FR2483377A1 - METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATIC TRANSPORT AND FOR POSITIONING DISK-SHAPED OBJECTS - Google Patents

Abstract

The invention relates to a method and device for automatically conveying and orienting wafer-like objects, with orientation phases, in a pneumatic fashion. It can be used for automatically positioning semiconductor wafers and glass substrates during the production of microelectronic components, and is used there for prepositioning of the wafers with respect to the x, y and phi axes of coordinates and for subsequent wedge error compensation. The uniform pneumatic conveying, adjustment and control principle is intended to result in a quick, cheap and therefore productive model. According to the invention, the wafers are conveyed to a prepositioning station, made to rotate there, pneumatically scanned at their edges and stopped by means of a vacuum when the orientation phase has been detected. When they have been preoriented in this manner, they are blown onto a wedge error compensation device and are pressed there against stops to permit orientation with respect to the x and y axes, after which wedge error compensation takes place using a pneumatically controlled reference plate.

Description

La présente invention se rapporte à un procédé et à un dispositif pour le transport automatique et la mise on position pat voie pneumatique d'objets on forme de disque et présentant au moins une phase d'orientation. The present invention relates to a method and a device for the automatic transport and positioning of pneumatic objects in the form of a disc and having at least one orientation phase.

L'orientation des objets suivant les coordonnées x, y ainsi que # suive d'une compensation de l'erreur angulaire, doit s'effectuer sur un porte-objet pouvant titre réglé dans le plan horizontal. L'invention concerne notamment la mise en position automatique de disques semi- conducteurs et de substrats en verre lors de la fabrication de composants micro-électroniques et le dispositif suivant l'invention sert alors à la mise on place préalable des disques. The orientation of the objects along the x, y coordinates as well as # follows a compensation for the angular error, must be carried out on a holder which can title adjusted in the horizontal plane. The invention relates in particular to the automatic positioning of semiconductor discs and glass substrates during the manufacture of microelectronic components and the device according to the invention is then used for the prior placing of the discs.

Les dispositifs connus à i ce jour pour la mise en place d'objets on forme de disque utilisent on majeure partie des organe de transport et de transfert mécaniques on connaît, par exemple par les brevets US 3 902 615 et 3 865 254, des voies de transport qui sont constituées par des bandes transporteuses ou des bras pivotants.Le processus de mise en position proprement dit suivant les coordonnées x, y ainsi que # s'effectue mécaniquement ou pneumatiquement on amenant les objets ou les disquessemi- conducteurs á se mettre on position au contact de butées & BR< l'aide de moyens mécaniques ou pneumatiques. La position est contr8lée -visuellement ou au moyen de dispositifs photo-électriques (brevets US 3 797 889 et 3 9O 5085.  The devices known to date for placing objects in the form of a disc use a major part of the mechanical transport and transfer members, for example by means of US Patents 3,902,615 and 3,865,254. conveyors which are constituted by conveyor belts or pivoting arms. The actual positioning process according to the x, y coordinates as well as # is carried out mechanically or pneumatically by bringing the objects or the semiconductor disks to position in contact with stops & BR <using mechanical or pneumatic means. The position is controlled - visually or by means of photoelectric devices (US patents 3,797,889 and 3,9O 5,085.

L'inconvénient des dispositifs de mise en position connus réside dans le fait qu'il n'est pas possible d'asso- cier de façon continue le transport des disques et le processus d'ajustement de ces derniers. Il est en outre nécessaire do prévoir un nombre plus ou moins important de déplacements pour permettre aux disques & ajuster d'attein- dre leur position nominale.Les dispositifs de mise en position connus ne permettent généralement pas un ajustement automatique de disques de substrat à deux phases d'orientation et leur adaptation & des disques de diamètres diffé- rente exige une mise en oeuvre importants. Jusqua'à ce jour il n'est en outre pas possible d'utiliser des disques d'épaisseurs fortement différentes0 Les dispositifs de mise en position connus ne permettent pas d'utiliser des substrats semi-conducteurs et des substrats en verre pour la fabrication de gabarits de dimensions itportantes.  The disadvantage of the known positioning devices lies in the fact that it is not possible to continuously combine the transport of the discs and the process of adjusting the latter. It is also necessary to provide a greater or lesser number of displacements to allow the disks & adjust to reach their nominal position. Known positioning devices generally do not allow automatic adjustment of substrate disks to two orientation phases and their adaptation to discs of different diameters requires significant processing. Until now, it is also not possible to use discs of very different thicknesses. 0 Known positioning devices do not allow the use of semiconductor substrates and glass substrates for the manufacture of important dimensions templates.

