DE1614528C - Corpuscular beam microscope with servomotors for object adjustment - Google Patents

Description

Das Hauplpatent betrifft ein Korpuskularstrahlmikroskop mit einem zu untersuchende Objekte aufnehmenden Objekttisch, der mittels zwei vakuumdicht durch das Vakuumgehäuse des Gerätes hindurchgeführter Stößel in zwei zueinander und zur Achse des Korpuskularstrahles senkrechten Richtungen verschiebbar ist; zur Betätigung der Stößel sind fernbediente Stellmotoren vorgesehen.The main patent relates to a particle beam microscope with an object to be examined receiving object table, which is guided through the vacuum housing of the device by means of two vacuum-tight Plunger in two directions perpendicular to one another and to the axis of the corpuscular beam is movable; Remote servomotors are provided to operate the tappets.

Die Erfindung stellt eine weitere Ausbildung des Korpuskularstrahlmikroskops nach der Hauptpatentanmeldung dar. Sie betrifft demgemäß ebenfalls ein Korpuskularstrahlmikroskop, also ein Elektronenoder Ionenmikroskop oder aber eine Beugungseinrichtung mit zur Verstellung des zu untersuchenden Objektes dienenden Einrichtungen und zu deren Betätigung vorgesehenen fernbedienten Stellmotoren. Erfindungsgemäß sind die Stellmotoren Schrittmotoren, denen Impulsgeber zugeordnet sind, die eine durch die Größe der gewünschten Objektverstellung gegebene Anzahl von Steuerimpulsen mit die Geschwindigkeit der Objektverstellung bestimmender Frequenz an die Schrittmotoren abgeben, und die je Impuls erfolgende Verstellung der Schrittmotoren bewirkt die kleinste erforderliche Objektverstellung.The invention represents a further embodiment of the particle beam microscope according to the main patent application It accordingly also relates to a particle beam microscope, that is to say an electron microscope Ion microscope or a diffraction device with to adjust the to be examined Facilities serving the object and remote-controlled servomotors provided for their actuation. According to the invention, the servomotors are stepper motors to which pulse generators are assigned, the one the number of control pulses given by the size of the desired object adjustment with the speed the object adjustment to give the determining frequency to the stepper motors, and the depending Impulse adjustment of the stepper motors causes the smallest object adjustment required.

Dabei können die Einrichtungen wie bei dem Gerät nach der Hauptpatentanmeldung eine Objekthalterung für das zu untersuchende Objekt enthalten, die mittels vakuumdicht durch das Vakuumgehäuse des Gerätes hindurchgeführter Stößel durch Betätigen von den Stößeln zugeordneten Schrittmotoren relativ zum Korpuskularstrahl verstellbar ist. Eine derartige Stößelbetätigung ist für die Anwendung der Erfindung aber nicht unbedingt erforderlich; man könnte auch an eine stabförmige Objekthalterung denken, die ebenfalls durch Verwendung von Schrittmotoren eine Verstellung des Objektes relativ zum Korpuskularstrahl gestattet. Weiterhin kann es sich auch um eine Verstellung des Objektes in Richtung der Achse des Gerätes handeln, wie sie zur Erfüllung bestimmter Scharfstellbedingungen erforderlich ist.As with the device according to the main patent application, the devices can have an object holder for the object to be examined, which means vacuum-tight through the vacuum housing of the device ram passed through by actuation of the stepper motors associated with the ram relative to the Corpuscular beam is adjustable. Such a ram actuation is essential for the application of the invention but not absolutely necessary; one could also think of a rod-shaped object holder that also by using stepper motors an adjustment of the object relative to the corpuscular beam allowed. Furthermore, it can also be an adjustment of the object in the direction of the axis of the Acting device as it is necessary to meet certain focus conditions.

Weiterhin beinhaltet die Erfindung insofern eine Weiterbildung gegenüber dem Hauptpatent, als die Objekthalterung eine Kippatrone enthalten und durch Betätigen der Schrittmotoren der Winkel zwischen Objekt und Korpuskularstrahl verstellbar sein kann. In diesem Falle handelt es sich also nicht um die Durchführung von Bewegungen eines Objekttisches, sondern um die Durchführung von Bewegungen eines schwenkbaren, das Objekt haltenden Teiles einer Kippatrone, die allerdings auch in einen Objekttisch eingesetzt sein kann. Diesem Tisch können weitere Schrittmotoren oder Kupplungen zugeordnet sein, die ihn mit den für die Durchführung der Kippbewegung vorgesehenen Schrittmotoren zu verbinden gestatten, so daß dann auch eine Bewegung des Objekttisches quer zum Korpuskularstrahl mittels Schrittmotoren vorgenommen werden kann.Furthermore, the invention includes a further development compared to the main patent, as the object holder contain a tilting cartridge and, by operating the stepper motors, the angle can be adjustable between the object and the corpuscular beam. So in this case it is not about the execution of movements of an object table, but about the execution of movements a swiveling part of a tilt cartridge that holds the object, but which is also in an object table can be used. Further stepper motors or couplings can be assigned to this table to connect it to the stepper motors provided for performing the tilting movement allow, so that then also a movement of the object table transversely to the corpuscular beam by means of Stepper motors can be made.

Auch Objektdrehungen können mittels Schrittmotoren reproduzierbar durchgeführt werden.Object rotations can also be carried out reproducibly using stepper motors.

Diese Auswahl bestimmter Motoren und ihre Steuerung mittels Impulsen bieten wesentliche Vorteile. Wie im folgenden noch im einzelnen erläutert wird, ist es möglich, durch Verwendung von voreinstellbaren Impulszählern das Gerät so auszulegen, daß man auch während der Objektbewegung die Hände für die Durchführung anderer Einstellungen am Korpuskularstrahlgerät, beispielsweise für die Nachfokussierung von Linsen, frei hat. Weiterhin gibt die Bewegung des Objektes um diskrete Schritte die Möglichkeit, das Objekt praktisch in einem Koordi-■ natensystem abzutasten, wobei die Koordinatenteilung durch die einzelnen Schritte reproduzierbar festliegt. Man kann also den einzelnen Objektstellen Koordinatenwerte zuordnen und demgemäß diese Stellen nach Betrachtung anderer Objektstellen wieder aufsuchen.
Eine vorteilhafte Eigenschaft derartiger Schrittmotoren, nämlich die Regelbarkeit ihrer Schrittgeschwindigkeit in einem großen Bereich, beispielsweise zwischen 1 und 300 Schritten je Sekunde, macht sich hier insofern besonders günstig bemerkbar, als ohne Durchführung von Getriebeumschaltungen die Verstellgeschwindigkeit des Objektes den verschiedenen Vergrößerungen, beispielsweise in einem Elektronenmikroskop, angepaßt werden kann. Es ist einzusehen, daß bei einer starken Vergrößerung die Verstellgeschwindigkeit beim Absuchen eines ObjektesThis selection of certain motors and their control by means of pulses offer significant advantages. As will be explained in detail below, it is possible, by using presettable pulse counters, to design the device in such a way that you have your hands free to make other settings on the corpuscular beam device, for example for refocusing lenses, even while the object is moving. Furthermore, the movement of the object by discrete steps gives the possibility of practically scanning the object in a coordinate system, the coordinate division being reproducibly fixed by the individual steps. One can therefore assign coordinate values to the individual object locations and accordingly visit these locations again after viewing other object locations.
An advantageous property of such stepper motors, namely the controllability of their step speed in a large range, for example between 1 and 300 steps per second, is particularly noticeable here insofar as the adjustment speed of the object to the various magnifications, for example in an electron microscope, without performing gear changes , can be customized. It can be seen that with a high magnification, the adjustment speed when searching an object

ao kleiner sein muß als bei schwacher Vergrößerung, da sich ein Schritt des Schrittmotors bei einer hohen Vergrößerung als großer Sprung des Objektes im Endbild bemerkbar macht.ao must be smaller than with low magnification, there One step of the stepper motor at a high magnification turns out to be a large jump of the object in the Makes the final image noticeable.

