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Die
Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von integrierten
Schaltungen, wobei im Zuge dieses Verfahrens auf einer Halbleiterscheibe
eine integrierte Schaltungskonfiguration hergestellt wird und wobei
für Testzwecke
erforderliche durchtrennbare Leiterbahnen hergestellt werden, die je
zwei von der integrierten Schaltungskonfiguration ausgehende Leiterbahnabschnitte
aufweisen.
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Die
Erfindung bezieht sich weiterhin auf eine integrierte Schaltung,
die eine integrierte Schaltungskonfiguration aufweist und die mit
zwei Leiterbahnabschnitten versehen ist, die von der integrierten
Schaltungskonfiguration ausgehen und die Bestandteile einer beim
Herstellen der integrierten Schaltung für Testzwecke erforderlichen
und nach dem Herstellen der integrierten Schaltung durchtrennten
Leiterbahn sind.
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Ein
wie vorstehend erwähntes
Verfahren und eine wie vorstehend erwähnte integrierte Schaltung sind
aus dem Patentdokument
DE
42 00 586 A1 bekannt. Bei der mit Hilfe des bekannten Verfahrens hergestellten
bekannten integrierten Schaltung besteht das Problem, dass bei der
fertiggestellten integrierten Schaltung die zwei Leiterbahnabschnitte,
die erstens Bestandteile einer zuvor durchtrennten Leiterbahn darstellen,
welche Leiterbahn im Fachjargon häufig als sogenannter Sägebügel bezeichnet
wird, und die zweitens von der betreffenden integrierten Schaltungskonfiguration
der integrierten Schaltung ausgehen und die drittens je bis zu einer
Begrenzungsfläche
eines die integrierte Schaltungskonfiguration tragenden Halbleiterscheibenstücks reichen und
die viertens beim Herstellen der integrierten Schaltung zum Leiten
eines für
Testzwecke nützlichen
Nutzsignals erforderlich gewesen sind, einfach zugänglich sind.
Eine unerwünschte
Folge dieser einfachen Zugänglichkeit
ist, dass es möglich
ist, die zwei Leiterbahnabschnitte mit Hilfe eines leitenden Materials,
beispielsweise mit Hilfe eines leitenden Klebstoffs oder einer leitenden
Flüssigkeit
oder einer leitenden Lötverbindung
miteinander elektrisch leitend zu verbinden, was zur Folge hat,
dass die ursprünglich
für Testzwecke
erforderliche Leiterbahn, also der sogenannte Sägebügel, durch eine im Nachhinein
auf unerwünschte
Weise, hergestellte elektrisch leitende Ersatzverbindung ersetzt
wird. Damit besteht aber wieder die Möglichkeit, diese er satzweise
vorgesehene elektrisch leitende Ersatzverbindung zum Leiten eines
für Testzwecke
nützlichen
Nutzsignals auszunutzen. Auf diese Weise kann eine unbefugte Person
an einer von dem autorisierten Hersteller der bekannten integrierten
Schaltung fertiggestellten und für
Testzwecke deaktivierten integrierten Schaltung im Nachhinein auf
unerlaubte Weise neuerlich zumindest einen Testvorgang durchführen, wobei
die Gefahr und die Möglichkeit
besteht, dass hierbei unter anderem auch ein Zugang auf geschützte Daten
erreicht wird, die in der integrierten Schaltung gespeichert sind
und die eigentlich nur bei einem von dem autorisierten Hersteller
durchzuführenden
Testvorgang verfügbar
sein sollten.
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Die
Erfindung hat sich zur Aufgabe gestellt, die vorstehend angeführten Probleme
zu vermeiden und auf einfache und kostengünstige Weise ein verbessertes
Verfahren zum Herstellen von integrierten Schaltungen und eine verbesserte
integrierte Schaltung zu realisieren.
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Zur
Lösung
der vorstehend angeführten
Aufgabe sind bei einem Verfahren gemäß der Erfindung Merkmale vorgesehen,
so dass ein Verfahren gemäß der Erfindung
auf die nachfolgend angeführte
Weise gekennzeichnet werden kann, nämlich:
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Verfahren
zum Herstellen von integrierten Schaltungen, wobei an einer Halbleiterscheibe
ein gitterförmiges
Netz aus Teilungsstreifen festgelegt wird und wobei auf der Halbleiterscheibe
zwischen den Teilungsstreifen mehrere nebeneinander liegende integrierte
Schaltungskonfigurationen erzeugt werden und wobei im Zuge des Herstellens
der integrierten Schaltungen für
jede integrierte Schaltung mindestens eine für Testzwecke erforderliche
Leiterbahn erzeugt wird, welche Leiterbahn zwei Leiterbahnabschnitte
aufweist, welche zwei Leiterbahnabschnitte von der betreffenden
integrierten Schaltungskonfiguration ausgehen und je zumindest bis
in einen Teilungsstreifen reichen und in dem Bereich ihrer von der
integrierten Schaltungskonfiguration entfernt liegenden Enden miteinander
elektrisch leitend verbunden sind, und welche Leiterbahn zum Leiten eines
für Testzwecke
nützlichen
Nutzsignals vorgesehen ist, und wobei im Zuge des Herstellens der
integrierten Schaltungen für
jede integrierte Schaltung benachbart zu einem Leiterbahnabschnitt
mindestens ein Zusatzleiterbahnabschnitt erzeugt wird, welcher Zusatzleiterbahnabschnitt
von der betreffenden integrierten Schaltungskonfiguration ausgeht
und in Richtung zu einem Teilungsstreifen hin verläuft und zum
Abgeben eines beim Testen störenden
Störsignals
vorgesehen ist, und wobei nach dem Herstellen der integrierten Schaltungen
auf der Halbleiterscheibe die Halbleiterscheibe entlang der Teilungsstreifen in
Halbleiterscheibenstücke
zerteilt wird und hierbei die Leiterbahnen durchtrennt werden.
