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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpenanordnung,
bestehend aus einem Molekularpumpenmechanismus und einem Regenerativpumpenmechanismus.
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Eine
bekannte Vakuumpumpennordnung zum Evakuieren einer Kammer umfasst
eine Molekularpumpe, die beinhalten kann: Molekularpumpmittel, oder
Turbomolekularmittel, oder sowohl Molekularpumpmittel als auch Turbomolekularpumpmittel. Wenn
beide Pumpmittel vorhanden sind, sind die Turbomolekularpumpmittel
mit den Molekularpumpmitteln in Reihe verbunden. Die Pumpenanordnung ist
in der Lage, die Kammer auf sehr niedrige Drücke im Bereich von 1 × 10–6 mbar
zu evakuieren. Das durch die Molekularpumpe erreichte Verdichtungsverhältnis ist
nicht ausreichend, um solche niedrigen Drücke zu erreichen, während gleichzeitig
in die Atmosphäre
ausgestoßen
wird, und deshalb ist eine Vorpumpe vorgesehen, um den Druck am
Auslaß der Molekularpumpe
abzusenken und daher das Erreichen sehr niedriger Drücke an ihrem
Einlaß zu
ermöglichen.
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Beispielsweise
beschreiben die
DE 199 13 593 und
die
US 6 446 651 beide
eine Pumpenanordnung mit einer Hochvakuumpumpe, die von einer Vorpumpe
gestützt
wird. In der
DE 199 13 593 ist
die Hochvakuumpumpe eine Turbomolekularvakuumpumpe. Die
EP 1 234 982 beschreibt
eine Turbomolekularpumpe mit einer Mehrzahl von Abschnitten, nämlich einen
ersten Abschnitt mit beschaufelten Rotorscheiben, einem zweiten
Abschnitt mit glatten Rotorscheiben, einem dritten Abschnitt mit
einer gezahnten Rotorscheibe, und einem vierten Abschnitt einer
Ejektorpumpenbauart.
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Wenn
die zu evakuierende Kammer Teil eines Halbleiterverarbeitungssystem
ist, ist es im allgemeinen wünschenswert,
dass die Kammer von Verunreinigungen freigehalten wird, und daher
die Antriebswelle der Molekularpumpe, die auf der Vakuumseite der
Vakuumpumpenanordnung angeordnet ist, durch ein schmiermittelfreies
Lager abgestützt
ist, da Schmiermittel die Ursache einer Verunreinigung sein kann.
Es ist möglich,
ein Magnetlager zu verwenden, das schmiermittelfrei ist, weil, obwohl
die Konstruktion eines Magnetlagers eine gewisse seitliche Auslenkung
der Antriebswelle zulässt,
der Betrieb der Molekularpumpe durch eine solche radiale Auslenkung
nicht wesentlich beeinträchtigt
wird. Die Antriebswelle einer Regenerativpumpe, die als Vorpumpe
benutzt werden kann, wird typischerweise durch ein geschmiertes
Lager abgestützt,
beispielsweise ein geschmiertes Wälzlager, wegen der hohen Belastungen
und des bei einer Regenerativpumpe erforderlichen Präzisionsgrads.
Mit anderen Worten, in einer Regenerativpumpe müssen die radialen Spielräume zwischen
den Rotorschaufeln und dem Stator sehr eng beherrscht werden, und
in manchen Fällen auf
nicht mehr als 80 μm
beschränkt
werden. Die Verwendung einer Regenerativpumpe ist daher in einer sauberen
Umgebung als nicht geeignet angesehen worden, weil sie grundsätzlich von
einer Antriebswelle angetrieben wird, die von einem geschmierten
Lager abgestützt
wird.
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Es
ist wünschenswert,
eine verbesserte Vakuumpumpenanordnung zu schaffen.
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Die
vorliegende Erfindung beinhaltet eine Vakuumpumpenanordnung mit
einer Antriebswelle, einem Motor zum Antrieb der Antriebswelle,
und einem Molekularpumpenmechanismus, und ist gekennzeichnet dadurch,
dass sie einen regenerativen Pumpenmechanismus aufweist, wobei die
Antriebswelle zum gleichzeitigen Antrieb des Molekularpumpenmechanismus
und des regenerativen Pumpenmechanismus ausgelegt ist und die Antriebswelle durch
ein schmiermittelfreies Lager abgestützt ist, das dem Molekularpumpenmechanismus
zugeordnet ist.
