DE69109479T2

DE69109479T2 - Mit transversaler entladung gepumpter pulslaser.

Info

Publication number: DE69109479T2
Application number: DE69109479T
Authority: DE
Inventors: Hajime C O Mitsubishi Nakatani; Atsushi C O Mitsubis Sugitatsu
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1991-02-08
Filing date: 1991-02-08
Publication date: 1996-02-15
Anticipated expiration: 2011-02-09
Also published as: EP0532751A4; US5347531A; CA2050490A1; EP0532751A1; EP0532751B1; DE69109479D1; CA2050490C

Description

Die Erfindung betrifft eine gepulste Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung, die ein Gas mit Elektronenaffinität enthält, und insbesondere den Aufbau ihrer Präionisationselektroden.
Fig. 5 ist eine Querschnittszeichnung, die eine Entladungselektrode einer herkömmlichen gepulsten Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung zeigt, die beispielsweise in T.S. Fahlen, "High Average Power Excimer Laser", United States Energy Research and Development Administration, DOE/SF/90024-T2 (1977) gezeigt ist; dabei sind: (1) eine erste Hauptelektrode; (1a) eine Röhre mit einem Außendurchmesser von 6,3 mm (1/4 inch), die einen vorderen Teil der Hauptelektrode (1) bildet; (2) eine zweite Hauptelektrode ist; (3) eine Hauptentladung, die zwischen den Hauptelektroden (1) und (2) erzeugt wird; (4) eine Hilfselektrode, die aus einem Draht besteht, der in der Nähe der ersten Hauptelektrode (1) angeordnet ist; (5) eine Röhre aus dielektrischem Material, die eine Quarzröhre mit einem Außendurchmesser von ungefähr 5 mm ist und auf solche Weise angeordnet ist, daß sie innen die Hilfselektrode (4) enthält und die erste Hauptelektrode (1) berührt; (6a) und (6b) Koronaentladungen, die an der Oberfläche der Röhre aus dielektrischem Material stattfinden; und (7a) und (7b) Koronaentladungsstartpunkte.
Als nächstes wird die Wirkungsweise erläutert. Beim Anlegen einer Spannung über die erste Hauptelektrode (1) und die Hilfselektrode (4) starten zuerst Koronaentladungen (6a) und (6b) von Punkten (7a) und (7b), an denen das dielektrische Material (5) und die erste Hauptelektrode (1) einander berühren, und zwar auf solche Weise, daß sie die Röhre (5) aus dielektrischem Material überdecken. UV-Strahlung wird von diesen Koronaentladungen (6a) und (6b) abgestrahlt, so daß Lasergas zwischen den Hauptelektroden (1) und (2) präionisiert wird. Wenn anschließend eine Spannung über die Hauptelektroden (1) und (2) angelegt wird, beginnt sich das präionisierte Gas zu entladen, und dann erfolgt die Hauptentladung (3). Das Lasergas wird von dieser Hauptentladung (3) angeregt, so daß der Laser in einer Richtung zu schwingen beginnt, die in bezug auf die Blattebene senkrecht ist. Bei der herkömmlichen gepulsten Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung, wie sie oben beschrieben ist, besteht das Problem, daß die in dem Bereich der Koronaentladungsstartpunkte (7a) und (7b), wo die durch die Koronaentladung bewirkte Lichtemission stark ist, erzeugte UV- Strahlung nicht wirkungsvoll in den Raum zwischen den Hauptentladungselektroden (1) und (2) abgestrahlt wurde.
US-A-3 740 662 zeigt eine Gaslaser-Entladungsröhre, wobei wenigstens ein Bereich der Hauptkathode einen spitzen Vorsprung hat und die wenigstens eine Hilfselektrode hat, die in dem Bereich des Endes dieses spitzen Vorsprungs angeordnet und davon durch einen Festisolator getrennt ist.
