EP4070061A1 - Verfahren zum herstellen eines differenzdruckmessaufnehmers - Google Patents

Verfahren zum herstellen eines differenzdruckmessaufnehmers

Info

Publication number
EP4070061A1
EP4070061A1 EP20811280.5A EP20811280A EP4070061A1 EP 4070061 A1 EP4070061 A1 EP 4070061A1 EP 20811280 A EP20811280 A EP 20811280A EP 4070061 A1 EP4070061 A1 EP 4070061A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
sensor assembly
base body
recess
welding
differential pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP20811280.5A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Raimund Becher
Patrick Doria
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Endress and Hauser SE and Co KG
Original Assignee
Endress and Hauser SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Endress and Hauser SE and Co KG filed Critical Endress and Hauser SE and Co KG
Publication of EP4070061A1 publication Critical patent/EP4070061A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/06—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using electric or magnetic pressure-sensitive elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/142—Multiple part housings
    • G01L19/143—Two part housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a differential pressure measuring transducer.
  • Differential pressure sensors are used to record differential pressures and are used in industrial measurement technology. There they are used, for example, for level measurement or for flow measurement.
  • level measurement for example, the difference between a first pressure acting at the bottom of a container and a second pressure prevailing above the filling material is measured. The difference is proportional to a level-dependent hydrostatic pressure in the container and thus to the level.
  • flow measurement for example, a flow resistance is inserted into a line and a difference between a first pressure prevailing in front of the resistor and a second pressure prevailing behind the resistor is determined by means of a differential pressure measuring transducer. This differential pressure is a measure of the flow through the line.
  • semiconductor sensors e.g. silicon chips with doped resistance elements
  • Corresponding differential pressure sensors typically have a measuring membrane, one side of which is exposed to a first pressure and the second side of which is subjected to a second pressure during measuring operation. The acting pressures cause a resulting deflection of the measuring membrane, which corresponds to the differential pressure to be measured.
  • Pressure sensor chips are usually very sensitive and are therefore not directly exposed to a medium whose pressure is to be recorded. Instead, diaphragm seals filled with a liquid are connected upstream.
  • differential pressure measuring transducers regularly have a solid, typically multi-part, measuring transducer block as a base body, on which a first separating membrane and a second separating membrane arranged parallel to it and opposite one another are arranged on the outside.
  • the first separating membrane forms a first pressure receiving chamber which is connected to a first pressure measuring chamber via a pressure transmission line.
  • the second separating membrane closes off a second pressure receiving chamber which is connected to a second pressure measuring chamber via a pressure transmission line.
  • the first and the second pressure measuring chamber are separated from one another by the measuring membrane of the differential pressure sensor.
  • the invention is therefore based on the object of proposing a differential pressure measuring transducer which is simpler and / or cheaper to manufacture than the known differential pressure measuring transducers.
  • the object is achieved according to the invention by the method according to claim 1 and the device according to claim 1.
  • the method according to the invention for producing a differential pressure measuring transducer provides the following method steps: a) providing a sensor assembly with an essentially rotationally symmetrical outer contour, the sensor assembly having at least one differential pressure sensor for detecting a differential pressure resulting between a first and a second pressure; b) Providing a base body with a first and a second separating membrane arranged thereon, on the outer sides of which the first and the second pressure act during measurement operation, the base body being provided with an essentially rotationally symmetrical recess for receiving the sensor assembly, with an inner contour of the recess is adapted to the outer contour of the sensor assembly so that the sensor assembly can be introduced into the recess from the outside; c) introducing the sensor assembly into the recess of the base body, the sensor assembly being inserted into the recess with a contact surface up to a stop surface of the base body up to a predetermined depth; d) welding the sensor assembly into the recess of the base body by means of a resistance pulse welding process in such a
  • the sensor assembly is produced from a glass-metal bushing with a preferably additionally applied ceramic base plate, the differential pressure sensor being applied to the base plate before the sensor assembly is provided.
  • the embodiment can provide that the glass-metal bushing is provided with a circumferential welding collar at one end and the sensor assembly is introduced into the recess in such a way that the welding collar rests against the opening area of the recess so that the base body with the Welding collar is or is welded circumferentially to the sensor assembly with the help of the welding ring.
  • Another embodiment of the invention provides that the first and / or second separating membrane are welded onto the base body before the base body is provided, the first separating membrane being welded onto a first outer side of the base body and the second separating membrane first preferably being welded onto a carrier , which is then welded onto a second outer side of the base body opposite the first outer side.
  • the sensor assembly has a stepped outer contour formed by the support surface with an outer and an inner area, the outer area having a larger diameter than the inner area and a second radially circumferential recess in the outer Area of the sensor assembly, preferably by turning, was introduced into the recess of the base body before the introduction of the sensor assembly, so that the radially circumferential recess serves to decouple the weld seam after the sensor assembly has been welded in.
  • the invention further relates to a differential pressure measuring transducer which is produced in accordance with one of the embodiments described above.
  • FIG. 1 shows a section through a pressure measuring transducer produced according to the invention.
  • This has a base body 1 on which a first separating membrane 3 is arranged.
  • the base body 1 is an essentially cylindrical solid block, which preferably consists of a metal, in particular a steel or a stainless steel.
  • the separating membrane 3 closes off a first pressure receiving chamber 5 which is integrated into the base body 1 on the outside.
  • a second separating membrane 9 is attached to the base body 1 on its outer side opposite the first separating membrane 3.
  • the second separating membrane can initially have been applied to a carrier 7, here essentially in the form of a disk, which carrier 7 is then welded to the base body.
  • the second separating membrane 9 is arranged on an outer side of the carrier which faces away from the base body and which runs parallel to the first separating membrane.
  • the second separating membrane 9 closes off a second pressure receiving chamber 11 which is integrated into the carrier 7 on the outside.
  • a second pressure p2 acts on an outside of the second separating membrane 9 facing away from the carrier 7, which pressure is shown in FIG. 1 by an arrow.