Wie im folgenden im einzelnen erläutert wird, ist es möglich, Antriebsorgane für die Schrittmotoren mit geringem Aufwand zu konstruieren, die die koordinatenmäßige Einstellung bestimmter Objektpunkte dadurch kurzzeitig vornehmen, daß gleichzeitig eine Bewegung in Richtung beider Koordinatenachsen erfolgt.As will be explained in detail below, it is possible to use drive elements for the stepper motors to construct with little effort, the setting of certain object points in terms of coordinates by doing this for a short time that a movement in the direction of both coordinate axes at the same time he follows.

Bei der bevorzugten Ausführungsform steht, wie an sich bekannt, die Objekthalterung, also beispielsweise ein Objekttisch oder eine Kippatrone, unter dem Einfluß von zwei senkrecht zueinander und zum Korpuskularstrahl verlaufenden Stößeln, die unabhängig voneinander mittels der Schrittmotoren verstellbar sind. Dann ist die Möglichkeit gegeben, mittels der Schrittmotoren das Objekt entweder beliebig in einer Ebene quer zum Korpuskularstrahl oder in einem Raumwinkelbereich um die Achse des Korpuskularstrahles herum zu bewegen bzw. zu schwenken.In the preferred embodiment, as is known per se, the object holder is, for example a stage or a tilt cartridge, under the influence of two perpendicular to each other and to the Corpuscular beam extending rams, which can be adjusted independently of one another by means of the stepper motors are. Then there is the possibility of using the stepper motors either in a Plane transverse to the corpuscular ray or in a solid angle range around the axis of the corpuscular ray to move or pan around.

Die Unabhängigkeit der Einstellung in den beiden Richtungen läßt sich am einfachsten dadurch erzielen,The easiest way to achieve independence of the setting in both directions is by

- daß jedem Stößel ein Schrittmotor zugeordnet ist.- That a stepper motor is assigned to each ram.

Man kann jedoch zur Verstellung beider Stößel auch einen einzigen Schrittmotor und zwei Kupplungen vorsehen, durch die dieser eine Motor wahlweise mit dem einen oder dem anderen Stößel verbindbar ist.However, a single stepper motor and two clutches can also be used to adjust both tappets provide through which this one motor can optionally be connected to one or the other tappet.

Es kann zweckmäßig sein, die Schrittmotoren über ihnen individuell zugeordnete Verstellspindeln, deren Drehbewegungen in Translationsbewegungen der. Stößel umgesetzt werden, mit den Stößeln verbindbar zu machen. Die Verwendung derartiger Verstellspindeln, die auf die Stößel wirken, ist an sich bekannt, und als ein besonderer Vorteil der Erfindung ist die Möglichkeit anzusehen, diese bewährte Konstruktion beizubehalten. It can be useful to adjust the stepper motors individually assigned to them, their Rotational movements in translational movements of the. Plungers are implemented, connectable to the plungers do. The use of such adjusting spindles, which act on the ram, is known per se, and as a particular advantage of the invention is the possibility of maintaining this tried and tested construction.

Weiterhin kann es zweckmäßig sein, zusätzlich Mittel zur Betätigung der Objektverstellung von Hand vorzusehen, beispielsweise Handgriffe in solcher Anordnung, daß sie von der Bedienungsperson des Gerätes leicht zu erreichen sind. Sind derartige Handbetätigungsmittel vorgesehen, so wird man zwischen den Schrittmotoren und den Verstellspindeln Magnetkupplungen vorsehen, um die Handbetätigung mit geringer Kraft erfolgen zu lassen.Furthermore, it can be expedient to additionally use means for actuating the object adjustment by hand provide, for example, handles in such an arrangement that they by the operator of the device are easy to get to. If such manual actuation means are provided, one is between Provide magnetic couplings for the stepper motors and the adjustment spindles to enable manual operation with to be done with little force.

Aus Montagegründen ist es zweckmäßig, daß jeweils eine Verstellspindel mit dem ihr zugeordnetenFor assembly reasons, it is advisable that in each case one adjusting spindle with the one assigned to it

3 ■ 43 ■ 4

Schrittmotor sowie gegebenenfalls einer elektro- für Linkslauf oder den Stromkreis für Rechtslauf des magnetischen Kupplung und/oder einem Überset- Schrittmotors schließen. Man benötigt dann nur ein zungsgetriebe eine selbständige Baueinheit bildet, die einziges Einstellorgan sowohl für die Verstelldann beispielswiese an der Säule eines Elektronen- geschwindigkeit als auch die Versteilrichtung des mikroskops nach dem Zusammenbau derselben be- 5 Objektes, wobei das Einstellprinzip darin besteht, daß festigt wird. Um hier gegebenenfalls auftretende Her- das einstellbare elektrische Schaltungselement symstellungstoleranzen unwirksam zu machen, wird man metrisch zu einer Nullstellung ausgebildet ist. Die die Verstellspindel vorteilhafterweise aus mehreren, Nullstellung kann durch Rasten definiert sein,
durch Kardangelenke verbundenen Teilen zusammen- Verständlicherweise kann man als einstellbares setzen. Dies wird insbesondere bei Korpuskularstrahl- io Schaltungselement außer einem Potentiometer auch, mikroskopen, die ähnlich Elektronenmikroskopen einen einstellbaren Kondensator oder ein einstellaufgebaut sind oder selber Elektronenmikroskope bares anderes Schaltungselement verwenden,
darstellen, deshalb zweckmäßig sein, weil insbeson- Bei dieser Lösung sind das Einstellorgan und die dere bei Verwendung von Mitteln zur Handbetätigung Kontaktmittel zweckmäßigerweise auf einem in Richdie Verstellspindeln sich von einer für die Bedie- 15 tung seiner Achse verschiebbar gelagerten stangennungsperson bequem erreichbaren Höhe bis zum artigen Bauteil derart angeordnet, daß bei Verschiebe-Bereich der Objekthalterung erstrecken müssen und bewegungen des stangcnartigen Bauteils das Einstellhier, insbesondere bei einer mehrstufigen Abbildung organ die frequenzbestimmende elektrische Eigenin dem Gerät, bereits merkbare Toleranzen beinhal- schaft des elektrischen Schaltungselementes ändert tende Abmessungen zu überbrücken sind. 20 und die Kontaktmittel über Gegenkontakte in denStepper motor and, if necessary, an electrical circuit for counterclockwise rotation or the circuit for clockwise rotation of the magnetic coupling and / or an overset stepper motor. All that is needed is a gear mechanism that forms an independent structural unit, which is the only adjustment element for both the adjustment, for example on the column of an electron speed, and the adjustment direction of the microscope after the same object has been assembled, the adjustment principle being that it is fixed . In order to render the adjustable electrical circuit element symposition tolerances ineffective here, one is designed metrically for a zero position. The adjustment spindle advantageously consists of several, zero position can be defined by notches,
parts connected by cardan joints understandably can be set as adjustable. This is especially true for corpuscular beam circuit elements in addition to a potentiometer, microscopes which, similar to electron microscopes, have an adjustable capacitor or an adjustable capacitor or which use electron microscopes themselves using other circuit elements,
In this solution, the setting element and the contact means are expediently on a height adjustable for the operation of its axis from a height that is easily accessible for the operation of its axis, when using means for manual actuation Like component arranged in such a way that the object holder must extend in the displacement range and movements of the rod-like component have to bridge the setting here, especially with a multi-level mapping organ the frequency-determining electrical property in the device, already noticeable tolerances including the electrical circuit element changes tend dimensions . 20 and the contact means via mating contacts in the

Das der elektromagnetischen Kupplung benach- Stromkreisen des Schrittmotors gleiten,The electric circuits of the stepper motor slide next to the electromagnetic clutch,

barte Ende der Verstellspindel wird man mit einer Besonders bequem ist die Betätigung derartigerThe barte end of the adjusting spindle is particularly easy to operate

