DE865169C - Stabfoermige Objektschleuse fuer Korpuskularstrahlgefaesse, insbesondere UEbermikroskope - Google Patents

Description

• Stabförmige Objektschleuse für Korpuskularstrahlgefäße, insbesondere Ubermikroskope Es sind bereits die verschiedenartigsten Objektschleusen für Korpuskularstrahlgefäße, insbesondere Übermikroskope, bekanntgeworden. Von den bekannten Objektschleusen zeichnet sich die sog. Stabschleuse durch Einfachheit aus. Die Stabschleuse wird durch einen optisch geschliffenen Stab mit mehreren Bohrungen senkrecht zur Achse zur Unterbringung von Objekten gebildet. Der Stab ist in einer Hülse geführt, wobei Stab und Hülse außerhalb des Korpuskularstrahlgefäßes zusätzlich gegeneinander durch eine Dichtung gesichert sind. Ein Nachteil der bekannten Stabschleuse besteht darin, daß dort keine Mittel vorhanden sind, um das Objekt in Achsrichtung des Entladungsgefäßes verschieben zu können. Das Objekt kann also weder in die Linse hineingebracht, noch der Linse genähert werden. Dieser Nachteil führt dazu, daß die Stabobjektschleusen. bisher weniger Verwendung gefunden haben. Lediglich bei Elektronenbeugungsgeräten sind bereits solche Stabschleusen. in Anwendung gekommen.
• Die Erfindung betrifft eine stabförmige Objektschleuse für Korpuskularstrahlgefäße, insbesondere Übermikroskope, bei der dieser Nachteil vermieden ist. Nach der Erfindung ist der um seine: Achse drehbare Stab hohl ausgebildet, und im Innern des Stabes ist ein von außerhalb des Rohres zu betätigendes Hebelsystem vorgesehen, welches zur Verschiebung einer das Objekt tragenden Unterlage in Achsrichtung des Korpuskularstrahlgefäßes dient. Trotz der zusätzlich vorgesehenen Mittel zur Verschiebung des Objekts in Achsrichtung des Entladungsgefäßes ist die Einfachheit der Objektschleuse erhalten geblieben, was das Ein- und Ausschleusen des Objekts anbetrifft. Zudem ist durch die Anordnung des Hebelmechanismus im Innern. des Hohlrohrs erreicht; däß die Schleuse keine großen, Dimensionen annimmt.
• Der Gegenstand der Erfindung ist an einem in den Figuren schematisch dargestellten Ausführungsbeispiel näher erläutert. Während: in der Fig. i ein Schnitt durch die als Hohlrohr ausgebildete Objektschleuse gezeigt ist, enthält die Fig. 2 eine Aufsicht von oben auf die Objektschleuse. Das als Schleuse dienende Hohlrohr i ist durch Simmerringe 2, 3 oder -andere Dichtungsmittel gegen die Wandung des Korpuskularstrahlgefäßes abgedichtet. In dem Hohlrohr i ist der Objektträger 4. angeordnet, welcher mit Hilfe eines von außen.zu betätigenden Hebelmechanismus in Achsrichtung verschoben werden kann. Zü diesem Zweck sind in dem Hohlrohr i zwei Öffnungen 25 und 26 vorgesehen, durch die der Objektträger, welcher beispielsweise aus einer an Streben befestigten Platte besteht, geschoben werden kann. Das Hebelsystem enthält im wesentlichen zwei rechtwinklige Hebel 5, 6 bzw. 7, 8, welche in den -Punkten 13 und 14 fest gelagert sind. Der Hebelarm 6 ist an der Stelle 12 mit einem weiteren Hehelg beweglich verbunden, welcher wiederum an dem Punkt i i der Scheibe i o befestigt ist. In entsprechender Weise wie der Hebelarm 6 ist der Hebelarm 8-des- anderen rechtwinkligen Hebels in dem Punkt 15 an ._dem beweglichen Hebel 2,3! befestigt, welcher wiederum in dem Punkt 16 an der Scheibe lo angreift. Die Hebelarme 5, und 7 sind beispielsweise mittels Kugeln in den Führungen 17 und 27 verschiebbar gelagert: Zur Betätigung des Hebelsystems dient die in' dem Lager 2o geführte Achse 19. Die -Achse 19. ist durch die Wandung 211 vakuumsicher hindurchgeführt und an ihrem Ende mit einem Anschlag 24 versehen, wobei gegen denAnschlag24 und andererseits gegen die Wandung 21 eine Feder 18 abgestützt ist: Zur vakuumsicheren Durchführung der Achse rg ist beispielsweise ein: Simmerring 22 vorgesehen. Zur Verschiebung des Objektträgers 4! in axialer Richtung ist es lediglich erforderlich, die Achse 19 in das Hohlrohr hineinzudrücken bzw. dieselbe aus dem Hohlrohr etwas herauszuziehen. Der Mechanismus setzt die Bewegung der Achse 19 in eine axialeVerschiebung des Objektträgers4 um.
• Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, das Hohlrohr in einen, Rahmen: einzuspannen, wie er beispielsweise in der Fig. 2 dargestellt ist. Das Hohlrohr i befindet sich in dem Rahmen: 3;0, welcher durch den Bügel2g abgeschlossen ist. Dieser Bügel ist an der .einen Seite des Rahmens mittels eines Scharniers befestigt und kann an der anderen Seite des Rahmens mit Hilfe einer Schraubverbindung 3;1 befestigt werden. Nachdem das Hohlrohr in den Rahmen eingeschlossen ist, wird der Anschlag 24 durch die Wirkung der Feder 118. gegen die Achse 28 gepreßt. Diese Achse z.8 ist mit Hilfe eines Gewindes 32. in dem Rahmen 3j0 geführt. Bei Betätigung des Handrades 33. wird also gleichzeitig die Achse 19 in der gewünschten Weise in das Hohlrohr hineingeschoben bzw. durch die Wirkung der Feder 1d aus demselben etwas herausgepreßt. Das Handrad bewirkt also eine Verstellung des Objektträgers :4 in axialer Richtung.
• Die Objektschleuse ist im übrigen noch derart ausgebildet, daß das Hohlrohr i auch um seine Achse gedreht werden kann. Endlich ist der Objektträger-4_ nicht nur in Achsrichtung des Entladungsgefäßes, sondern auch senkrecht zur Achsrichtung verschiebbar, indem mit Hilfe des Rahmens 3o das- gesamte Hohlrohr verschoben wird.

Claims (3)

1. PATENTANSPRÜCHE: i.. Stabförmige Objektschleuse für Korpuskülarstrahlgefäße, insbesondereÜber mikroskope, dadurch gekennzeichnet, daß der um seine Achse drehbare Stab hohl ausgebildet ist und daß im Innern des Stabes ein von außerhalb des Rohres zu betätigendes Hebelsystem vorgesehen ist, welches zur Verschiebung einer das Objekt tragenden Unterlage in Achsrichtung des Korpuskularstrahl:gefäßes dient.
2. 2. Objektschleuse nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß ein Anschlag für den hohlen Stab derart angeordnet ist, d@aß nach Pressen des Stabes gegen den Anschlag die zur Objektaufnahme dienende Unterlage in Achsrichtung des Entladungsgefäß-es verschoben wird.
3. 3. Objektschleuse nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlstab in einen das Entladungsgefäß umfassenden. Rahmen (3,,a) eingespannt ist, welcher zur Führung einer den Hebelmechanismus betätigenden Achse (28) dient.