DE6602810U

DE6602810U - An der pumpe arbeitendes korpuskularstrahlgeraet, insbesondere elektronenmikroskop, mit einem verschiebbaren objekttisch

Info

Publication number: DE6602810U
Application number: DE19666602810
Authority: DE
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1966-07-12
Filing date: 1966-07-12
Publication date: 1969-07-03

Description

An der Pumpe arbeitendes Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einem verschiebbaren Objekttisch

Steuerung
Die 'ftnfyj'miTEcqg betrifft ein an der Pumpe arbeitendes Korpuskularstrahlgerät, wobei insbesondere an ein Elektronenmikroskop gedacht ist. Es kann sich aber auch um ein Ionenmikroskop

!Teuerung oder ein Beugungsgerät handeln. Die Baziincfcaas bezieht sich speziell auf ein solches Gerät, das mit einem zu untersuchende Objekte aufnehmenden Objekttisch ausgerüstet ist, der mittels zwei vakuumdicht durch das Vakuumgehäuse des Gerätes hindurchgeführter Stößel in zwei zueinander und zur Achse des Xorpusiojlarstrasles senkrechten Richtungen verschiebbar ist.

- 1 - Hu/Schi

Bekönnte Geräte dieser Art erfordern eine Bedienung der Stößel von Hand, so daß beim Einstellen eines "bestimmten, jeweils zu unters \chenden Objektbereicb&s dio Bedienungsperson am Mikroskop sein muß. Weiterhin ist es hinsichtlich der Bedienung häufig unangenehm, wenn zwecks Abtasters ä gesamten Objektes aie Bet&tigungseinrichtungen, die Ersielung sehr kleiner Objektbewegungen feingängig dimensioniert sind, von Hand über einen großen Bereich verstollt werden müssen.

Der SJrütwÄMiqs liegt dio Aufgabe zugrunde, eino Möglichkeit anzugeben, die Bedienung eines derartigen Korpuskularstrahlgerätes bezüglich der Verschiebung des Objekttisohes in der Weise zu vereinfachen, daß eine Fernsteuerung durchgeführt wird, die es beispielsweise gestattet, das Objekt in einem Elektronenmikroskop v/ährend einss Vortrages vom Rednerpult aus so einzustellen, daß gewünschte Objektein-

Keuerung zelheiten vergrößert v/erden. Weiterhin soll die a&rxftbnflunec in der Weise weiterbildbar sein, daß beispielsweise die gesamte Oberfläche eines Objektes nach einem vorgegebenen Programm automatisch abgetastet wird.

neuerungs-Das sx±xnätH2£gsgemäße Korpuskularstrahlgerät ist dadurch gekennzeichnet, daß zur Betätigung der Stößel fernbediente Stellmotoren vorgesehen sind.

Es sind Korpuskularetrahageräte "bekannt, "bei denen die Brehbev/egung einer Verstellspindel in die translatorische Be-

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vegung des dieser zugeordneten Stößels umgesetzt wird.

neuerungs-

Bei dieser Konstruktion rufen die aof£fcn4wjEgisgeinäß vorgesehenen Stellmotoren die Drehbewegung der Verstellspindel hervor. Zur Betätigung beider Stößel braucht hier nur ein einziger Stellmotor vorgesehen zu sein, wenn dieser mittels einer Kupplung wahlweise mit der einen oder der anderen Verstellspindel verbindbar ist.

Zwecks automatischer Abtastung eines größeren Seiles der * Objektfläche bzw. des gesamten Objektes kann man bei Verwendung von mehreren Stellmotoren Kontakte einer Programm-Steuer einrichtung in deren Erregungsstromkreisen vorsehen, wobei die Kontakte in der V/eise betätigt werden, daß sie die Erregungsstromkreise der Motoren in durch eine vorprogrammierte Reihenfolge der Abtastung aller Objektstellen vorgegebener Folge ein- und ausschalten.

In dem oben an zweiter Stelle geschilderten Ausführungsbei-

Heuerung
C spiel der $x£zxah6Xi& mit einem beiden Stößeln gemeinsamen Stellmotor wird man zwecks Programmierung in dem Erregungsstromkreis der Kupplung Kontakte einer Programmsteuereinrichtung vorsehen, die über die Kupplung den Stellmotor in durch eine vorprogrammierte Reihenfolge der Abtastung aller Objektstellen vorgegebener Polge mit den beiden Verstellspindeln verbinden.

Me Programmsteuereinrichtung kann durch einen weiteren Motor mit Kontaktnocken in durch das jeweils gewünschte

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Programm gegebener Anordnung gebildet sein. Zur Erzielung einer zoilenraeterförmigen Abtastung des Objektes kann man aber auch die Bewegung des Objektes bzw« diejenige der dazu erforderlichen Betätigungsmittel ausnutzen, indem man der Programmsteuereinrichtung Bndkontakte im Bereich zwischen dem Objekt und den Stellmotoren zuordnet. Diese Bndkontakte bewirken also bei Erreichen einer bestimmten Objektlage das Abschalten des einen Stellmotors und gleichzeitig das Einschalten des anderen Stellmotors; bei der beschriebenen Verwendung nur eines Stellmotors mit einer Kupplung wirken die Endkontakte wiederum auf den Erregerkreis der Kupplung.

Bei der Kupplung kann es sich um eine Reibkupplung handeln, die v;ahlweise mit der einen oder der anderen Verstellspindel in Eingriff gebracht wird.

Die laufgeschwindigkeit der verschiedenen Motoren wirr man ' ) zweckmäßigerweise der jeweiligen Bildvergrößerung anpassen.