En vue de corriger l'erreur angulaire fréquente dot disques semi-conducteurs il est connu, par exemple par le brevet DD 123 848, de placer le disque sur une calotte sphérique. La force qui amène la surface du disque dans la position horizontale précise est cré & mécaniquement. In order to correct the frequent angular error in semiconductor discs, it is known, for example from patent DD 123 848, to place the disc on a spherical cap. The force which brings the surface of the disc to the precise horizontal position is created & mechanically.

L'invention a pour but de créer une variante productive et économique pour des dispositifs de ce type grâce á un système de transport et de mise en position penumatique qui est destiné à des objets en forme de disque présentant plusieurs phases d'orientation.Un principe de transport, d'ajustement et de commande uniforme permet, d'une part, d'abaisser le prix de revient par rapport aux systèmes connus mécano-pneumatiques ou pneumatiques-opto-électroniques et, d'autre part, pour la première fois un ajustement entié rement automatique de disques à deux phases d'orientation0
Par rapport à des dispositifs connus l'ajustement en hauteur -des disques par des moyens pneumatiques est inclus dans le cycle d'ajustement automatique ce qui permet de renoncer aux éléments fonctionnels destinés & cette opération dans des dispositifs connus,
La présente invention a pour objet de créer un système. compact de transport et de mise en position pour des objets en forme des disque et présentant au moins une phase d'orientation.Le développement d'un système de transport et de mise en position préalable de fonctionnement rapide, permettant une sélection de phase et présentant une précision d'ajustement élevée des objets selon les coordonnées x, y ainsi que ff, est particulièrement important lorsque le dispositif est utilisé pour l'exposition par recouvrement de disques semi-conducteurs et en association avec des installations microphotographiques. Il est important que la compensation de l'erreur angulaire de position des objets fasse partie du processus d'ajustement automatique commandé pneumatiquement. The invention aims to create a productive and economical variant for devices of this type thanks to a transport and penumatic positioning system which is intended for disc-shaped objects having several phases of orientation. transport, adjustment and uniform control allows, on the one hand, to lower the cost price compared to known mechanical-pneumatic or pneumatic-opto-electronic systems and, on the other hand, for the first time a fully automatic adjustment of discs with two orientation phases0
Compared to known devices, the height adjustment of the discs by pneumatic means is included in the automatic adjustment cycle, which makes it possible to dispense with the functional elements intended for this operation in known devices,
The object of the present invention is to create a system. compact transport and positioning system for disc-shaped objects with at least one orientation phase. The development of a transport and positioning system for rapid operation, allowing phase selection and presenting a high precision of adjustment of the objects according to the coordinates x, y as well as ff, is particularly important when the device is used for the exposure by covering of semiconductor discs and in association with microphotographic installations. It is important that compensation for angular position error of objects is part of the pneumatically controlled automatic adjustment process.

Les problèmes ci-dessus sont résolus conformément à l'invention par un procédé qui est caractérisé par les opérations suivantes
a) dans un poste de mise en position préalable l'objet est mis en rotation au moyen d'une force de pression et son bord est exploré pneumatiquement. Lorsque l'objet atteint la phase d'orientation il est immobilisé grâce à une dépression (vide) et est maintenu par cette dernière dans la position exacte jusqu'à l'opération sui- vante. The above problems are solved according to the invention by a method which is characterized by the following operations
a) in a positionning station the object is rotated by means of a pressing force and its edge is explored pneumatically. When the object reaches the orientation phase, it is immobilized by means of a vacuum (vacuum) and is maintained by the latter in the exact position until the following operation.

b) au début de l'opération suivante l'objet est déplacé par de l'air comprimé et dans une position angu- laire constante, sur une voie de transport pour arriver sur une plaque porte-objet pouvant ttre pivotée dans tous les sens, l'objet étant appliqué contre des butées de la plaque porte-objet est maintenu dans cette position par une dépression (vide). La mise en position de l'objet suivant les coordonnées x, y ainsi que # est alors terminée. b) at the start of the following operation, the object is moved by compressed air and in a constant angular position, on a transport track to arrive on an object-holding plate which can be pivoted in all directions, the object being applied against the stops of the object-holding plate is kept in this position by a vacuum (empty). The positioning of the object along the coordinates x, y and # is then complete.