Gemäß der Erfindung wird eine gepulste Lasergeneratorvorrichtung bereitgestellt, wie sie in Anspruch 1 definiert ist. Ausführungsformen sind in den Ansprüchen 2 bis 7 angegeben. Die Intensität der UV-Strahlung kann hoch gemacht werden. Außerdem kann durch Vorsehen einer Konfiguration, durch die diese UV-Strahlung wirkungsvoll in den Raum zwischen den Hauptelektroden eingestrahlt werden kann, eine gleichmäßige Entladung auch in dem Fall realisiert werden, daß ein Gas mit hoher Elektronenaffinität wie etwa F&sub2;-Gas in dem Lasergas enthalten ist. Somit wird eine gepulste Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung erhalten, die mit hohem Wirkungsgrad schwingen kann.
Durch Erweiterung der Länge der Koronaentladung wird eine präionisierte Entladung auf eine solche Weise gebildet, daß ein starker Teil der Koronaentladung zu dem Raum zwischen den Hauptelektroden gerichtet wird. Durch eine solche Ausbildung und auch dadurch, daß die erweiterte Länge der Koronaentladung lang gemacht wird, wird die UV-Strahlungsmenge erhöht. Die Elektroden sind auf eine solche Weise angeordnet, daß die in dem Bereich des Koronaentladungsstartpunkts, an dem die Lichtemissionsmenge groß ist, erzeugte UV-Strahlung in den Raum zwischen den Hauptelektroden eingestrahlt werden kann.
Fig. 1 ist eine seitliche Querschnittsdarstellung, die eine gepulste Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung zeigt. Fig. 2 ist eine seitliche Querschnittsdarstellung einer Koronaentladung mit vergrößerter Länge. Fig. 3 und Fig. 4 sind seitliche Querschnittsansichten von gepulsten Lasergeneratorvorrichtungen mit Querentladungsanregung, die andere Ausführungsformen der Erfindung zeigen. Fig. 5 ist eine seitliche Querschnittsdarstellung einer bekannten gepulsten Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung.
Nachstehend wird eine Ausführungsform der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert. Fig. 1 ist eine Querschnittsdarstellung in einer Ebene, die zu der optischen Achse der Laserschwingung einer gepulsten Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung senkrecht ist, und in der Zeichnung sind (4a) und (4b) Hilfselektroden von zylindrischer Gestalt, die auf beiden Seiten einer zweiten Hauptelektrode (2) in einem Abstand angeordnet sind. (5a) und (5b) sind Röhren aus dielektrischem Material, die nahezu den gleichen Innendurchmesser wie ein Außendurchmesser der Hilfselektroden (4a) und (4b) haben, und im vorliegenden Fall bestehen sie aus Aluminiumoxid-Keramik, die aus Aluminiumoxid als ihrem Hauptanteil besteht. (8a) und (8b) sind Koronastartelektroden, die drahtförmige Leiter sind, die an Positionen nahe der zweiten Hauptelektrode (2) entlang dem Außenumfang der Röhren (5a) und (5b) aus dielektrischem Material auf solche Weise angeordnet sind, daß sie auf dem gleichen Potential wie dem der zweiten Hauptelektrode (2) gehalten werden. Außerdem sind (6a), (6b), (6c) und (6d) Koronaentladungen, und (7a), (7b), (7c) und (7d) sind Koronaentladungsstartpunkte, an denen die Koronaentladungen (6a), (6b), (6c) und (6d) beginnen. (9) ist ein Mittelpunkt der Elektrodenoberfläche der ersten Hauptelektrode (1), die der zweiten Hauptelektrode (2) zugewandt ist. Eine erste Richtung (10) ist von einer Geraden bestimmt, die eine Verbindung zwischen dem Koronastartpunkt (7c) und dem Mittelpunkt (9) herstellt. Eine zweite Richtung (11) ist eine Gerade, die erhalten ist durch einen Schnittpunkt einer Ebene, die in bezug auf eine Verlängerungsrichtung der Koronaentladung (6a) am Außenrand der Koronastartelektrode (8b) senkrecht ist, und einer Ebene, die in bezug auf eine optische Achse der Laserschwingung senkrecht ist.
