NL8801657A - Elektronenbuis. - Google Patents

Elektronenbuis. Download PDF

Info

Publication number
NL8801657A
NL8801657A NL8801657A NL8801657A NL8801657A NL 8801657 A NL8801657 A NL 8801657A NL 8801657 A NL8801657 A NL 8801657A NL 8801657 A NL8801657 A NL 8801657A NL 8801657 A NL8801657 A NL 8801657A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
electron
electron tube
tube according
electrode structure
core
Prior art date
Application number
NL8801657A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Priority to NL8801657A priority Critical patent/NL8801657A/nl
Priority to US07/368,443 priority patent/US4998037A/en
Priority to EP89201682A priority patent/EP0349081A1/en
Priority to CN89106355A priority patent/CN1039930A/zh
Priority to KR1019890008928A priority patent/KR900000949A/ko
Priority to JP1164069A priority patent/JPH0246646A/ja
Publication of NL8801657A publication Critical patent/NL8801657A/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J17/00Gas-filled discharge tubes with solid cathode
    • H01J17/38Cold-cathode tubes
    • H01J17/48Cold-cathode tubes with more than one cathode or anode, e.g. sequence-discharge tube, counting tube, dekatron
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J43/00Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
    • H01J43/04Electron multipliers
    • H01J43/045Position sensitive electron multipliers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/80Arrangements for controlling the ray or beam after passing the main deflection system, e.g. for post-acceleration or post-concentration, for colour switching
    • H01J29/803Arrangements for controlling the ray or beam after passing the main deflection system, e.g. for post-acceleration or post-concentration, for colour switching for post-acceleration or post-deflection, e.g. for colour switching
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J43/00Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
    • H01J43/04Electron multipliers
    • H01J43/06Electrode arrangements
    • H01J43/18Electrode arrangements using essentially more than one dynode
    • H01J43/22Dynodes consisting of electron-permeable material, e.g. foil, grid, tube, venetian blind

Landscapes

  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)