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Zur
Lösung
der vorstehend angeführten
Aufgabe sind weiterhin bei einer integrierten Schaltung gemäß der Erfindung
Merkmale vorgesehen, so dass eine integrierte Schaltung gemäß der Erfindung
auf die nachfolgend angeführte
Weise gekennzeichnet werden kann, nämlich:
Integrierte Schaltung,
die die nachfolgend angeführten
Mittel aufweist, nämlich:
ein
Halbleiterscheibenstück
mit vier Seitenflächen (Begrenzungsflächen) und
einer an dem Halbleiterscheibenstück realisierten und innerhalb
der Seitenflächen
liegenden integrierten Schaltungskonfiguration, wobei zwei Leiterbahnabschnitte
vorgesehen sind, welche zwei Leiterbahnabschnitte von der integrierten
Schaltungskonfiguration ausgehen und je bis zu einer Seitenfläche reichen
und beim Herstellen der integrierten Schaltung zum Leiten eines
für Testzwecke
nützlichen
Nutzsignals erforderlich waren, und wobei mindestens ein Zusatzleiterbahnabschnitt vorgesehen
ist, welcher mindestens eine Zusatzleiterbahnabschnitt benachbart
zu einem Leiterbahnabschnitt angeordnet ist und von der integrierten
Schaltungskonfiguration ausgeht und in Richtung zu einer Seitenfläche hin
verläuft
und zum Abgeben eines beim Testen störenden Störsignals vorgesehen ist.
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Bei
einem Verfahren gemäß der Erfindung und
bei einer integrierten Schaltung gemäß der Erfindung wird der wesentliche
Vorteil erhalten, dass – für den Fall,
dass auf unerlaubte Weise die zwei Leiterbahnabschnitte der an sich
für Testzwecke
erforderlichen Leiterbahn, also des sogenannten Sägebügels, mit
Hilfe eines elektrisch leitenden Materials miteinander elektrisch
leitend verbunden werden – nicht
nur die zwei Leiterbahnabschnitte der an sich für Testzwecke erforderlichen
Leiterbahn miteinander elektrisch leitend verbunden werden, sondern
dass zusätzlich
auch noch der mindestens eine Zusatzleiterbahnabschnitt mit den
zwei Leiterbahnabschnitten in Form eines Kurzschlusses elektrisch
leitend verbunden wird. Dies hat den Vorteil, dass bei einem Versuch,
einen unerlaubten Testvorgang durchzuführen, über die mit Hilfe des elektrisch
leitenden Materials hergestellte Ersatzverbindung nicht nur das
für Testzwecke
nützliche
Nutzsignal, sondern zusätzlich auch
das beim Testen störende
Störsignal
geleitet wird. Dies hat zur Folge, dass ein Auswerten des für Testzwecke
nützlichen
Nutzsignals durch die Anwesenheit des störenden Störsignals unmöglich gemacht
wird, was wiederum den Vorteil bringt, dass ein unerwünschtes
Auskundschaften von geschützten
Daten unmöglich
gemacht wird.
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Der
Korrektheit halber sei erwähnt,
dass es bei einer integrierten Schaltung gemäß der Erfindung theoretisch
auch möglich
ist, die an sich für
Testzwecke erforderlichen Leiterbahnabschnitte mit Hilfe einer Ersatzverbindung
miteinander elektrisch leitend zu verbinden, ohne dass in diese
elektrisch leitende Ersatzverbindung der Zusatzleiterbahnabschnitt
mit einbezogen ist. Um eine solche elektrisch leitende Ersatzverbindung
aber zu realisieren, ist im Vergleich zu dem Aufwand, der für das Herstellen
einer solchen elektrisch leitenden Ersatzverbindung bei der aus dem
Patentdokument
DE 42
00 586 A1 bekannten integrierten Schaltung erforderlich
ist, ein unverhältnismäßig höherer Aufwand
erforderlich, so dass das Herstellen einer solchen unerlaubten Ersatzverbindung
praktisch nur mehr in einem mit Integrationstechnologie vertrauten
Forschungslabor oder Entwicklungslabor möglich ist, während das
Herstellen einer solchen unerlaubten Ersatzverbindung durch Personen,
denen keine hochspezifizierte Ausrüstung zur Verfügung steht,
nicht mehr realisierbar ist.
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Bei
einem Verfahren gemäß der Erfindung und
bei einer integrierten Schaltung gemäß der Erfindung hat es sich
als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn ein Zusatzleiterbahnabschnitt
erzeugt wird bzw. vorgesehen ist, der gemeinsam mit dem zu ihm benachbarten
Leiterbahnabschnitt bis zu einer Begrenzungsfläche reicht. Eine solche Ausführungsform
bietet den großen
Vorteil, dass auch bei einem Versuch, in dem Bereich der quer zu
dem Halbleiterscheibenstück
der integrierten Schaltung verlaufenden Begrenzungsfläche, in
deren Bereich sowohl der Zusatzleiterbahnabschnitt als auch der
benachbart zu dem Zusatzleiterbahnabschnitt liegende Leiterbahnabschnitt
enden, eine Ersatzverbindung zu realisieren, eine Kurzschlussverbindung
zwischen dem Zusatzleiterbahnabschnitt und dem zu ihm benachbarten
Leiterbahnabschnitt gebildet wird.
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Bei
einem Verfahren gemäß der Erfindung und
bei einer integrierten Schaltung gemäß der Erfindung hat es sich
als sehr vorteilhaft erwiesen, wenn nur ein einziger Zusatzleiterbahnabschnitt
erzeugt wird bzw. vorgesehen ist, der sich zwischen den zwei Leiterbahnabschnitten
befindet. Dies ist im Hinblick auf eine sehr einfache Ausbildung
vorteilhaft. Es sei aber erwähnt,
dass es auch möglich
ist und zweckmäßig sein
kann, jedem der zwei Leiterbahnabschnitte einen Zusatzleiterbahnabschnitt
zuzuordnen. Weiterhin können
auch mehr als ein oder zwei Zusatzleiterbahnabschnitte, also drei
oder mehrere Zusatzleiterbahnabschnitte vorgesehen sein.
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Die
vorstehend angeführten
Aspekte und weitere Aspekte der Erfindung gehen aus den nachfolgend
beschriebenen Ausführungsbeispielen
hervor und werden anhand dieser Ausführungsbeispiele erläutert.
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Die
Erfindung wird im Folgenden anhand von zwei in der Zeichnung dargestellten
Ausführungsbeispielen
näher beschrieben,
auf die die Erfindung aber nicht beschränkt ist.
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1 zeigt
in einer Ansicht von oben einen Teil einer Halbleiterscheibe, auf
der mit Hilfe eines Verfahrens gemäß der Erfindung integrierte
Schaltungen entsprechend einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung
realisiert sind.
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2 zeigt
auf analoge Weise wie 1 einen Teil einer Halbleiterscheibe,
auf der mit Hilfe eines Verfahrens gemäß der Erfindung integrierte Schaltungen
entsprechend einem zweiten Ausführungsbeispiel
der Erfindung realisiert sind.
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In 1 ist
nur ein kleiner Teil einer Halbleiterscheibe 1 dargestellt.
Auf dieser Halbleiterscheibe 1 sind eine Vielzahl von integrierten
Schaltungen realisiert, von welchen integrierten Schaltungen in 1 insgesamt
nur acht solche integrierte Schaltungen 2, 3, 4, 5, 7, 8, 9 und 10 angedeutet
sind und nur eine integrierte Schaltung 6 schematisiert
dargestellt ist. Sämtliche
der auf der Halbleiterscheibe realisierten integrierten Schaltungen
weisen im vorliegenden Fall im Wesentlichen den gleichen Aufbau
auf.
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Das
Herstellen der auf der Halbleiterscheibe 1 realisierten
integrierten Schaltungen erfolgt mit Hilfe eines Verfahrens, das
nachfolgend beschrieben ist.
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Bei
dem Verfahren zum Herstellen der integrierten Schaltungen wird auf
der Halbleiterscheibe 1 ein gitterförmiges Netz 11 aus
Teilungsstreifen festgelegt, von welchen Teilungsstreifen in 1 insgesamt
vier Teilungsstreifen, nämlich
ein erster Teilungsstreifen 12, ein zweiter Teilungsstreifen 13,
ein dritter Teilungsstreifen 14 und ein vierter Teilungsstreifen 15 dargestellt
sind. Bei diesen Teilungsstreifen handelt es sich um sogenannte
Sägebahnen,
entlang welcher Sägebahnen
die Halbleiterscheibe 1 nach dem Herstellen der integrierten
Schaltungen auf der Halbleiterscheibe 1 zersägt wird.
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Nach
dem Festlegen des Netzes 11 aus Teilungsstreifen werden
auf der Halbleiterscheibe 1 zwischen den Teilungsstreifen
mehrere nebeneinander liegende integrierte Schaltungskonfigurationen
erzeugt, von welchen Schaltungskonfigurationen in 1 nur
eine Schaltungskonfiguration 16 angegeben ist. Die Schaltungskonfiguration 16 ist hierbei
Bestandteil der integrierten Schaltung 6. Die Schaltungskonfiguration 16 enthält sämtliche
aktive und passive Bauelemente der integrierten Schaltung 6, welche
Bauelemente in integrierter Technologie realisiert sind. Auf die
Herstellung der integrierten Schaltungskonfigurationen soll hier
nicht näher
eingegangen werden, weil dies im vorliegenden Zusammenhang nicht
wesentlich ist.
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Im
Zuge des Herstellens der integrierten Schaltungen bzw. der integrierten
Schaltungskonfigurationen werden für jede integrierte Schaltung auch
Anschlussflächen 17, 18, 19, 20, 21, 22, 23 und 24 realisiert,
wie dies für
die integrierte Schaltung 6 in 1 dargestellt
ist. Die Anschlussflächen 17, 18, 19, 20, 21, 22, 23 und 24 sind über je eine
kurze Leiterbahn 25, 26, 27, 28, 29, 30, 31 und 32 mit
der integrierten Schaltungskonfiguration der integrierten Schaltung
verbunden, wie dies für
die integrierte Schaltungskonfiguration 16 der integrierten
Schaltung 6 aus 1 ersichtlich ist. Diese Anschlussflächen 17 bis 24 dienen
zum Anschließen
von sogenannten Bond-Drähten, über welche
Bond-Drähte jede
integrierte Schaltung mit gegenüber
der integrierten Schaltung externen Schaltungsbestandteilen einer
elektrischen Schaltung verbunden werden können. Die Anschlussflächen 17 bis 24 können bei
der Herstellung der integrierten Schaltungen auch zur Durchführung von
Testvorgängen
ausgenutzt werden, wobei dann zumindest auf einen Teil der Anschlussflächen 17 bis 24 Kontaktspitzen
einer Testeinrichtung aufgesetzt werden und es auf diese Weise möglich ist, über die
Kontaktflächen 17 bis 24 der zu
testenden integrierten Schaltung Versorgungspotentiale und Steuersignale
und Testssignale zuzuführen.
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Im
Zuge des Herstellens der integrierten Schaltungen wird für jede integrierte
Schaltung, also auch für
die integrierte Schaltung 6, mindestens eine für Testzwecke
erforderliche Leiterbahn 33 erzeugt. Im vorliegenden Fall
ist die Leiterbahn 33 erforderlich, um die Durchführung mindestens
eines Testvorgangs überhaupt
zu ermöglichen,
nämlich
mindestens einen Testvorgang freizugeben.
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Ein
solche Leiterbahn weist zwei Leiterbahnabschnitte auf, welche zwei
Leiterbahnabschnitte von der betreffenden integrierten Schaltungskonfiguration
ausgehen und je zumindest bis in einen Teilungsstreifen reichen.
Bei der integrierten Schaltung 6 gehen der erste Leiterbahnabschnitt 34 und
der zweite Leiterbahnabschnitt 35 der Leiterbahn 33 von der
integrierten Schaltungskonfiguration 16 aus und reichen
die zwei Leiterbahnabschnitte 34 und 35 nicht
nur bis in den vierten Teilungsstreifen 15, sondern sie
ragen über
den vierten Teilungsstreifen 15 sogar etwas hinaus.
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Die
zwei Leiterbahnabschnitte jeder integrierten Schaltung, also auch
die Leiterbahnabschnitte 34 und 35 der integrierten
Schaltung 6, sind in dem Bereich ihrer von der integrierten
Schaltungskonfiguration, also im beschrieben Fall von der integrierten
Schaltungskonfiguration 16, entfernt liegenden Enden miteinander
elektrisch leitend verbunden, und zwar im vorliegenden Fall über einen
quer, genauer gesagt senkrecht zu den zwei Leiterbahnabschnitten 34 und 35 verlaufenden
Verbindungsleiterbahnabschnitt 36.
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Die
Leiterbahn 33, die somit mit Hilfe der zwei Leiterbahnabschnitte 34 und 35 und
mit Hilfe des Verbindungsleiterbahnabschnitts 36 gebildet
ist, ist zum Leiten eines für
Testzwecke nützlichen
Nutzsignals vorgesehen.
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An
dieser Stelle sei erwähnt,
dass die zwei Leiterbahnabschnitte einer integrierten Schaltung nicht
unbedingt über
einen Teilungsstreifen hinaus reichen müssen, sondern es durchaus möglich ist, wie
dies für
die integrierte Schaltung 5 in 1 dargestellt
ist, dass eine Leiterbahn 37 zwei Leiterbahnabschnitte 38 und 39 aufweist,
die mit ihren von der in dem integrierten Baustein 5 enthaltenen
integrierten Schaltungskonfiguration entfernt liegenden Enden genau
bis in den dritten Teilungsstreifen 14 reichen, wobei dann
der die zwei Leiterbahnabschnitte 38 und 39 miteinander
elektrisch leitend verbindende Verbindungsleiterbahnabschnitt 40 ebenfalls
in dem dritten Teilungsstreifen 14 liegt.
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Bei
dem beschriebenen Verfahren zur Herstellung der integrierten Schaltungen
wird im Zuge des Herstellens der integrierten Schaltungen vorteilhafterweise
für jede
integrierte Schaltung benachbart zu einem Leiterbahnabschnitt, im
vorliegenden Fall sogar zu den zwei Leiterbahnabschnitten ein Zusatzleiterbahnabschnitt
erzeugt. Im vorliegenden Fall wird nur ein einziger Zusatzleiterbahnabschnitt
erzeugt, der zwischen den zwei Leiterbahnabschnitten einer Leiterbahn
angeordnet ist, wie dies in 1 anhand
der Zusatzleiterbahnabschnitte 41 und 42 und der
zwei Leiterbahnabschnitte 34, 35 und 38, 39 der zwei
Leiterbahnen 33 und 37 veranschaulicht ist.
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Jeder
Zusatzleiterbahnabschnitt geht von der betreffenden integrierten
Schaltungskonfiguration aus und verläuft in Richtung zu einem Teilungsstreifen
hin. Der eine Zusatzleiterbahnabschnitt 41 geht von der
integrierten Schaltungskonfiguration 16 aus und verläuft in Richtung
zu dem vierten Teilungsstreifen 15 hin. Im vorliegenden
Fall endet der eine Zusatzleiterbahnabschnitt 41 vorteilhafterweise
erst kurz nach dem vierten Teilungsstreifen 15. Der eine Zusatzleiterbahnabschnitt 41 könnte aber
auch kürzer
ausgebildet sein, wobei er dann bis in den vierten Teilungsstreifen 15 ragen
könnte
oder bereits vor dem vierten Teilungsstreifen 15 enden
könnte.
Entsprechendes gilt für
den anderen Zusatzleiterbahnabschnitt 42, der kürzer als
der eine Zusatzleiterbahnabschnitt 41 ausgebildet ist.
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Der
Zusatzleiterbahnabschnitt jeder integrierten Schaltung, also auch
jeder der zwei Zusatzleiterbahnabschnitte 41 und 42 der
integrierten Schaltungen 6 und 5, ist zum Abgeben
eines beim Testen störenden
Störsignals
vorgesehen.
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Nach
dem vorstehend beschriebenen Herstellen der integrierten Schaltungen
auf der Halbleiterscheibe 1 wird an jeder integrierten
Schaltung zumindest ein Testvorgang durchgeführt. Im Zuge dieses Testvorgangs
wird ein für
Testzwecke nützliches Nutzsignal über die
Leiterbahnen, also auch über
die Leiterbahnen 33 und 37 geführt, was an sich eine seit langem
bekannte und übliche
Maßnahme
darstellt. Im vorliegenden Fall dient dieses Nutzsignal zum Freigeben
der eigentlichen Testabläufe.
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Nach
dem vorstehend beschrieben Herstellen der integrierten Schaltungen
auf der Halbleiterscheibe 1 und nach dem Durchführen der
vorstehend erwähnten
erforderlichen Testvorgänge
wird die Halbleiterscheibe 1 entlang der Teilungsstreifen
in Halbleiterscheibenstücke
zerteilt. Dieses Zerteilen, was mit Hilfe von Sägevorgängen durchgeführt wird, erfolgt
entlang aller Teilungsstreifen, also auch entlang der in 1 dargestellten
Teilungsstreifen 12, 13, 14 und 15.
Bei diesem Zerteilen der Halbleiterscheibe 1 in voneinander
getrennte Halbleiterscheibenstücke
werden die Leiterbahnen durchtrennt, also auch die in 1 dargestellten
Leiterbahnen 33 und 37, und wird zumindest ein
Teil der Zusatzleiterbahnen abgeschnitten, nämlich die in 1 dargestellte Zusatzleiterbahn 41.
Von den erwähnten
Halbleiterscheibenstücken
sind in 1 insgesamt neun Halbleiterscheibenstücke 43, 44, 45, 46, 47, 48, 49, 50 und 51 angegeben,
und zwar je mit Hilfe von strichpunktierten Linien.
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Nach
Abschluss des vorstehend beschriebenen Verfahrens sind eine Vielzahl
von integrierten Schaltungen erhalten, unter anderem auch die integrierte
Schaltung 6. Anhand der integrierten Schaltung 6 soll
jetzt die Ausbildung aller integrierten Schaltungen kurz erläutert werden.
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Die
integrierte Schaltung 6 weist das Halbleiterscheibenstück 47 auf,
das von vier Begrenzungsflächen 52, 53, 54 und 55 begrenzt
ist, die in 1 in gleichartiger Weise wie
die Teilungsstreifen 12, 13, 14 und 15 mit
strichpunktierten Linien dargestellt sind. Die integrierte Schaltung 6 weist
die auf dem Halbleiterscheibenstück 47 realisierte
und innerhalb der Begrenzungsflächen 52, 53, 54 und 55 liegende integrierte
Schaltungskonfiguration 16 auf.
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Weiterhin
enthält
die integrierte Schaltung 6 die zwei Leiterbahnabschnitte 34 und 35,
dies jedoch nicht mehr in der ursprünglichen Gesamtlänge. Die zwei
Leiterbahnabschnitte 34 und 35 gehen von der integrierten
Schaltungskonfiguration 16 aus und reichen je bis zu der
vierten Begrenzungsfläche 55. Beim
Herstellen der integrierten Schaltung 6 waren die zwei
Leiterbahnabschnitte 34 und 35, wie vorstehend
beschrieben, zum Leiten eines für
Testzwecke nützlichen
Nutzsignals erforderlich.
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Weiterhin
enthält
die integrierte Schaltung 6 den Zusatzleiterbahnabschnitt 41,
dies jedoch auch nicht mehr in der ursprünglichen Gesamtlänge. Der Zusatzleiterbahnabschnitt 41 ist
benachbart zu den zwei Leiterbahnabschnitten 34 und 35 angeordnet und
geht von der integrierten Schaltungskonfiguration 16 aus
und verläuft
in Richtung zu der vierten Begrenzungsfläche 55 hin. Im vorliegenden
Fall weist die integrierte Schaltung 6 nur einen einzigen,
nämlich
den Zusatzleiterbahnabschnitt 41 auf, der zwischen den
zwei Leiterbahnabschnitten 34 und 35 angeordnet
ist. Der Zusatzleiterbahnabschnitt 41 ist zum Abgeben eines
beim Testen störenden
Störsignals
vorgesehen.
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An
dieser Stelle sei erwähnt,
dass der Zusatzleiterbahnabschnitt 41 nicht unbedingt zwischen den
zwei Leiterbahnabschnitten 34 und 35 angeordnet
sein muss, sondern auch außerhalb
des zwischen den zwei Leiterbahnabschnitten 34 und 35 liegenden
Bereiches vorgesehen sein kann und hierbei benachbart zu einem der
zwei Leiterbahnabschnitte 34 und 35 angeordnet
sein kann. Wichtig ist hierbei, dass der Zusatzleiterbahnabschnitt 41 möglichst nahe
bei einem der zwei Leiterbahnabschnitte 34 und 35 liegt.
In der Praxis ist der Abstand zwischen dem Zusatzleiterbahnabschnitt 41 und
dem zu ihm benachbarten Leiterbahnabschnitt 34 und/oder 35 nur wenige
Mikrometer groß.
Die Breiten des Zusatzleiterbahnabschnitts 41 und der zwei
Leiterbahnabschnitte 34 und 35 liegen deutlich
unter 1 mm. Weiterhin sei erwähnt,
dass nicht nur der eine Zusatzleiterbahnabschnitt 41 vorgesehen
sein kann, sondern dass auch zwei oder mehrere Zusatzleiterbahnabschnitte
vorgesehen sein können.
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Nachfolgend
soll noch kurz auf einen Teil 56 der mit Hilfe der integrierten
Schaltungskonfiguration 16 realisierten Schaltungsausbildung
der integrierten Schaltung 6 näher eingegangen werden.
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Der
Teil 56 enthält
einen Signalgenerator 57, der im vorliegenden Fall zum
Erzeugen und Abgeben eines eine bestimmte Bit-Reihe repräsentierenden Signals
BR1 ausgebildet ist, welche bestimmte Bit-Reihe eine an sich beliebige
Bit-Reihe ist, die nachfolgend-lediglich aus Gründen zur sprachlichen Unterscheidung – als nicht-invertierte
Bit- Reihe bezeichnet
ist. Über
eine erste elektrisch leitende Verbindung 58 ist das mit
Hilfe des Signalgenerators 57 erzeugbare und die nicht-invertierte
Bit-Reihe repräsentierende
Signal BR1 dem ersten Leiterbahnabschnitt 34 zuführbar.
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Der
Teil 56 umfasst weiterhin einen Komparator 59.
Dem Komparator 59 ist einerseits über eine zweite elektrisch
leitende Verbindung 60 das mit Hilfe des Signalgenerators 57 erzeugbare
und die nicht-invertierte Bit-Reihe repräsentierende Signal BR1 vom Ausgang
des Signalgenerators 57 her unmittelbar zuführbar. Dem
Komparator 59 ist andererseits über eine dritte elektrisch
leitende Verbindung 61, die mit dem zweiten Leiterbahnabschnitt 35 verbunden
ist, das mit Hilfe des Signalgenerators 57 erzeugbare und
die nichtinvertierte Bit-Reihe repräsentierende Signal BR1 über die
Leiterbahn 33, also über
den ersten Leiterbahnabschnitt 34 und den Verbindungsleiterbahnabschnitt 36 und
den zweiten Leiterbahnabschnitt 35, mittelbar zuführbar. Mit
Hilfe des Komparators 59 ist ein Vergleich der ihm zugeführten Signale
durchführbar.
Solange die zwei ihm zugeführten
Signale BR1, die je die nicht-invertierte Bit-Reihe repräsentieren,
einander gleich sind, gibt der Komparator 59 an einem Schaltungspunkt 62 ein
Freigabe-Signal RS ab, das zur Folge hat, dass weitere Testvorgänge bzw.
Testabläufe
innerhalb der integrierten Schaltung 6 freigegeben werden
und folglich durchführbar
sind.
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Der
Teil 56 enthält
weiterhin noch eine Inverter-Stufe 63. Der Inverter-Stufe 63 ist
das mit Hilfe des Signalgenerators 57 erzeugte und die
nicht-invertierte Bit-Reihe repräsentierende
Signal BR1 vom Ausgang des Signalgenerators 57 her unmittelbar zuführbar. Die
Inverter-Stufe 63 sorgt für ein Invertieren des ihr zugeführten und
die nichtinvertierte Bit-Reihe repräsentierenden Signals BR1, was
zur Folge hat, dass die Inverter-Stufe 63 an
eine vierte elektrisch leitende Verbindung 64 ein eine
invertierte Bit-Reihe repräsentierendes
Signal BR2 abgibt. Die vierte elektrisch leitende Verbindung 64
führt zu
dem Zusatzleiterbahnabschnitt 41, so dass an dem Zusatzleiterbahnabschnitt 41 das
die invertierte Bit-Reihe repräsentierende
Signal BR2 auftritt und bei bestimmten Gegebenheiten über den
Zusatzleiterbahnabschnitt 41 abgegeben werden kann, und
zwar als ein beim Testen störendes
Störsignal.
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Die
fertiggestellte integrierte Schaltung 6 enthält die bis
zu der vierten Begrenzungsfläche 55 reichenden
zwei Leiterbahnabschnitte 34 und 35 sowie den
Zusatzleiterbahnabschnitt 41. Diese drei Bahnabschnitte 34, 35 und 41 sind
bei der fertiggestellten integrierten Schaltung 6 frei
zugänglich,
können
aber auch mit Hilfe einer Kunststoffabdeckung abgedeckt sein, was
aber einer relativ leichten Zugänglichkeit
zu diesen drei Bahn abschnitten 34, 35 und 41 nicht
sonderlich im Wege steht. Mit anderen Worten ausgedrückt heißt dies,
dass die zwei Leiterbahnabschnitte 34 und 35 leicht
zugänglich
sind und folglich leicht mit Hilfe eines elektrisch leitenden Materials,
beispielsweise mit einem Lot oder mit einer elektrisch leitenden
Paste oder einem elektrisch leitenden Gel miteinander elektrisch
leitend verbunden werden können,
um mit Hilfe des elektrisch leitenden Materials für den ursprünglich vorhandenen
Verbindungsleiterbahnabschnitt 36 eine Ersatzverbindung zwischen
den zwei Leiterbahnabschnitten 34 und 35 zu realisieren.
Das elektrisch leitende Material kann in dem Bereich der die Leiterbahnabschnitte 34 und 35 tragenden
Hauptfläche
des Halbleiterscheibenstücks 47,
aber auch in dem Bereich der senkrecht zu dieser Hauptfläche verlaufenden
Begrenzungsfläche 55 aufgebracht
werden.
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Wenn
bei der integrierten Schaltung 6 ein solches elektrisch
leitendes Material gegebenenfalls nach einem erforderlichen Freilegen
der Bahnabschnitte 34, 35 und 41 auf
diese Bahnabschnitte 34, 35 und 41 aufgebracht
wird, dann hat dies auf Grund der besonders kleinen Abstände dieser
Bahnabschnitte 34, 35 und 41 voneinander
nicht nur die Bildung einer elektrisch leitenden Ersatzverbindung zwischen
den zwei Leiterbahnabschnitten 34 und 35 zur Folge,
sondern führt
zusätzlich
auch noch zu einer einen elektrischen Kurzschluss verursachenden elektrisch
leitenden Verbindung zwischen den zwei Leiterbahnabschnitten 34 und 35 und
dem Zusatzleiterbahnabschnitt 41. Dies hat zur Folge, dass
bei einem Versuch, einen unerlaubten Testvorgang in die Wege zu
leiten, dem Komparator 59 nicht nur das mit Hilfe des Signalgenerators 57 erzeugte
und über
die erste elektrisch leitende Verbindung 58 dem ersten Leiterbahnabschnitt 34 zugeführte und
die nichtinvertierte Bit-Reihe repräsentierende Signal BR1, sondern
zusätzlich
auch noch das mit Hilfe der Inverter-Stufe 63 invertierte
und über
die vierte elektrisch leitende Verbindung 64 dem Zusatzleiterbahnabschnitt 41 zugeführte und
die invertierte Bit-Reihe repräsentierende
Signal BR2 über
den zweiten Leiterbahnabschnitt 35 und die dritte elektrisch
leitende Verbindung 61 zugeführt wird, was zur Folge hat, dass
der Komparator 59 zwei voneinander verschiedene Signale
BR1 und BR2 empfängt
und daher zu keinem positiven Vergleichsergebnis kommt und folglich
der Komparator 59 an den Schaltungspunkt 62 kein
Freigabe-Signal
RS abgibt. Dies hat zur Folge, dass auf Grund des fehlenden Freigabe-Signals RS
ein bzw. mehrere nachfolgende und mit Hilfe des Freigabe-Signals
RS freizugebende Testvorgänge bzw.
Testabläufe
nicht aktivierbar sind. Hierdurch ist auf einfache Weise vermieden,
dass durch unerlaubtes Aktivieren von Testvorgängen bzw. Testabläufen ein
unerlaub tes und unerwünschtes
Ausforschen von gegebenenfalls geheimen Daten, die in der integrierten
Schaltung 6 gespeichert sind, durchgeführt werden kann.
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2 zeigt
eine Ausführungsform,
die eine Abwandlung der Ausführungsform
von 1 ist. Die integrierte Schaltung 6, die
neben anderen integrierten Schaltungen 2, 3, 4, 5, 7, 8, 9 und 10 in 2 dargestellt
ist, enthält
eine Leiterbahn 65, die einen ersten Leiterbahnabschnitt 66 und
einen zweiten Leiterbahnabschnitt 67 aufweist, von denen
der erste Leiterbahnabschnitt 66 über den ersten Teilungsstreifen 12 hinaus
reicht und von denen der zweite Leiterbahnabschnitt 67 über den
vierten Teilungsstreifen 15 hinaus reicht. Im vorliegenden
Fall verläuft
der erste Leiterbahnabschnitt 66 somit zu der ersten Begrenzungsfläche 52 hin,
während
der andere Leiterbahnabschnitt 67 zu der vierten Begrenzungsfläche 55 hin
verläuft.
Hierbei sind die zwei Leiterbahnabschnitte 66 und 67 mit
Hilfe von zwei Verbindungsleiterbahnabschnitten 68 und 69 miteinander
elektrisch leitend verbunden, wobei die zwei Verbindungsleiterbahnabschnitte 68 und 69 ihrerseits
unmittelbar miteinander elektrisch leitend verbunden sind.
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Bei
der in 2 dargestellten integrierten Schaltung 6 ist
anstelle einer Inverter-Stufe 63 ein separater weiterer
Signalgenerator 70 vorgesehen, mit dem ein beim Testen
störendes
Störsignal
IS erzeugbar ist, das über
die vierte elektrisch leitende Verbindung 64 einem Zusatzleiterbahnabschnitt 71 zuführbar ist.
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Wenn
bei der in 2 dargestellten integrierten
Schaltung 6 die zwei Leiterbahnabschnitte 66 und 67 mit
Hilfe einer mit einem elektrisch leitenden Material realisierten
Ersatzverbindung miteinander elektrisch leitend verbunden werden,
dann hat dies auch einen Kurzschluss zwischen dem Zusatzleiterbahnabschnitt 71 und
zumindest dem zweiten Leiterbahnabschnitt 67 zur Folge,
so dass der Komparator 59 kein Freigabe-Signal RS erzeugt.
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Bei
der in 1 dargestellten integrierten Schaltung 6 weist
die Leiterbahn 33 einen U-förmigen Verlauf auf. Dies muss
nicht so sein, weil eine solche Leiterbahn auch einen keilförmigen Verlauf aufweisen
kann, wobei eine solche Leiterbahn dann nur aus den zwei von der
integrierten Schaltungskonfiguration ausgehenden Leiterbahnabschnitten
besteht, die in dem Bereich ihrer von der integrierten Schaltungskonfiguration
abgewandten Enden unmittelbar miteinander elektrisch leitend verbunden
sind, so dass ein separater Verbindungsleiterbahnabschnitt sich
erübrigt.
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Bei
den in den 1 und 2 dargestellten integrierten
Schaltungen 6 ist der Signalgenerator 57 zum Erzeugen
eines eine bestimmte Bit-Reihe repräsentierenden Signals BR1 ausgebildet.
Dies muss nicht so sein, sondern ein solcher Signalgenerator kann
auch zum Abgeben eines analogen Signals ausgebildet sein, von dem
mindestens ein Kennwert in einem bestimmten Bereich liegen muss.