Beim Anlegen einer Spannung über die zweite Hauptelektrode (2) und die Hilfselektroden (4a) und (4b) erfolgt eine elektrische Feldkonzentration in dem Bereich der Koronastartelektroden (8a) und (8b), die auf solche Weise miteinander verbunden sind, daß sie das gleiche Potential wie das der zweiten Hauptelektrode (2) behalten. Die Koronaentladung beginnt zuerst an den Teilen von (7a), (7b), (7c) und (7d), an denen die Koronastartelektroden (8a) und (8b) sich nahe an den Röhren (5a) upd (5b) aus dielektrischem Material befinden. Der Aufbau dieser Figur entspricht einem Fall der sich an der Oberfläche ausbreitenden Koronaentladung. Bei Anwesenheit von Elektroden in der rückwärtigen Oberfläche beginnen die Koronaentladungen an den Koronaentladungsstartpunkten (7a), (7b), (7c) und (7d) und entwickeln sich entlang der Oberfläche der Röhren (5a) und (5b) aus dielektrischem Material, um Koronaentladungen (6a), (6b), (6c) und (6d) zu bilden. Die Verlängerungslänge der Koronaentladung (6a) ist mit dem Buchstaben l bezeichnet. Die Verlängerungslänge l der Koronaentladung ist in diesem Fall ungefähr gleich der halben Außenumfangslänge der Röhre (5) aus dielektrischem Material.
In Fig. 2 sind verschiedene Gestalten der Koronaentladungen sowie ihre Koronaentladungs-Vergrößerungslängen gezeigt. Fig. 2(a) zeigt einen Fall, bei dem zwei Koronastartelektroden (8a) und (8b) an der Oberfläche der Röhre (5) aus dielektrischem Material, die eine zylindrische Röhre ist, angeordnet sind. Fig. 2(b) zeigt einen Fall, in dem vier Koronastartelektroden (8a), (8b), (8c) und (8d) an der Oberfläche der Röhre (5) aus dielektrischem Material, die eine zylindrische Röhre ist, angeordnet sind. Fig. 2(c) zeigt einen Fall, in dem eine Koronastartelektrode (8) an der Oberfläche der Röhre (5) aus dielektrischem Material, die eine quadratisch geformte Röhre ist, angeordnet ist. Fig. 2(d) zeigt einen Fall, in dem eine Koronastartelektrode (8) spiralförmig auf die Oberfläche der Röhre (5) aus dielektrischem Material, die eine zylindrische Röhre ist, gewickelt ist. In den Fig. 1 und Fig. 2(a), (b) und (c) sind die Koronastartelektroden Elektroden, die in der Richtung verlaufen, die in bezug auf die Blattebene senkrecht ist. In den Fällen von Fig. 1 und Fig. 2(c), in denen nur eine Koronastartelektrode (8) auf dem Außenumfang der Röhre (5) aus dielektrischem Material vorhanden ist, ist die Vergrößerungslänge l der Koronaentladung ungefähr gleich der halben Umfangslänge der Röhre (5) aus dielektrischem Material, gesehen in einem zu der optischen Achse des Lasers senkrechten Querschnitt. Andererseits ist in den Fig. 2(a), (b) und (d), in denen Koronastartelektroden (8) mit einer konstanten Teilung auf dem Umfang der Röhre (5) aus dielektrischem Material angeordnet sind, die Vergrößerungslänge l der Koronaentladung ungefähr gleich der Hälfte dieser Teilung. Die Lichtemissionsmenge aus der Koronaentladung wurde an verschieden geformten Elektroden gemessen, und es wurde gefunden, daß, insoweit die äußere Gestalt der Röhre (5) aus dielektrischem Material gleich war, die Konfigurationen der Fig. 1 und Fig. 2(c) die größte Lichtemissionsmenge ergaben.