  • the first and the second pressure p1, p2 are fed to the differential pressure measuring transducer, as is also the case with conventional differential pressure measuring transducers, via connections not shown in FIG. 1.
  • Two flanges equipped with corresponding process connections are suitable for this purpose, which are mounted on the differential pressure sensor in such a way that the respective pressures p1, p2 are transferred to the respective separating membrane 3, via the process connection.
  • the flanges are mounted using stud bolts, for example.
  • the integration of the first pressure receiving chamber 5 in the base body 1 has the advantage that this design reduces the influence of the clamping of the sensor block between the two connections on the measurement accuracy, since less tension between individual components occurs due to the reduction in the number of components can.
  • the differential pressure measuring transducer can optionally have an overload protection device which comprises an overload membrane 13 in the form of an annular disk arranged between the base body 1 and the carrier 7.
  • An overload protection device which comprises an overload membrane 13 in the form of an annular disk arranged between the base body 1 and the carrier 7.
  • the first pressure transmission line 17 is a straight bore leading through the base body 1 from the first pressure receiving chamber 5 to the first overload chamber 15.
  • the straight bore has the advantage that it is very easy can be produced, and an optimal transmission of the pressure can be achieved due to the straight line routing. Another advantage is that very little fluid is required to transmit the pressure.
  • a second overload chamber 19 which is integrated into the support 7 and which is closed off by the overload diaphragm 13 and which is connected to the second pressure receiving chamber 11 via a second pressure transmission line 21, can adjoin.
  • the second pressure transmission line 21 is a straight bore which passes through the carrier 7 and connects the second pressure receiving chamber 11 to the second overload chamber 19.
  • a recess 23 is provided in the base body 1, into which a sensor assembly can be introduced from the outside.
  • the recess 23 is designed in such a way that an inner contour of the recess has at least one step.
  • the stepped recess 23 can, for example, have been made in the base body 1 through two bores with different diameters.
  • the step forms a stop surface 6 on which the sensor assembly 2 rests in the inserted state.
  • a defined depth is specified or determined by the stop surface 6, up to which the sensor assembly 2 can be introduced into the recess 23 or can be guided.
  • the recess 23 for the sensor assembly 2 preferably opens into an outer surface of the base body, the plane of which is perpendicular to a plane in which the separating membranes 3, 9 run.
  • a second step can be provided in the mouth area 24, which serves to accommodate a welding collar which is formed circumferentially at one end of the sensor assembly.
  • the sensor assembly 2 is inserted into the recess 23 during manufacture.
  • the sensor assembly 2 is designed in such a way that it has an essentially rotationally symmetrical, cylindrical outer contour with at least a step corresponding to the step of the recess 23, so that the sensor assembly 2 rests with a support surface 4 formed by the step on a stop surface 6 formed by the step of the recess 23 in the installed state.
  • the outer contour of the sensor assembly 2 and the inner contour of the recess 23 can be matched to one another in such a way that a hollow-cylindrical gap 14 is formed between the outer and inner contour in the installed state, as shown in FIG. 2.
  • the sensor assembly 2 is preferably designed or produced by a glass-metal bushing 32 as a basic element.
  • a preferably ceramic base plate 33 is applied to the glass-metal leadthrough 32 to decouple thermal and / or internal mechanical stresses.
  • a differential pressure sensor 25 for detecting a differential pressure resulting between a first and a second pressure is applied to the base plate 33.
  • the differential pressure sensor 25 is preferably one of the semiconductor sensors described above, e.g. a silicon chip differential pressure sensor 25 with a measuring membrane into which resistance elements, which serve as pressure-sensitive elements, are doped.
  • the electrical connection of the differential pressure sensor 25 takes place via at least one connection line 53,
  • a first pressure measuring chamber 29 is connected to the first overload chamber 15 by a third pressure transmission line 41.
  • This consists of a straight first bore opening into a side wall of the recess 23, which runs exclusively in the base body 1, and a second bore at right angles thereto, via which the first pressure measuring chamber 29 with the first overload chamber 15 is hydraulically connected downstream.
  • An interior space of the differential pressure sensor that is closed off by the base plate 33 and the measuring membrane 29 forms the second pressure measuring chamber 31, which is separated from the first pressure measuring chamber 29 by the measuring membrane 27.
  • the second pressure measuring chamber 31 is connected via a bore 43 in the sensor assembly to a fourth pressure transmission line 45, via which the second pressure measuring chamber 31 with the second overload chamber 19 is hydraulically connected downstream
  • the sensor assembly can furthermore have a circumferential welding collar at an end that is directed towards the opening area of the recess in the installed state, which collar decouples the two weld seams (resistance pulse seam and axial laser weld seam).
  • the sensor assembly 2 can have a circumferential decoupling recess or groove 12 which is used to decouple the stress of the weld 8 located between the stop surface and the support surface 4 in the installed and welded state.
  • the sensor assembly 2 is first introduced into the recess 23 of the base body 1 in such a way that the sensor assembly rests with the support surface 4 on the stop surface 6 of the base body. Furthermore, the sensor assembly 2 is positioned in such a way that the welding collar rests in the opening area of the recess.
  • the contact surface is first welded to the stop surface 6 by means of a resistance pulse welding process, so that a circumferential weld seam 8 is produced.
  • a welding ring 10 is introduced between the sensor assembly and the recess 23 of the base body 1 in the mouth area 24.
  • the sensor assembly 2 is then connected in the muzzle area 24 by means of an axial laser welding process with the base body over the welding ring and possibly. welded the welding collar.
  • the axial laser welding process is carried out / executed in such a way that an axial seam is created with a depth greater than 1 mm, preferably greater than 1.5 mm, particularly preferably approx. 2 mm.
  • the differential pressure sensor is filled with the pressure-transmitting liquid.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers mit folgenden Verfahrensschritten: a) Bereitstellen einer Sensorbaugruppe (2); b) Bereitstellen eines Grundkörpers (1) mit einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Ausnehmung (23) zur Aufnahme der Sensorbaugruppe (2), c) Einbringen der Sensorbaugruppe (2) in die Ausnehmung des Grundkörpers (23); d) Einschweißen der Sensorbaugruppe (2) in die Ausnehmung des Grundkörpers mittels eines Widerstandsimpulsschweißverfahrens; e) Einbringen, vorzugsweise durch Einpressen, eines Schweißrings (10) zwischen der Sensorbaugruppe (2) und der Ausnehmung (23) des Grundkörpers in einem Mündungsbereich (24) der Ausnehmung (23); f) Axiales Laserschweißen im Mündungsbereich (24) der Ausnehmung (23), sodass der Grundkörper (2) mit Hilfe des Schweißrings (10) umlaufend mit der Sensorbaugruppe (2) verschweißt wird bzw. ist.