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Andere
Aspekte der vorliegenden Erfindung sind in den anliegenden Patentansprüchen definiert.
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Damit
die vorliegende Erfindung richtig verstanden werden kann, werden
nunmehr einige Ausführungsformen
derselben, die nur beispielshalber angegeben sind, mit Bezug auf
die anliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen:
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1 eine
schematisch dargestellte Schnittansicht einer Vakuumpumpenanordnung
zeigt,
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2 eine
vergrößerte Schnittansicht
eines Teils einer Regenerativpumpe der in 1 gezeigten Anordnung
zeigt,
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3 ein
Diagramm eines Regelsystems zeigt,
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4 eine
schematische Darstellung eines Vakuumpumpensystems zeigt,
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5 eine
schematische Darstellung eines weiteren Vakuumpumpensystems zeigt,
und
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Die 6 bis 8 Schnittansichten
weiterer Vakuumpumpenanordnungen zeigt, die alle schematisch dargestellt
sind.
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Gemäß 1 ist
eine Vakuumpumpenanordnung 10 schematisch dargestellt,
die einen Molekularpumpenmechanismus 12 und einen Vorpumpenmechanismus 14 aufweist.
Der Molekularpumpenmechanismus besteht aus Turbomolekularpumpmitteln 16 und
Molekular- bzw. Reibpumpmitteln 18. Alternativ kann der
Molekularpumpenmechanismus Turbomolekularpumpmittel allein oder
Molekularpumpmittel allein aufweisen. Die Vorpumpe 14 besteht
aus einem regenerativen Pumpenmechanismus. Ein weiterer Saugpumpenmechanismus 20 kann
dem regenerativen Pumpenmechanismus zugeordnet und zwischen dem
Saugpumpenmechanismus 18 und dem regenerativen Pumpenmechanismus 14 angeordnet
sein. Der Saugpumpenmechanismus 20 umfaßt drei Saugpumpenstufen in
Reihe, während
der Saugpumpenmechanismus 18 zwei Saugpumpenstufen parallel
aufweist.
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Die
Vakuumpumpenanordnung 10 umfaßt ein Gehäuse, das in drei gesonderten
Teilen 22, 24, 26 ausgebildet ist und
den Molekularpumpenmechanimus 12, den Saugpumpenmechanismus 20 und den
regenerativen Pumpenmechanismus 14 beherbergt. Die Teile 22 und 34 können die
Innenoberflächen
des Molekularpumpenmechanismus 12 und des Saugpumpenmechanismus 20 bilden,
wie dargestellt. Das Teil 26 kann den Stator des regenerativen Pumpenmechanismus 14 bilden.
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Das
Teil 26 bildet eine Ansenköffnung 28, die ein
geschmiertes Lager 30 zum Abstützen einer Antriebswelle 32 aufnimmt,
wobei das Lager 30 sich an einem ersten Endteil der Antriebswelle
befindet, welcher dem regenerativen Pumpenmechanismus 14 zugeordnet
ist. Das Lager 30 kann ein Wälzlager wie beispielsweise
ein Kugellager sein und kann z. B. mit Fett geschmiert sein, da
es sich in einem vom Einlaß der
Pumpenanordnung entfernten Teil der Pumpenanordnung 10 befindet.
Der Einlaß der
Pumpenanordnung kann in Strömungsverbindung
mit einer Halbleiterverarbeitungskammer stehen, in welcher eine
saubere Umgebung verlangt wird.
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Die
Antriebswelle 32 wird von einem Motor 34 angetrieben,
der als durch die Teile 22 und 24 des Gehäuses abgestützt dargestellt
ist. Der Motor kann an irgendeiner geeigneten Position in der Vakuumpumpenanordnung
abgestützt
sein. Der Motor 34 ist so ausgelegt, dass er gleichzeitig
den regenerativen Pumpenmechanismus 14 als auch den dadurch
getragenen Molekularpumpenmechanismus 20 antreiben kann
und auch den Molekularpumpenmechanismus 12. Allgemein erfordert
ein regenerativer Pumpenmechanismus mehr Leistung für den Betrieb
als ein Molekularpumpenmechanismus, wobei der regenerative Pumpenmechanismus
bei Drücken
nahe Atmosphärendruck
arbeitet, wo Ventilationsverluste und Luftwiderstand relativ hoch
sind. Ein Molekularpumpenmechanismus erfordert relativ weniger Leistung
für den
Betrieb, und daher ist ein zum Antreiben eines regenerativen Pumpenmechanismus
ausgewählter
Motor im allgemeinen auch zum Antreiben eines Molekularpumpenmechanismus
geeignet. Es sind Mittel zur Regelung der Drehzahlen des Vorpumpenmechanismus
und des Molekularpumpenmechanismus vorgesehen, so dass der Druck
in einer mit der Anordnung verbundenen Kammer geregelt werden kann.