Im Fall von Fig. 2(a) zum Beispiel, in dem die Koronaentladungs-Vergrößerungslänge im Vergleich mit Fig. 1 halb so groß wird, wird auch die UV-Strahlungsmenge halb so groß. Und im Fall von Fig. 2(b), in dem die Koronaentladungs- Vergrößerungslänge im Vergleich mit Fig. 1 zu 1/4 wird, verringert sich die UV-Strahlungsmenge auf 1/4. Obwohl also nahezu die gesamte Oberfläche der Röhre (5) aus dielektrischem Material von der Koronaentladung (6) überdeckt ist, ergab eine Elektrodenkonfiguration mit einer längeren Koronaentladungs-Vergrößerungslänge eine höhere Emission von UV- Strahlung. Zusätzlich war die UV-Strahlungs-Emissionsmenge zu der Vergrößerungslänge l der Koronaentladung proportional. Präzise Messungen der Emissionsmenge der UV-Strahlung aus der Koronaentladung (6) zeigten, daß die Emissionsintensität in dem Bereich der Koronaentladungsstartpunkte (7) hoch war und im weiteren Verlauf bis zu der Spitze der Koronaentladung (6) abnahm.
Das oben beschriebene Resultat zeigte, daß dadurch, daß die Vergrößerungslänge l der Koronaentladung länger gemacht wurde und die Koronaentladungsstartpunkte (7) auf solche Weise angeordnet wurden, daß sie dem Ort zugewandt waren, an dem die Hauptentladung (3) stattfindet, der Grad der Präionisation gesteigert werden konnte. Da sich ferner die UV- Strahlung in dem Gasraum ausbreitet, während sie gleichzeitig divergiert und auf ihrem Ausbreitungsweg von Gas absorbiert wird, kann ein Anordnen der Punkte des Auftretens der Koronaentladungen (6) näher an den Hauptelektroden (1) und (2) den Grad der Präionisation steigern. Da jedoch eine zu große Nähe der Röhren (5) aus dielektrischem Material zu der ersten Hauptelektrode (1) schließlich eine Entladung zwischen der ersten Hauptelektrode (1) und den Koronastartelektroden (8) einführt, ist es notwendig, sie dadurch zu trennen, daß sie in einem größeren als einem bestimmten Abstand gehalten werden. Da die erste Hauptelektrode (1) an einem Punkt angeordnet ist, der von der Koronaentladung (6) weiter als die zweite Hauptelektrode (2) entfernt ist, ist es vorteilhaft, eine Position zu wählen, an der die UV- Strahlung wirkungsvoll auf die Hauptelektrode (1) gestrahlt wird. In Fig. 1 heißt das, da die UV-Strahlung hoher Intensität, die in der Nähe der Koronaentladungsstartpunkte (7) emittiert wird, stark in einer zweiten Richtung (11) abgestrahlt wird, daß zu einem Zeitpunkt, zu dem diese zweite Richtung (11) mit der ersten Richtung (10) koinzident ist, das Maß der Präionisation am größten wird. Wenn man den Winkel zwischen der ersten Richtung (10) und der zweiten Richtung (11) mit Θ bezeichnet, so wird das Ausmaß der Präionisation proportional zu cosΘ.
Tatsächlich durchgeführte Experimente unter Verwendung eines Excimerlasers, der Fluorgas enthielt, mit Spaltlängen g = 10 - 30 mm zeigten, daß:
Laserschwingungen mit einem vergleichsweise hohen Wirkungsgrad erhalten werden konnten, wenn
(1) Θ = 0 - 72,5º,
I derart ist, daß I = l x cosΘ = 3 mm oder mehr,
(2) und wenn Θ = mehr als 72,5º (für den Fall, daß der Koronaentladungsstartpunkt (7) an der Rückseite verdeckt ist),
I derart ist, daß I = l x 0,3 = 3 mm oder mehr.
In den obigen Gleichungen ist der Parameter I eine Größe, die die Stärke der Präionisation ausdrückt. Bei I = 5 mm oder mehr wird der Wirkungsgrad der Laserschwingung weiter erhöht (3 % oder mehr). In einem Fall, in dem die Kororiaentladung (6) nur an einer Seite der Hauptentladung (2) durchgeführt wird, wie in Fig. 1 gezeigt ist, muß ein Wert des Parameters I das Zweifache des vorgenannten Werts sein.
