DE69910272T2 - Kryogenisches Rektifikationsystem zur Herstellung von ultrahochreinem Stickstoff und ultrahochreinem Sauerstoff - Google Patents

Kryogenisches Rektifikationsystem zur Herstellung von ultrahochreinem Stickstoff und ultrahochreinem Sauerstoff Download PDF

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Description

  • Technisches Gebiet
  • Diese Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Erzeugen von ultrahochreinem Stickstoff und ultrahochreinem Sauerstoff durch die Tieftemperaturrektifikation von Einsatzluft.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Ultrahochreiner Stickstoff, insbesondere bei erhöhtem Druck, ist in solchen Herstellungsverfahren erforderlich, die sehr empfindlich für Verunreinigungen sind, wie z. B. in der Herstellung von Halbleitern und anderen elektronischen Komponenten. Ultrahochreiner Stickstoff kann auf effektive Weise durch die Tieftemperaturrektifikation von Einsatzluft erzeugt werden. In jüngerer Zeit ist ein Bedarf nach der Verwendung von ultrahochreinem Sauerstoff zusammen mit ultrahochreinem Stickstoff in derartigen Herstellungsverfahren entstanden. Ultrahochreiner Sauerstoff kann unter Verwendung einer konventionellen Tieftemperatur-Rektifikationsanlage für die Erzeugung von ultrahochreinem Stickstoff hergestellt werden; jedoch verringert ein derartiges System die Gewinnung des ultrahochreinen Stickstoffs und führt zu einem höheren Energieverbrauch im Vergleich zu der konventionellen ultrahochreinen Stickstoffanordnung für jede gegebene Menge an erzeugtem Stickstoff.
  • Dementsprechend besteht eine Aufgabe dieser Erfindung in der Bereitstellung eines Tieftemperatur-Rektifikationssystems, dass sowohl ultrahochreinen Stickstoff wie ultrahochreinen Sauerstoff erzeugen kann, während die Beeinträchtigungen hinsichtlich der Stickstoffgewinnung und des Energieverbrauchs, die bislang mit bekannten Systemen auftraten, verringert werden.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die obige Aufgabe wird durch die vorliegende Erfindung gelöst, deren einer Aspekt in einem Verfahren zum Erzeugen von ultrahochreinem Stickstoff und ultrahochreinem Sauerstoff durch die Tieftemperaturrektifikation von Einsatzluft gemäß Anspruch 1 und in einer Vorrichtung zum Erzeugen von ultrahochreinem Stickstoff und ultrahochreinem Sauerstoff durch die Tieftemperaturrektifikation von Einsatzluft gemäß Anspruch 6 besteht.
  • Wie hier verwendet bezeichnet der Begriff "Einsatzluft" ein hauptsächlich Stickstoff, Sauerstoff und Argon aufweisendes Gemisch wie beispielsweise Umgebungsluft.
  • Wie hier verwendet bezeichnet der Begriff "Kolonne" eine Destillations- oder Fraktionierkolonne oder -zone, d. h. eine Kontaktkolonne oder -zone, in der flüssige und dampfförmige Phasen im Gegenstrom in Kontakt gebracht werden, um eine Trennung eines Fluidgemisches zu bewirken, z. B. indem die dampfförmige und die flüssige Phase an einer Reihe von vertikal in Abstand innerhalb der Kolonne angebrach ten Böden oder Platten und/oder an Packungselementen wie z. B. strukturierter oder Zufallspackung in Kontakt gebracht werden. Für eine weitere Diskussion von Destillationskolonnen sei verwiesen auf das "Chemical Engineers' Handbook", fünfte Ausgabe, herausgegeben von R. H. Perry und C. H. Chilton, McGraw-Hill Book Company, New York, Abschnitt 13, The Continuous Distillation Process.
