DE69404079T2

DE69404079T2 - Photovervielfacher

Info

Publication number: DE69404079T2
Application number: DE69404079T
Authority: DE
Inventors: Akira Atsumi; Yutaka Hasegawa; Eiichiro Kawano; Tomihiko Kuroyanagi; Hiroyuki Kyushima; Masuya Mizuide; Koji Nagura
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 1993-04-28
Filing date: 1994-04-28
Publication date: 1997-11-06
Anticipated expiration: 2014-04-29
Also published as: US5510674A; DE69404079D1; EP0622826B1; EP0622826A1

Description

Bemerkungen zum Stand der Technik

In einem herkömmlichen Elektronenvervielfacher ist eine Vielzahl von Dynoden in vorbestimmten Abständen mehrschichtig angeordnet, um eine Dynodeneinheit zum Kaskadenvervielfachen eines einfallenden Elektronenflusses auszubilden. Im USA-Patent Nr. US-A-3 229 143 sind Isolierkugeln zwischen Dynoden eingefügt, um eine Dynodeneinheit auszubilden. Fig. 1 zeigt den Hauptteil dieses Aufbaus. Ein Durchgangsloch 103 ist in jeder Trägerplatte 101 zum Tragen der entsprechenden Dynodenstufe erzeugt. Eine zum Teil in die Öffnungsenden der Durchgangslöcher 103 eingepaßte Isolierkugel 102 ist zwischen die Trägerplatten 101 eingefugt. Die Isolierkugel 102 ist aus Pyrex erzeugt und weist einen Durchmesser auf, welcher größer als der Innendurchmesser des Durchgangslochs 103 ist. Andererseits bildet das Durchgangsloch 103 ein zylindrisches Loch aus, welches einen vorbestimmten Innendurchmesser aufweist.
Beim herkömmlichen Aufbau ist ein spitzwinkliger oder rechtwinkliger Kantenabschnitt (Kontaktabschnitt zum Isolierelement 102) am Öffnungsende des Durchgangslochs 103 ausgebildet. Wird dieser Abschnitt mit der Isolierkugel 102 in Kontakt gebracht, welche in einer Stapelrichtung gedrückt wird und sich verformt, können Grate am Kantenabschnitt erzeugt werden. Wenn der Kantenabschnitt, welcher mit der Isolierkugel 102 im Kontakt ist, verformt wird, nimmt der Abstand zwischen den benachbarten Trägerplatten 101 ab. Selbst wenn diese Erscheinung im geringen Maß an den Kantenabschnitten aller Durchgangslöcher 103 auftritt, ändern sich die Abstände zwischen den Dynoden und verursachen eine Veränderung des Vervielfachungsfaktors (Gewinn). Außerdem tritt infolge dieser Grate eine Feldkonzentration an den Kantenabschnitten auf und erzeugt Rauschen.
Wirkt auf die Isolierkugeln 102 eine Kraft in der Stapelrichtung ein, so wirkt über die Isolierkugeln 102 ein Druck auf die Trägerplatten 101. Demzufolge werden die einstückig mit den Trägerplatten 101 ausgebildeten Dynoden gebogen. Dies führt ebenfalls dazu, daß die Abstände zwischen den Dynoden ungleichmäßig werden.
Es ist die Aufgabe der Erfindung, einen Elektronenvervielfacher- und einen Photovervielfacheraufbau zu schaffen, welcher in der Lage ist, die vorstehend erwähnten Probleme zu lösen.
Es ist die Aufgabe der Erfindung, einen Aufbau zu schaffen, in welchem die Platten zum Tragen der Dynoden in vorbestimmten Abständen gehalten werden, um eine Veränderung des Vervielfachungsfaktors und das Rauschen zu minimieren sowie die Entladung zwischen den Dynodenplatten zu verhindern.
Gemäß einem Gesichtspunkt der Erfindung wird ein Elektronenvervielfacher aufgezeigt, welcher aufweist:
- eine Anodenplatte und
- eine Dynodeneinheit mit einer Vielzahl von Dynodenplatten, welche so gegenüber der Anodenplatte gestapelt sind, daß sich die letzte Dynodenplatte der Dynodeneinheit in Gegenüberlage der Anodenplatte befindet, die Dynodenplatten voneinander in vorbestimmten Abständen beabstandet sind und in dem Stapel durch Isolierelemente getragen werden, um die Dynodeneinheit in die Lage zu versetzen, das Kaskadenvervielfachen der darauf einfallenden Elektronen zu bewirken, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierelemente in einer Reihe mit jedem Isolierelement über die jeweiligen Durchgangslöcher in den Dynodenplatten im unmittelbaren Kontakt mit dem benachbarten Isolierelement oder den Isolierelementen angeordnet sind, jedes benachbarte Paar von Isolierelementen dazwischen einen Zwischenraum definiert und jede Dynodenplatte in einem jeweiligen Zwischenraum getragen wird.
Gemäß einem anderen Gesichtspunkt der Erfindung wird ein Photovervielfacher aufgezeigt, wie vorstehend beschrieben, welcher ferner eine Photokathode zum Aufnehmen von Photonen und zum Emittieren von Photoelektronen aufweist, die Dynodeneinheit zwischen der Photokathode und der Anodenplatte zum Aufnehmen der durch die Photokathode emittierten Photoelektronen angeordnet ist.
In einer Ausführungsform der nachstehend beschriebenen Erfindung ist der Elektronenvervielfacher auf einem Grundelement angeordnet und in einem Gehäuse angeordnet, welches mit dem Grundelement einstückig erzeugt ist, um einen Vakuumbehälter auszubilden. Die Photokathode ist innerhalb des Gehäuses ausgebildet und auf der Oberfläche einer Lichtaufnahmeplatte am Gehäuse angeordnet. Mindestens eine Anode wird durch eine Anodenplatte gehalten, welche zwischen der Dynodeneinheit und dem Grundelement angeordnet ist. Die Dynodeneinheit wird durch Stapeln einer Vielzahl von Stufen von Dynodenplatten, jeweils zum Tragen mindestens einer Dynode zum Aufnehmen und Kaskadenvervielfachen der von der Photokathode emittierten Photoelektronen, in einer Einfallsrichtung der Photoelektronen ausgebildet.
Das Gehäuse kann eine Innenwand aufweisen, auf welcher ein leitfähiges Metall zum Anlegen einer vorbestimmten Spannung an die Photokathode abgeschieden ist und welches durch ein vorbestimmtes leitfähiges Metall leitfähig gemacht ist, um die Potentiale des Gehäuses und der Photokathode auszugleichen.