c) la compensation de l'erreur angulaire s'effectue au moyen d'une plaque de référence qui est commandée pneumatiquement dans le plan vertical. La plaque do référence exerce une force commandée de façon définie sur l'objet et la surface de ce dernier est ajustée horizontalement. c) the angular error compensation is carried out by means of a reference plate which is pneumatically controlled in the vertical plane. The reference plate exerts a defined force on the object and the surface of the latter is adjusted horizontally.

d) après la compensation de l'erreur angulaire la plaque porte-objet est maintenue immobile par voie pneu matique. d) after compensation for the angular error, the object-holding plate is held stationary by the mat tire.

On peut alors precéder à l'usinage et à la fin de cette opération l'objet est évacué pneumatiquement de la plaque porte-objet vers un magasin ou vers un autre dispo sitit.  It is then possible to precede machining and at the end of this operation the object is pneumatically removed from the object-carrying plate towards a store or towards another available location.

Le dispositif pour la mise en oeuvre du procédé est constitué par un poste de mise en position préalable équipé d'un moyen de serrage à vide, suivi par une voie de transport et par un dispositif pour la compensation de l'erreur angulaire qui coorte une plaque porte-objet fixée sur une calotte sphérique et une plaque de référence disposée audessus de la plaque porte-objet tout en étant déplaçable dans le plan vertical. La plaque porte-objet est également équipée d'un moyen de serrage & vide pour maintenir les objets.Le poste de mise en position préa- lable, la voie de transport et le dispositif de cospen- sation de l'erreur angulaire présentent des butées latéraies fixes ainsi que plusieurs buses pour le transport et pour le mise en position des objets. The device for implementing the method consists of a position-setting station equipped with a vacuum clamping means, followed by a transport channel and by a device for compensating for the angular error which costs a object plate fixed on a spherical cap and a reference plate disposed above the object plate while being movable in the vertical plane. The object-holding plate is also equipped with a clamping & vacuum means for holding the objects. The pre-positioning station, the transport channel and the angular error-testing device have stops. fixed side rails as well as several nozzles for transporting and positioning objects.

Le poste de mise en position préalable comporte conformément à l'invention les buses suivantes inclinées de 45; par rapport & sa surface : des buses dirigées dans le sens du transport et assurant l'avance de l'objet, des buses dirigées vers la butée fixe pour assurer l'tppli- cation de l'Objet contre cette dernière et au moins deux buses orientées en sens contraire.Le poste de mise eu position préalable présente en outre les buses suivantes dirigées perpendiculairement par rapport à sa surface : plusieurs buses pour créer des coussins d'air, deux buses manométriques qui sont disposées directement sur la butée latérale fixe et dont l'intervalle correspond sensiblement à la longueur de la phase d'orientation de l'objet ainsi qu'un frein à vide, qui est Mitué vu dans le sens du transport, en amont d'un doigt déplaçable formant butée. The pre-positioning station comprises, according to the invention, the following nozzles inclined by 45; relative to its surface: nozzles directed in the direction of transport and ensuring the advance of the object, nozzles directed towards the fixed stop to ensure the application of the Object against the latter and at least two nozzles The pre-positioning station also has the following nozzles directed perpendicular to its surface: several nozzles for creating air cushions, two pressure nozzles which are arranged directly on the fixed lateral stop and whose the interval corresponds substantially to the length of the orientation phase of the object as well as a vacuum brake, which is mitué seen in the direction of transport, upstream of a movable finger forming a stop.

Les buses de la voie de transport remplissant les fonctions de transport et d'orientation sont dirigées vers la butée latérale en étant inclinées de 45- par rapport à la direction de transport. The nozzles of the transport path fulfilling the transport and orientation functions are directed towards the lateral stop being inclined at 45- relative to the transport direction.

