号
を印加する印加手段と、前記検査信号の印加タイミング
を信号ピックアップ手段に報知する報知手段と、前記信
号ピックアップ手段において、前記報知を受けた後に、
前記プローブにて検出される受信信号の変化を監視する
監視手段を具備することを特徴とする。
【０００６】信号変化の監視は、前記報知を受けた後に
限定して行えばよいので、監視手段側での処理が効率化
する。特に、検査信号に対応する受信信号の到来を予期
できるので、検査信号を例えば１〜２発の少数のパルス
信号とすることが許されるので、全体的な処理も効率化
する。上記課題は複数のパターン線を検査する装置にも
当てはまる。即ち、請求項２の、適用複数の基板上のパ
ターン線の夫々の一端に所定のトランスミッタから信号
を印加し、該夫々のパターン線の各々の他端で信号を夫
々の所定のプローブにて受信し、これらの受信信号に基
づいて個々のパターン線の導通を検査する基板検査装置
は、検査信号の発生源と、所定の時刻に複数の基板上の
パターン線の夫々の一端に前記発生源からの検査信号を
略同時に印加する複数の印加手段と、前記検査信号の印
加タイミングを報知する複数の報知手段と、前記報知手
段からの報知を受けた後に、前記夫々のプローブにて検
出される受信信号の変化を監視する複数の監視手段を具
備することを特徴とする。
限定して行えばよいので、監視手段側での処理が効率化
する。特に、検査信号に対応する受信信号の到来を予期
できるので、検査信号を例えば１〜２発の少数のパルス
信号とすることが許されるので、全体的な処理も効率化
する。上記課題は複数のパターン線を検査する装置にも
当てはまる。即ち、請求項２の、適用複数の基板上のパ
ターン線の夫々の一端に所定のトランスミッタから信号
を印加し、該夫々のパターン線の各々の他端で信号を夫
々の所定のプローブにて受信し、これらの受信信号に基
づいて個々のパターン線の導通を検査する基板検査装置
は、検査信号の発生源と、所定の時刻に複数の基板上の
パターン線の夫々の一端に前記発生源からの検査信号を
略同時に印加する複数の印加手段と、前記検査信号の印
加タイミングを報知する複数の報知手段と、前記報知手
段からの報知を受けた後に、前記夫々のプローブにて検
出される受信信号の変化を監視する複数の監視手段を具
備することを特徴とする。
【０００７】本発明の好適な一態様である請求項３に拠
れば、前記印加手段の夫々と前記報知手段の夫々と前記
複数の監視手段の夫々とは、１つのチャンネルを構成す
ることを特徴とする。チャンネル化することにより全体
の制御を用意にすることができる。また、検査装置全体
の構成をモジュール化することが容易になる。本発明の
好適な一態様である請求項４に拠れば、前記所定のトラ
ンスミッタは前記一端に接触する信号印加端子であり、
前記プローブは非接触型のシールド付きプローブである
ことを特徴とする。また、本発明の好適な一態様である
請求項５に拠れば、前記所定のトランスミッタは非接触
式の信号印加端子であり、前記プローブは前記他端に接
触する信号印加端子であることを特徴とする。
れば、前記印加手段の夫々と前記報知手段の夫々と前記
複数の監視手段の夫々とは、１つのチャンネルを構成す
ることを特徴とする。チャンネル化することにより全体
の制御を用意にすることができる。また、検査装置全体
の構成をモジュール化することが容易になる。本発明の
好適な一態様である請求項４に拠れば、前記所定のトラ
ンスミッタは前記一端に接触する信号印加端子であり、
前記プローブは非接触型のシールド付きプローブである
ことを特徴とする。また、本発明の好適な一態様である
請求項５に拠れば、前記所定のトランスミッタは非接触
式の信号印加端子であり、前記プローブは前記他端に接
触する信号印加端子であることを特徴とする。
【０００８】即ち、本発明では、トランスミッタ側と受
信側とでは、どちらも非接触型プローブを用いることが
できる。装置の小型化に寄与する。本発明の好適な一態
様である請求項６に拠れば、前記検査信号は少なくとも
１周期分の長さのパルスである。検査の高速化に寄与す
る。本発明の好適な一態様である請求項７に拠れば、前
記検査信号は正弦波形を有する。正弦波は高調波成分を
含まないので、検査装置全体でノイズ耐性が強くなる。
信側とでは、どちらも非接触型プローブを用いることが
できる。装置の小型化に寄与する。本発明の好適な一態
様である請求項６に拠れば、前記検査信号は少なくとも
１周期分の長さのパルスである。検査の高速化に寄与す
る。本発明の好適な一態様である請求項７に拠れば、前
記検査信号は正弦波形を有する。正弦波は高調波成分を
含まないので、検査装置全体でノイズ耐性が強くなる。
【０００９】本発明の好適な一態様である請求項８に拠
れば、前記検査信号は矩形波形を有する。矩形波形はピ
ーク検出が高速且つ確実なので、検査のさらなる効率化
を期待できる。本発明の好適な一態様である請求項９に
拠れば、前記監視手段は、前記報知の後に、前記受信信
号の波形の第１のピークを検出する。
れば、前記検査信号は矩形波形を有する。矩形波形はピ
ーク検出が高速且つ確実なので、検査のさらなる効率化
を期待できる。本発明の好適な一態様である請求項９に
拠れば、前記監視手段は、前記報知の後に、前記受信信
号の波形の第１のピークを検出する。
【００１０】本発明の好適な一態様である請求項１０に
拠れば、前記第１のピークは前記報知の後の最初のピー
クである。最初のピークを検出することにより、検査時
間が短縮化する。本発明の好適な一態様である請求項１
１に拠れば、前記第１のピークを検出したならば、その
