DE6602810U - BODY BLASTING DEVICE WORKING ON THE PUMP, IN PARTICULAR ELECTRON MICROSCOPE, WITH A SLIDING OBJECT TABLE - Google Patents

Description

An der Pumpe arbeitendes Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einem verschiebbaren ObjekttischCorpuscular beam device working on the pump, in particular an electron microscope, with a movable stage

Steuerung
Die 'ftnfyj'miTEcqg betrifft ein an der Pumpe arbeitendes Korpuskularstrahlgerät, wobei insbesondere an ein Elektronenmikroskop gedacht ist. Es kann sich aber auch um ein Ionenmikroskopsteering
The 'ftnfyj'miTEcqg relates to a corpuscular beam device working on the pump, with an electron microscope being intended in particular. But it can also be an ion microscope

!Teuerung oder ein Beugungsgerät handeln. Die Baziincfcaas bezieht sich speziell auf ein solches Gerät, das mit einem zu untersuchende Objekte aufnehmenden Objekttisch ausgerüstet ist, der mittels zwei vakuumdicht durch das Vakuumgehäuse des Gerätes hindurchgeführter Stößel in zwei zueinander und zur Achse des Xorpusiojlarstrasles senkrechten Richtungen verschiebbar ist.! Trade in inflation or a flexion device. The Baziincfcaas relates specifically on such a device, which is equipped with an object table to be examined, which by means of two plungers passed through the vacuum housing of the device in a vacuum-tight manner in two to each other and to the axis of the Xorpusiojlarstrasles vertical directions is movable.

- 1 - Hu/Schi- 1 - Hu / Ski

Bekönnte Geräte dieser Art erfordern eine Bedienung der Stößel von Hand, so daß beim Einstellen eines "bestimmten, jeweils zu unters \chenden Objektbereicb&s dio Bedienungsperson am Mikroskop sein muß. Weiterhin ist es hinsichtlich der Bedienung häufig unangenehm, wenn zwecks Abtasters ä gesamten Objektes aie Bet&tigungseinrichtungen, die Ersielung sehr kleiner Objektbewegungen feingängig dimensioniert sind, von Hand über einen großen Bereich verstollt werden müssen.Well-known devices of this type require the plunger to be operated by hand, so that when setting a "certain, each object area to be examined & s dio operator must be on the microscope. Furthermore, it is often uncomfortable in terms of operation when using the scanner ä entire property aie operating devices that Realization of very small object movements are finely dimensioned, by hand over a large area must be hidden.

Der SJrütwÄMiqs liegt dio Aufgabe zugrunde, eino Möglichkeit anzugeben, die Bedienung eines derartigen Korpuskularstrahlgerätes bezüglich der Verschiebung des Objekttisohes in der Weise zu vereinfachen, daß eine Fernsteuerung durchgeführt wird, die es beispielsweise gestattet, das Objekt in einem Elektronenmikroskop v/ährend einss Vortrages vom Rednerpult aus so einzustellen, daß gewünschte Objektein-The SJrütwÄMiqs is based on the task, one possibility indicate the operation of such a corpuscular beam device with regard to the displacement of the object table in such a way that remote control is carried out which makes it possible, for example, to examine the object in an electron microscope during a lecture from To adjust the lectern in such a way that the desired object

Keuerung zelheiten vergrößert v/erden. Weiterhin soll die a&rxftbnflunec in der Weise weiterbildbar sein, daß beispielsweise die gesamte Oberfläche eines Objektes nach einem vorgegebenen Programm automatisch abgetastet wird.Chewing details enlarged v / earth. Furthermore, the a & rxftbnflunec be developed in such a way that, for example, the entire surface of an object according to a predetermined Program is scanned automatically.

neuerungs-Das sx±xnätH2£gsgemäße Korpuskularstrahlgerät ist dadurch gekennzeichnet, daß zur Betätigung der Stößel fernbediente Stellmotoren vorgesehen sind.innovation-the sx ± xnätH2 £ gsgemliche corpuscular beam device is thereby characterized in that remote-controlled servomotors are provided for actuating the tappets.

Es sind Korpuskularetrahageräte "bekannt, "bei denen die Brehbev/egung einer Verstellspindel in die translatorische Be-There are corpuscular retractors "known" in which the Brehbev / egung an adjusting spindle into the translational

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• •ft · »α · » · β · ·• • ft »α» β

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vegung des dieser zugeordneten Stößels umgesetzt wird.movement of the ram assigned to this is implemented.

neuerungs-innovation

Bei dieser Konstruktion rufen die aof£fcn4wjEgisgeinäß vorgesehenen Stellmotoren die Drehbewegung der Verstellspindel hervor. Zur Betätigung beider Stößel braucht hier nur ein einziger Stellmotor vorgesehen zu sein, wenn dieser mittels einer Kupplung wahlweise mit der einen oder der anderen Verstellspindel verbindbar ist.In this construction, the aof £ fcn4wjEgisgeinäß intended Servomotors produce the rotary movement of the adjusting spindle. To operate both plungers only needs here a single servomotor to be provided if this by means of a coupling either with one or the other other adjusting spindle is connectable.