La plaque porte-objet comporte un frein i vide analogue & celui du poste de mise en position préalable et disposé en amont de la butée fixe vu dans le sens du tran- port, ainsi que des buses de transport et d'orientation analogues & celles de la voie de transport; et des buses de transport pour l'évacuation des objets vers un dispo- sitar collecteur après leurusinage. The object-holding plate includes a vacuum brake similar to that of the pre-positioning station and arranged upstream of the fixed stop seen in the direction of transport, as well as transport and orientation nozzles similar to those the transportation route; and transport nozzles for evacuating the objects to a collecting device after their machining.

La plaque de référence nécessaire & la correction de l'erreur angulaire estconduite verticalement dans un guide et elle peut Entre déplacée au moyen d'un soufflet commandé par de l'air comprimé0
Le poste de mise en position préalable comporte avantageusement une buse pour produire une pression antagoniste par rapport aux buses commandant la rotation de l'objet afin d'obtenir une application précise de l'objet en forme de disque contre la butée fixe.The necessary reference plate & the correction of the angular error is driven vertically in a guide and it can be moved by means of a bellows controlled by compressed air0
The pre-positioning station advantageously comprises a nozzle for producing an opposing pressure with respect to the nozzles controlling the rotation of the object in order to obtain a precise application of the disc-shaped object against the fixed stop.

Diverses autres caractéristiques de l'invention ressortent d'ailleurs de la description détailée qui suit
Une forme de réalisation dê l'objet de l'invention est représentée, à -titre d'exemple non limitatif, aux dessins annexés.Various other characteristics of the invention will also emerge from the detailed description which follows
An embodiment of the subject of the invention is shown, by way of nonlimiting example, in the accompanying drawings.

La fig. 1 est une vue de dessus de l'ensemble du di- positif comprenant un poste de mise en position préalable, la plaque porte-objet d'une table mobile et une voie de transport d'une longueur appropriée assurant la liaison entre les deux postes ainsi que des voies de transport 1 et 5 pour l'amenée et l'évacuation des objets. Fig. 1 is a top view of the entire device comprising a positionning station, the object plate of a movable table and a transport path of an appropriate length ensuring the connection between the two positions as well as transport routes 1 and 5 for bringing and evacuating objects.

La figo 2 montre en plan le poste 2 pour la mie en position et la sélection des objets en fonction de la phase principale.  Fig. 2 shows in plan the station 2 for the crumb in position and the selection of objects according to the main phase.

La fig. 3 est une sue de dessus de la plaque porte objet de la partie mobile pour l'ajustement précis des obj eta,
La fig. 4 montre en coupe le dispositif pour la compensation angulaire des objets en forme de disque.Fig. 3 is a top cover of the object holder plate of the movable part for the precise adjustment of the objects,
Fig. 4 shows in section the device for the angular compensation of disc-shaped objects.

La fig. 5 est la représentation schématique d'une variante de la commande pneumatique. Fig. 5 is the schematic representation of a variant of the pneumatic control.

Le dispositif décrit ci-après constitue un groupe fonctionnel à l'intérieur d'une installation photolithographique. The device described below constitutes a functional group inside a photolithographic installation.

Les objets sont des disques semi-conducteurs. Conformément à la fig. 1 le dispositif comporte une voie de transport 1 d'une longueur appropriée et équipée de buses à air comprimé 6 pour l'avance des objets. La voie de transport or délimitée latéralement par des butées Il assure la liaison entre un récipient de transport non représenté et le poste de mise en position préalable 2. Les buses de transport 6, les buses d'application 14, les buses d'orientation 15, les buses 13 créant des coussins d'air et les buses 16 créant une force antagoniste sont inclinées de 45 par rapport à la surface de la plaque et sont orientées dans le sens des flêches0 Le poste de mise en position préalable 2 comporte on outre des anneaux de serrage par vide 10, un frein i vide 9 et deux buses manométriques 7.Un doigt de hutée escamotable 12 est prévu perpendiculairement & la butée fixe Il. La voie de transport 3 destinée au déplacement des objets orientés en phase assure la liaison entre le poste de mise en position préalable 2 et la plaque porte-objet 4.The objects are semiconductor discs. In accordance with fig. 1 the device comprises a transport path 1 of an appropriate length and equipped with compressed air nozzles 6 for advancing objects. The gold transport path delimited laterally by stops It ensures the connection between a transport container (not shown) and the pre-positioning station 2. The transport nozzles 6, the application nozzles 14, the orientation nozzles 15 , the nozzles 13 creating air cushions and the nozzles 16 creating an antagonistic force are inclined by 45 relative to the surface of the plate and are oriented in the direction of the arrows. 0 The positioning station 2 also has vacuum clamping rings 10, a vacuum brake 9 and two pressure nozzles 7. A retractable hute finger 12 is provided perpendicular to the fixed stop II. The transport path 3 intended for the movement of objects oriented in phase provides the connection between the positionning position 2 and the object plate 4.