Description

N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.
Elektronenbuis.
De uitvinding heeft betrekking op een elektronenbuis bevattende een stapeling van tenminste één geperforeerd plaatvormig isolerend element en tenminste één geperforeerde plaatvormige metalen elektrodestructuur, die met elkaar verbonden zijn.
Bergelijke elektronenbuizen zijn onder meer bruikbaar voor televisieapparaten, nachtkijkers en photodetectie-apparatuur.
Een elektronenbuis van de in de eerste alinea beschreven soort is bekend uit de Europese octrooiaanvrage EP 0 006 651 r waarin een elektronenbuis beschreven is bevattende een elektronenvermenigvuldiger, die een stapeling van plaatvormige, geperforeerde stalen elektrodestructuren, in EP 0 006 651 dynoden genaamd, en plaatvormige geperforeerde isolerende elementen bevat. De isolerende elementen zijn van aluminium gemaakt. Hun oppervlak is geanodiseerd en zij zorgen ervoor dat de elektroden op geregelde afstanden en elektrisch geïsoleerd van elkaar zijn opgesteld. Openingen in de isolerende elementen en de dynoden liggen in dit voorbeeld op één lijn.
Teneinde een goed vacuum in een elektronenbuis te verschaffen is het gebruikelijk onderdelen hiervan een temperatuurbehandeling te geven, dat wil zeggen uit te stoken.
Het is gebleken dat in een dergelijke elektronenbuis ten gevolge van een dergelijke temperatuurbehandeling het isolerend element en de metalen elektrodestructuur ten opzichte van elkaar kunnen verschuiven.
Het is een doel van de uitvinding een elektronenbuis van de in de eerste alinea beschreven soort te verschaffen waarvoor het beschreven probleem verminderd is.
Hiertoe wordt een elektronenbuis volgens de uitvinding gekenmerkt doordat het isolerend element een kern bevat en tenminste aan een naar de elektrodestructuur toegewende zijde verbindingsvlak voorzien is van een aluminiumlaag waarvan tenminste de buitenlaag geoxideerd is en de thermische uitzettingscoëfficienten van de kern en de elektrodestructuur althans nagenoeg gelijk zijn.
De uitvinding berust op het inzicht dat het hier boven vermelde probleem veroorzaakt wordt door thermische spanningen tussen het isolerend element en de elektrodestructuur, ten gevolge van verschillen in thermische uitzetting.
In de elektronenbuis volgens de uitvinding bevat het isolerende element een kern met een thermische uitzettingscoëfficient die althans nagenoeg gelijk is aan de thermische uitzettingscoëfficient van de elektrodestructuur. Hierdoor is het verschil in thermische uitzetting tussen het isolerend element en de elektrodestructuur verminderd. Aluminium is relatief eenvoudig aan te brengen en te oxideren. De geoxideerde buitenlaag draagt zorg voor isolatie.
Bij voorkeur is de kern vervaardigd van hetzelfde metaal als de elektrodestructuur. Thermische spanningen zijn dan zoveel mogelijk verminderd.
Een voorkeursuitvoeringvorm van de elektronenbuis volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de kern.een dikte bezit die ten minste vier maal groter is dan de dikte van de aluminiumlaag. De thermische uitzetting van de kern is dan grotendeels bepalend voor de thermische uitzetting van het isolerende element.
Bij voorkeur is de aluminiumlaag gedeeltelijk geoxideerd. De aluminiumlaag bevat dan tussen de kern en de geoxideerde buitenlaag een laag van aluminiummetaal. Aluminiummetaal heeft een relatief lage E-modulus. Door deze laag aluminiummetaal kunnen tussen de kern en de aluminiumlaag optredende spanningen worden geabsorbeerd.
In een uitvoeringsvorm van de uitvinding bevat de elektrodestructuur een stelsel deelelektroden.
Als de elektrodestructuur een stelsel deelelektroden bevat, kunnen thermische spanningen naast het hiervoor vermelde probleem het additionele probleem veroorzaken dat onderlinge posities van de deelelektroden veranderen en is de uitvinding in het bijzonder van belang.
