DE676733C - Verdampfen von Legierungen im Hochvakuum - Google Patents

Description

• Verdampfen von Legierungen im Hochvakuum Bei der Herstellung von elektrisch leitenden Schichten, Elektroden usw. -aus reinen Metallen geht man häufig in der Weise vor, daß man das Metall irn Hochvakuum verdampfen und sich auf einen Grundkörper niederschlagen läßt. Auf diese Weise gelingt 'es, homogene und feste leibende Teile aus reinem Metall zu erhalten, was für viele Zwecke wünschenswert ist. Solange es sich um das Verdampfen reiner Metalle im Hochvakuum handelt, ergeben sich leine merklichen Schwierigkeiten. Will man aber eine Legierung in dieser Weise behandeln, sie also verdampfen und als Legierung wieder niederschlagen, dann versagen die üblichen Verfahren. jedes Metall verdampft nämlich im Vakuum mengenmäßig in einer durch seinen Dampfdruck bei der Verdam.pfungstemperatur bestimmten Zeit. Bei einer Legierung besitzen nun die einzelnen Komponenten kaum den gleichen Dampfdruck; es verdampft also bei der Verdampfungstemperatur die Legierungskornponente mit dem höheren Dampfdruck schneller und in bevorzugter Weise, so daß der durch die Verdampfung hergestellte Körper schließlich eine ganz andere Zusammensetzung als die ursprüngliche Legierung aufweist. Man könnte zwar eine Legierung durch Kathodenzerstäubung gleichmäßig verdampfen; zu diesem Verfahren ist aber eine Gasatmosphäre notwendig, so. daß der hergestellte Körper stark gasgesättigt ist. Dies ist in den meisten Fällen unerwünscht, insbesondere, da die. Art des Grundkörpers, auf dem die Legierug niedergeschlagen werden soll, häufig eine spätere Entgasungserhitzung verbietet. Außexdem können durch eine solche Entgasungserhitzung auch manche unliebsamen Sekundärerscheinungen. auftreten. Die üblichen Verfahren sind also für den angegebenen Zweck nicht verwendbar.
• Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verdampfen von Legierungen im Hochvakuum, durch welches es ermöglicht wird, die verdampfte Legierung beim Niederschlagen in gleicher Zusammensetzung Vneder zu gewinnen. Erfindungsgemäß wird eine Legierung im Hochvakuum durch Hochfrequenzfunken zum Verdampfen gebracht. Man läßt die Funken zwischen Elektroden übergehen, welche aus der zu verdampfenden Legierung hergestellt sind und auf übliche Weise gekühlt werden. Die Kühlung der Elektroden. kann z. B. von innen her durch Wasser erfolgen. Es hat sich gezeigt, daß auf diese Weise "die obersten Molekuüarschichten der Elektroden ganz gleichmäßig abgebaut werden, .und zwar unabhängig vom Dampfdruck der einzelnen Legierungskomponenten. Man erhält auf diese Weise durch Niederschlag auf einem Grundkörper also eine gleichmäßige Schicht einer Legierung, welche mit der verdampften. Legierung genau die gleiche Zusammensetzung aufweist.
• Mit besonderem Vorteil läßt sich das Verfahren gemäß der Erfindung zur Herstellung sehr dünner Widerstandsschichten, z. B. aus Manganin, verwenden. Als Tragkörper können hochisolierende organische Körper, z. B. aus Bernstein oder Lacken, oder auch anorganische Körper, z. B. aus Quarz, Glas oder sonstigen keramischen Materialien, verwendet werden. Aber auch zur Herstellung beliebiger anderer leitender Schichten aus Legierungen, beispielsweise für Elektroden, Spiegel usw., ist das Verfahren nach der Erfindung mit Vorteil anwendbar.

Claims (1)

1. PATENTANSPRÜCHE: r. Verfahren zum Vexdampfen von Legierungen im Hochvakuum, dadurch gekennzeichnet, daß die Verdampfung durch Hochfrequenzfunken erfolgt, welche zwischen zwei oder mehreren aus den zu verdampfenden Legierungen gebildeten Elektroden übergehen. z. Verfahren nach Anspruch r, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden in an sich bekannter Weise, z. B. durch Wasserinnenkühler, gekühlt werden. 3. Anwendung des Verfahrens nach den Ansprüchen z und a zur Herstellung dünner Legierungsschichten, z. B. Widerstandsschichten, auf organischen oder anorganischen Grundkörpern, z. B. aus Bernstein, Lacken, Quarz, Glas oder keramischen Körpern.