Ein geeignetes Regelsystemdiagramm zur Regelung der Drehzahl des
Motors 34 ist in 3 gezeigt
und weist einen Druckmesser 35 zum Messen des Drucks in
einer Kammer 33 und einen mit dem Druckmesser verbundenen
Regler 37 zur Regelung der Pumpendrehzahl auf.
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Der
regenerative Pumpenmechanismus 14 umfaßt einen Stator, der eine Mehrzahl
umfangsmäßiger Pumpenkanäle aufweist,
die konzentrisch um eine Längsachse
A der Antriebswelle 32 angeordnet sind, und einen Rotor,
der eine Mehrzahl Rotorschaufelanordnungen aufweist, die axial in
jeweils entsprechende umfangsmäßigen Pumpenkanäle ragen. Mehr
im Einzelnen besteht der regenerative Pumpenmechanismus 14 aus
einem relativ zur Antriebswelle 32 feststehenden Rotor.
Der regenerative Pumpenmechanismus 14 umfaßt drei
Pumpenstufen, und für
jede Stufe ragt eine umfangsmäßige Anordnung von
Rotorschaufeln 38 im wesentlichen orthogonal von einer
Oberfläche
des Rotorkörpers 36 weg.
Die Rotorschaufeln 38 der drei Anordnungen ragen axial in
einen jeweiligen der umfangsmäßigen Pumpenkanäle 40,
die konzentrisch im Teil 26 angeordnet sind, welches den
Stator des regenerativen Pumpenmechanismus 14 bildet. Während des
Betriebs dreht die Antriebswelle 32 den Rotorkörper 36,
was bewirkt, dass die Rotorschaufeln 38 sich entlang der
Pumpenkanäle
bewegen und Gas vom Einlaß 42 der
Reihe nach entlang des radial äußeren Pumpenkanals, des
radial mittleren Pumpenkanals, und des radial inneren Pumpenkanals
pumpen, wo es über
einen Auslaß 44 aus
dem Pumpenmechanismus 14 bei Drücken nahe oder auf Atmosphärendruck
ausgestoßen
wird.
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Einen
vergrößerten Querschnitt
einer einzelnen Stufe des regenerativen Pumpenmechanismus ist in 2 gezeigt.
Für einen
effizienten Betrieb des regenerativen Pumpenmechanismus 14 ist
es wichtig, dass der radiale Spielraum "C" zwischen
den Rotorschaufeln 38 und dem Stator 26 eng beherrscht wird
und vorzugsweise auf nicht mehr als 200 μm oder weniger, und vorzugsweise
weniger als 80 μm während des
Betriebs gehalten wird. Eine Vergrößerung des Spielraums "C" würde
zu signifikantem Auslecken von Gas aus dem Pumpenkanal 40 führen und
die Effizienz des regenerativen Pumpenmechanismus 14 vermindern.
Deshalb ist dem regenerativen Pumpenmechanismus 14 das
geschmierte Wälzlager 30 zugeordnet,
das einer radialen Auslenkung der Antriebswelle 32 und
folglich des Rotorkörpers 36 im
wesentlichen widersteht. Wenn jedoch eine radiale Auslenkung der
Antriebswelle an einem vom geschmierten Lager 30 distalen
Ende auftritt, kann dies ebenfalls eine radiale Bewegung des Rotors
des regenerativen Pumpenmechanismus bewirken, was in einem Verlust
an Effizienz resultiert. Mit anderen Worten, das Lager 30 kann
als Gelenk wirken, um welches eine gewisse Radialbewegung stattfinden
kann. Um einen Verlust an Effizienz zu vermeiden, ist der Rotor 36 des
regenerativen Pumpenmechanismus so mit der Antriebswelle 32 verbunden,
dass er ausreichend nahe am geschmierten Lager 30 (d. h.
am Gelenk) liegt, so dass eine Radialauslenkung der Antriebswelle
sich im wesentlichen in eine Axialbewegung der Rotorschaufeln relativ
zu den jeweiligen umfangsmäßigen Pumpenkanälen 40 umsetzt.