Zwecks automatischer Abtastung eines größeren Seiles der * Objektfläche bzw. des gesamten Objektes kann man bei Verwendung von mehreren Stellmotoren Kontakte einer Programm-Steuer einrichtung in deren Erregungsstromkreisen vorsehen, wobei die Kontakte in der V/eise betätigt werden, daß sie die Erregungsstromkreise der Motoren in durch eine vorprogrammierte Reihenfolge der Abtastung aller Objektstellen vorgegebener Folge ein- und ausschalten.For the purpose of automatic scanning of a larger rope of the * object surface or the entire object, one can use of several servomotors contacts of a program control Provide a device in their excitation circuits, the contacts being actuated in such a way that they the excitation circuits of the motors in by a preprogrammed Switch the order of the scanning of all object locations on and off according to the specified sequence.

In dem oben an zweiter Stelle geschilderten Ausführungsbei-In the embodiment described above in the second place

Heuerung
C spiel der $x£zxah6Xi& mit einem beiden Stößeln gemeinsamen Stellmotor wird man zwecks Programmierung in dem Erregungsstromkreis der Kupplung Kontakte einer Programmsteuereinrichtung vorsehen, die über die Kupplung den Stellmotor in durch eine vorprogrammierte Reihenfolge der Abtastung aller Objektstellen vorgegebener Polge mit den beiden Verstellspindeln verbinden.Hiring
C play the $ x £ zxah6Xi & with a servomotor common to both plungers, contacts of a program control device will be provided for the purpose of programming in the excitation circuit of the clutch, which connect the servomotor to the two adjustment spindles via the clutch in a preprogrammed sequence of scanning all object locations of predetermined poles.

Me Programmsteuereinrichtung kann durch einen weiteren Motor mit Kontaktnocken in durch das jeweils gewünschteMe program control device can be controlled by a further motor with contact cams in by the respectively desired

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Programm gegebener Anordnung gebildet sein. Zur Erzielung einer zoilenraeterförmigen Abtastung des Objektes kann man aber auch die Bewegung des Objektes bzw« diejenige der dazu erforderlichen Betätigungsmittel ausnutzen, indem man der Programmsteuereinrichtung Bndkontakte im Bereich zwischen dem Objekt und den Stellmotoren zuordnet. Diese Bndkontakte bewirken also bei Erreichen einer bestimmten Objektlage das Abschalten des einen Stellmotors und gleichzeitig das Einschalten des anderen Stellmotors; bei der beschriebenen Verwendung nur eines Stellmotors mit einer Kupplung wirken die Endkontakte wiederum auf den Erregerkreis der Kupplung.Program given arrangement be formed. To achieve a zoilenraeter-shaped scanning of the object can but one can also use the movement of the object or that of the actuating means required for this by the program control device assigns band contacts in the area between the object and the servomotors. These band contacts thus cause the one servomotor to be switched off when a certain object position is reached and at the same time switching on the other servomotor; when using only one servomotor as described with a coupling, the end contacts in turn act on the excitation circuit of the coupling.

Bei der Kupplung kann es sich um eine Reibkupplung handeln, die v;ahlweise mit der einen oder der anderen Verstellspindel in Eingriff gebracht wird.The clutch can be a friction clutch, which can be operated with one or the other adjusting spindle is engaged.

Die laufgeschwindigkeit der verschiedenen Motoren wirr man ' ) zweckmäßigerweise der jeweiligen Bildvergrößerung anpassen.The running speed of the various motors confused man) suitably adjust 'of the respective image magnification.

Es ist möglich, bei geeigneter Vis hl der Laufgeschwindigkeit während der automatischen Abtastung eines Objektes gemäß eixiem vorgegebenen Programm die verschiedenen Objekteinzelheiten fotografisch, beispielsweise auf einem PiIm, festzuhalten» It is possible with a suitable Vis hl the running speed during the automatic scanning of an object according to The various object details in a given program to capture photographically, for example on a PiIm »

In der 2?igur ist schematisch ein Ausführungsbeispiel der !feuerungAn exemplary embodiment is schematically shown in FIG ! fire

dargestellt. Der Objekttisch 1, der das in diesemshown. The stage 1, which in this

>'· ' ·..·".· ·· " PA 9/710/2724 >'·' · .. · ". · ··" PA 9/710/2724

Ausführungsbeispiel in der Objektpatrone 2 gehaltene Objekt |Exemplary embodiment in the object cartridge 2 held object |

ι aufnimmt, ist mittels der Stößel 3 und 4 gegen die Wirkung ■ von hier nicht dargestellten Gegenfedern in zv/ei zueinander und zur Achse a des Korpuskularstrahles senkrechtenι receives is by means of the plunger 3 and 4 against the effect ■ of counter springs, not shown here, in zv / ei perpendicular to one another and to the axis a of the corpuscular beam

ί Richtungen verschieboar. Er liegt auf der oberen Fläche 5 ' der nicht näher dargestellten Objektivlinse, die die erste ^; Abbildungslinse beispielsweise eines Elektronenmikroskops iί Movable directions. It lies on the upper surface 5 'of the objective lens, not shown, which is the first ^; Imaging lens of, for example, an electron microscope i

An seinen verschiedenen seitlichen Auflageflächen ist der Objekttisch 1 mit Rollen versehen, von denen in der Figur nur die zum Abstützen auf den Gegenfeldern dienenden und nut 6 und 7 bezeichneten sichtbar sind.The object table 1 is provided with rollers on its various lateral support surfaces, of which only those used for supporting on the opposing fields and designated by grooves 6 and 7 are visible in the figure.

Die translatorische Bewegung der Stößel 5 und 4 wird in diesem Ausführungsbeispiel durch Drehung der in Gewinden gelagerten Verstcllspindeln 8 und 9 erzielt; die Translation | der Verstollspindeln wird mittels der um die Achsen 10 und 11 schwenkbaren Kniestücke 12 und 13 in die translatorische Bewegung der Stößel 3 und 4 umgesetzt. Die Verstellspindaln 8 und 9 wirken also praktisch als Stößel auf die Ie\le 12 und 13.The translational movement of the plungers 5 and 4 is shown in achieved in this embodiment by rotating the threaded adjusting spindles 8 and 9; translation | the locking spindles are turned into the translatory by means of the knee pieces 12 and 13 which can be pivoted about the axes 10 and 11 Movement of the plungers 3 and 4 implemented. The adjustable spindles 8 and 9 thus act practically as a tappet on Ie \ le 12 and 13.

Die zur Vorocliiebung des Objekttisches 1 erforderliche Dreh-Neuerung bewegung der Spindeln 8 und 9 v/ird gemäß der Xas&jaxämrg durch Stollmotoren 14 "bzw. 15 hervorgerufen. Diese Stellmotoren worden in diesem Ausführungsbeispiel nach einem vorgegebenen Programm abwechselnd so gesteuert» daß sie durch entsprechendeThe rotary innovation required for pre-opening the object table 1 Movement of the spindles 8 and 9 is carried out according to the Xas & jaxämrg Stoll motors 14 "and 15 caused. These servomotors are alternately controlled in this embodiment according to a predetermined program so that they are controlled by appropriate

: ·..·*..· ·..· .. ρ_Α 9/710/2724: · .. · * .. · · .. · .. ρ _Α 9/710/2724

Verschiebung des Objelcttisches 1 in oiner vorprogrammierten Reihenfolge alle Objektstellen nacheinander in den Bereich des Korpuskularstrahles a schieben, so daß das gesamte Objekt abgetastet wird. Hierzu ist die den weiteren ISotor 16 sowie Kontaktanordnungen 17 und 18 in den Erregungsstromkreisen der Stellmotoren I4 und 15 enthaltende Programmsteuereinrichtung vorgesehen. Me Kontakte 18 we-den durch die schematisch angedeuteten Hockenscheiben auf der Yfclle dec Motors 16 in dem gewünschten Programm entsprechender zeitlicher Folge betätigt.Shift of the object table 1 in oiner preprogrammed Sequence move all object locations one after the other into the area of the corpuscular beam a, so that the entire object is scanned. For this purpose, the other I-motor 16 and contact arrangements 17 and 18 are in the excitation circuits of the servomotors I4 and 15 containing program control device intended. Me contacts 18 are through the schematically indicated squat washers on the Yfclle dec Motors 16 corresponding in the desired program timed sequence actuated.

An den Teilen 12 und 15 sind Endkontakte 19 und 20 vorgesehen, die eine andere Programmstöuereinrichtung bilden und in den Erregungsstromkreisen der Stellmotoren Η und 15 liegend das Ein- bzw. Ausschalten derselben dann bewirken, wenn das Objekt eine bestimmte lage erreicht hat. Die Endkontakt G 19 und 20 bestehen jeweils aus einem mittleren beweglichen Kontakt an den Seilen 12 bzw. 13 und fest angeordneten Gegenkontakten.End contacts 19 and 20 are provided on parts 12 and 15, which form another program control device and then cause them to be switched on and off in the excitation circuits of the servomotors Η and 15, when the property has reached a certain position. The end contact G 19 and 20 each consist of a middle one movable contact on the ropes 12 and 13 and fixed Mating contacts.