In een uitvoeringsvorm van een elektronenbuis volgens de uitvinding bevat de stapeling tenminste een verdere metalen elektrodestructuur en bevindt het isolerend element zich tussen en is verbonden met beide metalen elektrodestructuren. Met name als het isolerend element zich tussen twee metalen elektrodestructuren bevindt en met deze verbanden is, kunnen thermische spanningen groot zijn en is de uitvinding in het bijzonder van belang.
In een uitvoeringsvorm bevat de elektronenbuis een elektronen opwekkend systeem voor het opwekken van elektronen, een elektronensensitief element voor het registreren van elektronen, en tussen het elektronen opwekkend systeem en het elektronensensitief systeem een elektronenvermenigvuldiger, en vormt de stapeling een onderdeel van de elektronenvermenigvuldiger.
In een andere uitvoeringsvorm van de elektronenbuis volgens de uitvinding bevat de elektronenbuis een beeldscherm voorzien van een fosforpatroon in meer dan één kleur, en bevat de elektrodestructuur afbuigelektroden voor het afbuigen van elektronen naar het fosforpatroon. Het toepassen van de uitvinding is dan van bijzonder belang daar de afbuigelektroden nauwkeurig ten opzichte van elkaar, ten opzichte van het fosforpatroon en ten opzichte van verdere delen van de elektronenbuis gepositioneerd dienen te zijn; relatief kleine afwijkingen kunnen ten gevolge hebben dat afgebogen elektronen een fosforpatroon niet goed treffen, hetgeen de kwaliteit van het weergegeven beeld en met name de zuiverheid van de weergegeven kleuren nadelig beïnvloedt.
In weer een andere uitvoeringsvorm van de elektronenbuis volgens de uitvinding bevat de elektronenbuis een elektronenopwekkend systeem voor het opwekken van elektronen, een elektronensensitief element voor het registreren van elektronen, en tussen het elektronen opwekkend systeem en het elektronensensitief element een selektiesysteem voor het selektief laten passeren van elektronen van het elektronen opwekkend systeem naar het elektronensensitief element, vormt de stapeling een onderdeel van het selektiesysteem en bevat de elektrodestructuur een stelsel stripvormige selectie-elektroden. In het kader van de uitvinding wordt onder plaatvormige van openingen voorziene elektrodestructuur ook een stelsel stripvormige elektroden verstaan.
In een verdere uitvoeringsvorm van de elektronenbuis volgens de uitvinding is de kern uit een geleidend materiaal gevormd en vormt aan een van de elektrodestructuur afgewende zijde een gemeenschappelijke elektrode voor het beïnvloeden van elektronen. De gemeenschappelijk elektrode kan bijvoorbeeld dienen ter versnelling of focussering van elektronen.
Enige uitvoeringsvormen van de uitvinding worden nu bij wijze van voorbeeld nader toegelicht aan de hand van een tekening waarin:
Figuur 1 in doorsnede een elektronenbuis toont;
Figuur 2a in doorsnede een elektronenvermenigvuldiger bekend uit de stand van de techniek toont;
Figuur 2b in doorsnede een mogelijk resultaat van het afscheuren van een dynode en een isolerend element toont;
Figuur 3 in doorsnede een detail van een elektronenvermenigvuldiger geschikt voor een vacuumelektronenbuis volgens de uitvinding toont;
Figuur 4 in doorsnede een detail van een elektronenvermenigvuldiger geschikt voor een vacuümelektronenbuis volgens de uitvinding voorzien van een stapeling met afbuigelektroden toont;
Figuur 5 in gedeeltelijk perspectivisch aanzicht een stapeling met afbuigelektroden;
Figuren 6a en 6b in doorsnede een detail van een tweetal uitvoeringsvormen van een stapeling met afbuigelektroden tonen;
Figuren 7a en 7b respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede van een stapeling geschikt voor een selectiesysteem geschikt voor een elektronenbuis volgens de uitvinding tonen, en
Figuur 8 een tweetal stapelingen waarin de kern van het isolerend element aan een van de bijbehorende elektrodestructuur afgewende zijnde een gemeenschappelijke elektrode vormt, toont.
De figuren zijn schematisch en niet op schaal getekend, waarbij in de verschillende uitvoeringsvormen overeenkomstige delen als regel met dezelfde verwijzingscijfers zijn aangeduid.