Ausgangswelle der elektromagnetischen Kupplung stangenartiger Bauteile, wenn ein solches BauteilOutput shaft of the electromagnetic clutch of rod-like components, if such a component

durch eine Stift-Schlitz-Verbindung drehfest, aber in unter Federwirkung mit einem Ende gegen einen inby means of a pin-and-slot connection non-rotatably, but in under spring action with one end against an in

Achsrichtung der Verstellspindel Relativbewegungen 25 der Nullstellung zumindest ungefähr senkrecht zu ihmAxial direction of the adjusting spindle relative movements 25 of the zero position at least approximately perpendicular to it

zulassend verbinden. Da demgemäß das der elektro- stehenden Hebel drückt, der mit dem seinem alsadmissibly connect. Since the electrified lever presses accordingly, the one with his as

magnetischen Kupplung benachbarte Teil der Ver- Handgriff dienenden Ende abgekehrten Ende inmagnetic coupling adjacent part of the handle serving end facing away in

stellspindel ohnehin besondere Arbeitsgänge bei der Achsrichtung des stangenartigen Bauteils schwenkbaradjusting spindle anyway special operations in the axial direction of the rod-like component pivotable

Herstellung erfordert, ist es zweckmäßig, bei Vor- eingespannt ist. Eine derartige Anordnung läßt sichRequires manufacture, it is useful when it is preloaded. Such an arrangement can

handensein eines Handrades für die Betätigung der 30 leicht im Bedienungspult, beispielsweise eines Elek-presence of a handwheel for operating the 30 easily in the control panel, for example an electronic

Objektverstellung von Hand dieses Handrad auch tronenmikroskops, so anordnen, daß der Hebel mitObject adjustment by hand this handwheel also electron microscope, so arrange that the lever with

auf diesem Teil der Verstellspindel anzuordnen. seinem als Handgriff dienenden Ende aus der Tisch-to be arranged on this part of the adjusting spindle. its end serving as a handle from the table

Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfin- platte herausragt und die übrigen Elemente des Andung ist die elektromagnetische Kupplung mit dem triebs sich unterhalb der Tischplatte befinden.
Schrittmotor mittels eines das ihr benachbarte Teil 35 Der Hebel kann mehreren Schrittmotoren in der der Verstellspindel mit dem Handrad übergreifenden Weise zugeordnet sein, daß mehrere stangenartige Bügels an dem Teil der Verstellspindel gehalten, das Bauteile aus verschiedenen Richtungen gegen ihn dem das Handrad tragenden Teil benachbart ist. Der drücken und er in diesen Richtungen schwenkbar Bügel ist mit seinem einen Ende an dem Gehäuse eingespannt ist. In dieser Weise kann man einen der Kupplung befestigt und umgreift mit seinem 40 einzigen Hebel beispielsweise allen zur Durchführung anderen Ende hülsenartig und Relativdrehungen zu- von Bewegungen eines Objekttisches in einer senklassend das von der Kupplung her gesehen zweite recht zum Korpuskularstrahl verlaufenden Ebene Teil der Verstellspindel. erforderlichen Schrittmotoren zuordnen.In the preferred embodiment of the invention plate protrudes and the other elements of the Andung is the electromagnetic clutch with the drive are located below the table top.
Stepping motor by means of a part 35 adjacent to it, the lever can be assigned to several stepping motors in the way that crosses the adjusting spindle with the handwheel, that several rod-like brackets are held on the part of the adjusting spindle which is adjacent to the part carrying the handwheel from different directions against it . One end of the clamp is clamped to the housing, and one end of the clamp can be swiveled in these directions. In this way, one of the coupling can be attached and its single lever encompasses, for example, all of the other end of the adjusting spindle for implementation, sleeve-like and relative rotations to movements of an object table in a lower part of the adjusting spindle, viewed from the coupling, the second plane extending right to the corpuscular beam. assign the required stepper motors.

Wie bereits bemerkt, ist ein Vorteil der Verwen- Man kann aber die Zuordnung auch so treffen,As already noted, one advantage is the use of

dung von Schrittmotoren für die Objektverstellung 45 daß mehrere stangenartige Bauteile in einer gemein-generation of stepper motors for the object adjustment 45 that several rod-like components in a common

darin zu sehen, daß die Verstellgeschwindigkeit den samen, den Hebel enthaltenden Ebene liegend gegenit can be seen that the adjustment speed lies against the seed, the level containing the lever

im Korpuskularstrahlgerät vorliegenden speziellen ihn drücken. In diesem Fall hat man jedoch keinein the corpuscular beam device present special press him. In this case, however, you don't have one

Verhältnissen, also in erster Linie der jeweils einge- Unabhängigkeit der durch die verschiedenen stangen-Conditions, i.e. primarily the respective independence of the various rods

stellten Vergrößerung, in einfacher Weise angepaßt artigen Bauteile ausgelösten Bewegungen, da beiprovided magnification, in a simple manner adapted like components triggered movements, since at

werden kann. Eine zweckmäßige diesbezügliche Aus- 5° senkrecht stehendem Hebel diese stangenartigencan be. A useful related from 5 ° vertical lever this rod-like

führung der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß Bauteile übereinanderliegend gegen den Hebel vonExecution of the invention is characterized in that components lie one above the other against the lever of

der Impulsgeber Mittel, wie Potentiometer, zur Ein- derselben Seite her drücken,the pulse generator press means, such as a potentiometer, to the same side,

stellung verschiedener Impulsfrequenzen enthält. Die bevorzugte Ausführungsform der Erfindungcontains different pulse frequencies. The preferred embodiment of the invention

Im einzelnen kann die Einstellvorrichtung für die mit mehreren aus verschiedenen Richtungen gegenIn detail, the adjustment device for the with several from different directions against

Schrittmotoren so aufgebaut sein, daß in einem fre- 55 einen Hebel drückenden stangenartigen BauteilenStepper motors can be constructed in such a way that rod-like components in a free 55 pushing a lever

quenzbestimmenden Stromkreis des Impulsgebers ein wird in der Regel so aussehen, daß zwei stangenartigeThe sequence-determining circuit of the pulse generator will usually look like two rod-like

einstellbares elektrisches Schaltungselement, Vorzugs- Bauteile um vorzugsweise 90° gegeneinander versetz?adjustable electrical circuit element, preferred components offset from one another by preferably 90 °?

weise ein Potentiometer, solcher Ausbildung liegt, gegen den Hebel drücken und dieser in allen Rich-wise a potentiometer, such a training is, press against the lever and this in all directions

daß sich seine . frequenzbestimmende Eigenschaft, tungen schwenkbar eingespannt ist. Zur Einspannungthat his. frequency-determining property that is clamped in a pivotable manner. For clamping

vorzugsweise also der Widerstandswert, beim Bewe- 60 trägt der Hebel an seinem eingespannten EndeSo preferably the resistance value, when moving the lever bears at its clamped end

gen eines Einstellorgans, vorzugsweise eines Span- zweckmäßigerweise eine Kugel,a setting element, preferably a chip - expediently a ball,

nungsabgriffs, ausgehend von einer die Abgabe von Bei dieser Ausbildung hat man also die bereitsnungsabgriffs, starting from a submission of In this training you have already

Impulsen an die Schrittmotoren verhindernde Null- eingangs genannte vorteilhafte Möglichkeit, unterImpulses to the stepper motors preventing zero input mentioned advantageous option under

stellung nach beiden Richtungen gleichsinnig ändert; Benutzung nur eines Hebels eine Einstellung desposition changes in the same direction in both directions; Use only one lever to adjust the

ferner sind mit dem Einstellorgan Kontaktmittel ver- 65 Objekttisches oder einer Kippatrone innerhalb einerfurthermore, contact means are connected to the setting element. 65 object tables or a tilting cartridge within a

bunden, die in Abhängigkeit davon, in welche der Ebene in beliebiger Richtung vorzunehmen, wobeibound, which depending on which of the plane make in any direction, with

beiden Richtungen das Einstellorgan aus der Null- Bewegungen in zwei Koordinatenrichtungen gleich-both directions the setting element from the zero movements in two coordinate directions equal-

steüung jeweils bewegt ist, entweder den Stromkreis zeitig vor sich gehen können.Steüung is moved in each case, either the circuit can go ahead early.