Es ist möglich, bei geeigneter Vis hl der Laufgeschwindigkeit während der automatischen Abtastung eines Objektes gemäß eixiem vorgegebenen Programm die verschiedenen Objekteinzelheiten fotografisch, beispielsweise auf einem PiIm, festzuhalten»

In der 2?igur ist schematisch ein Ausführungsbeispiel der !feuerung

dargestellt. Der Objekttisch 1, der das in diesem

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Ausführungsbeispiel in der Objektpatrone 2 gehaltene Objekt |

ι aufnimmt, ist mittels der Stößel 3 und 4 gegen die Wirkung ■ von hier nicht dargestellten Gegenfedern in zv/ei zueinander und zur Achse a des Korpuskularstrahles senkrechten

ί Richtungen verschieboar. Er liegt auf der oberen Fläche 5 ' der nicht näher dargestellten Objektivlinse, die die erste ^; Abbildungslinse beispielsweise eines Elektronenmikroskops i

An seinen verschiedenen seitlichen Auflageflächen ist der Objekttisch 1 mit Rollen versehen, von denen in der Figur nur die zum Abstützen auf den Gegenfeldern dienenden und nut 6 und 7 bezeichneten sichtbar sind.

Die translatorische Bewegung der Stößel 5 und 4 wird in diesem Ausführungsbeispiel durch Drehung der in Gewinden gelagerten Verstcllspindeln 8 und 9 erzielt; die Translation | der Verstollspindeln wird mittels der um die Achsen 10 und 11 schwenkbaren Kniestücke 12 und 13 in die translatorische Bewegung der Stößel 3 und 4 umgesetzt. Die Verstellspindaln 8 und 9 wirken also praktisch als Stößel auf die Ie\le 12 und 13.

Die zur Vorocliiebung des Objekttisches 1 erforderliche Dreh-Neuerung bewegung der Spindeln 8 und 9 v/ird gemäß der Xas&jaxämrg durch Stollmotoren 14 "bzw. 15 hervorgerufen. Diese Stellmotoren worden in diesem Ausführungsbeispiel nach einem vorgegebenen Programm abwechselnd so gesteuert» daß sie durch entsprechende

: ·..·*..· ·..· .. ρ_Α 9/710/2724

Verschiebung des Objelcttisches 1 in oiner vorprogrammierten Reihenfolge alle Objektstellen nacheinander in den Bereich des Korpuskularstrahles a schieben, so daß das gesamte Objekt abgetastet wird. Hierzu ist die den weiteren ISotor 16 sowie Kontaktanordnungen 17 und 18 in den Erregungsstromkreisen der Stellmotoren I4 und 15 enthaltende Programmsteuereinrichtung vorgesehen. Me Kontakte 18 we-den durch die schematisch angedeuteten Hockenscheiben auf der Yfclle dec Motors 16 in dem gewünschten Programm entsprechender zeitlicher Folge betätigt.

An den Teilen 12 und 15 sind Endkontakte 19 und 20 vorgesehen, die eine andere Programmstöuereinrichtung bilden und in den Erregungsstromkreisen der Stellmotoren Η und 15 liegend das Ein- bzw. Ausschalten derselben dann bewirken, wenn das Objekt eine bestimmte lage erreicht hat. Die Endkontakt G 19 und 20 bestehen jeweils aus einem mittleren beweglichen Kontakt an den Seilen 12 bzw. 13 und fest angeordneten Gegenkontakten.

JDer Steuermotor 16 wird zur Einleitung des Programmablaufs in nicht dargcstollter, an sich bekannter Weise eingeschaltet und beispielsweise nach Beendigung der Abtastung des Objektes automatisch abgeschälte--' .

1 Pigur

8 Ansprüche

Claims

• I · S 1 . il 'PA 9/710/2724 j Schatz- Bacfessöansprüche

1. An der Pumpe arbeitendes Korpaskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einem zu 'untersuchende Objekte aufnehmenden Objekttisch, der mittels zwei vakuumdichu durch das Vakuumgehäuse äes Gerätes hindurchgerührter Stößel in zwei zueinander und zur Achse des Korpuskularstrahleo senkrechten Richtungen verschiebbar ist, dadurch gekennzeiohnet, daß zur Betätigung der Stößel fernbediente Stellmotoren vorgesehen sind.

2. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 1, bei dem die Drehbewegung einer Verstellspindel in die translatorische Bewegung des dieser zugeordneten Stößels umgesetzt wird, 'dadurch gekennzeichnet, daß die Stellmotoren die Drehbewegung der Verstellspindeln hervorrufen.

3. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 2_} dadurch gekennzeichnet, daß zur Betätigung beider Stößel ein einziger Stellmotor vorgesehen ist, der mittels einer Kupplung wahlweise mit der einen oder der anderen Verstellspindel verbindbar ist.

4- KorpuakularstrahlgGrät naeh Anspruch 1 QfLGV 2,

gekennzeichnet, daß in den Erregungsstrorakreisen der Stellmotoren Kontakte einer Programmsteuereinrichtung liegen,

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die die Srregungsstromkreise in durch eine vorprogrammierte Reihenfolge der Abtastung aller Objektstellen vorgegeoener Polge ein- und ausschalten.

5. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Erregungsstromkreis der Kupplung Kontakte einer Prograiamsteuereirrichtung liegen, die über die Kupplung den Stellmotor in durcn eine vorprogrammierte Reihenfolge der Abtastung aller Oojektstellen vorgegebener Folge mit den beiden Yerstellspindeln verbinden.

6. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Programmsteuereinrichtung durch einen weiteren Motor mit Kontaktnocken gebildet ist.

7. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 4 oder 5» dadurch gekennzeichnet, daß die Programmsteuereinrichtung Endkontakte im Boreich zwischen dem Objekt und den Stellmotoren enthält.

8. Korpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Laufgeschwindigkeit der Motoren der Bildvergrößerung angepaßt ist.