Figuur 1 toont in doorsnede schematisch een elektronenbuis 10 bevattende in een geëvacueerde omhulling 12 een elektronenvermenigvuldiger of selektiesysteem 13, een elektronen opwekkend systeem 14 en een elektronensensitief element 15. Elektron of elektronenbundel 16 treft de elektronenvermenigvuldiger of selektiesysteem 13 aan een ingangszijde 13a. In een elektronenvermenigvuldiger 13 wordt het aantal elektronen vermenigvuldigd en treedt aan de uitgangszijde 13b van elektronenvermenigvuldiger 13 een elektronenbundel 17, met een ten opzichte van inkomende elektronenbundel 16 versterkte intensiteit, uit.
Een selectiesysteem 13 laat selektief het elektron of de elektronenbundel door. Elektronenbundel 17 treft het elektronensensitief element 15. Het elektronen opwekkend systeem 14 en het elektronensensitief systeem 15 zijn hier schematisch aangegeven-. De werkelijke vorm van deze systemen is van het type en het doel van de elektronenbuis afhankelijk. Het elektronen opwekkend systeem 14 kan bijvoorbeeld een fotokathode bevatten. Op de fotokathode vallend licht induceert emissie van elektronen. Deze vallen direct of eventueel na versnelling en/of focussering op de elektronenvermenigvuldiger. Op deze wijze kan een optisch beeld geregistreerd worden. Het elektronen opwekkend systeem kan ook één of een stelsel van thermische kathoden bevatten voor het opwekken van één of meer elektronenbundels en een elektrodensysteem voor het opbouwen van een twee-dimensionaal elektronenbundelintensiteitspatroon op de elektronenvermenigvuldiger. Op deze wijze kan een beeld worden weergeven. Het elektronensensitief element kan de intensiteit van de opvallende elektronenbundels bijvoorbeeld in een optisch beeld weergegeven, of in een elektrisch beeld. Een voorbeeld van een elektronensensitief element dat een optisch beeld weergeeft is een cathodoluminiscerend scherm, een voorbeeld van een elektronensensitief element dat een elektrisch beeld weergeeft is een zogeheten CCD (Charged Coupled Device) matrix.
Een belangrijk aspect voor het functioneren van elektronenbuizen is de kwaliteit van het vacuüm. In het algemeen dient de gasdruk in de elektronenbuis zo laag mogelijk te zijn. Een probleem is hierbij dat aan oppervlakken gasmoleculen geadsorbeerd zijn welke gedurende de levensduur van de elektronenbuis van deze oppervlakken desorberen waardoor de gasdruk in de elektronenbuis toeneemt. Dit heeft in het algemeen een negatief effect op het functioneren en de levensduur van de elektronenbuis. Een maatregel voor dit probleem is het uitstoken van onderdelen, dat wil zeggen dat onderdelen tot een hoge temperatuur verhit worden, zodat op de oppervlakken aanwezige gassen desorberen.
Deze gassen worden vervolgens weggepompt waarna de buis wordt afgesloten. Ten gevolge van dit uitstoken kan het probleem ontstaan dat een elektrodestructuur en een isolerend element ten opzichte van elkaar verschuiven.
Figuur 2a toont in doorsnede een elektronenvermenigvuldiger 13 zoals bekend uit EP 0 006 651. Het betreft hier een zogeheten kanaalplaat-elektronenvermenigvuldiger. Déze bevat een gelamineerde structuur bevattende een stapeling van geperforeerde stalen dynoden 21 en geperforeerde plaatvormige isolerende elementen 22 welke onderdelen van perforaties 23 zijn voorzien. In EP 0 006 651 zijn de isolerende elementen aluminium platen waarvan het oppervlak geanodiseerd is. De dynoden zijn voorzien van aansluitingen voor het toevoeren van spanningen Bm. Schematisch is in één van de openingen 23 de werking van een dergelijke elektronenvermenigvuldiger weergegeven. Een elektron 24 treft een dynode 21. Hierbij worden meerdere elektronen 25 gecrëeerd. Deze elektronen 25 worden versneld door een zich tussen de dynoden bevindende elektrische veld en treffen de volgende dynode. Hier vindt een verdere vermeerdering van het aantal elektronen plaats, welke op hun beurt worden versneld naar de volgende dynode. Voor een juiste werking van de elektronenvermenigvuldiger is het van belang dat de openingen in opeenvolgende dynoden en isolerende elementen goed ten opzichte van elkaar zijn opgesteld. In figuur 2b is een elektronenvermenigvuldiger getoond waarin een dynode verschoven is. Elektronen 25 worden nu door deze dynode ingevangen. Dit heeft een negatief effect op de werking van de elektronenvermenigvuldiger.