Der erfindungsgemäße Photovervielfacher weist mindestens eine Fokussierelektrode zwischen der Dynodeneinheit und der Photokathode auf. Die Fokussierelektrode wird durch eine Fokussierelektrodenplatte getragen. Die Fokussierelektroden platte ist auf der Elektroneneinfallsseite der Dynodeneinheit durch Isolierelemente fest angeordnet. Die Fokussierelektrodenplatte weist Haltefedern und mindestens einen Kontaktanschluß auf, von denen alle mit dieser Platte einstükkig ausgebildet sind. Die Haltefedern sind mit der Innenwand des Gehäuses im Kontakt, um die Anordnungsposition der Dynodeneinheit zu erhalten, welche auf der Fokussierelektrodenplatte durch die Isolierelemente fest angeordnet ist. Der Kontaktanschluß ist mit der Photokathode im Kontakt, um die Potentiale der Fokussierelektroden und der Photokathode auszugleichen. Der Kontaktanschluß wirkt als eine Feder.
Eine Vielzahl von Anoden kann an der Anodenplatte angeordnet werden, und Elektronendurchgangslöcher, durch welche die Sekundärelektronen hindurchgehen, sind in der Anodenplatte entsprechend den Positionen ausgebildet, welche die von der letzten Stufe der Dynodeneinheit emittierten Sekundärelektronen erreichen. Daher weist der Photovervielfacher zwischen der Anodenplatte und dem Grundelement eine Invertierdynodenplatte zum Tragen mindestens einer Invertierdynode parallel zu der Anodenplatte auf. Die Invertierdynodenplatte invertiert die Bahnen der Sekundärelektronen, welche durch die Anodenplatte zu den Anoden hin verlaufen. Der Durchmesser der Elektroneneinfallsöffnung (Dynodeneinheitseite) des in der Anodenplatte ausgebildeten Elektronendurchgangslochs ist kleiner als der Durchmesser der Elektronenaustrittsöffnung (Invertierdynodenplattenseite). Die Invertierdynodenplatte weist in Positionen in Gegenüberlage der Anoden eine Vielzahl von Durchgangslöchern zum Injizieren eines Metalldampfs auf, um mindestens eine Sekundärelektronen-Emissionsschicht auf der Oberfläche jeder Dynode der Dynodeneinheit auszubilden.
Andererseits kann der erfindungsgemäße Photovervielfacher zwischen der Invertierdynodenplatte und dem Grundelement eine Abschirmelektrodenplatte zum Tragen mindestens einer Abschirmelektrode parallel zu der Invertierdynodenplatte aufweisen. Die Abschirmelektrodenplatte invertiert die Bahnen der Sekundärelektronen, welche durch die Anodenplatte verlaufen, zu den Anoden hin. Die Abschirmelektrodenplatte weist eine Vielzahl von Durchgangslöchern zum Injizieren eines Metalldampfs auf, um mindestens eine Sekundärelektronen- Emissionsschicht auf der Oberfläche jeder Dynode der Dynodeneinheit zu erzeugen. Anstelle dieser Abschirmelektrodenplatte kann ein Oberflächenabschnitt des Grundelements in Gegenüberlage der Anodenplatte als eine Elektrode verwendet werden und die Abschirmelektrodenplatte ersetzen.
Insbesondere weist der Elektronenvervielfacher eine Dynodeneinheit auf, welche durch Stapeln einer Vielzahl von Stufen der Dynodenplatten gebildet wird, die Dynodenplatten durch Isolierelemente in einer Einfallsrichtung des Elektronenflusses in vorbestimmten Abständen voneinander beabstandet sind, um jeweils mindestens eine Dynode zum Kaskadenvervielfachen eines Einfallselektronenflusses und eine Anodenplatte in Gegenüberlage der Dynodenplatte der letzten Stufe der Dynodeneinheit durch Isolierelemente zu tragen. Jede Dynodenplatte weist einen ersten Konkavabschnitt zum Anordnen eines ersten Isolierelements auf, welches auf der ersten Hauptoberfläche der Dynodenplatte angeordnet und teilweise im Kontakt mit dem ersten Konkavabschnitt ist, und einen zweiten Konkavabschnitt zum Anordnen eines zweiten Isolierelements, welches auf der zweiten Hauptoberfläche der Dynodenplatte angeordnet und teilweise im Kontakt mit dem zweiten Konkavabschnitt ist (der zweite Konkavabschnitt steht mit dem ersten Konkavabschnitt über ein Durchgangsloch in Verbindung). Das erste Isolierelement, welches auf dem ersten Konkavabschnitt angeordnete ist, und das zweite Isolierelement, welches auf dem zweiten Konkavabschnitt angeordnet ist, sind in dem Durchgangsloch miteinander im Kontakt. Ein Abstand zwischen dem Kontaktabschnitt zwischen dem ersten Konkavabschnitt und dem ersten Isolierelement und dem Kontaktabschnitt zwischen dem zweiten Konkavabschnitt und dem zweiten Isolierelement ist kleiner als der Abstand zwischen der ersten und der zweiten Hauptoberfläche der Dynodenplatte. Der vorstehend erwähnte Konkavabschnitt kann in der Anodenplatte, der Fokussierelektrodenplatte, der Invertierdynodenplatte und der Abschirmelektrodenplatte angeordnet sein.
Die folgenden Punkte sind zu.beachten. Der erste Punkt besteht darin, daß jeweils zwischen der Oberfläche des ersten Isolierelements und der Hauptoberfläche des ersten Konkavabschnitts sowie zwischen dem zweiten Isolierelement und der Hauptoberfläche des zweiten Konkavabschnitts Spalte erzeugt werden, um die Entladung zwischen den Dynodenplatten zu verhindern. Der zweite Punkt besteht darin, daß der Mittelpunkt des ersten Isolierelements, der Mittelpunkt des zweiten Isolierelements und der Kontaktpunkt zwischen dem ersten und dem zweiten Isolierelement auf derselben Linie in der Stapelrichtung der Dynodenplatten ausgerichtet sind, so daß die Abstände zwischen den Dynodenplatten ausreichend eingehalten werden können.
Bei Verwendung der kugelförmigen oder der runden, zylindrischen Körper als das erste und als das zweite Isolierelement ist der Photovervielfacher leicht herstellbar. Wenn runde, zylindrische Körper Verwendung finden, werden die Außenflächen dieser Körper einander in Kontakt gebracht. Die Form eines Isolierelements ist nicht auf diese begrenzt. Z. B. kann ein Isolierelement mit einem elliptischen Abschnitt oder einem Vieleckabschnitt ebenfalls verwendet werden, solange die Aufgabe der vorliegenden Erfindung erreicht werden kann.