La table mobile 18 (fig. 4), par exemple une table de précision à deux coordonnées, constitué avec la plaque porteobjet 4 (fig. 3) le prolongement de la voie de transport 3. The movable table 18 (fig. 4), for example a precision table with two coordinates, formed with the object holder plate 4 (fig. 3) the extension of the transport path 3.

La plaque porte-objet 4 est équipée de buses d'orientation 8, de buses d'avance 6, d'un frein i vide 9 et d'anneaux de serrage à vide 10 disposés concentriquement. Deux butées fixes Il sont placées perpendiculairement l'une par rapport à l'autre sur la plaque porte-objet 4.The object plate 4 is equipped with orientation nozzles 8, advance nozzles 6, a vacuum brake 9 and vacuum clamping rings 10 arranged concentrically. Two fixed stops II are placed perpendicularly to each other on the object plate 4.

Une voie de transport 5 (fig. 1) comportant des buses d'avance 6 assure la liaison entre la plaque porte-objet 4 et un magasin collecteur non représenté. Des butées latérales
Il (guides) délimitent la voie de transport 5.A transport path 5 (fig. 1) comprising advance nozzles 6 provides the connection between the object-holding plate 4 and a not shown collector magazine. Side stops
It (guides) delimit transport route 5.

Comme cela- ressort de la fig. 4, la table 18 porte par l'intermédiaire d'un guide élastique 19, une calotte composée d'une calotte sphérique 20 et d'un coussinet 21 et qui sert de support & la plaque porte-objet 4. La plaque de référence 29 montée=dans un guide 28 et reliée w un soufflet métallique 27, est disposée au-dessus de la plaque porte-objet 4. Le soufflet métallique 27 peut titre alimentée en air comprimé par 11 intermédiaire d'un conduit et d'une vanne 25. Un dispositif limiteur de charge 26 est prévu afin de limiter la pression dans le soufflet métallique 27. As shown in fig. 4, the table 18 carries, by means of an elastic guide 19, a cap composed of a spherical cap 20 and a pad 21 and which serves as a support for the object-carrying plate 4. The reference plate 29 mounted = in a guide 28 and connected w a metal bellows 27, is disposed above the object plate 4. The metal bellows 27 can be supplied with compressed air 11 by means of a conduit and a valve 25 A load limiting device 26 is provided in order to limit the pressure in the metal bellows 27.

L'intervalle délimité par la calotte sphérique 20 et le coussinet 21 peut Stre mis sous pression ou sous vide par l'intermédiaire des conduits 22, 23 et la vanne 24.The interval delimited by the spherical cap 20 and the bearing 21 can be pressurized or vacuum through the conduits 22, 23 and the valve 24.

Le fonctionnement du dispositif de l'invention est le suivant. The operation of the device of the invention is as follows.

Un objet (disque) prélevé d'un magasin est poussé par de l'air comprimé, émis par les buses 6 dans le poste de mise en position préalable 2 en passant sur le voie de transport 1. Le frein & vide 9 arrête l'objet en amont et à proximité immédiate du doigt de butée 12 faisant saillie de la plaque de mise en position préalableoe Un signal déclenché par le frein à vide (fig. 5) commande l'arrêt des buses d'avanc 6 et du frein à vide 9 et l'alimentation en air comprimé des buses 13, 14 et 15. An object (disc) taken from a store is pushed by compressed air, emitted by the nozzles 6 in the pre-positioning station 2 while passing over the transport track 1. The brake & vacuum 9 stops the object upstream and in the immediate vicinity of the stop finger 12 protruding from the plate for placing in pre-position. A signal triggered by the vacuum brake (fig. 5) controls the stopping of the advance nozzles 6 and of the vacuum brake 9 and the supply of compressed air to the nozzles 13, 14 and 15.

