DE69116975T2 - Festkörper-Bildaufnahmevorrichtung - Google Patents
Festkörper-BildaufnahmevorrichtungInfo
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Description
- Die Erfindung betrifft allgemein einen Festkörper-Bildaufnehmer, und spezieller betrifft sie einen verstärkenden Festkörper-Bildaufnehmer mit einem Verstärkungselement in jedem Photoempfängerabschnitt.
- Bei einem typischen herkömmlichen Festkörper-Bildaufnehmer unter Verwendung eines ladungsgekoppelten Bauelements (CCD) wird eine signalladung, deren Größe von der Menge des einfallenden Lichts abhängt, und wie in einem photoelektrischen Wandlerabschnitt jedes Pixels abgespeichert, direkt mittels des CCD an einen Ausgabeabschnitt übertragen, wodurch der Nachteil besteht, daß das signal/Rauschsignal (S/R)-Verhältnis der Signalladung wahrscheinlich verschlechtert wird, da Störsignalkomponenten während der Übertragung durch das CCD die Signalladung verfälschen.
- Um diesen Nachteil des herkömmlichen Festkörper-Bildaufnehmers zu vermeiden, wurde ein verstärkender Festkörper-Bildaufnehmer vorgeschlagen, in dem ein Photoempfängerabschnitt mit einem photoelektrischen Wandlerabschnitt zum Einspeichern einer Signalladung, deren Größe von der Menge des eingefallenden Lichts abhängt, eine Einheit zum Verstärken der im photoelektrischen Wandlerabschnitt angesammelten Signalladung und eine Einheit zum Zurücksetzen des Eingangssignals der Verstärkungseinheit für jedes einer Vielzahl von in einer Matrix oder einer zweidimensionalen Konfiguration angeordneten Pixel bereitgestellt, wie z.B. in der Japanischen Patentoffenlegungsveröffentlichung JP-A-1-154678 veröffentlicht.
- Zwar kann bei diesem herkömmlichen verstärkenden Festkörper Bildaufnehmer ein festes Störsignalmuster aufgrund von Mängeln der Elemente dadurch verringert werden, daß der Herstellprozeß für den Bildaufnehmer verbessert wird, jedoch wird das Rücksetzrauschen aufgrund der Eigenschaften usw. der Elemente kaum verringert, da es vom Prinzip der Elemente herrührt. Ferner weist ein herkömmlicher verstärkender Festkörper-Bildaufnehmer einen von vorne beleuchteten Aufbau auf, weswegen die numerische Apertur nachteilig klein ist.
- Ein bekanntes Festkörper-Bildaufnahmeelement (US-A- 4,942,474) umfaßt eine Vielzahl von in einer Matrixkonfiguration angeordneten Photodioden. Die Signalladung einer Photodiode wird verstärkt und in einen Speicherkondensator eingespeichert. In einer Rücksetzperiode wird ein verstärktes Ausgangssignal ohne Signalladung in einen zweiten Speicherkondensator eingespeichert. Die Differenz zwischen den Ausgangsladungen der Paare von Speicherkondensatoren wird zum Unterdrücken von Störsignalen verwendet.
- Demgemäß ist es eine Hauptaufgabe der Erfindung, einen verbesserten Festkörper-Bildaufnehmer zu schaffen, bei dem die vorstehend genannten Mängel und Nachteile des Stands der Technik beseitigbar sind.
- Genauer gesagt, ist es eine Aufgabe der Erfindung, einen verbesserten Festkörper-Bildaufnehmer zu schaffen, bei dem Störsignale verringerbar und die numerische Apertur verbesserbar sind, um hohe Empfindlichkeit zu erzielen.
- Diese Aufgaben werden durch einen Festkörper-Bildaufnehmer gelöst, wie er im Anspruch 1 dargelegt ist. Bevorzugte Ausführungsformen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
- Beim erfindungsgemäßen Festkörper-Bildaufnehmer werden in den verstärkten Ausgangssignalen der jeweiligen Photoempfängerabschnitte enthaltene Störsignale durch Störungslöscheinheiten beseitigt, die jeweils für eine entsprechende Vertikallinie vorhanden sind, und die verstärkten Ausgangssignale der jeweiligen Photoempfängerabschnitte von zwei in vertikaler Richtung einander benachbarten Pixeln werden während jeder Horizontalabtastperiode aufrechterhalten, und dann werden die aufrechterhaltenen, verstärkten Ausgangssignale unabhängig voneinander ausgelesen, wodurch ein Fernsehsignal ohne Zeilensprung erhalten werden kann.