In diesem Elektronenvervielfacher weist jede Dynodenplatte in einer vorbestimmten Position einer Seitenfläche ein Betätigungselement zum Zusammenwirken mit einem entsprechenden Verbindungsstift auf, um eine vorbestimmte Spannung anzulegen. Daher steht das Betätigungselement in einer senkrechten Richtung zur Einfalisrichtung der Photoelektronen vor. Das Betätigungselement wird durch ein Paar von Führungsstücken zum Führen des Verbindungsstifts gebildet. Andererseits kann ein Abschnitt nahe dem Endabschnitt des Verbindungsstifts, welcher mit dem Betätigungselement in Kontakt gebracht ist, aus einem Metall erzeugt werden, welches eine Festigkeit aufweist, die niedriger als die Festigkeit des verbleibenden Abschnitts ist.
Jede Dynodenplatte wird durch mindestens zwei Platten gebildet, wobei jede mindestens eine öffnung zur Erzeugung als Dynode aufweist und welche durch Verschweißen einstückig ausgebildet ist, so daß die Öffnungen zueinander passend sind, um als Dynode zu wirken, wenn die zwei Platten überlappt sind. Um diese zwei Platten durch Verschweißen einstückig auszubilden, weist jede der Platten mindestens ein vorstehendes Stück zum Verschweißen der entsprechenden zwei Platten auf. Die Seitenfläche der Platte ist mit Bezug auf die Einfallisrichtung der Photoelektronen parallel angeordnet.
Das Isolierelement, welches eine Kugelform oder dergleichen aufweist, ist mit dem in jeder Dynodenplatte ausgebildeten Konkavabschnitt im Kontakt. Die Isolierelemente sind untereinander in den Durchgangslöchern im Kontakt, welche sich durch die in den Hauptflächen der Dynodenplatten erzeugten Sitzlöcher erstrecken. Mit diesem Aufbau können die folgenden Wirkungen erzielt werden. Eine in der Stapelrichtung einwirkende Kraft wird vor allem durch die Reihen der Isolierelemente aufgenommen, und es wirkt keine übermäßige Kraft auf die Dynodenplatten ein. Da sich das Isolierelement mit den Sitzlöchern in den Dynodenplatten im Kontakt befindet, stimmen die Mitten des oberen und des unteren Isolierelements mit dem Mittelabschnitt des Durchgangslochs überein. Demzufolge ist das Positionieren der Dynodenplatten in der waagerechten Richtung leicht ausführbar. Außerdem wird der Kantenabschnitt der Öffnung nicht gedrückt und verformt, wie es beim Stand der Technik der Fall ist.
Der Kontaktabschnitt zwischen dem Isolierelement und dem Konkavabschnitt ist in der Dickenrichtung der Dynodenplatte angeordnet, mehr als die Hauptoberfläche der Dynodenplatte, welche den Konkavabschnitt aufweist. Daher können die Abstände zwischen den Dynodenplatten wesentlich vergrößert werden (Fig. 8 und Fig. 9).
Die Entladung zwischen den Dynodenplatten wird oft durch Staub oder dergleichen verursacht, welcher sich auf der Oberfläche des Isolierelements abgesetzt hat. In dem erfindungsgemäßen Aufbau sind jedoch die Abstände zwischen den Dynodenplatten wesentlich vergrößert, wodurch sich ein Aufbau ergibt, welcher die Entladung wirksam verhindert.
Die Erfindung wird aus der nachstehenden, ausführlichen Beschreibung mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen besser verständlich. Die Beschreibung und die Zeichnungen dienen nur der Veranschaulichung und sind nicht als Begrenzung der vorliegenden Erfindung anzusehen. wenngleich die Erfindung unter Bezugnahme auf spezielle Ausführungsformen, die zu Erläuterungszwecken gewählt wurden, beschrieben worden ist, so sollte klar sein, daß zahlreiche Änderungen und Abwandlungen am Erfindungsgegenstand vorgenommen werden können, die dem Fachmann bei Kenntnis der durch die Erfindung vermittelten Lehre nahegelegt sind, die jedoch als in den Rahmen der Erfindung fallend anzusehen sind.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 zeigt eine Schnittansicht des Aufbaus eines herkömmlichen Elektronenvervielfachers,
Fig. 2 zeigt eine perspektivische Teilausschnittansicht des Gesamtaufbaus eines erfindungsgemäßen Photovervielfachers,
Fig. 3 zeigt eine Schnittansicht einer typischen Form eines Konkavabschnitts, welcher in einer Dynodenplatte in dem Photovervielfacher der Fig. 2 ausgebildet ist,
Fig. 4 zeigt eine Schnittansicht der ersten Form des Konkavabschnitts als ein erstes Ausführungsbeispiel des in Fig. 3 gezeigten Konkavabschnitts,
Fig. 5 zeigt eine Schnittansicht der zweiten Form des Konkavabschnitts als ein zweites Ausführungsbeispiel des in Fig. 3 gezeigten Konkavabschnitts,
Fig. 6 zeigt eine Schnittansicht der dritten Form des Konkavabschnitts als ein drittes Ausführungsbeispiel des in Fig. 3 gezeigten Konkavabschnitts,
Fig. 7 zeigt eine Schnittansicht der vierten Form des Konkavabschnitts als ein viertes Ausführungsbeispiel des in Fig. 3 gezeigten Konkavabschnitts,
Fig. 8 zeigt eine Schnittansicht des Aufbaus zwischen den Dynodentragelementen in dem herkömmlichen Photovervielfacher als ein Vergleichsbeispiel,
Fig. 9 zeigt eine Schnittansicht des Aufbaus zwischen den Dynodenplatten,
Fig. 10 zeigt eine Schnittseitenansicht des einfachen Innenaufbaus des Photovervielfachers, in welcher ein Metallgehäuse aufgeschnitten ist,
Fig. 11 zeigt eine Draufsicht des Photovervielfachers in Fig. 2 und Fig. 10,
Fig. 12 zeigt eine Schnittseitenansicht, insbesondere eines Elektronenvervielfachers in dem in Fig. 10 gezeigten Photovervielfacher,
Fig. 13 zeigt eine vergrößerte Schnittansicht eines Teils einer Dynodeneinheit,
Fig. 14 zeigt eine vergrößerte, perspektivische Ansicht des ersten Aufbaus der Dynodenplatte und eines Isolierelements, und
Fig. 15 zeigt eine vergrößerte, perspektivische Ansicht des zweiten Aufbaus der Dynodenplatte und eines Isolierelements.

AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN DER ERFINDUNG

Fig. 2 zeigt eine perspektivische Ansicht des Gesamtaufbaus eines erfindungsgemäßen Photovervielfachers. In Fig. 2 wird der Photovervielfacher im wesentlichen durch eine Photokathode 3 und einen Elektronenvervielfacher ausgebildet. Der Elektronenvervielfacher weist Anoden (Anodenplatte 5) und eine Dynodeneinheit 60 auf, welche zwischen der Photokathode 3 und den Anoden angeordnet ist.
Der Elektronenvervielfacher ist auf einem Grundelement 4 und in einem Gehäuse 1 angeordnet, welches einstückig mit dem Grundelement 4 ausgebildet ist, um einen Vakuumbehälter zu erzeugen. Die Photokathode 3 ist im Inneren des Gehäuses 1 und auf der Oberfläche einer Lichtaufnahmeplatte 2 am Gehäuse 1 angeordnet. Die Anoden werden durch die Anodenplatte 5 getragen und sind zwischen der Dynodeneinheit 60 und dem Grundelement 4 angeordnet. Die Dynodeneinheit 60 wird durch Stapeln einer Vielzahl von Stufen von Dynodenplatten 6 in der Einfallsrichtung der Photoelektronen ausgebildet, jeweils zum Tragen einer Vielzahl von Dynoden 603 (Fig. 3) zum Aufnehmen und Kaskadenvervielfachen von aus der Photokathode 3 emittierten Photoelektronen.
Der Photovervielfacher weist auch Fokussierelektroden 8 zwischen der Dynodeneinheit 60 und der Photokathode 3 auf, zum Korrigieren der Bahnen der von der Photokathode 3 emittierten Photoelektronen. Diese Fokussierelektroden 8 werden durch eine Fokussierelektrodenplatte 7 getragen. Die Fokussierelektrodenplatte 7 ist auf der Elektroneneinfallsseite der Dynodeneinheit 60 durch die Isolierelemente 8a und 8b fest angeordnet. Die Fokussierelektrodenplatte 7 weist Haltefedern 7a und Kontaktanschlüsse 7b auf, welche alle einstückig mit dieser Fokussierelektrodenplatte 7 ausgebildet sind. Die Haltefedern 7a sind mit der Innenwand des Gehäuses 1 im Kontakt, um die Anordnungsposition der Dynodeneinheit 60 zu halten, welche auf der Fokussierelektrodenplatte 7 durch die Isolierelemente 8a und 8b fest angeordnet ist. Die Kontaktanschlüsse 7b sind mit der Photokathode 3 im Kontakt, um die Potentiale der Fokussierelektroden 8 und der Photokathode 3 auszugleichen, und sie wirken als Federn. Wenn die Fokussierelektrodenplatte 7 keinen Kontaktanschluß 7b aufweist, kann das Gehäuse 1 eine Innenwand aufweisen, auf welcher ein leitfähiges Metall zum Anlegen einer vorbestimmten Spannung an die Photokathode 3 abgeschieden ist, und der Kontaktabschnitt zwischen dem Gehäuse 1 und der Photokathode 3 kann durch ein vorbestimmtes, leitfähiges Metall 12 leitfähig gemacht werden&sub1; um die Potentiale des Gehäuses 1 und der Photokathode 3 auszugleichen. Obgleich sowohl die Kontaktanschlüsse 7b als auch das leitfähige Metall 12 in Fig. 2 gezeigt sind, kann ein Aufbau ausgewählt und in einer kon kreten Umsetzung verwirklicht werden.
Die Anode wird durch die Anodenplatte 5 getragen. Eine Vielzahl von Anoden kann auf dieser Anodenplatte 5 angeordnet werden, und Elektronendurchgangslöcher, durch welche Sekundärelektronen hindurchgehen, sind in der Anodenplatte 5 entsprechend den Positionen ausgebildet, welche die von der Dynode der letzten Stufe der Dynodeneinheit 60 emittierten Sekundärelektronen erreichen. Daher weist dieser Photovervielfacher zwischen der Anodenplatte 5 und dem Grundelement 4 eine Invertierdynodenplatte 13 zum Tragen der Invertierdynoden parallel zu der Anodenplatte 5 auf. Die Invertierdynodenplatte 13 invertiert die Bahnen der Sekundärelektronen&sub1; welche durch die Anodenplatte 5 zu den Anoden hin verlaufen. Der Durchmesser der Elektroneneinfallsöffnung (auf der Seite der Dynodeneinheit 60) des in der Anodenplatte 5 ausgebildeten Elektronendurchgangslöchs ist kleiner als der Durchmesser der Elektronenaustrittsöffnung (auf der Seite der Invertierdynodenplatte 13). Die Invertierdynodenplatte 13 weist in Positionen in Gegenüberlage der Anoden eine Vielzahl von Durchgangslöchern zum Injizieren eines Metalldampfs zum Erzeugen einer Sekundärelektronen-Emissionsschicht auf der Oberfläche jeder Dynode 603 der Dynodeneinheit 60 auf.
Andererseits kann der Photovervielfacher zwischen der Invertierdynodenplatte 13 und dem Grundelement 4 eine Abschirmelektrodenplatte 14 zum Tragen der Abschirmelektroden parallel zu der Invertierdynodenplatte 13 aufweisen. Die Abschirmelektrodenplatte 14 invertiert die Bahnen der Sekundärelektronen, welche durch die Anodenplatte 5 zu den Anoden hindurchgehen. Die Abschirmelektrodenplatte 14 weist eine Vielzahl von Durchgangslochern zum Injizieren eines Metalldampfs auf, um eine Sekundärelektronen-Emissionsschicht auf der Oberfläche jeder Dynode 603 der Dynodeneinheit 60 zu erzeugen. Anstelle dieser Abschirmelektrodenplatte 14 kann ein Oberflächenabschnitt 4a des Grundelements 4 in Gegenüberlage der Anodenplatte 5 als eine Abschirmelektrode verwendet werden und die Abschirmelektrodenplatte 14 ersetzen.
Insbesondere weist der Elektronenvervielfacher eine Dynodeneinheit 60 auf, welche durch Stapeln einer Vielzahl von Stufen von Dynodenplatten 6 gebildet wird, welche durch die Isolierelemente 8a und 8b in der Einfallsrichtung des Elektronenflusses in vorbestimmten Abständen voneinander beabstandet sind, und jede Dynodenplatte 6 eine Vielzahl von Dynoden 603 zum Kaskadenvervielfachen eines einfallenden Elektronenflusses trägt und die Anodenplatte 5 in Gegenüberlage der Dynodenplatte 6 der letzten Stufe der Dynodeneinheit 60 durch die Isolierelemente 8a und 8b beabstandet ist.
In diesem Elektronenvervielfacher weist jede Dynodenplatte 6 in einer vorbestimmten Position einer Seitenfläche der Platte ein Betätigungselement 9 auf, um mit einem entsprechenden Verbindungsstift 11 zum Anlegen einer vorbestimmten Spannung in Wirkverbindung zu treten. Die Seitenfläche der Dynodenplatte 6 ist mit Bezug auf die Einfallsrichtung der Photoelektronen parallel. Das Betätigungselement 9 wird durch ein Paar von Führungsstücken 9a und 9b zum Führen des Verbindungsstifts 11 gebildet. Das Betätigungselement kann einen hakenförmigen Aufbau aufweisen (Betätigungselement 99, gezeigt in Fig. 2). Die Form dieses Betatigungselements ist nicht besonders begrenzt, solange der Verbindungsstift 11 aufgenommen wird und mit dem Betätigungselement in Wirkverbindung tritt. Andererseits kann ein Abschnitt nahe dem Endabschnitt des Verbindungsstifts 11, welcher mit dem Betätigungselement 9 in Kontakt gebracht wird, aus einem Metall hergestellt sein, welches eine Festigkeit aufweist, die geringer als die Festigkeit des verbleibenden Abschnitts ist.
Jede verwendete Dynodenplatte 6 wird durch zwei Platten 6a und 6b ausgebildet, welche Öffnungen zum Erzeugen der Dynoden aufweisen und durch Verschweißen einstückig ausgebil det werden, so daß die Öffnungen einander zusammengepaßt werden, um als Dynoden zu wirken, wenn die zwei Platten einander überlappen. Um die zwei Platten 6a und 6b durch Verschweißen einstückig auszubilden, weisen die zwei Platten 6a und 6b Vorsprungstücke 10 zum Verschweißen der entsprechenden Vorsprungstücke in vorbestimmten Positionen auf, welche zusammenpassen, wenn die zwei Platten 6a und 6b einander überlappen