Le disque appliqué contre les butées 11 et 12 tourne alors autour de son propre axe. Un choix judicieux du rapport de pression entre les buses 14 et 15 permet de tourner la face principale du disque en assurant la mise en phase jusqu'à ce que celle-ci soit parallèle à la butée 11 et soit appliquée contre cette dernière avec une force définie
En conséquence, la phase principale du disque st arrêtée par la butée 11 et non la phase secondaire lors de la rotation du disque. L'intervalle entre les buses monométriques 7 correspond à la longueur de la phase principale du disque ce qui permet la sélection sûre de la phase principale.Les buses manométriques 7 réalisée sous la forme d'un système pneumatique buse-plaque de robondissement, délivrent un signal lorsque les buses manométriques 7 à proximeté de la butée 11 sont recouvertes par le disque.The disc applied against the stops 11 and 12 then rotates around its own axis. A judicious choice of the pressure ratio between the nozzles 14 and 15 makes it possible to rotate the main face of the disc while ensuring the phasing until the latter is parallel to the stop 11 and is applied against the latter with a force. defined
Consequently, the main phase of the disc is stopped by the stop 11 and not the secondary phase during the rotation of the disc. The interval between the monometric nozzles 7 corresponds to the length of the main phase of the disc, which allows the safe selection of the main phase. The pressure nozzles 7 produced in the form of a pneumatic nozzle-rounding plate system, deliver a signal when the pressure nozzles 7 near the stop 11 are covered by the disc.

Ce signal est alors traité pneumatiquement et commande, d'une part, l'arrêt des buses 13, 14, 15 et d'autre part, la mise en service des anneaux de serrage à vide 10 ce qui a pour effet un freinage immédiat du disque en rotation.This signal is then processed pneumatically and controls, on the one hand, the stopping of the nozzles 13, 14, 15 and on the other hand, the putting into service of the vacuum clamping rings 10 which has the effect of immediately braking the spinning disc.

Les buses 15 sont alimentées par de l'air comprimé présentant un train d'impulsions déterminé (par exemple 2 Hz). On obtient une mise en place très précise et reproductible du disque par sa phase principale contre la butée 11 lorsque par l'intermédiaire d'une commutation pneumatique temporisée, on arrête passagèrement l'action des anneaux de serrage à vide 10 et on alimente les buses 13, 14, 16 en air comprimé avant la fin de l'ajustement préalable. Après abaissement du doigt de butée 12 le disque maintenu en place par le vide séjourne dans le poste de mise en position prélable 2 2 jus- qu'à réception d'un signal de commande émis par un calcule teur. The nozzles 15 are supplied with compressed air having a determined train of pulses (for example 2 Hz). A very precise and reproducible positioning of the disc is obtained by its main phase against the stop 11 when, by means of a timed pneumatic switching, the action of the vacuum clamping rings 10 is temporarily stopped and the nozzles are supplied 13, 14, 16 in compressed air before the end of the prior adjustment. After the abutment finger 12 has been lowered, the disc held in place by the vacuum remains in the pre-positionable positioning station 2 2 until reception of a control signal emitted by a calculator.

