JP2000002289A - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
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- JP2000002289A JP2000002289A JP18166198A JP18166198A JP2000002289A JP 2000002289 A JP2000002289 A JP 2000002289A JP 18166198 A JP18166198 A JP 18166198A JP 18166198 A JP18166198 A JP 18166198A JP 2000002289 A JP2000002289 A JP 2000002289A
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- Japan
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- vibration
- piezoelectric element
- elastic body
- vibration control
- control actuator
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Abstract
(57)【要約】
【課題】振動制御用アクチュエータに適切な予荷重を簡
単にかけることのできる除振装置を提供すること 【解決手段】積層ゴム２８と圧電素子２６との間に間隔
調整部材１２を設ける。間隔調整部材は、左ネジが設け
られたロッド４４と、右ネジが設けられたロッド４６
に、ナット部材４８が螺合して構成される。そして、ナ
ット部材４８を回動させて間隔調整部材１２を伸縮し、
振動制御用アクチュエータ３０にかかる予荷重を調節す
る。
単にかけることのできる除振装置を提供すること 【解決手段】積層ゴム２８と圧電素子２６との間に間隔
調整部材１２を設ける。間隔調整部材は、左ネジが設け
られたロッド４４と、右ネジが設けられたロッド４６
に、ナット部材４８が螺合して構成される。そして、ナ
ット部材４８を回動させて間隔調整部材１２を伸縮し、
振動制御用アクチュエータ３０にかかる予荷重を調節す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は除振装置に係り、特
に半導体製造施設等の嫌振機器を積載するテーブルの振
動を能動的に制御する除振装置に関する。
に半導体製造施設等の嫌振機器を積載するテーブルの振
動を能動的に制御する除振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、除振装置は、半導体製造施設等
の除振機器を搭載する除振台を、複数の振動制御用アク
チュエータによって鉛直方向及び水平方向に支持するこ
とによって構成される。この振動制御用アクチュエータ
は、弾性体と圧電素子を介して除振台を支持し、圧電素
子に印加する電圧を増減することにより除振台を除振し
ている。
の除振機器を搭載する除振台を、複数の振動制御用アク
チュエータによって鉛直方向及び水平方向に支持するこ
とによって構成される。この振動制御用アクチュエータ
は、弾性体と圧電素子を介して除振台を支持し、圧電素
子に印加する電圧を増減することにより除振台を除振し
ている。
【０００３】ところで、このように弾性体と圧電素子を
用いた振動制御用アクチュエータでは、駆動方向に予め
所定の荷重（以下、予荷重と称す）を負荷しておかない
と、圧電素子の制御性が悪くなり、良好な除振の効果が
得られないという欠点がある。特に、水平方向の除振を
する振動制御用アクチュエータを複数設置する場合に
は、全ての振動制御用アクチュエータにおいて、略等し
い予荷重をかけなければ、最適な除振効果を得ることが
できない。
用いた振動制御用アクチュエータでは、駆動方向に予め
所定の荷重（以下、予荷重と称す）を負荷しておかない
と、圧電素子の制御性が悪くなり、良好な除振の効果が
得られないという欠点がある。特に、水平方向の除振を
する振動制御用アクチュエータを複数設置する場合に
は、全ての振動制御用アクチュエータにおいて、略等し
い予荷重をかけなければ、最適な除振効果を得ることが
できない。
【０００４】そこで、従来の除振装置では、振動制御用