後の第２のピークを検出するまでの前記受信信号の変化
量を検出する手段を更に有することを特徴とする。
拠れば、前記第１のピークは前記報知の後の最初のピー
クである。最初のピークを検出することにより、検査時
間が短縮化する。本発明の好適な一態様である請求項１
１に拠れば、前記第１のピークを検出したならば、その
後の第２のピークを検出するまでの前記受信信号の変化
量を検出する手段を更に有することを特徴とする。
【００１１】本発明の好適な一態様である請求項１２に
拠れば、前記印加手段は、パルス信号を発生する信号源
を有し、前記印加タイミングにおいて前記信号源の付勢
を開始する。信号源のＯＮ／ＯＦＦにより短時間期間の
検査信号を生成する。本発明の好適な一態様である請求
項１３に拠れば、前記印加手段は、パルス信号を常時発
生する信号源と、この信号源に接続され、基板のパター
ン線の端子に接続されたスイッチとを有し、前記印加タ
イミングに前記スイッチを閉じることを特徴とする。
拠れば、前記印加手段は、パルス信号を発生する信号源
を有し、前記印加タイミングにおいて前記信号源の付勢
を開始する。信号源のＯＮ／ＯＦＦにより短時間期間の
検査信号を生成する。本発明の好適な一態様である請求
項１３に拠れば、前記印加手段は、パルス信号を常時発
生する信号源と、この信号源に接続され、基板のパター
ン線の端子に接続されたスイッチとを有し、前記印加タ
イミングに前記スイッチを閉じることを特徴とする。
【００１２】信号源を常時付勢することが許されるの
で、検査信号の波形の精度が向上する。上記課題を達成
するための、本発明の、基板上のパターン線の一端に信
号を印加し、該パターン線の他端で信号を所定のプロー
ブにて受信し、この受信信号に基づいてパターン線の導
通を検査する基板検査方法は、所定の時刻に前記パター
ン線の一端に検査信号を印加し、前記検査信号の印加タ
イミングを受信手段に報知し、前記受信手段において、
前記報知信号を受けた後に、前記プローブにて検出され
る受信信号の変化を監視することを特徴とする。
で、検査信号の波形の精度が向上する。上記課題を達成
するための、本発明の、基板上のパターン線の一端に信
号を印加し、該パターン線の他端で信号を所定のプロー
ブにて受信し、この受信信号に基づいてパターン線の導
通を検査する基板検査方法は、所定の時刻に前記パター
ン線の一端に検査信号を印加し、前記検査信号の印加タ
イミングを受信手段に報知し、前記受信手段において、
前記報知信号を受けた後に、前記プローブにて検出され
る受信信号の変化を監視することを特徴とする。
【００１３】特に、検査を高速化するためにはパイプラ
イン化が好ましい。そのために、本発明の好適な一態様
である請求項１５に拠れば、更に、受信信号をＡ／Ｄ変
換する変換工程と、Ａ／Ｄ変換データを収集する収集工
程とを有し、前記変換工程と収集工程とはパイプライン
化されていることを特徴とする。
イン化が好ましい。そのために、本発明の好適な一態様
である請求項１５に拠れば、更に、受信信号をＡ／Ｄ変
換する変換工程と、Ａ／Ｄ変換データを収集する収集工
程とを有し、前記変換工程と収集工程とはパイプライン
化されていることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下添付図面を参照しながら本発
明を適用した基板検査システムを説明する。尚、本発明
は、その原理上、非接触式のプローブや接触式のプロー
ブにも適用可能であるが、以下に説明する実施形態の検
査システムは、より高密度の基板を検査する事のできる
非接触式のプローブを用いている。
明を適用した基板検査システムを説明する。尚、本発明
は、その原理上、非接触式のプローブや接触式のプロー
ブにも適用可能であるが、以下に説明する実施形態の検
査システムは、より高密度の基板を検査する事のできる
非接触式のプローブを用いている。
【００１５】〈実施形態〉実施形態は、実施形態の中で
も基本的原理を適用するもので、その構造は実施形態の
中で最も単純である。即ち、検査信号は信号源１０から
供給される。検査信号は、例えば、だ２ずのような種々
の波形を採用し得るが、この実施形態及び以下の実施形
態でも、第２図の（ａ）の正弦波形のパルス信号を採用
する。正弦波形のパルス信号を採用することの理由は、
矩形波に比してＥＭＩを引き起こすことが少ないことに
ある。また、信号のＰ−Ｐ値は約５０Ｖである。高電圧
のパルスを入力する事によりＳＮ比を改善している。
も基本的原理を適用するもので、その構造は実施形態の
中で最も単純である。即ち、検査信号は信号源１０から
供給される。検査信号は、例えば、だ２ずのような種々
の波形を採用し得るが、この実施形態及び以下の実施形
態でも、第２図の（ａ）の正弦波形のパルス信号を採用
する。正弦波形のパルス信号を採用することの理由は、
矩形波に比してＥＭＩを引き起こすことが少ないことに
ある。また、信号のＰ−Ｐ値は約５０Ｖである。高電圧
のパルスを入力する事によりＳＮ比を改善している。
【００１６】第１図において、２０はワークの基板であ
り、不図示ではあるが、複数のパターン線２２が密に印
刷されている。信号源１０からは信号ケーブル１１を介
して、端子２１を介してパターン線２２に印加される。
即ち、信号ケーブル１１と、基板２０上の端子２１と不
図示のコネクタとは、検査信号を基板に印加するための
「トランスミッタ」を構成する。
り、不図示ではあるが、複数のパターン線２２が密に印
刷されている。信号源１０からは信号ケーブル１１を介