  • Trennverfahren mit Dampf-/Flüssigkeitskontakt sind abhängig von den Dampfdrücken der Komponenten. Die Komponente mit dem hohen Dampfdruck (oder die flüchtigere oder niedrigsiedende Komponente) wird dazu neigen, sich in der Dampfphase zu konzentrieren, wohingegen die Komponente mit dem niedrigeren Dampfdruck (oder die weniger flüchtige oder hochsiedende Komponente) dazu neigen wird, sich in der flüssigen Phase zu konzentrieren. Partielle Kondensation ist das Trennverfahren, bei dem das Kühlen eines Dampfgemisches benutzt werden kann, um die flüchtige Komponente(n) in der Dampfphase und dadurch die weniger flüchtige Komponente(n) in der Flüssigphase zu konzentrieren. Rektifikation oder kontinuierliche Destillation ist das Trennverfahren, das aufeinanderfolgende partielle Verdampfungen und Kondensationen kombiniert, wie sie durch eine Gegenstrombehandlung der dampfförmigen und flüssigen Phasen erzielt werden. Das Inkontaktbringen der dampfförmigen und flüssigen Phasen im Gegenstrom ist im allgemeinen adiabatisch und kann einen integralen (stufenweisen) oder differentiellen (kontinuierlichen) Kontakt zwischen den Phasen beinhalten. Trennverfahrensanordnungen, die die Prinzipien der Rektifikation zum Trennen von Gemischen benutzen, werden oft als Rektifikationskolonnen, Destillationskolonnen oder Fraktionierkolonnen bezeichnet, wobei diese Begriffe untereinander ausgetauscht werden können. Tieftemperatur-Rektifikation ist ein Rektifikationsverfahren, das zumindest teilweise bei Temperaturen bei oder unterhalb 150°K ausgeführt wird.
  • Der Begriff "indirekter Wärmeaustausch", wie hier benutzt, bedeutet, dass zwei Fluidströme in eine Wärmeaustauschbeziehung gebracht werden, ohne dass irgendein physikalischer Kontakt oder eine Durchmischung der Fluide miteinander stattfindet.
  • Wie hier verwendet bezeichnet der Begriff "Kopfkondensator" eine Wärmetauschvorrichtung, die aus Kolonnenkopfdampf in der Kolonne nach unten strömende Flüssigkeit erzeugt.
  • Wie hier verwendet bezeichnet der Begriff "Sumpfaufkocher" eine Wärmetauschvorrichtung, welche aus Kolonnenflüssigkeit in der Kolonne nach oben strömenden Dampf erzeugt.
  • Wie hier verwendet bezeichnen die Begriffe "Turboexpansion" bzw. "Turboexpander" ein Verfahren bzw. eine Vorrichtung für den Fluss eines Gases hohen Drucks durch eine Turbine zur Verminderung von Druck und Temperatur des Gases, wodurch Kälte erzeugt wird.
  • Wie hier verwendet bezeichnen die Begriffe "oberer Bereich" und "unterer Bereich" die Abschnitte einer Kolonne oberhalb bzw. unterhalb der Kolonnenmitte.
  • Wie hier verwendet bezeichnet der Begriff "Stripkolonne" eine Kolonne, die mit einer ausreichenden aufwärts fließenden Dampfströmung relativ zu der nach unten fließenden Flüssigkeitsströmung betrieben wird, um die Trennung einer flüchtigen Komponente von der Flüssigkeit in den Dampf zu bewerkstelligen, in der sich die flüchtige Komponente aufwärts zunehmend anreichert.
  • Wie hier verwendet bezeichnet der Begriff "ultrahochreiner Stickstoff' ein Fluid mit einer Stickstoffkonzentration von mindestens 99,99 Mol% und mit einer Sauerstoffkonzentration von weniger als 1,0 Teilen pro Million (ppm) und vorzugsweise von weniger als 0,1 ppm.
  • Wie hier verwendet bezeichnet der Begriff "ultrahochreiner Sauerstoff' ein Fluid mit einer Sauerstoffkonzentration von mindestens 99,99 Mol%.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine schematische Darstellung einer bevorzugten Ausführungsform des Tieftemperatur-Rektifikationssystems dieser Erfindung.
  • 2 ist eine schematische Darstellung einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des Tieftemperatur-Rektifikationssystems dieser Erfindung.
  • 3 ist eine schematische Darstellung einer noch weiteren bevorzugten Ausführungsform des Tieftemperatur-Rektifikationssystems dieser Erfindung.
  • Die Bezugszeichen in den Zeichnungen sind für die allgemeinen Elemente die Gleichen.