Description

Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers.
Differenzdruckmessaufnehmer dienen zur Erfassungen von Differenzdrücken und werden in der industriellen Messtechnik eingesetzt. Dort werden sie beispielsweise zur Füllstandsmessung oder zur Durchflussmessung verwendet. Bei der Füllstandsmessung wird beispielsweise die Differenz zwischen einem unten in einem Behälter wirkenden ersten Druck und einem oberhalb des Füllguts herrschenden zweiten Druck gemessen. Die Differenz ist proportional zu einem füllstands-abhängigen hydrostatischen Druck im Behälter und damit zum Füllstand. Bei der Durchflussmessung wird beispielsweise ein Strömungswiderstand in eine Leitung eingesetzt und mittels eines Differenzdruckmessaufnehmers eine Differenz eines vor dem Widerstand herrschenden ersten Druck und eines hinter dem Widerstand herrschenden zweiten Druck ermittelt. Dieser Differenzdruck ist ein Maß für den Durchfluss durch die Leitung.
In der Druckmesstechnik werden gerne so genannte Halbleiter-Sensoren, z.B. Silizium-Chips mit eindotierten Widerstandselementen, als druckempfindliche Elemente eingesetzt. Entsprechende Differenzdrucksensoren weisen typischer Weise eine Messmembran auf, deren eine Seite im Messbetrieb einem ersten Druck und deren zweite Seite einem zweiten Druck ausgesetzt wird. Die einwirkenden Drücke bewirken eine resultierende Auslenkung der Messmembran, die dem zu messenden Differenzdruck entspricht. Drucksensor-Chips sind in der Regel sehr empfindlich und werden deshalb nicht direkt einem Medium ausgesetzt, dessen Druck aufgenommen werden soll. Stattdessen werden mit einer Flüssigkeit gefüllte Druckmittler vorgeschaltet.
Differenzdruckmessaufnehmer weisen hierzu regelmäßig einen massiven typischer Weise mehrteiligen Messaufnehmerblock als Grundköper auf, auf dem außenseitlich eine erste und eine dieser parallel dazu gegenüberliegend angeordnete zweite Trennmembranen angeordnet sind. Dabei schließt die erste Trennmembran eine erste Druckempfangskammer ab, die über eine Druckübertragungsleitung mit einer ersten Druckmesskammer verbunden ist. Entsprechend schließt die zweite Trennmembran eine zweite Druckempfangskammer ab, die über eine Druckübertragungsleitung mit einer zweiten Druckmesskammer verbunden ist. Die erste und die zweite Druckmesskammer sind durch die Messmembran des Differenzdrucksensors voneinander getrennt.
Die Herstellung eines solchen Differenzdruckmessaufnehmers erweist sich als relativ schwierig und ist entsprechend auch relativ teuer, da dieser aus einer Vielzahl von einzelnen Elementen bzw. Baugruppen aufgebaut wird.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, einen Differenzdruckmessaufnehmer vorzuschlagen, der einfacher und/oder günstiger herzustellen ist, als die bekannten Differenzdruckmessaufnehmer.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch das Verfahren gemäß Patentanspruch 1 und die Vorrichtung gemäß Patentanspruch 1.
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers sieht folgende Verfahrensschritte vor: a) Bereitstellen einer Sensorbaugruppe mit einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Außenkontur, wobei die Sensorbaugruppe zumindest ein Differenzdrucksensor zum Erfassen eines sich zwischen einem ersten und einem zweiten Druck ergebenden Differenzdruckes aufweist; b) Bereitstellen eines Grundkörpers mit einer darauf angeordneten ersten und einer zweiten Trennmembran, auf deren Außenseiten im Messbetrieb der erster bzw. der zweite Druck einwirkt, wobei der Grundkörper mit einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Ausnehmung zur Aufnahme der Sensorbaugruppe bereitgestellt wird, wobei eine Innenkontur der Ausnehmung an die Außenkontur der Sensorbaugruppe angepasst ist, sodass die Sensorbaugruppe von außen in die Ausnehmung einführbar ist; c) Einbringen der Sensorbaugruppe in die Ausnehmung des Grundkörpers, wobei die Sensorbaugruppe mit einer Auflagefläche bis zu einer Anschlagsfläche des Grundkörpers bis zu einer vorbestimmten Tiefe in die Ausnehmung eingeführt wird; d) Einschweißen der Sensorbaugruppe in die Ausnehmung des Grundkörpers mittels eines Widerstandsimpulsschweißverfahrens, derart, dass zumindest die Auflagefläche der Sensorbaugruppe mit der Anschlagsfläche des Grundkörpers durch eine Schweißnaht verschweißt werden; e) Einbringen, vorzugsweise durch Einpressen, eines Schweißrings zwischen der Sensorbaugruppe und der Ausnehmung des Grundkörpers in einem Mündungsbereich der Ausnehmung; f) Axiales Laserschweißen im Mündungsbereich der Ausnehmung, sodass der Grundkörper mit Hilfe des Schweißrings umlaufend mit der Sensorbaugruppe verschweißt wird bzw. ist.
Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Sensorbaugruppe aus einer Glas-Metall-Durchführung mit einem, vorzugsweise zusätzlich aufgebrachten keramischen Sockelscheibe hergestellt wird, wobei vor dem Bereitstellen der Sensorbaugruppe der Differenzdrucksensor auf die Sockelscheibe aufgebracht wurde. Insbesondere kann die Ausführungsform vorsehen, dass die Glas-Metall-Durchführung mit einem umlaufenden Schweißkragen an einem Ende bereitgestellt wird und die Sensorbaugruppe derartig in die Ausnehmung eingebracht wird, dass der Schweißkragen an dem Mündungsbereich der Ausnehmung anliegt, sodass beim axialen Laserschweißen der Grundkörper mit dem Schweißkragen mit Hilfe des Schweißrings umlaufend mit der Sensorbaugruppe verschweißt wird bzw. ist.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass vor dem Bereitstellen des Grundkörpers die erste und/oder zweite Trennmembran auf den Grundkörper angeschweißt werden, wobei die erste Trennmembran auf einer ersten Außenseite des Grundkörpers angeschweißt wird und die zweite Trennmembran zunächst vorzugsweise auf einem Träger angeschweißt wird, der anschließend auf einer der ersten Außenseite gegenüberliegenden zweiten Außenseite des Grundkörper angeschweißt wird.
Wiederum ein weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Sensorbaugruppe eine durch die Auflagefläche gebildete gestufte Außenkontur mit einem äußeren und einem inneren Bereich aufweist, wobei der äußere Bereich einen größeren Durchmesser als der inneren Bereich aufweist und wobei eine zweite radial umlaufende Ausnehmung in den äußeren Bereich der Sensorbaugruppe, vorzugsweise durch Drehen, vor dem Einbringen der Sensorbaugruppe in die Ausnehmung des Grundkörpers eingebracht wurde, sodass die radial umlaufende Ausnehmung nach dem Einschweißen der Sensorbaugruppe zur Entkopplung der Schweißnaht dient.
Die Erfindung betrifft weiterhin ein Differenzdruckmessaufnehmer, der gemäß einer der zuvor beschriebenen Ausführungsformen hergestellt ist.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigt:
Fig. 1: einen Schnitt durch einen erfindungsgemäß hergestellten Differenzdruckmessaufnehmer, und
Fig. 2: einen Schnitt durch einen Deteil des erfindungsgemäß hergestellten Differenzdruckmessaufnehmers.
Figur 1 zeigt einen Schnitt durch einen erfindungsgemäß hergestellten Druckmessaufnehmer. Dieser weist einen Grundkörper 1 auf, auf dem eine erste Trennmembran 3 angeordnet ist. Der Grundkörper 1 ist ein im Wesentlichen zylindrischer massiver Block, der vorzugsweise aus einem Metall, insbesondere einem Stahl oder einem Edelstahl besteht. Die Trennmembran 3 schließt eine außenseitlich in den Grundkörper 1 integrierte erste Druckempfangskammer 5 ab.
Auf dem Grundkörper 1 ist auf dessen der ersten Trennmembran 3 gegenüberliegenden Außenseite eine zweite Trennmembran 9 angebracht. Die zweite Trennmembran kann dabei zunächst auf einen, hier im wesentlichen scheibenförmiger Träger 7 aufgebracht worden sein, welcher Träger 7 anschließend an den Grundkörper angeschweißt wird. Die zweite Trennmembran 9 ist auf einer vom Grundkörper abgewandten Außenseite des Trägers angeordnet, die parallel zu der ersten Trennmembran verläuft. Die zweite Trennmembran 9 schließt eine außenseitlich in den Träger 7 integrierte zweite Druckempfangskammer 11 ab. Im Messbetrieb wirkt auf eine vom Träger 7 abgewandte Außenseite der zweiten Trennmembran 9 ein zweiter Druck p2 ein, der in Fig. 1 durch einen Pfeil dargestellt ist.
Der erste und der zweite Druck p1 , p2 werden dem Differenzdruckmessaufnehmer, wie bei herkömmlichen Differenzdruckmessaufnehmern auch, über in Fig. 1 nicht dargestellte Anschlüsse zugeführt. Flierzu eignen sich z.B. zwei mit entsprechenden Prozessanschlüssen ausgestattete Flansche, die auf dem Differenzdruckmessaufnehmer derart montiert werden, dass die jeweiligen Drücke p1 , p2 über den Prozessanschluss auf die jeweilige Trennmembran 3,
