DE69814650T2 - Anordnung zur optischen verstärkung und kopplung nach dem multimoden-interferenz-prinzip und deren anwendungen - Google Patents

Anordnung zur optischen verstärkung und kopplung nach dem multimoden-interferenz-prinzip und deren anwendungen Download PDF

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Description

  • Technisches Gebiet und Stand der Technik
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Multimoden-Interferenzkoppler (oder interferometrischen Multimodenkoppler, MMI-Koppler), der zum Beispiel in einem Halbleiterverstärker für die Fernmeldetechnik verwendet werden kann.
  • Der erfindungsgemäße Koppler ist anwendbar bei der Realisierung von optischen Komponenten auf InP- oder Asta-Halbleitern (Laser, Lasermodulatoren,...).
  • Ein Erfindungsbeispiel ist die Realisierung eines Verstärkers, der eine höhere optische Leistung als ein Standard-Halbleiterverstärker liefert.
  • Ein anderes Anwendungsbeispiel betrifft alle Übertragungssysteme, wo ein streng linearer Verstärker erforderlich ist.
  • Die Multimodenkoppler vom Interferenztyp sowie ihre Anwendung auf die integrierte Optik sind bereits aus dem Stand der Technik bekannt: Beispiele von Kopplern und ihren Anwendungen werden gegeben in den Artikeln von L.B. Soldano, Journal of Lightwave Technology, Band 13, Nr. 4, Seite 615, 1995 und in dem Artikel von P.A. Besse, Journal of Lightwave Technology, Band 14, Nr. 10, Seite 2290, 1996.
  • Auf dem Gebiet der Halbleiterverstärker sind Standard-Halbleiterverstärker und Halbleiterverstärker mit vergrößerter Oberfläche bekannt.
  • Die typische Komponente eines Standard-Halbleiterverstärkers ist ein Einmoden-Wellenleiter auf einem Halbleiter, dessen Kern ein Material vom Lasertyp enthält. Wenn ein Strom eingespeist wird, weist das Material eine Verstärkung auf, und die Lichtwelle wird verstärkt.
  • Die 1A und 1B zeigen die Entwicklung der Gesamtleistung bzw. der maximalen Leistung in einem gleichen Abschnitt eines solchen Standard-Halbleiterverstärkers. In dem angegebenen Beispiel wird eine Lichtleistung von –25 dBm eingespeist, und die Gesamtleistung am Ausgang ist 0 dBm. Die maximale Leistung folgt dem gleichen Verlauf.
  • Die Verstärker mit vergrößerter Oberfläche ermöglichen eine Vergrößerung der Ausgangsleistung der Vorrichtung, indem sie dafür sorgen, dass die maximale Leistungsdichte nicht den Sättigungsleistungspegel erreicht. Letztere ist durch das Material und den Strom eindeutig festgelegt. Hierfür wird der Wellenleiter fortschreitend verbreitert. Dadurch wird der Wellenleiter zwar mehrmodig, doch bleibt die Lichtwelle in die Hauptmode gekoppelt und verbreitert sich fortschreitend.
  • Daraus resultiert, dass die Verstärkung die gleiche bleibt (25 dB), dass aber die Sättigungsleistung umm ca. 7 dB zunimmt. Die 2A und 2B zeigen die Entwicklung der Gesamtleistung bzw. der maximalen Leistung in einem gleichen Abschnitt eines Halbleiterverstärkers mit vergrößerter Oberfläche.
  • Dieser Typ von Vorrichtung hat zwei Nachteile:
    • (i) Es ist schwierig, das Ausgangslicht in einen Einmoden-Wellenleiter oder eine optische Faser zu koppeln.
    • (ii) Die Struktur ist potenziell instabil gegenüber einer lokalen Veränderung der Leistung, die zu einer Indexmodifikation führt, was zu einer Kopplung der Welle in eine höhere Mode und wiederum zu einer lokalen Modifikation der Leistung etc. führt.