Figuur 3 toont een detail van een elektronenvermenigvuldiger geschikt voor een elektronenbuis volgens de uitvinding. Stapeling 31 bevat stalen dynode 32 en isolerend element 33, die vast met elkaar verbonden zijn. Beide onderdelen 32 en 33 zijn van openingen 36 voorzien. Isolerend element 33 bevat een stalen kern 34 en een alumiumlaag 35 die een geoxideerde buitenlaag 37 bevat. Het verschil in thermische uitzettingscoëfficient tussen de dynode en het isolerend element is omdat het isolerend element een stalen kern 34 bevat verminderd zodat de kans dat de dynode en het isolerend element van elkaar afscheuren verminderd is. Als eèn isolerend element verbonden is met twee dynoden dan zijn de spanningen die optreden groter. De uitvinding is dan met name voordelig. Een voorkeursuitvoeringsvorm wordt gekenmerkt doordat de dikte van de kern ten minste vier maal zo groot is als de dikte van de buitenmantel. De uitzettingscoëfficient van het isolerend element wordt dan grotendeels bepaald door de stalen kern.
Het is met name voordelig, voor een elektronenbuis die een beeldscherm met een fosforpatroon met meer dan één kleur en voor het beeldscherm een isolerend element met afbuigelektroden bevat, indien het isolerende element een kern bevat met althans nagenoeg eenzelfde uitzettingscoëfficient als de afbuigelektroden, en liefst Van hetzelfde materiaal vervaardigd, en een geheel of bij voorkeur gedeeltelijk geoxideerde aluminium buitenlaag. Een elektronenbuis met een elektronenverraenigvuldiger en een isolerend element met afbuigelektroden, is op zich bekend uit de Britse octrooiaanvrage GB 2,124,017. Het isolerend element bevat hierin een van langgerekte openingen voorziene glazen plaat. Een detail van een elektronenvermenigvuldiger en een isolerend element geschikt voor een elektronenbuis volgens de uitvinding is getoond in figuur 4. De elektronenvermenigvuldiger bevat dynoden 41 waartussen zich isolerende elementen 42 uitstrekken. In de dynoden en de isolerende elementen zijn openingen 43 gevormd. De isolerende elementen 42 kunnen doch hoeven geen isolerende elementen te zijn zoals hierboven beschreven. De elektronenvermenigvuldiger is voorzien van een uittreedynode 44. Aan deze uittreedynode is een isolerend element 45 verbonden. Dit isolerend element is voorzien van afbuigelektroden 48 en 49 en bevat een kern 46 uit hetzelfde materiaal als de afbuigelektroden vervaardigd en eèn geoxideerde aluminiumlaag 47. De elektronenvermenigvuldiger is geplaatst voor het beeldscherm 410. Dit beeldscherm 410 is voorzien van een fosforpatroon 411. Van dit patroon is in figuur 4 slechts één trio getoond. Door de afbuigelektroden met geschikte potentialen te bekrachtigen zijn uit de openingen 43 tredende elektronen a.f te buigen. In figuur 4 is een situatie getoond waarin de elektroden 48a en 49a aan weerszijden van de elektronenbundel 412 met eenzelfde potentiaal bekrachtigd zijn. De elektronenbundel 412 treft dan de groene fosfor G. De elektronenbundel 412 is naar het rode fosfor R af te buigen door elektrode 48a met een positieve potentiaal en elektrode 49a met een negatieve potentiaal te bekrachtigen. Aan de relatieve positie van openingen 43 in de uittreedynode 44 en de afbuigelektroden 48 en 49 worden zeer hoge eisen gesteld. Een juiste positionering van het isolerend element 45 ten opzichte van uittreedynode 44, van de afbuigelektroden ten opzichte van de openingen in het isolerende element van de afbuigelektroden onderling en van de afbuigelektroden ten opzichte van het fosforpatroon is van belang. Het is derhalve van groot belang dat er