- Ferner ist gemäß der Erfindung eine Störlöscheinheit für die verstärkten Ausgangssignale der jeweiligen Photoempfängerabschnitte jeder Vertikallinie vorhanden, um Störsignale wie Rücksetzstörungen und Verschmierungen zu verringern, und ferner ist der Festkörper-Bildaufnehmer so ausgebildet, daß es eine von hinten beleuchtete Struktur ist, so daß die Empfindlichkeit des Festkörper-Bildaufnehmers wegen der Verringerung von störsignalen verbessert werden kann, und auch seine numerische Apertur kann verbessert werden.
- Die vorstehenden und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung eines veranschaulichenden Ausführungsbeispiels derselben, das in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen zu lesen ist, deutlich.
- Fig. 1 ist ein Schaltbild, das einen Hauptteil eines Festkörper-Bildaufnehmers gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht;
- Fig. 2 ist eine Schnittansicht, die den Aufbau einer Einheitszelle veranschaulicht;
- Fig. 3 ist ein Diagramm, das die Potentialverteilung einer der Einheitszellen von Fig. 2 veranschaulicht;
- Fig. 4 ist eine Rückansicht, die einen Teil des Festkörper Bildaufnehmers gemäß dem Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht; und
- Fig. 5A bis 5E sind zeitbezogene Steuerdiagramme zum Erläutern der Funktion der Schaltung von Fig. 1.
- Nun wird unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen, in denen gleiche Bezugszahlen in allen Zeichnungen dieselben oder entsprechende Elemente bezeichnen, ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben.
- Fig. 1 ist ein Schaltbild, das einen Hauptteil eines Festkörper-Bildaufnehmers gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht, wobei unter einer Vielzahl von mit Matrixkonfiguration in horizontaler und vertikaler Richtung angeordneten Pixeln der Schaltungsaufbau eines Pixels jeweils in nur zwei benachbarten Zeilen, d.h. der n'-ten und der (n + 1) '-ten Linie, zum Vereinfachen der Erläuterung dargestellt ist, da andere Pixel dieselbe Schaltungskonfiguration aufweisen.
- Gemäß Fig. 1 wird dann, wenn Licht auf jedes Pixel trifft, eine Signalladung, deren Größe von der Menge des einfallenden Lichts abhängt, in einen Speicher (ST) 1 eingespeichert. Der Speicher 1 und ein mit ihm verbundener Ausgabetor(OG)- Schalter 2 bilden ein 1-Bit-ladungesgekoppeltes-Bauelement (CCD). Ein Metalloxid-Halbleiter-Feldeffekttransistor (MOS- FET) 3 für einen Rücksetzvorgang und ein Sourcefolge-MOS- FET 4 für einen Verstärkungsvorgang sind auf demselben Chip wie das CCD ausgebildet, und das Gatter des MOSFET 4 für den Verstärkungsvorgang ist mit einem potentialungebundenen, diffundierten (FD) Bereich verbunden, um einen Verstärker mit potentialungebundenem Diffusionsbereich (FDA) 5 zu bilden.
- Im Verstärker 5 mit potentialungebundenem Diffusionsbereich ist eine Torelektrode des Ausgabetorschalters 2 mit einer Ausgabetor(OG)-Signalleitung 6 verbunden, die Gateelektrode des MOSFET 3 für den Rücksetzvorgang ist mit einer Rücksetzgate(RG)-Signalleitung 7a verbunden, und dessen Drainelektrode ist mit einer Rücksetzdrain(RD)-Signalleitung 7b verbunden. Eine Horizontalzeile wird dadurch ausgewählt, daß über ein Vertikalabrasterungs-Schieberegister 8 ein Ausgabetorimpuls ΦOG, ein Rücksetzgateimpuls ΦRG und ein Rücksetzdrainimpuls ΦRD an die Torelektrode des Ausgabetorschalters 2, die Gateelektrode des MOSFET 3 für den Rücksetzvorgang bzw. die Drainelektrode desselben ausgegeben werden. Die Drainelektrode des MOSFET 4 für den Verstärkungsvorgang wird mit einer Versorgungsspannung VDD versorgt, und seine Sourceelektrode, die als Ausgangsanschluß Vout dient, ist mit einer vertikalen Signalleitung 9 verbunden. Wenn bei dieser Konfiguration eine Horizontalzeile ausgewählt wird, wird die Signalladung des Pixels der ausgewählten Horizontalleitung durch den MOSFET 4 für den Verstärkungsvorgang verstärkt, um an die vertikale Signalleitung 9 angelegt zu werden.
