DE3880464T2 - Metalldampf-laser-apparat. - Google Patents

Metalldampf-laser-apparat.

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DE3880464T2 DE8888121307T DE3880464T DE3880464T2 DE 3880464 T2 DE3880464 T2 DE 3880464T2 DE 8888121307 T DE8888121307 T DE 8888121307T DE 3880464 T DE3880464 T DE 3880464T DE 3880464 T2 DE3880464 T2 DE 3880464T2
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein(en) Laserapparat oder -gerät, insbesondere ein Metalldampf-Lasergerät, das z.B. Kupfer als Lasermedium verwendet.
  • In den letzten Jahren hat ein Metalldampf-Laser als Lichtquelle zur Verwendung bei der Urananreicherung Aufmerksamkeit auf sich gezogen. Im Urananreicherungsprozeß wird ²³&sup5;&sub9;&sub2;U-Versorgung oder -Grundstoff zur Verwendung als Brennstoff für die elektrische Stromerzeugung durch Kernspaltung von natürlichem Uran abgetrennt und angereichert. Da ein Überschuß oder Anteil von ²³&sup5;&sub9;&sub2;U in natürlichem Uran 0,71 % beträgt, muß ²³&sup5;&sub9;&sub2;U auf etwa 3 % angereichert werden, um als Kernbrennstoff benutzt werden zu können. Zu diesem Zweck wird bei einem Urananreicherungs-Atomverfahren unter Verwendung eines Laserstrahls lediglich ²³&sup5;&sub9;&sub2;U mittels eines Farbstofflasers o.dgl. angeregt und ionisiert und mittels einer mit einer Spannung beaufschlagten Elektrode abgetrennt. Dabei ist der Farbstofflaser ein spezieller Laser, bei dem eine andere Art eines Laserstrahls benutzt wird, um einen Farbstofflaserstrahl schwingen zu lassen. Dies bedeutet, daß zum Anregen eines Lasermediums des Farbstofflasers eine andere Laserstrahlart benutzt wird. Ein Beispiel des zum Schwingenlassen des Farbstofflaserstrahls eingesetzten Lasers ist ein Metalldampflaser. Ein Beispiel des Metalldampflasers für Farbstofflaser-Anregung ist ein Kupferdampflaser.
  • Fig. 1 veranschaulicht ein herkömmliches Metalldampf- Lasergerät. Das Gerät nach Fig. 1 umfaßt eine Entladungsröhre 102, deren Inneres luftdicht (abgeschlossen) gehalten wird, ein in die Röhre 102 eingesetztes Wärmeisolierelement 106 und ein zylindrisches, luftdichtes Gefäß 104, das außerhalb des Elements 106 konzentrisch zu diesem angeordnet ist. Innerhalb des Elements 106 ist eine zylindrische Kernröhre 108 angeordnet. Im Inneren der Röhre 108 ist eine Metalldampfquelle, z.B. eine Anzahl von Körnchen von Kupferstoffen 110, angeordnet. An den beiden Enden der Röhre 108 und des Elements 106 sind im wesentlichen ringförmige Elektroden 112 und 114 angeordnet. Jede Elektrode 112 und 114 besitzt längs einer eine optische Achse einschließenden Ebene einen L-förmigen Querschnitt. Die Elektroden 112 und 114 sind an von einer Stromversorgungseinheit 118 abgehende elektrische Leitungen 116 angeschlossen. Zur zuverlässigen Isolierung der Elektroden 112 und 114 gegeneinander ist ein ringförmiges Hochspannung-Isolierelement 120 mit der Elektrode 112 und dem Gefäß 104 in Kontakt stehend geformt. Zwei Übertragungsfenster 122 zum Übertragen bzw. Durchlassen eines Laserstrahls sind unter Abdichtung mittels Dichtungselementen 122 an den jeweiligen beiden Enden der Entladungsröhre 102 angebracht. Dabei ist jedes Fenster 122 unter Bildung eines Brewster-Winkels gegenüber der optischen Achse angeordnet. In der Nähe des einen Fensters 122 ist ein hochreflektierender Spiegel 124 zum Reflektieren eines durch dieses Fenster übertragenen oder durchgelassenen Laserstrahls angeordnet, während in der Nähe des anderen Fensters 122 ein Ausgangsspiegel 126 angeordnet ist. Um die Außenfläche der Röhre 102 ist ein(e) Kühlrohr oder -schlange 128 herumgewickelt. Am einen Ende der Röhre 102 befindet sich eine Gasspeiseeinheit 130, an ihrem anderen Ende eine Vakuumpumpe 132.
  • Das herkömmliche Metalldampf-Lasergerät mit dem oben beschriebenen Aufbau läßt einen Laserstrahl wie folgt schwingen:
  • Zunächst wird die Pumpe 132 aktiviert, um die Röhre 102 zu evakuieren und einen Unterdruck in ihr einzustellen. Sodann wird von der Gasspeiseeinheit 130 ein Puffergas der Röhre 102 zugespeist, worauf zwischen den Elektroden 112 und 113 eine elektrische Entladung durch z.B. eine von der Stromquelleneinheit 118 gelieferte Impulsspannung erzeugt wird. Durch diese Entladung werden die als Metalldampfquelle dienenden Kupferstoffe erhitzt. Die erhitzten Kupferstoffe 110 werden teilweise zu Metallatomen verdampft und in der Röhre 102 diffundiert bzw. verteilt. In diesem Zustand wird das Puffergas durch Entladung ionisiert oder angeregt. Wenn das Puffergas mit den Metallatomen kollidiert, wird Energie auf die Metallatome übertragen, wodurch diese angeregt werden. Die angeregten Metallatome erzeugen einen Laserstrahl. Dieser Laserstrahl wird zwischen den Spiegeln 124 und 126 zur Resonanz gebracht und verstärkt. Infolgedessen wird ein Laserstrahl vom (am) Spiegel 126 emittiert.
  • Bei dem einen Laserstrahl auf oben beschriebene Weise emittierenden Metalldampf-Lasergerät wird die Kernröhre 108 durch elektrische Entladung zwischen den Elektroden 112 und 114 erwärmt. Die Temperatur der Röhre 108 erhöht sich dabei auf einen um mehrere 100º über 1000º(C) liegenden Wert. Die Dichtungselemente 123 dienen (dabei) jedoch für die luftdichte Anbringung der Fenster 122 an der Röhre 102. Dabei muß der Werkstoff der Dichtungselemebte 123 auf einer Temperatur von 200ºC oder darunter gehalten werden. Aus diesem Grund sind beim Metalldampf-Lasergerät ein Abschnitt sehr hoher Temperatur und ein Abschnitt vergleichsweise niedriger Temperatur gleichzeitig vorhanden. Demzufolge verfestigt sich das am (im) Hochtemperaturabschnitt verdampfte Metall am Tieftemperaturabschnitt. Da insbesondere die beiden Fenster 122, gegen welche ein an (in) der Röhre 108 als Hochtemperaturabschnitt verdampfter Metalldampf aufzuprallen bestrebt ist, auf einer niedrigen Temperatur gehalten werden, wird (dort) das Metall verfestigt, um daran anzuhaften. Infolgedessen werden die Übertragungsfenster im Laufe der Zeit durch den Metalldampf verunreinigt und in ihrer Lichtdurchlässigkeit beeinträchtigt. Wenn die Durchlässigkeit der Fenster herabgesetzt ist, wird ein Schwingungswirkungsgrad eines Laserstrahls verringert. Diese Verringerung des Schwingungswirkungsgrads stellt ein Problem bezüglich einer Verkürzung der Betriebslebensdauer des Metalldampf-Lasergeräts dar.
  • Die EP-A-0 009 965 offenbart einen Gaslaser zum Erzeugen von Mehrweg-Emissionen bei zweckmäßiger Aktivierung. Der Laser umfaßt eine Anoden-Kathodenanordnung und einstellbare Brewster-Endsektionen oder integrale Spiegelendsektionen. An der Anodensektion ist ein Metalldampf(vorrats)behälter für Metalldampf-Laserbetrieb angebracht.
  • Zur Lösung des obigen Problems können die Übertragungsfenster ausreichend (weit) von der Kernröhre getrennt werden. Mit dieser Methode wird aber die Gesamtlänge der Entladungsröhre unter unerwünschter Vergrößerung des Geräts vergrößert. Zudem ergeben sich dabei Probleme, wie Verschlechterung einer Kurzimpuls-Laserstrahlgüte oder der ASE bzw. VSE (Verstärkte Spontane Emission).
  • Die vorliegende Erfindung ist im Hinblick auf die obigen Gegebenheiten entwickelt worden; ihre Aufgabe ist die Schaffung eines Metalldampf-Lasergeräts, bei dem eine Verunreinigung der Übertragungsfenster durch Anhaften oder Ablagern von Metalldampf (daran) ohne Vergrößerung des Lasergeräts selbst verhindert werden kann und das demzufolge einen Laserstrahl über einen langen Zeitraum hinweg mit hohem Wirkungsgrad schwingen lassen bzw. emittieren kann.
  • Die obige Aufgabe wird durch die im Anspruch 1 definierte vorliegende Erfindung mittels des im folgenden beschriebenen Metalldampf-Lasergeräts gelöst. Das Metalldampf-Lasergerät umfaßt, genauer gesagt, eine Entladungsröhre, zwei in der Entladungsröhre angeordnete Elektroden, eine Stromquelleneinheit zum Anlegen einer Spannung an die Elektroden, eine in der Entladungsröhre angeordnete Metalldampfquelle, zwei jeweils in der Nähe je eines Endabschnitts der Entladungsröhre angeordnete hochreflektierende Spiegel, eine Heizeinheit zum Erwärmen der hochreflektierenden Spiegel, in der Entladungsröhre befindliche Übertragungsfenster sowie zwei Resonatorspiegel. Das Innere der Entladungsröhre ist in luftdichtem Zustand gehalten. Die Stromquelleneinheit legt an die beiden Elektroden eine Spannung an, so daß die Elektroden eine elektrische Entladung erzeugen. Die beiden hochreflektierenden Spiegel befinden sich in Gegenüberstellung zueinander. Die Übertragungsfenster lassen einen von den hochreflektierenden Spiegeln reflektierten Laserstrahl durch. Die beiden Resonatorspiegel reflektieren den vom (von den) Übertragungsfenster(n) durchgelassenen Laserstrahl und bringen ihn optisch auf Resonanz und lassen den Laserstrahl vom einen Fenster schwingen.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung sind die beiden zu erwärmenden hochreflektierenden Spiegel in der Nähe der beiden Endabschnitte in der Entladungsröhre angeordnet; das Übertragungsfenster befindet sich in einer Position, zu welcher sich Metalldampf kaum ausbreitet. Damit wird ein Verfestigen und Anhaften des Metalldampfes an den Übertragungsfenstern verhindert. Da die Lichtdurchlässigkeit des Übertragungsfensters im Laufe der Betriebszeit nicht wesentlich herabgesetzt wird, kann als Ergebnis die Betriebslebensdauer des Metalldampf-Lasergeräts verlängert sein.
  • Ein besseres Verständnis dieser Erfindung ergibt sich aus der folgenden genauen Beschreibung anhand der beigefügten Zeichnung, in welcher zeigen:
  • Fig. 1 eine Längsschnittansicht eines herkömmlichen Metalldampf-Lasergeräts und
  • Fig. 2 eine Längsschnittansicht eines Metalldampf- Lasergeräts gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Nachstehend ist eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung anhand von Fig. 2 beschrieben.
  • Fig. 2 zeigt ein Kupferdampf-Lasergerät als Ausführungsform eines Metalldampf-Lasergeräts. Nachstehend ist zunächst der Aufbau des Lasergeräts beschrieben.
  • Das Kupferdampf-Lasergerät 1 umfaßt eine zylindrische Entladungsröhre 2. Die Röhre 2 besteht aus einem mittleren Abschnitt 5 und zwei Endabschnitten 7 und 9. Die beiden Endabschnitte 7 und 9 sind abnehmbar am mittleren Abschnitt 5 angebracht. An jedem der Abschnitte 7 und 9 der Röhre ist (je) eine Wandflache 3 so montiert, daß das Innere der Röhre 2 luftdicht (abgedichtet) gehalten wird. In einen Außenflächenabschnitt des mittleren Abschnitts 5 der Röhre 2 ist ein Wärmeisolierelement 4 eingesetzt, das aus Zirkonoxid- oder Aluminiumoxidfasern besteht. In bzw. an einem Innenflächenteil des Elements ist eine zylindrische Kernröhre 6 angeordnet, die aus Aluminiumoxidkeramik hergestellt ist. An einem Außenflächenteil des Elements ist ein luftdichtes Gefäß 8 angeordnet, das aus Kupfer geformt ist. An den beiden Innenendabschnitten des Wärmeisolierelements 4 und der Kernröhre sind im wesentlichen ringförmige Kathoden- und Anodenelektroden 10 bzw. 12 geformt, die mit von einer Stromquelleneinheit 16 abgehenden elektrischen Leitungen 14 verbunden sind. Die Elektroden 10 und 12 stehen einander an den Endabschnitten der Röhre 6 gegenüber und liegen innerhalb der Entladungsröhre 2 frei. Zur zuverlässigen Isolierung der Elektroden 10 und 12 voneinander ist ein ringförmiges Hochspannung- Isolierelement 18 in Kontakt mit der Elektrode 10 und dem luftdichten Gefäß 8 geformt. Das Element 18 besteht aus Keramik- oder Kunststoffen. In den Endabschnitten 7 und 9 in der Röhre 2 sind hochreflektierende Spiegel 20 bzw. 22 angeordnet, die aus Ni geformt und auf einer optischen Achse eines durch elektrische Entladung zwischen den Elektroden 10 und 12 zu erzeugenden Laserstrahls angeordnet sind. Die Spiegel 20 und 22 sind um 45º zur optischen Achse geneigt, um den Laserstrahl zu reflektieren (umzulenken). Hinter den Spiegeln 20 und 22 sind Heizelemente 23 angeordnet, die über Leitungen 34 mit einer Heizstromquelle 36 verbunden sind. Auf einem Strahlengang, welchen ein durch die Spiegel 20 und 22 reflektierter Laserstrahl mit einer Richtungsänderung um 90º passiert, sind Übertragungsfenster 24 und 26 angeordnet, die mit Hilfe von O-Ringen 28 luftdicht an der Entladungsröhre 2 montiert sind. Ein hochreflektierender Spiegel 30 und ein Ausgangsspiegel 32 zum Verstärken des Laserstrahls sind auf dem Strahlengang des durch die Fenster 24 und 26 übertragenen oder durchgelassenen Laserstrahls angeordnet. Die Spiegel 30 und 32 sind senkrecht zur optischen Achse angeordnet. Eine Gasspeiseeinheit 38 zum Zuspeisen eines Puffergases, wie He- oder Ne-Gas, ist am Abschnitt 7, eine Vakuumpumpe 40 am Abschnitt 9 angeordnet. Um die Außenfläche der Röhre 2 ist eine Kühlschlange 42 für Kühlungszwecke herumgewickelt. Im Inneren der Röhre 6 befinden sich mehrere Körnchen von Kupferstoffen 44 als Lasermedium.
  • Das Gerät mit dem beschriebenen Aufbau emittiert einen Laserstrahl auf folgende Weise. Zunächst wird die Pumpe 40 aktiviert, um die Röhre 2 zur Einstellung eines Unterdrucks darin zu evakuieren. In diesem Zustand wird ein Puffergas von der Gasspeiseeinheit 38 her zugespeist. Das Puffergas wird in die Röhre 2 eingefüllt, um in dieser einen Druck entsprechend mehreren 10 Torr zu erhalten. Von der Stromquelleneinheit 16 wird eine Impulsspannung an Kathoden- und Anodenelektroden 10 bzw. 12 für elektrische Entladung und Erwärmung angelegt. Zwischen den Elektroden 10 und 12 erfolgt intermittierend eine Entladung zum Erwärmen der Entladungsröhre 6. Durch das Erwärmen der Röhre 6 werden insbesondere die Kupferstoffe 44 geschmolzen und zu einem Kupferdampfgas verdampft. Das Puffergas wird durch die Entladung angeregt und kollidiert mit Kupferatomen, so daß die Energie des Gases auf die Kupferatome übertragen wird, die dadurch angeregt werden. Infolgedessen erfahren die Kupferatome einen Übergang zwischen zwei Energieniveaus, so daß ein Laserstrahl emittiert wird. Der erzeugte Laserstrahl wird durch die in der Röhre 2 angeordneten hochreflektierten Spiegel 20 und 22 reflektiert. Eine Richtung der optischen Achse des durch den Spiegel 20 reflektierten Laserstrahls wird um 90º geändert, weil der Spiegel 20 um 45º zur optischen Achse geneigt ist. Der reflektierte Laserstrahl fällt über das Übertragungsfenster 24 auf den hochreflektierenden Spiegel 30. Da der Spiegel 30 senkrecht zur optischen Achse angeordnet ist, wird der auftreffende Laserstrahl längs der gleichen optischen Achse reflektiert. Der reflektierte Laserstrahl trifft über das Fenster 24 auf den Spiegel 20 auf. Der auf den Spiegel 20 auftreffende Laserstrahl wird reflektiert, während die Richtung seiner optischen Achse um 90º geändert wird. Der Laserstrahl breitet sich längs einer optischen Achsenrichtung in der Kernröhre 8 aus und fällt auf den Spiegel 22. Da der Spiegel 22 ebenfalls um 45º zur optischen Achse geneigt ist, wird der Laserstrahl reflektiert (bzw. umgelenkt), während seine Richtung um 90º geändert wird. Der reflektierte Laserstrahl fällt über das Übertragungsfenster 26 auf den Ausgangsspiegel 32. Obgleich der Spiegel 32 halbdurchlässig ist, wird ein Laserstrahl reflektiert, wenn die Laserstrahlausgangsleistung unterhalb eines Schwellenwerts liegt. Der durch den Spiegel 32 reflektierte Laserstrahl fällt über das Fenster 26 auf den Spiegel 22. Der auf den Spiegel 22 fallende Laserstrahl wird reflektiert (bzw. umgelenkt) und breitet sich längs der optischen Achse in der Kernröhre aus. Bei seiner Hin- und Herbewegung zwischen den Spiegeln 30 und 32 wird der Laserstrahl verstärkt. Wenn die Laserstrahlausgangsleistung über einen Schwellenwert erhöht (worden) ist, wird am Spiegel 32 ein Laserstrahl emittiert.
  • Im Gerät 1 sind Heizelemente 23 jeweils hinter den Spiegeln 20 und 22 angeordnet. Die Heizelemente 23 heizen die Spiegel 20 und 22 auf eine Temperatur von z.B. 1100ºC auf. Da der Schmelzpunkt von Kupfer 1083ºC beträgt, werden Kupferatome, die in der Röhre 2 als Dampf flotieren und an den Spiegeln 20 und 22 anhaften, nicht verfestigt, vielmehr bleiben sie in einem flüssigen Zustand. Auch wenn sich Kupferdampf an den Spiegeln 20 und 22 anlagert, wird er nämlich nicht verfestigt, weil die Temperatur der Spiegel 20 und 22 über dem Schmelzpunkt von Kupfer liegt, vielmehr wird der Kupferdampf von den Reflexionsflächen der Spiegel 20 und 22 unter Schwerkrafteinfluß in einem flüssigen Zustand entfernt. Da die Heizelemente 23 die Reflexionsflächen der Spiegel 20 und 22 gleichmäßig erwärmen, tritt keine örtliche Verformung auf, so daß die Reflexion des Laserstrahls nicht ungünstig beeinflußt wird. Der Kuferdampf wird an einem Abschnitt vergleichsweise niedriger Temperatur, z.B. nahe der Endabschnitte der Röhre 2, verfestigt. Da außerdem die Fenster 24 und 26 von einer Röhrenachse getrennt sind und parallel zu einer Röhrenachsenrichtung verlaufen, sind sie den Abschnitten einer hohen Kupferdampfdichte nicht ausgesetzt. Die Adhäsion oder Anlagerung des Kupferdampfes kann daher minimiert sein. Da die Spiegel 20 und 22 dicht an der Röhre 6 angeordnet sein können, kann infolgedessen die Gesamtlänge der Röhre 2 verkürzt sein. Die Häufigkeit der Schwingungen des Laserstrahls zwischen den Spiegeln, während das Medium angeregt ist oder wird, kann daher erhöht sein, wobei eine Umwandlungseigenschaft des Laserstrahls verbessert sein kann.
  • Da zudem bei diesem Lasergerät die Gesamtlänge des Resonators zwischen den Spiegeln 30 und 32 festgelegt ist, hängt sie nicht von der Länge der Entladungsröhre ab. Die Länge der Entladungsröhre kann daher verkürzt sein.
  • In Verbindung mit der obigen Ausführungsform ist das Kupferdampflasergerät als Metalldampflaser beschrieben worden. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt, sondern auch auf ein Lasergerät unter Verwendung eines anderen Metalls als (Laser-)Medium anwendbar. Bei einem ein anderes Metall verwendenden Lasergerät kann eine Erwärmungstemperatur der Spiegel 20 und 22 im Hinblick auf einen Schmelzpunkt des Metalls geändert werden. Dabei wird die Erwärmungstemperatur geringfügig höher als der Schmelzpunkt des Metalls eingestellt. Die Erwärmungstemperatur braucht nicht über dem Schmelzpunkt des als Lasermedium verwendeten Metalls zu liegen, sondern kann einer Temperatur entsprechen, die vergleichsweise höher ist als eine Umgebungstemperatur, damit das Metall als Lasermedium sich nicht an den Spiegeln 20 und 22, sondern an einem Abschnitt niedrigerer Temperatur verfestigt. Die Erwärmungstemperatur der Spiegel 20 und 22 kann somit auf z.B. 200 - 300ºC, d.h. vergleichsweise höher als eine Umgebungstemperatur eingestellt werden. Ferner können die bei der obigen Ausführungsform aus Ni bestehenden Spiegel 20 und 22 durch Metallisieren von Molybdän oder Wolfram mit Ni oder Platin geformt sein. Die Spiegel 20 und 22 sind um 45º zur optischen Achse geneigt, doch können verschiedene Winkelwerte für Reflexion angewandt werden. Zudem brauchen auch die Winkel der Spiegel 20 und 22 zur optischen Achse nicht gleich groß zu sein. In diesem Fall können die Positionen der Übertragungsfenster geändert werden. Darüber hinaus brauchen auch die Neigungsrichtungen der Spiegel 20 und 22 zur optischen Achse nicht auf der gleichen Ebene zu liegen. Obgleich die Übertragungsfenster 24 und 26 senkrecht zur optischen Achse angeordnet sind, können sie zur Bildung eines Brewster-Winkels gegenüber der optischen Achse angeordnet sein.
  • Wie vorstehend beschrieben, sind gemäß der vorliegenden Erfindung die Heizeinheiten hinter den hochreflektierenden Spiegeln angeordnet, die in der Entladungsröhre zur Anderung (Umlenkung) der optischen Achsenrichtung des Laserstrahls über einen vorbestimmten Winkel angeordnet sind. Demzufolge wird das Verfestigen und Anhaften eines Metalldampfes an den hochreflektierenden Spiegeln verhindert. Folglich wird mit der vorliegenden Erfindung ein Metalldampflasergerät einer langen Betriebslebensdauer geschaffen, bei dem die Übertragungsfenster nicht verunreinigt werden und die hochreflektierenden Spiegel einen Laserstrahl mit hoher Reflexionsleistung über einen langen Zeitraum hinweg zu reflektieren vermögen.

Claims (9)

1. Metalldampf-Lasergerät, umfassend:
eine Entladungsröhre (2) zum Erzeugen eines Laserstrahls, wobei die Röhre (2) ein Puffergas unter einem vorbestimmten Druck enthält und mindestens einen Satz von Entladungselektroden (10, 12) aufweist,
eine Stromgquelleneinheit (16) zum Anlegen einer Spannung an die Elektroden (10, 12), eine in der Röhre (2) angeordnete Metalldampfquelle (44),
Übertragungsfenster (24, 26) zum Übertragen eines Laserstrahls und
zwei Resonatorspiegel (30, 32) zum Emittieren eines Laserstrahls, der durch die Übertragungsfenster (24, 26) hindurchgeht, wobei die Resonatorspiegel (30, 32) außerhalb der Röhre (2) angeordnet sind,
gekennzeichnet durch
zwei hochreflektierende Spiegel (20, 22) zum Reflektieren des Laserstrahls in der seine optische Achse kreuzenden Richtung, wobei die hochreflektierenden Spiegel (20, 22) einander gegenüberstehend nahe beider Endabschnitte in der Entladungsröhre (2) angeordnet sind,
Heizeinheiten (23, 34, 36) zum Erwärmen der beiden hochreflektierenden Spiegel (20, 22), sowie dadurch gekennzeichnet, daß die Übertragungsfenster (24, 26) an der Entladungsröhre (2) angeordnet sind, um einen von den hochreflektierenden Spiegeln (20, 22) reflektierten Laserstrahl zu übertragen bzw. durchzulassen.
2. Gerät nach Anspruch 1, bei dem die hochreflektierenden Spiegel (20, 22) um 45º zu einer optischen Achse in der Entladungsröhre (2) geneigt sind.
3. Gerät nach Anspruch 1, bei dem die Übertragungsfenster (24, 26) senkrecht zu einer optischen Achse eines Laserstrahls von den hochreflektierenden Spiegeln (20, 22) angeordnet sind.
4. Gerät nach Anspruch 1, bei dem die Übertragungsfenster (24, 26) (quer) über eine optische Achse eines Laserstrahls von den hochreflektierenden Spiegeln (20, 22) angeordnet und zur Bildung eines Brewster-Winkels zu dieser Achse geneigt sind.
5. Gerät nach Anspruch 1, bei dem die Heizeinheiten (23, 34, 36) die hochreflektierenden Spiegel (20, 22) auf eine Temperatur von 1100ºC erwärmen oder aufheizen.
6. Gerät nach Anspruch 1, bei dem die Heizeinheiten (23, 34, 36) die hochreflektierenden Spiegel (20, 22) auf eine Temperatur von 200 - 300ºC erwärmen.
7. Gerät nach Anspruch 1, bei dem die Metalldampfquelle (44) aus Kupfer besteht.
8. Gerät nach Anspruch 1, bei dem die Stromquelleneinheit eine Impulsspannung erzeugt.
9. Gerät nach Anspruch 1, bei dem die Entladungsröhre (2) einen mittleren Abschnitt (5) und zwei Endabschnitte (7, 9) aufweist, welche jeweils die beiden hochreflektierenden Spiegel (20, 22) enthalten, wobei die beiden Endabschnitte (7, 9) vom mittleren Abschnitt (5) abnehmbar sind.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2214702A (en) * 1988-01-30 1989-09-06 English Electric Valve Co Ltd Lasers
US5005177A (en) * 1989-09-27 1991-04-02 Lumonics Inc. Laser optics quality monitoring
US5048051A (en) * 1990-03-02 1991-09-10 Massachusetts Institute Of Technology Optically-stabilized plano-plano optical resonators
US5057184A (en) * 1990-04-06 1991-10-15 International Business Machines Corporation Laser etching of materials in liquids
US5105655A (en) * 1991-01-18 1992-04-21 Bell Communications Research, Inc. Rheological device for in situ measurements of photo polymerization kinetics
US5283800A (en) * 1991-03-27 1994-02-01 Kabushiki Kaishatoshiba Metal vapor laser apparatus and method
GB2262184B (en) * 1991-11-07 1995-06-07 Mitsubishi Electric Corp Pulse laser apparatus
US6567456B1 (en) * 1999-08-23 2003-05-20 Research Electro-Optics, Inc. Method and apparatus for achieving polarization in a laser using a dual-mirror mirror mount
US7465845B2 (en) * 2004-12-22 2008-12-16 Exxonmobil Chemical Patents Inc. Increasing ethylene and/or propylene production in an oxygenate to olefins reaction systems
JP2008041697A (ja) * 2006-08-01 2008-02-21 Hamamatsu Photonics Kk 加熱部材付きアルカリ封入セル及びアルカリレーザ装置
MX2009005369A (es) 2006-12-01 2009-10-13 Roston Family Llc Proceso para la preparacion de alcoxisilanos.
JP5927218B2 (ja) 2014-03-12 2016-06-01 ファナック株式会社 放電管を備えるレーザ発振器、およびレーザ加工装置
CN104759753B (zh) * 2015-03-30 2016-08-31 江苏大学 多***自动化协调工作提高激光诱导空化强化的方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3576500A (en) * 1965-11-30 1971-04-27 Gordon Gould Low level laser with cyclic excitation and relaxation
GB1269892A (en) * 1969-03-20 1972-04-06 Messerschmitt Boelkow Blohm Weapon system for the detection of and use against stationary or moving objects
US3947781A (en) * 1975-02-27 1976-03-30 Karl Gerhard Hernqvist Laser device
US4187474A (en) * 1977-08-11 1980-02-05 Xerox Corporation Metal vapor laser discharge tube
EP0009965B1 (de) * 1978-10-02 1984-03-07 Xerox Corporation Gaslaser
US4442523A (en) * 1981-12-17 1984-04-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force High power metal vapor laser
US4421386A (en) * 1982-03-03 1983-12-20 Honeywell Inc. Stress-free window for laser applications
US4710938A (en) * 1985-06-07 1987-12-01 Koito Seisakusho Co., Ltd. Metal ion laser protected against the deposition of metal vapor on brewster windows
US4730323A (en) * 1986-02-07 1988-03-08 Seaton Norman T Laser frequency drift control device and method
US4740988A (en) * 1986-11-12 1988-04-26 Particle Measuring Systems, Inc. Laser device having mirror heating

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Publication number Publication date
JPH01168084A (ja) 1989-07-03
EP0322716A1 (de) 1989-07-05
DE3880464D1 (de) 1993-05-27
US4876690A (en) 1989-10-24
EP0322716B1 (de) 1993-04-21

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