DE60132932T2 - Aus festkörper gebildetes mikrooptisches elektromechanisches system (moems) zur wiedergabe eines photonischen diffraktiven speichers - Google Patents

Aus festkörper gebildetes mikrooptisches elektromechanisches system (moems) zur wiedergabe eines photonischen diffraktiven speichers Download PDF

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Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein einen photonisch diffraktiven Speicher. Im besonderen betrifft die vorliegende Erfindung eine Einrichtung zum Ablesen von Information von dem photonisch diffraktiven Speicher.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die großen Speicherkapazitäten und relativ niedrige Kosten von CD-ROMs und DVDs haben einen noch größeren Bedarf an wiederum größeren und billigeren optischen Speichermedien erzeugt. Holographische Speicher wurde vorgeschlagen, um die optischen Discs als digitale Speichermedien hoher Kapazität zu ersetzen. Die hohe Dichte und Geschwindigkeit von holographischen Speichern beruht auf der dreidimensionalen Speicherung und auf dem gleichzeitigen Auslesen eines gesamten Pakets von Daten zu einer bestimmten Zeit. Die hauptsächlichen Vorteile eines holographischen Speichers sind die höhere Informationsdichte (1011 Bits oder mehr je Quadratzentimeter), eine kurze wahlfreie Zugangszeit (~100 Mikrosekunden und darunter), und eine hohe Informationsübertragungsrate (109 Bit/Sekunde).
  • In holographischen Aufzeichnungen wird ein Lichtstrahl von einer kohärenten monochromatischen Quelle (bspw. einem Laser) in einen Bezugsstrahl und einen Objektstrahl aufgespalten. Der Objektstrahl wird durch einen räumlichen Lichtmodulator (SLM) geleitet und dann in ein Speichermedium geführt. Der SLM-Modulator bildet eine Matrix von Verschlussblenden, welche ein Paket binärer Daten repräsentiert. Der Objektstrahl geht durch den SLM-Modulator, welcher in der Weise wirksam ist, dass er den Objektstrahl mit der binären Information moduliert, welche auf dem SLM-Modulator dargestellt wird. Der modulierte Objektstrahl wird dann auf einen Punkt auf dem Speichermedium gerichtet, was durch einen Adressierungsmechanismus geschieht, wo er mit dem Bezugsstrahl in Wechselwirkung tritt, um ein Hologramm zu erzeugen, welches das Datenpaket repräsentiert.
  • Ein optisches System, das aus Linsen und Spiegeln besteht, wird dazu verwendet, den optischen Strahl, welcher mit dem Datenpaket kodiert ist, auf die in besondere Weise adressierte Fläche des Speichermediums zu leiten. Eine optimale Ausnützung der Kapazität eines dicken Speichermediums wird durch räumliche und winkelmäßige Multiplexausnützung erreicht. Beim räumlichen Multiplexen wird ein Satz von Paketen in dem Speichermedium gespeichert, das in einer Ebene als eine Gruppe von räumlich getrennten und winkelmäßig angeordneten Subhologrammen unterteilt ist, indem die Strahlrichtung in der x-Achsenrichtung und der y-Achsenrichtung der Ebene geändert wird. Jedes Subhologramm wird an einem Punkt in dem Speichermedium mit den rechtwinkligen Koordinaten gebildet, welche die jeweilige Datenpaketadresse darstellen, wie die Aufzeichnung in dem Speichermedium erfolgte. Beim winkelmäßigen Multiplexen wird die Aufzeichnung unter Beibehaltung der x- und y-Koordinaten durchgeführt, während der Bestrahlungswinkel des Bezugsstrahls in dem Speichermedium geändert wird. Durch wiederholtes inkrementelles Ändern des Bestrahlungswinkels wird eine Mehrzahl von Informationspaketen als Gruppe von Subhologrammen an demselben x- und y-Koordinatenort aufgezeichnet.
  • Bisherige holographische Einrichtungen zur Informationsaufzeichnung in einem holographischen Speicher hohen Multiplexumfanges und zur Ablesung der Information erfordern Komponenten und Abmessungen beträchtlicher Größe, was eine Grenze für die Möglichkeit der Minimierung dieser Systeme setzt. Da bisherige holographische Einrichtungen Antriebe und Komponenten großer Abmessungen, bspw. Spiegel und Linsen, verwenden, sind die Adressierungssysteme dieser vorbekannten Einrichtungen langsam. Weiterhin benötigen die mechanischen Komponenten dieser vorbekannten Einrichtungen eine häufige Wartung, um Fehler und Fehlfunktionen zu korrigieren, welche bspw. durch Verschleiß und Reibung entstehen (d. h., ein tribologischer Effekt). Weiterhin sind vorbekannte Adressierungssysteme teuer, da sie komplexe Systeme für die Steuerung benötigen. Aus diesem Grunde können ihre Preise nicht für eine Massen produktion erniedrigt werden. Weiterhin sind die vorbekannten Einrichtungen bezüglich ihres Energieverbrauches nicht ökonomisch. Selbst wenn vorbekannte Adressierungseinrichtungen im neuen Zustand genau sind, verringert sich ihre Genauigkeit mit der Zeit durch Verschleiß und gegenseitige Reibung der zusammenwirkenden Flächen.
  • Aufgrund des Vorstehenden wäre es erstrebenswert, eine Technik oder mehrere Techniken zu schaffen, wodurch die zuvor beschriebenen Nachteile und Unannehmlichkeiten der oben beschriebenen vorgeschlagenen Lösungen überwunden werden.