Es wurde außerdem gefunden, daß dann, wenn die kleinste Entfernung L (14) zwischen der ersten Hauptelektrode (1) und den Röhren (5) aus dielektrischem Material als das 1,05fache oder mehr und als das 1,5fache oder weniger der kleinsten Spaltlänge g zwischen der ersten Hauptelektrode (1) und der zweiten Hauptelektrode (2) angenommen wird, der Laser mit gutem Wirkungsgrad schwingt. Außerdem findet keine Bogenentladung zwischen der ersten Hauptelektrode (1) und den Röhren (5) aus dielektrischem Material statt. In Fig. 1 ist die kleinste Entfernung L (14) zwischen der ersten Hauptelektrode (1) und den Röhren (5) aus dielektrischem Material als das 1,17fache der kleinsten Spaltlänge g angenommen.
Fig. 3 ist eine seitliche Querschnittsansicht, die eine andere Ausführungsform der Erfindung zeigt. Die Röhren (5) aus dielektrischem Material sind so angeordnet, daß sie an beiden Seiten des Mittelteils der zweiten Hauptelektrode (2) eingegraben sind. Die Koronastartelektroden (8) haben eine mit der zweiten Hauptelektrode (2) einheitliche Konstruktion. Bei Verwendung dieser Konstruktion können die Koronastartelektroden (8) entfallen, und die Konfiguration wird einfach. Auch im Fall eines Gasstroms (12) zwischen den Hauptelektroden (1) und (2) wird es möglich, das Gas mit hoher Geschwindigkeit strömen zu lassen, weil kein Hindernis für den Gasstrom vorhanden ist. Es ist daher zweckmäßig, den Laser in einer Betriebsart mit hoher Impulsfolgefrequenz zu betreiben.
Fig. 4 ist eine seitliche Querschnittsansicht, die eine andere Ausführungsform der Erfindung zeigt. Die Röhren (5a) und (5b) aus dielektrischem Material sind auf solche Weise angeordnet, daß sie in der zweiten Hauptelektrode (2) vergraben sind. Gleichzeitig läßt man die Röhren (5a) und (5b) aus dielektrischem Material schweben, so daß sie von der Elektrode (2) einen Abstand d oder mehr einhalten können mit der Ausnahme, daß sie sich der zweiten Hauptelektrode (2) an ihren Teilen (13a) und (13b) nähern oder damit in Berührung gelangen. Wenn der Abstand d größer als die Dicke der Röhre (5) aus dielektrischem Material ist, wird die Koronaentladung (6) auf ihrer Vergrößerungslänge erweitert, wie Fig. 4 zeigt, so daß der Grad der Präionisation erhöht werden kann.
Und da die Röhren (5) aus dielektrischem Material in der zweiten Hauptelektrode angeordnet sind, können sie kein Hindernis für den Gasstrom (12) bilden, und somit kann das Gas mit hoher Geschwindigkeit zirkuliert werden. Daher wird ein Betrieb des Lasers mit hoher Impulsfolgefrequenz möglich.
In den Fig. 1, Fig. 2(a), (b) und (c) haben zwar die Koronastartelektroden (8) eine gleichmäßige Gestalt in der Richtung der optischen Achse des Lasers, aber eine ungleichmäßige Gestalt, beispielsweise mit Vorsprüngen, die sporadisch entlang der optischen Achse des Lasers vorhanden sind, kann die gleiche Wirkung zeigen.
Die Erläuterung erfolgte zwar unter Verwendung einer Aluminiumoxid-Keramik, die als ihre Hauptmasse Aluminiumoxid enthält, für das dielektrische Material eines Excimerlasers, aber bestimmte andere Materialien können bei verschiedenen Lasern die gleiche Wirkung zeigen.
Wie oben beschrieben wird, kann gemäß der Erfindung infolge der Verlängerung der Ausdehnungslänge der Koronaentladung und der Präionisation durch UV-Strahlung, die von einem starken Teil der Koronaentladung emittiert wird, eine gleichförmige Hauptentladung erhalten werden, so daß der Wirkungsgrad der Laserschwingungen hoch wird.