Der Aufbau jeder Dynodenplatte 6 zum Ausbilden der Dynodeneinheit 60 wird nachstehend beschrieben. Fig. 3 zeigt eine Schnittansicht der Form der Dynodenplatte 6. In Fig. 3 weist die Dynodenplatte 6 einen ersten Konkavabschnitt 601a zum Anordnen eines ersten Isolierelements 80a auf, welches auf einer ersten Hauptoberfläche der Dynodenplatte 6 angeordnet ist und teilweise mit dem ersten Konkavabschnitt 601a im Kontakt ist, und einen zweiten Konkavabschnitt 601b zum Anordnen eines zweiten Isolierelements 80b, welches auf einer zweiten Hauptoberfläche der Dynodenplatte 6 angeordnet ist und teilweise mit dem zweiten Konkavabschnitt 601b im Kontakt ist (der zweite Konkavabschnitt 601b steht mit dem ersten Konkavabschnitt 601a über ein Durchgangsloch 600 in Verbindung). Das erste Isolierelement 80a, angeordnet auf dem ersten Konkavabschnitt 601a, und das zweite Isolierelement 80b, angeordnet auf dem zweiten Konkavabschnitt 601b, sind in dem Durchgangsloch 600 miteinander im Kontakt. Ein Abstand zwischen dem Kontaktabschnitt 605a zwischen dem ersten Konkavabschnitt 601a und dem ersten Isolierelement 80a sowie dem Kontaktabschnitt 605b des zweiten Konkavabschnitts 601b und dem zweiten Isolierelement 80b ist geringer als der Abstand (Dicke der Dynodenplatte 6) zwischen der ersten und der zweiten Hauptoberfläche der Dynodenplatte 6.
Die Spalte 602a und 602b sind jeweils zwischen der Oberfläche des ersten Isolierelements 80a und der Hauptoberfläche des ersten Konkavabschnitts 601a sowie zwischen dem zweiten Isolierelement 80b und der Hauptoberfläche des zweiten Konkavabschnitts 601b ausgebildet, um die Entladung zwischen den Dynodenplatten 6 zu verhindern. Ein Mittelpunkt 607a des ersten Isolierelements 80a, ein Mittelpunkt 607b des zweiten Isolierelements 80b und ein Kontaktpunkt 606 zwischen dem ersten Isolierelement 80a und dem zweiten Isolierelement 80b sind auf derselben Linie 604 in der Stapelrichtung der Dynodenplatten 6 so angeordnet, daß die Abstände zwischen den Dynodenplatten 6 ausreichend erhalten werden können.
Bei Verwendung der kugelförmigen Körper 8a oder der runden, zylindrischen Körper 8b als das erste Isolierelement 80a und das zweite Isolierelement 80b (Isolierelemente 8a und 8b in Fig. 2) ist der Photovervielfacher leicht herstellbar. Werden runde, zylindrische Körper verwendet, werden die Oberflächenseiten der runden, zylindrischen Körper miteinander in Kontakt gebracht. Die Form des Isolierelements ist nicht auf diese begrenzt. Z. B. kann ein Isolierelement mit einem elliptischen oder einem vieleckigen Abschnitt ebenfalls verwendet werden, solange die Aufgabe der Erfindung erreichbar ist. In Fig. 3 bezeichnet das Bezugszeichen 603 eine Dynode. Eine Sekundärelektronen-Emissionsschicht, welche ein Alkalimetall aufweist, ist auf der Oberfläche dieser Dynode er zeugt.
Die Formen des Konkavabschnitts werden nachstehend mit Bezug auf Fig. 4 - 7 beschrieben. Zum Zweck der Vereinfachung der Beschreibung ist in Fig. 4 - 7 nur die erste Hauptoberfläche der Dynodenplatte 6 erläutert.
Der erste Konkavabschnitt 601a wird im wesentlichen durch eine Oberfläche gebildet, welche einen vorbestimmten Neigungswinkel (α) mit Bezug auf die Dickenrichtung der Dynodenplätte 6 aufweist, wie in Fig. 4 gezeigt ist.
Dieser erste Konkavabschnitt 601a kann durch eine Vielzahl von Oberflächen gebildet sein, welche vorbestimmte Neigungswinkel (α und β) mit Bezug auf die Dickenrichtung der Dynodenplatte 6 aufweisen, wie in Fig. 5 gezeigt ist.
Die Oberfläche des ersten Konkavabschnitts 601a kann eine gekrümmte Oberfläche mit einer vorbestimmten Krummung sein, wie in Fig. 6 gezeigt ist. Die Krümmung der Oberfläche des ersten Konkavabschnitts 601a wird geringer als die Krümmung des ersten Isolierelements 80a eingestellt, wobei der Spalt 602a zwischen der Oberfläche des ersten Konkavabschnitts 601a und der Oberfläche des ersten Isolierelements 80a erzeugt wird.
Um einen stabilen Kontaktzustand mit Bezug auf das erste Isolierelement 80a zu erreichen, kann eine Oberfläche, wel che mit dem ersten Isolierelement 80a in Kontakt zu bringen ist, am ersten Konkavabschnitt 601a vorgesehen werden, wie in Fig. 7 gezeigt ist. In dieser Ausführungsform kann ein Aufbau, welcher eine hohe mechanische Festigkeit gegenüber einem Druck in der Dickenrichtung der Dynodenplatte 6 aufweist, selbst im Vergleich zu den vorstehend beschriebenen Ausführungsformen in Fig. 4 - 6, erreicht werden.
Die Einzelheiten des Aufbaus zwischen den nahe zueinander angeordneten Dynodenplatten 6 der Dynodeneinheit 60 werden nachstehend mit Bezug auf Fig. 8 und Fig. 9 beschrieben. Fig. 8 zeigt eine Teilschnittansicht des herkömmlichen Photovervielfachers als ein Vergleichsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Fig. 9 zeigt eine Teuschnittansicht des erfindungsgemäßen Photovervielfachers.
In dem in Fig. 8 gezeigten Vergleichsbeispiel ist der Abstand zwischen den Trägerplatten 101, welche keinen Konkavabschnitt aufweisen, nahezu derselbe wie ein Abstand A (zwischen den Kontaktabschnitten E zwischen den Trägerplatten 101 und dem Isolierelement 102) entlang der Oberfläche des Isolierelements 102.
Da andererseits in einer in Fig. 9 gezeigten erfindungsgemäßen Ausführungsform die Konkavabschnitte ausgebildet sind, ist ein Abstand B (zwischen den Kontaktabschnitten E zwischen den Platten 6a und 6b sowie dem Isolierelement 8a) entlang der Oberfläche des Isolierelements 8a größer als der Abstand zwischen den Platten 6a und 6b. Allgemein wird angenommen, daß die Entladung zwischen den Platten 6a und 6b entlang der Oberfläche des Isolierelements 8a infolge von Staub oder dergleichen, welcher sich auf der Oberfläche des Isolierelements 8a abgesetzt hat, verursacht wird. Wenn daher, wie in dieser Ausführungsform gezeigt (Fig. 9)1 die Konkavabschnitte ausgebildet sind, vergrößert sich im wesentlichen der Abstand B entlang der Oberfläche des Isolierelements 8a, im Vergleich zu dem Abstand zwischen den Platten 6a und 6b, wobei die Entladung verhindert wird, welche eintritt, wenn das Isolierelement 8a zwischen den Platten 6a und 6b eingefügt ist.
Fig. 10 und Fig. 11 zeigen jeweils eine Schnittansicht und eine Draufsicht des Photovervielfachers gemäß dieser Ausführungsform. In diesem Photovervielfacher wird ein Vakuumbehälter durch die runde Lichtaufnahmeplatte 2 zum Aufnehmen des einfallenden Lichts, das zylindrische Metallgehäuse 1, welches entlang dem Außenumfang der Lichtaufnahmeplatte 2 angeordnet ist, und den runden Steg 4 zum Ausbilden des Grundelements erzeugt. Der Elektronenvervielfacher zum Kaskadenvervielfachen des einfallenden Elektronenflusses ist in diesem Vakuumbehälter angeordnet.
Dieser Elektronenvervielfacher weist die Dynodeneinheit 60 und die Anoden auf, welche durch die Anodenplatte 5 getragen werden.
Die Photokathode 3 ist auf der unteren Oberfläche der Lichtaufnahmeplatte 2 angeordnet. Die Fokussierelektrodenplatte 7 zum Tragen der Fokussierelektroden 8 ist zwischen der Photokathode 3 und dem Elektronenvervielfacher angeordnet. Daher werden die Bahnen der von der Photokathode 3 emittierten Photoelektronen durch die Fokussierelektroden 8 fokussiert und treffen auf einen vorbestimmten Abschnitt des Elektronenvervielfachers auf.