して、端子２１を介してパターン線２２に印加される。
即ち、信号ケーブル１１と、基板２０上の端子２１と不
図示のコネクタとは、検査信号を基板に印加するための
「トランスミッタ」を構成する。
【００１７】３０は非接触型のシールド付き結合型のプ
ローブであり、その詳細な構成は例えば本出願人の特願
平８−１０４１４８号に開示されており、例えば、第３
図及び第４図に示す構造を有する。４０はプローブ３０
が拾った信号を増幅するプリアンプを、５０は増幅信号
をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器である。
ローブであり、その詳細な構成は例えば本出願人の特願
平８−１０４１４８号に開示されており、例えば、第３
図及び第４図に示す構造を有する。４０はプローブ３０
が拾った信号を増幅するプリアンプを、５０は増幅信号
をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器である。
【００１８】第３図はプローブ３０の構造を示す。プロ
ーブ３０は基板からの検査信号の輻射波を受信する。不
要な輻射波を受信するのを防止するために、水平方向に
拡がった平面状のシールド３１を有する。第４図にシー
ルド３１の斜視図を示す。シールド３１は中央に開口が
設けられ、その開口内にプローブ３０の電極３０ｅが納
められている。電極３０ｅとシールド３１との間には隙
間３２が設けられ、好ましくは絶縁性の接着剤によって
埋められ、この接着剤が電極３０ｅとシールド３１とを
接続固定する。
ーブ３０は基板からの検査信号の輻射波を受信する。不
要な輻射波を受信するのを防止するために、水平方向に
拡がった平面状のシールド３１を有する。第４図にシー
ルド３１の斜視図を示す。シールド３１は中央に開口が
設けられ、その開口内にプローブ３０の電極３０ｅが納
められている。電極３０ｅとシールド３１との間には隙
間３２が設けられ、好ましくは絶縁性の接着剤によって
埋められ、この接着剤が電極３０ｅとシールド３１とを
接続固定する。
【００１９】第３図において２０は検査対象の基板を示
す。基板２０にはパターン線２５と２６とが配設され、
パターン線２５には断線２３が発生している。この断線
のために、パターン線２５は、パターン線部分２５ａと
２５ｂとに分離されている。第３図はプローブ３０が、
不図示の位置決め装置により、パターン線部分２５ｂの
上空に位置決めされた状態を示している。パターン２５
ａの一端には電極２１が接続されている。
す。基板２０にはパターン線２５と２６とが配設され、
パターン線２５には断線２３が発生している。この断線
のために、パターン線２５は、パターン線部分２５ａと
２５ｂとに分離されている。第３図はプローブ３０が、
不図示の位置決め装置により、パターン線部分２５ｂの
上空に位置決めされた状態を示している。パターン２５
ａの一端には電極２１が接続されている。
【００２０】電極２１に検査信号が印加されると、パタ
ーン線２５に沿って電界及び又は電磁界が形成される。
換言すれば、パターン線２５のあらゆる部分から微弱な
輻射波が発生し、これらの輻射波は電極３０ｅに到達し
ようとする。基板２０には断線２３が発生しているの
で、パターン線部分２５ｂは輻射波を発生しない。しか
しながら、パターン線部分２５ａからは輻射波が発生す
る。また、パターン線２６がパターン線２５と電磁的に
或いは静電気的に或いはオーミック的に接続されていれ
ば、パターン線２６からも輻射波が発生する。
ーン線２５に沿って電界及び又は電磁界が形成される。
換言すれば、パターン線２５のあらゆる部分から微弱な
輻射波が発生し、これらの輻射波は電極３０ｅに到達し
ようとする。基板２０には断線２３が発生しているの
で、パターン線部分２５ｂは輻射波を発生しない。しか
しながら、パターン線部分２５ａからは輻射波が発生す
る。また、パターン線２６がパターン線２５と電磁的に
或いは静電気的に或いはオーミック的に接続されていれ
ば、パターン線２６からも輻射波が発生する。
【００２１】検査対象のパターン線２５は断線部分２３
を有するので、電極３０ｅは輻射波を受けるべきではな
い。シールド３１は、余分な輻射波（第３図の例では、
パターン線部分２５ａ及びパターン線２６からの輻射
波）が電極３０ｅに到達するのを防止する。パターン線
部分２５ｂは輻射波を発生しないので、電極３０ｅは輻
射波を受信せず、したがって、検出信号の振幅は零又は
極めて低いものとなる。
を有するので、電極３０ｅは輻射波を受けるべきではな
い。シールド３１は、余分な輻射波（第３図の例では、
パターン線部分２５ａ及びパターン線２６からの輻射
波）が電極３０ｅに到達するのを防止する。パターン線
部分２５ｂは輻射波を発生しないので、電極３０ｅは輻
射波を受信せず、したがって、検出信号の振幅は零又は
極めて低いものとなる。
【００２２】一方、もし断線２３が存在しない場合に
は、パターン線部分２５ａからの輻射波はシールドされ
ても、パターン線部分２５ｂからの輻射波は電極３０ｅ
により受信され。したがって、電極３０ｅを不図示の増
幅器に接続するように構成すれば、増幅された信号をモ
ニタすることにより、断線の有無を判別することができ
る。
は、パターン線部分２５ａからの輻射波はシールドされ
ても、パターン線部分２５ｂからの輻射波は電極３０ｅ
により受信され。したがって、電極３０ｅを不図示の増
幅器に接続するように構成すれば、増幅された信号をモ
ニタすることにより、断線の有無を判別することができ
る。
【００２３】実施形態の特徴は、信号源１０から検査信