Vorzugsweise ist das Lager 30 im wesentlichen axial mit
den umfangsmäßigen Pumpenkanälen ausgerichtet,
so dass irgendeine Radialauslenkung der Rotorschaufeln 38 keine
wesentliche Leckage verursacht. Wie dargestellt, definiert der Stator 26 des
regenerativen Pumpenmechanismus 14 die Aussparung für das Lager 30,
und der Rotorkörper 36 befindet
sich, wie man sieht, angrenzend an den Stator 26. Dementsprechend
verhindert das Lager 30, das einer Radialauslenkung standhält, eine
signifikante radiale Auslenkung des Rotorkörpers 36 und folglich auch
der Rotorschaufeln 38. Daher kann der Spielraum "C" zwischen den Rotorschaufeln 38 und
dem Stator 26 in tolerierbaren Grenzen gehalten werden.
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Orthogonal
vom Rotorkörper 36 verlaufend sind
zwei zylindrische Molekularpumpenzylinder 36 angeordnet,
die zusammen Rotoren des Molekularpumpenmechanismus 20 bilden.
Die Molekularpumpenzylinder 46 sind aus kohlefaserverstärktem Material
hergestellt, das sowohl fest als auch leicht ist. Die Massenverringerung
bei Verwendung von Kohlefaser-Molekularpumpenzylindern im Vergleich
zum Einsatz von Aluminium- Molekularpumpenzylindern erzeugt
eine geringere Trägheit
wenn der Molekularpumpenmechanismus sich im Betrieb befindet. Dementsprechend
kann die Drehzahl des Molekularpumpenmechanismus leichter beherrscht
werden.
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Der
Molekularpumpenmechanismus 20, der schematisch dargestellt
ist, ist ein Molekularpumpenmechanismus der Holweck-Bauart, in welcher
Statorteile 48 einen spiralförmigen Kanal zwischen der Innenfläche des
Gehäuseteils 24 und
den Molekularpumpenzylindern 46 bilden. Es sind drei Molekularstufen
dargestellt, von denen jede einen spiralförmigen Pfad für die Gasströmung zwischen
dem Rotor und dem Stator bildet. Der Betrieb und der Aufbau eines
Holweck-Molekularpumpenmechanismus ist bekannt. Die Gasströmung folgt
einen gewundenen Pfad und strömt
nacheinander in Reihe durch die drei Stufen.
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Der
Molekularpumpenmechanismus 12 wird an einem distalen Ende
der Antriebswelle 32 vom regenerativen Pumpenmechanismus 14 angetrieben. Es
kann ein Hilfslager vorgesehen sein, um einer extremen Radialauslenkung
der Antriebswelle 32 beispielsweise bei Stromausfall entgegenzuwirken.
Wie dargestellt, ist das schmiermittelfreie Lager ein Magnetlager 54,
das zwischen einem Rotorkörper 52 und einem
zylindrischen Teil 56 vorgesehen ist, das relativ zum Gehäuseteil 22 feststehend
ist. Ein passives Magnetlager ist dargestellt, bei welchem gleiche
Pole eines Magneten einander abstoßen, wodurch einer übermäßigen radialen
Auslenkung des Rotorkörpers 52 relativ
zur mittigen Achse A entgegengewirkt wird. In der Praxis kann die
Antriebswelle um etwa 0,1 mm auslenken.
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Ein
kleines Maß an
radialer Auslenkung des Rotors eines Molekularpumpenmechanismus
beeinträchtigt
die Leistung des Pumpenmechanismus nicht wesentlich. Wenn es jedoch
gewünscht
wird, einer radialen Auslenkung weiter entgegenzuwirken, kann ein
aktives Magnetlager gewählt
werden. In einem aktiven Magnetlager werden Elektromagnete anstatt
Permanentmagnete in passiven Magnetlagern eingesetzt. Weiter ist
ein Erfassungsmittel zum Erfassen einer radialen Auslenkung und
zur Steuerung des magnetischen Felds vorgesehen, um der radialen
Auslenkung entgegenzuwirken. Die 6 bis 8 zeigen
ein aktives Magnetlager.
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Eine
umfangsmäßige Anordnung
abgewinkelter Rotorschaufeln 58 verläuft radial auswärts vom Rotorkörper 52.