Da bei dieser Einstellung der Hebel seine Lage relativ zu den Enden der stangenartigen Bauteile, mit denen sich diese auf ihm abstützen, ändert, ist es zweckmäßig, dem Hebel ballige Auflageflächen für die Enden der stangenartigen Bauteile zu geben, die ihrerseits Auflageflächen solcher Größe tragen, daß der Hebel in allen Stellungen die Lage aller stangenartigen Bauteile bestimmt. Die verschiedenen Auflageflächen dürfen also nie außer Eingriff miteinander kommen.Since with this setting of the lever its position relative to the ends of the rod-like components, with which these are based on him changes, it is useful to have spherical bearing surfaces for the lever to give the ends of the rod-like components, which in turn carry bearing surfaces of such a size that the lever determines the position of all rod-like components in all positions. The different contact surfaces so must never come out of engagement with each other.

Bei einer Weiterbildung der Erfindung sind zwischen den Impulsgebern und den Schrittmotoren voreinstellbare Impulszähler angeordnet. Derartige elektronische Zähler sind, ebenso wie Impulsgeber elektronischer oder elektrisch-mechanischer Bauart, dem Fachmann wohlbekannt. Als Impulsgeber können beispielsweise Einrichtungen verwendet werden, wie sie für die Ablenkimpulse von Elektronenstrahl-Oszillographen Verwendung finden.In a further development of the invention, presettables are possible between the pulse generators and the stepper motors Pulse counter arranged. Such electronic counters, like pulse generators, are electronic or of an electro-mechanical design, well known to those skilled in the art. As a driving force, you can for example devices such as those used for the deflection pulses of electron beam oscilloscopes Find use.

Die Verwendung voreinstellbarer Impulszähler gibt die Möglichkeit, Objekteinzelheiten, deren Koordinaten in der Voreinstellung der Impulszähler gespeichert sind, direkt anzusteuern, wobei außerdem nur eine Auslösetaste od. dgl. für den Einstellvorgang betätigt zu werden braucht.The use of presettable pulse counters gives the possibility of object details and their coordinates are stored in the presetting of the pulse counter, to be controlled directly, with only a release button or the like needs to be actuated for the setting process.

Eine derartige Objektverstellung kann außer zur gewünschten Einstellung eines anderen Objektbercichs oder Objektwinkels auch dann mit Vorteil vorgenommen werden, wenn eine unerwünschte Objektwanderung kompensiert werden muß. Eine derartige Objektwanderung kann beispielsweise bei einer Objektkippung dann auftreten, wenn die Kippachse nicht, wie dies beispielsweise für Stereountersuchungen an sich erforderlich ist, genau im Objekt liegt. In diesem Falle kann man mittels der Schrittmotoren und insbesondere bei Verwendung voreinstellbarer Impulszähler, die nur eine durch ihre Voreinstellung bestimmte Anzahl von Impulsen an die Schrittmotoren gelangen lassen, eine Kompensation durchführen. Weiterhin können unerwünschte Objektwanderungen durch Temperatureinflüsse auftreten. Ist ein derartiger Temperatureinfluß, der sich in der Regel während eines gewissen Zeitraumes bemerkbar macht, quantitativ bekannt, so kann man ihn in den Impulszählern speichern .und entsprechend dieser Speicherung gegenläufige Bewegungen des Objektes mittels der Stellmotoren vornehmen.Such an object adjustment can be used in addition to the desired setting of a different object area or object angle can also be carried out with advantage when an undesired object migration must be compensated. Such an object hike can, for example, with a Object tilting occurs when the tilt axis does not, as is the case, for example, for stereo studies is required in itself, lies exactly in the object. In this case you can use the stepper motors and especially when using presettable pulse counters, which only have one through their presetting Let a certain number of pulses reach the stepper motors, perform a compensation. Furthermore, unwanted object migration can occur due to temperature influences. Is one of those The influence of temperature, which is usually noticeable over a certain period of time, quantitatively known, it can be stored in the pulse counters and in accordance with this storage make opposing movements of the object by means of the servomotors.

Im folgenden wird die Erfindung an Hand der Figuren erläutert, von denen die F i g. 1 und 2 zwei senkrecht zueinander liegende, teilweise im Schnitt wiedergegebene Ansichten eines mit einer Verstellspihdel über eine elektromagnetische Kupplung verbundenen Schrittmotors darstellen, während die F i g. 3 und 4 eine erste konstruktive Möglichkeit für den Aufbau einer Betätigungseinrichtung und F i g. 5 ,eine andere Ausgestaltung der Betätigungseinrichtung zeigen. Die Anordnungen nach den F i g. 1 und 2 sind um 90° im Uhrzeigersinn gedreht zu denken.In the following the invention is explained with reference to the figures, of which the F i g. 1 and 2 two perpendicular to each other, partially reproduced in section views of a with a verstellspihdel represent stepping motor connected via an electromagnetic clutch, while the F i g. 3 and 4 a first constructive possibility for the structure of an actuating device and FIG. 5, another embodiment of the actuating device show. The arrangements according to FIGS. 1 and 2 are to be thought rotated by 90 ° clockwise.

In den F i g. 1 und 2 ist allgemein mit 1 eine Verstellspindel bezeichnet, die an ihrem oberen, nur in F i g. 1 dargestellten Ende die Schräge 2 besitzt, die mit einer entsprechenden Gegenschräge an einem darüberliegenden, auf nicht dargestellte Stößel wirkenden, ebenfalls nicht dargestellten Spindelteil zusammenwirkt. Die beiden eine Kupplung bildenden schrägen Flächen werden mittels Überwurfmuttern 3 im zusammengebauten Zustand gegcneinandergepreßt. In the F i g. 1 and 2 is generally designated with 1 an adjusting spindle, which at its upper, only in F i g. 1 end shown has the slope 2, which with a corresponding counter slope on a overlying, acting on not shown plunger, also cooperates spindle part, not shown. The two form a coupling inclined surfaces are pressed together by means of union nuts 3 in the assembled state.

Wie F i g. 1 zeigt, setzt sich die Verstellspindel in ihrem dargestellten Verlauf aus vier Teilen 4, 5, 6 und 7 zusammen, von denen die drei erstgenannten Teile durch Kardangelenke 8 und 9 miteinander verbunden sind, so daß etwaige Herstellungstoleranzen in den einzelnen Teilen der Mikroskopsäule 10, die in Fi g. 2 angedeutet und an der die Verstellstange 1 festgelegt ist, ausgeglichen werden.Like F i g. 1 shows, the adjustment spindle is made up of four parts 4, 5, 6 in the course shown and 7 together, of which the three first-mentioned parts are connected to one another by universal joints 8 and 9 are, so that any manufacturing tolerances in the individual parts of the microscope column 10, the in Fig. 2 indicated and on which the adjusting rod 1 is fixed, are compensated.

Das Teil 7 ist dagegen an seinen Enden in spezieller Weise ausgebildet. Mit seinem in Fig. 1 unteren Ende ist es nämlich an der Ausgangswelle 11 der allgemein mit 12 bezeichneten elektromagnetischen Kupplung drehfest, aber in Achsrichtung Relativbewegungen zulassend verbunden. Hierzu ist in der Ausgangswelle 11 der Schlitz 13 vorgesehen, durch den der Stift 14 in dem Spindelteil 7 hindurchragt.The part 7, however, is special at its ends Way trained. With his lower in Fig. 1 It is end at the output shaft 11 of the generally designated 12 electromagnetic Coupling non-rotatably connected, but permitting relative movements in the axial direction. This is done in the Output shaft 11 of the slot 13 is provided through which the pin 14 in the spindle part 7 protrudes.