号を発するタイミングと、Ａ／Ｄ変換器５０やプリアン
プ４０（さらには、Ａ／Ｄ変換器４０以降のデータ処理
系６０）の動作の開始とが同期化されている点である。
即ち、信号源１０に信号スタートが入力されると、信号
源１０は付勢されて、パルス信号をケーブル１１に出力
する。信号源１０からは、スタート信号に同期して同期
信号(SYNC)が増幅器４０、Ａ／Ｄ変換器５０、処理シス
テム６０に送られる。
号を発するタイミングと、Ａ／Ｄ変換器５０やプリアン
プ４０（さらには、Ａ／Ｄ変換器４０以降のデータ処理
系６０）の動作の開始とが同期化されている点である。
即ち、信号源１０に信号スタートが入力されると、信号
源１０は付勢されて、パルス信号をケーブル１１に出力
する。信号源１０からは、スタート信号に同期して同期
信号(SYNC)が増幅器４０、Ａ／Ｄ変換器５０、処理シス
テム６０に送られる。
【００２４】このパルス信号は端子２１を介してパター
ン線２２（第１図）に印加される。プローブ３０は、パ
ターン線２２からの輻射波を受信することは前述したと
おりであり、この受信信号は増幅器４０により約３０万
倍に増幅される。第５図に増幅された信号の波形を示
す。即ち、受信信号はスタート信号から約９０度遅れて
（２５μ秒遅れて）受信側で検出される。増幅後の振幅
は実施形態では約１００μＶPPである。尚、受信信号が
約０．５ｖオフセットとしているのは増幅器のオフセッ
ト電圧のためである。
ン線２２（第１図）に印加される。プローブ３０は、パ
ターン線２２からの輻射波を受信することは前述したと
おりであり、この受信信号は増幅器４０により約３０万
倍に増幅される。第５図に増幅された信号の波形を示
す。即ち、受信信号はスタート信号から約９０度遅れて
（２５μ秒遅れて）受信側で検出される。増幅後の振幅
は実施形態では約１００μＶPPである。尚、受信信号が
約０．５ｖオフセットとしているのは増幅器のオフセッ
ト電圧のためである。
【００２５】即ち、第２図の（ａ）のような形状のパル
ス（即ち、立ち上がりで始まる正弦波）信号が基板に印
加されると、スタート信号が付勢されてから約２５μ秒
以降に最初の山のピークが現れることになる。従って、
データ処理システム６０は、同期信号SYNCを受信してか
ら、Ａ／Ｄ変換器５０にＡ／Ｄ変換開始信号を送り、Ａ
／Ｄ変換させて、変換された結果を次々と取り込むよう
にする。即ち、データ処理システム６０は、第５図に示
すように、Ａ／Ｄ変換された受信信号の包洛線中に、増
加傾向を検出してから、最初のΔＶボルト（＝数十mV）
の電圧効果を検出したならば、これをもって最初の山の
ピークが検出されたとする。そして、その後に、最初の
谷のピークを検出したならば、その山から谷への電圧降
下分は、検査信号がパターン線２２に印加されその輻射
波がプローブ３０に受信され増幅されたものであるか
ら、パターン線２２についての「検査結果信号」を表
す。
ス（即ち、立ち上がりで始まる正弦波）信号が基板に印
加されると、スタート信号が付勢されてから約２５μ秒
以降に最初の山のピークが現れることになる。従って、
データ処理システム６０は、同期信号SYNCを受信してか
ら、Ａ／Ｄ変換器５０にＡ／Ｄ変換開始信号を送り、Ａ
／Ｄ変換させて、変換された結果を次々と取り込むよう
にする。即ち、データ処理システム６０は、第５図に示
すように、Ａ／Ｄ変換された受信信号の包洛線中に、増
加傾向を検出してから、最初のΔＶボルト（＝数十mV）
の電圧効果を検出したならば、これをもって最初の山の
ピークが検出されたとする。そして、その後に、最初の
谷のピークを検出したならば、その山から谷への電圧降
下分は、検査信号がパターン線２２に印加されその輻射
波がプローブ３０に受信され増幅されたものであるか
ら、パターン線２２についての「検査結果信号」を表
す。
【００２６】第５図の例では、「検査結果信号」は１０
０μＶであるが、これはパターン線２２がオープンして
いないことを示している。このように、実施形態の受信
側は、スタート信号（SYNC信号）から遅くとも２５μ秒
以内に信号の監視を開始すればよい。換言すれば、受信
側のＡ／Ｄ変換器５０やデータ処理系６０は監視が必要
な時間のみに監視を集中すればよい。
０μＶであるが、これはパターン線２２がオープンして
いないことを示している。このように、実施形態の受信
側は、スタート信号（SYNC信号）から遅くとも２５μ秒
以内に信号の監視を開始すればよい。換言すれば、受信
側のＡ／Ｄ変換器５０やデータ処理系６０は監視が必要
な時間のみに監視を集中すればよい。
【００２７】従来では、連続的なパルス信号を印加し、
複数の受信パルスの平均値を演算していたために、規定
数のパルスを拾うことができれば、そのパルスはいつの
時点のパルスでも演算対象とすることができた。しか
し、複数パルスを受信売る必要があったために測定に時
間を要していたことは前述したとおりである。本実施形
態で、受信した１つのパルス信号でもって信号の振幅値
を決定することができるから、測定は短時間ですむ。１
つのパルス信号を確実に受信するには、プローブ３０か
らの信号レベルを常時監視していればよいが、そのよう
にすると、信号処理系やデータ処理系に負担をかけるこ
とになる。実施形態では、スタート信号（SUNC信号）に
同期した信号処理やデータ処理を行うことにより、無駄
な信号処理やデータ処理の発生を防止している。
複数の受信パルスの平均値を演算していたために、規定
数のパルスを拾うことができれば、そのパルスはいつの
時点のパルスでも演算対象とすることができた。しか