9 einwirken. Die Flansche werden beispielsweise mittels Bolzenschrauben montiert. Die Integration der ersten Druckempfangskammer 5 in den Grundkörper 1 weist hierbei den Vorteil auf, dass durch diese Konstruktion der Einfluss der Einspannung des Messaufnehmerblocks zwischen den beiden Anschlüssen auf die Messgenauigkeit reduziert wird, da aufgrund der Reduktion der Anzahl der Bauteile weniger Verspannungen zwischen einzelnen Bauteilen auftreten können.
Der Differenzdruckmessaufnehmer kann optional einen Überlastschutz aufweisen, der eine zwischen dem Grundkörper 1 und dem Träger 7 angeordnete ringscheibenförmige Überlastmembran 13 umfasst. An eine erste dem Grundkörper 1 zugewandte Seite der Überlastmembran 13 grenzt eine in den Grundkörper 1 integrierte von der Überlastmembran 13 abgeschlossene erste Überlastkammer 15 an, die über eine erste Druckübertragungsleitung 17 mit der ersten Druckempfangskammer 5 verbunden ist. Die erste Druckübertragungsleitung 17 ist eine von der ersten Druckempfangskammer 5 zur ersten Überlastkammer 15 durch den Grundkörper 1 hindurchführende gerade Bohrung. Die gerade Bohrung bietet den Vorteil, dass sie sehr einfach herstellbar ist, und aufgrund der geraden Leitungsführung eine optimale Übertragung des Drucks erzielt werden kann. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass nur sehr wenig Flüssigkeit zur Übertragung des Drucks erforderlich ist.
Ergänzend kann an eine zweite dem Träger 7 zugewandte Seite der Überlastmembran 13 eine in den Träger 7 integrierte von der Überlastmembran 13 abgeschlossene zweite Überlastkammer 19 angrenzen, die über eine zweite Druckübertragungsleitung 21 mit der zweiten Druckempfangskammer 11 verbunden ist. Auch hier ist die zweite Druckübertragungsleitung 21 eine gerade Bohrung, die durch den Träger 7 hindurchfährt, und die zweite Druckempfangskammer 11 mit der zweiten Überlastkammer 19 verbindet. Die oben genannten Vorteile einer geraden Leitungsführung gelten hier genauso.
Im Grundkörper 1 ist eine Ausnehmung 23 vorgesehen, in die eine Sensorbaugruppe von außen einbringbar ist. Die Ausnehmung 23 ist derartig ausgestaltet, dass eine Innenkontur der Ausnehmung zumindest eine Stufe aufweist. Die gestufte Ausnehmung 23 kann beispielsweise durch zwei Bohrungen mit unterschiedlichen Durchmessern in den Grundkörper 1 eingebracht worden sein. Durch die Stufe wird eine Anschlagsfläche 6 ausgebildet, an welcher die Sensorbaugruppe 2 im eingebrachten Zustand anliegt. Durch die Anschlagsfläche 6 wird ferner eine definierte Tiefe vorgegeben bzw. festgelegt, bis zu der die Sensorbaugruppe 2 in die Ausnehmung 23 einführbar ist bzw. geführt werden kann. Die Ausnehmung 23 für die Sensorbaugruppe 2 mündet vorzugsweise in einer Außenfläche des Grundkörpers, deren Ebene senkrecht zu einer Ebene liegt in der die Trennmembrane 3, 9 verlaufen. Im Mündungsbereich 24 kann ferner eine zweite Stufe vorgesehen sein, die zur Aufnahme eines an einem Ende der Sensorbaugruppe umlaufend ausgebildeten Schweißkragens dient.
In die Ausnehmung 23 wird die Sensorbaugruppe 2 während der Fertigung eingeführt. Um die Sensorgruppe 2 bis zu der definierten Tiefe einführen zu können, ist die Sensorbaugruppe 2 derartig ausgeführt, dass sie eine im Wesentlichen rotationssymmetrische, zylindrische Außenkontur mit zumindest einer zur Stufe der Ausnehmung 23 entsprechenden Stufe aufweist, sodass die Sensorbaugruppe 2 mit einer durch die Stufe gebildete Auflagefläche 4 auf eine durch die Stufe der Ausnehmung 23 gebildete Anschlagsfläche 6 im eingebauten Zustand aufliegt. Ferner können die Außenkontur der Sensorbaugruppe 2 und die Innenkontur der Ausnehmung 23 derartig aufeinander abgestimmt sein, dass ein - wie in Fig. 2 dargestellt - hohlzylindrischer Spalt 14 zwischen der Außen- und Innenkontur im eingebauten Zustand gebildet wird.
Die Sensorbaugruppe 2 wird vorzugsweise durch eine Glas-Metall- Durchführung 32 als Grundelement ausgebildet bzw. hergestellt. Auf die Glas- Metall-Durchführung 32 wird eine, vorzugsweise keramische Sockelscheibe 33 zur Entkopplung von thermischen und/oder internen mechanischen Spannungen aufgebracht. Auf die Sockelscheibe 33 wird ein Differenzdrucksensor 25 zum Erfassen eines sich zwischen einem ersten und einem zweiten Druck ergebenden Differenzdruckes aufgebracht. Der Differenzdrucksensor 25 ist vorzugsweise einer der eingangs beschriebenen Flalbleiter-Sensoren, z.B. ein Silizium-Chip-Differenzdrucksensor 25 mit einer Messmembran, in die Widerstandselemente, die als druckempfindliche Elemente dienen, eindotiert sind. Der elektrische Anschluss des Differenzdrucksensors 25 erfolgt über mindestens eine Anschlussleitung 53,