- Ein Lasttransistor 11 ist über einen Übertragungstorschalter 10 mit der vertikalen Signalleitung 9 verbunden, so daß die verstärkte, an die vertikale Signalleitung 9 gegebene Signalladung jedes Pixels über den Übertragungstorschalter in einen Störlöschkondensator C&sub0; eingespeichert wird. Der Ausgangsanschluß des Kondensators C&sub0; ist mit einem Klemmschalter 12 verbunden, der auf einen an seine Torelektrode angelegten Klemmimpuls Φcl eingeschaltet wird, um dadurch die Spannung am Ausgangsanschluß des Kondensators C&sub0; auf den Klemmpegel Vclp zu klemmen. Der Störlöschkondensator C&sub0; und der Klemmschalter 12 bilden eine korrelierte Doppelabtast(CDS)-Schaltung 15 zum Verringern von Rücksetzstörsignalen usw., wie sie im Sourceausgangssignal des MOSFET 4 enthalten sind.
- Das Ausgangssignal des Störlöschkondensators C&sub0; wird, verstärkt über einen Pufferverstärker 13, an einen Umschalter 14 gegeben, der das Ausgangssignal selektiv an eine erste oder zweite Signalhalteeinheit, z.B. Abtast-Halte-Kondensatoren C1 und C2, gibt, um dadurch das Ausgangssignal abzutasten und zu halten. der Umschater 14 wird durch einen in der Horizontalaustastperiode erzeugten Abtast-Halte-Impuls ΦSH so angesteuert, daß er abwechselnd für jede Zeile mit den Kondensatoren C1 und C2 verbunden wird. Demgemäß werden in diesen Abtast-Halte-Kondensatoren, z.B. den Kondensatoren C1 und C2 das Ausgangssignal eines Pixels in einer geradzahligen Zeile bzw. einer ungeradzahligen Zeile aufrechterhalten.
- Die in den Kondensatoren C1 und C2 aufrechterhaltenen Signale werden über Pufferverstärker 16&submin;&sub1; und 16&submin;&sub2; an Horizontaltorschalter 17&submin;&sub1; und 17&submin;&sub2; gegeben, die ihrerseits die Signale über ihre Schaltvorgänge entsprechend Horizontalverschiebeimpulsen ΦH, die von einem Horizontalabtast-Schieberegister 19 jeweils an sie angelegt werden, an Horizontalsignalleitungen 18&submin;&sub1; bzw. 18&submin;&sub2; geben.
- Fig. 2 ist eine Schnittansicht durch den so aufgebauten erfindungsgemäßen Festkörper-Bildaufnehmer, d.h. eine Schnittansicht des Speichers (ST), des Ausgangstors (OG), des Rücksetzgates (RG), des Rücksetzdrains (RD) sowie der Drainelektrode (VDD), der Gateelektrode und der Sourceelektrode (Vout) des FET 4 in einer Einheitszelle (1-Bit-CCD). Der FET kann ein FET mit Übergang anstelle des in Fig. 2 dargestellten MOSFET sein. Wie es aus Fig. 2 deutlich ist, ist der erfindungsgemäße Festkörper-Bildaufnehmer auf die nachfolgend beschriebene Weise aufgebaut. Zunächst werden Elektrodenelementgruppen, die den Verstärker mit potentialungebundenem Diffusionsbereich (FDA) bilden, auf der Hauptfläche eines dünnen Siliciumsubstrats 2 angeordnet und dann wird darauf durch einen Prozeß mit chemischer Dampfniederschlagung (CVD) usw. ein SiO&sub2;-Film 21 abgeschieden. An der Rückseite des Siliciumsubstrats 20 wird ein SiO&sub2;-Film 22 hergestellt und dann werden horizontale Aluminiumleitungen 23 und vertikale Aluminiumleitungen 24 mit Matrixmusterkonfiguration auf dem SiO&sub2;-Film 22 angeschlossen, wie es in Fig. 4 dargestellt ist, um dadurch den Rücksetzdrain (RD) und den Ausgangsanschluß (Vout) des verstärkenden MOSFET 4 mit den Leitungen 23 bzw. 24 zu verbinden. So ist der Festkörper- Bildaufnehmer so aufgebaut, daß einfallendes Licht auf die Rückseitenfläche des Siliciumsubstrats 20 gestrahlt ist, d.h., daß eine von hinten beleuchtete Struktur vorliegt.