し、複数パルスを受信売る必要があったために測定に時
間を要していたことは前述したとおりである。本実施形
態で、受信した１つのパルス信号でもって信号の振幅値
を決定することができるから、測定は短時間ですむ。１
つのパルス信号を確実に受信するには、プローブ３０か
らの信号レベルを常時監視していればよいが、そのよう
にすると、信号処理系やデータ処理系に負担をかけるこ
とになる。実施形態では、スタート信号（SUNC信号）に
同期した信号処理やデータ処理を行うことにより、無駄
な信号処理やデータ処理の発生を防止している。
【００２８】尚、上記実施形態では、スタート信号は外
部から信号源１０に入力し、併せて信号源１０は受信側
に同期信号SYNCを送るように構成しているとしたが、本
発明の起動方法はこれに限られない。即ち、データ処理
システム６０が、スタート信号を生成し、信号源１０に
送るようにしてもよい。即ち、検査信号の送出と受信と
の同期化は、処理システム６０の制御下におくのであ
る。
部から信号源１０に入力し、併せて信号源１０は受信側
に同期信号SYNCを送るように構成しているとしたが、本
発明の起動方法はこれに限られない。即ち、データ処理
システム６０が、スタート信号を生成し、信号源１０に
送るようにしてもよい。即ち、検査信号の送出と受信と
の同期化は、処理システム６０の制御下におくのであ
る。
【００２９】次に、実施形態を更に具体化させた実施例
を複数挙げて本発明を更に詳細に説明する。 〈第１実施例〉第６図は第１実施例のシステム構成を示
す。上記第１図の実施形態の構成は、信号源１０をスタ
ート信号により直接制御していた。しかしながら、信号
源（発振器）はＯＮした直後の信号の波形は精度が低下
する。第１実施例は、信号源１０を常時付勢された状態
（即ち、発振を継続している状態）にしておき、その信
号源１０からのパルス信号をスイッチにより断続する点
に特徴がある。
を複数挙げて本発明を更に詳細に説明する。 〈第１実施例〉第６図は第１実施例のシステム構成を示
す。上記第１図の実施形態の構成は、信号源１０をスタ
ート信号により直接制御していた。しかしながら、信号
源（発振器）はＯＮした直後の信号の波形は精度が低下
する。第１実施例は、信号源１０を常時付勢された状態
（即ち、発振を継続している状態）にしておき、その信
号源１０からのパルス信号をスイッチにより断続する点
に特徴がある。
【００３０】第６図に於いて、第１図に比して付加され
ているものは、スイッチボード１１０と、検査コントロ
ーラ１００と、ホストシステム２００が付加され、全体
の統御はホストシステム２００が行う。ホストシステム
２００はスタート信号及びSYNC信号を出力する。尚、検
査コントローラ１００は第７図に示すように、増幅器
と、ＢＰＦ（バンドパスフィルタ）１０１や波形成形器
などを含む信号コンディショニング回路１０２とＡ／Ｄ
変換器１０３とメモリ１０４と全体を制御するＣＰＵ１
０５とを含む。受信信号はＣＰＵ１０５の制御によりＡ
／Ｄ変換されてそのディジタル値はメモリ１０４に格納
される。そして、ＣＰＵ１０５はメモリ１０４ないのデ
ータを処理して、受信信号の振幅を演算する。ホストシ
ステム２００は個の処理結果を回収することになる。
ているものは、スイッチボード１１０と、検査コントロ
ーラ１００と、ホストシステム２００が付加され、全体
の統御はホストシステム２００が行う。ホストシステム
２００はスタート信号及びSYNC信号を出力する。尚、検
査コントローラ１００は第７図に示すように、増幅器
と、ＢＰＦ（バンドパスフィルタ）１０１や波形成形器
などを含む信号コンディショニング回路１０２とＡ／Ｄ
変換器１０３とメモリ１０４と全体を制御するＣＰＵ１
０５とを含む。受信信号はＣＰＵ１０５の制御によりＡ
／Ｄ変換されてそのディジタル値はメモリ１０４に格納
される。そして、ＣＰＵ１０５はメモリ１０４ないのデ
ータを処理して、受信信号の振幅を演算する。ホストシ
ステム２００は個の処理結果を回収することになる。
【００３１】第１実施例のワーク２０は、ＬＳＩ２８が
載置されることになるために、多数のパターン線２２を
有する。従って、多くの検査用端子が設けられている。
スイッチボード１１０は複数のアナログスイッチ（また
はリードリレー）を有し、個々のアナログスイッチ（ま
たはリードリレー）と検査用端子とがケーブルにより前
もって接続されている。ホストシステム２００は、どの
パターン線をどのような順序でテストするかを予めプロ
グラムされており、その順序に従って個々のスイッチを
開閉制御する。個々のスイッチの開閉制御はホストシス
テムからの選択信号によって行われる。
載置されることになるために、多数のパターン線２２を
有する。従って、多くの検査用端子が設けられている。
スイッチボード１１０は複数のアナログスイッチ（また
はリードリレー）を有し、個々のアナログスイッチ（ま
たはリードリレー）と検査用端子とがケーブルにより前
もって接続されている。ホストシステム２００は、どの
パターン線をどのような順序でテストするかを予めプロ
グラムされており、その順序に従って個々のスイッチを
開閉制御する。個々のスイッチの開閉制御はホストシス
テムからの選択信号によって行われる。
【００３２】スタート信号を送出してから、受信信号の
ピーク−ピークレベルの検出は前述の実施形態と同じで
ある。第１実施例では、プローブ３０は１つであるの
で、一度に１つのパターン線しかテストできない。しか
しながら、信号源やプローブ等を共通化することにより
コストダウンとなる。