  • Die US-Patentschrift 5436867 offenbart einen räumlichen Multiplexer zur Verwendung mit einem holographischen Speichermedium. Der räumliche Multiplexer enthält eine Gruppe von einzelnen Reflektorelementen mit linearer Gestalt, welche in einer Parallelanordnung vorgesehen sind, die relativ zueinander auf einem Substrat angeordnet sind, wobei jedes eine unterschiedliche winkelmäßige Orientierung gegenüber dem Speichermedium hat. Ein akustooptisches Gerät steuert den Bezugsstrahl vertikal auf das jeweilige Reflektorelement für eine räumliche Multiplexwirkung hin. Ein anderes akustooptisches Gerät steuert den Bezugsstrahl horizontal für ein winkelmäßiges Multiplexen.
  • Die JP 11 016375 offenbart eine holographische Speichereinrichtung mit Reihen von Mikrospiegeln. Ein Objektlicht und ein Bezugslicht werden auf dieselbe Position eines holographischen Aufzeichnungsmediums durch abgelenkte Mikrospiegel geleitet.
  • Analoge Abtastspiegel in Millimetergröße, welche in der Lage sind, Ablenkwinkel von mehr als 60° zu erzeugen, sind in der Veröffentlichung von Miller u. a. in „Micromachined electromagnetic scanning mirrors", Opt. Eng. 36(5), Seiten 1399–1407 (1997) beschrieben. Die Verwendung dieser Spiegel wird in Verbindung mit einem holographischen Datenspeichersystem erwähnt.
  • Andere Arten von verformbaren Spiegel-Raumlichtmodulatoren sind in der Veröffentlichung von Lakner u. a. in „Micromirrors for direct writing systems and scanners", SPIE, Band 3878, Seiten 217–227 (1999) offenbart. Für die winkelmäßige Ablenkung eines Lichtstrahls wird ein Resonanz-Mikroabtastungsspiegel, basierend auf einem Silizium-mikromechanischem Torsionsbetätiger, angegeben.
  • AUFGABEN DER ERFINDUNG
  • Im Hinblick auf das Vorstehende ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Verbesserung an einem photonischen diffraktiven Speicherablesungssystem bezüglich Geschwindigkeit und geringer Größe zu schaffen.
  • Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Miniaturisierung eines photonischen diffraktiven Speicherablesungssystems zu ermöglichen.
  • Es ist wiederum ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung, das Adressierungssystem eines photonischen diffraktiven Speicherablesungssystems auf Matchbox-Größe zu reduzieren.
  • Wiederum ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, ein Festkörperablesungssystem zu konstruieren, das rasch in großen Mengen und zu niedrigen Kosten mit herkömmlichen Mitteln gefertigt werden kann.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Zum Erreichen der oben genannten Ziele umfasst die vorliegende Erfindung ein Festkörpersystem zum Ablesen von Information aus einem photonendiffraktiven Speicher. Eine kohärente Lichtquelle erzeugt einen konvergenten Lichtstrahl, der dann in einem akustooptischen Ablenker abgelenkt wird. Eine Vielzahl von Mikrospiegeln empfängt den abgelenkten Lichtstrahl vom akustooptischen Deflektor oder Ablenker an einem der Mikrospiegel. Ein photonendiffraktiver Speicher mit einer Vielzahl von Punkten empfängt an einem der Punkte den reflektierten Lichtstrahl, welcher von einem der Mikrospiegel reflektiert worden ist. Ein Ablenker oder Deflektor hat eine Vielzahl von lichtdetektierenden Zellen. Mindestens eine der Zellen empfängt einen Teil des reflektierten Lichtstrahls, der durch den Punkt übertragen worden ist.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung sind die Mikrospiegel als Matrix konfiguriert.
  • In einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Linse vorhanden, welche den konvergenten Lichtstrahl formt, welcher von der Lichtquelle ausgeht.
  • Gemäß wieder einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist die konvergente Lichtquelle aus der Gruppe gewählt, welche aus einem Laser geringer Leistung und einer lichtemittierenden Diode besteht.
  • Nach wiederum einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist der Detektor eine CCD-Detektorgruppe.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung speichert jeder der genannten Vielzahl von Punkten ein Diffraktionsmuster oder mehrere Diffraktionsmuster.
  • Gemäß wiederum einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält das photonendiffraktive Speichermedium darin gespeichert Information, welche an einer Vielzahl von Punkten des Speichers und an einer Vielzahl von Winkeln an jedem der Punkte gespeichert ist, so dass eine Vielzahl von Paketen von Information an jedem der Punkte enthalten ist.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist jeder der Mikrospiegel ein schwingend abtastender Mikrospiegel.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Rechner so ausgelegt, dass er die Synchronisation des akustooptischen Ablenkers und der schwingenden Mikrospiegel so koordiniert, dass der reflektierte Lichtstrahl auf einen der Punkte mit einem bestimmten Winkel so für ausreichende Zeit hingelenkt wird, dass die Information von dem betreffenden Punkt abgelesen werden kann.
  • Gemäß wiederum einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist jeder der Mikrospiegel ein schwingender Mikrospiegel und die Schwingungszyklen des Mikrospiegels sind mit der Abtastung des akustooptischen Deflektors koordiniert, so dass der genannte reflektierte Lichtstrahl auf einen der Punkte des Speichermedium hingelenkt wird.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Um ein vollständigeres Verständnis der vorliegenden Erfindung zu erleichtern, sei mm auf die anliegenden Zeichnungen Bezug genommen. Diese Zeichnungen sind nicht im Sinne einer Beschränkung der vorliegenden Erfindung zu verstehen, sondern sind nur beispielsweise angegeben.
  • 1 zeigt eine Mikrospiegelanordnung gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 2 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Mikrospiegelanordnung gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 2a zeigt eine vergrößerte Ansicht des Betätigungsantriebs der Mikrospiegelanordnung gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 3a zeigt das Hinzufügen einer epitaktischen Schicht zu einem Wafer als Teil des MEMS-Fabrikationsprozesses gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 3b zeigt die Bildung der Startelektroden und die Ablagerung einer Metallschicht als Teil des MEMS-Fabrikationsprozesses gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 3c zeigt einen anisotropen Ätzvorgang zur Entfernung des Substrates unterhalb der gestalteten Spiegelplatte als Teil des MEMS-Fabrikationsprozesses gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 3d zeigt einen Querschnitt des Mikrospiegel-Chips gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 4a zeigt eine Startelektrode einer Mikrospiegelanordnung gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 4b verdeutlicht den Betrieb eines Mikrospiegels, welcher durch ein Sägezahnsignal gemäß der vorliegenden Erfindung betrieben wird.
  • 5 zeigt ein Festkörper-Ablesungssystem gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 6 zeigt einen akustooptischen Ablenker gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 7 zeigt eine schematische Darstellung eines diffraktiven optischen Aufzeichnungsprozesses.
  • 8 zeigt eine Matrix von Punkten, welche ein Speichermedium gemäß der vorliegenden Erfindung bilden.
  • 9 zeigt die Synchronisation des Spiegels des Festkörper-Ablesungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Die kompakte Architektur für diffraktive optische Systeme gemäß der vorliegenden Erfindung integriert eine Anzahl von Komponenten in einem kompakten Paket einschließlich eines akustooptischen Deflektors und eines mikrooptisch-elektromechanischen Systems (MOEMS), welches die Addressierungskomponente eines Ablesungssystems für einen photonendiffraktiven Speicher auf Matchboxgröße reduziert. Das Ablesungssystem ist aus Festkörperkomponenten gebildet. Die Spiegel sind in CMOS-Technologie aufgebaut, was den Vorteil hat, dass das Ablesesystem zu niedrigen Kosten in Massenproduktion gehen kann.
  • Verschiedene diffraktive Aufzeichnungs- und Ablesungsprozesse wurden in der Technik entwickelt und weitere Details können in dem Buch „Holographic Data Storage", Springer (2000) herausgegeben von H. J. Coufal, D. Psaltis und G. T. Sincerbox gefunden werden. In dieser Beschreibung wird durchgehend der Ausdruck „diffraktiv" zur Unterscheidung der herkömmlichen Holographietechnologie, wie sie für die 3-D-Bilderzeugung verwendet wird, von der diffraktiven Technologie verwendet, welche für die Erzeugung eines Speichermediums notwendig ist. Beispielsweise ist die Diffraktionseffizienz ein kritischer Wert bzgl. der Brauchbarkeit irgendeines Materials zur Verwendung als diffraktives Speichermedium. Die Qualität der Interferenz zur Bildung eines 3-D-Hologramms ist im Vergleich zu der Qualität, die zur Realisierung eines Speichermediums erforderlich ist, einfach zu erreichen. Darüber hinaus kann ein diffraktives Speichermuster auch unter Verwendung anderer Techniken als der Interferenz eines Bezugsstrahles und eines Objektstrahles verwirklicht werden, bspw. unter Verwendung eines e-Strahls zur Ätzung auf einem Material zwecks Erzeugung von Beugungsmustern. Aus all diesen Gründen führt die vorliegende Beschreibung das Konzept einer breiteren Technologie der diffraktiven Optik ein.
  • 1 zeigt eine Aufsicht auf ein Abtast-Mikrospiegelelement 100 mit einer Spiegelplatte 102, welche durch zwei oder vier Torsionsfedern 122a, 122b gehalten ist, welche die Spiegelplatte 102 mit jeweiligen Verankerungen 120a, 120b verbinden. Die Verankerungen 120a und 120b sind an dem Substrat 110 befestigt. Die beiden kammartigen Treiberelektroden 105a, 105b erzeugen ein Drehmoment zur Bewegung der Spie gelplatte 102. Die Spiegelplatte 102 nach 1 ist ein Beispiel eines mikrooptisch-elektromechanischen Systems (MOEMS). Ein MOEMS ist ein System, welches elektrische und mechanische Komponenten miteinander verbindet einschließlich optischer Komponenten, und zwar zu einer körperlichen Baugruppe geringer Abmessung.
  • 2 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Mikrospiegelelementes 100 mit der Spiegelplatte 102, welche in ein Siliziumsubstrat eingeschnitten ist, auf welcher ein reflektierender Film abgelagert ist, typischerweise ein Aluminiumfilm mit einer charakteristischen Dicke von etwa 50 nm. Die Platte 102 ist von den zwei oder vier Verdrehungspunkten 120a und 120b abgestützt und wird durch die zwei oder vier Treiberelektroden 105a, 105b betätigt, abhängig davon, ob es gewünscht wird, dass der Spiegel 102 in eine oder zwei Richtungen gedreht wird. Der Ablenkwinkel ist theoretisch unbegrenzt, praktisch ist er aber etwa 60°.
  • Die Veränderung der Kapazität C 125 (C ändert sich mit dem Winkel φ) zwischen der Spiegelplatte 102 und den kammartigen Treiberelektroden 105a und 105b dient zur Erzeugung des Plattentorsionsmomentes. Wenn eine Spannung U durch eine Energiequelle (nicht dargestellt) an die Treiberelektroden 105a und 105b angelegt wird, dann ist das erzeugte elektrostatische Drehmoment (M) folgendermaßen anzugeben: M = 1/2 dC/dφ U2 worin φ der Ablenkungswinkel der Platte ist.
  • Die Spiegelplatte 102 kann eine Größe von 0,5 × 0,5 mm bis zu 3,0 × 3,0 mm haben. Die Antriebe (die Bewegung zwischen Spiegelplatte 102 und Elektroden 105, wie sie durch die Energiequelle betrieben werden), werden in Resonanz erregt, d. h., sie schwingen kontinuierlich. Die Abtastfrequenz hängt von der Größe der Spiegelplatte ab (0,14 kHz bis zu 20 kHz) und ein mechanischer Abtastwinkel von ±15° kann bei einer Treiberspannung von nur 20 V erreicht werden.
  • Wenn der Antrieb im Synchronmodus arbeitet, ist es möglich, die Winkelposition der Spiegelplatte 102 durch Steuerung der maximalen Ablenkamplitude und der Oszillationsperiode zu steuern. Vorteile dieser Spiegel liegen darin, dass die Ablenkamplitude durch die Treiberspannung U überwacht werden kann. Für einen großen Abtastwinkel ändert sich der Ablenkwinkel linear mit der Anregungsspannung.
  • Wie in 2A dargestellt, bildet der Abstand, der zwischen der Spiegelplatte 102 und den Treiberelektroden 105a und 105b liegt, einen veränderlichen Kondensator. Durch Anlegen einer Spannung wird somit ein elektrostatisches Drehmoment erzeugt, das auf die Platte wirkt und sie zur Drehung und/oder Oszillation veranlasst. Unter der Vorraussetzung der besonderen geringen Größe dieser Mikrospiegel auf der einen Seite und ihrem Betriebsmodus auf der anderen Seite wird es möglich, die Größe des Ablesungsgerätes 400 (siehe 5) wesentlich zu reduzieren und dadurch einen hohen Grad an Integration zu ermöglichen.
  • Die 3a bis 3d verdeutlichen den Vorgang der Herstellung eines Mikrospiegelelementes 200 auf einem Substrat 230 mit Startelektroden 210a und 210b. Die Fabrikation wird unter Verwendung einer CMOS-kompatiblen Technologie vorgenommen. Es sei auf 3a Bezug genommen. Ein Wafer 230 dient als Basismaterial. Eine vergrabene Oxidschicht (BOX) 221 wird in einem SIMOX-Verfahren (Separation by Implantation of Oxygen) erzeugt. Eine 200 nm-dicke Siliziumschicht 205 auf der Oberseite der BOX-Schicht 221 wird durch eine 20 μm-dicke Epitaxieschicht verstärkt. Aus 3b ist zu ersehen, dass eine Oxidschicht und eine Metallschicht abgelagert und geformt werden, um die Startelektroden 210a und 210b zu bilden. Die Metallschicht wird durch ein zusätzliches Oxid geschützt. In dem nächsten Schritt wird eine 50 nm-dicke Schicht 206 aus Aluminium abgelagert, um die reflektierende Beschichtung in dem Spiegelbereich auszubilden. Aus 3c ist zu erkennen, dass das Substrat unterhalb der vorgesehenen Torsionsfedern und der Spiegelplatte 205 durch einen anisotropen Ätzvorgang in einer Tetramethylamoniumhydroxidlösung (TMAH) entfernt wird, wobei die Teile 230 stehen bleiben. TMAH ist eine chemische Lösung, welche für das anisotrope Ätzen von Wafersubstraten verwendet wird, in welchen die Mikrospiegel geätzt werden.
  • Nachdem die BOX-Schicht entfernt worden ist und die epitaktische Schicht unter Verwendung des Advanced-Silicon-Etch-Prozesses mit Muster versehen ist, werden Gräben 207 ausgebildet. Ein Querschnitt des Mikrospiegelchips 200 am Ende dieses Prozesses ist in 3d gezeigt.
  • 4a verdeutlicht den Betrieb des Mikrospiegelelements 100. 4a zeigt die Startelektroden 210a, welche zum Starten einer Bewegung der Spiegelplatte 205 verwendet werden. Eine Spannung einer festen Frequenz wird an die Startelektrode 210a gelegt, was zu Asymmetrien führt. Nimmt man eine perfekte Symmetrie des Antriebs an, so ist es ohne von außen eingeführte Kräfte unmöglich, die Schwingung zu starten. Aus diesem Grunde ist eine zusätzliche Startelektrode 210a, 210b vorhanden, welche über jeder der Treiberelektroden 221 gelegen ist und von hier durch eine Oxidschicht 209 isoliert ist. Diese Elektroden 210a und 210b können separat kontaktiert werden und brechen die Symmetrie der Anordnung auf. Ist einmal eine Schwingung angeregt, dann arbeitet der Spiegelantrieb in einem Synchronmodus, wobei die Spiegelplatte 205 in Phase mit der Antriebserregung der Spannung U schwingt, welche durch eine Energiequelle erzeugt wird.
  • 4b zeigt die Synchronisation der Spiegelplatte 102 beim Antrieb durch ein Sägezahnsignal 300. Das Sägezahnsignal 300 enthält die Spannung U, welche mit einer vorbestimmten Frequenz je Sekunde angelegt wird. Der Betrieb der Spiegelplatte 102 ist in fünf unterschiedlichen Positionen 301305 dargestellt, während die Spiegelplatte 102 durch die Sägezahnwelle 300 betätigt wird, welche an die Treiberelektroden 105a, 105b (siehe 1) angelegt wird. In einem vollen Zyklus, welcher eine Bewegung von einem positiven Winkel zu null Grad zu einem negativen Winkel umfasst, bewegt sich das Spiegelelement 102 von den Positionen 301 bis 304 (ein voller Zyklus) und beginnt dann den Zyklus wieder in der Position 305.
  • Tabelle 1 zeigt die Eigenfrequenz (Resonanzfrequenz) des Mikrospiegelelementes 100 in Abhängigkeit von der Spiegelgröße. Die Eigenfrequenz hängt von den mechani schen und elektrischen Charakteristiken des Mikrospiegelelementes 100 ab. Im Synchronmodus schwingt der Spiegel mit dem Zweifachen der Eigenfrequenz.
    1D Spiegelgröße (mm) 0,5 1 1,5 2 3
    Resonanzfrequenz (kHz) 2,32 0,4–7,5 0,25–2,5 0,14–1,5 0,2
    Tabelle 1
  • 5 zeigt ein Ablesesystem 400, welcher eine gesonderte Einheit auf einer Plattform 470 enthält, welche einen akustooptischen Ablenker oder Deflektor 430, eine mikrooptische-elektromechanische Systemmatrix (MOEMS) 440, einen Matrixspeicher 450 und einen Bildsensor 460, bspw. ein CCD-Detektierungssystem (ladungsgekoppeltes Gerät) oder ein anderes derartiges Bilddetektierungssystem trägt. Zusätzliche Einrichtungen, welche auf der Plattform 470 oder getrennt davon angeordnet sind, enthalten eine Lichtquelle 410 (bspw. einen Laser bzw. eine Laserdiode) und eine Konvergenzlinse 420.
  • Die Wirkungsweise des Ablesesystems geht in der Weise vor sich, dass die Lichtquelle 410 einen Lichtstrahl 480a aussendet, welcher durch die Konvergenzlinse 420 von einer Ebenenwelle in eine sphärische Welle 480b fokussiert wird. Die sphärische Welle 480b bildet einen konvergierenden Strahl. Der konvergierende Strahl 480b wird durch den akustooptischen Ablenker 430 abgelenkt, um den Strahl 480c auszubilden, welcher auf eines der Mikrospiegelelemente der MEOMS-Matrix 440 trifft. Die MEOMS-Spiegelmatrix 440 hat eine Größe, welche auf die Begrenzungen des Speichermatrix-Adressierungssystems abgestimmt ist. Die Mikrospiegelmatrix 440 dient zur Adressierung der Matrix von Punkten des Speichers 450, in welchem Daten durch räumliche und winkelmäßige Multiplexbehandlung gespeichert sind. Der Strahl 480c, welcher von dem akustooptischen Deflektor oder Ablenker 430 kommt, bildet eine Fläche mit einem Durchmesser, welche in den Durchmesser jedes der Mikrospiegelele mente der MEOMS-Spiegelmatrix passt. Zusätzlich wird die Speichermatrix 450 räumlich in solcher Weise justiert, dass die Größe des Laserstrahls 480d genau zur Größe jedes Punktes der Speichermatrix 450 passt.
  • 6 zeigt den akustooptischen Deflektor oder Ablenker 430 mehr im Einzelnen. Der akustooptische Deflektor (AO) 430 richtet den Laserstrahl 480b unter einem Winkel auf die Mikrospiegelanordnung 440. Wenn die akustooptischen Kristalle einer Beanspruchung ausgesetzt werden, insbesondere mittels eines Wandlers, welcher im allgemeinen aus einem piezoelektrischen Kristall besteht, dann modifizieren sie den Brechungswinkel des Lichtes und im allgemeinen, der elektromagnetischen Welle, welche durch sie hindurch geht, um den Wert des Brechungswinkels des herauskommenden Strahles 480c zu modifizieren. Durch Modifizieren der Betätigungsfrequenz des piezo-elektrischen Wandlers wird der Lichtstrahl 480b abgelenkt, um den Lichtstrahl 480c mit einem aus einer Vielzahl von Winkeln zu bilden.
  • Wie also in 6 gezeigt ist, werden die Veränderungen der Orientierung längs OX und OY (Bezug nehmend hier auf die rechtwinkligen Koordinaten von 2) des einfallenden Lesestrahles 480b, welcher von dem Laser 410 niedriger Leistung ausgeht, dadurch erhalten, dass dieser Strahl den beiden akustooptischen Komponenten 121, 122 ausgesetzt wird. Man versteht folglich, dass durch Verändern der Vibrationsfrequenz des piezoelektrischen Kristalls, der der akustooptischen Komponente oder den akustooptischen Komponenten zugeordnet ist, es möglich wird, sehr rasch die gewünschte Orientierung der Gittereinteilung innerhalb der Zeilen und Spalten der datentragenden Matrix 450 zu modifizieren. Der Begrenzungsfaktor wird dann die Ansprechzeit der Spiegelelemente der MEOMS-Matrix 440, welche auf den Einfallswinkel des Lesestrahls Einfluss nimmt.
  • Die 7 und 8 beschreiben den Inhalt des diffraktiven Speichermediums. Es sei auf 7 Bezug genommen. Bei der Bildung eines diffraktiven Musters oder Beugungsmusters oder alternativ eines Hologramms, verschneidet sich ein Bezugsstrahl 1 mit einem Objektstrahl 4 zur Bildung eines Subhologramms 8a (auch als ein Punkt be zeichnet), der sich durch das Volumen des Speichermediums 8 erstreckt. Es gibt ein gesondertes Subhologramm oder einen gesonderten Punkt 8a, der sich durch das Volumen für jeden Winkel und räumlichen Ort des Bezugsstrahls 1 erstreckt. Der Objektstrahl 4 wird mit einem Paket von Informationen 6 moduliert. Das Paket 6 enthält Information in Gestalt einer Vielzahl von Bits. Die Quelle der Information für das Paket 6 kann ein Rechner sein, das Internet oder irgendeine andere informationserzeugende Quelle. Das Hologramm trifft auf die Oberfläche 8a des Speichermediums 8 auf und erstreckt sich durch das Volumen des Speichermediums 8. Die Information des Paketes 6 wird auf dem Speichermedium 8 durch räumliche Multiplexbehandlung und winkelmäßige Multiplexbehandlung moduliert. Eine winkelmäßige Multiplexbehandlung wird durch Verändern des Winkels α des Bezugsstrahles relativ zur Oberflächenebene des Speichermediums 8 erreicht. Ein gesondertes Paket 6 von Information wird in dem Speichermedium 8 als ein Subhologramm für jeden gewählten Winkel α und jeden räumlichen Ort aufgezeichnet. Eine räumliche Multiplexbehandlung wird durch Verschieben des Bezugsstrahls 1 relativ zu der Oberfläche des Speichermediums 8 erreicht, so dass sich der Punkt 8a an einen anderen räumlichen Ort verschiebt, bspw. dem Punkt 8a', auf der Oberfläche des Speichermediums 8.
  • Das Speichermedium 8 ist typischerweise ein dreidimensionaler Körper, welcher aus einem Material gefertigt ist, das empfindlich gegenüber einer räumlichen Verteilung von Lichtenergie ist, die durch Interferenz des Objektlichtstrahles 4 und des Bezugslichtstrahles 1 erzeugt wird. Ein Hologramm kann in einem Medium als eine Variation der Absorption oder der Phase oder beider Größen aufgezeichnet werden. Das Speichermaterial muss auf einfallende Lichtmuster ansprechen, welche eine Änderung seiner optischen Eigenschaften bewirken. In einem Volumenhologramm kann eine große Zahl von Paketen überlagert werden, so dass jedes Datenpaket ohne Verzerrung rekonstruiert werden kann. Ein Volumenhologramm (dickes Hologramm) kann als eine Überlagerung von dreidimensionalen Gitteranordnungen angesehen werden, welche in der Tiefe der Schicht des Aufzeichnungsmaterials aufgezeichnet sind, wobei jede das Bragg'sche Gesetz erfüllt (d. h. eine Volumen-Phasen-Gitteranordnung). Die Gitteranordnungs ebene in einem Volumenhologramm erzeugen eine Änderung in der Refraktion und/oder der Absorption.
  • Verschiedene Materialien wurden als Speichermaterial für optische Speichersystem aufgrund der ihnen eigentümlichen Vorteile in Betracht gezogen. Diese Vorteile umfassen eine Selbstentwicklungsfähigkeit, trockene Verarbeitung, gute Stabilität, dicke Emulsionen, hohe Empfindlichkeit und eine nicht-flüchtige Speicherung. Einige Materialien, welche für Volumenhologramme in Betracht gezogen worden sind, sind photo-refraktive Kristalle, photopolymere Materialien und polypeptide Materialien.
  • Es sei nun auf 8 Bezug genommen. Hier ist in größerem Detail das Speichermedium 8 gezeigt, welches in Form einer flachen Platte vorgesehen ist, die hier als eine Matrix bezeichnet wird. In diesem Beispiel hat die Matrix eine Fläche von 1 cm2. Jeder einer Vielzahl von Punkten auf der Matrix ist durch seine rechtwinkligen Koordinaten (x, y) definiert. Ein bilderzeugendes System (nicht dargestellt) reduziert den Objektstrahl 4 auf das Subhologramm 8a mit einer minimalen angenommenen Größe an einem der Punkte x, y der Matrix. Ein Punkt im physikalischen Raum, welcher durch seine rechtwinkligen Koordinaten definiert ist, enthält eine Vielzahl von Paketen 8b.
  • Im vorliegenden Fall wird ein 1 mm2 großes Bild 8a durch Fokussieren des Objektstrahles 4 auf das Speichermedium 8 in Zentrierung auf die betreffende Koordinate erhalten. Aufgrund der Interferenz zwischen den beiden Strahlen 1 und 4 wird ein diffraktives Bild 8a in einer Größe von 1 mm2 in dem Speichermedium 8 in Zentrierung an den Koordinaten der Matrix aufgezeichnet. Ein räumliches Multiplexbehandeln wird durch sequentielles Ändern der rechtwinkligen Koordinaten durchgeführt. Der Objektstrahl 4 ist so auf das Speichermaterial fokussiert, dass ein separates Bild 8a an einer einzigartigen Position in der Ebene aufgezeichnet wird, welche durch die Koordinaten x und y definiert ist. Die genannte räumliche Multiplexbehandlung resultiert in einer 10 × 10-Matrix von diffraktiven Bildern 8a. Jedes Multiplexbehandeln wird durch sequentielles Ändern des Winkels des Bezugsstrahls 1 mittels der Spiegelelemente der MEOMS-Matrix 440 durchgeführt. Eine Winkelmultiplexbehandlung dient zur Erzeu gung von 15–20 Paketen von Information 8b entsprechend 15 diskreten Veränderungen des Einfallswinkels des Bezugsstrahls. Zusätzlich ist es möglich, 20 bis 25 Pakete durch einfaches Multiplexbehandeln und 40 bis 50 Pakete durch Verwendung einer doppelten symmetrischen winkelmäßigen Multiplexbehandlung zu erreichen. Ein Datenpaket wird rekonstruiert, indem der Bezugsstrahl 1 unter dem selben Winkel und am selben räumlichen Ort herumgeführt wird, unter welchen das Datenpaket aufgezeichnet wurde. Der Teil des Bezugsstrahls 1, welcher durch das Speichermaterial 8 gebeugt wird, bildet die Rekonstruktion aus, welche typischerweise durch eine Detektorgruppe detektiert wird. Das Speichermaterial 8 kann mechanisch verschoben werden, um Datenpakete an verschiedenen Punkten an ihren Koordinaten (x, y) zu speichern.
  • 9 zeigt die Synchronisation der Mikrospiegel 440. Da die Mikrospiegel 440 kontinuierlich schwingen, ist es notwendig, den akustooptischen Reflektor (AOD) 430 und die Mikrospiegel 440 zu synchronisieren, um die Adressierung eines Datenpaketes des Speichers 450 zu realisieren. Bei Kenntnis der Spiegelparameter, wie Amplitude und Ablenkung und Oszillationsperiode, ist es möglich, die Schaltzeit des AOD 430 zu steuern. Auf diese Weise kann einer der Mikrospiegel herausgegriffen werden, wodurch eine gewünschte Position in dem Speicher 450 adressiert wird. Der AOD 430 richtet den Laserstrahl auf einen gewählten Spiegel zu einer gegebenen Zeit.
  • Zwei repräsentative Mikrospiegel 440a und 440b der Mikrospiegelanordnung 440 von 5 sind dargestellt, wobei jeder der Mikrospiegel eine unterschiedliche Position einnimmt. Die Ruheposition 441a ist für den Mikrospiegel 440a gezeigt. Die Ruheposition 441b ist für den Mikrospiegel 440b gezeigt. Der kohärente Laserstrahl wird durch den AOD 430 zu unterschiedlichen Zeiten auf einen der Mikrospiegel 440a, 440b gerichtet, welcher den Lichtstrahl zu einem vorbestimmen Ort und unter einem vorbestimmten Winkel auf den Speicher 450 richtet. Die Linse 455 fokussiert die Lichtenergie auf die CCD-Gruppe 460. Eine CPU (nicht dargestellt), beispielsweise ein Rechner, ein Mikrocontroller oder ein derartiges Steuergerät steuert den AOD 430, die Mikrospiegel 440 und den CCD-Detektor 460. Die CPU (nicht gezeigt) empfängt Eingänge von Sensoren, welche die Positionen der Mikrospiegel 440a und 440b anzeigen und empfängt Eingänge bzgl. des Zustandes des AOD 430. Die CPU (nicht gezeigt) steuert dann die Spiegelpositionen der Mikrospiegel 440 und den Ablenkungswinkel des AOD 430. Die Synchronisation der Mikrospiegel 440 mit dem AOD 430 ist notwendig, um einen maximalen Ablenkwinkel zu erreichen. Der maximale Ablenkwinkel ist der Maximalwinkel, der durch den verarbeiteten Strahl erreicht werden kann. Dies bedeutet, dass der Ausgangsstrahl des akustooptischen Gerätes einen Maximalwert erreichen kann. Zwischen dem positiven und negativen Wert dieses Maximums liegt der Winkelbereich der akustooptischen Einrichtung. Ein anderer Vorteil der Synchronisation besteht darin, dass die maximale Ablenkung durch die Steuerung der Treiberspannung überwacht werden kann. Das bedeutet, die Ablenkung verändert sich linear mit der treibenden Anregungsspannung U.
  • 9 zeigt die Synchronisation zwischen den Mikrospiegeln 440, dem AOD 430 und der CCD-Kamera 460. Die Synchronisation ist für zwei der Mikrospiegel 440a und 440b der Mikrospiegelanordnung 440 aufgezeigt. Da die Mikrospiegel 440a und 440b ständig bei niedrigen Frequenzen (d. h. 200 Hz) schwingen, können die Mikrospiegel 440a und 440b als feste Spiegel im Vergleich zu der Schaltzeit des AOD (10 bis 100 μs) angesehen werden. Zu einer Schaltzeit T können die Mikrospiegelpositionen so erfasst werden, dass bestimmt werden kann, wie Zugriff auf ein bestimmtes Informationspaket aus dem Speicher 450 genommen werden. Bei der vorliegenden Erfindung steuert die CPU (nicht gezeigt) die Mikrospiegelsynchronisation und errechnet die Schaltzeit des AOD 430 und der CCD-Gruppe 460, um ein gegebenes Paket aus dem Speicher 450 abzulesen. Die Positionen der Mikrospiegel 440 werden errechnet, um jedes Informationspaket des Speichers 450 zu adressieren. Zu einer Zeit T1 wird der AOD 430 geschaltet, um den Mikrospiegel 440a zu adressieren, so dass ein Informationspaket aus dem Speicher 450 gelesen wird. Zu einer anderen Zeit T2 wird der AOD 430 geschaltet, so dass er den Mikrospiegel 440b adressiert und so ein bestimmtes Informationspaket aus dem Speicher 450 gelesen wird. Der Mikrospiegel 440a ist unter einem Winkel α1 gegenüber der Normalposition 441a dargestellt. Der Mikrospiegel 440b ist unter einem Winkel α2 gegenüber der Normalposition 441b gezeigt. Die Linse 455 fokussiert die Ausgangswellenform, welche die Datenpakete führt, auf die Gruppenanordnung der CCD-Kamera 460.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht bzgl. ihres Umfanges auf spezifische hier beschriebene Ausführungsformen beschränkt. Tatsächlich ergeben sich für die Fachleute auf dem vorliegenden Gebiet vielerlei Modifikationen der vorliegenden Erfindung zusätzlich zu den hier beschriebenen Ausführungsformen durch Kenntnisnahme der vorliegenden Beschreibung und der begleitenden Zeichnungen.

Claims (18)

  1. Festzustandsvorrichtung (400) zum Auslesen von Informationen aus einem Photonendiffraktionsspeicher (450), aufweisend: eine kohärente Lichtquelle (410), die dafür ausgelegt ist, einen konvergenten Lichtstrahl (480b) zu erzeugen; einen akusto-optischen Deflektor (430), der dafür ausgelegt ist, den konvergenten Lichtstrahl (480b) abzulenken; eine MOEMS-Matrix (440) aus Mikrospiegeln, die dafür ausgelegt ist, den abgelenkten Lichtstrahl (480c) vom akusto-optischen Deflektor (430) an einem der Mikrospiegel zu empfangen; einen Photonendiffraktionsspeicher (450) mit einer Vielzahl von Punkten, der dafür ausgelegt ist, an einem der Punkte den reflektierten Lichtstrahl (480d), der von dem Mikrospiegel reflektiert wird, zu empfangen; und einen Detektor (460) mit einer Vielzahl von Lichterfassungszellen, wobei mindestens eine der Zellen einen Teil des reflektierten Lichtstrahls (480d), der durch den Punkt hindurch übertragen wird, empfängt.
  2. Vorrichtung (400) nach Anspruch 1, ferner aufweisend: eine Linse (420) zum Formen des konvergenten Lichtstrahls (480b) von der Lichtquelle (410).
  3. Vorrichtung (400) nach Anspruch 1, ferner aufweisend: die konvergente Lichtquelle (410), die ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus einem Niedrigenergielaser und einer Licht emittierenden Diode.
  4. Vorrichtung (400) nach Anspruch 1, wobei der Detektor (460) eine CCD-Detektorgruppe ist.
  5. Vorrichtung (400) nach Anspruch 1, wobei jeder der vielen Punkte ein oder mehrere Diffraktionsmuster speichert.
  6. Vorrichtung (400) nach Anspruch 1, wobei im Photonendiffraktionsspeicher (450) Informationen gespeichert sind, die sich an der Vielzahl von Punkten des Speichers (450) und an einer Vielzahl von Winkeln an jedem der Punkte befinden, um eine Vielzahl von Informationspaketen an jedem der Punkte zu bilden.
  7. Vorrichtung (400) nach Anspruch 1, wobei jeder der Mikrospiegel ein oszillierender Abtast-Mikrospiegel ist.
  8. Vorrichtung (400) nach Anspruch 7, weiter aufweisend: einen Computer, der dafür ausgelegt ist, die Synchronisation des akusto-optischen Deflektors (430) und des oszillierenden Mikrospiegels zu koordinieren, so dass der reflektierte Lichtstrahl (480d) ausreichend lang auf einen der Punkte gerichtet wird, um Informationen von diesem Punkt abzurufen.
  9. Vorrichtung (400) nach Anspruch 1, wobei jeder der Mikrospiegel ein oszillierender Mikrospiegel ist und der Oszillationskreis des Mikrospiegels mit der Abtastung des akusto-optischen Deflektors (430) koordiniert wird, um den reflektierten Lichtstrahl (480d) auf einen der Punkte des Speichermediums (450) zu richten.
  10. Festzustandsverfahren zum Auslesen von Informationen aus einem Photonendiffraktionsspeicher (450), umfassend: Erzeugen eines Lichtstrahls (480a); Konvergieren des Lichtstrahls (480a); Ablenken des konvergenten Lichtstrahls (480b) durch einen akusto-optischen Deflektor (430) in Richtung auf eine MOEMS-Matrix (440) aus Mikrospiegeln; Reflektieren des konvergenten Lichtstrahls (480c), der von dem akusto-optischen Deflektor (430) empfangen wird, von einem der Mikrospiegel auf einen Photonendiffraktionsspeicher (450), der eine Vielzahl von Punkten aufweist; und Erfassen eines Abschnitts des reflektierten Lichtstrahls (480d), der Informationen von einem der Punkte, die von dem reflektierten Lichtstrahl (480d) beleuchtet werden, trägt.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, ferner umfassend: eine Linse (420) zum Formen des konvergenten Lichtstrahls (480b) von der Lichtquelle (410).
  12. Verfahren nach Anspruch 10, wobei die konvergente Lichtquelle (410) ausgewählt wird aus der Gruppe bestehend aus einem Niedrigenergielaser und einer Licht emittierenden Diode.
  13. Verfahren nach Anspruch 10, wobei die Erfassung mit einer CCD-Detektorgruppe durchgeführt wird.
  14. Verfahren nach Anspruch 10, wobei jeder der vielen Punkte mindestens ein Diffraktionsmuster speichert.
  15. Verfahren nach Anspruch 10, wobei im Photonendiffraktionsspeicher (450) Informationen gespeichert sind, die sich an der Vielzahl von Punkten des Speichers (450) und an einer Vielzahl von Winkeln an jedem der Punkte befinden, um eine Vielzahl von Informationspaketen an jedem der Punkte zu bilden.
  16. Verfahren nach Anspruch 10, wobei jeder der Mikrospiegel ein oszillierender Abtast-Mikrospiegel ist.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, ferner umfassend: Koordinieren der Synchronisation des akusto-optischen Deflektors (430) und jedes der oszillierenden Mikrospiegel, so dass der reflektierte Lichtstrahl (480d) ausreichend lang auf einen der Punkte gerichtet wird, um Informationen von dem Punkt abzurufen.
  18. Verfahren nach Anspruch 10, wobei jeder der Mikrospiegel ein oszillierender Mikrospiegel ist und der Oszillationskreis des Mikrospiegels mit dem Abtasten des akusto-optischen Deflektors (430) koordiniert wird, um den reflektierten Lichtstrahl (480d) auf einen der Punkte des Speichers (450) zu richten.
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