  • Ausführliche Beschreibung
  • In der Praxis dieser Erfindung wird die Hilfskolonne, die bei einem geringeren Druck als derjenige der Hauptkolonne betrieben wird, von dem Betrieb der Stripkolonne von ultrahochreinem Sauerstoff entkoppelt, da die Stripkolonne durch Fluid von den Hauptkolonne aufgekocht wird. Dies ermöglicht einen Betrieb der Hilfskolonne bei einem noch geringeren Druck, wodurch die Gewinnung von Stickstoff aus dieser Kolonne und letztendlich von dem System im allgemeinen noch höher wird. Die Erfindung wird nun ausführlicher mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben werden.
  • Nun auf 1 Bezug nehmend wird eine Einsatzluft 1 in einen ersten Einsatzluftstrom 2 und einen zweiten Einsatzluftstrom 3 aufgeteilt. Der erste Einsatzluftstrom 2 wird mittels indirektem Wärmeaustausch mit Rücklaufströmen in einem Primärwärmetauscher 4 gekühlt und der sich ergebende gekühlte erste Einsatzluftstrom 5 wird in den unteren Bereich einer Hauptkolonne 6 eingeleitet. Der zweite Einsatzluftstrom 3 wird mittels Durchleiten durch einen Kompressor 7 komprimiert und der komprimierte zweite Einsatzluftstrom 8 wird mittels eines teilweisen Durchlaufs durch den Primärwärmetauscher 4 gekühlt. Ein gekühlter komprimierter zweiter Einsatzluftstrom 9 wird mittels Durchleiten durch einen Turboexpander 10 turboexpandiert und der resultierende turboexpandierte zweite Einsatzluftstrom 11 wird in den unteren Bereich der Hilfskolonne 12 eingespeist.
  • Die Hauptkolonne 6 wird bei einem Druck im Bereich von 655 bis 1241 kPa (95 bis 180 pound pro inch2 absolut (psia)) betrieben. Innerhalb der Hauptkolonne 6 wird die erste Einsatzluft mittels Tieftemperaturrektifikation in mit Sauerstoff angereichertes Fluid und stickstoffreicheres Fluid zerlegt. Das mit Sauerstoff angereicherte Fluid wird von dem unteren Bereich der Hauptkolonne 6 als Flüssigkeit in einem Strom 13 abgezogen und mittels eines teilweisen Durchlaufs durch den Primärwärmetauscher 4 unterkühlt. Eine sich ergebende unterkühlte und mit Sauerstoff angereicherte Flüssigkeit 14 wird anschließend in die aufkochende Seite eines Hauptkolonnen-Kopfkondensators 15 eingeleitet. Das stickstoffreichere Fluid wird von dem oberen Bereich der Hauptkolonne 6 als Dampf in einem Strom 16 abgezogen und ein Teil 17 wird in die kondensierende Seite des Kopfkondensators 15 eingespeist, wo er mittels indirektem Wärmeaustausch mit der mit Sauerstoff angereicherten Flüssigkeit kondensiert, die teilweise verdampft. Die resultierende stickstoffreichere Flüssigkeit wird in einem Strom 18 als Rücklauf in den oberen Bereich der Hauptkolonne 6 eingeführt. Der sich ergebende mit Sauerstoff angereicherte Dampf wird von dem Hauptkolonnen-Kopfkondensator 15 in einem Strom 19 abgezogen und ein Teil 20 wird in den unteren Bereich der Hilfskolonne 12 eingespeist.
  • Die Hilfskolonne 12 wird bei einem Druck betrieben, der geringer als derjenige der Hauptkolonne 6 ist und in dem Bereich von 310 bis 448 kPa (45 bis 65 psia) liegt. Innerhalb der Hilfskolonne 12 werden die Einsätze in diese Kolonne mittels Tieftemperaturrektifikation in mit Stickstoff angereichertes Fluid und sauerstoffreicheres Fluid getrennt. Das sauerstoffreichere Fluid wird von dem unteren Bereich der Hilfskolonne 12 als Flüssigkeit in einem Strom 21 abgezogen und in die aufkochende Seite eines Hilfskolonnen-Kopfkondensators 22 eingeleitet. Die mit Sauerstoff angereicherte Flüssigkeit wird ebenfalls in die aufkochende Seite des Kopfkondensators 22 von dem Kopfkondensator 15 in einem Strom 23 eingespeist. Ein drittes von dem Sumpfaufkocher der ultrahochreinen Stripkolonne entnommenes Fluid 24 wird, wie nachstehend ausführlicher erläutert, ebenfalls in die aufkochende Seite des Kopfkondensators 22 geleitet.
