DK177059B1 - Indretning til rengøring af skiveformet materiale - Google Patents

Abstract

Indretning til rengøring, som er kendetegnet ved, at den har en holdeindretning til ski veformet materiale, en opfangeindretning for væsker og en dyseanordning, som op bygger en næsten laminarstrømning.

Description

DK 177059 81

Opfindelsen angår en indretning til rengøring samt en fremgangsmåde for rengøring.

i Til fremstillingen af et skiveformet materiale ud fra et stavformet materiale, som glas, kvarts, sten, grafit, et keramisk eller oxidisk materiale som f.eks. rubin eller S gallium-gadoliniumgranat, men tillige et halvledermateriale som f.eks. galliumarsenid eller indlumphøsphid såvel som især germanium eller silicium, kan disse materialer blive skåret i skiver. Disse materialer bliver ved hjælp af en trådsav, som er udformet som et trådstakit, skåret i skiver. F.eks. bliver siliciumskiver, som bliver anvendt til fremstilling af elektroniske komponenter, savet ud fra det stavformede, 10 monokrystallinske materiale ved hjælp af en savemaskine, som har et trådstakit.

Denne er i stand til at save meget tynde siliciumskiver, f.eks. fra 100 pm fra en siliciumstav. En trådsavemaskine har et trådstakit, til hvilket over 1000 tråde er udspændt omløbende i en fastlagt afstand fra hinanden for at opnå den ønskede skivetykkelse, og det stavformede materiale, som er hæftet på et saveunderlag og 15 indspændt i en bærer, bliver gennemsavet i en passage. Derved bliver der savet snit i det stavformede materiale, som er omtrent lige så tykt som tråden af trådsaven, hvor to snit danner en skive. Disse skiver danner dog, da de er hæftet på saveunderiaget, som f.eks. kan bestå af grafit, glas, ei plastmateriale etc., en kam. Dvs., af det stavformede materiale bliver gennemsavet fuldstændigt vinkelret på sin længdeakse, 20 hvor der dog bliver savet et stykke ned i saveunderiaget, men dog ikke mere end det stavformede materiale bliver fuldstændig gennemsavet og endnu hæfter på saveunderiaget på en sådan måde, at skiverne bliver holdt sammen i form som en kam. Savevirkningen af trådsaven bliver opnået ved hjælp af et slibemiddel, som indeholder en bærevæske med skærekorn, som er suspenderet i det, for at muliggøre 25 fjernelsen af materiale. Dette slibemiddel med det afsfebne materiale virker efter skæringen som en klæber og hæfter på skiverne, og dette får disse skiver til at hæfte til hinanden sådan, at en rengøring er nødvendig. Ifølge den kendte teknik bliver det spaltede, stavformede materiale, som hæfter til saveunderiaget, fjernet fra maskinen, idet trådstakittet bliver trukket op gennem de netop savede spalter, og kammen bliver 30 fjernet Denne bliver nu rengjort ved neddykning i et bad, som er fyldt med en rengøringsvæske, f.eks. i et fad, med eller uden stempelsiagsbevasgelser. Denne indretning har den ulempe, at det varer længe, inden rengøringen bliver gennemført, og skiverne kan blive ridset på grund af løftet af trådsaven. Hvis skiverne først bliver isoleret og anbragt i et magasin, består der den fare, at de isolerede skiver hæfter til 35 hinanden og brækker ved en adskillelse. Endvidere er det muligt, som det bliver beskrevet IWO 97/02905, at besprøjte kammen turbulent med vand ved hjælp af en DK 177051 B1 2 dyseanordntng med mange dyser. Denne indretning har den ulempe, at der ikke kan blive anvendt en rengøringsvæske som ved sædvanlige kolde rengøringer, da der af denne på grund af besprøjtningen let opstår aerosoler af flygtige rengøringsvæsker, og dermed opslår der en eksplosionsfare, så der kan biot blive anvendt vandige 5 rengøringsvæsker og et smøremiddel med en vandopløselig bærevæske. Desuden kan det savede, stavformede materiale udelukkende blive rengjort i en sådan indretning som en kam, altså uden at der er blevet foretaget en isolering. Hvis de var blevet isoleret, kunne de blive beskadiget, da skiverne som følge af turbulensen bliver slået mod hinanden.

10 Det er en opgave for opfindelsen at tilvejebringe en indretning til rengøring samt en fremgangsmåde tit rengøring, som i forhold til den kendte teknik har forbedrede egenskaber og ikke har dennes ulemper, og som især tillader også isolerede skiver at blive hurtigt og grundigt rengjorte såvel som tillige at anvende litflygtige rengøringsvæsker.

