DE608505C - Vorrichtung zum Messen von Wandstaerken - Google Patents

Vorrichtung zum Messen von Wandstaerken

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DE608505C
DE608505C DEZ21008D DEZ0021008D DE608505C DE 608505 C DE608505 C DE 608505C DE Z21008 D DEZ21008 D DE Z21008D DE Z0021008 D DEZ0021008 D DE Z0021008D DE 608505 C DE608505 C DE 608505C
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DEZ21008D
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss SMT GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Vorrichtung zum Messen von Wandstärken Zur Messung der Dicke von Platten u. dgl. Körpern sind Geräte im Gebrauch, bei denen das sogenannte Komparatorprinzip insofern bereits verwirklicht ist, als dabei der Tastpunkt eines gegenüber einem Zeiger verschieblichen Tastorgans, welches eine mit dem Zeiger gepaarte Teilung trägt, in der Verlängerung der Geraden angeordnet ist, welche der Zeiger bei den Bewegungen des Tastorgans auf der Teilung beschreibt. Die Führung des Tastorgans mit dem Zeiger ist dabei mit der Unterlage, auf welcher die Platte bei der Messung ruht, fest verbunden. Um die Wandstärke verhältnismäßig großer Platten, von langen Rohren oder anderen ähnlichen- Meßkörpern an jeder beliebigen Stelle messen zu können, sind Meßgeräte erforderlich, bei denen die Verbindung der Tasterführung mit der Unterlage des Meßkörpers die Form eines weit ausladenden Bügels hat. Um elastische Durchbiegungen des Bügels zu vermeiden, die das Meßergebnis fälschen würden, ist man gezwungen, unerwünscht schwere Bügelkonstruktionen anzuwenden. Dieser Nachteil ist beim Gegenstande der Erfindung vermieden. Bei der neuen Vorrichtung zum Messen von Wandstärken wird von zwei die Meßstrecke verkörpernden Tastorganen Gebrauch gemacht, von denen das eine einen Zeiger und das andere eine Längenteilung trägt und von denen wenigstens eins in Richtung der Meßstrecke beweglich ist, wobei nach der Erfindung der Zeiger und die Teilung wenigstens angenähert in der Verlängerung der Meßstrecke, die durch die beiden Tastpunkte begrenzt ist, angeordnet sind und wobei ein optisches Beobachtungsgerät zur Bestimmung der relativen Lage des Zeigers gegenüber der Teilung dient. An Stelle desjenigen Teils des Bügels, welcher die eigentliche Meßstrecke überbrückt, tritt also beim Erfindungsgegenstande das optische Beobachtungsgerät, während die Schenkel des Bügels durch körperlose Abbildungsstrahlen ersetzt sind. Das optische Beobachtungsgerät verkörpert dabei selbst eine Strecke, beispielsweise den Abstand der Achsen der beiden eintretenden Abbildungsstrahlenbündel, der in jedem Falle natürlich bekannt ist und bei der Auswertung der Messung berücksichtigt werden muß. Das geschieht am einfachsten in der Weise, daß man diese Strecke dem Abstande des Zeigers vom Nullpunkt der Teilung bei einander in den Tastpunkten berührenden Tastorganen, also bei der Meßstrecke Null, gleichmacht.
  • Als einfachstes Beispiel für die Ausführung eines zur Anwendung in der neuen Vorrichtung geeigneten optischen Beobachtungsgerätes kommt das Fernrohr in. Frage. Dieses Fernrohr würde mit einer in, seiner Bildebene angebrachten Markenplatte auszustatten sein, welche zwei Visiermarken trägt, deren Abstand voneinander beispielsweise dem obengenannten Abstande des Zeigers vom Nullpunkte der Längenteilung für die Meßstrecke Null zu entsprechen hätte. Ein, solches Fernrohr würde jedoch nur für einen kleinen Meßbereich brauchbar sein, und es empfiehlt sich deshalb, ein, optisches Beobachtungsgerät zu benutzen, welches zwei Fernrohre mit parallelen optischen Achsen enthält, deren Lagen, durch in den Bildebenen angebrachte Visiermarken bezeichnet sind. Diese beiden Fernrohre können beispielsweise so auf einem gemeinsamen Träger fht angebracht sein, daß der Abstand ihrer parallelen optischen Achsen dem genannten Abstande für die Meßstrecke Null gleicht.