  • Mit Stickstoff angereichertes Fluid wird als ein Dampfstrom 25 von dem oberen Bereich der Hilfskolonne 12 in die kondensierende Seite des Hilfskolonnen-Kopfkondensators 22 geführt, wo es mittels indirektem Wärmeaustausch mit den in die aufkochende Seite des Kopfkondensators 22 eingeleiteten Fluiden kondensiert. Die sich ergebende mit Stickstoff angereicherte Flüssigkeit wird von dem Kopfkondensator 22 in einem Strom 26 abgezogen und ein Teil 27 wird zu der Hilfskolonne 12 als Rücklauf zurückgeführt. Ein zweiter Teil 28 der mit Stickstoff angereicherten Flüssigkeit wird mittels Durchleiten durch eine Flüssigkeitspumpe 29 auf einen höheren Druck gepumpt und die sich ergebende aufgedrückte mit Stickstoff angereicherte Flüssigkeit 30 wird in den oberen Bereich der Hauptkolonne 6 als zusätzlicher Rücklauf eingespeist. Falls erwünscht kann ein Teil 31 der mit Stickstoff angereicherten Flüssigkeit als flüssiger Produktstickstoff gewonnen werden.
  • Die Hinzufügung der mit Stickstoff angereicherten Flüssigkeit von der Hilfskolonne zu der Hauptkolonne erhöht die Menge und die Qualität des flüssigen Rücklaufs in die Hauptkolonne 6, wodurch die Erzeugung von stickstoffreicherem Fluid in dieser Kolonne sowohl mit einer hohen Gewinnung wie mit ultrahoher Reinheit ermöglicht wird. Ein Teil 32 des stickstoffreicheren Dampfs 16 wird mittels Durchleiten durch den Primärwärmetauscher 4 erwärmt und als ultrahochreiner Produktstickstoff in einem Strom 33 gewonnen.
  • Ein Teil des sauerstoffreicheren Fluids wird von dem unteren Bereich der Hilfskolonne 12 in einem Flüssigkeitsstrom 34 abgezogen und als Stripkolonneneinsatz in den oberen Bereich und vorzugsweise in den Kopf der Stripkolonne 35 eingespeist. Der Einsatz in den Stripkolonne 35 sollte keine schweren Verunreinigungen, d. h. Komponenten, die weniger flüchtig als Sauerstoff sind wie z. B. Methan, Krypton und Xenon enthalten, um zu vermeiden, dass irgendwelche dieser schweren Verunreinigungen in dem ultrahochreinen Sauerstoffprodukt 42 vorliegen. Dies kann durch ein Abziehen des Einsatzes von einer Zwischenstelle der Hilfskolonne bewerkstelligen werden, z. B. über den Pegeln, wo Einsatzluft eingeleitet wird. Der Stripkolonneneinsatz strömt in der Stripkolonne 35 gegen nach oben strömenden Dampf nach unten und in dem Verfahren werden die flüchtigeren Komponenten in dem Stripkolonneneinsatz wie z. B. Stickstoff und Argon aus der nach unten strömenden Flüssigkeit heraus- und in den nach oben strömenden Dampf hineingeleitet, wodurch ultrahochreines Sauerstofffluid in dem unteren Bereich der Stripkolonne 35 und Ablassdampf erzeugt wird, der in einem Strom 36 aus der Stripkolonne 35 herausgeleitet wird. Der Strom 36 wird mit einem Dampfstrom 37 aus dem Hilfskolonnen-Kopfkondensator 22 kombiniert, um einen Abstrom 38 auszubilden, der mittels Durchleiten durch den Primärwärmetauscher 4 erwärmt und in einem Strom 39 von dem System entfernt wird.