15 Denne opgave bliver løst ved hjælp af opfindelsen.

En genstand for opfindelsen er en indretning til rengøring, som har en holdeindretning for et skiveformet materiale eg en opfangeindretning for væsker samt en dyseanordning, son opbygger en næsten laminar strømning.

I en savemaskine bliver det stavformede materiale savet med en trådsav 20 under tilførsel af et slibemiddel, som består af en bærevæske og skærekorn, så selve materialet bliver savet igennem vinkelret på en længderetning af det stavformede materiale til ind i saveunderlaget af grafit. Den derved tilbagestående kam kan som en helhed blive fjernet for at blive rengjort, eller den bliver fortrinsvis allerede i savemaskinen isoleret, uden al trådstakittet bliver ført op af skærespalerne af 25 kammen.

Dette sker på den måde, at skiverne i form af små pakker bliver brækket af kammen og saveunderlaget og bliver indsat i en holdeindretning for skiveformet materiale, som i tilfælde af isoleringen af skiverne er en optageindretning for skiveførmet materiale. Derved drejer de* ^rtri-svis om et retvinklet eller rundt 30 magasin, som har vilkårligt mange adski r, som fortrinsvis kan· optage en

Ile pakke af 20 til 30 skiver. imidlertfc - ne endnu have en tilstrækkelig afstand fra hinanden for at kunne blive rengjort og fremstillet logisk opdelt. Principielt bliver der anbragt færre skiver i optagindretningen end der kunne være plads til.

I det tilfælde, at skiverne bliver rengjort i form af en kam, altså ikke bliver 35 isoleret, bliver de indsat i en holdeindretning, som lean optage leammen.

DK 177059 81 3

Denne holdeindretning, fortrinsvis et magasin med isolerede skiver, bliver indsat i en opfangeindretning for væsker, et rengeringsbækken, fortrinsvis et kommercielt tilgængeligt fad sådan, at de bliver holdt i en afstand fra en dyseindretning på en sådan måde, at denne dyseindretning kan opbygge en næsten 5 laminar strømning. Derved kan de savede skiver blive spulet rundt om som en kam, dvs. endnu fastholdt på saveunderiaget eller isoleret i et magasin, af den laminart strømmende rengøringsvæske uden at være helt eler kun delvist neddykket eller, hvad der bliver foretrukket, at være fuldstændigt neddykket i rengøringsvæsken. Dette er f.eks. nødvendigt ved letflygtige rengøringsvæsker for at forhindre en dannelse af 10 aerosoler. Endvidere bliver der ved den stadige befugtning af skiveoverfladen udelukket en pietdannelse på skiveoverfladen. Ganske vist kan skiverne tiilige være anbragt fuldstændigt uden for rengøringsvæsken og blive spulet rundt om med en laminart strømmende rengcringsvæske.

Ved rengøringsvæsken drejer det sig fortrinsvis om et kommercielt 15 tilgængeligt koldt rengøringsmiddel, som f.eks. upolære opløsningsmidler af kulbrinter, 1 men der kan tillige blive anvendt vandige rengøringsvæsker, som i givet faid indeholder en tensid.

Den laminare strømning af væsken bliver opbygget ved hjælp af en som i det · - har en dyse, hvis udgangsåbning er sådant 20 ' 2:r i afhængigh . relse, antal og anordning af de skiver, som skal I viskositetei løringsvæsken, bliver opbygget en laminar strømning. F insvis er ud:- '. ' igen opbygget som en slids, men den kan principielt tillig' være cirkulæ - strømningen ikke i det tilfælde strømme så bredt. Fortrins- bliver der a " - nestående dyse med en slids, der kan dog 25 tiilige være f-'e dyser, c tillige være en anderledes udformet dyseudp- sål ng under der - g, at rengøringsvæsken strømmer laminart gen·' - ind Btnmg og t ner et ''forhæng". Det bliver foretrukket, at . gc i af · ke i lede længde af dyser ved hvert punkt er ne lyse - - tnin nbragt i renøøringsbækkenet vid ethvert.

30 _ , iks. æg· - n, fortrinsvis bliver den dog anbragt på i mic n f re *gst er vigtigt, at der bliver sikret en næsten .»ar strøn »ir ? - r jret . fortrinsvis tilført den rengeringsvæske, /m befinder t 3 11 sos ælp af en pumpeindretning.

Strø nr Jr n syæsken er fortrinsvis parallel med 35 overfladen af skiverne.