  • Schließlich ist aus der Mitteilung von K. Hamamoto, erschienen in EICO'97, 02. bis 04. April 1997, Stokholm, ein MMI bekannt, wo das gesamte aktive Material des Kopplers ein Verstärker ist.
  • Erläuterung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach dem Multimoden-Interferenz-Prinzip, wie in Anspruch 1 definiert.
  • Im Verhältnis zu den bekannten Vorrichtungen weist die Multimoden-Interferenz-Vorrichtung gemäß der Erfindung zwei Abschnitte auf, einen Verstärkerabschnitt und einen Abschnitt aus einem transparenten Material, der es erlaubt, die in dem ersten Abschnitt verstärkte Strahlung zu führen.
  • Die erfindungsgemäße Struktur ermöglicht die Herstellung eines Verstärkers, der ungefähr die gleiche Verstärkung und die gleiche Sättigungsleistung wie ein Verstärker mit vergrößerter Oberfläche hat. Außerdem ermöglicht er eine Kopplung des gesamten verstärkten Lichts in einen Einmodenleiter mit einem Minimum an Verlusten. Schließlich hat der erfindungsgemäße Multimoden-Interferenz-Koppler nicht die für einen herkömmlichen Verstärker mit vergrößerter Oberfläche charakteristische Instabilität, da aufgrund ihrer Multimoden-Natur die Erfindung wenig empfindlich gegen eine Indexfluktuation ist.
  • Im Verhältnis zu der in dem oben zitierten Artikel von K. Hamamoto beschriebenen Vorrichtung wird nur ein Abschnitt des Multimodenkopplers als Verstärker verwendet. In dem ersten Abschnitt des erfindungsgemäßen MMI wird nämlich die optische Leistung dekonzentriert, und deshalb ist es vorteilhaft, dort die Strahlung zu verstärken. In dem zweiten Abschnitt des erfindungsgemäßen MMI wird die optische Leistung konzentriert, z. B. auf einen Ausgangsleiter, und es wichtig, sie nicht zu verstärken, um den Verstärker nicht zu sättigen. Die Vorrichtung nach Hamamoto nutzt somit nicht eine selektive Verstärkung in den Zonen, wo die optische Leistung gering ist, im Gegensatz zur erfindungsgegenständlichen Vorrichtung.
  • Außerdem nutzt die von Hamamoto beschriebene Vorrichtung nicht einen Abschnitt aus transparentem Material, sondern ist lediglich eine Verstärkungsvorrichtung.
  • Ein Einmodenleiter kann am Ausgang des erfindungsgemäßen Kopplers angebracht sein.
  • Außerdem kann das Verstärkermaterial eine in einem InP-Substrat vergrabene Struktur sein.
  • Das Verstärkermaterial kann ein Lasermaterial sein, zum Beispiel eine quaternäre InGaAsP-Legierung. Das Material kann auch ein Quantentrog-Material sein.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann auch einen optischen Vorverstärker vor dem Multimoden-Wellenleiterabschnitt aufweisen.
  • Gegenstand der Erfindung sind auch diverse Verfahren:
    • – zum Verstärken der Leistung einer Lichtquelle
    • – zum Kompensieren der Verluste einer optischen Faser oder
    • – zum Verstärken von wellenlängengemultiplexten Signalen, wobei diese diversen Verfahren die erfindungsgemäße optische Verstärkungs- und Kopplungsvorrichtung einsetzen.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Auf jeden Fall werden die Kennzeichen und Vorteile der Erfindung deutlicher anhand der nachfolgendem Beschreibung. Diese Beschreibung bezieht sich auf die zur Erläuterung und nicht zur Einschränkung angegebenen Ausführungsbeispiele, wobei sie Bezug nimmt auf die beigefügten Zeichnungen. Es zeigen:
  • 1A und 1B die Entwicklung der Gesamtleistung und der maximalen Leistung in einem gleichen Abschnitt eines Standard-Halbleiterverstärkers,
  • 2A und 2B die Entwicklung der Gesamtleistung und der maximalen Leistung in einem gleichen Abschnitt eines Halbleiterverstärkers mit vergrößerter Oberfläche nach dem Stand der Technik,
  • 3 die Struktur einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 4A und 4B die Entwicklung der Gesamtleistung bzw. der maximalen Leistung in einem gleichen Abschnitt einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 5 schematisch eine erfindungsgemäße Vorrichtung vom Typ 1 × 1,
  • 6A bis 6D diverse Formen der Grenze zwischen den zwei Abschnitten einer erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 7 ein Anwendungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer integrierten Vorrichtung.
  • Detaillierte Erläuterungen der Ausgestaltungen der Erfindung
  • 3 zeigt schematisch die Struktur einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur optischen Verstärkung und Kopplung. Ein erster Abschnitt 2 ist aus einem Verstärkermaterial gebildet, auf den ein Abschnitt 4 aus einem passiven transparenten Material folgt. Der erste Abschnitt 2 bildet eine Verstärkerzone (diese ist typischerweise aus einem Lasermaterial gebildet), und der zweite Abschnitt 4 ist eine Mehrmoden-Führungszone, die aus einem Wellenleitermaterial oder einem auf Transparenz vorgespannten Lasermaterial gebildet ist.
  • Die Verstärkerzone 2 und die Führungszone 4 sind im Wesentlichen senkrecht oder quasi senkrecht zur Ausbreitungsrichtung des einfallenden Lichts 8 und des austretenden Lichts 10 des Kopplers angeordnet, so dass sie die Eigenschaften des letzteren nicht stören.
  • Die oben beschriebene Vorrichtung unterscheidet sich von anderen Wellenleitervorrichtungen wie „Tapern" oder Linsen dadurch, dass sie aus einer Mehrmoden-Wellenleiterstruktur besteht. Die eintreffende Lichtwelle wird effektiv an die Mehrzahl der Moden des Kopplers gekoppelt.
  • Die Form des Kopplers ist so gewählt, dass das Lichtfeld vom Eingang am Ausgang an einem oder mehreren Orten mit einer variablen Dämpfung und Phasenverschiebung reproduziert wird. Die Bedingungen, die es erlauben, dieses Ergebnis zu erzielen, sind in dem Artikel von L.B. Soldano angegeben, der bereits in der Einführung dieser Anmeldung zitiert wurde.
  • Die 4A und 4B zeigen jeweils die Gesamtleistung und die maximale Leistung in einem logitudinalen Abschnitt eines erfindungsgemäßen Kopplers im Laufe der Ausbreitung. In diesen zwei Figuren zeigt die vertikale Linie das Ende der Verstärkerzone oder die Grenzzone 6 zwischen der Verstärkerzone und dem Wellenleitermaterial an. Diesen Figuren zufolge sieht man, dass die Verstärkung bei 25 Dezibel bleibt, dass aber die maximale Leistung –10 dBm beträgt, anstelle von 0 dBm für eine Standardstruktur. Die Sättigungsleistung ist somit um 10 Dezibel höher. Außerdem kann das Licht gut in einen Einmoden-Wellenleiter zurückgekoppelt werden. Der erfindungsgemäße Koppler weist nicht die charakteristische Instabilität des bekannten Kopplers mit vergrößerter Oberfläche auf, weil aufgrund seiner Mehrmodennatur der erfindungsgemäße Koppler wenig empfindlich gegen eine Indexfluktuation ist.
  • 5 zeigt ein Beispiel eines 1 × 1-Kopplers, das heißt mit einem Eingangsleiter 12 und einem Ausgangsleiter 14. Gemäß der Erfindung wird ein Abschnitt 2 des Kopplers als Verstärker genutzt. Die Grenzfläche zwischen dem Verstärkermedium und der Wellenleiterzone 4 kann vertikal sein, sie kann aber auch in Bezug auf die Vertikale geringfügig geneigt sein (zum Beispiel mit einem Winkel von 2 bis 8 Grad), und zwar um Reflexionsprobleme zu vermeiden. Die zwei ersten Ecken 16,18 des Kopplers bestehen nicht notwendigerweise aus einem Verstärkermeiterial, da das Licht diese Regionen nicht erreicht.