  • Ein Teil 40 des mit Sauerstoff angereicherten Dampfs 19 von dem Hauptkolonnen-Kopfkondensator 15 wird in einen Stripkolonnen-Sumpfaufkocher 41 eingespeist, wo er mittels indirektem Wärmeaustausch mit ultrahochreiner Sauerstoffflüssigkeit in dem unteren Bereich der Stripkolonne 35 kondensiert. Ein Teil der ultrahochreinen Sauerstoffflüssigkeit wird zur Erzeugung des oben erwähnten nach oben strömenden Dampfs in der Stripkolonne 35 verdampft. Die resultierende kondensierte und mit Sauerstoff angereicherte Flüssigkeit wird in einem Strom 24 von dem Sumpfaufkocher 41 zu dem Kopfkondensator 22 geleitet, wie zuvor beschrieben. Der restliche Teil des ultrahochreinen Sauerstofffluids wird als Dampf und/oder als Flüssigkeit als ultrahochreiner Produktsauerstoff von dem unteren Bereich der Stripkolonne 35 gewonnen. Die in 1 illustrierte Ausführungsform der Erfindung zeigt die Gewinnung von ultrahochreinem Sauerstoffprodukt in einem Flüssigkeitsstrom 42.
  • Die 2 und 3 illustrieren weitere bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung. Die Bezugszeichen in den 2 und 3 sind dabei für die allgemeine Elemente die gleichen und diese allgemeinen Elemente werden nicht erneut ausführlich beschrieben werden.
  • Nun auf 2 Bezug nehmend wird der sauerstoffhaltige Einsatz in die Stripkolonne 35 von dem unteren Bereich der Hauptkolonne 6 über dem Pegel entnommen, wo Einsatzluft eingeleitet wird, anstatt von der Hilfskolonne 12 wie bei der in 1 dargestellten Ausführungsform. In der in 2 illustrierten Ausführungsform wird mit Sauerstoff angereichertes Fluid von dem unteren Bereich der Hauptkolonne 6 in einem Flüssigkeitsstrom 50 abgezogen und als Stripkolonneneinsatz in den oberen Bereich der Stripkolonne 35 eingeleitet.
  • In der in 3 illustrierten Ausführungsform der Erfindung wird mit Sauerstoff angereichertes Fluid von der Hauptkolonne 6 in einem Strom 51 als ein zusätzlicher Einsatz in die Hilfskolonne 12 eingespeist, und sauerstoffreichere Flüssigkeit von der Hilfskolonne wird, wie in der in 1 illustrierten Ausführungsform, als der Stripkolonneneinsatz in einem Flüssigkeitsstrom 34 von der Hilfskolonne 12 in die Stripkolonne 35 geleitet.
  • Mit der Praxis dieser Erfindung ist nun eine Erzeugung von sowohl ultrahochreinem Stickstoff wie ultrahochreinem Sauerstoff mit einer hohen Gewinnungsrate möglich.

Claims (10)

  1. Verfahren zum Erzeugen von ultrahochreinem Stickstoff und ultrahochreinem Sauerstoff mittels Tieftemperaturrektifikation von Einsatzluft, wobei im Zuge des Verfahrens: (A) erste Einsatzluft (2) in eine Hauptkolonne (6) eingebracht wird und die erste Einsatzluft innerhalb der Hauptkolonne mittels Tieftemperaturrektifikation in mit Sauerstoff angereicherte Flüssigkeit und stickstoffreicheren Dampf zerlegt wird; (B) zweite Einsatzluft (3) in eine Hilfskolonne (12) geleitet wird, die bei einem Druck betrieben wird, der geringer als jener der Hauptkolonne (6) ist, und die zweite Einsatzluft innerhalb der Hilfskolonne mittels Tieftemperaturrektifikation in mit Stickstoff angereichertem Dampf und sauerstoffreichere Flüssigkeit zerlegt wird; (C) mit Stickstoff angereicherter Dampf (30), der von der Hilfskolonne (12) entnommen wurde, kondensiert wird und sich ergebende mit Stickstoff angereicherte Flüssigkeit (30) in den oberen Bereich der Hauptkolonne (6) übergeleitet wird; (D) sauerstoffreichere Flüssigkeit (34) von der Hilfskolonne (12) oder mit Sauerstoff angereicherte Flüssigkeit (50) von der Hauptkolonne (6) in den oberen Bereich einer Stripkolonne (35) übergeleitet und innerhalb der Stripkolonne nach unten gegen nach oben strömenden Dampf geleitet wird, um ultrahochreines Sauerstofffluid im unteren Bereich der Stripkolonne zu erzeugen; (E) ein Teil der mit Sauerstoff angereicherten Flüssigkeit (13) mittels indirektem Wärmeaustausch