ピーク−ピークレベルの検出は前述の実施形態と同じで
ある。第１実施例では、プローブ３０は１つであるの
で、一度に１つのパターン線しかテストできない。しか
しながら、信号源やプローブ等を共通化することにより
コストダウンとなる。
【００３３】〈第２実施例〉第８図に示した第２実施例
に関わる検査システムは、複数のパターン線を同時に或
いは時間をずらして検出さすることを可能ならしめたも
のである。このために、第２実施例の検査システムは、
検査対象のパターン線の数に等しい数のプローブ３０，
３０，…と、同じ数の検査コントローラ１００，１０
０，…とを有する。即ち、この検査システムはＮチャン
ネル分の検査系を有し、同時に最大ｎ個のパターン線の
テストを行うことができる。
に関わる検査システムは、複数のパターン線を同時に或
いは時間をずらして検出さすることを可能ならしめたも
のである。このために、第２実施例の検査システムは、
検査対象のパターン線の数に等しい数のプローブ３０，
３０，…と、同じ数の検査コントローラ１００，１０
０，…とを有する。即ち、この検査システムはＮチャン
ネル分の検査系を有し、同時に最大ｎ個のパターン線の
テストを行うことができる。
【００３４】ホスト００は選択／スタート信号Ｎを生成
して、スイッチボード１１０及び検査コントローラ１１
００，１００，…に送る。選択／スタート信号Ｎが
“１”とされたスイッチＮ及びコントローラ１００Ｎが
付勢されて、それに接続されたパターン線が検査対象と
なる。全チャンネルを同時に検査するには、選択／スタ
ート信号Ｎの全てを同時に“１”にする。
して、スイッチボード１１０及び検査コントローラ１１
００，１００，…に送る。選択／スタート信号Ｎが
“１”とされたスイッチＮ及びコントローラ１００Ｎが
付勢されて、それに接続されたパターン線が検査対象と
なる。全チャンネルを同時に検査するには、選択／スタ
ート信号Ｎの全てを同時に“１”にする。
【００３５】しかしながら、全チャンネルを同時に監視
することはホスト２００に大きな負担をかける。そこ
で、第２実施例では、ホスト２００が選択／スタート信
号を制御して、一部のチャンネルのみが作動するように
統御する。例えば、ホスト２００が、全てのコントロー
ラ１００，１００，…において検査結果が得られたかを
監視し、データを回収するのに、１秒当たり最大ｎチャ
ンネルが限度とすれば、また、個々のコントローラ１０
０において検査を終了するのにｐ秒を要するとすると、
理論上は、最初のｐ1（＝ｐ）秒間の間に、 ｐ×ｎチャンネル に対して同時に検査を行うことができる。そして、次の
ｐ2（＝ｐ）秒間の間に、同じく、 ｎ1チャンネルグループ＝ｐ×ｎチャンネル に対して同時に検査を行うことができ、更に、次のｐ3
（＝ｐ）秒間の間に、 ｎ2チャンネルグループ＝ｐ×ｎチャンネル に対して同時に検査を行うことができる。
することはホスト２００に大きな負担をかける。そこ
で、第２実施例では、ホスト２００が選択／スタート信
号を制御して、一部のチャンネルのみが作動するように
統御する。例えば、ホスト２００が、全てのコントロー
ラ１００，１００，…において検査結果が得られたかを
監視し、データを回収するのに、１秒当たり最大ｎチャ
ンネルが限度とすれば、また、個々のコントローラ１０
０において検査を終了するのにｐ秒を要するとすると、
理論上は、最初のｐ1（＝ｐ）秒間の間に、 ｐ×ｎチャンネル に対して同時に検査を行うことができる。そして、次の
ｐ2（＝ｐ）秒間の間に、同じく、 ｎ1チャンネルグループ＝ｐ×ｎチャンネル に対して同時に検査を行うことができ、更に、次のｐ3
（＝ｐ）秒間の間に、 ｎ2チャンネルグループ＝ｐ×ｎチャンネル に対して同時に検査を行うことができる。
【００３６】即ち、第９図に示すように、上記 ｐ2秒間
の期間では、前のｐ1期間に検出されたｎ1チャンネルグ
ループの検査結果データをホスト２００が収集するよう
にし、次の上記ｐ3秒間の期間では、前のｐ2期間に検出
されたｎ2チャンネルグループの検査結果データをホス
ト２００が収集するようにする事により、検査とデータ
収集とをパイプライン化することができる。このパイプ
ライン化により検査速度は飛躍的に向上する。
の期間では、前のｐ1期間に検出されたｎ1チャンネルグ
ループの検査結果データをホスト２００が収集するよう
にし、次の上記ｐ3秒間の期間では、前のｐ2期間に検出
されたｎ2チャンネルグループの検査結果データをホス
ト２００が収集するようにする事により、検査とデータ
収集とをパイプライン化することができる。このパイプ
ライン化により検査速度は飛躍的に向上する。
【００３７】〈変形例〉上記実施形態及び実施例では、
検査信号の印加はパターン線上に直接的に行い、検査信
号の輻射波の受信を非接触型のシールド付きプローブに
より間接的に行っていたが、本発明はこれに限定され
ず、検査信号の印加は検査信号の輻射波を非接触型のシ
ールド付きプローブを介して基板上に行い、その受信信
号の収集を直接接続にプローブによって行うようにして
もよい。尚、この逆にした検査装置の構成は特願平８−
１０４１４８号において開示されている。
検査信号の印加はパターン線上に直接的に行い、検査信
号の輻射波の受信を非接触型のシールド付きプローブに
より間接的に行っていたが、本発明はこれに限定され
ず、検査信号の印加は検査信号の輻射波を非接触型のシ
ールド付きプローブを介して基板上に行い、その受信信
号の収集を直接接続にプローブによって行うようにして
もよい。尚、この逆にした検査装置の構成は特願平８−