Auf etwa der halben Strecke entlang der Rotorschaufeln 58 ist
an einem radial mittleren Teil der Anordnung ein zylindrischer Stützring 60 vorgesehen,
mit welchem der Molekularpumpenzylinder 62 des Molekularpumpenmechanismus 18 verbunden
ist. Der Molekularpumpenmechanismus 18 umfaßt zwei
Molekularpumpenstufen in paralleler Anordnung mit einem einzigen
Molekularpumpenzylinder 62, der zur Verringerung seiner
Trägheit
aus Kohlefaser hergestellt sein kann. Jede der Stufen besteht aus
Statorteilen 64, die mit sich verjüngenden inneren Wänden 66 des
Gehäuses 22 einen
spiralförmigen
Molekulargasströmungskanal
bilden. Ein Auslaß 68 ist
vorgesehen, um Gas aus dem Molekularpumpenmechanismus 18 auszustoßen.
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Während des
normalen Betriebs ist der Einlaß 70 der
Pumpenanordnung 10 mit einer Kammer verbunden, deren Druck
reduziert werden soll. Der Motor 34 dreht die Antriebswelle 32,
die wiederum den Rotorkörper 36 und
den Rotorkörper 52 antreibt. Gas
wird unter Molekularströmungsbedingungen durch
den Einlaß 70 in
die Turbomolekularpumpenmittel 16 eingesaugt, welche die
Moleküle
in die Molekularpumpenmittel 18 entlang beider paralleler
Molekularpumpenstufen und durch den Auslaß 68 drängen. Das
Gas wird dann durch die drei in Reihe angeordneten Stufen des Molekularpumpenmechanismus 20 und
durch den Einlaß 42 in
den regenerativen Pumpenmechanismus eingesaugt. Das Gas wird auf atmosphärischen
Druck oder um denselben durch die Auslassöffnung 44 ausgestoßen.
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Der
regenerative Pumpenmechanismus 14 muß Gas auf etwa atmosphärischem
Druck ausstoßen.
Dementsprechend ist der Gaswiderstand gegen den Durchgang der Rotorschaufeln 38 beträchtlich, und
daher müssen
die Leistungs- und Drehmomentcharakteristiken des Motors 34 so
gewählt
werden, dass sie den Anforderungen des regenerativen Pumpenmechanismus 14 entsprechen.
Der auf den Molekularpumpenmechanismus 12 wirkende Widerstand
gegen Drehung ist relativ klein, da der Molekularpumpenmechanismus
bei relativ niedrigen Drücken
arbeitet. Des weiteren unterliegt die Struktur des Molekularpumpenmechanismus 18,
dessen einziges bewegliches Teil ein um die Achse 8 drehender Zylinder
ist, keinem wesentlichen Gaswiderstand gegen Drehung. Daher ist,
wenn einmal Leistungs- und Drehmomenteigenschaften
für den
Motor 34 für
den regenerativen Pumpenmechanismus 14 gewählt worden
sind, nur noch ein relativ kleiner Anteil an Zusatzkapazität notwendig,
damit der Motor auch den Anforderungen des Molekularpumpenmechanismus 12 entspricht.
Mit anderen Worten, ein 200-W-Motor, der typischerweise für einen
Molekularpumpenmechanismus eingesetzt wird, hat beträchtlich
weniger Leistung als der Motor 34, der vorzugsweise ein 2-kW-Motor
ist. Im Stand der Technik ist der typische Motor nicht stark genug,
so dass eine Druckänderung in
einer Kammer durch Steuerung der Drehzahl der Pumpe beherrscht werden
kann. Da jedoch ein kräftiger
Motor zum Antreiben des regenerativen Pumpenmechanismus 14 gewählt ist,
kann die zusätzliche
Leistung auch zur Beherrschung der Drehzahl des Molekularpumpenmechanismus
und damit zur Regelung des Drucks benutzt werden.
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Eine
typische Turbomolekularpumpe wird auf relativ niedrige Drücke evakuiert,
bevor sie angefahren wird. Im Stand der Technik wird für diesen Zweck
eine Vorpumpe eingesetzt. Da der Vorpumpenmechanismus und der Turbomolekularpumpenmechanismus
derselben Antriebswelle in der Vakuumpumpenanordnung 10 zugeordnet
sind, ist dieses Anfahrverfahren nicht möglich. Dementsprechend bildet
die Vakuumpumpenanordnung Teil eines Vakuumpumpensystems, das zusätzliche
Evakuierungsmittel zum Evakuieren mindestens der Turbomolekularpumpe 16 vor
dem Anfahren auf einen vorgegebenen Druck umfasst. Vorzugsweise
wird die Turbomolekularpumpe auf weniger als 500 mbar vor dem Anfahren
evakuiert. Zweckmäßigerweise
wird die gesamte Vakuumpumpenanordnung vor dem Anfahren evakuiert,
wie in den 4 und 5 gezeigt
ist. Die Evakuierungsmittel können
durch eine zusätzliche Pumpe
bereitgestellt werden, obwohl dies nicht bevorzugt wird, weil eine
zusätzliche
Pumpe die Kosten des Systems erhöhen
würde.