- Demgemäß sind, da der Festkörper-Bildaufnehmer als von der Rückseite her beleuchteter Typ aufgebaut ist, nur die horizontalen und vertikalen Aluminiumleitungen 23 und 24 an der Rückseitenfläche des Siliciumsubstrats 20 angeschlossen, was die numerische Apertur (NA) beträchtlich verbessert, was für hohe Empfindlichkeit sorgt.
- Entsprechend dem zeitbezogenen Steuerdiagramm von Fig. 5 wird unter Bezugnahme auf das Schnittdiagramm der Zelle in Fig. 2 und das Potentialverteilungsdiagramm in Fig. 3 der Betrieb einer Einheitszelle (ein Pixel) erläutert, wie es durch das Vertikalabtastungs-Schieberegister 8 und das Horizontalabtastungs-Schieberegister 19 im erfindungsgemäßen Festkörper-Bildaufnehmer ausgewählt wird.
- Zunächst wird, wie es in Fig. 3 dargestellt ist, in einer horizontalen Austastperiode eine Rücksetzspannung VRD hohen Pegels (Z.B. 5 V) des Rücksetzdrainimpulses ΦRD zu einem Zeitpunkt t1 an den Rücksetzdrain (RD) nur der n-ten Horizontalzeile, die in vertikaler Richtung auszuwählen ist, angelegt, während eine Spannung von niedrigem Pegel (z.B. 1,5 V) an die Rücksetzdrains der restlichen Horizontalzeilen angelegt wird, wodurch eine Horizontalzeile (n-te Zeile) ausgewählt wird (siehe Fig. 5A bis 5E). Zu diesem Zeitpunkt wird der Rücksetzgateimpuls ΦRG von hohem Pegel an den potentialungebundenen Diffusionsbereich FD eines Pixels der ausgewählten Horizontalzeile angelegt, um es rückzusetzen, und dann nimmt die Spannung des potentialungebundenen Diffusionsbereichs FD hohen Pegel ein, um auch die Gateelektrode des verstärkenden MOSFET 4 auf den hohen Pegel zu führen. Andererseits wird die Spannung des potentialungebundenen Diffusionsbereichs FD jedes Pixels der nichtausgewählten Horizontalzeilen auf niedrigem Pegel gehalten, so daß die Spannung der Gateelektrode des verstärkenden MOSFET 4 um einen Schwellenpegel Vth (z.B. 0,5 V) kleiner als die Spannung des potentialungebundenen Diffusionsbereichs FD ist, wie durch die gestrichelte Linie in Fig. 3 dargestellt, wodurch der MOSFET 4 in den Sperrzustand versetzt wird.
- Dann wird die Spannung des Rücksetzgateimpulses ΦRG zu einem Zeitpunkt t2 auf den niedrigen Pegel verstellt, um jeden der MOSFETs 3 für den Rücksetzvorgang in den Sperrzustand zu versetzen. In diesem Zustand wird der Klemmschalter 12 durch den an ihn angelegten Klemmimpuls Φcl hohen Pegels in den EIN-Zustand versetzt, um dadurch den Ausgangsanschluß des Kondensators C&sub0; auf den Klemmpegel Vclp zu klemmen. Wenn der Klemmimpuls Φcl zum Zeitpunkt t3 auf den niedrigen Pegel verstellt wird, oder er verschwindet, wird der Klemmschalter 12 abgeschaltet.
- Der Kondensator C&sub0; und der Klemmschalter 12 der CDS-Schaltung 15 können ein festes Störungsmuster (FPN = Fixed Pattern Noise) aufgrund von Elementfehlern, Schwankungen des Schwellenwerts Vth wegen Schwankungen des Eingangsversatzes am Sourcefolger-MOSFET 4, niederfrequenter (1/f) Störsignale des Sourcefolgers, Rücksetzstörsignale, wie beim Rücksetzen des FDA erzeugt, und Verschmierungen aufgrund von Licht, das auf die Signalleitungen und die CCDS fällt, aufheben, wodurch ein Vollbildspeicher weggelassen werden kann, wie er in einem Signalverarbeitungssystem verwendet wurde, um ein festes Störungsmuster zu beseitigen.