  • Andere Beispiele für Strukturen von erfindungsgemäßen Kopplern und insbesondere von Grenzflächen zwischen den Verstärkungs- und Wellenleiterzonen sind in den 6A bis 6D angegeben. In 6A ist die Grenzflächenzone 6 geringfügig gekrümmt. In 6B ist sie V-förmig. In 6C ist sie zickzackförmig. Schließlich ist 6D ein Beispiel für einen Koppler mit einer in Bezug auf die Bahn der einfallenden und ausgegebenen Strahlen oder in Bezug auf die Vertikale (mit einem Winkel von zum Beispiel 2–10 Grad zur Vertikalen) geneigten Grenzfläche.
  • Das Verstärkermaterial eines erfindungsgemäßen Kopplers kann zum Beispiel gebildet sein durch eine in InP vergrabene Struktur eines Lasers aus quaternärem InGaAsP oder aus Quantentrögen, mit dem für einen Verstärker typischen Elektroden- und Dotierungssystem, wie bereits in dem schon oben zitierten Artikel von L.B. Soldano beschrieben. Die transparente Zone kann durch das gleiche mit einem anderen Strom vorgespannte Material, einem InGaAsP-Material oder aus Quantentrögen mit vergrößerten verbotenen Energiebändern gebildet sein.
  • Die Techniken zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Kopplers nutzen die aus dem Stand der Technik bekannten Techniken. Diese Techniken sind zum Beispiel beschrieben in dem Werk von Y. Suematsutal. mit dem Titel „Handbook of Semiconductor Lasers and Photonic Integrated Circuits", Kapitel 13, Seiten 428 bis 458, Chapman und Hall, 1994. Eine erfindungsgemäße Struktur wird also mit den Standard-Herstellungsmethoden für Wellenleiter realisiert: Vergrabener Streifen, erhabener Streifen, belasteter Streifen,.... Die Technologie der Verstärker ist ihrerseits standardmäßig (vergrabene oder erhabene PIN-Struktur). Die verwendeten Integrationstechniken können sein: die stumpfe Kopplung, die selektive Epitaxie oder die gedämpfte Kopplung.
  • 7 ist ein Anwendungsbeispiel der Erfindung in einer integrierten Vorrichtung, zum Beispiel auf InP-Halbleiter. In dieser Mach-Zehnder-Vorrichtung ist der erste der Koppler (zum Beispiel ein 3-dB-Koppler) durch einen erfindungsgemäßen Koppler ersetzt.
  • Die in 7 beschriebene Vorrichtung umfasst nacheinander von links nach rechts einen Eingangswellenleiter 20, einen Eingangsverstärker 22 (der einen Vorverstärkungsschritt realisiert), einen erfindungsgemäßen Koppler 24 (hier einen rautenförmigen 1 × 2-Koppler mit ungleichem Verteilungsverhältnis und einer verstärkten Hälfte), zwei Ausgangsleitern 26, zwei Standardverstärkern 28 und einem Standard-2 × 2-Koppler 30.
  • Ein anderes Anwendungsbeispiel der Erfindung ist die Realisierung eines Verstärkers, der eine höhere optische Leistung als ein Standard-Halbleiterverstärker liefert. Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann dann als diskretes Bauelement verwendet werden oder mit anderen Funktionalitäten auf einem Halbleitersubstrat integriert werden. Zum Beispiel kann die erfindungsgemäße Vorrichtung am Ausgang eines Lasermodulators platziert sein, um den optischen Leistungspegel zu erhöhen.