Dès réception d'un signal de commande correspondant et après abaissement du doigt de butée 12, le disque est déplacé sur la voie de transport 3 par l'air comprimé provenant des buses de transport et d'orientation 8, et arrive sur la plaque porte-objet 4 où il est freiné par un frein & vide 9 avant d'atteindre la butée 11.Un signal délivré par le frein à vide 9 (fig. 2) interrompt l'alitentation en air comprimé des buses 8 et 9 et les anneaux de serrage á vide 10 immobilisent le disque. une combi- maison pneumatique logique permet ensuite d'annuler le serrage par vide de la calotte 20/21 gracie & la vanne 24 et d'alimenter en air comprimé provenant du conduit 23, l'espace délimité par le coussinet 21 et la partie sphérique 20.La calotte sphérique 20 flottant sur le coussin d'air ainsi formé et portant le disque maintenu en place par vide sur la plaque porte-objet 4, est ramenée parallèlement au plan de la table par la plaque de référence 29 qui est abaissée par l'intermédiai du soufflet 27 alimenté en air comprimé à partir de la vanne 25. Le dispositif limiteur,de charge 26 permet de régler la course c'est-à-dire l'allongement du soufflet 27 afin de faire agir sur le disque toujours la même force et d'exclure tout danger,de destruction.Après un certain laps de temps déterminé par une commande pneumatique temporisée la calotté sphérique 20 est immobilisée dams le coussinet 21 par le vide créé par l'intermédiaire du conduit 22 et de la vanne 24 et la soufflet 27 est déchargé
grtce à la fermeture de la vanne 25 et revient à sa position initiale. Le disque peut ensuite Stre soumis & BR< un traitement par exemple une exposition. Â la fin du traitement la table est déplacée vers un poste de chargement où le disque se trouvant sur la plaque porte-objet 4 est évacué en passant par la voie de transport 5 vers un magasin collecteur par l'air comprimé provenant des buses d'avance 6.Upon receipt of a corresponding control signal and after lowering of the stop finger 12, the disc is moved on the transport path 3 by compressed air from the transport and orientation nozzles 8, and arrives on the carrier plate -object 4 where it is braked by a vacuum brake 9 before reaching the stop 11. A signal delivered by the vacuum brake 9 (fig. 2) interrupts the supply of compressed air from the nozzles 8 and 9 and the rings vacuum clamp 10 immobilizes the disc. a logical pneumatic combination then makes it possible to cancel the vacuum tightening of the cap 20/21 gracie & the valve 24 and to supply compressed air coming from the conduit 23, the space delimited by the bearing 21 and the spherical part 20.The spherical cap 20 floating on the air cushion thus formed and carrying the disc held in place by vacuum on the object-holding plate 4, is brought back parallel to the plane of the table by the reference plate 29 which is lowered by the intermediary of the bellows 27 supplied with compressed air from the valve 25. The load limiting device 26 makes it possible to adjust the stroke, that is to say the elongation of the bellows 27 so as to act on the disc always the same force and to exclude any danger of destruction. After a certain period of time determined by a timed pneumatic control, the spherical shell 20 is immobilized in the bearing 21 by the vacuum created by means of the conduit 22 and the valve 24 and the bellows 27 is dec harged
by closing valve 25 and returning to its initial position. The disc can then be subjected to a treatment, for example an exhibition. At the end of the treatment, the table is moved to a loading station where the disc on the object-holder plate 4 is evacuated via the transport path 5 to a collecting store by the compressed air coming from the nozzles. advance 6.

L'avantage du procédé suivant l'invention réside dans le fait que tous les transports, orientations, mesures et combinaisons logiques peuvent Strie réalisés & BR< l'aide d'un seul-fluide (de l'air comprimé). Des processus se déroulant similtanément :.permettent de réduire le temps habituellement nécessaire.  The advantage of the process according to the invention resides in the fact that all the transport, orientations, measurements and logical combinations can be carried out & BR <using a single fluid (compressed air). Similar processes: reduce the time usually required.

Claims (3)