tijdens het uitstoken geen verschuiving plaats vindt van de afbuigelektroden ten opzichte van de openingen in de uittreedynode of in het isolerend element dan wel ten opzichte van elkaar, In een elektronenbuis volgens de uitvinding bevat het isolerend element waarop de afbuigelektroden zich bevinden een kern van een materiaal met dezelfde uitzettingscoëfficient als de afbuigelektroden en bij voorkeur vervaardigd van hetzelfde metaal als de afbuigelektroden, en een geoxideerde aluminiumlaag. Het aluminiumoxide draagt zorg voor een goede elektrische isolatie tussen uittreedynode en afbuigelektroden, terwijl de samenstelling van de kern als gevolg heeft dat het verschil in thermische uitzetting tussen de uittreedynode en het isolerend element klein is. Ten opzichte van een drager voor afbuigelektroden zoals getoond in GB 2,124,017 kan verder nog, indien het isolerende element van metaal vervaardigd is, vermeld worden dat een glazen isolerend element zoals bekend uit GB 2,124,017 veel kwetsbaarder is dan een metalen isolerend element.
Figuur 5 toont in gedeeltelijk perspectivisch aanzicht een isolerend element voor een elektronenvermenigvuldiger geschikt voor een elektronenbuis volgens de uitvinding. Isolerend element 51 is voorzien van langgerekte openingen 52 en afbuigelektroden 53 en 54.
Figuur 6a toont in doorsnede een isolerend element met een tweetal afbuigelektroden. In figuur 6a bevat het isolerend element 61 een kern 62, een buitenlaag 63 en een tweetal afbuigelektroden 64 en 65. In figuur 6b is een van de afbuigelektroden weggelaten. De functie van afbuigelektrode 65 is nu overgenomen door de kern van het isolerend element zelf. Het voordeel hiervan is dat de kern in het algemeen minder snel te beschadigen is dan een afbuigelektrode, zodat de kans op uitval verminderd is.
Figuren 7a en 7b tonen respectievelijk een bovenaanzicht en een doorsnede van een stapeling geschikt voor een selectiesysteem geschikt voor een elektronenbuis volgens de uitvinding.
Stapeling 71 is voorzien van openingen 72 en bevat het isolerend element 73 tussen de elektrodestructuren 74 en 75. Elektrodestructuren 74 en 75 bevatten ieder een stelsel deelelektroden. Door selectief bekrachtigen van de deze deelelektroden is het mogelijk in de openingen 72 dusdanige elektrische velden te vormen dat slechts door één of door een aantal openingen elektronen kunnentreden.
Figuur 8 toont een samenstel 80 van stapelingen 81 en 82. Stapeling 81 bestaat uit een isolerende element 83 bevattende kern 84 en een geoxideerde aluminiumlaag 85 waarop selectie-ektroden 86. Aan de van de selektieelektroden 86 afgewende zijde 87 is de kern onbedekt. Stapeling 82 bestaat uit een isolerende element 88 bevattende kern 89 en een geoxideerde aluminiumlaag 810 waarop afbuigelektroden 811 en 812.
Aan de van de afbuigelektroden 811 en 812 afgewende zijde 813 is de kern onbedekt. Tussen de kernen 84 en 89 wordt in bedrijf een spanning aangelegd. Hierdoor wordt tussen de kernen de elektronen gefocusseerd en versneld.
Een mogelijke wijze voor het maken van isolerende elementen geschikt voor een vacuömelektronenbuis volgens de uitvinding is als volgt: Een metalen plaat wordt door middel van etstechnieken voorzien van openingen. Vervolgens wordt door middel van een galvanisch proces een aluminium laag aangebracht. De dikte van de metalen plaat is bijvoorbeeld ongeveer 150 jim, de dikte van de aluminiumlaag 15 pm. Vervolgens wordt de aluminiumlaag geheel of gedeeltelijk geoxideerd, bijvoorbeeld in oxaalzuur. Proeven hebben aangetoond dat een op op deze wijze vervaardige isolerende elementen aangebrachte elektrodestructuur met hoge spanningen kan worden bekrachtigd zonder dat doorslag optrad.
Vervolgens kunnen indien het isolerende element als een drager voor afbuigelektroden dient te fungeren, bijvoorbeeld door opdampen, de afbuigelektroden worden aangebracht.
Het zal duidelijk zijn dat binnen het raam van de uitvinding voor de vakman vele variaties mogelijk zijn.