Claims

1. Gepulste Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung, die eine erste (1) und eine zweite (2) Hauptelektrode aufweist, die angeordnet sind, um einander über eine bestimmte Länge in der Richtung der optischen Achse des Lasers zugewandt zu sein, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist:

hohle Röhren (5a, 5b) oder eine hohle Röhre (5) aus dielektrischem Material, die in der Richtung der optischen Achse des Lasers verlaufen/verläuft und auf beiden Seiten oder auf einer Seite der zweiten Hauptelektrode (2) unter Einhaltung eines Abstands (d) davon angeordnet sind/ist,

Hilfselektroden (4a, 4b) oder eine Hilfselektrode (4), die im Inneren jeder der Röhren oder der Röhre aus dielektrischem Material angeordnet sind,

Koronastartelektroden (8a, 8b, 8c, 8d) oder eine Koronastartelektrode (8), die in der Nähe von oder in Kontakt mit den Röhren (5a, 5b) oder der Röhre (5) aus dielektrischem Material vorgesehen und fakultativ als ein integraler Teil der zweiten Hauptelektrode (2) vorgesehen sind/ist, wobei das Potential der Koronastartelektroden gleich demjenigen der zweiten Hauptelektrode (2) gehalten wird,

wobei Koronaentladungen (6a, 6b, 6c, 6d) von den Koronastartelektroden (8a, 8b, 8c, 8d) oder der -elektrode (8) ausgehen und sich über der Oberfläche der Röhren (5a, 5b) oder der Röhre (5) aus dielektrischem Material entwickeln und ausbreiten durch Anlegen einer Spannung über die Hauptelektrode (2) sowie die Koronastartelektroden (8a, 8b, 8c, 8d) oder die -elektrode (8) und die Hilfselektroden (4a, 4b) oder die -elektrode (4),

wobei Lasergas, das zwischen der ersten und der zweiten Hauptelektrode (1, 2) anwesend ist, von der durch die Koronaentladungen (6a, 6b, 6c, 6d) erzeugten UV-Strahlung präionisiert wird, was eine gleichmäßige Hauptentladung (3) in dem Raum zwischen der ersten und der zweiten Hauptelektrode (1, 2) erlaubt, um das Lasergas anzuregen,

wobei die Koronastartelektroden (8a, 8b, 8c, 8d) oder die -elektrode (8), die entlang der Richtung der optischen Achse des Lasers entweder in der Nähe der oder in Kontakt mit den dielektrischen Röhren (5a, 5b) oder der Röhre (5) vorgesehen sind/ist, angeordnet sind/ist als:

a) eine Vielzahl von Koronastartelektroden, die voneinander um den Umfang jeder der Röhren oder der Röhre auf einem Querschnitt senkrecht zu der optischen Achse des Lasers um eine gegebene Teilung beabstandet sind, oder

b) eine Koronastartelektrode (8) ist spiralförmig um jede der Röhren oder die Röhre gewickelt, wobei die Spirale in der Richtung der optischen Achse des Lasers eine gegebene Teilung hat, oder

c) eine Koronastartelektrode (8) ist entlang der Richtung der optischen Achse des Lasers in der Nähe von oder in Kontakt mit jeder der Röhren oder der Röhre vorgesehen,

so daß in den Fällen a) und b) eine der halben Länge entsprechende Teilung mit 1 bezeichnet ist und im obigen Fall c) eine der halben Außenumfangslänge der Röhren (5a, 5b) oder der Röhre (5) aus dielektrischem Material entsprechende Länge entlang dem senkrechten Querschnitt ebenfalls mit 1 bezeichnet ist,