Wenn die Pumpenanordnung 10 als Teil eines Halbleiterverarbeitungssystems
eingesetzt wird, ist es zweckmäßig, eine
Pumpe oder Pumpenmittel zu verwenden, die dem System zugeordnet
sind, beispielsweise die Pumpe für
die Ladeschleusenkammer. 4 zeigt die Anordnung eines
Halbleiterverarbeitungssystems, in welchem die Ladeschleusenpumpe 74 im
normalen Betrieb zum Evakuieren des Drucks aus der Ladeschleusenkammer 76 benutzt
wird. Ein Ventil 78 ist zwischen der Ladeschleusenkammer 76 und
der Ladeschleusenpumpe 74 vorgesehen. Die Ladeschleusenpumpe 74 ist
mit dem Auslaß der
Pumpenanordnung 10 über
ein Ventil 80 verbunden. Ein weiteres Ventil 82 ist
stromab des Auslasses 44 der Pumpenanordnung 10 vorgesehen.
Während
des Anfahrens werden die Ventile 78 und 82 geschlossen,
während
das Ventil 80 geöffnet
wird. Die Ladeschleusenpumpe 74 wird zum Evakuieren von
Gas aus der Anordnung 10 und daher aus den Turbomolekularpumpenmitteln 16 betrieben.
Während
des normalen Betriebs sind die Ventile 82 und 78 geöffnet, während das
Ventil 80 geschlossen ist. Die Anordnung 10 wird
zum Evakuieren von Druck aus der Vakuumkammer 84 betrieben.
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Alternativ
kann die Vakuumpumpenanordnung 10 angefahren werden, wie
unter Bezugnahme auf 5 beschrieben ist. Die zusätzlichen
Evakuierungsmittel umfassen eine Hochdruck-Stickstoffzufuhr, die über ein
Ventil 88 mit einer Ejektorpumpe 90 verbunden
ist. Das Ventil 88 wird geöffnet, so dass Hochdruckstickstoff
zum Evakuieren der Anordnung 10 und daher der Turbomolekularpumpenmittel 16 ausgestrahlt
wird.
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Obwohl
die Pumpenanordnung 10 vor dem Anfahren evakuiert werden
kann, ist es auch möglich, die
Anordnung nach dem Anfahren zu Evakuieren, da die Anordnung angefahren
werden kann, aber keine geeigneten Drehzahlen erreicht, solange
die Evakuierung nicht durchgeführt
ist.
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Es
folgt nun eine Beschreibung von drei weiteren Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung. Der Kürze halber werden die weiteren
Ausführungsformen
nur in Bezug auf diejenigen Teile beschrieben, die gegenüber der
ersten Ausführungsform
verschieden sind, und für
gleiche Teile werden gleiche Bezugszeichen verwendet.
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6 zeigt
eine Vakuumpumpenanordnung 100 mit einen aktiven Magnetlager,
wobei in zylindrischer Pol des Magnetlagers 54 an einer
Antriebswelle 32 montiert ist, und wobei ein gleicher Pol
am Gehäuse 22 positioniert
ist. Der Rotorkörper 52 der
Turbomolekularpumpenmittel 16 des Molekularpumpenmechanismus
ist scheibenförmig,
und die Gesamtgröße der Anordnung 100 ist
im Vergleich zur ersten Ausführungsform
reduziert. In 7 ist eine Vakuumpumpenanordnung 200 gezeigt,
in welcher die Turbomolekularpumpenmittel 12 zwei Turbomolekularpumpenstufen 16 umfassen.
Ein Stator 92 ragt von dem Gehäuseteil 22 zwischen
den beiden Turbostufen 16 radial einwärts.
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In 8 ist
eine Vakuumpumpenanordnung 300 gezeigt, bei welcher der
Molekularpumpenmechanismus 20 weggelassen ist.