In dem Elektronenvervielfacher wird die Dynodeneinheit 60 durch Stapeln einer Vielzahl von Stufen von Dynodenplatten 6 jeweils zum Tragen der Dynoden ausgebildet, und die Anodenplatte 5 zum Tragen der Anoden und die Invertierdynodenplatte 13 zum Tragen der Invertierdynoden sind nacheinander unter der Dynodeneinheit 60 angeordnet.
Zwölf Verbindungsstifte 11, welche mit den äußeren Spannungsanlegeanschlüssen verbunden sind, um eine vorbestimmte Spannung an die Dynodenplatten 6 und 13 anzulegen, erstrekken sich durch den Steg 4, welcher als das Grundelement dient. Jeder Verbindungsstift 11 ist in einem vorbestimmten Abschnitt durch das vakuumdichte Glas 15 fest am Steg 4 angeordnet. Die Länge vom Steg 4 zu dem körperfernen Ende jedes Verbindungsstifts 11 ändert sich in Abhängigkeit von den zu verbindenden Dynodenplatten. Das körperferne Ende jedes Verbindungsstifts 11 ist am Verbindungsanschluß (Betätigungselement 9) der entsprechenden Dynodenplatte 6 durch Widerstandsschweißen angeordnet.
Fig. 12 zeigt eine vergrößerte Schnittansicht, welche insbesondere den Elektronenvervielfacher in diesem Photovervielfacher darstellt. Die Fokussierelektrodenplatte 7 zum Tragen der Fokussierelektroden 8, die Dynodenplatten 6 zum Tragen der Dynoden 603 zum Ausbilden des Elektronenvervielfachers, die Invertierdynodenplatte 13 und die Anodenplatte 5 zum Tragen der Anoden sind durch die keramischen Isolierkugeln 8a in vorbestimmten Abständen gestapelt. Die Vielzahl der Isolierkugeln 8a ist entlang den Kanten der Dynodenplatten 6 angeordnet.
Fig. 13 zeigt eine vergrößerte Schnittansicht der Dynodeneinheit 60. Jede Dynodenplatte 6 wird durch eine obere Elektrode (erste Platte 6a) und eine untere Elektrode (zweite Platte 6b) gebildet, welche miteinander verbunden sind. Die Dynode 603, welche eine gekrümmte Innenfläche aufweist, ist in den Platten 6a und 6b ausgebildet. Das Durchgangsloch 600, welches sich vom Konkavabschnitt 601a der ersten Platte 6a zu dem Konkavabschnitt 601b der zweiten Platte 6b erstreckt, ist in einem Abschnitt erzeugt, in welchem die Isolierkugel 8a angeordnet ist. Daher sind die oberen und die unteren Abschnitte der Isolierkugeln 8a jeweils in den Konkavabschnitt 601a der Dynodenplatte 6 der oberen Stufe und in den Konkavabschnitt 601b der Dynodenplatte 6 der unteren Stufe (Fig. 14) eingepaßt, um mit den Dynodenplatten 6 der oberen Stufe und der unteren Stufe in Wirkverbindung zu treten.
In dem Durchgangsloch 600 sind die oberen und die unteren Isolierkugeln 8a miteinander im Kontakt. Demzufolge sind die Mittelpunkte der Reihen von Isolierkugeln 8a auf derselben Linie 604 ausgerichtet. In allen Dynodenplatten 6 weist das 20 Durchgangsloch einen gleichmäßigen Durchmesser auf, die Konkavabschnitte 601a und 601b haben dieselbe Größe, und die Oberflächen der Konkavabschnitte weisen denselben Neigungswinkel mit Bezug auf die Linie 604 auf. Die Isolierkugeln 8a, welche sich zueinander in Gegenüberlage befinden, weisen ebenfalls dieselbe Größe (denselben Durchmesser) auf. Daher stimmt die Mittelachse der Durchgangslöcher 600 immer mit den Mittelpunkten der Isolierkugeln 8a überein. Demzufolge sind die Dynodenplatten 6 gegenüber der Invertierdynodenplatte 13 nicht in der waagerechten Richtung verschoben, und es können vorbestimmte Abstände eingehalten werden. In dieser Ausführungsform werden Isolierkugeln 8a verwendet, welche einen Durchmesser von 0,66 mm aufweisen, und der Abstand zwischen den Dynodenplatten 6, welche in der senkrechten Richtung benachbart sind, beträgt 0,25 mm. Bei diesem Aufbau können die Dynodenplatten 6, die Invertierdynodenplatte 13, die Anodenplatte 5 und die Fokussierelektrodenplatte 7 leicht und exakt angeordnet werden.
Der Abstand zwischen den Dynodenplatten 6 entlang der Oberfläche der Isolierkugel 8a nimmt im Vergleich zum Stand der Technik zu (Fig. 8 und Fig. 9). Demzufolge kann die Entladung, welche entlang der Oberfläche der Isolierkugel 8a auftritt, verhindert werden, um das infolge dieser Entladung verursachte Geräusch zu vermindern.
In dieser Ausführungsform wird die Isolierkugel 8a als ein isolierendes Abstandselement verwendet. Es ist jedoch nicht auf die Kugel begrenzt, und ein runder, zylindrischer Isolierkörper 8b kann ausgebildet werden, wie in Fig. 15 gezeigt ist. Auch mit dieser Form können dieselbe Funktion und Wirkung erreicht werden. In diesem Fall können die entsprechenden Konkavabschnitte 601a und 601b der Dynodenplatten 6 ausgebildet werden, daß sie Formen aufweisen und Positionen einnehmen, welche zur Außenfläche dieses runden, zylindrischen Körpers 8b passen.
Außerdem ist in dieser Ausführungsform ein Konkavabschnitt in der Dynodenplatte 6 ausgebildet, um die Dynoden zu tragen. Ein ähnlicher Konkavabschnitt kann jedoch in einer vorbestimmten Position eines Elements zum Ausbilden einer einzelnen Dynode erzeugt werden.
In dem erfindungsgemäßen Photovervielfacher ist ein isolierendes Abstandselement, welches zwischen den zwei Dynodenplatten angeordnet ist, als ein kugelförmiger oder runder, zylindrischer Körper ausgebildet (nachstehend als der kugelförmige Körper oder dergleichen bezeichnet), und der kugelförmige Körper oder dergleichen wird durch die Seitenflächen der Konkavabschnitte aufgenommen, welche in den Dynodenplatten erzeugt sind. Bei diesem Aufbau wird der Kontaktabschnitt mit Bezug auf den kugelförmigen Körper oder dergleichen im Gegensatz zum Stand der Technik nicht gedrückt und verformt. Die kugelförmigen Körper werden in dem Durchgangsloch miteinander in Kontakt gebracht. Aus diesem Grund wird selbst dann, wenn eine Kraft in der Stapelrichtung auf den kugelförmigen Körper oder dergleichen einwirkt, diese Kraft hauptsächlich auf eine Reihe von kugelförmigen Körpern oder dergleichen übertragen, um die Verformung der Dynodenplatten zu verhindern. Deshalb können die vorbestimmten Abstände zwischen den Dynodenplatten eingehalten werden. Da im Gegensatz zum Stand der Technik kein Grat im Kantenabschnitt des Durchgangslochs erzeugt wird, ist das infolge der Feldkonzentration verursachte Rauschen vermindert, und eine Veränderung des Vervielfachungsfaktors ist ebenfalls minimierbar.
Die Mitte jedes kugelförmigen Körpers oder dergleichen entspricht der Mitte jedes Durchgangslochs, wenn die Dynodenplatten gestapelt sind. Daher können Abweichungen der Dynodenplatten in der waagerechten Richtung verhindert werden, um die Veränderung des Vervielfachungsfaktors zu minimieren.
Beim Stand der Technik ist der Kantenabschnitt des Durchgangslochs im unmittelbaren Kontakt mit dem kugelförmigen Körper. Jedoch in der vorliegenden Erfindung werden die Oberflächenseiten der Konkavabschnitte, welche in den Dynodenplatten ausgebildet sind, mit dem kugelförmigen Körper oder dergleichen in Kontakt gebracht. Daher kann der Abstand zwischen den Dynodenplatten entlang der Oberfläche des kugelförmigen Körpers im Vergleich zum Stand der Technik vergrößert werden. Aus diesem Grund können die Entladung entlang der Oberfläche des kugelförmigen Körpers verhindert und das Rauschen minimiert werden.
Die Erfindung ist jedoch nicht auf die im Zusammenhang mit der Ausführungsform beschriebenen Einzelheiten begrenzt, vielmehr sollte klar sein, daß Abwandlungen und Abänderungen nahegelegt sind, die jedoch als in den Rahmen der folgenden Ansprüche fallend anzusehen sind.