DK 177 1 4

Rengøringsvæsken bliver med en forudbestemt mængde, tryk og temperatur ført ud på skiverne. Afstanden for dyseindretningen til skiverne, tryk, temperatur og mængde af rengøringsvæske bliver afstemt på en sådan måde, at der bliver opbygget en laminar strømning. Afstemningen af rengøringsparametrene bliver foretaget i 5 afhængighed af tykkelsen af skiverne. I princippet svarer tryk fra fortrinsvis 0,5 bar til 5 bar og et temperaturområde fra fortrinsvis 10°C til 80°C ti! forventningerne. Ved letflygtige rengøringsvæsker bør temperaturen på grund af eksplosionsfaren fortrinsvis ligge 10°C til 15°C under flammepunktet. Afstanden for dyseindretningen bør fortrinsvis være 1 mm til 50 mm, fortrinsvis 5 mm til 10 mm.

10 Alt efter den anvendte rengøringsvæske og dimensionering af anlægget henholdsvis pumpeindretningen kan det være nødvendigt med en opvarmning og/eller en afkøling. Ved hjælp af måleapparater, som er installeret i fremføringskredsløbet, for tryk, temperatur og gennemstrømningsmængde kan fremgangsmåden blive optimeret og kontrolleret.

15 Rengøringsbækkenet er fortrinsvis forbundet med en beholder, som let kan blive fjernet, fortrinsvis et fad, i hvilket det meget slidende, vanskeligt håndterbare, afrensede slibemiddel kan blive trukket ud, efter rengøringsvæsken er blevet mere stillestående. I denne hvHezone kan de partikler, som befinder sig svævende, blive bundfældet. Etter at have nået fy Idegrænsen bliver rengøringsvæsken pumpet bort, 20 den kommercielt tilgængelige beholder med det faste stof bliver koblet af og fjernet fra rengøringsanlægget. Den bortpumpede rengøringsvæske bliver igen ført tilbage til processen, genindvundet eller bortskaffet.

Ved de stavformede materialer, som bliver savet s indretningen, kan det dreje sig om sprøde materialer, som glas, kvarts, sten, grafit, keramiske eller oxidiske 25 materialer, lefts, rubin eller gallium-gadolinium-granaf, men tillige halvledermaterialer, som galiumarsenid eler indiumprtosphid såvel som især germanium eller silicium. Fortrinsvis bliver der med indretningen savet et stavformet halvledermateriale, især fortrinsvis af monokrystallinsk silicium.

Opfindelsen angår en fremgangsmåde til rengøring af et skiveformet 30 materiale, hvor dette materiale bliver rengjort af en væske, som flyder næsten laminart.

Den væske, som ved fremgangsmåde ti! rengøring af skiveformet materialer strømmer laminart, bliver fortrinsvis opnået med den indretning, som er beskrevet ovenfor. Dette sker på den måde, at væsken, rengøringsvæsken, biiver pumpet 35 gennem en dyseindretning, som fortrinsvis i det mindste har en dyse, hvis udgangsåbning er sådant udformet, at den væske, som strømmer ud af den, biiver DK 1T7059 B1 5 afsat i en laminar strømning Dette sker, idet rengøringsvæsken ved hjælp af en fortrinsvis spalteformet udgangsåbning strømmer parallelt med overfladen af det skiveformede materiale.

En fordel ved indretningen samt fremgangsmåden ifølge opfindelsen er, at de 5 isolerede skiver bliver overraskende ensartet fremstillet logisk opdelt. En yderligere fordel er det mindre omfang af brud ved arbejdsgangen for rengøring på grund af den --kraftløse om spuling af skiverne. Ligeledes ved en afsluttende arbejdsgang for isolei, 'iver omfanget af brud drastisk reduceret, da skiverne på grund af den ϊν..-1'tæri.. ή fjernelse af slibemidlet let kan blive forskubbet mod hinanden og dermed 10 åe- 3nke. råde blive adskilt. I det tilfælde, hvor dyseindretningen bliver overdækket rrr.d v::ske fremgangsmåden ifølge opfindelsen især egnet for brandbare væsker.

Claims (3)

1. Fremgangsmåde lil rengøring af ef skiveformet materiale, kendetegnet ved, al en ile pakke af skiver, som hæfter indbyrdes ved et slibemiddel, indsættes i 5 en afdeling i et rektangulært eller rundt magasin, hvilket magasin indsættes i en opfangende indretning for væsker, og skiverne rengøres og opdeles af en parallel med skiveoverfladen flydende, laminar væske.

2. Fremgangsmåde til rengøring af et skiveformet materiale ifølge krav 1, 10 kendetegnet ved, at der som skiveformet materiale anvendes silicium. ;

3. Fremgangsmåde til rengøring af et skiveformet materiale ifølge krav 1 og 2, kendetegnet ved, at den laminare strømning af væske bliver opnået ved hjælp af i det mindste en dyse, som er forsynet med en slids. 15