  • Bei dieser Anwendung ist die einfallende Leistung bereits relativ hoch im Verhältnis zur Vorverstärkungsfunktion, für die die einfallende Leistung gering ist. Das Ziel dieses Typs von Anwendung ist also, eine hohe optische Leistung liefern zu können. Dieser Typ von Vorrichtung kann in der optischen Fernmeldetechnik zum Beispiel hinter einer Lichtquelle verwendet werden, um deren Leistungspegel zu erhöhen. Sie kann auch in einer Leitung zum Kompensieren der Verluste einer optischen Faser verwendet werden. In beiden Fällen ist der Vorteil der Erfindung im Vergleich zu einem (herkömmlicherweise verwendeten) Verstärker mit erbiumdotierter Faser, dass der erfindungsgemäße Verstärker monolithisch mit der Quelle integriert werden kann, um ein kompaktes Bauelement zu bilden.
  • Ein anderes Anwendungsbeispiel betrifft die Übertragungssysteme, bei denen ein streng linearer Verstärker notwendig ist. Zum Beispiel erfordert die Verstärkung von wellenlängengemultiplexten Signalen einen streng linearen Verstärker, um das Übersprechen zwischen Kanälen zu verhindern. Die Halbleiterverstärker werden jedoch schnell nichtlinear: oberhalb eines bestimmten optischen Leistungspegels nimmt ihre Verstärkung ab. In diesem Fall hängt die Transmission der Vorrichtung vom einfallenden Leistungspegel ab, was die Definition der Nichtlinearität ist. Dies kann jedoch diverse Probleme der Verformung der optischen Signale aufwerfen. Wenn zum Beispiel ein einfallendes Signal aus Lichtwellen mit mehreren Wellenlängen zusammengesetzt ist, bewirkt sein Durchgang durch eine nichtlineare Vorrichtung ein Übersprechen zwischen den verschiedenen Kanälen. Ein besser linearer Verstärker ermöglicht eine Verringerung des Ausmaßes dieses Problems. Ein typisches Beispiel ist das einer monolithisch integrierten Mehrwellenlängenquelle. Die erfindungsgemäße Vorrichtung. Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann als integrierter Verstärker zum Erhöhen des Ausgangsleistungspegels dienen.
  • Ein anderes Beispiel ist eine in eine Leitung integrierte Filtervorrichtung, wo das Signal (durch Filterung und Modulation) mit optischen Verlusten verarbeitet wird. In diesem Fall ermöglicht die Hinzufügung eines erfindungsgemäßen Verstärkers, den Leistungspegel ohne Verzerrung zu erhöhen.
  • Ein anderes Beispiel ist die Verwendung des Verstärkers zum Erzeugen des optischen Signals durch spektrale Umkehrung des opitischen Feldes. Hierfür werden die Vierwellen-Mischeigenschaften der Halbleiterverstärker ausgenutzt (siehe zum Beispiel den Artikel von T. Ducellier mit dem Titel „Study of Optical Phase Conjugation in Bulk Traveling Wave Semiconductor Optical Amplifier" erschienen in. IEEE Photonics Technology Letters Band 8 (4), Seite 530 (1996)). Ein streng linearer Verstärker gemäß der vorliegenden Erfindung verhält sich bei dieser Operation besser als ein herkömmlicher Halbleiterverstärker und kann ihn daher vorteilhaft ersetzen. Die Effektivität der Vierwellenmischung ist nämlich um so höher, je höher die Ausgangsleistung ist, was mit dem erfindungsgemäßen Verstärker erreicht werden kann.
  • Einem weiteren Beispiel zufolge sind die Wellenlängenwandler integrierte Vorrichtungen, die diverse optische Elemente wie etwa Wellenleiter, Y-Verbindungen, Koppler, Halbleiterverstärker enthalten. Um sie anzuwenden, sind hohe optische Leistungen erforderlich, was wenig praktisch ist. Die Erfindung kann daher vorteilhaft als integrierter Verstärker verwendet werden, in dem die gleichen Materialien wird bei den bereits auf dem Chip vorhandenen Verstärkern eingesetzt werden (diese werden außerdem in der Vorrichtung ihrer nichtlinearen Eigenschaften wegen eingesetzt). Aufgrund der anderen Geometrie dient die gleiche Verstärkerschicht als nichtlinearer oder linearer Verstärker, was die Realisierung erleichtert.