アクチュエータを床面等に固定しているボルトを一旦は
ずし、振動制御用アクチュエータを駆動方向に何らかの
方法で外力を与えながら前記ボルトを再び締め上げるこ
とにより、予荷重を与えていた。
アクチュエータを床面等に固定しているボルトを一旦は
ずし、振動制御用アクチュエータを駆動方向に何らかの
方法で外力を与えながら前記ボルトを再び締め上げるこ
とにより、予荷重を与えていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、外力を
与えながら振動制御用アクチュエータを固定するのは、
煩雑な作業であるだけでなく、適切な予荷重をかけるこ
とが困難であった。しかも、予荷重が適切でない場合に
は、前記ボルトを再びはずさねばならず、既に固定した
他の振動制御用アクチュエータの予荷重に影響するとい
う問題もあった。このため、全ての振動制御用アクチュ
エータにおいて、適切な予荷重をかけるには、熟練と時
間を要していた。
与えながら振動制御用アクチュエータを固定するのは、
煩雑な作業であるだけでなく、適切な予荷重をかけるこ
とが困難であった。しかも、予荷重が適切でない場合に
は、前記ボルトを再びはずさねばならず、既に固定した
他の振動制御用アクチュエータの予荷重に影響するとい
う問題もあった。このため、全ての振動制御用アクチュ
エータにおいて、適切な予荷重をかけるには、熟練と時
間を要していた。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みて成され
たもので、振動制御用アクチュエータに適切な予荷重を
簡単にかけることのできる除振装置を提供することを目
的とする。
たもので、振動制御用アクチュエータに適切な予荷重を
簡単にかけることのできる除振装置を提供することを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
るために、弾性体と圧電素子とを直列に配置して成る振
動制御用アクチュエータを、被除振物を搭載する除振台
と床面等の据付部との間に介在し、前記弾性体を圧縮し
た反力により前記圧電素子の駆動方向に所定の予荷重を
負荷する除振装置において、前記弾性体と前記圧電素子
との間に、前記弾性体と前記圧電素子との間隔を調整す
る間隔調整手段を設けたことを特徴とする。
るために、弾性体と圧電素子とを直列に配置して成る振
動制御用アクチュエータを、被除振物を搭載する除振台
と床面等の据付部との間に介在し、前記弾性体を圧縮し
た反力により前記圧電素子の駆動方向に所定の予荷重を
負荷する除振装置において、前記弾性体と前記圧電素子
との間に、前記弾性体と前記圧電素子との間隔を調整す
る間隔調整手段を設けたことを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、弾性体と圧電素子との間
に間隔調整手段を配設し、これにより弾性体と圧電素子
との間隔を調整するようにした。即ち、弾性体と圧電素
子との間隔を広げると弾性体の圧縮量が増加して圧電素
子に負荷する荷重が大きくなり、逆に弾性体と圧電素子
との間隔を狭めると弾性体の圧縮量が減少して圧電素子
に負荷する荷重が小さくなる。従って、圧電素子に負荷
する予荷重の調整を振動制御用アクチュエータ内で行う
ことができるので、従来のように振動制御用アクチュエ
ータを据付部に固定しているボルトを一旦はずし、弾性
体の圧縮量を調節してから再び据付部に固定するという
煩雑な作業を行う必要はない。
に間隔調整手段を配設し、これにより弾性体と圧電素子
との間隔を調整するようにした。即ち、弾性体と圧電素
子との間隔を広げると弾性体の圧縮量が増加して圧電素
子に負荷する荷重が大きくなり、逆に弾性体と圧電素子
との間隔を狭めると弾性体の圧縮量が減少して圧電素子
に負荷する荷重が小さくなる。従って、圧電素子に負荷
する予荷重の調整を振動制御用アクチュエータ内で行う
ことができるので、従来のように振動制御用アクチュエ
ータを据付部に固定しているボルトを一旦はずし、弾性
体の圧縮量を調節してから再び据付部に固定するという
煩雑な作業を行う必要はない。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って、本発明に
係る除振装置の好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明の除振装置１０の上面図であり、除振台