Claims (16)

1. Elektronenbuis bevattende een stapeling van tenminste één geperforeerd plaatvormig isolerend element en tenminste één geperforeerde plaatvormige metalen elektrodestructuur, die met elkaar verbonden zijn, met het kenmerk, dat het isolerend element een kern bevat en tenminste aan een naar de elektrodestructuur toegewende zijde voorzien is van een aluminiumlaag waarvan tenminste de buitenlaag geoxideerd is en de thermische uitzettingscoëfficienten van de kern en de elektrodestructuur althans nagenoeg gelijk zijn.
2. Elektronenbuis volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de kern vervaardigd is van hetzelfde metaal als de elektrodestructuur.
3. Elektronenbuis volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de kern een dikte bezit die ten minste vier maal zo groot is als de dikte van de aluminiumlaag.
4. Elektronenbuis volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de aluminiumlaag ongeveer 15 pm dik is.
5. Elektronenbuis volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de aluminiumlaag gedeeltelijk geoxideerd is.
6. Elektronenbuis volgens conclusie 1, 2, 3, 4 of 5, met het kenmerk, dat de elektrodenstructuur een stelsel deelelektroden bevat.
7. Elektronenbuis volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de stapeling tenminste een verdere metalen elektrodestructuur bevat en het isolerend element zich bevindt tussen en is verbonden met beide metalen elektrodenstructuren.
8. Elektronenbuis volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de elektronenbuis een elektronenopwekkend systeem voor het opwekken van elektronen, een elektronensensitief element voor het registreren van elektronen, en tussen het elektronenopwekkend systeem en het elektronensensitief systeem een elektronenvermenigvuldiger bevat, waarbij de stapeling een onderdeel van de elektronenvermenigvuldiger vormt.
9. Elektronenbuis volgens conclusie 6, met hét kenmerk, dat de elektronenbuis een beeldscherm voorzien van een fosforpatroon in meer dan één kleur bevat en de elektrodestructuur afbuigelektroden voor het afbuigen van elektronen naar het fosforpatroon bevat.
10. Elektronenbuis volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat de kern een afbuigelektrode vormt.
11. Elektronenbuis volgens conclusie 6 of 7, met het kenmerk, dat de elektronenbuis een elektronenopwekkend systeem voor het opwekken van elektronen, een elektronensensitief element voor het registreren van elektronen, en tussen het elektronenopwekkend systeem en het elektronensensitief element een selectiesysteem voor het selectief laten passeren van elektronen van het elektronenopwekkend systeem naar het elektronensensitief element bevat, de stapeling een onderdeel van het selectiesysteem vormt en de elektrodestructuur een stelsel stripvormige deelelektroden bevat.
12. Elektronenbuis volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat de kern uit een elektrisch geleidend materiaal vervaardigd is en aan een van de elektrodestructuur afgewende zijde een gemeenschappelijke elektrode voor het beïnvloeden van elektronen vormt.
13. Stapeling geschikt voor een elektronenbuis volgens één der voorgaande conclusies.
14. Elektronenvermenigvuldiger geschikt voor een elektronenbuis volgens conclusie 7, 8, of 9.
15. Selectiesysteem geschikt voor een elektronenbuis volgens conclusie 11.
16. Werkwijze voor het vervaardigen van een stapeling geschikt voor een elektronenbuis volgens conclusie 1, waarbij een metalen plaat door middel van etstechnieken van openingen voorzien wordt, door middel van een galvanisch proces een aluminium laag aangebracht wordt en de aluminiumlaag geheel of gedeeltelijk geoxideerd wordt.
NL8801657A 1988-06-30 1988-06-30 Elektronenbuis. NL8801657A (nl)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8801657A NL8801657A (nl) 1988-06-30 1988-06-30 Elektronenbuis.
US07/368,443 US4998037A (en) 1988-06-30 1989-06-19 Electron tube having electrode and insulator components with matched coefficients of expansion
EP89201682A EP0349081A1 (en) 1988-06-30 1989-06-26 Electron tube
CN89106355A CN1039930A (zh) 1988-06-30 1989-06-27 电子管
KR1019890008928A KR900000949A (ko) 1988-06-30 1989-06-28 전자 튜브
JP1164069A JPH0246646A (ja) 1988-06-30 1989-06-28 電子管