Claims

1. Elektronenvervielfacher mit:

- einer Anodenplatte (5) und

- einer Dynodeneinheit (60), welche eine Vielzahl von Dynodenplatten (6) aufweist, welche gegenüber der Anodenplatte so gestapelt sind, daß die letzte Dynodenplatte der Dynodeneinheit (60) in Gegenüberlage der Anodenplatte (5) angeordnet ist, die Dynodenplatten (6) in vorbestimmten Abständen voneinander beabstandet sind und in dem Stapel von Isolierelementen (8a, 8b, 80a, 80b) getragen werden, um es der Dynodeneinheit zu ermöglichen, das Kaskadenvervielfachen der darauf einfallenden Elektronen auszuführen,

dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierelemente (8a, 8b, 80a, 80b) mit jedem Isolierelement, welches über die jeweiligen Durchgangslöcher (600) der Dynodenplatten (6) im unmittelbaren Kontakt mit dem benachbarten Isolierelement oder den benachbarten Isolierelementen in einer Reihe angeordnet sind, jedes benachbarte Paar von Isolierelementen dazwischen einen Zwischenraum ausbildet und jede Dynodenplatte innerhalb eines jeweiligen Zwischenraums getragen wird.

2. Elektronenvervielfacher gemäß Anspruch 1, wobei jede Dynodenplatte (6) aufweist:

- eine erste Vertiefung (601a), ausgebildet in einer ersten Hauptoberfläche der Dynodenplatte zum Aufnehmen eines ersten Isolierelements (80a), welches mit der ersten Vertiefung in einem ersten Kontaktabschnitt (605a) im Kontakt ist,

- eine zweite Vertiefung (601b), ausgebildet in einer zweiten Hauptoberfläche der Dynodenplatte zum Aufnehmen eines zweiten Isolierelements (80b), welches mit der zweiten Vertiefung in einem zweiten Kontaktabschnitt (605b) im Kontakt ist, die zweite Vertiefung (601b) mit der ersten Vertietung (601a) über das Durchgangsloch (600) in Verbindung ist, und wobei der Innenabschnitt des Durchgangslochs zwischen dem ersten Kontaktabschnitt (605a) und dem zweiten Kontaktabschnitt (605b) kleiner als der Innenabschnitt des Durchgangslochs zwischen der ersten und der zweiten Hauptoberfläche ist.

3. Elektronenvervielfacher gemäß Anspruch 2, wobei die jeweiligen Spalte (602a, 602b) so zwischen dem ersten Isolierelement (80a) und der ersten Vertiefung (601a) sowie zwischen dem zweiten Isolierelement (80b) und der zweiten Vertiefung (601b) ausgebildet sind, um die Entladung zwischen benachbarten Dynodenplatten (6) zu verhindern.

4. Elektronenvervielfacher gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Aufeinanderfolge der Isolierelemente so eingerichtet ist, daß sich ein Mittelpunkt (607a) eines Isolierelements (80a), ein Mittelpunkt (607b) eines anderen Isolierelements (80b) und ein Kontaktpunkt (606) zwischen dem ersten Isolierelement (80a) und dem zweiten Isolierelement (80b) auf einer Linie befinden.

