EP0607149A1 - Method of producing a metal-halide discharge lamp with a ceramic discharge tube. - Google Patents

Abstract

Un procédé pour la fabrication d'une lampe à décharge à halogénure de métal avec récipient de décharge céramique est caractérisé en ce que tout d'abord les deux extrémités (6a, 6b) sont équipées de systèmes d'électrodes et sont hermétiquement closes, mais qu'à proximité de l'extrémité de pompage (6a) reste ouvert un trou de remplissage (15) qui n'est obturé qu'une fois l'opération de remplissage terminée.A method for manufacturing a metal halide discharge lamp with ceramic discharge container is characterized in that first of all the two ends (6a, 6b) are equipped with electrode systems and are hermetically sealed, but that near the pumping end (6a) remains open a filling hole (15) which is not closed until the filling operation is completed.

Description

Verfahren zum Herstellen einer Metallhalogenid- Entladungslampe mit keramischem Entladungsgefäß Method for producing a metal halide discharge lamp with a ceramic discharge vessel

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen •von Metallhalogenid-Entladungslampen mit keramischem Entladungsgefäß.The invention relates to a method for producing • metal halide discharge lamps with a ceramic discharge vessel.

Derartige Lampen besitzen üblicherweise ein Entla¬ dungsgefäß aus Quarzglas. In letzter Zeit wurden je¬ doch Anstrengungen unternommen, um bei diesen Lampen die Farbwiedergabe zu verbessern. Die dafür benötigte höhere Betriebstemperatur läßt sich mit einem kerami- sehen Entladungsgefäß realisieren. Typische Leistungs¬ stufen sind 100 - 250 W. Die Enden des rohrformigen Entladungsgefäßes sind üblicherweise mit zylindrischen keramischen Endstopfen verschlossen, in die mittig eine metallische Stromdurchführung eingesetzt ist.Such lamps usually have a quartz glass discharge vessel. However, efforts have recently been made to improve the color rendering of these lamps. The higher operating temperature required for this can be achieved with a ceramic discharge vessel. Typical power levels are 100-250 W. The ends of the tubular discharge vessel are usually closed with cylindrical ceramic end plugs into which a metal current lead-through is inserted in the middle.

Eine ähnliche Technik wird bei Natriumhochdrucklampen verwendet. Bekannt sind sowohl röhr- als auch stift- förmige Durchführungen aus Niob (GB-PS 1 465 212 und EP-PS 34 113), die mittels Glaslot oder Schmelzkera- mik in einem keramischen Endstopfen eingeschmolzen werden. Ferner ist auch eine direkte, glaslotfreie Einsintertechnik für Niobrohre beschrieben worden (EP-PS 136 505). Die Besonderheit von Natriumhoch- druckentladungsla pen besteht darin, daß die Füllung Natriumamalgam enthält, das häufig in einem Reservoir im Innern eines als Durchführung verwendeten Niobroh- res enthalten ist. Eine besonders einfache Möglichkeit des Füllens und Evakuierens des Entladungsgefäßes besteht darin, daß eines der beiden Niobrohre eine kleine Öffnung in der Nähe des am Rohr angesetzten Elektrodenschafts im Innern des Entladungsgefäßes besitzt, so daß durch diese Öffnung ein Evakuieren und Füllen des Amalgams und des Inertgases möglich ist (GP-PS 2 072 939). Nach Abschluß des Füllvorgangs wird das außen über¬ stehende Ende des Niobrohres durch eine Quetschung mit anschließender Verschweißung gasdicht verschlos¬ sen. Dabei bleibt jedoch immer die Öffnung in der Nähe des Elektrodenschafts durchgängig, um während des Be¬ triebs eine Verbindung zwischen dem Innenraum des Entladungsgefäßes und dem als Cold Spot wirkenden Innern des Durchführungsrohrs sicherzustellen.A similar technique is used in high pressure sodium lamps. Both tubular and pin-shaped bushings made of niobium (GB-PS 1 465 212 and EP-PS 34 113) are known, which are melted into a ceramic end plug by means of glass solder or ceramic. A direct, glass-solder-free sintering technique for niobium tubes has also been described (EP-PS 136 505). The peculiarity of sodium high-pressure discharge lamps is that the filling contains sodium amalgam, which is often contained in a reservoir inside a niobium tube used as a leadthrough. A particularly simple way of filling and evacuating the discharge vessel is that one of the two niobium tubes has a small opening in the vicinity of the electrode shaft attached to the tube in the interior of the discharge vessel, so that the amalgam and the inert gas can be evacuated and filled through this opening (GP-PS 2 072 939). After the filling process has been completed, the end of the niobium tube projecting from the outside is sealed gas-tight by a pinch with subsequent welding. However, the opening in the vicinity of the electrode shaft always remains continuous in order to ensure a connection between the interior of the discharge vessel and the interior of the lead-through tube, which acts as a cold spot, during operation.

Eine andere Verschlußtechnik für Natriumhochdrucklam¬ pen ist aus der DE-PS 25 48 732 bekannt. Sie verwen¬ det rohrförmige Durchführungen aus Wolfram, Molybdän oder Rhenium, die in den Stopfen unter Zuhilfenahme eines keramischen zylindrischen Formteils im Innern des Rohrs mittels Schmelzkeramik gasdicht eingeschmol¬ zen werden. Auf das Quetschen des äußeren Rohrendes nach Abschluß des Füllvorgangs muß hier verzichtet werden, weil bekanntlich diese Metalle im Gegensatz zu Niob sehr spröde sind und daher nur schwer bear¬ beitet werden können. Die Verschlußtechniken, die für Niobrohre bekannt sind, können daher nicht ohne wei¬ teres übernommen werden. Statt dessen ist das kerami¬ sche Formteil mit einer axialen Bohrung ausgestattet, die beim Evakuieren und Füllen mit einer Öffnung im Rohr in der Nähe des Elektrodenschafts zusammenwirkt. Nach dem Füllen wird die axiale Bohrung des Formteils mit Schmelzkeramik verschlossen, so daß ein Bearbeiten des spröden molybdänähnlichen Metalls entfällt. Diese Technik ist jedoch sehr umständlich und daher kosten¬ trächtig und zeitaufwendig.Another closure technique for high-pressure sodium lamps is known from DE-PS 25 48 732. They use tubular bushings made of tungsten, molybdenum or rhenium, which are melted in a gas-tight manner in the stopper with the aid of a ceramic cylindrical molded part in the interior of the tube by means of melting ceramic. The outer tube end must not be squeezed after the filling process has been completed, because, as is known, in contrast to niobium these metals are very brittle and can therefore be processed only with difficulty. The closure techniques which are known for niobium tubes cannot therefore be adopted without further ado. Instead, the ceramic molding is equipped with an axial bore, which interacts with an opening in the tube near the electrode shaft during evacuation and filling. After filling, the axial bore of the molded part is closed with melting ceramics, so that processing the brittle molybdenum-like metal is eliminated. However, this technique is very cumbersome and therefore expensive and time-consuming.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Ver¬ fahren zum Herstellen einer Metallhalogenid-Entla- dungslampe mit keramischem Entladungsgefäß anzugeben. Insbesondere soll ein Verfahren zum Evakuieren und Füllen des Entladungsgefäßes bereitgestellt werden.It is an object of the present invention to provide a method for producing a metal halide discharge lamp with a ceramic discharge vessel. In particular, a method for evacuating and filling the discharge vessel is to be provided.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst. Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen fin¬ den sich in den Unteransprüchen.This object is achieved by a method according to claim 1. Particularly advantageous refinements can be found in the subclaims.

Bei der Übertragung der bei Natriumhochdrucklampen be¬ kannten Durchführungstechnik auf die erfindungsgemäßen Lampen muß beachtet werden, daß die Halogenide sowohl die Schmelzkeramik als auch die metallische Durchfüh¬ rung angreifen.When transferring the feed-through technology known from high-pressure sodium lamps to the lamps according to the invention, it must be noted that the halides attack both the melting ceramic and the metallic leadthrough.

Aus diesem Grund ist bei der Verwendung von Niob oder niobähnlichen Metallen (z.B. Tantal) darauf zu achten, daß die Durchführung geeignet gegen die aggressiven Füllstoffe abgeschirmt ist. Bei der Verwendung von Mo- lybdän oder molybdänähnlichen Metallen (z.B. Wolfram, Rhenium) ist dieses Problem nicht vorhanden, da diese Materialien erheblich korrosionsbeständiger sind, wes¬ halb in bestimmten Ausführungsformen der Durchführung Molybdän als Material bevorzugt ist. Dies gilt haupt- sächlich für rohrförmige Durchführungen, während bei stiftförmigen Durchführungen keine wesentlichen Vor¬ teile entstehen. Die konkrete Form der gasdichten Abdichtung der Durch¬ führung im Ende des Entladungsgefäßes, z.B. mittels eines im wesentlichen keramischen Stopfens^' oder auch mittels einer metallischen Abdeckkappe (DE-OS 30 12 322) ist für die vorliegende Erfindung von un- - tergeordneter Bedeutung. Sie kann z.B. mittels Glaslot bzw. Schmelzkeramik oder auch mittels direkter Einsin- terung erfolgen.For this reason, when using niobium or niobium-like metals (eg tantalum), care must be taken that the bushing is suitably shielded against the aggressive fillers. This problem does not exist when using molybdenum or molybdenum-like metals (for example tungsten, rhenium), since these materials are considerably more corrosion-resistant, which is why molybdenum is preferred as the material in certain embodiments of the implementation. This applies mainly to tubular bushings, while there are no significant advantages with pin bushings. The concrete form of gas-tight sealing of the Durch¬ guide in the end of the discharge vessel, for example by means of an essentially ceramic plug ^'or by means of a metal cap (DE-OS 30 12 322) for the present invention of unalloyed - minor importance. It can be done, for example, by means of glass solder or melting ceramics or also by direct sintering.

Obgleich das erfindungsgemäße Verfahren sowohl für niob- als auch molybdänähnliche Durchführungen geeig¬ net ist, entfaltet es bei mehreren Ausführungsformen seinen besonderen Wert für molybdänähnliche Materia¬ lien, da es eine Beanspruchung des Materials hinsicht- lieh Duktilität vermeidet. Die vorliegende Anmeldung befaßt sich daher insbesondere mit dem Problem, wie spröde Durchführungen bearbeitet werden können und wie das Evakuieren und Füllen eines Entladungsgefäßes so gestaltet werden kann, daß auch spröde molybdänähn- liehe Materialien verwendet werden können.Although the method according to the invention is suitable both for niobium and molybdenum-like bushings, in several embodiments it unfolds its particular value for molybdenum-like materials since it avoids stressing the material with regard to ductility. The present application therefore deals in particular with the problem of how brittle bushings can be processed and how the evacuation and filling of a discharge vessel can be designed in such a way that brittle materials similar to molybdenum can also be used.

Eine für Natriumhochdrucklampen bekannte Abdichtungs¬ technik (DE-OS 40 37 721.-Artikel 54(3)) besteht darin, das erste Ende des Entladungsge^'fäßes zu verschließen, anschließend in einer Glovebox das Entladungsvolumen durch das zweite, noch offene Ende zu evakuieren und mit der Füllung zu versehen. Danach wird das zweite Ende mit einem Elektrodensystem bestückt und durch Erwärmen verschlossen, wobei das erste Ende gekühlt werden muß, um ein Entweichen der Füllung zu verhin¬ dern. Dieses Verfahren ist jedoch ziemlich umständ¬ lich und zeit- _Mund kostenintensiv, weil die beiden Enden zu verschiedenen Zeitpunkten abgedichtet, werden und außerdem eine Glovebox benötigt wird. Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich demgegen¬ über dadurch aus, daß beide Enden des keramischen Ent¬ ladungsgefäßes mit Elektrodensystemen bestückt werden, die anschließend durch Erwärmen abgedichtet werden, sei es durch Schmelzen einer Schmelzkeramik oder durch direktes Einsintern. Als Elektrodensystem wird im fol¬ genden jeweils eine vormontierte Baueinheit verstan¬ den, die aus der Elektrode (Schaft und Spitze) be¬ steht, die an der Durchführung befestigt ist, z.B. durch Stumpfschweißen, wobei die Durchführung selbst in das Mittel zum Abdichten (üblicherweise ein kera¬ mischer Endstopfen) eingesetzt ist. Die Durchführung kann u.U. an einer oder beiden Seiten des Stopfens vertieft eingesetzt sein, wobei zusätzlich eine äuße- re elektrische Zuleitung an der Durchführung befestigt sein kann. Die Durchführung kann auch selbst die Auf¬ gabe des Abdichtmittels übernehmen.A known for high pressure sodium lamps Abdichtungs¬ technique (DE-OS 40 37 721. Article 54 (3)) is to close the first end of the Entladungsge ^'fäßes, then to evacuate in a glove box, the discharge volume through the second, still open end and to fill with it. The second end is then fitted with an electrode system and closed by heating, the first end having to be cooled in order to prevent the filling from escaping. This method is however rather time-consuming and Lich umständ¬ _M and costly, because the two ends sealed at different times, and are also a glove box is needed. In contrast, the method according to the invention is distinguished in that both ends of the ceramic discharge vessel are equipped with electrode systems which are subsequently sealed by heating, be it by melting a melting ceramic or by direct sintering. In the following, a pre-assembled structural unit is understood as the electrode system, which consists of the electrode (shaft and tip) which is attached to the leadthrough, for example by butt welding, the leadthrough itself being used for the sealing (usually a ceramic end plug) is used. The bushing may be recessed on one or both sides of the stopper, and an external electrical lead may also be attached to the bushing. The implementation can also take on the task of the sealing agent itself.

Beim Erwärmen wird nun das eine Ende, das als Blind¬ ende ausgeführt ist, vollständig abgedichtet. Die dort verwendete Art der Durchführung ist für die vor¬ liegende Erfindung unwesentlich.. Das andere Ende wird ebenfalls weitgehend abgedichtet, jedoch nur soweit, daß es noch als Pumpende dienen kann, indem hier zu- nächst eine zusätzliche Füllbohrung frei gelassen wird, die das Entladungsvolumen mit dem in einer Glovebox angeordneten Außenraum verbindet; die Boh¬ rung kann evtl. auch direkt über eine Kupplung mit Zuleitungen zum Evakuieren und/oder Füllen verbunden sein. Der Vorteil dieses Verfahrens ist, daß die Küh¬ lung des Blindendes beim Abdichten der Füllbohrung weitgehend entfallen und somit die Baulänge der Lampe erheblich verkürzt werden kann. Der Energieaufwand für das Verschließen der Füllbohrung beträgt nämlich nur noch einen Bruchteil der für die Abdichtung des Elektrodensystems benötigten Wärmezufuhr.When heating, one end, which is designed as a blind end, is now completely sealed. The type of implementation used there is insignificant for the present invention. The other end is also largely sealed, but only to the extent that it can still serve as a pump end by initially leaving an additional filling hole free, which the Connects discharge volume to the outside space arranged in a glovebox; the bore can possibly also be connected directly to a supply line for evacuation and / or filling via a coupling. The advantage of this method is that the cooling of the blind end when sealing the filling bore is largely eliminated and the length of the lamp can thus be considerably shortened. The energy required to close the filling hole is namely only a fraction of the heat required to seal the electrode system.

Dabei kann die Bohrung in einer ersten Ausführungsform in der Seitenwand des Entladungsgefäßes selbst oder in einer zweiten und dritten Ausführungsform im Elektro¬ densystem (Abdichtmittel bzw. Durchführung) angebracht sein.In a first embodiment, the bore can be made in the side wall of the discharge vessel itself or in a second and third embodiment in the electrode system (sealing means or bushing).

Der Vorteil der ersten Ausführungsform ist, daß im Be¬ trieb- der Lampe die thermische Belastung im Bereich der Seitenwand deutlich geringer als im Bereich des Elektrodensystems ist, so daß zum Abdichten eine ein¬ fache Schmelzkeramik (oder auch Glaslot) verwendet werden kann. Die Durchführung an diesem Ende kann da¬ bei stift- oder rohrförmig sein.The advantage of the first embodiment is that when the lamp is in operation, the thermal load in the area of the side wall is significantly lower than in the area of the electrode system, so that a simple melting ceramic (or glass solder) can be used for sealing. The implementation at this end can be pin-shaped or tubular.

Bei der zweiten Ausführungsform ist die Bohrung im Abdichtmittel außerhalb der Lampenachse angebracht. Diese Konstellation ist besonders günstig bei einer stiftförmigen Durchführung sowie bei einem Stopfen aus Cermet, wobei zum Abdichten eine möglichst hoch- schmelzende Schmelzkeramik zu verwenden ist. Sie kann aber auch bei einer rohrförmigen Durchführung ange- wendet werden.In the second embodiment, the bore in the sealing means is made outside the lamp axis. This constellation is particularly favorable in the case of a pin-shaped feedthrough and in the case of a stopper made of cermet, wherein a melting ceramic which is as high-melting as possible must be used for sealing. However, it can also be used for a tubular bushing.

Eine besonders elegante Lösung wird durch die dritte Ausführungsform erzielt. Dabei ist die Durchführung rohrförmig und die Füllbohrung befindet sich in der Nähe des Elektrodenschafts in einem Teil der Durch¬ führung, der dem Entladungsvolumen zugewandt ist. Die Bohrung verbindet das Entladungsvolumen mit dem Innern der rohrförmigen Durchführung. Sie befindet sich ent¬ weder in der Seitenwand des Rohrs oder am Rohrende. Letztere Anordnung ist besonders vorteilhaft, weil feste Füllungsbestandteile das senkrecht ausgerichtete Rohr einschließlich der Füllbohrung durch die Schwer¬ kraftwirkung besonders leicht passieren können und das nachträgliche Verschließen erleichtert wird.A particularly elegant solution is achieved by the third embodiment. The feedthrough is tubular and the filling bore is located in the vicinity of the electrode shaft in a part of the feedthrough which faces the discharge volume. The bore connects the discharge volume to the interior of the tubular bushing. It is located either in the side wall of the tube or at the end of the tube. The latter arrangement is particularly advantageous because solid filling components can pass through the vertically aligned pipe including the filling hole particularly easily due to the force of gravity and subsequent sealing is facilitated.

^• In allen Ausführungsformen dient die Füllbohrung da¬ zu, das Entladungsvolumen zu evakuieren und zu füllen, wobei sowohl das Inertgas als auch das oder die Me- tallhalogenide und evtl. Metall im Überschuß, die je¬ weils in fester Form vorliegen (Metallhalogenide als Preßkörper, Metall als Drahtstück oder Folie), durch die Bohrung in das Entladungsvolumen eingebracht wer¬ den. Anschließend wird die Bohrung mittelbar oder un- mittelbar durch Erwärmen verschlosen, Dabei ist zu be¬ achten, daß die Füllbohrung, wenn sie in keramischem Material angebracht ist, insbesondere in der Seiten¬ wand oder im meist keramischen Abdichtmittel, langsam und großflächig aufgeheizt werden muß, z.B. mittels eines Gasbrenners oder eines aufgeweiteten Laser¬ strahls, da sich sonst Sprünge in der Keramik bilden würden. ^• In all embodiments of the filling bore is used to da¬ to evacuate the discharge volume and filling, wherein both the inert gas and the metal halides or metal and possibly in excess, in each case in the solid form (as a compact metal halides , Metal as a piece of wire or foil), are introduced through the bore into the discharge volume. The bore is then closed indirectly or directly by heating. It should be noted that the filling bore, if it is installed in ceramic material, in particular in the side wall or in the mostly ceramic sealant, must be heated slowly and over a large area , for example by means of a gas burner or an expanded laser beam, since cracks would otherwise form in the ceramic.

Besonders vorteilhaft in dieser Hinsicht ist die drit- te Ausführungsform, nämlich eine rohrförmige Durchfüh¬ rung mit einer Bohrung in der Nähe des Elektroden¬ schafts. Wenn sich die Bohrung in metallischem statt keramischem Material befindet, kann sie erheblich schneller und außerdem punktförmig aufgeheizt werden, so daß auf eine Kühlung des Blindendes vollständig verzichtet und die Baulänge der Lampe besonders kurz gewählt werden kann. Besonders geeignet für das Aufheizen und Verschließen ist der fokussierte Strahl eines Lasers, der in das Rohr eingefädelt wird; insbesondere eignet sich ein Nd-YAG-Laser mit einer Wellenlänge von 1,06 μm. Das Aufheizen mittels Laser kann auch durch die Wandung des Entladüngsgefäßes erfolgen, da dessen transluzen- tes Keramikmaterial die 1,06 μm-Strahlung nicht ab¬ sorbiert.In this respect, the third embodiment is particularly advantageous, namely a tubular bushing with a bore near the electrode shaft. If the hole is in metallic instead of ceramic material, it can be heated up considerably more quickly and also point-wise, so that cooling of the blind end is completely dispensed with and the overall length of the lamp can be chosen to be particularly short. The focused beam from a laser, which is threaded into the tube, is particularly suitable for heating and sealing; an Nd-YAG laser with a wavelength of 1.06 μm is particularly suitable. The heating by means of a laser can also take place through the wall of the discharge vessel, since its translucent ceramic material does not absorb the 1.06 μm radiation.

Auf diese Weise kann die Herstellung erheblich verein¬ facht werden, -da weniger Zeit und Energie zum Abdich¬ ten der Bohrung benötigt wird. Die Abdichtung erfolgt dabei entweder durch ein vorher eingefülltes hoch¬ schmelzendes (vorteilhaft erst bei mehr als 1700°C schmelzendes) Metallot oder auch durch Aufschmelzen des Rohrmaterials selbst. Eine besonders bevorzugte Ausführungsform ist das Verschließen durch mittelbares Erwärmen, indem ein dem Innendurchmesser des Rohrs an¬ gepaßter Füllstab, dessen Länge etwa der Länge des Rohrs entspricht, in das Rohr eingeführt wird und mit dem entladungsfernen Ende des Rohrs verschweißt wird. Der Vorteil dieser Anordnung ist die besonders zuver¬ lässige Abdichtung und die leichte Zugänglichkeit zur Schweißstelle, wodurch die Notwendigkeit des Einfä- delns eines Laserstrahls entfällt und die Qualität der erzielten Abdichtung besser überwacht werden kann. Dem steht der hohe Materialaufwand durch den massiven Füllstab gegenüber. Dieser wird benötigt, um das im Gegensatz zu Natriumhochdrucklampen bei Metallhaloge- nidla pen unerwünschte Totvolumen des Rohrs zu besei¬ tigen. In den anderen Ausführungsformen des Verfah¬ rens, bei denen die Füllbohrung selbst verschlossen wird, ist dieses Totvolumen automatisch beseitigt. Bei der Herstellung des Elektrodensystems kann sich die Sprödigkeit eines molybdänähnlichen Durchführungs¬ materials besonders unangenehm bemerkbar machen. Als kritischer Schritt muß dabei vor allem die Befestigung der Elektrode an der Durchführung angesehen werden. Die vom niobähnlichen Durchführungsmaterial her be¬ kannte Technik, den Elektrodenschaft am Ende der Durchführung stumpf anzuschweißen, ist auch bei molyb¬ dänähnlichem Material vorteilhaft, wenn als Durchfüh- rung ein massiver Stift verwendet wird. Bei der Ver¬ wendung von rohrförmigen Durchführungen tritt jedoch das Problem auf, daß bei molybdänähnlichem Material nur beidseitig offene Rohre als Halbware verfügbar sind. Wegen der Sprödigkeit des Materials ist es bis- her nicht möglich, einseitig verschlossene einteilige Rohre herzustellen, wie dies bei der Verwendung von Niob üblich ist.In this way, the production can be considerably simplified, since less time and energy are required to seal the bore. Sealing is carried out either by a previously filled in high-melting (preferably only at more than 1700 ° C.) or by melting the pipe material itself. A particularly preferred embodiment is the closing by indirect heating, in which the inside diameter of the pipe is applied ¬ fitted filler rod, the length of which corresponds approximately to the length of the tube, is inserted into the tube and is welded to the end of the tube which is remote from the discharge. The advantage of this arrangement is the particularly reliable sealing and the easy accessibility to the welding point, whereby the need to thread a laser beam is eliminated and the quality of the sealing achieved can be better monitored. This is offset by the high cost of materials due to the solid filling rod. This is required in order to eliminate the dead volume of the tube which is undesirable in contrast to high-pressure sodium lamps in metal halide lamps. In the other embodiments of the method in which the filling hole is closed itself, this dead volume is automatically eliminated. The brittleness of a lead-through material similar to molybdenum can be particularly unpleasantly noticeable in the manufacture of the electrode system. The critical step in this regard must be the attachment of the electrode to the bushing. The technique known from niobium-like bushing material for butt-welding the electrode shaft at the end of the bushing is also advantageous with molybdenum-like material if a solid pin is used as bushing. When using tubular bushings, however, the problem arises that in the case of molybdenum-like material, only tubes which are open on both sides are available as semi-finished goods. Because of the brittleness of the material, it has so far not been possible to produce one-piece tubes which are closed on one side, as is customary when using niobium.

Statt dessen werden hier mehrere alternative Verfahren vorgeschlagen. Eine erste Möglichkeit besteht darin, den Elektrodenschaft, dessen Durchmesser erheblich kleiner als der des Molybdänrohrs ist, mittels einer Lehre zentriert in ein Ende des Rohrs einzuführen, dann das Rohr oder zumindest dessen den Schaft umge- bendes Ende auf etwa 400°C zu erhitzen, und anschlies- send das erhitzte und dadurch duktil gewordene Molyb¬ dänrohr um den Elektrodenschaft herum zu quetschen und evtl. durch eine Punktschweißung mechanisch zu fixie¬ ren. Die Abdichtung erfolgt durch eine Schweißtechnik, insbesondere indem eine Wärmequelle, insbesondere ein Laserstrahl, auf die Quetschung gerichtet wird. Be¬ sonders vorteilhaft ist der Laserstrahl fokussiert auf einen Punkt der Quetschung gerichtet, während das Rohr um seine eigene Achse rotiert. Anschließend wird seitlich in der Rohrwand in der Nähe des Elektroden¬ schafts, z.B. durch einen einzigen Laserimpuls unter schrägem Einfall, die Füllbohrung geschaffen. Typisch handelt es sich dabei um ein 0,6 bis 0,8 mm großes Loch. Diese Technik ist sehr einfach und zuverlässig. Allerdings ist das Verschließen der Füllbohrung dann relativ aufwendig, da diese deutlich oberhalb des Scha tendes sitzt und deshalb eine größere Menge Me- tallot verwendet werden muß, um das Innenvolumen des Rohrs bis hin zur Füllbohrung aufzufüllen.Instead, several alternative methods are proposed here. A first possibility is to insert the electrode shaft, whose diameter is considerably smaller than that of the molybdenum tube, centered into one end of the tube by means of a gauge, then to heat the tube or at least its end surrounding the shaft to about 400 ° C. and then squeezing the heated and thereby becoming ductile molybdenum tube around the electrode shaft and possibly fixing it mechanically by spot welding. The sealing is done by a welding technique, in particular by using a heat source, in particular a laser beam, on the pinch is judged. Particularly advantageously, the laser beam is focused on a point of the pinch while the tube rotates about its own axis. Then will The filling hole is created laterally in the tube wall near the electrode shaft, for example by a single laser pulse with an oblique incidence. It is typically a 0.6 to 0.8 mm hole. This technique is very simple and reliable. However, closing the filling hole is then relatively complex, since it is located clearly above the end of the switch and therefore a larger amount of metal solder must be used to fill up the inner volume of the tube up to the filling hole.

Eine Modifikation dieser Technik sieht vor, daß gleichzeitig mit dem Elektrodenschaft mittels einer Lehre ein parallel dazu angeordneter Platzhalter für die Bohrung in das Ende des Molybdänrohrs eingeführt wird. Nachdem das Rohr durch Erhitzen auf 400°C duk¬ til gemacht worden ist, wird das Rohrende um den Elek¬ trodenschaft und gleichzeitig um den Platzhalter für die Bohrung (z.B. ein Stift oder kurzes Rohrstück) herumgequetscht und der Schaft fixiert. Dann wird der Platzhalter entfernt, so daß die Bohrung entsteht. Beim Abdichten der Quetschung wird bei dieser Modifi¬ kation auf ein Drehen der Baueinheit verzichtet und nur ein Teil der Quetschung aufgeschmolzen, der von der Bohrung entfernt liegt. Bei dieser Technik kann ein Herstellschritt (separates Herstellen der Bohrung) eingespart werden. Die Bohrung befindet sich außerdem am Ende des Rohrs in der Nähe der Achse, so daß das spätere Verschließen nach dem Füllvorgang erheblich erleichtert wird. Zum einen kann die Bohrung besser mit dem Laserstrahl anvisiert werden, zum zweiten ist die Abdichtung zuverlässiger, weil das Metallot, das durch die Laser-Erwärmung schmilzt, unter dem Einfluß der Schwerkraft automatisch in die Füllbohrung hinein- läuft und dort durch die Kapillarwirkung des nur 0,6 bis 0,8 mm großen Lochs zuverlässig gehalten wird. Außerdem ist nur eine geringe Menge Metallot, vergli¬ chen mit einem seitlichen Loch, nötig.A modification of this technique provides that, at the same time as the electrode shaft, a spacer for the bore, which is arranged in parallel, is inserted into the end of the molybdenum tube by means of a gauge. After the pipe has been made ductile by heating to 400 ° C., the pipe end is squeezed around the electrode shaft and at the same time around the placeholder for the bore (for example a pin or a short piece of pipe) and the shaft is fixed. Then the placeholder is removed so that the hole is created. In this modification, when the pinch is sealed, the assembly is not rotated and only a part of the pinch that is located away from the bore is melted. With this technique, one manufacturing step (separate production of the bore) can be saved. The hole is also located at the end of the tube near the axis, so that subsequent closing after the filling process is made considerably easier. On the one hand, the hole can be better targeted with the laser beam, on the other hand, the seal is more reliable because the metallic solder, which melts due to the laser heating, automatically enters the filling hole under the influence of gravity. runs and is held there reliably by the capillary action of the hole, which is only 0.6 to 0.8 mm in size. In addition, only a small amount of Metallot, compared to a side hole, is necessary.

Bei einer dritten Variante kann das Rohrende selbst als Füllbohrung dienen; auf ein Quetschen wird ver¬ zichtet. In einer ersten Ausführungsform dieser Va¬ riante erfolgt die Anpassung des Durchmessers des Elektrodenschafts an den des Molybdänrohrs dadurch, daß das Elektrodenschaftende zurückgeschmolzen wird- und dadurch verkugelt. Der Durchmesser des kugeligen Schaftendes, der durch die Länge der zurückgeschmol¬ zenen Strecke des Schafts bestimmt ist, wird so ge- wählt, daß er dem Innendurchmesser des Rohrs in etwa angepaßt ist. Erst dann wird das verkugelte Schaftende in das Rohr eingeführt, mechanisch fixiert (durch Punktschweißen) und das Rohrende mit dem Schaft ver¬ schweißt und dadurch abgedichtet. Dies kann wiederum durch Laserschweißen erfolgen, indem ein fokussierter Laserstrahl auf das Rohrende gerichtet wird und die Baueinheit aus Schaft und Rohr um ihre Achse rotiert. Anschließend kann wieder eine seitliche Füllbohrung geschaffen werden, in dem z.B. mechanisch ein Loch er- zeugt oder ein Laser von außen auf die Rohrwand in der Nähe des Rohrendes gerichtet wird. Diese Lösung schien ursprünglich daran zu scheitern, daß beim naheliegen¬ den senkrechten Auftreffen des Lasers auf der Rohr¬ wand -rechtwinklig zur Rohrachse und diese schneidend- der Ausschuß infolge gleichzeitiger Durchbohrung der hinteren Wand sehr hoch war. Das Verschließen einer derartigen Doppelbohrung wäre nicht wirtschaftlich. Statt dessen wird der Laser schräg auf die Rohrwand gerichtet, wodurch eine zweite Bohrung vermieden wird. Man kann auch den Laser rechtwinklig zur Rohrachse, jedoch dazu seitlich versetzt, einfallen lassen und so einen Querschlitz schneiden.In a third variant, the pipe end itself can serve as a filling hole; there is no crushing. In a first embodiment of this variant, the diameter of the electrode shaft is adapted to that of the molybdenum tube by melting the end of the electrode shaft and thereby sphering it. The diameter of the spherical shaft end, which is determined by the length of the melted-back section of the shaft, is selected such that it is approximately matched to the inside diameter of the tube. Only then is the spherical shaft end inserted into the tube, mechanically fixed (by spot welding) and the tube end welded to the shaft and thereby sealed. This can again be done by laser welding, in that a focused laser beam is directed onto the pipe end and the assembly consisting of the shaft and pipe rotates about its axis. A lateral filling hole can then again be created, for example by mechanically creating a hole or by directing a laser from the outside onto the pipe wall near the pipe end. This solution originally seemed to fail because the obvious vertical impact of the laser on the tube wall at right angles to the tube axis and intersecting it was very high due to simultaneous perforation of the rear wall. Closing such a double hole would not be economical. Instead, the laser is directed obliquely at the pipe wall, which avoids a second hole. You can also drop the laser at right angles to the tube axis, but offset to the side, and cut a cross slot.

In einer zweiten Ausführungsform dieser Variante wird der Elektrodenschaft zunächst an der Rohrinnenwand an¬ geheftet, wobei eine leichte Verschiebung des Elektro¬ denschafts aus der Lampenachse bewußt in Kauf genommen wird. Die am Rohrende verbleibende Öffnung wird als Füllbohrung verwendet. Anschließend wird das Molybdän¬ rohr -einschließlich der Füllbohrung durch einen Füll¬ stab verschlossen, der zweckmäßig eine Aussparung für den Elektrodenschaft besitzt. Der Füllstab wird am entladungsfernen Ende mit dem Rohr, wie bereits be- schrieben, verbunden.In a second embodiment of this variant, the electrode shaft is first attached to the inner tube wall, a slight displacement of the electrode shaft from the lamp axis being consciously accepted. The opening remaining at the end of the pipe is used as a filling hole. The molybdenum tube, including the filling hole, is then closed by a filling rod, which expediently has a recess for the electrode shaft. The filler rod is connected to the tube at the end remote from the discharge, as already described.

Diese Ausführungsform verknüpft die Vorteile der bis¬ her beschriebenen Techniken in besonders vorteilhafter Weise miteinander, weil sowohl die Herstellung einer separaten Füllbohrung als auch das Quetschen des Rohrendes zum Halten des Elektrodenschafts auf ele¬ gante Art und Weise vermieden wird. Auch ein Verku- geln des Elektrodenschafts ist nicht notwendig.This embodiment combines the advantages of the techniques described hitherto in a particularly advantageous manner because both the production of a separate filling bore and the squeezing of the tube end for holding the electrode shaft are avoided in an elegant manner. It is also not necessary to screw the electrode shaft.

Die beschriebenen Verfahren eignen sich auch für Niob¬ rohre. Beim Que^'tschvorgang kann dabei jedoch auf ein vorheriges Erwärmen verzichtet werden.The processes described are also suitable for niobium tubes. At Que ^'lish process can thereby be, however, no need for a prior warming.

Die Erfindung wird im folgenden anhand mehrerer Aus¬ führungsbeispiele erläutert. Es zeigtThe invention is explained below on the basis of several exemplary embodiments. It shows

Figur 1 eine Metallhalogenidentladungslampe, teilweise geschnitten Figur 2 ein zweites Ausführungsbeispiel desFigure 1 is a metal halide discharge lamp, partially cut Figure 2 shows a second embodiment of the

Bereichs des Pumpendes der Lampe, teilweise im SchnittArea of the pump end of the lamp, partly in section

Figur 3 ein drittes Ausführungsbeispiel desFigure 3 shows a third embodiment of the

Bereichs des Pumpendes der Lampe, teilweise im SchnittArea of the pump end of the lamp, partly in section

Figur 4 und 5 Ausführungsbeispiele für das Ver- schließen einer rohrförmigen Durch¬ führungFigures 4 and 5 embodiments for closing a tubular bushing

Figur 6 bis 8 Ausführungsbeispiele für das Be¬ festigen eines Elektrodenschafts an einer rohrförmigen Durchführung6 to 8 exemplary embodiments for fastening an electrode shaft to a tubular bushing

Figur 9 ein Ausführungsbeispiel des Bereichs des Pumpendes einer Lampe mit Cer- et-Stopfen.FIG. 9 shows an exemplary embodiment of the region of the pump end of a lamp with a cer- et plug.

In Figur 1 ist schematisch eine Metallhalogenidentla- dungslampe mit einer Leistung von 150 W dargestellt. Sie besteht aus einem eine Lampenachse definierenden zylindrischen Außenkolben 1 aus Quarzglas, der zwei- seitig gequetscht 2 und gesockelt 3 ist. Das axial angeordnete Entladungsgefäß 4 aus Al₇0,-Keramik ist in der Mitte 5 ausgebaucht und besitzt zylindri¬ sche Enden 6. Es ist mittels zweier Stromzuführungen 7, die mit den Sockelteilen 3 über Folien 8 verbunden sind,im Außenkolben 1 gehaltert. Die Stromzuführungen 7 aus Molybdän sind mit stiftförmigen Durchführungen 9 verschweißt, die jeweils in einem keramischen End¬ stopfen 10 des Entladungsgefäßes direkt, also glaslot- frei , eingesintert sind. Die beiden Durchführungen 9 aus Niob (oder auch Molyb¬ dän) haltern entladungsseitig jeweils eine Elektrode 11, bestehend aus einem Elektrodenschaft 12 aus Wolfram und einer am entladungsseitigen Ende ausgebil¬ deten kugelförmigen Spitze 13. Die Füllung des Entla¬ dungsgefäßes besteht neben einem inerten Zündgas, z.B. Argon, aus Quecksilber und Zusätzen an Metallhalogeni- den.A metal halide discharge lamp with an output of 150 W is shown schematically in FIG. It consists of a cylindrical outer bulb 1 made of quartz glass which defines a lamp axis and which is squeezed 2 and base 3 on two sides. The axially disposed discharge vessel 4 made of Al ₇ 0, ceramic is bulged in the center 5 and has zylindri¬ specific ends 6. It is mounted by means of two power supply lines 7 that are connected to the base parts 3 via foils 8 in the outer bulb. 1 The power supply lines 7 made of molybdenum are welded to pin-shaped bushings 9, which are sintered directly into a ceramic end plug 10 of the discharge vessel, that is to say without soldering glass. The two bushings 9 made of niobium (or also molybdenum) each hold an electrode 11 on the discharge side, consisting of an electrode shaft 12 made of tungsten and a spherical tip 13 formed on the discharge side end. The discharge vessel is filled with an inert ignition gas , for example argon, from mercury and additives to metal halides.

In dieser Ausführungsform reicht der Elektrodenschaft 12_.bis in die axiale Bohrung im Endstopfen 10 hinein, weil die stiftförmige Durchführung 9 in der Bohrung entladungsseitig vertieft eingesetzt ist. Andererseits steht der Stift 9 am äußeren Ende des Endstopfens über und ist direkt mit der Stromzuführung 7 verbunden.In this embodiment, the electrode shaft 12 is sufficient _. up into the axial bore in the end plug 10, because the pin-shaped bushing 9 is recessed in the bore on the discharge side. On the other hand, the pin 9 protrudes at the outer end of the end plug and is directly connected to the power supply 7.

Im Gegensatz zum Blindende 6b ist in der Nähe des Pumpendes 6a eine Füllbohrung 15 angebracht, die nach dem Füllen durch ein Glaslot oder eine Schmelzkeramik 20 verschlossen wird. Eine Möglichkeit zum Erwärmen der zusätzlichen Füllbohrung 15, die mit einer Schmelzkeramikmasse versehen ist, ist die Erhitzung mittels eines in einer speziellen Optik aufgeweiteten Laserstrahls oder auch mittels eines Gasbrenners. Da- bei schmilzt die Masse und wird in der als Kapillare wirkenden Füllbohrung festgehalten und erkaltet dort, wodurch die Abdichtung vervollständigt ist.In contrast to the blind end 6b, a filling bore 15 is provided near the pump end 6a, which is closed after filling by a glass solder or a melting ceramic 20. One possibility for heating the additional filling bore 15, which is provided with a ceramic melt mass, is heating by means of a laser beam expanded in a special optic or also by means of a gas burner. The mass melts and is held in the filling bore, which acts as a capillary, and cools there, which completes the seal.

In Figur 2 ist der Bereich des Pumpendes 6a des Entla¬ dungsgefäßes im Detail für ein zweites Ausführungsbei¬ spiel gezeigt. Das Entladungsgefäß hat an seinen bei¬ den Enden eine Wandungsdicke von 1,2 mm. Der zylin¬ drische Stopfen 10 aus Al-O,-Keramik, der in das Ende 6 des Entladungsgefäßes eingesetzt ist, hat einen Außendurchmesser von 3,3 mm bei einer Höhe von 6 mm. In die axiale Bohrung 14 des Stopfens ist als Durchführung ein Niobstift 9 mit einer Länge von 12 mm und einem Durchmesser von 0,6 mm direkt eingesintert. Der Elektrodenschaft 12 (Durchmesser 0,55 mm) ist an den Niobstift 9 stumpf angeschweißt.FIG. 2 shows the area of the pump end 6a of the discharge vessel in detail for a second exemplary embodiment. The discharge vessel has a wall thickness of 1.2 mm at its two ends. The cylindrical plug 10 made of Al-O, ceramic, which is inserted into the end 6 of the discharge vessel, has an outer diameter of 3.3 mm and a height of 6 mm. A niobium pin 9 with a length of 12 mm and a diameter of 0.6 mm is sintered directly into the axial bore 14 of the plug. The electrode shaft 12 (diameter 0.55 mm) is butt welded to the niobium pin 9.

Der äußere Abschnitt 16 des Niobstifts ist von einer keramischen Hülse 18 eng umgeben. Zur besseren Halte- rung ist die Bohrung 14 am entladungsfernen Ende 17 des Endstopfnes aufgeweitet. In diesen vergrößerten Bohrungsabschnitt 19 ist die Hülse 18 eingesetzt und wird dadurch fixiert, daß an dieser Stelle ein Glas¬ lot 20 hinzugefügt ist. Die Hülse beugt der Vergrau- ung vor und stabilisiert den Niobstift, der durch das Sintern versprödet.The outer section 16 of the niobium stick is closely surrounded by a ceramic sleeve 18. For better retention, the bore 14 is widened at the end 17 of the end plug remote from the discharge. The sleeve 18 is inserted into this enlarged bore section 19 and is fixed in that a glass solder 20 is added at this point. The sleeve prevents graying and stabilizes the niobium stick, which becomes brittle when sintered.

Die Füllbohrung 24 ist in diesem Fall parallel zur Lampenachse, aber seitlich dazu versetzt, durch den Stopfen 10 hindurchgeführt. Sie wird, wie schon er¬ läutert, mit einer hochschmelzenden Keramik 20 abge¬ dichtet, wenn der Evakuierungs- und Füllvorgang ab¬ geschlossen ist. Das Einschmelzen beim Befestigen der Hülse 18 und das Abdichten der Füllbohrung 24 kann vorteilhaft in einem Schritt erfolgen. Zur Reduzie¬ rung der Schmelzkeramikmenge in der Füllbohrung 24 kann ein A O,-Füllstab in die Füllbohrung 24 eingebracht werden.The filling bore 24 is in this case parallel to the lamp axis, but laterally offset, through the plug 10. As already explained, it is sealed with a high-melting ceramic 20 when the evacuation and filling process is complete. The melting when fastening the sleeve 18 and the sealing of the filling bore 24 can advantageously take place in one step. In order to reduce the amount of melting ceramic in the filling bore 24, an A 0, filling rod can be introduced into the filling bore 24.

Eine besonders bevorzugte Ausführungsform zeigt Figur 3. Der Unterschied zu Figur 2 besteht darin, daß der Niobstift 21, der eine Länge von 5 mm bei einem Durch¬ messer von 0,8 mm besitzt, in der Öffnung 14 beidsei- tig versenkt angeordnet ist, so daß auf eine Hülse an sich verzichtet werden kann. Der Elektrodenschaft 12 aus Wolframdraht besitzt einen Durchmesser von 0,75 mm und eine Länge von 7 mm. Er reicht 0,5 mm tief in die Öffnung 14 hinein. An der entladungsfernen Seite 17 des Endstopfens 10 ist ebenfalls ein Wolframdraht als Verbindungsteil 22 zur äußeren Stromzuführung am Stift 21 stumpf angeschweißt. Das Verbindungsteil 22 besitzt ebenfalls einen Drahtdurchmesser von 0,75 mm; es hat die Länge von 11 mm. Auch die Nahtstelle 23 zwischen Verbindungsteil und Durchführung ist etwa 0,5 mm tief in der axialen Öffnung 14 des Endstopfens angeordnet. Da ein Kontakt zwischen dem Wolframstift 22 und dem Glaslot 20 in der Füllbohrung 24 aufgrund der unter¬ schiedlichen Ausdehnungskoeffizienten vermieden wer- den sollte, was sonst zu Sprüngen in der Keramik füh¬ ren könnte, ist auch hier eine Hülse 18 aus Niob (oder auch aus Keramik), die den Wolframstift 22 vor¬ teilhaft umgibt, da diese beiden Materialien im Gegen¬ satz zu Wolfram oder Molybdän einen an die Schmelzke¬ ramik 20 angepaßten Ausdehnungskoeffizienten besitzen. Statt der Hülse oder zusätzlich dazu kann als Trenn¬ mittel auch ein am Stopfen 10 angeformter, um den Wolframstift 22 umlaufender Kragen 25 (gestrichelt eingezeichnet) verwendet werden.A particularly preferred embodiment is shown in FIG. 3. The difference from FIG. 2 is that the niobium pin 21, which has a length of 5 mm and a diameter of 0.8 mm, is recessed on both sides in the opening 14. so that on a sleeve can be dispensed with. The electrode shaft 12 made of tungsten wire has a diameter of 0.75 mm and a length of 7 mm. It extends 0.5 mm deep into the opening 14. On the side 17 of the end plug 10 remote from the discharge, a tungsten wire is also butt welded to the pin 21 as a connecting part 22 for external power supply. The connecting part 22 also has a wire diameter of 0.75 mm; it has the length of 11 mm. The interface 23 between the connecting part and the bushing is also arranged approximately 0.5 mm deep in the axial opening 14 of the end plug. Since contact between the tungsten pin 22 and the glass solder 20 in the filling bore 24 should be avoided due to the different expansion coefficients, which could otherwise lead to cracks in the ceramic, a sleeve 18 made of niobium is also here (or also made of ceramic), which advantageously surrounds the tungsten pin 22, since, in contrast to tungsten or molybdenum, these two materials have an expansion coefficient adapted to the melting ceramic 20. Instead of, or in addition to, the sleeve, a collar 25 (shown in dashed lines) formed on the stopper 10 and surrounding the tungsten pin 22 can also be used.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel ist in Figur 4a und 4b gezeigt. Am Pumpende 6a ist in den Stopfen 10 ein dünnwandiges Molybdänrohr 26 direkt eingesintert. An seinem entladungsseitigen Ende ist ein Wolframstift als Elektrodenschaft 27 mit Wendelteil 28 einge¬ quetscht und gasdicht verschweißt. In der Nähe des Elektrodenschafts 27 ist in der Seitenwand des Rohrs die Füllbohrung 29 angebracht. Sie wird nach dem Füll¬ vorgang dadurch verschlossen, daß ein metallischer Lotpreßling 42 (z.B. Titanlot oder eine Mischung aus Ti und Mo oder Zr/Mo) oder ein Drahtabschnitt aus Lotmaterial (z.B. Titan, Zr) das einen Schmelzpunkt von mehr als 1700°C besitzt, in das Rohr 26 eingefüllt wird. Ein feinfokussierter Laserstrahl (Nd-YAG) 30 wird in der Rohrachse in das Rohr gelenkt und erhitzt das Metallot 42 (Figur 4a). Dieses schmilzt und dich¬ tet die als Kapillare wirkende Füllbohrung 29' ab (Figur 4b). Ein derartiges Verfahren ist besonders vorteilhaft, da das Schmelzen des Lots durch eine ge¬ zielte kurzzeitige Erwärmung erreicht wird, so daß bei diesem Ausführungsbeispiel während des Verschlies- sens des Pumpendes 6a auf das Kühlen des Blindendes, in dessen Nähe sich die Füllungsbestandteile befin- den, vollständig verzichtet werden kann und daher die Baulänge derartiger Entladungsgefäße besonders kurz gewählt werden kann.Another embodiment is shown in Figures 4a and 4b. At the pump end 6a, a thin-walled molybdenum tube 26 is sintered directly into the stopper 10. At its end on the discharge side, a tungsten pin as electrode shaft 27 with helical part 28 is crimped and welded in a gas-tight manner. In the vicinity of the electrode shaft 27, the filling bore 29 is made in the side wall of the tube. It is closed after the filling process in that a metallic Solder compact 42 (eg titanium solder or a mixture of Ti and Mo or Zr / Mo) or a wire section made of solder material (eg titanium, Zr), which has a melting point of more than 1700 ° C., is filled into the tube 26. A finely focused laser beam (Nd-YAG) 30 is directed into the tube in the tube axis and heats the metallot 42 (FIG. 4a). This melts and seals the filling bore 29 'acting as a capillary (FIG. 4b). Such a method is particularly advantageous since the melting of the solder is achieved by a targeted brief heating, so that in this embodiment, while the pump end 6a is being closed, the blind end, in the vicinity of which the filling components are located, is cooled , can be completely dispensed with and the length of such discharge vessels can therefore be chosen to be particularly short.

Ein zusätzliches Ausführungsbeispiel ist in Figur 5 gezeigt. Es entspricht im wesentlichen der Anordnung gemäß Figur 4, indem auch hier am Pumpende 6a ein dünnwandiges Molybdänrohr 33 in den Stopfen 10 direkt eingesintert ist und ein Wolframstift als Elektroden¬ schaft 32 am Rohrende befestigt ist. Die Füllbohrung 29 in der Seitenwand des Rohrs wird mechanisch ver¬ schlossen, indem ein dem Innendurchmesser des Rohrs 26 angepaßter Füllstab 37 nach dem Evakuieren und Fül¬ len des Entladungsgefäßes in das Rohr 32 eingeführt wird und somit das Totvolumen im Innern des Rohrs aus¬ füllt und dabei auch die Füllbohrung abdeckt. Im Fall eines kugelförmig verdickten Endes 34 des Elektroden¬ schafts kann zur besseren Anpassung das dem Schaft zu¬ gewandte Ende eine konkave Wölbung 38 besitzen. Der Füllstab 37 aus Molybdän oder Wolfram steht am äußeren Ende des Rohrs 33 über und wird dort mit dem Rohrende gasdicht verschweißt, z.B. mittels Laser¬ schweißen 46 oder mittels eines Gasbrenners. Auch ein bündig mit dem Rohrende abschließender oder darin et¬ was versenkter Füllstab kann verwendet werden.An additional exemplary embodiment is shown in FIG. 5. It essentially corresponds to the arrangement according to FIG. 4, in that a thin-walled molybdenum tube 33 is also sintered directly into the plug 10 at the pump end 6a and a tungsten pin is attached to the tube end as an electrode shaft 32. The filling bore 29 in the side wall of the tube is mechanically closed by inserting a filling rod 37, which is adapted to the inside diameter of the tube 26, into the tube 32 after the discharge vessel has been evacuated and filled, and thus fills up the dead volume inside the tube and also covers the filling hole. In the case of a spherically thickened end 34 of the electrode shaft, the end facing the shaft can have a concave curvature 38 for better adaptation. The filler rod 37 made of molybdenum or tungsten protrudes from the outer end of the tube 33 and is welded there gas-tight to the tube end, for example by means of laser welding 46 or by means of a gas burner. A filler rod which is flush with the pipe end or somewhat recessed therein can also be used.

In Figur 6a bis 6g ist eine erste Möglichkeit darge¬ stellt, eine Elektrode in einem Molybdänrohr zu be¬ festigen. Das Molybdänrohr 26 besitzt beispielsweise einen- Innendurchmesser von 1,3 mm und eine Wandstärke von 0,1 mm, während die Elektrode einen Wolframschaft 27 mit einem Durchmesser von 0,5 mm aufweist. Zunächst wird der Elektrodenschaft 27 zentriert in ein Ende des Molybdänrohrs 26 etwa 1 mm tief eingeführt (Figur 6a). Anschließend wird das Rohr 26 durch Wärmezufuhr auf 400°C erhitzt (Figur 6b), so daß das an sich spröde Material duktil wird. Dies geschieht besonders vor¬ teilhaft dadurch, daß zwei Quetschbacken 44 an das Rohrende 45 herangeführt werden (Pfeil), an die Span¬ nung 43 angelegt, wird, so daß das Rohrende 45 durch den bei der Kontaktierung (gestrichelt dargestellt) der Quetschbacken 44 an dem Rohrende 45 bewirkten Stromdurchgang erhitzt wird. Erst dann wird das er- hitzte Rohrende mittels der Quetschbacken 44 um den Elektrodenschaft 27 herum gequetscht (Figur 6c), wo¬ durch ein länglicher Querschnitt im Bereich des Rohr¬ endes 45 entsteht (Figur 6d) . Der Schaft 27 wird nun durch Punktschweißen im Rohr fixiert (angeheftet). An¬ schließend wird ein Laserstrahl 46 auf das gequetschte Rohrende gerichtet. Unter ständigem Drehen des Rohrs (Pfeil) wird eine Schweißverbindung erzielt, die eine gasdichte Abdichtung schafft (Figur 6f) . Abschließend wird ein Laser 46' schräg auf das Rohr 26 in der Nähe der Quetschung gerichtet, wobei Rohrachse und Laser¬ strahl in einer Ebene liegen, und durch einen einzi¬ gen Puls die Füllbohrung 24 geschaffen (Figur 6g).6a to 6g show a first possibility of fastening an electrode in a molybdenum tube. The molybdenum tube 26 has, for example, an inner diameter of 1.3 mm and a wall thickness of 0.1 mm, while the electrode has a tungsten shaft 27 with a diameter of 0.5 mm. First, the electrode shaft 27 is inserted centered into one end of the molybdenum tube 26 approximately 1 mm deep (FIG. 6a). The tube 26 is then heated to 400 ° C. by supplying heat (FIG. 6b), so that the material, which is brittle per se, becomes ductile. This is particularly advantageous in that two crimping jaws 44 are brought up to the pipe end 45 (arrow) and the voltage 43 is applied, so that the crimping jaws 44 come into contact with the pipe end 45 due to the contacting (shown in broken lines) the pipe end 45 caused current passage is heated. Only then is the heated tube end squeezed around the electrode shaft 27 by means of the crimping jaws 44 (FIG. 6c), which results in an elongated cross section in the region of the tube end 45 (FIG. 6d). The shaft 27 is now fixed (tacked) in the tube by spot welding. A laser beam 46 is then directed onto the pinched pipe end. With constant rotation of the tube (arrow), a welded connection is achieved, which creates a gas-tight seal (FIG. 6f). Finally, a laser 46 'is slanted onto the tube 26 nearby directed to the pinch, the tube axis and the laser beam lying in one plane, and the filling bore 24 being created by a single pulse (FIG. 6g).

In einer etwas anderen Ausführungsform wird gleich¬ zeitig mit dem Elektrodenschaft (0,5 mm Durchmesser) in einer Lehre ein parallel dazu angeordneter Stift mit 0,6 mm Durchmesser als Platzhalter 30 für die Füllbohrung in das Rohrende eingeführt (in Figur 6b gestrichelt eingezeichnet). Nach dem Erhitzen undIn a somewhat different embodiment, at the same time as the electrode shaft (0.5 mm diameter) a pin with a diameter of 0.6 mm arranged parallel thereto is inserted into the tube end as a placeholder 30 for the filling bore (shown in dashed lines in FIG. 6b) . After heating and

Quetschen des Rohrs (Figur 6b, 6c) wird der Platzhal¬ ter 30 wieder entfernt, so daß neben dem -hier zweck¬ mäßig außerhalb der Rohrachse angebrachten- Elektro¬ denschaft 27 eine Öffnung am Ende 45 des Rohrs 26 ver¬ bleibt, die als Füllbohrung 31 dient (Figur 6e). In der Quetschung wird der Elektrodenschaft 27 angehef¬ tet, ohne daß die Füllbohrung 31 verschlossen wird. Das Anheften kann auch bereits vor dem Entfernen des Platzhalters erfolgen. Der Verfahrensschritt gemäß Figur 6g entfällt in dieser Variante. Auf ein soforti¬ ges Verschweißen wird verzichtet. Statt dessen erfolgt die endgültige Abdichtung nach dem Füllen entweder durch ein Metallot oder durch einen Füllstab (Figur 4 oder 5) .Squeezing the tube (FIGS. 6b, 6c), the placeholder 30 is removed again, so that in addition to the electrode shaft 27, which is expediently arranged here outside the tube axis, an opening remains at the end 45 of the tube 26, which as Filling hole 31 is used (Figure 6e). The electrode shaft 27 is attached in the pinch without the filling bore 31 being closed. The attachment can also be done before removing the placeholder. The method step according to FIG. 6g is omitted in this variant. Immediate welding is dispensed with. Instead, the final sealing after filling is carried out either by a metallot or by a filler rod (Figure 4 or 5).

Eine weitere Möglichkeit, eine Elektrode in einem Mo¬ lybdänrohr zu befestigen, wird anhand von Figur 7a bis 7c erläutert. Zunächst wird (Figur 7a) der Elek¬ trodenschaft 32, dessen Durchmesser wieder erheblich kleiner als der Innendurchmesser des Molybdänrohrs 33 ist, an einem Ende durch Wärmezufuhr so weit zurück¬ geschmolzen, daß ein verkugeltes Ende 34 entsteht, dessen Außendurchmesser dem Innendurchmesser des Mo¬ lybdänrohrs 33 angepaßt ist. Die Länge des zurückge- schmolzenen Schaftabschnitts 35 bestimmt den Durch¬ messer des verkugelten Endes 34. Dann wird das ver¬ kugelte Ende 34 in das Rohrende eingeführt (Pfeil) und dort angeheftet (z.B. durch Laser- oder Punkt- schweißen). Das Rohrende 45 kann nun wieder, falls ge¬ wünscht, abgedichtet werden, z.B.. durch Laserschweißen 46, wobei vorteilhafterweise das Rohr 33 um seine Achse gemäß Pfeilrichtung rotiert (Figur 7b). Ab¬ schließend wird die Füllbohrung 36' hergestellt, in- dem ein Laser 46' rechtwinklig zur Rohrachse, jedoch seitlich dazu versetzt, auf das Rohrende 45 kurz hin¬ ter der Schweißstelle gerichtet wird und mit einem einzigen Laserpuls ein etwa 0,7 mm breiter Quer¬ schlitz 36' in der Rohrwand erzeugt wird (Figur 7c).A further possibility of fastening an electrode in a molybdenum tube is explained with reference to FIGS. 7a to 7c. First (FIG. 7a), the electrode shaft 32, the diameter of which is again considerably smaller than the inside diameter of the molybdenum tube 33, is melted back at one end by the addition of heat until a spherical end 34 is formed, the outside diameter of which corresponds to the inside diameter of the member lybdenum tube 33 is adapted. The length of the back melted shaft section 35 determines the diameter of the spherical end 34. Then the spherical end 34 is inserted into the pipe end (arrow) and attached there (for example by laser or spot welding). The pipe end 45 can now, if desired, be sealed again, for example. by laser welding 46, the tube 33 advantageously rotating about its axis in the direction of the arrow (FIG. 7b). Finally, the filling bore 36 'is produced by directing a laser 46' at right angles to the tube axis, but offset laterally, towards the tube end 45 just behind the welding point and with a single laser pulse approximately 0.7 mm wider Transversal slot 36 'is created in the tube wall (Figure 7c).

Eine besonders einfache Möglichkeit, eine Elektrode in einem Molybdänrohr zu befestigen, zeigt Figur 8a und 8b. Zunächst wird eine Elektrode 11, mit einem Schaftdurchmesser von 0,5 mm, in das Rohr 26 etwa 0,8 mm tief eingeführt und seitlich am Ende 45 des Rohrs 26, z.B. mittels Laserstrahl 46, angeheftet (in Figur 8a gestrichelt angedeutet). Das Rohr 26 hat einen Innendurchmesser von etwa 1 ,2 mm und eine Wand¬ stärke von typisch 0,2 mm. Nach dem Befestigen des Rohrs 26 im Stopfen 10 und dem Einsintern des gesam¬ ten Elektrodensystems im Pumpende 6a des Entladungs¬ gefäßes zusammen mit dem Verschließen des Blindendes erfolgt das Füllen durch die am Rohrende 45 verblei¬ bende Füllöffnung 31' (Figur 8a).A particularly simple possibility of fastening an electrode in a molybdenum tube is shown in FIGS. 8a and 8b. First, an electrode 11, with a shaft diameter of 0.5 mm, is inserted into the tube 26 about 0.8 mm deep and laterally at the end 45 of the tube 26, e.g. by means of laser beam 46, attached (indicated by dashed lines in FIG. 8a). The tube 26 has an inner diameter of approximately 1.2 mm and a wall thickness of typically 0.2 mm. After the tube 26 has been fastened in the stopper 10 and the entire electrode system has been sintered into the pump end 6a of the discharge vessel together with the blind end being closed, the filling takes place through the filling opening 31 'remaining at the tube end 45 (FIG. 8a).

Nach dem Füllen wird, ähnlich wie in Figur 5, ein Füllstab 37' aus Molybdän in das Rohr 26 eingesetzt (Figur 8b), der eine Aussparung 47 für den Elektroden¬ schaft 27 besitzt. Das Füllrohr 37' ist etwas kürzer als das Rohr 26, so daß er sehr einfach am entladungs¬ fernen Rohrende, z.B. durch axialen Lasereinfall 46", verschweißt werden kann.After filling, similar to that in FIG. 5, a filling rod 37 'made of molybdenum is inserted into the tube 26 (FIG. 8b), which has a recess 47 for the electrode shaft 27. The filling tube 37 'is somewhat shorter than the tube 26, so that it can be welded very easily at the tube end remote from the discharge, for example by axial laser incidence 46 ".

Bei dieser Ausführungsform ist es vorteilhaft, wenn am Blindende die Elektrode spiegelsymmetrisch zum Pumpende versetzt an der Durchführung befestigt ist.In this embodiment, it is advantageous if, at the blind end, the electrode is attached to the leadthrough in a manner that is mirror-symmetrical to the pump end.

Die Erfindung ist nicht auf die gezeigten Ausführungs- formen beschränkt. Insbesondere sind Merkmale einzel¬ ner Ausführungsbeispiele miteinander kombinierbar. So kann ein Füllstab bei allen Ausführungsbeispielen.ver¬ wendet werden, also auch bei den mit mit einer Quet¬ schung verschlossenen Rohren. In diesem Fall entfällt der Schweißungsschritt am gequetschten Rohrende und außerdem der Schritt des endgültigen Abdichtens am gequetschten Rohrende mittels Metallot. Dies ist mög¬ lich, weil beim Füllen keine Notwendigkeit besteht, daß nur die Füllbohrung als Öffnung vorhanden ist; eine Undichtigkeit am gequetschten Rohrende zu diesem Zeitpunkt ist dafür eher sogar noch vorteilhaft. Die Füllstabtechnik hat den wesentlichen Vorteil, daß die Schweißung am Rohrende hinten erfolgt. Diese Stel¬ le ist zum einen leicht zugänglich, zum anderen ist sie erheblich weniger temperaturbelastet als das vor¬ dere Rohrende, das der Entladung zugewandt ist. Zudem ist eine Schweißverbindung zuverlässiger als eine Löt¬ verbindung.The invention is not limited to the embodiments shown. In particular, features of individual exemplary embodiments can be combined with one another. In this way, a filler rod can be used in all of the exemplary embodiments, that is to say also in the tubes which are closed with a pinch. In this case, the welding step at the crimped pipe end and also the step of final sealing at the crimped pipe end by means of a metallot is eliminated. This is possible because when filling there is no need for only the filling hole to be present as an opening; a leak at the pinched pipe end at this point is even more advantageous. The filler rod technology has the main advantage that the welding takes place at the end of the pipe. On the one hand, this position is easily accessible, on the other hand, it is considerably less exposed to temperature than the front end of the tube which faces the discharge. In addition, a welded connection is more reliable than a soldered connection.

Außerdem kann beispielsweise das Pumpende mit einer rohrförmigen Durchführung ausgestattet sein, während das Blindende eine stiftförmige Durchführung besitzt. Möglich ist auch die Verwendung eines Cermet-Stopfens, das ist ein keramischer Stopfen, der eine geringe Bei- mengung eines Metalls enthält, am Blindende.In addition, for example, the pump end can be equipped with a tubular feedthrough, while the blind end has a pin-shaped feedthrough. It is also possible to use a cermet stopper, which is a ceramic stopper that has a low contains a metal, at the blind end.

Im übrigen ist das erfindungsgemäße Herstellverfahren auch für einen Cermet-Stopfen 39 am Pumpende 6a ge- eignet. Dabei kann bekanntlich (z.B. EP-PA 272 930). auf eine separate Durchführung verzichtet werden, da das Cermet selbst leitend ist (Figur 9). Der in der Lampenachse ausgerichtete Elektrodenschaft 40 sitzt direkt im die Aufgabe der Durchführung wahrnehmenden Cermet-Stopfen 39, während am äußeren Ende eine Strom¬ zuführung 41 befestigt ist.Otherwise, the manufacturing method according to the invention is also suitable for a cermet plug 39 at the pump end 6a. As is well known (e.g. EP-PA 272 930). a separate implementation can be dispensed with, since the cermet is itself conductive (FIG. 9). The electrode shaft 40 aligned in the lamp axis is seated directly in the cermet stopper 39 which performs the task, while a power supply 41 is attached to the outer end.

Die Füllbohrung 24 ist, ähnlich wie in Figur 2, pa¬ rallel zur Lampenachse im Cermet-Stopfen 39 angeord- net. Sie ist mit Glaslot 20 verschlossen. Das Her¬ stellverfahren entspricht den im Zusammenhang mit Figur 2 diskutierten Schritten. The filling bore 24, similar to that in FIG. 2, is arranged parallel to the lamp axis in the cermet stopper 39. It is closed with glass solder 20. The manufacturing process corresponds to the steps discussed in connection with FIG. 2.

Claims

Patentansprüche Claims

1. Verfahren zum Herstellen einer Metallhalogenid-Ent- ladungslampe, die ein keramisches Entladungsgefäß (4) mit zwei Enden (6a, 6b) besitzt, das ein Entla¬ dungsvolumen umschließt, wobei die Enden mit Mit¬ teln zum Abdichten verschlossen sind, und wobei zu¬ mindest an einem ersten Ende (6a) dieses Mittel eine elektrisch-leitende Durchführung enthält, die eine Elektrode (11) im Entladungsvolumen mit einer^¬ äußeren elektrischen Zuleitung verbindet, gekenn¬1. A method for producing a metal halide discharge lamp which has a ceramic discharge vessel (4) with two ends (6a, 6b) which encloses a discharge volume, the ends being closed by means for sealing, and wherein zu¬ least at a first end (6a) of said means includes an electrically-conductive feedthrough connecting an electrode (11) in the discharge volume with a ^¬ external electrical feed line, gekenn¬

10 zeichnet durch folgende Schritte:10 draws through the following steps:

a) Herstellen von Elektrodensystemen, bestehend aus einer Elektrode und einem Mittel zum Abdichten einschließlich einer Durchführung, sowie evtl.a) Manufacture of electrode systems, consisting of an electrode and a means for sealing including a bushing, and possibly

15. einer äußeren Zuleitung15. an outer supply line

b) Bestücken der beiden Enden (6a, 6b) mit Elektro¬ densystemenb) equipping the two ends (6a, 6b) with electrode systems

20 c) Abdichten der beiden Enden durch Erwärmen, wobei das zweite Ende (6b) als Blindende vollständig abgedichtet wird, während in der Nähe des ersten Endes (6a), das als Pumpende dient, eine Füll¬ bohrung (15; 24; 29; 31; 31*; 36) offenbleibt, 5 die das Entladungsvolumen mit dem Außenraum ver¬ bindet20 c) sealing the two ends by heating, the second end (6b) being completely sealed as a blind end, while in the vicinity of the first end (6a), which serves as the pump end, a filling bore (15; 24; 29; 31; 31 *; 36) remains open, 5 which connects the discharge volume to the outside

d) Evakuieren und Füllen des Entladungsvolumens durch die Füllbohrung (15; 24; 29; 31; 31'; 36), 0 wobei beim Füllvorgang unter anderem ein fester, metallhalogenidhaltiger Körper in das Entla- dungsvolumen eingebracht wirdd) evacuating and filling the discharge volume through the filling bore (15; 24; 29; 31; 31 '; 36), 0 whereby during the filling process, among other things, a solid, metal halide-containing body into the discharge volume is introduced

e) Verschließen der Füllbohrung (15; 24; 29; 31; 31'; 36) und gasdichtes Abdichten des Entla¬ dungsvolumens.e) closing the filling bore (15; 24; 29; 31; 31 '; 36) and gas-tight sealing of the discharge volume.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Füllbohrung (15) in der Seitenwand des Ent¬ ladungsgefäßes (4) in der Nähe des Pumpendes (6a) angeordnet ist.2. The method according to claim 1, characterized in that the filling bore (15) is arranged in the side wall of the discharge vessel (4) in the vicinity of the pump end (6a).

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Füllbohrung (24; 29; 31; 31'; 36) im Mittel zum Abdichten befindet.3. The method according to claim 1, characterized in that the filling bore (24; 29; 31; 31 '; 36) is in the means for sealing.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Abdichtmittel ein elektrisch-leitender Stopfen (39) ist, der gleichzeitig die Aufgabe einer Durchführung wahrnimmt.4. The method according to claim 3, characterized in that the sealing means is an electrically conductive plug (39) which simultaneously performs the task of performing.

5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchführung ein separates Teil ist_r das aus niob- oder molybdänähnlichem Metall besteht, und das als Rohr (26; 33) oder Stift (9; 21) ausge¬ bildet ist, während das Abdichtmittel ein die Durchführung umschließender keramischer Stopfen (10) ist.5. The method according to claim 3, characterized in that the implementation is a separate part _r made of niobium or molybdenum-like metal, and which is formed as a tube (26; 33) or pin (9; 21), while the Sealing means is a ceramic stopper (10) enclosing the leadthrough.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Füllbohrung im keramischen Stopfen (10) befindet. 6. The method according to claim 5, characterized in that the filling bore is in the ceramic stopper (10).

7. Verfahren nach Anspruch 2 oder 4, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß beim Verfahrensschritt e) der Be¬ reich der Bohrung großflächig und langsam erwärmt wird.7. The method according to claim 2 or 4, characterized gekenn¬ characterized in that in step e) the area of the bore is heated over a large area and slowly.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Erwärmung mittels eines aufgeweiteten La¬ serstrahls erfolgt.8. The method according to claim 7, characterized in that the heating takes place by means of an expanded laser beam.

9. Verfahren nach Anspruch 2, 4 oder 6, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß die Füllbohrung (15; 24) durch eine hochschmelzende Keramik- oder Glaslotmasse (20) in zunächst festem Zustand abgedeckt wird, die beim Erwärmen schmilzt und die als Kapillare wirkende Füllbohrung abdichtet.9. The method according to claim 2, 4 or 6, characterized ge indicates that the filling bore (15; 24) is covered by a high-melting ceramic or glass solder mass (20) in an initially solid state, which melts when heated and which acts as a capillary Filling hole seals.

10. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchführung rohrförmig ist (26; 33), wo¬ bei die Füllbohrung (31 ; 31 ' ; 36) in einem dem Entladungsvolumen zugewandten Teil der Durchfüh¬ rung angeordnet ist.10. The method according to claim 5, characterized in that the bushing is tubular (26; 33), where the filling bore (31; 31 '; 36) is arranged in a part of the bushing facing the discharge volume.

11, Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich¬ net, daß der Verfahrensschritt e) folgendermaßen abläuft:11. The method according to claim 10, characterized in that method step e) proceeds as follows:

- Einfüllen eines hochschmelzenden metallischen Lots (42) in die rohrför ige Durchführung (26; 33)- Filling a high-melting metallic solder (42) into the tubular bushing (26; 33)

kurzzeitige lokale Erhitzung des Lots (42), so daß das Lot schmilzt und die Füllbohrung (31 ; 36) abdichtet. brief local heating of the solder (42) so that the solder melts and seals the filling hole (31; 36).

12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich¬ net, daß der Verfahrensschritt e) folgendermaßen abläuft:12. The method according to claim 10, characterized gekennzeich¬ net that step e) proceeds as follows:

- kurzzeitige lokale Erhitzung der rohrförmigen Durchführung (26; 33) im Bereich der Füllboh¬ rung, so daß das Rohrmaterial selbst schmilzt und die Füllbohrung abdichtet.- Brief local heating of the tubular bushing (26; 33) in the area of the fill hole, so that the pipe material melts itself and seals the fill hole.

13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß die kurzzeitige lokale Erhitzung mit Hilfe eines fokussierten Laserstrahls (46) er¬ folgt, der vom äußeren, noch offenen Ende entlang der Rohrachse in das Rohr (26; 33) einfällt.13. The method according to claim 11 or 12, characterized ge indicates that the short-term local heating with the aid of a focused laser beam (46) er¬, which falls from the outer, still open end along the tube axis into the tube (26; 33) .

14. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich¬ net, daß sich die Füllbohrung (24; 29; 31; 31*) entweder in der Nähe des Rohrendes (45) in der Seitenwand des Rohrs befindet oder durch einen noch offenen Teil (31; 31') des Rohrendes (45) gebildet wird.14. The method according to claim 10, characterized gekennzeich¬ net that the filling bore (24; 29; 31; 31 *) is either in the vicinity of the pipe end (45) in the side wall of the tube or through a still open part (31; 31 ') of the pipe end (45) is formed.

15. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich¬ net, daß der Verfahrensschritt e) folgendermaßen abläuft:15. The method according to claim 10, characterized gekennzeich¬ net that step e) proceeds as follows:

Einführen eines dem Innendurchmesser der rohr¬ förmigen Durchführung (26) angepaßten Füllstabes (37; 37') in das Rohr (26), wobei der- Füllstab (37; 37') die Füllbohrung (29; 31*) abdecktInserting a filler rod (37; 37 ') adapted to the inner diameter of the tubular bushing (26) into the tube (26), the filler rod (37; 37') covering the filler bore (29; 31 *)

gasdichtes Abdichten durch Verbinden des äußeren Rohrendes mit dem Füllstab (37, 37'). gastight sealing by connecting the outer tube end to the filler rod (37, 37 ').

16. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich¬ net, daß beim Verfahrensschritt a) die Elektrode (11) durch folgende Schritte an der rohrförmigen Durchführung (26; 33) befestigt wird:16. The method according to claim 10, characterized gekennzeich¬ net that in method step a) the electrode (11) by the following steps on the tubular bushing (26; 33) is attached:

i) Bereitstellen und Positionieren eines Rohres (26; 33) und eines stabförmigen Elektroden¬ schafts (27; 32) aus hochschmelzendem Metall, wobei der Durchmesser des Schafts (27; 32) erheblich kleiner als der Innendurchmesser des Rohrs (26; 33) isti) providing and positioning a tube (26; 33) and a rod-shaped electrode shaft (27; 32) made of high-melting metal, the diameter of the shaft (27; 32) being considerably smaller than the inside diameter of the tube (26; 33)

ii) Einführen des Elektrodenschaftes (27; 32) in ein offenes Ende (45) des Rohrs (26; 33)ii) inserting the electrode shaft (27; 32) into an open end (45) of the tube (26; 33)

iii) Anheften des Elektrodenschafts (33) am Rohr¬ ende (45), insbesondere durch Punktschweißen oder Laserschweißeniii) attaching the electrode shaft (33) to the tube end (45), in particular by means of spot welding or laser welding

iv) Herstellen der Füllbohrung (24; 29; 31; 31'; 36) falls noch erforderlich.iv) Make the fill hole (24; 29; 31; 31 '; 36) if necessary.

17. Verfahren nach Anspruch 16, gekennzeichnet durch folgende Modifizierung:17. The method according to claim 16, characterized by the following modification:

zu i) die Positionierung erfolgt so, daß derto i) the positioning is done so that the

Elektrodenschaft (27) seitlich zur Rohr¬ achse verschoben angeordnet istElectrode shaft (27) is arranged laterally displaced to the tube axis

zu iii) der Elektrodenschaft (27) wird direkt an der Innenwand des Rohrs (26) angeheftet zu iv) die Füllbohrung (31; 31') wird von einem nach Einfügen des Schafts verbleibenden Teil des offenen Endes (45) des Rohrs (26) gebildet. 5to iii) the electrode shaft (27) is attached directly to the inner wall of the tube (26) to iv) the filling bore (31; 31 ') is formed by a part of the open end (45) of the tube (26) remaining after insertion of the shaft. 5

18. Verfahren nach Anspruch 17, gekennzeichnet durch folgende Modifizierung:18. The method according to claim 17, characterized by the following modification:

zu ii) - ein vorher parallel zum Elektrodenschaft ° angeordneter Platzhalter (30) für dieto ii) - a place holder (30) previously arranged parallel to the electrode shaft ° for the

Füllbohrung (31) wird gleichzeitig mit dem Schaft (27) in das Rohrende (45) eingeführtFilling hole (31) is inserted into the tube end (45) at the same time as the shaft (27)

- Quetschen des Rohrendes (45) um den- Squeezing the pipe end (45) around the

Schaft (27) und den Platzhalter (30) herumShaft (27) and the placeholder (30) around

zu iv) - der Platzhalter (30) wird vor oder nach dem Schritt iii) aus dem Rohrende (45) entfernt und beläßt eine Füllöffnung (31).to iv) - the placeholder (30) is removed from the pipe end (45) before or after step iii) and leaves a filling opening (31).

19. Verfahren nach Anspruch 16, gekennzeichnet durch folgende Modifizierung:19. The method according to claim 16, characterized by the following modification:

zu i) die Positionierung erfolgt so, daß der Elektrodenschaft (27; 32) zentriert zur Rohrachse angeordnet istto i) the positioning is carried out so that the electrode shaft (27; 32) is arranged centered on the tube axis

zu iii) - vor dem Anheften erfolgt ein Verfahrens¬ schritt x) : Verformen eines der beiden Anheftpartner Rohrende - Elektrodenschaft zum Zwecke der losen Kontaktierung zwischen diesen beiden Anheftpartnern^" Regarding iii) - a process step x) takes place before tacking: Deformation of one of the two attachment partners tube end - electrode shaft for the purpose of loose contact between these two attachment partners ^"

- nach dem Anheften wird evtl. das Rohr (45) durch Wärmezufuhr, insbesondere mittels einer Schweißverbindung, gas¬ dicht verschlossen- After attaching, the tube (45) may be sealed gastight by supplying heat, in particular by means of a welded joint

zu iv) die Füllbohrung (24; 29; 36') wird in der ^• Seitenwand des Rohrs in der Nähe des Rohr¬ endes (45) geschaffen.to iv) the filling bore (24; 29; 36 ') is created in the ^• side wall of the tube in the vicinity of the tube end (45).

20. Verfahren nach Anspruch 19, gekennzeichnet durch folgende Modifizierung:20. The method according to claim 19, characterized by the following modification:

zu x) das Verformen erfolgt durch Verkugeln eines Endes (35) des Elektrodenschafts (32) durch Zurückschmelzen, so daß der Durchmesser des verkugelten Endes (34) dem Innendurchmesser des Rohres (33) angepaßt ist, wobei der Ver¬ fahrensschritt x) noch vor dem Verfahrens¬ schritt ii) erfolgt.to x) the deformation takes place by balling one end (35) of the electrode shaft (32) by melting it back, so that the diameter of the balled end (34) is adapted to the inside diameter of the tube (33), method step x) still before step ii) takes place.

21. Verfahren nach Anspruch 19, gekennzeichnet durch folgende Modifizierung:21. The method according to claim 19, characterized by the following modification:

zu x) das Verformen erfolgt durch Quetschen desto x) the deformation takes place by squeezing the

Rohrendes (45) um den Elektrodenschaft (27) herum mittels Quetschmittel (44). Tube end (45) around the electrode shaft (27) by means of crimping means (44).

22. Verfahren nach den Ansprüchen 18, 19 oder 21, da¬ durch gekennzeichnet, daß die rohrformige Durch¬ führung (26; 33) aus molybdänähnlichem Metall be¬ steht, wobei vor allen Verformungsschritten (Quetschen) des Rohrs (26; 33) dieses zunächst auf 400°C erhitzt wird. 22. The method according to claims 18, 19 or 21, characterized in that the tubular bushing (26; 33) consists of molybdenum-like metal, with the tube (26; 33) being deformed before all deformation steps is first heated to 400 ° C.