Claims (15)

  1. Vorrichtung zur optischen Verstärkung und Kopplung nach dem Multimoden-Interferenz-Prinzip, mit einem Multimoden-Wellenleiterabschnitt, der entlang einer vorgegebenen allgemeinen Ausbreitungsrichtung zwei Enden aufweist, von denen das eine wenigstens einen zum Empfangen des eintreffenden Lichtes vorgesehenen Eingang umfaßt, wobei die Form des Multimoden-Leiterabschnitts so gewählt ist, dass das Eingangslichtfeld am gegenüberliegenden Ende an einem oder mehreren Orten reproduziert wird, wobei entsprechende Ausgänge an diesen Orten zum Extrahieren des Lichtes geschaffen sind, wobei der Multimoden-Leiterabschnitt ferner ein Verstärkermaterial zum Verstärken des sich darin ausbreitenden Lichtes vor dessen Extraktion über den Ausgang/die Ausgänge enthält, dadurch gekennzeichnet, dass der Multimoden-Leiterabschnitt Verstärkermaterial nur auf einem ersten Bereich seiner Länge enthält, der sich vom Eingangsende des Abschnittes aus erstreckt, um die Strahlung in diesem ersten Längsbereich zu verstärken, wo sie räumlich dekonzentriert ist, wobei ein zweiter Längsbereich des Multimoden-Leiterabschnittes, der sich im Anschluß an den ersten Längsbereich erstreckt, aus einem einfach transparenten Material gemacht ist, um die Strahlung einfach räumlich zu rekonzentrieren, ohne die Verstärkung fortzusetzen, um jede Gefahr einer Sättigung beim Rekonzentrieren zu vermeiden.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Bereich sich bis zum Ausgangsende des Abschnittes erstreckt, um die Strahlung auf den Ausgang/die Ausgänge zu rekonzentrieren.
  3. Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass erster und zweiter Bereich durch eine gekrümmte Schnittstelle (6) getrennt sind.
  4. Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass erster und zweiter Bereich durch eine V-förmige Schnittstelle (6) getrennt sind.
  5. Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass erster und zweiter Bereich durch eine zickzackförmige Schnittstelle (6) getrennt sind.
  6. Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass erster und zweiter Bereich durch eine in Bezug auf den Weg eintretender (8) und austretender Strahlen (10) genesigte Schnittstelle (6) getrennt sind.
  7. Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Einmodenleiter an dem Ausgang/den Ausgängen des Multimoden-Leiterabschnittes angebracht ist.
  8. Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Verstärkermaterial eine in einem InP-Substrat vergrabene Struktur ist.
  9. Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Verstärkermaterial ein Lasermaterial ist.
  10. Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Lasermaterial quaternäres InGaAsP ist.
  11. Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Verstärkermaterial Quantentröge aufweist.
  12. Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach dem Multimoden-Interferenz-Prinzip nach einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen optischen Vorverstärker vor dem Multimoden-Wellenleiterabschnitt umfaßt.
  13. Verfahren zum Verstärken der Leistung einer eine Strahlung aussendenden Lichtquelle, das darin beruht, auf dem Weg der Strahlung eine Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach einem der Ansprüche 1 bis 12 zu platzieren.
  14. Verfahren zum Kompensieren der Verluste einer optischen Faser, das darin beruht, auf dem Weg einer sich in der optischen Faser ausbreitenden Strahlunng eine Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach einem der Ansprüche 1 bis 12 zu plazieren.
  15. Verfahren zum Verstärken von wellenlängengemultiplexten Signalen, das darin beruht, den Ausgangsleistungspegel mit Hilfe einer Vorrichtung zur Verstärkung und Kopplung nach einem der Ansprüche 1 bis 12 zu erhöhen.
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