Die Verbindung zwischen den Spindelteilen 6 und 7 ist ebenfalls durch einen Stift 15 vorgenommen, wobei das Teil 7 ebenfalls eine Ausnehmung 16 besitzt.The connection between the spindle parts 6 and 7 is also made by a pin 15, the part 7 also having a recess 16.

Der Zusammenhalt der Teile 7 und 12 in Achsrichtung wird durch den Bügel 17 gewährleistet. Er trägt an seinem in F i g. 1 oberen Ende das hülsenförmige Lager 18, in dem das Spindelteil 6 drehbar gelagert ist. An seinem in Fig. 1 unteren Ende ist der Bügel 17 fest mit der elektromagnetischen Kupplung 12 verbunden. Der Bügel 17 umgreift den Handgriff 19, der zur Objektverstellung von Hand dient. Die Kupplung 12 gibt die Möglichkeit, den Handgriff 19 zu betätigen, ohne daß der über das Übersetzungsgetriebe 20 mit der Kupplung 12 verbundene Schrittmotor 21 bekannter Bauart mitgedreht werden muß. Die wesentlichen Bestandteile der elektromagnetischen Kupplung 12 sind die aus magnetisch wirksamem Material bestehenden beiden Kupplungskörper 22 und 23, die mit Messingfuttern 24 und 25 ausgekleidet sind. Die Kupplungskörper 22 und 23 sind von einer Wicklung 26 zur Erzeugung des magnetischen Flusses umgeben, der sich über die Kupplungskörper 22 und 23 sowie den im Augenblick des Einschaltens des Stromes durch die Wicklung 26 bestehenden kleinen Luftspalt zwischen den Kupplungsteilen 22 und 23 schließt.The cohesion of the parts 7 and 12 in the axial direction is ensured by the bracket 17. He carries on his in F i g. 1 upper end the sleeve-shaped bearing 18 in which the spindle part 6 is rotatable is stored. At its lower end in Fig. 1, the bracket 17 is fixed to the electromagnetic clutch 12 connected. The bracket 17 engages around the handle 19, which is used to move objects by hand. The clutch 12 gives the opportunity to operate the handle 19 without having to use the transmission gear 20 connected to the clutch 12 stepping motor 21 of known type must be rotated. The essential components of the electromagnetic clutch 12 are those made of magnetically effective Material existing two coupling bodies 22 and 23, which are lined with brass chucks 24 and 25 are. The coupling body 22 and 23 are from a winding 26 for generating the magnetic Surrounding the river, which is via the coupling body 22 and 23 and at the moment of switching on of the current through the winding 26 existing small air gap between the coupling parts 22 and 23 closes.

Wie ersichtlich, ist am Gehäuse 27 der Kupplung 12 mittels Schrauben 28 der Bügel 17 festgelegt.As can be seen, the bracket 17 is fixed on the housing 27 of the coupling 12 by means of screws 28.

Ebenfalls mittels Schrauben 29 ist das in bekannter Weise konstruierte Übersetzungsgetriebe 20 über Flansche an dem Gehäuse 27 festgelegt, während Schrauben 30 ebenfalls über Flansche den Schrittmotor 21 an dem Getriebe 20 halten. Die ganze in ¹ den F i g. 1 und 2 dargestellte Anordnung bildet also eine konstruktive Einheit, die nach Zusammenbau der Säule beispielsweise eines Elektronenmikroskops an dieser durch Anziehen der Überwurfmutter 3 und durch Befestigen beispielsweise in der in F i g. 2 bei 31 angedeuteten Weise festgelegt wird.Likewise by means of screws 29, the transmission gear 20, constructed in a known manner, is fixed to the housing 27 via flanges, while screws 30 also hold the stepper motor 21 to the gear 20 via flanges. The whole in ^{FIG. 1} to FIG. 1 and 2 thus forms a structural unit which, after assembling the column, for example an electron microscope, is attached to the column by tightening the union nut 3 and fastening it, for example in the manner shown in FIG. 2 is set at 31 indicated manner.

In dem behandelten Ausführungsbeispiel ist also jeder Verstellspindel ein Schrittmotor zugeordnet. Eine weitere Verstellspindel kann um 90° gegen die Spindel 1 versetzt angeordnet und einem anderen Stößel zugeordnet sein, wobei dann beide Verstellstangen zur Durchführung von Verstellbewegungen eines Objekttisches in einer Ebene senkfecht zum Korpuskularstrahl dienen können. Weitere derartige Verstelleinrichtungen können vorgesehen sein, um Kippbewegungen eines in einer Kippatrone in den Objekttisch eingesetzten Objektes durchzuführen.
F i g. 3 zeigt die wesentlichen Teile eines Betäti-In the exemplary embodiment discussed, a stepper motor is assigned to each adjusting spindle. A further adjusting spindle can be arranged offset by 90 ° with respect to the spindle 1 and assigned to another ram, in which case both adjusting rods can serve to carry out adjusting movements of an object table in a plane perpendicular to the corpuscular beam. Further such adjusting devices can be provided in order to carry out tilting movements of an object inserted in a tilting cartridge in the object table.
F i g. 3 shows the essential parts of an actuator

gungsmechanismus in einer Seitenansicht, F i g. 4 die entsprechende Aufsicht. Wesentliche Bestandteile dieser Anordnung bilden stangenartige Bauteile 40 und 41, von denen nur das Teil 40 so weit dargestellt ist, daß die Ausbildung des Kontakte tragenden Endes im einzelnen erkennbar ist. Die stangenartigen Bauteile 40 und 41 sind in ihrer Achse verschiebbar bei 42 und 43 beispielsweise im Bedienungspult eines Elektronenmikroskops gelagert. Man erkennt, daß mittels Druckfedern 44 und 45 die Bauteile 40 und 41 mit ihren Auflageflächen 46 und 47 gegen die ballige Auflagefläche 48 des Hebels 49 gedrückt werden, der, wie F i g. 3 zeigt, an seinem unteren Ende die Kugel 50 trägt, die in der allgemein mit 51 bezeichneten Vorrichtung federnd festgeklemmt ist, so daß er eine durch Betätigung eingestellte Winkeleinstellung oc beibehält.transmission mechanism in a side view, F i g. 4 the appropriate supervision. Essential components of this arrangement are rod-like components 40 and 41, of which only part 40 is shown so far that the formation of the end carrying the contacts can be seen in detail. The rod-like components 40 and 41 are mounted displaceably in their axis at 42 and 43, for example in the control panel of an electron microscope. It can be seen that by means of compression springs 44 and 45 the components 40 and 41 are pressed with their bearing surfaces 46 and 47 against the spherical bearing surface 48 of the lever 49 which, as shown in FIG. 3 shows, at its lower end the ball 50 carries, which is resiliently clamped in the device generally designated 51, so that it maintains an angular setting oc adjusted by actuation.

Der linke Teil der F i g. 3 läßt die Vorgänge bei der Einstellung eines bestimmten Winkels α für diejenige Koordinate erkennen, der das stangenartige Bauteil 40 zugeordnet ist. Eine entsprechende Kontaktanordnung ist für das stangenartige Bauteil 41 vorhanden, aber nicht dargestellt.The left part of FIG. 3 leaves the procedures for setting a certain angle α for the one Recognize the coordinate to which the rod-like component 40 is assigned. A corresponding contact arrangement is available for the rod-like component 41, but not shown.