mit stickstoffreicherem Dampf verdampft wird, um mit Sauerstoff angereicherten Dampf (19) zu erzeugen; (F) ein Teil des ultrahochreinen Sauerstofffluids mittels indirektem Wärmeaustausch mit einem Teil (40) des mit Sauerstoff angereicherten Dampfs (19) verdampft wird, um den nach oben strömenden Dampf zu erzeugen; (G) ein anderer Teil des ultrahochreinen Sauerstofffluids als ultrahochreiner Produktsauerstoff (42) gewonnen wird; und (H) stickstoffreicherer Dampf (16) als ultrahochreiner Produktstickstoff (33) gewonnen wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem im Schritt (D) die sauerstoffreichere Flüssigkeit (34) von einem Zwischenbereich der Hilfskolonne (12) an einer Stelle oberhalb des Pegels abgezogen wird, wo Einsatzluft eingeleitet wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem in Schritt (D) die mit Sauerstoff angereicherte Flüssigkeit (50) von dem unteren Bereich der Hauptkolonne (6) an einer Stelle oberhalb dem Pegel abgezogen wird, wo Einsatzluft eingebracht wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem ferner mit Sauerstoff angereichertes Fluid (51) von der Hauptkolonne (6) in die Hilfskolonne (12) übergeleitet wird.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem ferner ein Teil (31) der mit Stickstoff angereicherten Flüssigkeit (30) von der Hilfskolonne (12) gewonnen wird.
  6. Vorrichtung zum Erzeugen von ultrahochreinem Stickstoff und ultrahochreinen Sauerstoff mittels Tieftemperaturrektifikation von Einsatzluft, versehen mit: (A) einer Hauptkolonne (6) mit einem Kopfkondensator (15) und einer Anordnung zum Überleiten von Einsatzluft in die Hauptkolonne; (B) einer Hilfskolonne (12), die bei einem Druck betrieben wird, der geringer als jener der Hauptkolonne (6) ist, und die einen Kopfkondensator (22) aufweist, sowie Mitteln zum Überleiten von Einsatzluft in die Hilfskolonne; (C) einer Stripkolonne (35) mit einem Sumpfaufkocher (41); (D) Mitteln zum Überleiten von mit Sauerstoff angereicherter Flüssigkeit (13) von dem unteren Bereich der Hauptkolonne (6) in den Kopfkondensator (15) der Hauptkolonne und von dem Hauptkolonnen-Kopfkondensator in den Sumpfaufkocher (41) der Stripkolonne; (E) Mitteln zum Überleiten von mit Stickstoff angereichertem Dampf (25) von dem oberen Bereich der Hilfskolonne (12) in den Hilfskolonnen-Kopfkondensator (22) und Mitteln zum Überleiten von mit Stickstoff angereicherter Flüssigkeit (26) von dem Hilfskolonnen-Kopfkondensator in den oberen Bereich der Hauptkolonne (6); (F) Mitteln zum Überleiten von sauerstoffreicherer Flüssigkeit (34) oder mit Sauerstoff angereicherter Flüssigkeit (50) von der Hauptkolonne (6) und/oder der Hilfskolonne (12) in den oberen Bereich der Stripkolonne (35); und (G) Mitteln zum Gewinnen von ultrahochreinem Sauerstoff von dem unteren Bereich der Stripkolonne (35) und Mitteln zum Gewinnen von ultrahochreinem Stickstoff von dem oberen Bereich der Hauptkolonne (6).
  7. Vorrichtung nach Anspruch 6, bei welcher die Mittel zum Überleiten von mit Stickstoff angereicherter Flüssigkeit (26) von dem Hilfskolonnen-Kopfkondensator (22) in den oberen Bereich der Hauptkolonne (6) eine Flüssigkeitspumpe (29) umfassen.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 6, ferner versehen mit Mitteln zum Überleiten von mit Sauerstoff angereicherter Flüssigkeit von dem unteren Bereich der Hauptkolonne (6) in den unteren Bereich der Hilfskolonne (12).
  9. Vorrichtung nach Anspruch 6, ferner versehen mit Mitteln zum Überleiten von mit Sauerstoff angereichertem Dampf (20) von dem Hauptkolonnen-Kopfkondensator (15) in den unteren Bereich der Hilfskolonne (12).
  10. Vorrichtung nach Anspruch 6, bei welcher die Mittel zum Überleiten von Einsatzluft in die Hilfskolonne (12) einen Turboexpander (10) umfassen.
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