- Danach wird das Ausgabetor (OG) 2 auf den Ausgabetorimpuls ΦOG hohen Pegels zum Zeitpunkt t4 eingeschaltet, um dadurch die Übertragung der im Speicher (ST) 1 abgespeicherten Signalladung an den potentialungebundenen Diffusionsbereich (FD) zu beginnen, so daß alle im Speicher eingespeicherten Ladungen an den FD übertragen werden, bis der Ausgabetorimpuls ΦQG zu einem Zeitpunkt t5 niedrigen Pegel annimmt oder verschwindet. Dann wird der Umschalter 14 auf den Abtast- Halte-Impuls ΦSH hohen Pegels zu einem Zeitpunkt t6 auf die Seite des Abtast-Halte-Kondensators C1 umgeschaltet, um dadurch die Signalspannung auf den Kondensator Cl zu geben, und dann wird der Umschalter 14 ausgeschaltet, um in der Neutralposition zu stehen, wie in Fig. 1 dargestellt, wenn der Abtast-Halte-Impuls ΦSH zu einem Zeitpunkt t7 niedrigen Pegel einnimmt oder verschwindet, um dadurch die Signalspannung im Kondensator C1 aufrechtzuerhalten.
- Demgemäß wird gemäß der vorstehend beschriebenen Funktionsfolge die Signalladung der n'-ten Horizontalzeile durch den verstärkenden MOSFET 4 verstärkt und in den Kondensator C1 der CDS-Schaltung 15 eingespeichert, und danach wird, gemäß einem ähnlichen Funktionsablauf, die Signalladung der (n + 1) '-ten Horizontalzeile durch den verstärkenden MOSFET 4, der zur (n + 1) '-ten Zeile gehört, verstärkt und in den Kondensator C2 der CDS-Schaltung 15 eingespeichert. Demgemäß können die Signalladungen zweier in vertikaler Richtung zueinander benachbarter Pixel während einer effektiven oder gültigen Horizontalabtastperiode unabhängig voneinander dadurch ausgelesen werden, daß die Horizontaltorschalter 17&submin;&sub1; und 17&submin;&sub2; auf die vom Horizontalabtastungs-Schieberegister 19 angelegten Horizontalverschiebeimpulse ΦH gesteuert werden. Nun wird das Rücksetzgate (RG), in der effektiven Horizontalabtastperiode, auf hohen Pegel gesetzt und der Rücksetz drain (RD) wird auf niedrigen Pegel gesetzt (ungefähr 1,5 V).
- Beim Lesevorgang kann ein Fernsehsignal ohne Zeilensprung dadurch erhalten werden, daß das in den Kondensatoren C1 und C2 aufrechterhaltene Signal abwechselnd ausgelesen wird. Alternativ können die in den Kondensatoren C1 und C2 aufrechterhaltenen Signale gleichzeitig ausgelesen und dann durch ein Signalverarbeitungssystem (nicht dargestellt) geeignet verarbeitet werden, um dadurch ein Fernsehsignal ohne Zeilensprung wie bei sequentiellem Lesen zu erhalten.
- Wenn die im Speicher (ST) 1 eingespeicherte Signalladung überläuft, wird sie durch einen in Querrichtung verlaufenden Überlaufkanal abgeführt, der vom Speicher ST durch das Ausgabetor OG und den potentialungebundenen Diffusionsbereich FD zum Rücksetzdrain RD führt, wie in Fig. 2 dargestellt. Demgemäß kann der Schaltungsaufbau zum Auswählen eines Pixels einer Horizontalzeile und derjenige des Überlaufkanals vereinfacht werden, da die Rücksetzdrainelektrode (RD) des MOSFET 3 für den Rücksetzvorgang nicht nur zum Auswählen einer Horizontalzeile sondern auch für den Überlaufkanal verwendet wird.