２２と基台２０（図２参照）との間に介在する振動制御
用アクチュエータ２４、３０の配置を示している。尚、
図中矢印は、水平方向の振動制御用アクチュエータ３０
の駆動方向を示している。
係る除振装置の好ましい実施の形態について詳説する。
図１は、本発明の除振装置１０の上面図であり、除振台
２２と基台２０（図２参照）との間に介在する振動制御
用アクチュエータ２４、３０の配置を示している。尚、
図中矢印は、水平方向の振動制御用アクチュエータ３０
の駆動方向を示している。
【００１０】図１に示すように、半導体装置のような嫌
振機器を搭載する矩形板状の除振台２２の４隅下方に
は、それぞれ鉛直方向の振動制御用アクチュエータ２４
が設けられる。この鉛直方向の振動制御用アクチュエー
タ２４は、除振台２２を鉛直方向（図１のＺ方向）に駆
動して、鉛直方向の振動を除振する。また、鉛直方向の
振動制御用アクチュエータ２４の近傍の除振台２２下方
には、それぞれ水平方向の振動制御用アクチュエータ３
０が設けられる。この水平方向の振動制御用アクチュエ
ータ３０は、図１に示したように配置することにより、
除振台２２を水平方向に駆動して水平方向の振動を除振
する。即ち、４隅のうち一方の略対角位置に配置された
一対の振動制御用アクチュエータ３０、３０が、水平Ｘ
方向（図１のＸ方向）且つ除振台２２に対して外向きに
駆動し、他方の対角位置に配置された一対の振動制御用
アクチュエータ３０、３０が、水平Ｙ方向（図１のＹ方
向）で且つ除振台２２に対して内向きに駆動する。
振機器を搭載する矩形板状の除振台２２の４隅下方に
は、それぞれ鉛直方向の振動制御用アクチュエータ２４
が設けられる。この鉛直方向の振動制御用アクチュエー
タ２４は、除振台２２を鉛直方向（図１のＺ方向）に駆
動して、鉛直方向の振動を除振する。また、鉛直方向の
振動制御用アクチュエータ２４の近傍の除振台２２下方
には、それぞれ水平方向の振動制御用アクチュエータ３
０が設けられる。この水平方向の振動制御用アクチュエ
ータ３０は、図１に示したように配置することにより、
除振台２２を水平方向に駆動して水平方向の振動を除振
する。即ち、４隅のうち一方の略対角位置に配置された
一対の振動制御用アクチュエータ３０、３０が、水平Ｘ
方向（図１のＸ方向）且つ除振台２２に対して外向きに
駆動し、他方の対角位置に配置された一対の振動制御用
アクチュエータ３０、３０が、水平Ｙ方向（図１のＹ方
向）で且つ除振台２２に対して内向きに駆動する。
【００１１】また、除振台２２の下面４隅には、鉛直方
向の振動を検出する複数個の鉛直振動検出器３２と、水
平Ｘ方向の振動を検出する複数個の水平Ｘ方向振動検出
器３４と、水平Ｙ方向の振動を検出する複数個の水平Ｙ
方向振動検出器３６とが取り付けられている。そして、
これらの検出器３２、３４、３６で得られた振動の信号
は、図示しないコントローラに送られる。コントローラ
は、予め設定されたプログラムに基づいて、それぞれの
振動制御用アクチュエータ２４、３０に駆動電圧を印加
して除振台２２を駆動し、これにより振動を除振する。
向の振動を検出する複数個の鉛直振動検出器３２と、水
平Ｘ方向の振動を検出する複数個の水平Ｘ方向振動検出
器３４と、水平Ｙ方向の振動を検出する複数個の水平Ｙ
方向振動検出器３６とが取り付けられている。そして、
これらの検出器３２、３４、３６で得られた振動の信号
は、図示しないコントローラに送られる。コントローラ
は、予め設定されたプログラムに基づいて、それぞれの
振動制御用アクチュエータ２４、３０に駆動電圧を印加
して除振台２２を駆動し、これにより振動を除振する。
【００１２】上述した振動制御用アクチュエータ２４、
３０は、駆動方向が異なる以外は同様に構成される。以
下は、水平方向の振動制御用アクチュエータ３０の例で
説明する。図２は、振動制御用アクチュエータ３０の取
り付け状況を示す縦断面図である。
３０は、駆動方向が異なる以外は同様に構成される。以
下は、水平方向の振動制御用アクチュエータ３０の例で
説明する。図２は、振動制御用アクチュエータ３０の取
り付け状況を示す縦断面図である。
【００１３】同図に示したように、振動制御用アクチュ
エータ３０は主として、圧電素子２６、積層ゴム２８、
間隔調整部材１２及びアクチュエータ本体１４で構成さ
れる。アクチュエータ本体１４は、基台２０にボルト４
０、４０で固定され、内部に圧電素子２６が設けられ