54, die durch die Glas-Metall-Durchführung 32 nach außen geführt ist. Ferner ist zum Schutz des Differenzdrucksensors 25 ein Deckel 16 auf die Glas- Metall-Durchführung 32 aufgebracht. In dem Differenzdrucksensor 25 sind, begrenzt durch die Messmembran, zwei Druckmesskammern 29, 31 ausgebildet, denen der erste bzw. zweite Druck zugeführt ist.
Eine erste Druckmesskammer 29 ist durch eine dritte Druckübertragungsleitung 41 mit der ersten Überlastkammer 15 verbunden.
Diese besteht in einer in einer Seitenwand der Ausnehmung 23 mündenden geraden ausschließlich im Grundkörper 1 verlaufenden ersten Bohrung und einer dazu rechtwinkligen zweiten Bohrung, über die die erste Druckmesskammer 29 mit der ersten Überlastkammer 15 hydraulisch nachgeschaltet ist. Ein durch die Sockelscheibe 33 und die Messmembran 29 abgeschlossener Innenraum des Differenzdrucksensors bildet die zweite Druckmesskammer 31 , die durch die Messmembran 27 von der ersten Druckmesskammer 29 abgetrennt ist. Die zweite Druckmesskammer 31 ist über eine Bohrung 43 in der Sensorbaugruppe mit einer vierten Druckübertragungsleitung 45 verbunden, über die die zweite Druckmesskammer 31 mit der zweiten Überlastkammer 19 hydraulisch nachgeschaltet ist
Die Sensorbaugruppe kann ferner einem im eingebauten Zustand dem Mündungsbereich der Ausnehmung hingerichteten Ende eine umlaufenden Schweißkragen aufweisen, der die beiden Schweißnähte (Widerstandsimpulsnaht und axiale Laserschweißnaht) entkoppelt.
Ergänzend kann die Sensorbaugruppe 2, wie in Fig. 2 dargestellt, eine außenseitlich umlaufende Entkopplungsausnehmung bzw. -nut 12 aufweisen, die zur Spannungsentkopplung der im eingebauten und verschweißten Zustand zwischen der Anschlagsfläche und der Auflagefläche 4 befindlichen Schweißnaht 8 dient.
Währen der Fertigung des Differenzdruckmessaufnehmers wird zunächst die Sensorbaugruppe 2 in die Ausnehmung 23 des Grundkörpers 1 derartig eingebracht, dass die Sensorbaugruppe mit der Auflagefläche 4 auf der Anschlagsfläche 6 des Grundkörper aufliegt. Ferner ist die Sensorbaugruppe 2 derartig positioniert, dass der Schweißkragen im Mündungsbereich der Ausnehmung anliegt.
Erfindungsgemäß wird nach dem Einbringen der Sensorbaugruppe in die Ausnehmung des Grundkörpers zunächst mittels eines Widerstandsimpulsschweißverfahrens die Auflagefläche mit der Anschlagsfläche 6 verschweißt, so dass eine umlaufende Schweißnaht 8 entsteht.
Im nächsten Schritt wird ein Schweißring 10 zwischen die Sensorbaugruppe und die Ausnehmung 23 des Grundkörpers 1 in dem Mündungsbereich 24 eingebracht. Anschließen wird die Sensorbaugruppe 2 im Mündungsbereich 24 mittels eines axialen Laserschweißverfahrens mit dem Grundköper über den Schweißring und ggfl. den Schweißkragen verschweißt. Das axiale Laserschweißverfahren wird dabei derartig durchgeführt/ausgeführt, dass eine Axialnaht mit einer Tiefe größer 1 mm, bevorzug größer 1,5 mm, besonders bevorzugt von ca. 2 mm entsteht.
Abschließend wird der Differenzdruckmessaufnehmer mit der druckübertragenden Flüssigkeit befüllt.
Bezugszeichenliste Grundkörper Sensorbaugruppe Erste Trennmembran Auflagefläche der Sensorbaugruppe Erste Druckempfangskammer Anschlagsfläche des Grundkörpers Träger Schweißnaht zwischen Anschlags- und Auflagefläche Zweite Trennmembran Schweißring Zweite Druckempfangskammer Umlaufende Ausnehmung der Sensorbaugruppe Überlastmembran Hohlzylindrischer Spalt zwischen der Außen- und Innenkontur Erste Überlastkammer Deckel Erste Druckübertragungsleitung Zweite Überlastkammer Zweite Druckübertragungsleitung Ausnehmung des Grundkörpers Mündungsbereich der Ausnehmung Differenzdrucksensor Messmembran Erste Druckmesskammer Zweite Druckmesskammer Glas-Metall-Durchführung Sockelscheibe Schweißkragen Dritte Druckübertragungsleitung Bohrung in Sensorbaugruppe Vierte Druckübertragungsleitung , 54 Elektrische Anschlussleitungen p1 Erster Druck p2 Zweiter Druck