１０４１４８号において開示されている。
【００３８】また、検査信号は正弦波を用いたが、ＥＭ
Ｉに耐性を有するシステムであれば、矩形波を用いても
よい。矩形波を用いることにより、ピーク検出が高速化
する。また、上記実施例では、信号コンディショニング
回路から出力された１０ｋＨｚの１波長をピークホール
ドするために、正弦波形の精度により繰り返し精度が大
きく変化するために、安定した正弦波をプリアンプに取
り込む必要がある。そのために、コンディショニング回
路のアイソレーション化が必要であり、例えば、ロック
インアンプを必要とする場合もある。
Ｉに耐性を有するシステムであれば、矩形波を用いても
よい。矩形波を用いることにより、ピーク検出が高速化
する。また、上記実施例では、信号コンディショニング
回路から出力された１０ｋＨｚの１波長をピークホール
ドするために、正弦波形の精度により繰り返し精度が大
きく変化するために、安定した正弦波をプリアンプに取
り込む必要がある。そのために、コンディショニング回
路のアイソレーション化が必要であり、例えば、ロック
インアンプを必要とする場合もある。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の検査装置
及び検査方法により、効率的な基板検査を行うことがで
きる。
及び検査方法により、効率的な基板検査を行うことがで
きる。
【図１】 本発明の好適な実施形態に関わる検査システ
ムの構成を示すブロック図。
ムの構成を示すブロック図。
【図２】 実施形態及び実施例の検査システムに印加さ
れる検査信号の波形のバリエーションを説明する図。
れる検査信号の波形のバリエーションを説明する図。
【図３】 実施形態及び実施例の検査システムに用いら
る非接触型のシールド付きプローブの構成及び動作を説
明する図。
る非接触型のシールド付きプローブの構成及び動作を説
明する図。
【図４】 実施形態及び実施例の検査システムに用いら
る非接触型のシールド付きプローブの構成及び動作を説
明する図。
る非接触型のシールド付きプローブの構成及び動作を説
明する図。
【図５】 実施形態及び実施例の検査システムにおける
ピークホールドのための処理原理を説明するタイミング
チャート。
ピークホールドのための処理原理を説明するタイミング
チャート。
【図６】 第１実施例にかかる検査システムの構成を示
すブロック図。
すブロック図。
【図７】 第１実施例及び第２実施例の検査コントロー
ラ１００の構成を示すブロック図。
ラ１００の構成を示すブロック図。
【図８】 第２実施例にかかる検査システムの構成を示
すブロック図。
すブロック図。
【図９】 第２実施例におけるパイプライン化の原理を
説明する図。
説明する図。
Claims (15)
- 【請求項１】 基板上のパターン線の一端において所定
のトランスミッタから信号を印加し、該パターン線の他
端で信号を所定のプローブにて受信し、この受信信号に
基づいてパターン線の導通を検査する基板検査装置であ
って、 所定の時刻に前記パターン線の一端に検査信号を印加す
る印加手段と、 前記検査信号の印加タイミングを信号ピックアップ手段
に報知する報知手段と、 前記信号ピックアップ手段において、前記報知を受けた
後に、前記プローブにて検出される受信信号の変化を監
視する監視手段を具備することを特徴とする基板検査装
置。 - 【請求項２】 複数の基板上のパターン線の夫々の一端
に所定のトランスミッタから信号を印加し、該夫々のパ
ターン線の各々の他端で信号を夫々の所定のプローブに
て受信し、これらの受信信号に基づいて個々のパターン
線の導通を検査する基板検査装置であって、 検査信号の発生源と、 所定の時刻に複数の基板上のパターン線の夫々の一端に
前記発生源からの検査信号を略同時に印加する複数の印
加手段と、 前記検査信号の印加タイミングを報知する複数の報知手
段と、 前記報知手段からの報知を受けた後に、前記夫々のプロ
ーブにて検出される受信信号の変化を監視する複数の監
視手段を具備することを特徴とする基板検査装置。 - 【請求項３】 前記印加手段の夫々と前記報知手段の夫
々と前記複数の監視手段の夫々とは、１つのチャンネル
を構成することを特徴とする請求項２に記載の基板検査
装置。 - 【請求項４】 前記所定のトランスミッタは前記一端に
接触する信号印加端子であり、前記プローブは非接触式
のシールド付きプローブであることを特徴とする請求項
１乃至３のいずれかに記載の基板検査装置。 - 【請求項５】 前記所定のトランスミッタは非接触式の
信号印加端子であり、前記プローブは前記他端に接触す
る信号印加端子であることを特徴とする請求項１乃至３
のいずれかに記載の基板検査装置。 - 【請求項６】 前記検査信号は少なくとも１周期分の長
さのパルスであることを特徴とする請求項１乃至５のい
ずれかに記載の基板検査装置。 - 【請求項７】 前記検査信号は正弦波形を有することを
特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の基板検査
装置。 - 【請求項８】 前記検査信号は矩形波形を有することを
特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の基板検査
装置。 - 【請求項９】 前記監視手段は、前記報知の後に、前記
受信信号の波形の第１のピークを検出することを特徴と
する請求項１乃至８に記載の基板検査装置。 - 【請求項１０】 前記第１のピークは前記報知の後の最
初のピークであることを特徴とする請求項１乃至９のい