Das stangenartige Bauteil 40 trägt an seinem in Fig. 3 linken Ende zwei Kontakte52 und 53, von denen der Kontakt 52 mit Gegenkontakten 54 und 55 je nachdem zusammenwirkt, ob das stangenartige Bauteil 40 aus seiner figürlich dargestellten Nullstellung nach links oder rechts um eine dem jeweiligen Winkel « entsprechende Strecke bewegt ist. Von den Gegenkontakten 54 und 55 liegt der erstgenannte in dem Stromkreis für Linkslauf und der zweitgenannte in dem Stromkreis für Rechtslauf des im einzelnen nicht dargestellten Schrittmotors mit bekanntem Aufbau, so daß bei Bewegung des Hebels 49 in Fig. 1 nach links der Stromkreis für Linkslauf und bei Bewegung des Hebels 49 nach rechts der Stromkreis für Rechtslauf des Motors geschlossen wird. Der Motor erhält dann aus dem Impulsgeber 56 über den voreinstellbaren Impulszähler 57 und den Schalter 58 Impulse, die eine Verstellung des Objektes durch Schritte des Motors zur Folge haben. Dabei ist die Größe der Objektverstellung von der Anzahl der an den Schrittmotor abgegebenen Impulse und die Geschwindigkeit der Objektverstellung von der Impulsfrequenz abhängig. Die Anzahl der Impulse wird in diesem Ausführungsbeispiel durch den voreinstellbaren Impulszähler 57 bestimmt, in dem beispielsweise eine bestimmte Anzahl von Impulsen gespeichert ist und der so viele der vom Impulsgeber 56 erzeugten Impulse über den Kontakt 52 an die Klemme A' bzw. B' des Motors gelangen läßt, wie der Differenz zwischen seiner Speicherkapazität und seiner Voreinstellung entspricht. Dann öffnet er seinen Kontakt 58. A und B sind die jeweils anderen Klemmen am Motor. Die Impulse können beispielsweise eine Amplitude von 10 V haben; ihre Frequenz kann beispielsweise zwischen 1 und 300 je Sekunde betragen.The rod-like component 40 carries two contacts 52 and 53 at its end on the left in FIG Angle « corresponding distance is moved. Of the mating contacts 54 and 55, the former is in the circuit for counter-clockwise rotation and the latter in the circuit for clockwise rotation of the stepper motor, not shown in detail, with a known structure, so that when the lever 49 is moved to the left in FIG when lever 49 is moved to the right, the circuit for clockwise rotation of the motor is closed. The motor then receives from the pulse generator 56 via the presettable pulse counter 57 and the switch 58 pulses which result in an adjustment of the object by steps of the motor. The size of the object adjustment depends on the number of pulses sent to the stepper motor and the speed of the object adjustment depends on the pulse frequency. The number of pulses is determined in this embodiment by the presettable pulse counter 57, in which, for example, a certain number of pulses is stored and the number of pulses generated by the pulse generator 56 via the contact 52 to the terminal A ' or B' of the motor lets get what corresponds to the difference between its storage capacity and its default setting. Then he opens his contact 58. A and B are the other terminals on the motor. The pulses can, for example, have an amplitude of 10 V; their frequency can for example be between 1 and 300 per second.

Zur Einstellung der Frequenz ist in diesem Ausführungsbeispiel das Potentiometer 59 vorgesehen, das in diesem Fall als Drahtpotentiometer ausgebildet ist. Die Wicklung ist symmetrisch bezüglich der Nullstellung 60 ausgebildet, so daß bei Bewegung des Abgriffs 53 aus der dargestellten Nullage in F i g. 3 sowohl nach links als auch nach rechts die Impulsfrequenz von niedrigen Werten auf hohe Werte ansteigt. Daher ist es möglich, durch Betätigen des Hebels 49 sowohl die Richtung als auch die Geschwindigkeit der Objektverstellung mittels des Schrittmotors zu ändern.In this exemplary embodiment, the potentiometer 59 is provided to set the frequency, which in this case is designed as a wire potentiometer. The winding is symmetrical with respect to the zero position 60 so that when the tap 53 is moved from the zero position shown in FIG. 3 both to the left and to the right the pulse frequency increases from low values to high values. Therefore, by operating the lever 49, it is possible to set both the direction and the speed to change the object adjustment by means of the stepper motor.

Das Potentiometer 59 liegt im frequenzbestimmenden Stromkreis des Impulsgebers 56, der ferner die Speisespannungsquelle 61 enthält.The potentiometer 59 is in the frequency-determining circuit of the pulse generator 56, which also has the Supply voltage source 61 contains.

Wie F i g. 4 zeigt, gestattet der Hebel 49 infolge seiner kugelartigen Ausbildung am Einspannende 50 die gleichzeitige Betätigung von zwei stangenartigenLike F i g. 4 shows, the lever 49 allows due to its spherical design at the clamping end 50 the simultaneous actuation of two rod-like

ίο Bauteilen 40 und 41 und damit zwei Schrittmotoren, so daß der Objekttisch oder die Kippatrone in zwei zueinander senkrechten Richtungen gleichzeitig mit voneinander unabhängigen Geschwindigkeiten verstellt werden können. Die Größe der Neigungswinkel ex des Hebels in Richtung der beiden stangenartigen Bauteile 40 und 41 ist ein Maß für die Geschwindigkeit der Objektverstellung in diesen beiden Richtungen, das Vorzeichen dieser Winkel bestimmt die Richtung der Verstellung. Befindet sich der Winkel α in dem in F i g. 4 mit I bezeichneten Quadranten, so haben unter Zugrundelegung der für die Anschlüsse Λ' und B' oben definierten Bedeutungen (A' Linkslauf, B' Rechtslauf) beide Bauteile 40 und 41 dem Rechtslauf ihrer Motoren zugeordnete Stellungen. Befindet sich der Hebel 49 im Quadranten II, so läuft der dem Bauteil 40 zugeordnete Schrittmotor im Rechtssinn, der dem Bauteil 41 zugeordnete Motor im Linkssinn. Im Quadranten III liegt bei beiden Motoren Linkslauf vor, während im Quadranten IV das Bauteil 40 Linkslauf und das Bauteil 41 Rechtslauf veranlaßt.ίο Components 40 and 41 and thus two stepper motors, so that the object table or the tilt cartridge can be adjusted in two mutually perpendicular directions at the same time at independent speeds. The size of the angle of inclination ex of the lever in the direction of the two rod-like components 40 and 41 is a measure of the speed of the object displacement in these two directions; the algebraic sign of this angle determines the direction of the displacement. If the angle α is in the one shown in FIG. 4 quadrants marked I, then, based on the meanings defined above for the connections Λ 'and B' (A ' counterclockwise, B' clockwise), both components 40 and 41 have positions assigned to the clockwise rotation of their motors. If the lever 49 is in quadrant II, the stepping motor assigned to component 40 runs in the right direction, and the motor assigned to component 41 runs in the left direction. In quadrant III, both motors are running counter-clockwise, while in quadrant IV component 40 causes counter-clockwise rotation and component 41 causes clockwise rotation.

Man kann die Zuordnung der Quadranten zumYou can assign the quadrants to the

Bildschirm gegebenenfalls unter Berücksichtigung einer Bilddrehung in dem Korpuskularstrahlgerät so treffen, daß die Bewegung des Hebels in einer bestimmten Richtung eine im Bild beobachtete Objektverstellung in derselben Richtung bewirkt. Bei elektromagnetischen Abbildungslinsen tritt bekanntlich eine Bilddrehung auf, die, sofern nicht zusätzliche Kompensationsmaßnahmen getroffen sind, von der Erregung der Linse und damit ihrer Vergrößerung abhängt. Um hier die genannte Zuordnung zwischen den Quadranten beibehalten zu können, kann es zweckmäßig sein, die in Fig. 3 mit 51 bezeichnete Anordnung drehbar im Bedienungspult zu halten, so daß nach einer bei einer Änderung der Bilddrehung vorgenommenen Justierung durch Drehung der die Quadranten enthaltenden Ebene um die Achse des Hebels 49 wiederum die gewünschte Zuordnung vorhanden ist.Screen, if necessary, taking into account an image rotation in the corpuscular beam device meet that the movement of the lever in a certain direction an object displacement observed in the picture causes in the same direction. It is known that electromagnetic imaging lenses occur an image rotation, which, unless additional compensation measures are taken, from the Excitation of the lens and thus its magnification depends. To here the mentioned assignment between To be able to retain the quadrant, it can be expedient to use the one denoted by 51 in FIG. 3 To keep the arrangement rotatable in the control panel, so that after a change in the image rotation Adjustment made by rotating the plane containing the quadrants around the axis of the Lever 49 in turn has the desired assignment.