wobei eine erste Richtung (10) durch eine Gerade definiert ist, die zu der optischen Achse des Lasers senkrecht ist und einen Mittelpunkt (9) auf der der zweiten Hauptelektrode (2) zugewandten Oberfläche der ersten Hauptelektrode (1) und den Koronaentladungs-Startpunkt (7c) verbindet, der der ersten Hauptelektrode (1) am nächsten ist und an dem eine Koronastartelektrode (8b) die Koronaentladung (6c) startet, und

eine zweite Richtung (11) definiert ist durch die Gerade des Schnittpunkts einer Ebene, die zu der Richtung der Koronaentladungsausbildung an dem Koronaentladungs-Startpunkt nächst der ersten Hauptelektrode (1) senkrecht ist, und einer Ebene, die zu der optischen Achse der Laserschwingung senkrecht ist,

wobei ein Winkel Θ zwischen der ersten (10) und der zweiten (11) Richtung gebildet wird, so daß, wenn

Θ = 0 bis 72,5º

das Maß der Stärke der Präionisation gegeben ist als I = 1 x cosΘ, und wenn

Θ = 72,5º oder größer

das Maß der Stärke der Präionisation gegeben ist als I = 1 x 0,3, und

wobei in dem Fall, daß das dielektrische Material (5a, 5b) an beiden Seiten der zweiten Hauptelektrode (2) angeordnet ist, I = 3 mm oder mehr, wohingegen in dem Fall, daß das dielektrische Material (5) an einer Seite der zweiten Hauptelektrode (2) angeordnet ist, I = 6 mm oder mehr.

2. Gepulste Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Fall, daß das dielektrische Material (5a, 5b) an beiden Seiten der zweiten Hauptelektrode (2) angeordnet ist, das Maß der Stärke der Präionisation I = 5 mm oder mehr, wohingegen in dem Fall, daß das dielektrische Material an einer Seite der zweiten Hauptelektrode (2) angeordnet ist, I = 10 mm oder mehr.

3. Gepulste Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung nach Anspruch 1 und Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß, wenn die kleinste Zwischenraumlänge zwischen der ersten Hauptelektrode (1) und der zweiten Hauptelektrode (2) mit g bezeichnet ist, die kleinste Trennungsstrecke (L) zwischen der ersten Hauptelektrode (1) und dem dielektrischen Material (5; 5a, 5b) als das 1,05fache oder mehr und das 1,5fache oder weniger der kleinsten Zwischenraumlänge g angenommen wird

4. Gepulste Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung nach Anspruch 1 bis Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Röhren (5a, 5b) aus dielektrischem Material auf solche Weise angeordnet sind, daß sie in der zweiten Hauptelektrode (2) vergraben sind, und daß gleichzeitig die dielektrischen Röhren (5a, 5b) auf solche Weise angeordnet sind, daß sie einen bestimmten Abstand d von der zweiten Hauptelektrode (2) beibehalten mit der Ausnahme der Nähe zu oder des Kontakts mit der zweiten Hauptelektrode (2) oder den Koronastartelektroden an einigen Teilen (13a, 13b), und daß außerdem der Abstand d größer als die Dicke des dielektrischen Materials der Röhren (5; 5a, 5b) ist.

5. Gepulste Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung nach Anspruch 1 bis Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Röhren (5; 5a, 5b) aus Aluminiumoxid- Keramik hergestellt sind, die aus Aluminiumoxid als ihrer Hauptzusammensetzung besteht, und daß der Laser ein Excimerlaser ist.

6. Gepulste Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung nach Anspruch 1 bis Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Röhre (5, 5a, 5b) aus dielektrischem Material eine Röhre mit Viereckgestalt ist.

7. Gepulste Lasergeneratorvorrichtung mit Querentladungsanregung nach Anspruch 1 bis Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Koronastartelektrode (8) spiralförmig auf die Oberfläche der Röhre (5) aus dielektrischem Material gewickelt ist.