JDer Steuermotor 16 wird zur Einleitung des Programmablaufs in nicht dargcstollter, an sich bekannter Weise eingeschaltet und beispielsweise nach Beendigung der Abtastung des Objektes automatisch abgeschälte--' .JThe control motor 16 is used to initiate the program sequence switched on in a manner not shown and known per se and, for example, after the scanning of the object has ended automatically peeled off-- '.

1 Pigur1 Pigur

8 Ansprüche8 claims

Claims (8)

• I · S 1 . il 'PA 9/710/2724 j Schatz- Bacfessöansprüche• I · S 1. il 'PA 9/710/2724 j Schatz-Bacfessö claims 1. An der Pumpe arbeitendes Korpaskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einem zu 'untersuchende Objekte aufnehmenden Objekttisch, der mittels zwei vakuumdichu durch das Vakuumgehäuse äes Gerätes hindurchgerührter Stößel in zwei zueinander und zur Achse des Korpuskularstrahleo senkrechten Richtungen verschiebbar ist, dadurch gekennzeiohnet, daß zur Betätigung der Stößel fernbediente Stellmotoren vorgesehen sind.1. Corpascular beam device working on the pump, in particular Electron microscope, with an object table to be examined, the object table using two vacuum dichu through the vacuum housing of the device The plunger is displaceable in two directions perpendicular to one another and to the axis of the Korpuskularstrahleo, thereby gekennzeiohnet that remote control to operate the plunger Servomotors are provided. 2. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 1, bei dem die Drehbewegung einer Verstellspindel in die translatorische Bewegung des dieser zugeordneten Stößels umgesetzt wird, 'dadurch gekennzeichnet, daß die Stellmotoren die Drehbewegung der Verstellspindeln hervorrufen.2. Corpuscular beam device according to claim 1, wherein the Rotary movement of an adjusting spindle is converted into the translational movement of the ram assigned to it, 'characterized in that the servomotors cause the rotary movement of the adjusting spindles. 3. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 2_} dadurch gekennzeichnet, daß zur Betätigung beider Stößel ein einziger Stellmotor vorgesehen ist, der mittels einer Kupplung wahlweise mit der einen oder der anderen Verstellspindel verbindbar ist.3. corpuscular beam device according to claim 2 _}, characterized in that a single servomotor is provided for actuating both plungers, which is optionally connectable by means of a coupling to one or the other adjusting spindle. 4- KorpuakularstrahlgGrät naeh Anspruch 1 QfLGV 2,4- corpuakularstrahlgÄT according to claim 1 QfLGV 2, gekennzeichnet, daß in den Erregungsstrorakreisen der Stellmotoren Kontakte einer Programmsteuereinrichtung liegen,characterized in that in the excitation current circuits of the servomotors There are contacts of a program control device, -* 7- * 7 ,:. : ·..".. " * TA 9/710/2724,:. : · .. ".. " * TA 9/710/2724 die die Srregungsstromkreise in durch eine vorprogrammierte Reihenfolge der Abtastung aller Objektstellen vorgegeoener Polge ein- und ausschalten.which the excitation circuits in by a preprogrammed Switch the order of the scanning of all object locations of predefined poles on and off. 5. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Erregungsstromkreis der Kupplung Kontakte einer Prograiamsteuereirrichtung liegen, die über die Kupplung den Stellmotor in durcn eine vorprogrammierte Reihenfolge der Abtastung aller Oojektstellen vorgegebener Folge mit den beiden Yerstellspindeln verbinden.5. corpuscular beam device according to claim 3, characterized in that that in the excitation circuit of the clutch are contacts of a Prograiamsteuereirrichtung, which over the Coupling the servomotor in a preprogrammed way Connect the order of the scanning of all object locations of the given sequence with the two adjusting spindles. 6. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Programmsteuereinrichtung durch einen weiteren Motor mit Kontaktnocken gebildet ist.6. corpuscular beam device according to claim 4 or 5, characterized in that the program control device by another motor with contact cams is formed. 7. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 4 oder 5» dadurch gekennzeichnet, daß die Programmsteuereinrichtung Endkontakte im Boreich zwischen dem Objekt und den Stellmotoren enthält.7. corpuscular beam device according to claim 4 or 5 »thereby characterized in that the program control device has end contacts in the Boreich between the object and the servomotors contains. 8. Korpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Laufgeschwindigkeit der Motoren der Bildvergrößerung angepaßt ist.8. corpuscular beam device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the running speed of the motors is adapted to the image magnification.