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers mit folgenden Verfahrensschritten: g) Bereitstellen einer Sensorbaugruppe (2) mit einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Außenkontur, wobei die Sensorbaugruppe (2) zumindest ein Differenzdrucksensor (25) zum Erfassen eines sich zwischen einem ersten und einem zweiten Druck (p1 , p2) ergebenden Differenzdruckes aufweist; h) Bereitstellen eines Grundkörpers (1) mit einer darauf angeordneten ersten und einer zweiten Trennmembran (2, 9), auf deren Außenseiten im Messbetrieb der erster bzw. der zweite Druck (p1 , p2) einwirkt, wobei der Grundkörper (1) mit einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Ausnehmung (23) zur Aufnahme der Sensorbaugruppe (2) bereitgestellt wird, wobei eine Innenkontur der Ausnehmung an die Außenkontur der Sensorbaugruppe (2) angepasst ist, sodass die Sensorbaugruppe (2) von außen in die Ausnehmung (23) einführbar ist; i) Einbringen der Sensorbaugruppe (2) in die Ausnehmung des Grundkörpers (23), wobei die Sensorbaugruppe (2) mit einer Auflagefläche (4) bis zu einer Anschlagsfläche (6) des Grundkörpers (1) bis zu einer vorbestimmten Tiefe in die Ausnehmung (23) eingeführt wird; j) Einschweißen der Sensorbaugruppe (2) in die Ausnehmung des Grundkörpers mittels eines Widerstandsimpulsschweißverfahrens, derart, dass zumindest die Auflagefläche (4) der Sensorbaugruppe mit der Anschlagsfläche (6) des Grundkörpers durch eine Schweißnaht (8) verschweißt werden; k) Einbringen, vorzugsweise durch Einpressen, eines Schweißrings (10) zwischen der Sensorbaugruppe (2) und der Ausnehmung (23) des Grundkörpers in einem Mündungsbereich (24) der Ausnehmung (23);
L) Axiales Laserschweißen im Mündungsbereich (24) der Ausnehmung (23), sodass der Grundkörper (2) mit Hilfe des Schweißrings (10) umlaufend mit der Sensorbaugruppe (2) verschweißt wird bzw. ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , wobei die Sensorbaugruppe (2) aus einer Glas-Metall-Durchführung (32) mit einem, vorzugsweise zusätzlich aufgebrachten keramischen Sockelscheibe (33) hergestellt wird, wobei vor dem Bereitstellen der Sensorbaugruppe der Differenzdrucksensor auf die Sockelscheibe (33) aufgebracht wurde.
3. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die Glas-Metall- Durchführung (32) mit einem umlaufenden Schweißkragen (34) an einem Ende bereitgestellt wird und die Sensorbaugruppe (2) derartig in die Ausnehmung (23) eingebracht wird, dass der Schweißkragen (34) an dem Mündungsbereich (24) der Ausnehmung (23) anliegt, sodass beim axialen Laserschweißen der Grundkörper (2) mit dem Schweißkragen mit Hilfe des Schweißrings (10) umlaufend mit der Sensorbaugruppe (2) verschweißt wird bzw. ist.
4. Verfahren nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei vor dem Bereitstellen des Grundkörpers (1) die erste und/oder zweite Trennmembran (3, 9) auf den Grundkörper (1) angeschweißt werden, wobei die erste Trennmembran (3) auf einer ersten Außenseite des Grundkörpers (1) angeschweißt wird und die zweite Trennmembran (9) zunächst vorzugsweise auf einem Träger (7) angeschweißt wird, der anschließend auf einer der ersten Außenseite gegenüberliegenden zweiten Außenseite des Grundkörper (1 ) angeschweißt wird.
5. Verfahren nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Sensorbaugruppe (2) eine durch die Auflagefläche gebildete gestufte Außenkontur mit einem äußeren und einem inneren Bereich aufweist, wobei der äußere Bereich einen größeren Durchmesser als der inneren Bereich aufweist und wobei eine zweite radial umlaufende Ausnehmung (12) in den äußeren Bereich der Sensorbaugruppe (2), vorzugsweise durch Drehen, vor dem Einbringen der Sensorbaugruppe in die Ausnehmung des Grundkörpers (1) eingebracht wurde, sodass die radial umlaufende Ausnehmung (12) nach dem Einschweißen der Sensorbaugruppe zur Entkopplung der Schweißnaht (8) dient.
6. Differenzdruckmessaufnehmers hergestellt nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche.
EP20811280.5A 2019-12-03 2020-11-20 Verfahren zum herstellen eines differenzdruckmessaufnehmers Pending EP4070061A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102019132867.5A DE102019132867A1 (de) 2019-12-03 2019-12-03 Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers
PCT/EP2020/082848 WO2021110431A1 (de) 2019-12-03 2020-11-20 Verfahren zum herstellen eines differenzdruckmessaufnehmers

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP4070061A1 true EP4070061A1 (de) 2022-10-12

Family

ID=73543252

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP20811280.5A Pending EP4070061A1 (de) 2019-12-03 2020-11-20 Verfahren zum herstellen eines differenzdruckmessaufnehmers

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20230012357A1 (de)
EP (1) EP4070061A1 (de)
CN (1) CN114746734A (de)
DE (1) DE102019132867A1 (de)
WO (1) WO2021110431A1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102020133204A1 (de) 2020-12-11 2022-06-15 Endress+Hauser SE+Co. KG Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers und entsprechender Differenzdruckmessaufnehmer
CN116878720A (zh) * 2023-04-20 2023-10-13 汉斯韦尔(山东)物联技术有限公司 一种高稳硅差压传感器

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3563138A (en) * 1969-06-23 1971-02-16 Sybron Corp Differential pressure responsive device with diaphragm equalization
JPS5863829A (ja) * 1981-10-14 1983-04-15 Yokogawa Hokushin Electric Corp 差圧測定装置
JPH0518838A (ja) * 1991-07-12 1993-01-26 Yokogawa Electric Corp 半導体差圧センサ
CN1052538C (zh) * 1993-09-10 2000-05-17 横河电机株式会社 半导体式差压测量装置
JP3314538B2 (ja) * 1994-08-05 2002-08-12 株式会社日立製作所 差圧伝送器
DE19608321C2 (de) * 1996-02-22 2002-01-24 Abb Patent Gmbh Differenzdruckmeßumformereinheit mit einem Überlastschutzsystem
DE10157761A1 (de) * 2001-11-27 2003-06-05 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Druckaufnehmer
CN100545583C (zh) * 2005-05-27 2009-09-30 上海自动化仪表股份有限公司 一种差压、压力、温度同时测量用多参数传感器
DE102009055149A1 (de) * 2009-12-22 2011-06-30 Endress + Hauser GmbH + Co. KG, 79689 Überlastsicherer, Drucksensor, insbesondere Differenzdrucksensor
CN104048797B (zh) * 2013-03-12 2017-02-08 福建上润精密仪器有限公司 一种保护压力/差压变送器的耐高过载结构
CN204043843U (zh) * 2014-09-10 2014-12-24 上海洛丁森工业自动化设备有限公司 差压传感器
CN204479229U (zh) * 2015-03-02 2015-07-15 上海立格仪表有限公司 单晶硅高过载差压传感器
US10126193B2 (en) * 2016-01-19 2018-11-13 Rosemount Aerospace Inc. Compact or miniature high temperature differential pressure sensor capsule
US10065853B2 (en) * 2016-05-23 2018-09-04 Rosemount Aerospace Inc. Optimized epoxy die attach geometry for MEMS die
CN105953972A (zh) * 2016-07-05 2016-09-21 上海洛丁森工业自动化设备有限公司 一种新型小型化的差压变送器及其应用
CN107228731A (zh) * 2017-07-15 2017-10-03 江苏德尔科测控技术有限公司 一种差压传感器装置及其封装方法
CN208902327U (zh) * 2018-06-15 2019-05-24 江苏德尔森传感器科技有限公司 精巧型差压传感装置
DE102018121446A1 (de) * 2018-09-03 2020-03-05 Endress+Hauser SE+Co. KG Differenzdruck-Messaufnehmer
CN208818407U (zh) * 2018-09-27 2019-05-03 江苏德尔森控股有限公司 一种带过载保护功能的差压传感器
CN209197970U (zh) * 2019-02-02 2019-08-02 重庆九天测控仪器制造有限公司 内置双传感器的多参数压力传感器
CN210464778U (zh) * 2019-08-20 2020-05-05 上海自优仪器仪表有限公司 一种硅差压传感器

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021110431A1 (de) 2021-06-10
US20230012357A1 (en) 2023-01-12
DE102019132867A1 (de) 2021-06-10
CN114746734A (zh) 2022-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1327128B1 (de) Druckmessanordnung
EP0594808B1 (de) Vorrichtung zum messen von druck und differenzdruck mit dreiteiligem gewindegehäuse und einem winkelring
EP2446239B1 (de) Drucksensormesselement sowie damit versehener drucksensor zur druckerfassung in einem brennraum einer verbrennungskraftmaschine
DE68919471T2 (de) Drucksensor.
EP2678653B1 (de) Keramische druckmesszelle
EP2401595B1 (de) Drucksensor mit halbleiterdruckmesswandler
EP4070061A1 (de) Verfahren zum herstellen eines differenzdruckmessaufnehmers
EP2513621B1 (de) Verfahren zum herstellen einer drucksensoranordnung sowie drucksensoranordnung
DE19608321C2 (de) Differenzdruckmeßumformereinheit mit einem Überlastschutzsystem
DE4234290C2 (de) Drucksensor
EP1618362A1 (de) Druckaufnehmer mit temperaturkompensation
DE102006057828A1 (de) Differenzdruckmeßaufnehmer
DE112011102258T5 (de) Verbesserte Kapazitätssensoren
WO1996026423A1 (de) Piezoresistiver drucksensor oder druckaufnehmer
DE102006049942A1 (de) Druckmittler, Drucksensor mit Druckmittler und Verfahren zum Herstellen eines Druckmittlers
DE19608310C1 (de) Differenzdruckmeßumformereinheit mit einem Überlastschutzsystem
DE102011088303A1 (de) Tubusflanschdruckmittler, Druckmessanordnung mit einem solchen Tubusflanschdruckmittler und Druckmessstelle mit einer solchen Druckmessanordnung
EP2359098B1 (de) Differenzdruckmessumformer
EP0284633A1 (de) Druckmediumdichter modularer Einbauadapter für einen Druckaufnehmer sowie Verfahren zu seiner Herstellung
DE102015206470A1 (de) Vorrichtung zum Bestimmen eines Drucks und Verfahren zum Herstellen derselben
DE10245768B4 (de) Kraftaufnehmer zum Messen von Achskräften
DE3835972C2 (de)
DE102017214107B4 (de) Druckbehälter mit wenigstens einem Sensor und Werkstoffprüfmaschine
DE102014119400A1 (de) Druckwandler und Verfahren zum Betreiben eines solchen
EP3807608B1 (de) Druckmesseinrichtung und verfahren zu deren herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: UNKNOWN

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE

PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20220518

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

DAV Request for validation of the european patent (deleted)
DAX Request for extension of the european patent (deleted)