る。圧電素子２６は、水平Ｘ方向（図１参照）に駆動す
るように、素子封入弾性体４２によりアクチュエータ本
体１４に支持される。素子封入弾性体４２は、弾性体で
あれば何でも良く、例えば、板バネ等であってもよい。
また、圧電素子２６には、間隔調整部材１２を介して積
層ゴム２８が支持される。
エータ３０は主として、圧電素子２６、積層ゴム２８、
間隔調整部材１２及びアクチュエータ本体１４で構成さ
れる。アクチュエータ本体１４は、基台２０にボルト４
０、４０で固定され、内部に圧電素子２６が設けられ
る。圧電素子２６は、水平Ｘ方向（図１参照）に駆動す
るように、素子封入弾性体４２によりアクチュエータ本
体１４に支持される。素子封入弾性体４２は、弾性体で
あれば何でも良く、例えば、板バネ等であってもよい。
また、圧電素子２６には、間隔調整部材１２を介して積
層ゴム２８が支持される。
【００１４】積層ゴム２８は、除振台２２下面の取付治
具５４の垂直面５４Ａに、当接もしくは連結され、圧電
素子２６に加わる剪断方向（圧電素子２６の駆動方向に
対して直交する方向）の力を吸収して圧電素子２６の破
壊を防止するように構成される。尚、積層ゴム２８の代
わりにゴム柱等を設けてもよい。間隔調整部材１２は主
として、ロッド４４、ロッド４６及びナット部材４８で
構成される。ロッド４４は、一端がフランジ５０を介し
て圧電素子２６に支持され、他端側に左ネジが設けられ
る。また、ロッド４６は、一端がフランジ５２を介して
積層ゴム２８に支持され、他端側に右ネジが設けられ
る。尚、ロッド４４とロッド４６のネジの方向は、逆で
あってもよい。ナット部材４８は、例えばターンバック
ルのようなものが用いられ、ロッド４４とロッド４６に
同軸上で且つ反対側に螺合するように構成される。これ
により、ナット部材４８を一方向に回転させると、積層
ゴム２８と圧電素子２６を回転させることなく、ロッド
４４とロッド４６のネジを同時に締めることができる。
即ち、積層ゴム２８と圧電素子２６の間隔が狭まるの
で、積層ゴム２８の反力を小さくして圧電素子２６にか
かる予荷重を小さくすることができる。同様に、ナット
部材４８を逆方向に回転させると、積層ゴム２８と圧電
素子２６の間隔を広げることができるので、圧電素子２
６にかかる予荷重を大きくすることができる。また、ナ
ット部材４８の両側にはナット５６、５６が設けられ、
圧電素子２６を駆動した際にネジが緩むことを防止して
いる。
具５４の垂直面５４Ａに、当接もしくは連結され、圧電
素子２６に加わる剪断方向（圧電素子２６の駆動方向に
対して直交する方向）の力を吸収して圧電素子２６の破
壊を防止するように構成される。尚、積層ゴム２８の代
わりにゴム柱等を設けてもよい。間隔調整部材１２は主
として、ロッド４４、ロッド４６及びナット部材４８で
構成される。ロッド４４は、一端がフランジ５０を介し
て圧電素子２６に支持され、他端側に左ネジが設けられ
る。また、ロッド４６は、一端がフランジ５２を介して
積層ゴム２８に支持され、他端側に右ネジが設けられ
る。尚、ロッド４４とロッド４６のネジの方向は、逆で
あってもよい。ナット部材４８は、例えばターンバック
ルのようなものが用いられ、ロッド４４とロッド４６に
同軸上で且つ反対側に螺合するように構成される。これ
により、ナット部材４８を一方向に回転させると、積層
ゴム２８と圧電素子２６を回転させることなく、ロッド
４４とロッド４６のネジを同時に締めることができる。
即ち、積層ゴム２８と圧電素子２６の間隔が狭まるの
で、積層ゴム２８の反力を小さくして圧電素子２６にか
かる予荷重を小さくすることができる。同様に、ナット
部材４８を逆方向に回転させると、積層ゴム２８と圧電
素子２６の間隔を広げることができるので、圧電素子２
６にかかる予荷重を大きくすることができる。また、ナ
ット部材４８の両側にはナット５６、５６が設けられ、
圧電素子２６を駆動した際にネジが緩むことを防止して
いる。
【００１５】次に、上記の如く構成された除振装置の作
用について、水平方向の振動制御用アクチュエータ３０
の例で説明する。先ず、振動制御用アクチュエータ３０
を図１に示したように配置し、ボルト４０でアクチュエ
ータ本体１４を基台２０に固定する。このとき、ロッド
４４とロッド４６のネジを締めた状態でアクチュエータ
本体１４を固定すれば、従来のようにアクチュエータ本
体１４を駆動方向に押しながら固定する必要はない。
用について、水平方向の振動制御用アクチュエータ３０
の例で説明する。先ず、振動制御用アクチュエータ３０
を図１に示したように配置し、ボルト４０でアクチュエ
ータ本体１４を基台２０に固定する。このとき、ロッド
４４とロッド４６のネジを締めた状態でアクチュエータ
本体１４を固定すれば、従来のようにアクチュエータ本
体１４を駆動方向に押しながら固定する必要はない。
【００１６】次に、間隔調整部材１２が伸長する方向
に、間隔調整部材１２のナット部材４８を回転する。こ
れにより、積層ゴム２８が圧縮され、圧縮された積層ゴ
ム２８の反力により振動制御用アクチュエータに予荷重
が負荷される。そして、ナット部材４８を回動して予荷
重の微調節を行い、各振動制御用アクチュエータ３０に
適切な予荷重をかける。このとき、ボルト４０を外して
アクチュエータ本体１４の固定を解除する必要がないの
で、他の振動制御用アクチュエータの予荷重に影響する
ことなく、簡単且つ正確に予荷重を調節することができ
る。このように、各振動制御用アクチュエータ３０にお
いて、適切な予荷重を簡単にかけることができるので、
除振台２２の水平方向の振動を効率よく除振することが
できる。尚、予荷重は、圧電素子２６の起電力を測定す
ることによって、正確に計測することもできる。
に、間隔調整部材１２のナット部材４８を回転する。こ
れにより、積層ゴム２８が圧縮され、圧縮された積層ゴ
ム２８の反力により振動制御用アクチュエータに予荷重
が負荷される。そして、ナット部材４８を回動して予荷
重の微調節を行い、各振動制御用アクチュエータ３０に
適切な予荷重をかける。このとき、ボルト４０を外して
アクチュエータ本体１４の固定を解除する必要がないの
で、他の振動制御用アクチュエータの予荷重に影響する
ことなく、簡単且つ正確に予荷重を調節することができ
る。このように、各振動制御用アクチュエータ３０にお
いて、適切な予荷重を簡単にかけることができるので、
除振台２２の水平方向の振動を効率よく除振することが
できる。尚、予荷重は、圧電素子２６の起電力を測定す
ることによって、正確に計測することもできる。
【００１７】また、鉛直方向の振動制御用アクチュエー
タ２４においても上記と同様の操作を行う。即ち、除振
台２２及び除振台２２に載置した嫌振機器によってかか
る予荷重を、ナット部材４８を回動することにより、調
節する。これにより、除振台２２の鉛直方向の振動を確
実に除振することができる。また、各振動制御用アクチ
ュエータ２４において予荷重を調節するので、嫌振機器
を設置して重心が偏った場合にも対応することができ
る。
タ２４においても上記と同様の操作を行う。即ち、除振
台２２及び除振台２２に載置した嫌振機器によってかか
る予荷重を、ナット部材４８を回動することにより、調
節する。これにより、除振台２２の鉛直方向の振動を確
実に除振することができる。また、各振動制御用アクチ
ュエータ２４において予荷重を調節するので、嫌振機器
を設置して重心が偏った場合にも対応することができ
る。
【００１８】このように、本発明に係る除振装置１０で
は、振動制御用アクチュエータ２４、３０の積層ゴム２
８と圧電素子２６の間に伸縮可能な間隔調整部材１２を
設けるので、振動制御用アクチュエータ２４、３０内で
簡単に予荷重を調節することができる。従って、アクチ
ュエータ本体１４の固定を解除しなくても予荷重を調節
することができるので、他の振動制御用アクチュエータ
に影響することなく全ての振動制御用アクチュエータに
適切な予荷重をかけることができる。
は、振動制御用アクチュエータ２４、３０の積層ゴム２
８と圧電素子２６の間に伸縮可能な間隔調整部材１２を
設けるので、振動制御用アクチュエータ２４、３０内で
簡単に予荷重を調節することができる。従って、アクチ
ュエータ本体１４の固定を解除しなくても予荷重を調節
することができるので、他の振動制御用アクチュエータ
に影響することなく全ての振動制御用アクチュエータに
適切な予荷重をかけることができる。
【００１９】また、本発明では、ナット部材４８を回転
させて間隔調整部材１２を縮めると、アクチュエータ本
体１４を基台２０に固定したまま、圧電素子２６等を取
り外すことができる。従って、簡単に圧電素子２６等の
交換を行うことができる。更に、本発明の除振装置１０
では、アクチュエータ本体１４を基台２０に固定したま
ま積層ゴム２８と圧電素子２６との間隔を調整できるの
で、それぞれ別の方向に駆動する複数の振動制御用アク
チュエータを一体構造とすることができる。例えば、図
３は、鉛直方向と水平方向にそれぞれ駆動する２つの振
動制御用アクチュエータを一体構造としたものである。
同図に示す振動制御用アクチュエータは、鉛直方向と水
平方向にそれぞれ圧電素子２６と積層ゴム２８が直列配
置されると共に、この圧電素子２６と積層ゴム２８の間
に伸縮自在な間隔調整部材１２、１２がそれぞれ設けら
れている。これにより、間隔調整部材１２、１２をそれ
ぞれ伸縮させて、鉛直方向及び水平方向の予荷重を調節
することができる。このように、別の方向に駆動する複
数の振動制御用アクチュエータを一体構造とすることに
より、振動制御用アクチュエータの設置にかかる時間や
スペースを大きく低減させることができる。
させて間隔調整部材１２を縮めると、アクチュエータ本
体１４を基台２０に固定したまま、圧電素子２６等を取
り外すことができる。従って、簡単に圧電素子２６等の
交換を行うことができる。更に、本発明の除振装置１０
では、アクチュエータ本体１４を基台２０に固定したま
ま積層ゴム２８と圧電素子２６との間隔を調整できるの
で、それぞれ別の方向に駆動する複数の振動制御用アク
チュエータを一体構造とすることができる。例えば、図
３は、鉛直方向と水平方向にそれぞれ駆動する２つの振
動制御用アクチュエータを一体構造としたものである。
同図に示す振動制御用アクチュエータは、鉛直方向と水
平方向にそれぞれ圧電素子２６と積層ゴム２８が直列配
置されると共に、この圧電素子２６と積層ゴム２８の間
に伸縮自在な間隔調整部材１２、１２がそれぞれ設けら
れている。これにより、間隔調整部材１２、１２をそれ
ぞれ伸縮させて、鉛直方向及び水平方向の予荷重を調節
することができる。このように、別の方向に駆動する複
数の振動制御用アクチュエータを一体構造とすることに
より、振動制御用アクチュエータの設置にかかる時間や
スペースを大きく低減させることができる。
【００２０】尚、間隔調整部材１２は、上述した実施の
形態に限定するものではない。例えば、雌ねじが形成さ
れたナット部材を積層ゴム２８に連結し、逆向きの雌ね
じが形成されたナット部材を圧電素子２６に連結すると
共に、この２つのナット部材にロッドを螺合させ、ロッ
ドを回動することにより間隔調整してもよい。また、油
圧シリンダ等の駆動装置を用いて間隔調整してもよい。
形態に限定するものではない。例えば、雌ねじが形成さ
れたナット部材を積層ゴム２８に連結し、逆向きの雌ね
じが形成されたナット部材を圧電素子２６に連結すると
共に、この２つのナット部材にロッドを螺合させ、ロッ
ドを回動することにより間隔調整してもよい。また、油
圧シリンダ等の駆動装置を用いて間隔調整してもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る除振
装置では、圧電素子と弾性体の間に配置した間隔調整手
段により、圧電素子に適切な予荷重を簡単に且つ精度良
くかけることができる。これにより、除振効果を向上さ
せることができると共に、予荷重の調整時間を従来より
も大きく短縮させることができる。
装置では、圧電素子と弾性体の間に配置した間隔調整手
段により、圧電素子に適切な予荷重を簡単に且つ精度良
くかけることができる。これにより、除振効果を向上さ
せることができると共に、予荷重の調整時間を従来より
も大きく短縮させることができる。
【図１】本発明に係る除振装置の上面図
【図２】図１の振動制御用アクチュエータの縦断面図
【図３】水平方向と鉛直方向にそれぞれ駆動する振動制
御用アクチュエータを一体構造とした場合の縦断面図
御用アクチュエータを一体構造とした場合の縦断面図
１０…除振装置 １２…間隔調整部材 １４…アクチュエータ本体 ２４…鉛直方向の振動制御用アクチュエータ ２６…圧電素子 ２８…積層ゴム ３０…水平方向の振動制御用アクチュエータ ４４…（圧電素子側）ロッド ４６…（積層ゴム側）ロッド ４８…ナット部材
Claims (3)
- 【請求項１】弾性体と圧電素子とを直列に配置して成る
振動制御用アクチュエータを、被除振物を搭載する除振
台と床面等の据付部との間に介在し、前記弾性体を圧縮
した反力により前記圧電素子の駆動方向に所定の予荷重
を負荷する除振装置において、 前記弾性体と前記圧電素子との間に、前記弾性体と前記
圧電素子との間隔を調整する間隔調整手段を設けたこと
を特徴とする除振装置。 - 【請求項２】前記除振台と前記据付部との間には、水平
方向の除振を行う振動制御用アクチュエータと鉛直方向
の除振を行う振動制御用アクチュエータとが一体的に設
けられることを特徴とする請求項１の除振装置 - 【請求項３】前記間隔調節手段は、 前記弾性体に一端が固定され、他端にねじが設けられた
弾性体側ロッドと、 前記圧電素子に一端が固定され、他端に前記弾性体側ロ
ッドのねじと逆向きのねじが設けられた圧電素子側ロッ
ドと、 前記弾性体側ロッドのねじと前記圧電素子側ロッドのね
じにそれぞれ螺合するナット部材と、 から成ることを特徴とする請求項２の除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18166198A JP2000002289A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18166198A JP2000002289A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000002289A true JP2000002289A (ja) | 2000-01-07 |
Family
ID=16104664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18166198A Pending JP2000002289A (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000002289A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001271871A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Tokkyokiki Corp | アクティブ防振装置 |
| JP2012041992A (ja) * | 2010-08-19 | 2012-03-01 | Ohbayashi Corp | 制振装置 |
| KR101132245B1 (ko) | 2009-11-18 | 2012-04-02 | 서울메트로 | 변위 조절이 가능한 교좌장치 |
| JP6871645B1 (ja) * | 2019-12-13 | 2021-05-12 | 明立精機株式会社 | 精密機器搭載用除振装置 |
-
1998
- 1998-06-12 JP JP18166198A patent/JP2000002289A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001271871A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Tokkyokiki Corp | アクティブ防振装置 |
| KR101132245B1 (ko) | 2009-11-18 | 2012-04-02 | 서울메트로 | 변위 조절이 가능한 교좌장치 |
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| JP6871645B1 (ja) * | 2019-12-13 | 2021-05-12 | 明立精機株式会社 | 精密機器搭載用除振装置 |
| CN112984044A (zh) * | 2019-12-13 | 2021-06-18 | 明立精机株式会社 | 位移抑制机构以及除振装置 |
| JP2021095925A (ja) * | 2019-12-13 | 2021-06-24 | 明立精機株式会社 | 精密機器搭載用除振装置 |
| CN112984044B (zh) * | 2019-12-13 | 2024-04-12 | 明立精机株式会社 | 精密设备搭载用除振装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060110 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060228 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060627 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |