EP0389980A1 - Hochleistungsstrahler - Google Patents

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EP0389980A1
EP0389980A1 EP90105531A EP90105531A EP0389980A1 EP 0389980 A1 EP0389980 A1 EP 0389980A1 EP 90105531 A EP90105531 A EP 90105531A EP 90105531 A EP90105531 A EP 90105531A EP 0389980 A1 EP0389980 A1 EP 0389980A1
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electrodes
radiator according
tube
power radiator
tubes
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EP90105531A
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Inventor
Günter Dr. Mechtersheimer
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Heraeus Noblelight GmbH
Original Assignee
ABB Asea Brown Boveri Ltd
Heraeus Noblelight GmbH
Asea Brown Boveri AB
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Publication date
Application filed by ABB Asea Brown Boveri Ltd, Heraeus Noblelight GmbH, Asea Brown Boveri AB filed Critical ABB Asea Brown Boveri Ltd
Publication of EP0389980A1 publication Critical patent/EP0389980A1/de
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
    • H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field

Definitions

  • the invention relates to a high-power radiator, in particular for ultraviolet light, with a discharge space filled with filling gas emitting radiation under discharge conditions, the wall of which is formed by a tubular dielectric which is provided with electrodes on its surface facing away from the discharge space, with a first one and second electrodes connected AC power source for feeding the discharge.
  • the invention relates to a state of the art, such as that derived from EP-A 054 111, US patent application 07/076 926 or EP patent application 88113593.3 from August 22, 1988 or US patent application 07 / 260,869 from October 21, 1988 or Swiss patent application 720/89 from February 27, 1989.
  • UV sources The industrial use of photochemical processes depends heavily on the availability of suitable UV sources.
  • the classic UV lamps deliver low to medium UV intensities at some discrete wavelengths, such as the low-pressure mercury lamps at 185 nm and especially at 254 nm.
  • Really high UV powers can only be obtained from high-pressure lamps (Xe, Hg), which then but distribute their radiation over a larger wavelength range.
  • the new excimer lasers have some new wavelengths for basic photochemical experiments are currently available. for cost reasons for an industrial process probably only suitable in exceptional cases.
  • the high-performance radiators mentioned are characterized by high efficiency, economical structure and enable the creation of large area radiators, with the restriction that large-area flat radiators require a rather large technical effort.
  • a not inconsiderable proportion of the radiation is not used due to the shadow effect of the inner electrode.
  • the object of the invention is to create a high-performance radiator, in particular for UV or VUV radiation, which is characterized in particular by high efficiency, is economical to manufacture and enables very large area radiators to be constructed.
  • the invention provides that the electrodes are designed as metal strips or layers which run in the longitudinal direction of the tube and are spatially spaced apart in the circumferential direction, one electrode with one pole and the other electrode with the other pole connected to the AC power source.
  • radiator elements designed in this way large-area radiators can be modularly constructed, in which any geometries can be composed of identical or similar discharge tubes, each of which is self-contained.
  • the individual elements are electrically contacted laterally on the outside of the tubes, so that light emission is hardly impeded.
  • the degree of utilization of the radiation generated can be improved by partial mirroring on the outside of the tubes.
  • the advantages of the invention are as follows: simple and inexpensive realization of the closed discharge volume is possible. Similar basic elements (tubes) for all geometries, large areas can be easily realized with the appropriate number of tubes. Good stability of the discharge volume when using relatively robust tubes with a small diameter. Due to the generally large number of self-contained tubes, the failure of individual elements (e.g. due to contamination of the gas or the quartz surface, leaks) is less critical.
  • the entire arrangement can cover a wide range of wavelengths by using tubes with different gas fillings. You only have to take the (quartz) quality for the individual tubes that is just necessary or optimal for the transmission of the generated radiation. Depending on the desired wavelength spectrum, this can lead to considerable savings in material costs.
  • the light is coupled out of the tubes at a point that is hardly affected by the discharge. No transparent electrodes are necessary.
  • pipes 1 are made of dielectric material, in particular glass or quartz, about half each in a casting compound 2 made of insulating material, e.g. Silicone rubber, embedded.
  • Each tube 1 is provided with two strip-shaped metallizations 3 and 4 running in the longitudinal direction of the tube and spaced apart from one another in the circumferential direction as electrodes. These consist e.g. made of soft aluminum and at the same time act as reflectors.
  • the metallizations 3, 4 lie entirely within the casting compound 2.
  • the electrical contact is made laterally on the outside of the tubes 1, e.g. by means of molded-in contact elements 5 (FIG. 2) which protrude beyond the tubes 1 in the longitudinal direction of the tube, the contact elements 5 of each electrode 3, 4 being located in each case on the opposite tube end.
  • Each module 6 on a tube 1 with electrodes 3, 4 as well as contact elements and casting compound is arranged close to one another packed on a carrier plate 7.
  • the carrier plate can be cooled directly or indirectly by a coolant which can be passed through cooling bores 8.
  • Another cooling option is the co-casting of cooling tubes 19 which touch the metallizations.
  • the individual radiators are fed from an alternating current source 9, the poles of which are alternately connected to the interconnected contact elements 5 on both pipe ends.
  • the tubes 1 are closed at both ends.
  • the interior of the tubes, the discharge space 10, is filled with a gas / gas mixture which emits radiation under discharge conditions.
  • the AC power source 9 basically corresponds to those used for feeding ozone generators. It typically provides an adjustable AC voltage in the order of magnitude of several 100 volts to 20,000 volts at frequencies in the Range of technical alternating current up to a few 1000 kHz - depending on the electrode geometry, pressure in the discharge space and composition of the filling gas.
  • the filling gas is e.g. Mercury, noble gas, noble gas-metal vapor mixture, noble gas-halogen mixture, optionally using an additional further noble gas, preferably Ar, He, Ne, as a buffer gas.
  • a substance / substance mixture according to the following table can be used: Filling gas radiation helium 60-100 nm neon 80 - 90 nm argon 107 - 165 nm Argon + fluorine 180-200 nm Argon + chlorine 165-190 nm Argon + krypton + chlorine 165-190, 200-240 nm xenon 160-190 nm nitrogen 337 - 415 nm krypton 124, 140-160 nm Krypton + fluorine 240 - 255 nm Krypton + chlorine 200-240 nm mercury 185, 254, 320-370, 390-420 nm selenium 196, 204, 206 nm deuterium 150-250 nm Xenon + fluorine 340 - 360 nm, 400 - 550 nm Xenon + chlorine 300-320 nm
  • a noble gas Ar, He, Kr, Ne, Xe
  • Hg A gas or vapor from F2, J2, Br2, Cl2 or a compound that splits off one or more atoms F, J, Br or Cl in the discharge
  • An inert gas Ar, He, Kr, Ne, Xe
  • Hg an inert gas
  • Ar, He, Kr, Ne, Xe an inert gas with Hg.
  • the electron energy distribution can be optimally adjusted by the thickness of the dielectrics and their properties, pressure and / or temperature in the discharge space.
  • FIG. 3 illustrates a variant with tubes 12 with a square cross section placed on one edge and embedded in casting compound 2 up to the adjacent edge.
  • the electrodes 13, 14 are not designed as strip-like metallizations, but rather as sheet-metal strips, which are also cast into the casting compound 2. This measure can of course also be taken in the arrangement according to FIG. 1.
  • cooling tubes 15, 16 are attached to the sides of the sheet metal strips 13, 14 facing away from the tubes 12, through which a coolant can be carried.
  • pipes 15, 16 made of metal can also take over the function of the electrodes 13, 14, and separate sheet metal strips 13, 14 are then unnecessary. In this way, the cooling of the radiator modules via the support plate 7, on which the modules 6 are fastened in close proximity to one another, can be omitted - but need not.
  • a further cooling option, which can also be used additionally, is to provide cooling channels running in the pipe length direction, for example by co-casting pipes 15a.
  • dielectric tubes 17 made of glass or quartz with a rectangular profile are embedded upright in the casting compound 2.
  • wires 18 which are cast tightly next to one another and run in the longitudinal direction of the pipe, and which are cast into the casting compound 2.
  • the modules 6 are electrically connected to one another and are connected to the AC power source 9 analogously to FIG. 2.
  • the support plate 7 can also be curved in one direction, e.g. Have a circular arc shape, or the modules are arranged on the inside or outside surface of a tube.
  • the tubes of the individual modules 6 can be filled with different gas fillings / gas pressure.

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Abstract

Bei dem Hochleistungsstrahler für UV-Licht bildet ein Quarzoder Glasrohr (1) mit paarweise angeordneten in Umfangsrichtung voneinander distanzierten Elektroden (3,4). Das Rohr mitsamt den Elektroden ist teilweise in Giessmasse (2) eingebettet und bildet einen Modul (6). Eine Vielzahl dieser Module lässt sich zu beliebigen Strahlergeometrien zusammenfassen.

Description

    Technisches Gebiet
  • Die Erfindung bezieht sich auf einen Hochleistungsstrahler, insbesondere für ultraviolettes Licht, mit einem mit unter Entladungsbedingungen Strahlung aussendendem Füllgas gefüllten Entladungsraum, dessen Wandung durch ein rohrförmiges Dielek­trikum gebildet ist, welches auf seiner dem Entladungsraum ab­gewandten Oberfläche mit Elektroden versehen ist, mit einer an die ersten und zweiten Elektroden angeschlossenen Wechsel­stromquelle zur Speisung der Entladung.
  • Die Erfindung nimmt dabei Bezug auf einen Stand der Technik, wie er sich etwa aus der EP-A 054 111, der US-Patentanmeldung 07/076 926 oder auch der EP-Patentanmeldung 88113593.3 vom 22.08.1988 oder der US-Patentanmeldung 07/260,869 vom 21.10.1988 oder der schweizerischen Patentanmeldung 720/89 vom 27.02.1989 ergibt.
    • Technologischer Hintergrund und Stand der Technik
  • Der industrielle Einsatz photochemischer Verfahren hängt stark von der Verfügbarkeit geeigneter UV-Quellen ab. Die klassi­schen UV-Strahler liefern niedrige bis mittlere UV-Intensitä­ten bei einigen diskreten Wellenlängen, wie z.B. die Quecksil­ber-Niederdrucklampen bei 185 nm und insbesondere bei 254 nm. Wirklich hohe UV-Leistungen erhält man nur aus Hochdrucklampen (Xe, Hg), die dann aber ihre Strahlung über einen grösseren Wellenlängenbereich verteilen. Die neuen Excimer-Laser haben einige neue Wellenlängen für photochemische Grundlagenexperi­mente bereitgestellt, sind z.Zt. aus Kostengründen für einen industriellen Prozess wohl nur in Ausnahmefällen geeignet.
  • In der eingangs genannten EP-Patentanmeldung oder auch in dem Konferenzdruck "Neue UV- und VUV Excimerstrahler" von U. Ko­gelschatz und B. Eliasson, verteilt an der 10. Vortragstagung der Gesellschaft Deutscher Chemiker, Fachgruppe Photochemie, in Würzburg (BRD) 18.-20. November 1987, wird ein neuer Exci­merstrahler beschrieben. Dieser neue Strahlertyp basiert auf der Grundlage, dass man Excimerstrahlung auch in stillen elek­trischen Entladungen erzeugen kann, einem Entladungstyp, der in der Ozonerzeugung grosstechnisch eingesetzt wird. In den nur kurzzeitig (< 1 Mikrosekunde) vorhandenen Stromfilamenten dieser Entladung werden durch Elektronenstoss Edelgasatome an­geregt, die zu angeregten Molekülkomplexen (Excimeren) weiter­reagieren. Diese Excimere leben nur einige 100 Nanosekunden und geben beim Zerfall ihre Bindungsenergie in Form von UV-­Strahlung ab.
  • Der Aufbau eines derartigen Excimerstrahlers entspricht bis hin zur Stromversorgung weitgehend dem eines klassichen Ozon­erzeugers, mit dem wesentlichen Unterschied, dass mindestens eine der den Entladungsraum begrenzenden Elektroden und/oder Dielektrikumsschichten für die erzeugte Strahlung durchlässig ist.
  • Die genannten Hochleistungsstrahler zeichnen sich durch hohe Effizienz, wirtschaftlichen Aufbau aus und ermöglichen die Schaffung grosser Flächenstrahler, mit der Einschränkung, dass grossflächige Flachstrahler einen eher grossen technischen Aufwand erfordern. Bei der Bestrahlung ebener Flächen mit Rundstrahlern hingegen wird ein nicht unbeachtlicher Anteil der Strahlung durch Schattenwirkung der Innenelektrode nicht ausgenützt.
    • Darstellung der Erfindung
  • Ausgehend vom Stand der Technik liegt der Erfindung die Auf­gabe zugrunde, einen Hochleistungsstrahler, insbesondere für UV- oder VUV-Strahlung, zu schaffen, der sich insbesondere durch hohe Effizienz auszeichnet, wirtschaftlich zu fertigen ist und den Aufbau sehr grosser Flächenstrahler ermöglicht.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe bei einem Hochleistungsstrahler der eingangs genannten Gattung ist erfindungsgemäss vorgesehen, dass die Elektroden als in Rohrlängsrichtung verlaufende, räumlich voneinander in Umfangsrichtung distanzierte Metall­streifen oder -schichten ausgebildet sind, wobei die eine Elektrode mit dem einen Pol die andere Elektrode mit dem ande­ren Pol der Wechselstromquelle verbunden sind.
  • Mit derart ausgebildeten Strahlerelementen lassen sich gross­flächige Strahler modular aufbauen, bei denen beliebige Geome­trien aus unter sich gleichartigen oder ähnlichen, jeweils in sich abgeschlossenen Entladungsröhrchen zusammengesetzt werden können. Die elektrische Kontaktierung der Einzelelemente er­folgt seitlich an der Aussenseite der Rohre, so dass die Lich­temission kaum behindert ist. Durch partielle Verspiegelung an der Aussenseite der Rohre kann der Ausnutzungsgrad der erzeug­ten Strahlung verbessert werden.
  • Die Vorteile der Erfindung stellen sich wie folgt dar: Einfache und kostengünstige Realisierung des abgeschlossenen Entladungsvolumens möglich. Gleichartige Grundelemente (Rohre) für alle Geometrien, grosse Flächen durch entsprechende Anzahl Röhrchen leicht realisierbar.
    Gute Stabilität des Entladungsvolumens bei Verwendung von re­lativ robusten Röhren mit kleinem Durchmesser.
    Aufgrund der i.a. grossen Anzahl von jeweils in sich abge­schlossenen Röhren ist der Ausfall einzelner Elemente (z.B. wegen Verschmutzung des Gases oder der Quarzoberfläche, Lecks) weniger kritisch.
  • Die gesamte Anordnung kann ein breites Wellenlängenspektrum abdecken, indem man Rohre mit unterschiedlichen Gasfüllungen verwendet. Man muss für die einzelnen Rohre nur die (Quarz-) Qualität nehmen, die für die Transmission der erzeugten Strah­lung gerade notwendig bzw. optimal ist. Dies kann je nach ge­wünschtem Wellenlängenspektrum zu beträchtlichen Einsparungen an Materialkosten führen.
  • Das Licht wird an einer Stelle aus den Röhren ausgekoppelt, die kaum von der Entladung beaufschlagt ist. Es sind keine transparenten Elektroden notwendig.
    • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung sche­matisch dargestellt; darin zeigt
    • Fig.1 Ein erstes Ausführungsbeispiel eines Hochleistungs­strahlers mit einer Vielzahl nebeneinanderliegender kreisrunder Dielektriksrohre im Querschnitt;
    • Fig.2 eine vereinfachte Draufsicht auf den Strahler nach Fig.1, zur Verdeutlichung der elektrischen Anspei­sung;
    • Fig. 3 eine Ausführungsform eines Flachstrahlers mit auf eine Kante gestellten Dielektrikumsrohren mit Rechteckprofil und gekühlten Elektroden;
    • Fig.4 eine Ausführungsform eines Flachstrahlers analog Fig.3 jedoch mit auf eine Flachseite gestellten Di­elektrikumsrohren mit Rechteckprofil und Drahtelek­troden.
    Wege zur Ausführung der Erfindung
  • In Fig. 1 sind Rohre 1 aus dielektrischem Material, insbeson­dere Glas oder Quarz, etwa zur Hälfte je in eine Giessmasse 2 aus Isoliermaterial, z.B. Silikonkautschuk, eingebettet. Jedes Rohr 1 ist mit je zwei in Rohrlängsrichtung verlaufenden, in Umfangsrichtung voneinander distanzierten, streifenförmigen Metallisierungen 3 bzw. 4 als Elektrode versehen. Diese beste­hen z.B. aus aufgedämpftem Aluminium und wirken gleichzeitig als Reflektoren. Die Metallisierungen 3, 4 liegen vollständig innerhalb der Giessmasse 2. Die elektrische Kontaktierung er­folgt seitlich an der Aussenseite der Rohre 1, z.B. durch mit eingegossene Kontaktelemente 5 (Fig. 2) welche die Rohre 1 in Rohrlängsrichtung überragen, wobei sich die Kontaktelemente 5 jeder Elektrode 3, 4 jeweils am entgegengesetzten Rohrende be­finden.
  • Jedes an einem Rohr 1 mit Elektroden 3, 4 sowie Kontaktelemen­ten und Giessmasse bestehendes Modul 6 ist dicht an dicht ge­packt auf einer Trägerplatte 7 angeordnet. Die Trägerplatte kann direkt durch ein durch Kühlbohrungen 8 hindurchleitbares Kühlmittel direkt oder indirekt gekühlt werden. Eine andere Kühlmöglichkeit besteht im Miteingiessen von Kühlrohren 19, welche die Metallisierungen berühren. Wie aus der schemati­schen Draufsicht der Fig. 2 hervorgeht, erfolgt die Anspeisung der Einzelstrahler aus einer Wechselstromquelle 9, deren Pole abwechselnd an die unmittelbar nebeneinaderliegenden miteinan­derverbundenen Kontaktelemente 5 an beiden Rohrenden ange­schlossen sind.
  • Die Rohre 1 sind an beiden Enden verschlossen. Das Innere der Rohre, der Entladungsraum 10, ist mit einem unter Entladungs­bedingungen Strahlung aussendendem Gas/Gasgemisch gefüllt. Die Wechselstromquelle 9 entspricht grundsätzlich jenen, wie sie zur Anspeisung von Ozonerzeugern verwendet werden. Typisch liefert sie eine einstellbare Wechselspannung in der Grössen­ordnung von mehreren 100 Volt bis 20000 Volt bei Frequenzen im Bereich des technischen Wechselstroms bis hin zu einigen 1000 kHz - abhängig von der Elektrodengeometrie, Druck im Entla­dungsraum und Zusammensetzung des Füllgases.
  • Das Füllgas ist z.B. Quecksilber, Edelgas, Edelgas-Metall­dampf-Gemisch, Edelgas-Halogen-Gemisch, gegebenenfalls unter Verwendung eines zusätzlichen weiteren Edelgases, vorzugsweise Ar, He, Ne, als Puffergas.
  • Je nach gewünschter spektraler Zusammensetzung der Strahlung kann dabei eine Substanz/Substanzgemisch gemäss nachfolgender Tabelle Verwendung finden:
    Füllgas Strahlung
    Helium 60 - 100 nm
    Neon 80 - 90 nm
    Argon 107 - 165 nm
    Argon + Fluor 180 - 200 nm
    Argon + Chlor 165 - 190 nm
    Argon + Krypton + Chlor 165 - 190, 200 - 240 nm
    Xenon 160 - 190 nm
    Stickstoff 337 - 415 nm
    Krypton 124, 140 - 160 nm
    Krypton + Fluor 240 - 255 nm
    Krypton + Chlor 200 - 240 nm
    Quecksilber 185, 254, 320-370, 390-420 nm
    Selen 196, 204, 206 nm
    Deuterium 150 - 250 nm
    Xenon + Fluor 340 - 360 nm, 400 - 550 nm
    Xenon + Chlor 300 - 320 nm
  • Daneben kommen eine ganze Reihe weiterer Füllgase in Frage:
    - Ein Edelgas (Ar, He, Kr, Ne, Xe) oder Hg mit einem Gas bzw. Dampf aus F₂, J₂, Br₂, Cl₂ oder eine Verbindung die in der Entladung ein oder mehrere Atome F, J, Br oder Cl abspaltet;
    - ein Edelgas (Ar, He, Kr, Ne, Xe) oder Hg mit O₂ oder einer Verbindung, die in der Entladung ein oder mehrere 0-Atome abspaltet;
    - ein Edelgas (Ar, He, Kr, Ne, Xe) mit Hg.
  • In der sich bildenden stillen elektrischen Entladung (silent discharge) kann die Elektronenenergieverteilung durch Dicke der Dielektrika und deren Eigenschaften Druck und/oder Tempe­ratur im Entladungsraum optimal eingestellt werden.
  • Bei Anliegen einer Wechselspannung zwischen den Elektroden 3 und 4 bildet sich eine Vielzahl von Entladungskanälen 11 (Teilentladungen) im Entladungsraum 10 aus. Diese treten mit den Atomen/Molekülen des Füllgases in Wechselwirkung, was schlussendlich zur UV oder VUV-Strahlung führt.
  • Anstelle von dielektrischen Rohren 1 mit kreisrundem Quer­schnitt können auch Glas- oder Quarzrohre mit anderen Geome­trien, z.B. Rohre mit Rechteckprofil verwendet werden. Fig. 3 veranschaulicht eine Variante mit auf eine Kante ge­stellter, in Giessmasse 2 bis zur benachbarten Kante eingebet­teter Rohre 12 mit quadratischem Querschnitt.
    Abweichend zur Ausführungsform nach Fig. 1 sind hier die Elek­troden 13, 14 nicht als streifenförmige Metallisierungen, son­dern als Blechstreifen ausgebildet, welche mit in die Giess­masse 2 eingegossen sind. Diese Massnahme lässt sich selbst­verständlich auch bei der Anordnung nach Fig. 1 treffen. Zu­sätzlich sind an den den Rohren 12 abgewandten Seiten der Blechstreifen 13, 14 Kühlrohre 15, 16 befestigt, durch welche ein Kühlmittel geführt werden kann. Verwendet man eine nicht­leitende Kühlflüssigkeit, so können aus Metall bestehende Rohre 15, 16 die Funktion der Elektroden 13, 14 mitübernehmen, eigene Blechstreifen 13, 14 sind dann entbehrlich. Auf diese Weise kann - muss aber nicht - die Kühlung der Strahlermodule über die Trägerplatte 7 entfallen, auf welcher die Module 6 dicht aneinandergereiht befestigt sind.
    Eine weitere, auch zusätzlich anzuwendende Kühklmöglichkeit besteht darin, in der Giessmasse in Rohrlängrichtung verlau­fende Kühlkanäle, z.B. durch Miteingiessen von Rohren 15a, vor­zusehen.
  • In Fig. 4 sind dielektrische Rohre 17 aus Glas oder Quarz mit Rechteckprofil hochkant in die Giessmasse 2 eingebettet. In dieser Variante ist eine weitere Möglichkeit der Ausbildung der Elektroden veranschaulicht, nämlich in die Giessmasse 2 miteingegossene dicht nebeneinanderliegende, in Rohrlängsrich­tung verlaufende Drähte 18. Analog Fig.3 können anstelle von Drähten dünnen Metallrohre 19 verwendet werden, durch welche eine nichtleitende Kühlflüssigkeit geleitet werden kann, wie es im rechten Modul der Fig.4 veranschaulicht ist.
  • Bei den Ausführungsformen nach Fig. 3 und 4 erfolgt die elek­trische Verbindung der Module 6 untereinander sowie deren Ver­bindung mit der Wechselstromquelle 9 analog Fig. 2.
  • Es versteht sich von selbst, dass neben dielektrischen Rohren mit rundem oder rechteckigem Querschnitt auch solche mit ande­ren Querschnittformen, z.B. hexagonal, verwendet werden kön­nen. Auch kann die Trägerplatte 7 in einer Richtung gekrümmt, z.B. Kreisbogenform, aufweisen, oder die Module sind an der Innen oder Aussenfläche eines Rohres angeordnet.
  • Um UV- oder VUV-Licht zu erzeugen, das ein breites Wellenlän­genspektrum abdeckt, können die Rohre der einzelnen Module 6 mit unterschiedlichen Gasfüllungen/Gasdruck gefüllt sein.

Claims (8)

1. Hochleistungsstrahler, insbesondere für ultraviolettes Licht, mit einem Entladungsraum (10), der mit unter Ent­ladungsbedingungen Strahlung aussendendem Füllgas gefüllt ist, dessen Wandungen durch ein dielektrisches strah­lungsdurchlässiges Rohr (1; 12; 17) gebildet ist, das auf seiner dem Entladungsraum abgewandten Oberfläche mit ersten und zweiten Elektroden (3,4; 13,14; 18) versehen ist, und mit einer Wechselstromquelle (9) zur Speisung der Entladung, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektro­den als in Rohrlängsrichtung verlaufende, räumlich von­einander in Rohrumfangsrichtung distanzierte Metallstrei­fen (13, 14), Metalldrähte (18) oder Metallbeschichtungen (3, 4) ausgebildet sind, wobei die eine Elektrode jedes Rohres mit dem einen Pol, die andere Elektrode mit dem anderen Pol der Wechselstromquelle (9) verbunden sind.
2. Hochleistungsstrahler nach Anspruch 1, dadurch gekenn­zeichnet, dass die dielektrischen Rohre (1; 12; 17) teil­weise in eine elektrisch isolierende Giessmasse (2) ein­gebettet sind.
3. Hochleistungsstrahler nach Anspruch 2, dadurch gekenn­zeichnet, dass bei streifen- (13,14) oder drahtförmigen Elektroden (18) diese in das Giessmaterial (2) eingelegt oder in dieses miteingegossen sind.
4. Hochleistungsstrahler nach Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass in der Giessmasse (2) Kühlkanäle (15,15a) eingebettet sind.
5. Hochleistungsstrahler nach Anspruch 1 bis 3, dadurch ge­kennzeichnet, dass den Elektroden (3,4;13,14;18) Kühlvor­richtungen (15, 16; 19) zugeordnet sind, die in unmittel­barem thermischen Kontakt zu den Elektroden stehen.
6. Hochleistungsstrahler nach Anspruch 4, dadurch gekenn­zeichnet, dass bei streifenförmigen Elektroden (13,14) die Kühlvorrichtung als mit der Elektrode verbundene Kühlröhre (15,16) ausgebildet sind.
7. Hochleistungsstrahler nach Anspruch 1,2 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden als Kühlkanäle (15,16;19) ausgebildet sind.
8. Hochleistungsstrahler nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass mehreren Strahlern (6) eine gemeinsame Grundplatte (7) zugeordnet ist, die entweder unmittelbar oder mittelbar kühlbar ist.
EP90105531A 1989-03-29 1990-03-23 Hochleistungsstrahler Expired - Lifetime EP0389980B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1140/89A CH677557A5 (de) 1989-03-29 1989-03-29
CH1140/89 1989-03-29

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Publication Number Publication Date
EP0389980A1 true EP0389980A1 (de) 1990-10-03
EP0389980B1 EP0389980B1 (de) 1994-06-01

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Application Number Title Priority Date Filing Date
EP90105531A Expired - Lifetime EP0389980B1 (de) 1989-03-29 1990-03-23 Hochleistungsstrahler

Country Status (6)

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US (1) US5049777A (de)
EP (1) EP0389980B1 (de)
JP (1) JPH02288061A (de)
AT (1) ATE106606T1 (de)
CH (1) CH677557A5 (de)
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