ずれかに記載の基板検査装置。 - 【請求項１１】 前記第１のピークを検出したならば、
その後の第２のピークを検出するまでの前記受信信号の
変化量を検出する手段を更に有することを特徴とする請
求項９または１０に記載の基板検査装置。 - 【請求項１２】 前記印加手段は、パルス信号を発生す
る信号源を有し、 前記印加タイミングにおいて前記信号源の付勢を開始す
ることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載
の基板検査装置。 - 【請求項１３】 前記印加手段は、 パルス信号を常時発生する信号源と、 この信号源に接続され、基板のパターン線の端子に接続
されたスイッチとを有し、 前記印加タイミングに前記スイッチを閉じることを特徴
とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の基板検査装
置。 - 【請求項１４】 基板上のパターン線の一端に信号を印
加し、該パターン線の他端で信号を所定のプローブにて
受信し、この受信信号に基づいてパターン線の導通を検
査する基板検査方法であって、 所定の時刻に前記パターン線の一端に検査信号を印加
し、 前記検査信号の印加タイミングを受信手段に報知し、 前記受信手段において、前記報知信号を受けた後に、前
記プローブにて検出される受信信号の変化を監視するこ
とを特徴とする基板検査方法。 - 【請求項１５】 更に、受信信号をＡ／Ｄ変換する変換
工程と、 Ａ／Ｄ変換データを収集する収集工程とを有し、 前記変換工程と収集工程とはパイプライン化されている
ことを特徴とする請求項１４に記載に基板検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19072698A JP3299189B2 (ja) | 1998-07-06 | 1998-07-06 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19072698A JP3299189B2 (ja) | 1998-07-06 | 1998-07-06 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000019213A true JP2000019213A (ja) | 2000-01-21 |
| JP3299189B2 JP3299189B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=16262794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19072698A Expired - Fee Related JP3299189B2 (ja) | 1998-07-06 | 1998-07-06 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3299189B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002086520A1 (fr) * | 2001-04-19 | 2002-10-31 | Oht Inc. | Appareil d'inspection et procede d'inspection |
| US6545484B1 (en) * | 2000-05-24 | 2003-04-08 | Oht Inc. | Board inspection apparatus and board inspection method |
| JP2007178250A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Nidec-Read Corp | 基板検査方法及び基板検査装置 |
| CN100395554C (zh) * | 2000-02-10 | 2008-06-18 | Oht株式会社 | 检测装置、检测方法和检测组件 |
-
1998
- 1998-07-06 JP JP19072698A patent/JP3299189B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100395554C (zh) * | 2000-02-10 | 2008-06-18 | Oht株式会社 | 检测装置、检测方法和检测组件 |
| US6545484B1 (en) * | 2000-05-24 | 2003-04-08 | Oht Inc. | Board inspection apparatus and board inspection method |
| WO2002086520A1 (fr) * | 2001-04-19 | 2002-10-31 | Oht Inc. | Appareil d'inspection et procede d'inspection |
| JP2007178250A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Nidec-Read Corp | 基板検査方法及び基板検査装置 |
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|---|---|
| JP3299189B2 (ja) | 2002-07-08 |
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