- Wie vorstehend beschrieben, ist eine Störlöscheinheit für die verstärkten Ausgangssignale der jeweiligen Photoempfängerabschnitte jeder vertikalen Linie vorhanden, um Störsignale wie Rücksetzstörsignale, Verschmierung oder dergleichen zu verringern, und ferner ist der Festkörper-Bildaufnehmer so aufgebaut, daß er eine von hinten beleuchtete Struktur bildet, so daß die Empfindlichkeit des Festkörper-Bildaufnehmers aufgrund einer Verringerung der Störsignale verbessert werden kann, und es kann auch seine numerische Apertur verbessert werden.
- Nachdem das bevorzugte Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben wurde, ist zu beachten, daß die Erfindung nicht auf das genaue Ausführungsbeispiel beschränkt ist, sondern daß vom Fachmann verschiedene Änderungen und Modifizierungen desselben innerhalb des Schutzbereichs der beigefügten Ansprüche ausgeführt werden können.
Claims (8)
1. Festkörper-Bildaufnehmer mit:
- mehreren mit Matrixkonfiguration angeordneten Pixeln mit
jeweils einem Speicher (1) zum Einspeichern von
einfallendem Licht entsprechenden Signalladungen;
- einer Verstärkereinrichtung (4) zum Übertragen der
verstärkten Signalladung an eine entsprechende vertikale
Signalleitung (9);
- einer Umschalteinrichtung (14) zum Empfangen des
Ausgangssignals der vertikalen Signalleitung (9) und zum Übertragen
derselben an eine erste Speichereinrichtung (C&sub1;) oder eine
zweite Speichereinrichtung (C&sub2;) zum Abtasten und Halten des
Ausgangssignals;
dadurch gekennzeichnet, daß
- eine Störsignal-Verringerungseinrichtung (C&sub0;) in jeder
vertikalen Signalleitung (9) zwischen die
Verstärkereinrichtung (4) und die Umschalteinrichtung (14) eingefügt ist;
- die erste Speichereinrichtung (C&sub1;) das Ausgangssignal der
n'-ten Horizontalzeile mit verringerten Störsignale
empfängt und die zweite Speichereinrichtung (C&sub2;) das
Ausgangssignal der (n + 1) '-ten Horizontalzeile mit verringerten
Störsignalen empfängt, was jeweils während einer Horizontal-
Austastperiode erfolgt; und
- eine Leseeinrichtung (19) vorhanden ist, um die
abgespeicherten Signalladungen der Speichereinrichtungen (C&sub1;,
C&sub2;) für zwei in vertikaler Richtung benachbarte Pixel
unabhängig voneinander auszulesen.
2. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 1, bei dem die
Verstärkereinrichtung (4) aus einem Metalloxid-Halbleiter-
Feldeffekttransistor (MOSFET) besteht.
3. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 1, bei dem die
n'-te Horizontalzeile und die (n + 1) '-te Horizontalzeile
durch ein vertikalabtastungs-Schieberegister (8) ausgewählt
werden.
4. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 3, bei dem jedes
der mehreren Pixel einen Rücksetzdrainbereich zum Auswählen
der n'-ten Horizontalzeile oder der (n + 1) '-ten
Horizontalzeile auf einen an ihn vom
Vertikalabtastungs-Schieberegister (8) angelegten Rücksetzdrainimpuls (ΦRDn) aufweist.
5. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 1, bei dem jede
Störsignal-Verringerungseinrichtung aus einer korrelierten
Doppelabtastungsschaltung (15) besteht.
6. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 1, ferner mit
Photoempfängerabschnitten (22), die jeweils für jedes einer
Vielzahl von mit Matrixkonfiguration in horizontaler und
vertikaler Richtung angeordneten Pixeln vorhanden sind,
jeweils mit der Verstärkereinrichtung (4), die auf einer
Hauptflächenseite eines Substrats (20) vorhanden ist, um
eine Signalladung zu verstärken, die abhängig von der Menge
darauffallenden Lichts angesammelt wurde, wobei das
auffallende Licht auf die Rückseitenfläche des Substrats gestrahlt
wird.
7. Festkörper-Bilaufnehmer nach Anspruch 6, bei dem das
Ausgangssignal der Signalleseeinrichtung an der Rückseite
des Substrats abgegriffen wird.
8. Festkörper-Bildaufnehmer nach Anspruch 6, bei dem eine
Rücksetzdrainelektrode (RD, 23) zum Abführen der im
Photoempfängerabschnitt abgespeicherten Signalladung an der
Rückseitenfläche des Substrats ausgebildet ist.
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