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8801657 1988-06-30
NL8801657A NL8801657A (nl) 1988-06-30 1988-06-30 Elektronenbuis.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL8801657A true NL8801657A (nl) 1990-01-16

Family

ID=19852549

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8801657A NL8801657A (nl) 1988-06-30 1988-06-30 Elektronenbuis.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4998037A (nl)
EP (1) EP0349081A1 (nl)
JP (1) JPH0246646A (nl)
KR (1) KR900000949A (nl)
CN (1) CN1039930A (nl)
NL (1) NL8801657A (nl)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3215486B2 (ja) * 1992-04-09 2001-10-09 浜松ホトニクス株式会社 光電子増倍管
JPH06150876A (ja) * 1992-11-09 1994-05-31 Hamamatsu Photonics Kk 光電子増倍管及び電子増倍管
DE69404079T2 (de) * 1993-04-28 1997-11-06 Hamamatsu Photonics Kk Photovervielfacher
JP3260901B2 (ja) * 1993-04-28 2002-02-25 浜松ホトニクス株式会社 電子増倍管
JP3598184B2 (ja) * 1996-11-07 2004-12-08 浜松ホトニクス株式会社 透過型2次電子面及び電子管
WO2012165380A1 (ja) 2011-06-03 2012-12-06 浜松ホトニクス株式会社 電子増倍部及びそれを含む光電子増倍管
JP5829460B2 (ja) * 2011-08-26 2015-12-09 浜松ホトニクス株式会社 電子増倍器
JP5827076B2 (ja) * 2011-08-26 2015-12-02 浜松ホトニクス株式会社 電極構造体
NL1039339C2 (en) * 2012-01-31 2013-08-01 Stichting Fund Ond Material Photon detector with high time resolution and high spatial resolution.
JP5956292B2 (ja) * 2012-09-05 2016-07-27 浜松ホトニクス株式会社 電子管
KR101988856B1 (ko) * 2015-12-02 2019-06-13 가부시키가이샤후지쿠라 이온 필터 및 이온 필터의 제조 방법

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3243642A (en) * 1962-10-30 1966-03-29 Radames K H Gebel Image intensifier
GB1417643A (en) * 1973-01-19 1975-12-10 Mullard Ltd Electron multipliers
GB2023333B (en) * 1978-06-14 1982-09-08 Philips Electronic Associated Electron multipliers
JPS56147347A (en) * 1980-04-17 1981-11-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electrode structure
GB2124017B (en) * 1982-06-16 1985-10-16 Philips Electronic Associated A deflection colour selection system for a single beam channel plate display tube

Also Published As

Publication number Publication date
CN1039930A (zh) 1990-02-21
EP0349081A1 (en) 1990-01-03
JPH0246646A (ja) 1990-02-16
US4998037A (en) 1991-03-05
KR900000949A (ko) 1990-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4955681A (en) Image display apparatus having sheet like vertical and horizontal deflection electrodes
US4323925A (en) Method and apparatus for arraying image sensor modules
NL8801657A (nl) Elektronenbuis.
US4041343A (en) Electron multiplier mosaic
US4431943A (en) Electron discharge device having a high speed cage
US4886996A (en) Channel plate electron multipliers
US7687759B2 (en) Slotted microchannel plate (MCP)
US4131818A (en) Night vision system
US4604519A (en) Intensified charge coupled image sensor having an improved CCD support
US4415832A (en) Electron multiplier having an improved planar utlimate dynode and planar anode structure for a photomultiplier tube
US3875441A (en) Electron discharge device including an electron emissive electrode having an undulating cross-sectional contour
US4713575A (en) Method of making a color selection deflection structure, and a color picture display tube including a color selection deflection structure made by the method
US4079282A (en) Phototube having apertured electrode recessed in cup-shaped electrode
JPH0444374B2 (nl)
GB2065964A (en) Time-desperse detector tube
EP0143669B1 (en) Image display apparatus
GB2293042A (en) Electron multiplier, e.g. for a field emission display
KR100201126B1 (ko) 평면형 음극선관
NL8702179A (nl) Beeldbuis met een na-deflectiestruktuur en werkwijze voor het vervaardigen van deze struktuur.
JPS5812696B2 (ja) 画像表示装置
GB2116359A (en) Streak tubes
JPH04160724A (ja) 電極ユニットの製造方法
JP2948621B2 (ja) ストリーク管
KR100446226B1 (ko) 평면 디스플레이 장치.
JPH0395839A (ja) 陰極線画像表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
A1B A search report has been drawn up
BV The patent application has lapsed