5. Elektronenvervielfacher gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, welcher ferner eine Fokussierelektrodenplatte (7) zum Tragen mindestens einer Fokussierelektrode (8) auf der Dynodeneinheit (60) aufweist, um darauf einfallende Elektronen aufzunehmen und um die Bahnen der einfallenden Elektronen zu korrigieren, die Fokussierelektrodenplatte (7) an einer Dynodenplatte (6) der ersten Stufe der Dynodeneinheit (60) über ein Isolierelement fest angeordnet ist, die Fokussierelektrodenplatte (7) eine Vertiefung in einer Hauptoberfläche in Gegenüberlage der Dynodenplatte der ersten Stufe zum Aufnehmen des Isolierelements aufweist, welches damit in einem Kontaktabschnitt im Kontakt ist, die Dynodenplatte (6) der ersten Stufe eine Vertiefung in einer Hauptoberfläche in Gegenüberlage der Fokussierelektrodenplatte (7) zum Aufnehmen des Isolierelements aufweist, welches damit in einem Kontaktabschnitt im Kontakt ist, und wobei der Abstand zwischen dem Kontaktabschnitt der Fokussierelektrodenplatte (7) und dem Kontaktabschnitt der Dynodenplatte (6) der ersten Stufe größer als der Abstand zwischen der Fokussierelektrodenplatte (7) und der Dynodenplatte (6) der ersten Stufe ist.

6. Elektronenvervielfacher gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Anodenplatte (5) darin ausgebildete Elektronendurchgangslöcher aufweist, durch welche Sekundärelektronen hindurchgehen, die Löcher in Positionen erzeugt sind, in welchen Sekundärelektronen. von einer Dynodenplatte (6) der letzten Stufe der Dynodeneinheit (60) emittiert werden, die Anodenplatte (5) eine Vertiefung in einer Hauptoberfläche in Gegenüberlage der Dynodenplatte (6) der letzten Stufe zum Aufnehmen eines Isolierelements aufweist, welches damit in einem Kontaktabschnitt im Kontakt ist, die Dynodenplatte der letzten Stufe eine Vertiefung in einer Hauptoberfläche in Gegenüberlage der Anodenplatte zum Aufnehmen des Isolierelements aufweist, welches damit in einem Kontaktabschnitt im Kontakt ist, und wobei der Abstand zwischen dem Kontaktabschnitt der Anodenplatte (5) und dem Kontaktabschnitt der Dynodenplatte der letzten Stufe größer als der Abstand zwischen der Anodenplatte (5) und der Dynodenplatt& (6) der letzten Stufe ist.

7. Elektronenvervielfacher gemäß Anspruch 6, welcher ferner eine Invertierdynodenplatte (13) zum Invertieren der Bahnen der Sekundärelektronen aufweist, welche die Elektronendurchgangslöcher der Anodenplatte (5) durchlaufen, die Invertierdynodenplatte (13) durch ein Isolierelement von der Anodenplatte (5) beabstandet und so angeordnet ist, daß die Anodenplatte (5) zwischen der Invertierdynodenplatte (13) und der Dynode der letzten Stufe der Dynodeneinheit (60) gehalten wird, die Invertierdynodenplatte (13) eine Vertiefung in einer Hauptoberfläche in Gegenüberlage der Anodenplatte (5) aufweist, zum Aufnehmen eines Isolierelements, welches in einem Kontaktabschnitt damit im Kontakt ist, die Anodenplatte (5) eine Vertiefung in einer Hauptoberfläche in Gegenüberlage der Invertierdynodenplatte zum Aufnehmen des Isolierelements aufweist, welches in einem Kontaktabschnitt damit im Kontakt ist, und wobei der Abstand zwischen dem Kontaktabschnitt der Invertierdynodenplatte (13) und dem Kontaktabschnitt der Anodenplatte (5) größer als der Abstand zwischen der Fokussierelektrodenplatte (7) und der Anodenplatte (5) ist.

8. Elektronenvervielfacher gemäß Anspruch 10, ferner mit einer Abschirmelektrodenplatte (14), welche von der Invertierdynodenplatte (j3) durch Isolierelernente beabstandet und so angeordnet ist, daß die Invertierdynodenplatte (13) zwischen der Anodenplatte (5) und der Abschirmelektrodenplatte (14) gehalten wird, die Abschirmelektrodenplatte (14) eine Vertiefung aufweist, welche in einer Hauptoberfläche in Gegenüberlage der Invertierelektrodenplatte (14) angeordnet ist, zum Aufnehmen eines Isolierelements, welches in einem Kontaktabschnitt damit im Kontakt ist, die Invertierdynoden platte (13) eine Vertiefung in einer Hauptoberfläche in Gegenüberlage der Abschirmelektrodenplatte (14) zum Aufnehmen des Isolierelements aufweist, welches in einem Kontaktabschnitt damit im Kontakt ist, und wobei der Abstand zwischen dem Kontaktabschnitt der Abschirmelektrodenplatte (14) und dem Kontaktabschnitt der Invertierdynodenplatte (13) größer als der Abstand zwischen der Abschirmelektrodenplatte (14) und der Invertierdynodenplatte (13) ist.

9. Elektronenvervielfacher gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Isolierelemente (8a, 80a, 80b) kugelförmige Körper sind.

10. Elektronenvervielfacher gemäß einem der Ansprüche 1 - 9, wobei die Isolierelemente (8b) runde, zylindrische Körper sind.

11. Photovervielfacher mit einem Elektronenvervielfacher gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Photovervielfacher ferner eine Photokathode (3) zum Aufnehmen von Photonen und zum Emittieren von Photoelektronen aufweist, und die Dynodeneinheit (60) zwischen der Photokathode (3) und der Anodenplatte (5) zum Aufnehmen der durch die Photokathode emittierten Photoelektronen angeordnet ist.

12. Photovervielfacher gemäß Anspruch 11, welcher ferner aufweist:

- ein Gehäuse (1) mit einer Lichtaufnahmeplatte (2), der Photokathode (3), welche auf einer Innenfläche abgeschieden ist, im Gehäuse die Dynodeneinheit (60) sowie die Anodenplatte (5) angeordnet sind, und

- ein Grundelement (4), an welchem das Gehäuse (1) fest angeordnet ist, um einen Vakuumbehälter auszubilden, und die daran angeordnete Dynodeneinheit (60) aufweist, das Grundelement eine Vielzahl von Verbindungsstiften (11) trägt, um das Anlegen der vorbestimmten Spannungen an die Dynodenplatten (6) der Dynodeneinheit (60) zu ermöglichen.

13. Photovervielfacher gemäß Anspruch 12, wobei ein leitfähiges Metall zum Anlegen einer vorbestimmten Spannung an die Photokathode (3) auf einer Innenwan,d des Gehäuses (1) abgeschieden ist, und das Gehäuse (1).und die Photokathode (3) durch ein vorbestimmtes, leitfähiges Metall (12) leitfähig ausgebildet sind.