REVENDICATIONS 1 - Procédé pour le transport automatique et le mise en position d'objets en forme de disque présentant au moins une phase d'orientation par rapport aux coordonnées x, ys et ainsi que ff et pour la compensation subséquente de l'erreur angulaire par voie pneumatique caractérisé en ce que 1 - Method for the automatic transport and positioning of disc-shaped objects having at least one orientation phase with respect to the coordinates x, ys and as well as ff and for the subsequent compensation of the angular error per channel pneumatic characterized in that a) dans un poste de mise en position préalable l'objet est mis en rotation an moyen de l'air comprimé tout en explorant pneumatiquement son bord ;; lors de la détection de la phase d'orientation l'objet est immobilisé par l'action d'une dépression et est maintenu danscette position par la dépression jusqu'à l'émission d'un signal de commande, a) in a positionning position the object is rotated by means of compressed air while pneumatically exploring its edge; when the orientation phase is detected, the object is immobilized by the action of a vacuum and is kept in this position by the vacuum until the emission of a control signal, b) après l'émission du signal de commande, l'objet est déplacé, dans une position angulaire constante, par de l'air comprimé sur une voie de transport vers une plaque porte-objet pouvant pivoter dans tous les sens et est appli- qué et maintenu serré par le vide contre des butées, b) after the emission of the control signal, the object is moved, in a constant angular position, by compressed air on a transport path towards an object-holder plate which can pivot in all directions and is applied qué and held tight by the vacuum against stops, a) la compensation de l'erreur angulaire s'effectue au moyen dune plaque de référence qui est commandée pneuma tiquement dans le sens vertical et qui exerce une force prédéterminée sur l'objet pour régler horizontalement la surface de ce dernier, a) the compensation for the angular error is effected by means of a reference plate which is pneumatically controlled in the vertical direction and which exerts a predetermined force on the object to adjust the surface of the latter horizontally, d) la plaque porte-objet est immobilisée pneumatiquement après la compensation de l'erreur angulaire. d) the microscope slide is immobilized pneumatically after compensation for the angular error. 2- Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé suivant la revendication 1 constitué par un poste de mise en position préalable des objets au moyen d'un serrage par vide suivi d'une voie de transport et d'un dispositif de compensation de l'erreur angulaire comprenant une plaque porto-objet fixée sur une calotte sphérique et au-dessus de laquelle se trouve une plaque de référence réglable en hauteur, la plaque porte-objet présentant également un dispositif de serrage par vide pour les objets et le poste de mise en position préalable, la voie de transport et le dispositif de compensation de l'erreur angulaire étant munis de butées latérales fixes tout en présentant une série de buses différentes pour le transport et la mise en position des objets, caractérisé en ce que le poste de mise en position préalable (2) comporte les buses suivantes inclinées de 45 par rapport à sa surface : des buses d'avance (6) dirigées dans le sens de transport des buses d'application (14) orientées vers la butée fixe (11) et au moins deux buses de rotation (15) orientée en sens contraire ainsi que les buses suivantes dirigées perpendiculairement à la surface s des buses (13) créant des coussins d'air, deux buses manométriques (7) qui sont disposées directement au niveau de la butée latérale fixe (11) et dont l'intervalle correspond sensiblement à la longueur de la phase d'orientation de l'objet et un frein à vide (9) qui, vu dans le sens de transport, est situé on amont d'un doigt de butée escamotable (12), en ce quelles buses de la voie de transport (3) remplissant la fonction de buses de transport et d'orientation (8) sont inclinées de 45- par-tapport & BR< 2- Device for the implementation of the method according to claim 1 consisting of a station for prior positioning of the objects by means of vacuum clamping followed by a transport path and a compensation device for angular error comprising a carrier plate fixed on a spherical cap and above which is a reference plate adjustable in height, the carrier plate also having a vacuum clamping device for the objects and the placing station in the preliminary position, the transport track and the angular error compensation device being provided with fixed lateral stops while presenting a series of different nozzles for the transport and the positioning of the objects, characterized in that the positioning (2) comprises the following nozzles inclined by 45 relative to its surface: advance nozzles (6) directed in the direction of transport of the application nozzles (14) oriented towards the fixed stop (11) and at least two rotation nozzles (15) oriented in opposite directions as well as the following nozzles directed perpendicular to the surface s of the nozzles (13) creating air cushions, two pressure nozzles (7) which are arranged directly at the level of the fixed lateral stop (11) and the interval of which corresponds substantially to the length of the orientation phase of the object and a vacuum brake (9) which, seen in the direction of transport, is located upstream of a retractable stop finger (12), in which the nozzles of the transport path (3) fulfilling the function of transport and orientation nozzles (8) are inclined by 45- per-ratio & BR < la direction de transport tout en étant dirigées vers la butée latérale (11), et ce que la plique porte-objet (4) comporte des buses d'avance (6) des buses de transport et d'orientation (8) ainsi qu'un frein à vide (9) disposé on amont de la butée fixe (11) et en ce que la plaque de référence (29) est montée de façon à pouvoir ttre déplacée verticalement au moyen d'un soufflet (27) commandé par de l'air comprimé, dans un guide vertical (28).  the direction of transport while being directed towards the lateral stop (11), and that the object carrier (4) comprises advance nozzles (6) transport and orientation nozzles (8) as well as a vacuum brake (9) disposed upstream of the fixed stop (11) and in that the reference plate (29) is mounted so that it can be moved vertically by means of a bellows (27) controlled by the compressed air, in a vertical guide (28). 3 - Dispositif suivant la revendication 2, carac- toril en ce que le poste de mise en position préalable (2) comporte une buse (16) créant une force antagoniste par rapport aux buses de rotation (15). 3 - Device according to claim 2, charac- toril in that the pre-positioning station (2) comprises a nozzle (16) creating an opposing force relative to the rotation nozzles (15).