  • Durch Vereinigung der beiden Fernrohre in einem einzigen Fernrohre läßt sich die Vorrichtung in der Weise vereinfachen, daß man das optische Beobachtungsgerät nur mit einem Fernrohr ausstattet, vor dessen Objektiv ein Strablenvereinigungssystem geschaltet ist, welches zwei mittels Spiegelsystemen abgelenkte Abbildungsstrahlenbündel mit vor der Ablenkung parallelen Achsen dem Fern.rohrobjektive zuführt. Da sich bei diesem Ausbau des Gerätes die beiden Bilder decken, wird man auf die Aubringung von Visiermarken im Bildfelde des Fernrohrs verzichten und die Messung nach der Lage des Bildes des Zeigers gegenüber dem Bilde der Teilung vornehmen.
  • Die von dem optischen Beobachtungsgerät verkörperte Strecke, d. h. der Abstand der Achsen der in, das optische Beobachtungsgerät eintretenden Abbildungsstrahlenbündel, kann eine unveränderliche Größe haben.. Macht man diesen Abstand veränderlich, dann erzielt riian den Vorteil, den Meßbereich über die Länge der Teilung hinaus erweitern zu können. Auch kann die Veränderlichkeit des Abstandes zur Berichtigung des Gerätes benutzt werden und überdies schließlich zur Ausführung von Wandstärkenmessungen selbst, wobei es genügt, auf jedem der beiden Tastorgane einen Zeiger anzubringen, wenn die Größe der Abstandsänderungen am optischen Beobachtungsgeräte abgelesen werden kann.
  • In der Zeichnung sind zwei Ausführungsformen der Vorrichtung zur Messung von Wandstärken als Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt. Abb. i zeigt in einer schematischen Aufrißansicht das erste Ausführungsbeispiel. Abb. 2 und 3 geben die vom Benutzer der Vorrichtung im optischen Beobachtungsgeräte wahrgenommenen Bilder wieder. In Abb. q. ist das zweite Ausführungsbeispiel im Mittelschnitt im Aufriß dargestellt, während in Abb. 5 ein Teil dieses Beispiels in abgeänderter Form im Seitenriß im Schnitt gezeichnet ist.
  • Beim ersten Beispiel (Abb. i bis 3) besteht das optische Beobachtungsgerät aus zwei Fernrohren i und 2, die mit je einer in der Bildebene angebrachten planparallelen Glasplatte 3 bzw. q. ausgestattet und so auf einem gemeinsamen Träger 5 befestigt sind, daß ihre optischen Achsen parallel sind. Zur Vorrichtung gehören weiterhin zwei in Richtung ihrer Längsachsen beweglich gelagerte Taststifte 6 und 7. Der Taststift 6 trägt einen Zeiger 8, der Taststift 7 eine Längenteilung 9, die so aufgetragen sind, daß dann, wenn sich die Taststifte 6 und 7 in ihren Tastpunkten berühren, der Abstand des Zeigers 8 vom Nullstriche der Teilung 9 gleich dem Abstande der optischen Achsen der Fernrohre i und 2 ist. Die Glasplatte 3 trägt eine die optische Fernrohrachse bezeichnende Marke =o, die aus zwei Winkeln besteht, zwischen deren Scheiteln der bezeichnete Punkt liegt. Auf der Glasplatte q. ist die optische Ferurohrachse durch eine Pfeilspitze =i bezeichnet.