F i g. 5 zeigt eine andere Ausbildung der Einrichtung zur Steuerung der Impulsfrequenz und damit der Verstellgeschwindigkeit. Hier ist ein Drehpotentiometer 70 vorgesehen, das im frequenzbestimmenden, wiederum eine Speisespannungsquelle 61 enthaltenden Stromkreis des Impulsgebers 56 angeordnet ist und dessen als Schleifer ausgebildeter Abgriff 73 mittels einer Schnur 74 od. dgl., die in der RollenführungF i g. 5 shows another embodiment of the device for controlling the pulse frequency and thus the adjustment speed. A rotary potentiometer 70 is provided here, which is used in the frequency-determining, in turn, a supply voltage source 61 containing circuit of the pulse generator 56 is arranged and its tap 73, designed as a grinder, by means of a cord 74 or the like, which is inserted in the roller guide

75 verläuft, an dem einen Ende eines stangenartigen Bauteils 76 analog den Bauteilen 40 und 41 in den Fig. 3 und 4 befestigt ist. Dieses Ende des Bauteils75 runs, at one end of a rod-like component 76 analogous to the components 40 and 41 in FIG Fig. 3 and 4 is attached. This end of the component

76 trägt wiederum einen Kontakt 52 für die Auswahl der Verstellrichtung.76 in turn carries a contact 52 for the selection of the adjustment direction.

Bei jeder Bewegung des stangenartigen Bauteils 76 in Fi g. 5 nach links oder rechts bewirkt die Rollenanordnung 75 eine Umlenkung der Schnur 74, die dann gegen die Wirkung einer nicht dargestellten Feder den Abgriff 73 aus der dargestellten Nullstellung in eine der Auslenkung α des in Fig. 3 mit 49With each movement of the rod-like component 76 in Fi g. 5 to the left or right effects the roller arrangement 75 a deflection of the cord 74, which then counteracts the action of a not shown Spring the tap 73 from the illustrated zero position into one of the deflection α of the 49 in FIG. 3

bezeichneten Hebels entsprechende Stellung bewegt. Demgemäß wird eine bestimmte Impulsfrequenz des Impulsgebers 56 eingestellt.designated lever moves corresponding position. Accordingly, a certain pulse frequency of the Pulse generator 56 set.

Mit der Erfindung ist es möglich, ein Objekt schrittweise, gegebenenfalls in verschiedenen Riehtungen, abzutasten, wobei die Erfindung dahingehende Ausbaumöglichkeiten besitzt, daß diese Abtastung bzw. die Einstellung eines bestimmten Objektbereichs automatisch nach Betätigen einer Taste vorgenommen wird. Die koordinatenartige Unterteilung des Objektes durch einen oder mehrere Schrittmotoren bringt den Vorteil einer mit einfachen Mitteln erzielten Reproduzierbarkeit der Lage interessierender Objektstellen. With the invention it is possible to move an object step by step, possibly in different directions, to be sampled, the invention having expansion options to the effect that this sampling or the setting of a certain object area is carried out automatically after pressing a key will. The coordinate-like subdivision of the object by one or more stepper motors brings the advantage of reproducibility of the position of interesting object locations achieved with simple means.

