DE4442023C2 - Siliziumkörper mit einem Durchbruch mit frei definierbarer Austrittsöffnung und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Siliziumkörper mit einem Durchbruch mit frei definierbarer Austrittsöffnung und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
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- DE4442023C2 DE4442023C2 DE19944442023 DE4442023A DE4442023C2 DE 4442023 C2 DE4442023 C2 DE 4442023C2 DE 19944442023 DE19944442023 DE 19944442023 DE 4442023 A DE4442023 A DE 4442023A DE 4442023 C2 DE4442023 C2 DE 4442023C2
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 101
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 59
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims description 57
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 57
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 66
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 48
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 24
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 21
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 18
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 15
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 4
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims 2
- 229910005091 Si3N Inorganic materials 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 56
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 13
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 12
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 12
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 10
- 238000013461 design Methods 0.000 description 9
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 238000003631 wet chemical etching Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000347 anisotropic wet etching Methods 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000010561 standard procedure Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
- B81C1/00087—Holes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
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Description
Die Erfindung geht aus von einem Siliziumkörper und einem
Verfahren zu seiner Herstellung nach der Gattung der
unabhängigen Ansprüche 1, 13 und 20.
Es ist bekannt, z. B. aus
DE-A 40 20 724, Strukturen in Siliziumkörpern mit den Verfahren
der Siliziummikromechanik, vor allem durch anisotropisches
naßchemisches Ätzen herzustellen. Auf diese Art hergestellte
Düsen werden beispielsweise in Tintenstrahldruckern oder,
häufig in Kombinationen mit einem mikromechanischen Ventil
und/oder einer aktiven Pumpvorrichtung als Einspritzdüsen in
Kraftfahrzeugen verwendet. Eine wesentliche Eigenschaft des
anisotropen Naßätzens in alkalischen Lösungen ist, daß die
(100)-Kristallflächen schnell, die (111)-Kristallflächen
dagegen nur sehr langsam geätzt werden. Die Austrittsöffnungen
von so gefertigten Düsen haben dadurch grundsätzlich eine
rechteckige Gestalt. Solche eckigen Austrittsöffnungen haben
den Nachteil, daß sich in den Ecken Strömungsverhältnisse
ausbilden, die zur Entstehung unregelmäßiger, großer
Flüssigkeitstropfen führen. In Ecken kommt es ferner aufgrund
des Flüssigkeitsdruckes zu Spannungskonzentrationen, welche
leicht zur Bildung und Ausbreitung von Schäden, wie Rissen oder
Spalten entlang der Kristallgitterrichtungen führen. Weiterhin
sind die Seitenflächen der Austrittsöffnung durch die (111)-Kristallflächen
definiert, welche einen festen Winkel von 54,7°
zur Waferebene und damit zur Austrittsfläche aufweisen. Eine
Anpassung der Seitenwandneigung an strömungsmechanische
Erfordernisse ist deshalb mit dem bekannten anisotropen
Naßätzverfahren nicht möglich.
Ein anisotropes Ätzverfahren, welches die Herstellung von
Strukturen mit gegenüber der Ebene der Austrittsöffnung
senkrechten Kanten gestattet, ist aus DE-C 42 41 045 bekannt.
Das Verfahren beruht auf der wechselweisen Durchführung von
Ätz- und Polymerisationsschritten. Ein jeweils in den
Polymerisationsschritten erzeugter Seitenwandfilm wird dabei in
den Ätzphasen vorwärtsgetrieben.
Zum Erhalt von Austrittsöffnungen mit beliebigen Konturen ist
aus "Mikromechanik, Anton Heuberger, Springer-Verlag 1989,
Seiten 188 bis 190 und 343 bis 355" der Vorschlag bekannt, ein
zweiseitiges Ätzen vorzusehen, wobei in einem ersten Ätzschritt
von der Rückseite des bearbeiteten Körper her zunächst eine
dünne Membran hergestellt wird, und in einem zweiten Ätzschritt
eine Strukturierung der zuvor hergestellten Membrane von der
Vorderseite her erfolgt. Zur Strukturierung im zweiten
Ätzschritt soll ein anisotropisches naßchemisches Ätzverfahren
eingesetzt werden. Das Verfahren eignet sich allerdings nur für
Membranen mit sehr geringer Stärke, da anderenfalls der
Ätzprozeß entlang der durch die Kristallgitterstruktur
bestimmten Vorzugsrichtungen verlaufen würde, wodurch eine
freie Konturgestaltung nicht mehr möglich wäre. Zum Erhalt von
Durchbrüchen mit vorgegebener Austrittsöffnungsgeometrie in
dickeren Körpern wird die Verwendung isotroper Ätzverfahren
vorgeschlagen. Diese sind allerdings insbesondere mit dem
Problem der Maskenschneidung/Unterätzung behaftet, so daß
beispielsweise Durchbrüche mit senkrechten Wandungen damit
nicht herstellbar ist. Aus der DE A 32 15 411 ist desweiteren
ein Verfahren zur Herstellung von Öffnungen mit abgeschrägten
Wandungen in auf einem Halbleiterkörper angeordneten Schichten
bekannt. Dabei soll zunächst ein isotrop wirkendes Ätzmittel,
anschließend anisotrop wirkendes Plasmaätzen eingesetzt werden.
Das Verfahren eignet sich zur einseitigen Bearbeitung dünner
Schichten, nicht hingegen für dickere Schichten.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren anzugeben, das die
Herstellung von Durchbrüchen mit beliebiger Austrittsöffnung
auch durch Siliziumkörper mit größerer Dicke gestattet.
Desweiteren sollen Ausgestaltungen von gattungsgemäß
durchbrochene Siliziumkörpern angegeben werden, welche zur
Verwendung als Einspritzdüse an Kraftfahrzeugmotoren besonders
geeignet sind.
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren mit den
Merkmalen eines der unabhängigen Ansprüche 1 und 13. Das
neuartige Verfahren macht sich die Erkenntnis zunutze, daß
das aus der DE-C 42 41 045 bekannte Verfahren neben der
Erzeugung senkrecht abfallender Strukturen weiterhin die
Eigenschaft besitzt, die Kontur einer Maske unabhängig von
der Kristallstruktur des Siliziumkörpers nachzubilden. Um
Durchbrüche mit beliebiger Austrittsöffnung zu erzeugen,
wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, das aus der
DE-C 42 41 045 bekannte Verfahren mit einem bekannten
naßchemischen Ätzverfahren zu kombinieren. Das
erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich durch hohe
Massenselektivität, hohe Ätzrate sowie eine kontrollierbare
Anisotropie aus. Es gestattet insbesondere die Herstellung
von Durchbrüchen mit kreisrunden Austrittsöffnungen.
Sinnvolle Ausgestaltungen und vorteilhafte Weiterbildungen
des vorgeschlagenen Verfahrens ergeben sich aus den
Merkmalen der Unteransprüche.
In einer ersten erfindungsgemäßen Verfahrensvariante erfolgt
der Materialabtrag zur Erzeugung des zu erstellenden
Durchbruchs durch den Siliziumkörper zunächst von einer
Durchbruchsöffnung her gemäß einem bekannten
Naßätzverfahren, anschließend von der gegenüberliegenden
Oberfläche her durch ein anisotrope
Plasmatiefenätzverfahren. Die durch das Naßätzverfahren in
der ersten Verfahrensstufe erzeugte Kontur wird dabei vor
Durchführung des Plasmaätzverfahrens vorteilhaft mit einem
Polymermaterial aufgefüllt. Das Füllmaterial schützt die
durch das Naßätzen erzeugte Struktur gegen Beschädigung nach
dem Durchbruch des Materialabtrags von der
gegenüberliegenden Seite. Es ermöglicht zudem eine
Gaskonvektionskühlung der Waferrückseite. Bei dem aus der
DE-C 42 41 045 bekannten alternierenden Plasmaätzverfahren
wird nach jedem Ätzschritt eine Passivierschicht auf die
Seitenwände aufgebracht. In einer vorteilhaften
Ausgestaltung wird die Dicke der Passivierschicht so
eingestellt, daß die Seitenwände der geätzten Strukturen
exakt von den Maskenrändern starten, dort deshalb keine
Maskenunterschneidung eintritt, während tiefer im Substrat
gelegene Teile der Seitenwände nicht mehr ausreichend
passiviert und daher mit fortschreitender Dauer des
Ätzschrittes angeätzt werden. Es entstehen auf diese Weise
trichterförmige Ätzprofile.
Eine andere, den Verfahrensabschnitt des alternierenden
Plasmaätzens betreffende Ausgestaltung sieht vor, das
Plasmaätzen zeitweise isotrop, das heißt ohne
Zwischenschaltung von Passivierschritten durchzuführen. Da
der isotrope Ätzangriff unmittelbar am Maskenrand am
stärksten, in die Tiefe des Durchbruches hinein dagegen
zunehmend schwächer wird, kann ein sich in die Tiefe des
Siliziumkörpers verjüngendes Profil erzeugt werden. Eine
gleichfalls zu einem sich in die Tiefe verjüngenden Profil
führende Ausgestaltung sieht vor, die Ionenenergie der in
den Plasmaätzschritten verwendeten Ionen so einzustellen,
daß die Maskenränder während des Ätzprozesses kontrolliert
zurückweichen.
In einer zweiten, unabhängigen Variante des
erfindungsgemäßen Ätzverfahrens ist der zu bearbeitende
Siliziumkörper in Zweilagentechnik aus zwei zunächst
getrennt vorliegenden Teilkörpern aufgebaut. Dadurch können
Durchbruchsstrukturen angelegt werden, welche nach dem
Zusammenfügen der beiden Teilkörper innerhalb des dann
resultierenden Gesamtkörpers liegen. Dies gestattet es,
Durchbrüche mit kompliziertem, beispielsweise
nichtrotationssymmetrischem Querschnittsprofil anzulegen.
Auch können dadurch ringförmige Austrittsöffnungen erzeugt
werden, was insbesondere für Einspritzdüsen für
Kraftfahrzeugmotoren interessant ist. Ein geschlossener
Ringspalt zeichnet sich hier durch ein besonders gutes
Kraftstoffzerstäubungsverhalten aus.
Ausführungsbeispiele des vorgeschlagenen Verfahrens werden
nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher
erläutert. Es zeigen
Fig. 1 Bearbeitungsstadien eines nach dem
erfindungsgemäßen Verfahren bearbeiteten Wafers,
Fig. 2 Bearbeitungsstadien bei Verwendung eines aus zwei
Teilkörpern aufgebauten Siliziumkörpers,
Fig. 3 ein Flußdiagramm des Verfahrens,
Fig. 4 eine Austrittsöffnung in Form eines geschlossenen Ringspaltes,
Fig. 5 eine Gestaltung des Einlaufbereiches,
Fig. 6 und 7 weitere Gestaltungen der Austrittsöffnung,
Fig. 8 eine Düse mit zusätzlicher Luftumfassung,
Fig. 9 eine Draufsicht auf
einen Einlauf- bzw. Luftzuströmbereich.
Fig. 1 veranschaulicht anhand von vier Bearbeitungsstadien
eines Wafers die Durchführung des erfindungsgemäßen
Verfahrens am Beispiel der Herstellung einer Siliziumdüse
mit kreisrunder Austrittsöffnung. Ein Siliziumkörper 10,. im
folgenden als Siliziumwafer bezeichnet, wird zunächst auf
beiden Oberflächen 17, 19, im folgenden entsprechend der
Wiedergabe in Fig. 1 als Oberseite 17 und Unterseite 19
bezeichnet, ganzflächig mit einer Passivierschicht 11 von
Siliziumnitrid (Si₃N₄) und Siliziumoxid (SiO₂) oder
alternativ mit einer Passivierschicht von dickem thermischen
Siliziumoxid (SiO₂) versehen. Auf der Unterseite 19 des so
vorbereiteten Wafers 10 werden mit Hilfe eines
Standardlithographieverfahrens sodann rechteckige Fenster 12
in der Passivierschicht 11 definiert. Durch ein
nachfolgendes Standardätzverfahren, zum Beispiel Plasmaätzen
im Falle einer Passivierschicht aus Siliziumnitrid (Si₃N₄)
beziehungsweise Plasmaätzen oder Naßätzen in wäßriger,
(gepufferter) Flußsäurelösung (HF) im Falle einer
Passivierschicht 11 aus Siliziumoxid (SiO₂), werden die
Fenster bis zur Siliziumoberfläche des Wafers 10 geöffnet.
Anschließend wird der Wafer 10 in einer alkalischen
Ätzlösung, zum Beispiel Kaliumlauge (KOH), Ethylendiamin/Pyrokatechol
(EDP), oder Tetramethyl-Ammoniumhydroxid (TMAH)
naßgeätzt. Unter den zuvor erzeugten Fenstern 12 entstehen
dabei Materialabtragungen in Form tiefer werdender V-förmiger
Gräben 13. Das Naßätzen wird fortgesetzt, bis die
Grabentiefe T beziehungsweise die Dicke D der zwischen dem
Boden des Grabens 13 und der Oberseite 17 des Wafers 10
verbleibenden Membran einen gewünschten Wert, welcher zum
Beispiel zwischen 5 und 200 Mikrometer liegen kann, erreicht
hat. Ätztiefe T beziehungsweise Membrandicke D werden über
die Ätzdauer eingestellt. Ergänzend erfolgt zweckmäßig eine
optische Kontrolle durch Messen der Ätztiefe und/oder
Bestimmen der Membrandicke D, etwa durch Infrarot-Absorption.
Zur kontrollierten Einstellung einer gewünschten
Grabentiefe T kann eines dem hinlänglich bekannten
Ätzstopverfahren, zum Beispiel ein P⁺-Ätzstop oder ein
elektrochemischer pn-Ätzstop eingesetzt werden. Nach
Beendigung des Naßätzens wird der Wafer 10 mit einem
Standardwaferreinigungsverfahren, zum Beispiel "RCA-Clean",
gereinigt, wobei Rückstände der Naßätzlösung vollständig
entfernt werden. Den nach diesem Schritt vorliegenden
Bearbeitungszustand des Wafers 10 zeigt Fig. 1a.
Für die Bearbeitung der Oberseite 17 des Wafers 10 wird auf
die zuvor von der Unterseite 19 her erzeugte Struktur 13
zunächst eine passivierende Schutzschicht 15 aufgebracht.
Sie dient dazu, nach dem Durchbrechen des von der Oberseite
17 erfolgenden Materialabtrags durch den Boden des Grabens
13 ein Überätzen ohne Strukturverluste an den
Grabenseitenwänden zu ermöglichen. Erzeugt wird die
Schutzschicht 15 zweckmäßig durch thermische Oxidation der
freien Siliziumoberflächen des Grabens 13. Alternativ kann
sie auch durch Belegung der Oberflächen des Grabens 13 mit
einem ätzplasmabeständigen Material, zum Beispiel mit einem
plasmaabgeschiedenen Dielektrikum, aufgesputtertem
Aluminium, Nickel oder Chrom erfolgen. Sinnvoll ist ferner,
den Graben 13 anschließend zusätzlich mit einem
Polymermaterial 16, zum Beispiel Photoresist (Photolack)
vollständig aufzufüllen. Dadurch wird zum einen eine
zusätzliche Passivierung der zwischen Grabenboden und
Oberseite 17 verbleibenden Membranen gegenüber der
Plasmaeinwirkung nach dem Durchätzen von der Oberseite 17
her erreicht. Zum anderen bewirkt das Polymermaterial eine
druckdichte Isolation der Unterseite 19 zum Plasmaraum
oberhalb der Oberseite 17 hin. Dadurch wird es möglich, die
Unterseite 19 des Wafers während des Ätzens der Oberseite 17
mittels Gaskonvektionskühlung zu kühlen, zum Beispiel mit
unter Überdruck gegenüber-dem Plasmaraum an der Unterseite
19 entlanggeleitetem Heliumgas. Der in diesem Stadium
vorliegende Bearbeitungszustand des Wafers 10 ist in Fig.
1b wiedergegeben.
Auf die noch unbearbeitete Waferoberseite 17 wird sodann in
einem zweiten Photolithographieschritt eine Photolackmaske
18 angeordnet. Ihre Öffnungen 14 sind exakt auf die V-Gräben
13 der Unterseite 19 des Wafers justiert. Die Öffnungen 14
können beliebig gestaltet, zum Beispiel kreisrund sein. Die
Justierung der Maske 18 zur Waferunterseite 19 erfolgt mit
einem doppelseitigen Waferbelichtungsgerät. Alternativ kann
ein einseitiges Waferbelichtungsgerät eingesetzt werden,
welches auf dafür bestimmte, durchgehende Lasermarkierungen
oder zuvor von der Waferunterseite 19 bis zur Waferoberseite
17 durchgeätzte Justierstrukturen ausgerichtet wird. Eine
weitere Möglichkeit ist das Justieren mit
Infrarotdurchlicht. Dabei wird die Maske 18 auf die Membran
zwischen Grabenboden und Oberseite justiert. Alle diese
Justiertechniken sind in der Fachwelt sicher beherrschte
Verfahren und werden deshalb hier nicht weiter erläutert.
Nachfolgend wird die in den durch die Photolackmaske 18
definierten Öffnungen 14 verbliebene Passivierschicht 11 von
thermischem Oxid (SiO₂) bzw. Siliziumnitrid (Si₃N₄) und
Siliziumoxid (SiO₂) entfernt. Das Entfernen erfolgt
zweckmäßig wiederum durch ein Standardätzverfahren, wie etwa
durch Plasmaätzen (RIE).
Die daraufhin in den Öffnungen 14 vorhandenen blanken
Siliziumflächen werden sodann gemäß einem geeigneten
Plasmaätzverfahren, vorzugsweise dem aus der DE-PS 42 41 045
bekannten, geätzt. Dieses bekannte Verfahren beinhaltet
alternierend Ätzschritte, in denen Silizium abgetragen wird,
und Passivierschritte, in denen die Seitenwände der
erzeugten Struktur mit einer Passivierschicht, zum Beispiel
durch teflonartige Polymere, bedeckt werden. Bedingt durch
ein - gewolltes - Nachrutschen der seitlichen
Passivierschicht in Richtung auf den jeweiligen Ätzgrund
während der Ätzschritte bleiben die Seitenwände stets gegen
Ätzeinwirkung geschützt. Bei richtiger Prozeßführung tritt
keinerlei Unterschneidung der Maske 18 ein, die erzeugten
Seitenwände sind glatt und völlig senkrecht zur Oberfläche
17. Wegen weiterer Einzelheiten zur Durchführung dieses
Verfahrens wird auf die DE-PS 42 41 045 verwiesen. Das
Plasmatiefenätzen liefert, ausgehend von der Oberseite 17
einen sich bis zum Boden des Grabens 13 erstreckenden,
röhrenförmigen Durchbruch, dessen Seitenwände achsparallel
verlaufen, und dessen Querschnittskontur genau der durch die
Maske 18 definierten entspricht. Der nach Durchführung
beider Verfahrensstufen insgesamt entstandene Durchbruch
besitzt im Ausführungsbeispiel die Form eines Trichters mit
zylindrischem Hals. Dabei weist die Austrittsöffnung an der
Unterseite 19 eine eckige, beispielsweise quadratische
Kontur auf, während die Austrittsöffnung zur Oberfläche 17
mit hoher Genauigkeit beispielsweise kreisrund ist. Fig. 1c
zeigt den Bearbeitungszustand zu diesem Verfahrenszeitpunkt.
Eine besonders vorteilhafte Erweiterung der möglichen
Ätzstrukturgeometrien bietet eine bislang ungenutzte
Eigenschaft des aus der DE-PS 42 41 045 bekannten
Verfahrens. Neben Strukturen mit achsparallelen Seitenwänden
lassen sich durch geeignete Prozeßführung auch Strukturen
mit geneigten Seitenwänden herstellen. Die Neigung der
Seitenwände kann dabei über einen weiten Bereich beliebig
eingestellt werden. Bei einer ersten Verfahrensvariante
dieser Art ist die Dicke der in den Passivierschritten
aufgebrachten Passivierschicht so gewählt, daß diejenigen
Teile der Seitenwände, die nahe am Maskenrand liegen,
ausreichend passiviert werden, wodurch dort im nachfolgenden
Ätzschritt kein Unterschneiden eintritt, während tiefer im
Siliziumkörper 10 gelegene Teile der Seitenwände nicht mehr
ausreichend passiviert und daher mit fortschreitender Dauer
des Ätzvorganges angeätzt werden. Es entsteht eine sich in
die Tiefe trichterförmig aufweitende Ätzstruktur. Durch
Steuerung der Dicke der Passivierschicht läßt sich die
Seitenwandneigung einstellen.
Eine zweite Verfahrensvariante sieht vor, den Ätzprozeß nach
dem anisotrop geführten Durchätzen der Membran zwischen
Oberseite 17 und Boden der Struktur 13 eine bestimmte Zeit
lang isotrop weiterzuführen. Hierbei ist der zuvor
beschriebene Schutz der Grabenstruktur 13 vor dem
Plasmaätzangriff besonders wesentlich. Da der isotrope
Ätzangriff unmittelbar am Rand der Maske 18, d. h. am
späteren Düsenaustritt am stärksten, in die Tiefe der
Struktur 13 hinein dagegen zunehmend schwächer wird, kann
ein sich in die Tiefe verjüngendes Profil kontrolliert
erzeugt werden.
Eine weitere Verfahrensvariante besteht darin, durch
geeignete Wahl der Ionenenergie - sie muß ausreichend groß
sein - bei ansonsten anisotroper Prozeßführung eine
Facettierung der Maske 18 zu erreichen, wobei die
Maskenränder während des Ätzprozesses kontrolliert
zurückweichen. Auch hierbei wird ein sich in die Tiefe
verjüngendes Profil erreicht, ohne daß ein Unterschneiden
des Maskenrandes eintritt. Besonders günstig im
Zusammenhang mit einer durch Facettierung einstellbaren
Seitenwandneigung ist eine Fotolackmaske 18 ohne
darunterliegende Passivierschicht. Zweckmäßig werden in
diesem Fall die Siliziumnitrid- und/oder
Siliziumoxidpassivierschichten 11 an der Oberseite 17 des
bearbeiteten Siliziumkörpers 10 vor dem zweiten
Lithographieschritt ganzflächig entfernt.
Nach Abschluß des Plasmatiefenätzens werden die
Passivierschichten 11, 15, sowie das in den V-Gräben 13
vorhandene Photoresist durch geeignete, naßchemische,
gegenüber Silizium selektive Ätzlösungen oder Lösungsmittel
entfernt. Alternativ kann das Entfernen mittels einer
O₂-Plasmabehandlung erfolgen.
Eine vorteilhafte Abwandlung des vorgeschlagenen Verfahrens
ist nachfolgend anhand der Herstellung einer Ringspaltdüse
für das Einspritzventil eines Benzinmotors beschrieben.
Fig. 2 zeigt, jeweils im Längsschnitt, vier Stadien der
Herstellung einer solchen Düse. Die zugehörigen
Verfahrensschritte sind in Fig. 3 als Flußdiagramm
wiedergegeben.
Der Siliziumkörper, in den der Durchbruch eingebracht wird,
besteht in diesem Fall aus zwei zunächst getrennt
vorliegenden Wafern 10, 20, welche zu einem späteren
Zeitpunkt während der Bearbeitung zusammengefügt werden.
Einer dieser Wafer, der im folgenden als unterer Wafer 10
bezeichnete, wird in einem ersten Verfahrensschritt 100
thermisch oxidiert. Dabei wird er mit einer ca. 2 Mikrometer
dicken Schicht von thermischem Siliziumoxid (SiO₂) versehen.
In einem doppelseitigen Photolithographieschritt 102 werden
nachfolgend mit Hilfe einer Photolackmaske 18 auf einer
ersten Oberfläche 17 des Wafers 10, im weiteren als
Oberseite bezeichnet, die späteren Einlaufbereiche -
Drallkanäle sowie äußerer Ring - definierende Fenster
angelegt. Auf der gegenüberliegenden Waferoberfläche 19, im
weiteren als Rückseite bezeichnet, werden weiterhin-die
späteren Ringspaltöffnungen 27 angelegt. Das in den Fenstern
26, 27 vorhandene Siliziumoxid (SiO₂) wird durch Naßätzen in
wäßriger Flußsäure (HF) oder durch Plasmaätzen vollständig
entfernt, Schritt 104. Weiterhin werden auch die Masken 18
entfernt. Nachfolgend wird durch Plasmatiefenätzen, z. B.
gemäß dem aus der DE-PS 42 41 045 bekannten Verfahren, der
Einlaufbereich von der Oberseite 17 her in den unteren Wafer
10 eingeätzt. Seine Form entspricht exakt dem durch die auf
der Oberseite des Wafers 10 verbliebene Siliziumoxidschicht
definierten Fenster 26, welches seinerseits zuvor durch die
Maske 18 definiert wurde. Die Ätztiefe entspricht im
Ausführungsbeispiel etwa der halben Dicke des unteren Wafers
10. Den Bearbeitungszustand zu diesem Verfahrenszeitpunkt
zeigt Fig. 2a, wobei zusätzlich die Masken 18
mitdargestellt sind.
Nach Beendigung des Plasmatiefenätzprozesses wird das
restliche auf der Oberseite 17 noch vorhandene
Siliziumdioxid (SiO₂) in wäßriger Flußsäure (HF) entfernt,
Schritt 108. Dabei ist die Waferunterseite 19 geschützt, die
Siliziumdioxidschicht 11 soll hier erhalten bleiben.
Anschließend wird der untere Wafer 10 komplett reoxidiert,
Schritt 110, wobei auf alle Oberflächen eine im Vergleich
zur Schicht 11 dünne Schicht 21 von thermischem Oxid (SiO₂),
im folgenden als ReOx-Schicht bezeichnet, aufgewachsen wird.
Sie bedeckt insbesondere auch die Innenflächen des
Einlaufbereichs 26, die zuvor gereinigte blanke Oberseite
17, sowie die in den Fenstern 27 liegende Fläche der
Unterseite 19.
Nun wird ein zweiter Wafer, im folgenden als oberer Wafer 20
bezeichnet, ebenfalls zunächst mit einer Schicht 21 aus
dünnem thermischem Oxid (SiO₂) versehen, Schritt 112. Der
auf diese Weise gegen das nachfolgende Plasmaätzverfahren
passivierte Wafer 20 wird sodann durch Silizium-Direkt-Bonden
(SFB) mit dem unteren Wafer 10 verbunden. Beide Wafer
10, 20 werden hierfür zunächst hydrophilisiert, indem sie
beispielsweise in einem Gemisch von Ammoniak,
Wasserstoffperoxid und Wasser vorbehandelt werden. Zum
Bonden werden die hydrophilisierten Waferflächen in innigen
Kontakt gebracht, wobei es durch Van-der-Waals Kräfte
bereits zu einer Adhäsion kommt. In einem nachfolgenden
Hochtemperaturschritt bei Temperaturen <800°C wird die
Verbindung verfestigt bis zur Zerreißgrenze von thermischem
Oxid, Schritt 118. Einer besonderen Justage bedarf es für
das Bonden nicht.
Die verbundenen Wafer 10, 20 werden mit einer Schicht von
Siliziumnitrid (Si₃N₄) versehen, Schritt 120. Sie bildet
eine gegenüber Kalilauge (KOH) besonders ätzbeständige
Maskierung. Diese Beschichtung erfolgt nach einem
gebräuchlichen Standardverfahren, beispielsweise als
Niederdruckschichtabscheidung bei hoher Temperatur in einem
Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD)-Rohr. Es
folgt wiederum ein zweiseitiger Lithographieschritt, mittels
dessen an der Oberseite 23 des nach dem Bonden der beiden
Wafer 10, 20 erhaltenen Gesamtsiliziumkörpers die späteren
Eintrittsöffnungen definierende Fenster 28 angelegt werden.
Eine obere Maske 18 mit den Eintrittsöffnungen 28 wird dabei
auf das in der Siliziumoxidschicht 11 bereits vorhandene,
die Austrittsöffnung definierende Fenster 27 an der
Unterseite 19 - sie wird durch die Unterseite des unteren
Wafers 10 gebildet - justiert. Das Fenster 27 ist dabei
durch die überlagerte transparente Siliziumnitridschicht 22
gut zu erkennen. Eine exakte Justage der oberen Maske 18 zu
den Strukturen der Waferunterseite 19 ist damit leicht
möglich.
Im nächsten Schritt 124 wird das Siliziumnitrid in den durch
die Fenster 28 definierten Eintrittsöffnungen 28 der oberen
Maske 18 durch Plasmatiefenätzen in einem Fluorplasma
entfernt. Das darunter befindliche Siliziumoxid (SiO₂) wird
ebenfalls entfernt, beispielsweise durch Naßätzen in
gepufferter Flußsäure (HF), Schritt 126. Hierauf werden,
vorzugsweise in heißer Kalilauge (KOH), entsprechend den
Fenstern 28 Eintrittsöffnungen in den oberen Wafer 20
geätzt, Schritt 128. Die Unterseite des Siliziumkörpers 10,
20 bleibt hierbei durch die Siliziumnitridschicht 22
geschützt. Der Ätzprozeß durch den oberen Wafer 20 stoppt
automatisch an der dünnen ReOx-Schicht 21, die vor dem
Bonden beider Wafer 10, 20 aufgewachsen wurde. Der
entstehende Durchbruch durch den oberen Wafer 20 weist,
entsprechend dem gewählten Naßätzverfahren einen V-förmigen
Querschnitt auf. Den Bearbeitungszustand zu diesem
Verfahrenszeitpunkt zeigt Fig. 2c.
Nach Beendigung des Naßätzens, Schritt 128, wird an der
Unterseite 19 des Siliziumkörpers 10, 20 die Nitridschicht 22
selektiv zur darunterliegenden ReOx-Schicht 21 bzw. dicken
Siliziumoxidschicht 11 entfernt, Schritt 130. Dies kann etwa
in einem Fluor-Ätzplasma oder auch naßchemisch,
beispielsweise durch heiße Phosphorsäure erfolgen.
Anschließend wird an der Unterseite 19, insbesondere in den
Fenstern 27 der Siliziumoxidschicht 11, die dünne ReOx-Schicht
21 durch Rückätzen in gepufferter Flußsäure
entfernt. Dabei kann ein leichtes Anätzen der dicken
Siliziumoxidschicht 11 hingenommen werden. Mit Hilfe eines
Plasmatiefenätzverfahrens, insbesondere dem aus der
DE-PS 42 41 045 bekannten, wird anschließend die durch das
Fenster 27 definierte Austrittsöffnung von der Unterseite 19
her in den unteren Wafer 10 eingeätzt. Als Maske wirkt
hierbei die verbliebene vorstrukturierte, dicke
Siliziumoxidschicht 11. Die Ätztiefe ist auf den zuvor
angelegten Einlaufbereich 26 abgestimmt. Sie wird zudem
durch die vor dem Bonden aufgebrachte dünne ReOx-Schicht 21
begrenzt, welche partiell als Ätzstop wirkt. Dadurch kann
nach dem Auftreffen der Ätzfront auf die Struktur des
Einlaufbereichs sogar ein Überätzen durchgeführt werden,
ohne daß ein Ätzangriff auf die Wände der
Durchbruchsstruktur erfolgt. Die Möglichkeit des Überätzens
gestattet es, die Tiefe der Austrittsöffnung 27 rein
zeitkontrolliert einzustellen. Im Falle des hier
angenommenen Beispiels der Herstellung einer
Kraftstoffeinspritzdüse kann dies dazu benutzt werden, den
Kraftstoffabspritzwinkel an der Austrittsöffnung
einzustellen. Der nach dem Verfahrensschritt 134 vorliegende
Bearbeitungszustand ist in Fig. 2d dargestellt.
Die nach dem Plasmatiefenätzen zwischen den Teilbereichen
26, 27, 28 des gewünschten Durchbruches noch vorhandenen
dünnen ReOx-Schicht-Membranen werden abschließend zum
Beispiel durch kurzes Tauchen des fertigprozessierten
Siliziumkörpers in verdünnter Flußsäure (HF) entfernt,
Schritt 136.
Gemäß dem zuvor beschriebenen Verfahren hergestellte
Einspritzdüsen können nach Vereinzeln der Wafer unmittelbar
an einem Einspritzventil eingesetzt werden.
Mit den vorstehend beschriebenen Verfahren läßt sich eine
Vielzahl von vorteilhaften Durchbruchsgeometrien
realisieren. Als besonders interessant hat sich vor allem
die Zweilagentechnik zur Herstellung von
Ringspalt-Einspritzdüsen für Kfz-Motoren erwiesen. Fig. 4
zeigt, entsprechend der Geometrie des Ausführungsbeispiels
nach Fig. 2, in Betrachtung von der Unterseite 19 des
Siliziumkörpers respektive der Düse her eine ringförmige
Austrittsöffnung 27. Im Bereich des Zusammentreffens der
ringförmigen Austrittsöffnung 27 mit dem im Randbereich
gleichfalls ringförmig ausgebildeten Einlaufbereich 26
entsteht ein Ringspalt, durch den der Kraftstoff abgespritzt
wird.
Fig. 5 zeigt eine vorteilhafte Gestaltung des
Einlaufbereichs 26, das heißt derjenigen Struktur, die vor
dem Bonden der beiden Siliziumwafer 10, 20 in den unteren
Siliziumwafer 10 eingeätzt wird. Er besteht aus vier,
jeweils vom Zentrum nach außen gekrümmten Drallkanälen 29,
welche in eine ringförmig gestaltete Austrittsöffnung 27
münden. Am Außenrand der Öffnung 27 ist ein Ringspalt 30
ausgebildet. Im Zentrum der Struktur befindet sich die
quadratische Eintrittsöffnung 28. Der durch sie in den
Einlaufbereich eintretende Kraftstoff erhält durch die
Drallkanäle 29 sowohl eine rotatorische als auch eine
horizontale Geschwindigkeitskomponente. Dadurch wird
Zerstäubung des Kraftstoffes in den Verbrennungsraum am
Ringspalt 30 begünstigt. Bei einem Muster betrug die
Kantenlänge der Eintrittsöffnung 28 379 µm, der Durchmesser
der Austrittsöffnung 27 1400 µm und die Breite des
Ringspaltes 26,4 µm.
Fig. 6 zeigt eine weitere, das Zerstäubungsverhalten
begünstigende Ausgestaltung der Austrittsöffnung 27. Sie
besteht aus mehreren Ringsegmentspalten, die konzentrisch
angeordnet sind.
Eine weitere Austrittsöffnungsgeometrie mit günstigen
Zerstäubungseigenschaften zeigt Fig. 7. Die
Austrittsöffnungen 27 sind hierbei als hufeisenförmige
Teilkreise ausgebildet, welche entlang einer Kreislinie
angeordnet sind.
Vorteilhaft ist es desweiteren, die Zerstäubung des
Kraftstoffes durch Zufuhr von Luft zu unterstützen. Fig. 8
zeigt im Querschnitt eine hierfür geeignete Düsengeometrie
mit Luftumfassung der Abspritzspalte. Sie weist analog zur
Düse nach Fig. 2d eine Eintrittsöffnung 28, einen
Einlaufbereich 26 mit Drallkanälen 29, sowie eine
Austrittsöffnung 27 auf. Auch das Herstellungsverfahren
entspricht dem zur Herstellung einer Düse nach Fig. 2. Bei
der Bearbeitung des unteren Wafers 10, insbesondere im
Rahmen des Schrittes 106 wird jedoch zusätzlich ein
Luftzuströmbereich bestehend aus Lufteinlaßkanälen 31 sowie
diesen nachgeordneten Luft-Drallbereichen 32 angelegt.
Letztere erstrecken sich, zweckmäßig in Form eines Bogens,
von den Waferseitenwänden in Richtung auf den Kraftstoff-Einlaßbereich
26. Über einen weiteren Ringspalt 33 münden
die Drallbereiche 32 in die Austrittsöffnung 27. Die
Lufteinlaßkanäle 31, sie dienen zur Zuführung von Luft in
die Drallbereiche 32, erstrecken sich bis an den Rand des
die Düse enthaltenden Chips. Zweckmäßig werden sie beim
Vereinzeln der fertigen Düsen, d. h. in der Regel beim Sägen
des Wafers 10, 20 eröffnet. Durch den Luftzuströmbereich
31, 32 wird, während über die Eintrittsöffnung 28
gleichzeitig Kraftstoff K in die Düse geleitet wird, Luft L
zugeführt, die am Ringspalt 33 austritt. In der
Austrittsöffnung 27 vermischt sich die austretende Luft L
mit dem am Ringspalt 30 zerstäubten Kraftstoff K. Zur
weiteren Verbesserung der Mischung von Luft L und Kraftstoff
K sind die Drallbereiche 32 zweckmäßig so ausgebildet, daß
sie der hindurchströmenden Luft L eine zirkulare
Geschwindigkeitskomponente aufprägen. Erreicht wird dies
beispielsweise, indem die Drallbereiche 32 gekrümmt
gestaltet werden.
Fig. 9 veranschaulicht in Draufsicht auf den unteren Wafer
10 eine vorteilhafte Gestaltung des Kraftstoff-Einlaufbereiches
und des Luftzuströmbereiches für eine Düse
gemäß Fig. 8. Nach dem Ätzen stehengebliebene
Siliziumstrukturen sind dunkel wiedergegeben. In der
Düsenmitte ist die rechteckige Kontur der Kraftstoff-Eintrittsöffnung
28 zu erkennen. Von dessen Rändern
erstrecken sich sichelförmig gekrümmt ausgebildete
Drallkanäle 29 zum Rand der Austrittsöffnung 27 mit dem
inneren Ringspalt 30. Dieser und ebenso der äußere Ringspalt
33 werden durch einen, auch aus Fig. 8 ersichtlichen,
Siliziumring 35 definiert, welcher sich über der
Austrittsöffnung 27 befindet. In analoger Weise erstrecken
sich ebenfalls sichelförmig gekrümmt ausgebildete Luft-Drallbereiche
32 vom Außenumfang 34 der Düse zum äußeren
Rand der Austrittsöffnung 27 mit dem äußeren Ringspalt 33.
Am Außenumfang befinden sich Lufteinlaßkanäle 31, welche mit
den Drallbereichen 32 verbunden sind. Die sichelförmigen
Geometrien von Drallkanälen 29 und Drallbereichen 32 sind
beispielhaft, möglich sind auch beliebige andere Geometrien,
etwa Geraden.
Unter Beibehaltung des der Erfindung zugrundeliegenden
Verfahrenskonzepts ist eine Vielzahl sinnvoller Abwandlungen
des Verfahrens möglich. Insbesondere ist die anhand der
Fig. 2 und 3 beschriebene Verfahrensvariante nicht auf
die Herstellung von Düsen für Kraftfahrzeugeinspritzventile
beschränkt. Bestimmte Verfahrensschritte können weggelassen
oder durch andere ersetzt werden. Beispielsweise kann der
untere Wafer 10 im ersten Bearbeitungsdurchgang anstatt
durch Plasmatiefenätzen durch Naßätzen bearbeitet werden.
Ebenso ist denkbar, daß auch der obere Wafer 20 vor dem
Bonden bereits mittels eines der Ätzverfahren bearbeitet
wird. Weiterhin sind die für die Gestaltung des
Einlaufbereichs 26 beziehungsweise der Austrittsöffnung 27
vorgeschlagenen Geometrien nur beispielhaft. Möglich sind
auch beliebige andere Geometrien, die insbesondere nicht
rotationssymmetrisch sein müssen. Durch geeignete Führung
des aus der DE-PS 42 41 045 bekannten Verfahrens sind
selbstverständlich in allen Fällen Ätzstrukturen mit
kontrolliert geneigten Seitenwänden herstellbar.
Claims (26)
1. Verfahren zum Herstellen eines Durchbruches mit beliebig
geformter Austrittsöffnung durch einen Siliziumkörper, wobei
ein Teil des notwendigen Materialabtrags von einer Oberfläche
(19) des Siliziumkörpers (10) her durch ein Standard-Naßätzverfahren
erfolgt, dadurch gekennzeichnet, daß auf der
dabei erzeugten Struktur (13) eine passivierende Schutzschicht
(15) ausgebildet wird, und anschließend der Materialabtrag zur
Erzeugung der Kontur der Austrittsöffnung (14) von der
gegenüberliegenden Oberfläche (17) des Siliziumkörpers (10) her
durch ein Plasmatiefenätzverfahren erfolgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Siliziumkörper (10, 20) vor Durchführung des
Plasmatiefenätzverfahrens ganz flächig mit einer gegen das
Plasmaätzens schützenden Passivierschicht (11) versehen
wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Passivierschicht (11) aus Siliziumnitrid (Si₃N₄)
und/oder Siliziumoxid (SiO₂) besteht.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die durch das Naßätzverfahren erzeugte Struktur (13) vor
Durchführung des Plasmatiefenätzverfahrens durch thermische
Oxidation gegenüber den nachfolgenden Ätzschritten resistent
gemacht wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Oberflächen der durch das Naßätzen erzeugten Struktur
(13) mit einem ätzplasmabeständigen Material belegt werden.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die durch das Naßätzen erzeugte Struktur (13) vor
Durchführung des Plasmatiefenätzverfahrens mit einem
Polymermaterial (16) aufgefüllt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das Plasmatiefenätzverfahren abwechselnd Schritte zum
Materialabtrag durch Ätzen und zum Passivieren der erzeugten
Ätzstruktur durch Aufbringen einer Polymerschicht auf die
Strukturoberflächen aufweist.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
die Dicke der passivierenden Polymerschicht so eingestellt
wird, daß tiefer im Siliziumkörper (10) gelegene Teile der
Seitenwände der erzeugten Struktur mit zunehmender Dauer des
Ätzvorgangs angeätzt werden.
9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
ein Teil der Ätzschritte ohne Zwischenschaltung von
Passivierschritten durchgeführt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die
Ionenenergie bei den Plasmatiefenätzschritten so gewählt wird,
daß eine die Struktur definierende Maske (18) kontrolliert
zurückweicht.
11. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Passivierschichten (11, 15) nach Beendigung des
Plasmatiefenätzverfahrens durch ein gegenüber Silizium
selektives Lösungsmittel entfernt werden.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß
die Passivierschichten (11, 15) durch eine
O₂-Plasmabehandlung entfernt werden.
13. Verfahren zum Herstellen eines Durchbruches mit beliebig
geformter Austrittsöffnung durch einen Siliziumkörper, dadurch
gekennzeichnet, daß der Siliziumkörper durch Zusammenfügen
zweier Siliziumteilkörper (10, 20) aufgebaut wird, wobei der
Materialabtrag von der Oberfläche (19) des einen
Siliziumteilkörpers (10) her durch ein Standard-Naßätzverfahren
(128), von der gegenüberliegenden Oberfläche (23) des anderen
Teilkörpers (20) her durch ein Plasmatiefenätzverfahren (134)
erfolgt.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß
vor dem Zusammenfügen des ersten Siliziumteilkörpers (10)
mit dem zweiten Siliziumteilkörper (20) in die nach dem
Zusammenfügen innerhalb des Siliziumkörpers liegende
Oberfläche (17) des ersten Teilkörpers (10) eine Struktur
(26) eingeätzt wird (106), welche später Teil des
Durchbruchs (26, 27, 28) ist.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß
die Oberflächen des ersten Silizium-Teilkörpers (10) vor dem
Zusammenfügen thermisch oxidiert werden (110).
16. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß
die Oberflächen des zweiten Siliziumteilkörpers (20) vor dem
Zusammenfügen thermisch oxidiert werden (112).
17. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß
die Oberflächen des nach dem Zusammenfügen der
Siliziumteilkörper (10, 20) erhaltenen Siliziumkörpers mit
Siliziumnitrid (Si₃N₄) beschichtet werden (120).
18. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß
der nach dem Zusammenfügen der beiden Siliziumteilkörper
(10, 20) erhaltene Siliziumkörper zuerst einem
Materialabtrag durch ein Standardnaßätzverfahren (128)
anschließend einem Materialabtrag durch ein
Plasmatiefenätzverfahren (134) unterworfen wird.
19. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß
die Verbindung der Siliziumteilkörper (10, 20) erfolgt,
indem sie zunächst an den Verbindungsoberflächen
hydrophilisiert (114), danach mit den hydrophilisierten
Verbindungsoberflächen in innigen Kontakt gebracht werden
(116), und die Verbindung schließlich bei erhöhter
Temperatur verfestigt wird (118).
20. Siliziumkörper mit einem Durchbruch (26, 27, 28), dadurch
gekennzeichnet, daß die Kontur zumindest einer Austrittsöffnung
(27) des Durchbruchs (26, 27, 28) ringförmig oder als Ringelement
ausgebildet ist.
21. Siliziumkörper nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet,
daß der Übergang zwischen dem Durchbruch (26, 28) von der
Eintrittsöffnung her und der Austrittsöffnung (27) als Spalt
(30) mit einem im Vergleich zum Durchbruch (26, 27, 28)
kleinen Strömungsquerschnitt ausgebildet ist.
22. Siliziumkörper nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet,
daß der Durchbruch (26, 27, 28) Bereiche (26, 29) aufweist,
welche ein den Durchbruch durchströmendes Medium (K) von
seiner Eintrittsrichtung ablenken.
23. Siliziumkörper nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet,
daß die ablenkenden Bereiche (26, 29) gerade und/oder
gekrümmte Abschnitte (29) aufweisen, welche einem
durchströmenden Medium (K) eine rotatorische
Bewegungskomponente einprägen.
24. Siliziumkörper nach Anspruch 20, gekennzeichnet durch
einen zweiten Durchbruch (31, 32) zur Führung eines zweiten
Mediums (L), welcher im wesentlichen senkrecht zur
Eintrittsrichtung eines Mediums (K) in den ersten Durchbruch
(26, 27, 28) angelegt ist, und ebenfalls in die
Austrittsöffnung (27) mündet.
25. Siliziumkörper nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet,
daß der Übergang zwischen dem zweiten Durchbruch (31, 32) und
der Austrittsöffnung (27) als Spalt (33) mit einem im
Vergleich zum Durchbruch (31, 31) kleinen
Strömungsquerschnitt ausgebildet ist.
26. Siliziumkörper nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet,
daß der zweite Durchbruch (31, 32) gekrümmte Abschnitte (32)
aufweist, welche einem durchströmenden Medium (L) eine
rotatorische Bewegungskomponente einprägen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944442023 DE4442023C2 (de) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | Siliziumkörper mit einem Durchbruch mit frei definierbarer Austrittsöffnung und Verfahren zu seiner Herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19944442023 DE4442023C2 (de) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | Siliziumkörper mit einem Durchbruch mit frei definierbarer Austrittsöffnung und Verfahren zu seiner Herstellung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4442023A1 DE4442023A1 (de) | 1996-05-30 |
DE4442023C2 true DE4442023C2 (de) | 1997-02-06 |
Family
ID=6534159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19944442023 Expired - Fee Related DE4442023C2 (de) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | Siliziumkörper mit einem Durchbruch mit frei definierbarer Austrittsöffnung und Verfahren zu seiner Herstellung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4442023C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10114956A1 (de) * | 2001-03-27 | 2002-10-17 | Infineon Technologies Ag | Halbleiterbauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren |
US7044212B1 (en) | 2000-08-25 | 2006-05-16 | Net Nanofiltertechnik Gmbh | Refrigeration device and a method for producing the same |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3575373B2 (ja) | 1999-04-19 | 2004-10-13 | 株式会社村田製作所 | 外力検知センサの製造方法 |
US6444138B1 (en) | 1999-06-16 | 2002-09-03 | James E. Moon | Method of fabricating microelectromechanical and microfluidic devices |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3215411A1 (de) * | 1982-04-24 | 1983-10-27 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren zum herstellen von oeffnungen mit hilfe einer maske in einer auf einer unterlage befindlichen schicht |
DE4020724A1 (de) * | 1990-06-29 | 1992-01-02 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur strukturierung eines einkristallinen silizium-traegers |
DE4241045C1 (de) * | 1992-12-05 | 1994-05-26 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zum anisotropen Ätzen von Silicium |
-
1994
- 1994-11-25 DE DE19944442023 patent/DE4442023C2/de not_active Expired - Fee Related
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DE10114956C2 (de) * | 2001-03-27 | 2003-06-18 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Herstellen einer dielektrischen Schicht als Isolatorschicht für einen Grabenkondensator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4442023A1 (de) | 1996-05-30 |
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