  • Um mit dem Geräte eine Wandstärke, beispielsweise die Dicke eines Bleches i2, zu messen, wird das Blech 12 so zwischen die beiden Taststifte 6 und 7 eingeführt, daß ihre beiden Tastpunkte das Blech =2 an der gewünschten Stelle in zwei auf einer Senkrechten zur Oberfläche des Bleches 12 gelegenen Punkten berühren. Der Träger 5 wird parallel zu den Taststiften 6 und 7 aufgestellt und in seiner Längsrichtung verschoben, bis das Bild des Zeigers 8 im Fernrohre i mit dem durch die Marke =o auf der Glasplatte 3 bezeichneten Punkte übereinstimmt. Alsdann. gibt im Fernrohre q. die Pfeilspitze =i auf dem Bilde der Teilung 9 -die gesuchte Dicke des Bleches an.
  • Beim zweiten Ausführungsbeispiel (Abb. q.) handelt es sich um die Bestimmung der Wandstärke eines mit Kühlrippen 13 versehenen Rohres =q.. Die Vorrichtung ist wie das erste Ausführungsbeispiel mit zwei Taststiften 6 und 7 ausgestattet, die gleichfalls einen Zeiger 8 bzw. eine Längenteilung 9 tragen. Der Taststift 6 ist gegen den Druck einer Feder 15 in einem Gehäuse 16 verschieblich gelagert, welches mit einem Fenster 17 und einer Laufrolle 18 versehen ist. Am Gehäuse =6 ist ferner ein als Bandgriff dienender Stab =g angebracht. Der Taststift 7 ist in eine= mit eiuem,Fenster 2o versehenen Führung 9,1 gelagert, wobei eine Zugfeder 22 das dem Tastpunkte gegenüberliegende Ende des Taststiftes 7 in die Führung 21 hineinzuziehen strebt. Das optische Beobachtungsgerät dieses Beispiels hat einen, Fuß 23, auf welchem in Stützen 24 ein T-förmig ausgebildetes Gehäuse 25 um eine waagerechte Achse drehbar gelagert ist. Zur Ausführung dieser Drehungen dient eine Schraube 26, mit welcher ein Ansatz 27 am Deckel 28 gegen den Druck einer Feder 29 tangential verscbieblich ist. Am Deckel 28 ist ein fünfseitiges Spiegelprisma 3o und im anderen T-Schenkel des Gehäuses 25 an einem Führungsstück 31 ein fünfseitiges Spiegelprisma 32 so befestigt, daß die durch im` Gehäuse 25 angebrachte Fenster 33 und 34 eintretenden Abbildungsstrahlen, welche parallel zueinander und senkrecht zur Verbindungslinie der beiden Prismen. eintreten, einem Strahlenvereinigungssystem 35 zugeführt werden, welches die Strahlen in eine zum Strahleneintritt parallele Richtung ablenkt, die mit dem an den T-Schenkeln befindlichen Ansatzstutzen, des Gehäuses 25 übereinstimmt. Der Stutzen enthält ein. Fernrohrobjektiv 36 und ein in der Achsenrichtung verschiebliches Okular 37. Am Führungsstück 31 ist eine Schraube 38 angebracht, welche den. Deckel 39 des zweiten T- Schenkels durchsetzt und gegen den Druck einer Feder 40 mittels einer Mutter 41 verschieblich ist.
  • Beim Gebrauche der Vorrichtung wird das Rohr 14 mit der zu messenden. Wandstelle auf den Taststift 7 gestützt und gleichzeitig das Gehäuse 16 am Handgriffe =9 in das Rohr 14 eingeführt, wobei die Rolle 18 die Wand berührt und die Feder 15 den Taststift 6 gegen die Wand drückt. Mit Hilfe der Mutter 41 wird das Prisma 32 so eingestellt, daß der Abstand der Achsen. der in die Fenster 33 und 34 eintretenden Abbildungsstrahlenbündel dem Abstaude des Zeigers 8 vom Nullpunkte der Teilung 9 gleicht, wenn man sich die beiden Taststifte 6 und 7 in, ihren Tastpunkten berührend denkt. Alsdann wird durch Drehen der Schraube 26 das Gehäuse 25 gegenüber dem Fuße 23 geschwenkt, bis die optische Achse des aus dem Objektiv 36 und dem Okular 37 bestehenden Fernrohrs mit der Bewegungsrichtung der Taststifte 6 und 7 einen rechten Winkel bildet. Die vom Taststifte 6 kommenden Abbildungsstrahlen werden vom Prisma 32, die vom Taststifte 7 kommenden Abbildungsstrahlen vom Prisma 3o dem Strahlenvereinigungssystem 35 und von diesem dem Fernrohrobjektive 36 zugeführt, so daß sich die entstehenden Bilder des Zeigers 8 und der Teilung 9 im Bildfelde des Fernrohrs überdecken. Das Okular 37 ist zu verschieben, bis der Beobachter diese Bilder scharf sieht. Er kann nun unmittelbar die gesuchte Wandstärke ablesen, indem er die relative Lage des Bildes des Zeigers 8 am Bilde der Teilung 9 ermittelt.
  • In Abb.5 ist eine andere Ausführungsform des Teils der Vorrichtung wiedergegeben, welche mit den Taststiftern ausgerüstet ist. Hierbei ist der Taststift 6 in einem Gehäuse 42 verschieblich, welches sich mit zwei Laufrollen 43 gegen die gegenüberliegende Wand des Rohres 14 stützt. Der Taststift 7 ist mit einer Hülse 44 verbunden, in welcher ein Maßstab 45 mittels einer Schraube 46 gegen den Druck einer Feder 47 verschieblich gelagert ist. Die Hülse 44 ist in, einem Gehäuse 48 gelagert, wobei eine Feder 49 diese Hülse 44 nach der Seite des T#istpunktes hin zu verschieben strebt. Am Gehäuse 48 sind Stützen 5o angebracht, mit welchen das Gehäuse 48 auf das Rohr 14 so aufgesetzt werden kann., daß die Bewegungsrichtung des Taststiftes 7 radial verläuft. Der Maßstab 45 trägt eine Längenteilung 9, der Taststift 6 einen Zeiger B.
  • Bei der Benutzung dieser Vorrichtung kann die Anpassung des Abstandes des Zeigers 8 vom Nullpunkte der Teilung 9 an den Abstand der Achsen der in das Beobachtungsgerät eintretenden Abbildungsstrahlenbündel durch Drehen der Schraube 46 erfolgen. Im übrigen geht der Meßvorgang in der gleichen Weise vor sich wie bei dem Geräte in, der vorher beschriebenen Ausführungsform.

Claims (4)

  1. PATENTANSPRÜCHE: z. Vorrichtung zum Messen von Wandstärken mit Hilfe zweier die Meßstrecke verkörpernden Tastorgane, von denen das eine einen Zeiger und das andere eine Längenteilung trägt, und von denen wenigstens eins in Richtung der Meßstrecke beweglich ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Zeiger und die Teilung wenigstens angenähert in, der Verlängerung der Meßstrecke angeordnet sind und ein. optisches Beobachtungsgerät zur Bestimmung der relativen Lage des Zeigers gegenüber der Teilung dient.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Beobachtungsgerät zwei Fernrohre mit parallelen optischen Achsen enthält, deren. Lagen durch in den Bildebenen angebrachte Visiermarken bezeichnet sind.
  3. 3: Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Beobachtungsgerät ein Fernrohr enthält, vor dessen -Objektiv ein= Strahlenvereinigungssystem geschaltet ist, welches zwei mittels Spiegelsystemen abgelenkte Abbildungsstrahlenbündel mit vor der Ablenkung parallelen Achsen dem Objektive zuführt.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand der Achsen der in das optische Beobachtungsgerät eintretenden Abbildungsstrahlenbündel veränderlich ist.
DEZ21008D 1933-05-19 1933-05-19 Vorrichtung zum Messen von Wandstaerken Expired DE608505C (de)

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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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