Claims (21)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Korpuskularstrahlmikroskop mit zur Verstellung eines zu untersuchenden Objektes' die- _ao nenden Einrichtungen und zu deren Betätigung vorgesehenen fernbedienten Stellmotoren, nach Patent 1564 657, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellmotoren Schrittmotoren (21) sind, denen Impulsgeber (56) zugeordnet sind, die eine durch die Größe der gewünschten Objektverstellung gegebene Anzahl von Steuerimpulsen und die Geschwindigkeit der Objektverstellung bestimmender Frequenz an die Schrittmotoren (21) abgeben, und daß die je Impuls erfolgende Verstellung der Schrittmotoren (21) die kleinste erforderliche Objektverstellung bewirkt.1. corpuscular beam microscope with for adjusting an object to be examined 'die- _ao Nenden devices and provided for their actuation remote-controlled servomotors, according to patent 1564 657, characterized in that the servomotors are stepper motors (21) to which pulse generators (56) are assigned which a given by the size of the desired object adjustment number of control pulses and the speed of the object adjustment determining frequency to the stepper motors (21), and that the adjustment of the stepper motors (21) taking place per pulse causes the smallest required object adjustment. 2. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Objekthalterung mit einer Kippatrone vorgesehen ist und durch Betätigen der Schrittmotoren (21) der Winkel zwischen Objekt und Korpuskularstrahl verstellbar ist.2. corpuscular beam microscope according to claim 1, characterized in that an object holder is provided with a tilt cartridge and by actuating the stepper motors (21) of the The angle between the object and the corpuscular beam is adjustable. 3. Korpuskularstrahlmikroskop nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzliche Mittel (19, 12) zur Betätigung von Hand vorgesehen sind.3. corpuscular beam microscope according to one of claims 1 or 2, characterized in that that additional means (19, 12) are provided for manual operation. 4. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Schrittmotoren (21) und den Verstellspindeln (1) Magnetkupplungen (12) vorgesehen sind.4. corpuscular beam microscope according to claim 3, characterized in that between the stepper motors (21) and the adjusting spindles (1) magnetic couplings (12) are provided. 5. Korpuskularstrahlmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Impulsgeber (56) Mittel, wie Potentiometer (59; 70), zur Einstellung verschiedener Impuls- so frequenzen enthält.5. corpuscular beam microscope according to one of claims 1 to 4, characterized in that the pulse generator (56) means, such as a potentiometer (59; 70), for setting different pulse so contains frequencies. 6. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß in einem frequenzbestimmenden Stromkreis des Impulsgebers (51) ein einstellbares elektrisches Schaltungselement, vorzugsweise ein Potentiometer (59; 70), solcher Ausbildung liegt, daß sich seine frequenzbestimmende elektrische Eigenschaft, vorzugsweise der Widerstandswert, beim Bewegen eines Einstellorgans, vorzugsweise eines Spannungsabgriffs (53), ausgehend von einer die Abgabe von Impulsen an die Schrittmotoren (21) verhindernden Nullstellung nach beiden Richtungen gleichsinnig ändert, und daß mit dem Einstellorgan (53) Kontaktmittel (52) verbunden sind, die in Abhängigkeit davon, in welche der beiden Richtungen das Einstellorgan (53) aus der Nullstellung jeweils bewegt ist, entweder den Stromkreis des betreffenden Schrittmotors (21) für Linkslauf oder den Stromkreis für Rechtslauf des Schrittmotors schließen.6. corpuscular beam microscope according to claim 5, characterized in that in one frequency-determining circuit of the pulse generator (51) an adjustable electrical circuit element, preferably a potentiometer (59; 70), such training is that his frequency-determining electrical property, preferably the resistance value, when moving an adjusting member, preferably a voltage tap (53), based on a die Output of pulses to the stepper motors (21) preventing zero position in both directions changes in the same direction, and that with the adjusting member (53) contact means (52) connected are, depending on which of the two directions the adjusting member (53) from the Zero position is moved, either the circuit of the relevant stepper motor (21) for counterclockwise rotation or close the circuit for clockwise rotation of the stepper motor. 7. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Einstellorgan (53; 73) und die Kontaktmittel (52) mit einem in Richtung seiner Achse verschiebbar gelagerten stangenartigen Bauteil (40, 41; 76) derart verbunden sind, daß bei Verschiebebewegungen des stangenartigen Bauteils (40, 41; 76) das Einstellorgan (53; 73) die frequenzbestimmende elektrische Eigenschaft des elektrischen Schaltungselements (59; 70) ändert und die Kontaktmittel (52) über Gegenkontakte (54, 55) in den Stromkreisen des Schrittmotors (21) gleiten.7. corpuscular beam microscope according to claim 6, characterized in that the adjusting member (53; 73) and the contact means (52) with one displaceable in the direction of its axis mounted rod-like component (40, 41; 76) are connected in such a way that during displacement movements of the rod-like component (40, 41; 76) the setting member (53; 73) the frequency-determining electrical property of the electrical circuit element (59; 70) changes and the contact means (52) slide over mating contacts (54, 55) in the circuits of the stepper motor (21). 8. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das stangenartige Bauteil (40, 41; 76) unter Federwirkung (44, 45) mit einem Ende gegen einen in der Nullstellung zumindest ungefähr senkrecht zu ihm stehenden Hebel (49) drückt, der mit dem seinem als Handgriff dienenden Ende abgekehrten Ende (50) in Achsrichtung des stangenartigen Bauteils (40, 41; 76) schwenkbar eingespannt (51) ist.8. corpuscular beam microscope according to claim 7, characterized in that the rod-like Component (40, 41; 76) under spring action (44, 45) with one end against one in the zero position at least approximately perpendicular to him lever (49) pushes with his serving as a handle end facing away from the end (50) in the axial direction of the rod-like component (40, 41; 76) is pivotably clamped (51). 9. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Hebel (49) mehreren Schrittmotoren (21) in der Weise zugeordnet ist, daß mehrere stangenartige Bauteile (40, 41) aus verschiedenen Richtungen gegen ihn drücken und er in diesen Richtungen schwenkbar eingespannt (51) ist.9. corpuscular beam microscope according to claim 8, characterized in that the lever (49) is assigned to several stepper motors (21) in such a way that several rod-like components (40, 41) press against it from different directions and it can be pivoted in these directions is clamped (51). 10. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Hebel (49) mehreren Schrittmotoren (21) in der Weise zugeordnet ist, daß mehrere stangenartige Bauteile in einer gemeinsamen, den Hebel enthaltenden Ebene liegend gegen ihn drücken.10. corpuscular beam microscope according to claim 9, characterized in that the lever (49) is assigned to several stepper motors (21) in such a way that several rod-like components press lying against him in a common plane containing the lever. 11. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwei stangenartige Bauteile (40, 41) um vorzugsweise 90° gegeneinander versetzt angeordnet gegen den Hebel (49) drücken und dieser in allen Richtungen schwenkbar eingespannt (51) ist.11. corpuscular beam microscope according to claim 9, characterized in that two rod-like Components (40, 41) arranged offset from one another by preferably 90 ° relative to the Press lever (49) and it is clamped (51) so that it can pivot in all directions. 12. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Hebel. (49) an seinem eingespannten Ende eine Kugel (50) trägt.12. Corpuscular beam microscope according to claim 11, characterized in that the lever. (49) carries a ball (50) at its clamped end. 13. Korpuskularstrahlmikroskop nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Hebel (49) ballige Auflageflächen (48) für die Enden der stangenartigen Bauteile (40, 41) besitzt, die ihrerseits Auflageflächen (46, 47) solcher Größe tragen, daß der Hebel (49) in allen Stellungen die Lage aller stangenartigen Bauteile (40, 41) bestimmt. 13. Corpuscular beam microscope according to claim 12, characterized in that the lever (49) has spherical bearing surfaces (48) for the ends of the rod-like components (40, 41) which in turn, bearing surfaces (46, 47) of such a size that the lever (49) in all positions the Location of all rod-like components (40, 41) determined. 14. Korpuskularstrahlmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Impulsgeber (56) und den Schrittmotoren (21) voreinstellbare Impulszähler (57) angeordnet sind.14. Corpuscular beam microscope according to one of claims 1 to 13, characterized in that that between the pulse generator (56) and the stepper motors (21) presettable pulse counters (57) are arranged. 15. Korpuskularstrahlmikroskop nach einem der Ansprüche 3 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils eine Verstellspindel (1) mit dem ihr zugeordneten Schrittmotor (21) sowie gegebenenfalls einer elektromagnetischen Kupplung (12) und/oder einem Übersetzungsgetriebe (20) eine selbständige Baueinheit bildet.15. Corpuscular beam microscope according to one of claims 3 to 14, characterized in that that in each case an adjusting spindle (1) with the stepping motor (21) assigned to it and, if necessary, an electromagnetic clutch (12) and / or a transmission gear (20) a forms an independent structural unit. 16. Korpuskularstrahlmikroskop nach An-16. Corpuscular beam microscope according to An Spruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellspindel (1) aus mehreren, durch Kardangelenke (8, 9) verbundenen Teilen (4 bis 7) zusammengesetzt ist.Claim 15, characterized in that the adjusting spindle (1) consists of several, through universal joints (8, 9) connected parts (4 to 7) is assembled. 17. Korpuskularstrahlmikroskop nach den Ansprächen 3 und 16, dadurch gekennzeichnet, daß eines der Spindelteile (7) ein Handrad (19) trägt.17. Corpuscular beam microscope according to claims 3 and 16, characterized in that one of the spindle parts (7) carries a handwheel (19). 18. Korpuskularstrahlmikroskop nach einem der Ansprüche 4 bis 17,.dadurch gekennzeichnet, daß das der elektromagnetischen Kupplung (12) benachbarte Ende der Verstellspindel (1) mit einer Ausgangswelle (11) der elektromagnetischen Kupplung (12) durch eine Stift-Schlitz-Verbindung (13, 14) drehfest, aber in Achsrichtung der Verstellspindel (1) Relativbewegungen zulassend verbunden ist.18. Corpuscular beam microscope according to one of claims 4 to 17, characterized. that the electromagnetic clutch (12) adjacent end of the adjusting spindle (1) with an output shaft (11) of the electromagnetic clutch (12) through a pin and slot connection (13, 14) non-rotatably, but permitting relative movements in the axial direction of the adjusting spindle (1) connected is. 19. Korpuskularstrahlmikroskop nach den Ansprüchen 17 und 18, dadurch gekennzeichnet, daß das der elektromagnetischen Kupplung (12) be-19. Corpuscular beam microscope according to claims 17 and 18, characterized in that that of the electromagnetic clutch (12) nachbarte Teil (7) der Verstellspindel (1) das Handrad (19) trägt.adjacent part (7) of the adjusting spindle (1) carries the handwheel (19). 20. Korpuskularstrahlmikroskop nach den Ansprüchen 15 und 19, dadurch gekennzeichnet, daß die elektromagnetische Kupplung (12) mit dem Schrittmotor (21) mittels eines das ihr benachbarte Teil (7) der Verstellspindel mit dem Handrad (19) übergreifenden Bügels (17) an dem Teil (6) der Verstellspindel gehalten ist, das dem das Handrad (19) tragenden Teil (7) benachbart ist.20. Corpuscular beam microscope according to claims 15 and 19, characterized in that the electromagnetic clutch (12) with the stepper motor (21) by means of one of its neighboring Part (7) of the adjusting spindle with the handwheel (19) overlapping bracket (17) on the part (6) the adjusting spindle is held, which is adjacent to the part (7) carrying the handwheel (19). 21. Korpuskularstrahlmikroskop nach einem der Ansprüche 9 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß zur Vermeidung einer Änderung der Zuordnung zwischen Schwenkrichtung (α) des Hebels (49) und dadurch bewirkter, im Bild beobachteter Objektverstellung infolge Änderungen einer im Gerät hervorgerufenen Bilddrehung die stangenartigen Bauteile (40, 41) um die Achse des Hebels (49) drehbar gelagert sind.21. Corpuscular beam microscope according to one of claims 9 to 20, characterized in that that to avoid a change in the assignment between the pivoting direction (α) of the lever (49) and the resulting object displacement observed in the image as a result of changes in an im Device caused image rotation, the rod-like components (40, 41) around the axis of the lever (49) are rotatably mounted. Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings