DE4334811A1 - Positionserfassungsvorrichtung an einem Linearantrieb - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine auf Ultraschallbasis arbeitende Positionserfassungsvorrichtung an einem Linearantrieb, zur Erfassung der Axialposition eines im Gehäuse eines Linearantriebes axial beweglich angeordneten Antriebselementes, mit einer im radialen Umfangsbereich des Antriebselementes gehäusefest an­ geordneten Sensoreinrichtung, die einen sich in Längsrichtung des Gehäuses erstreckenden Schallwellenleiter aus für Magneto­ striktion geeignetem Material aufweist, der mit einer Auswerte­ einrichtung kommuniziert, und mit einer einen Permanentmagneten enthaltenden Magnetanordnung, die innerhalb des Gehäuses derart mit dem Antriebselement verbunden ist, daß ihr Magnetfeld auf den momentan radial benachbarten Bereich des Schallwellenleiters einwirkt.

Auf Ultraschallbasis arbeitende Positionserfassungsvorrichtungen gehören als solche zum Stand der Technik, ihr Arbeitsprinzip ist z. B. in der US 3 898 555 beschrieben. Beim dortigen Aus­ führungsbespiel enthält das Meßsystem einen Draht, der kon­ zentrisch in einem Röhrchen, dem sogenannten Schallwellenleiter, angeordnet ist, der aus magnetostriktivem Material besteht. Das Teil, dessen Position detektiert werden soll, ist mit einem Permanentmagneten verbunden, der sich längs des Schall­ wellenleiters bewegen kann. Ein durch den Draht hindurchge­ schickter kurzer Stromstoß erzeugt ein wanderndes Magnet­ feld, das lokal vom Magnetfeld des Permanentmagneten über­ lagert wird, so daß der Schallwellenleiter infolge Magneto­ striktion eine mechanische Verspannung erfährt. Dadurch wird auf dem Schallwellenleiter eine Torsionswelle ausgelöst, die sich mit Schallgeschwindigkeit fortsetzt und am Ende des Schall­ wellenleiters in elektrische Impulse umgesetzt wird. Die Zeit zwischen dem Auftreten dieser elektrischen Impulse und dem an­ fänglichen Stromimpuls ermöglicht die Positionsbestimmung.

Ein mit einer solchen Positionserfassungsvorrichtung ausge­ statteter Linearantrieb geht aus der EP 0 498 918 A1 hervor. Der Linearantrieb ist ein Arbeitszylinder, dessen vom Kolben gebildetes Antriebselement eine permanentmagnetische Magnet­ anordnung trägt, die von zwei beabstandeten Stabmagneten oder von einem Hufeisenmagneten gebildet ist. Die Anordnung ist so getroffen, daß zueinander beabstandete Polflächen radial orientiert sind und die austretenden Feldlinien unmittelbar auf den Schallwellenleiter gerichtet sind.

Die Auslegung der bekannten Magnetanordnung erfordert ziem­ lichen Aufwand. Nur dann, wenn das den Schallwellenleiter treffende Magnetfeld gewissen Kriterien hinsichtlich Dichte und Verlauf entspricht, ist eine zuverlässige Messung mit ver­ nachlässigbarem Meßfehler möglich. Es bedarf daher bei unter­ schiedlichen Einsatzbedingungen - beispielsweise bei Einsätzen an Arbeitszylindern unterschiedlicher Größe - von Fall zu Fall bestimmt ausgewählter und angeordneter Permanentmagnetteile. Eine derart erfolgende Auslegung ist relativ umständlich, zeit­ aufwendig und wegen der Vielzahl unterschiedlicher Permanent­ magnetteile relativ teuer.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Positions­ erfassungsvorrichtung für den Einsatz an einem Linearantrieb gemäß der eingangs genannten Art zu schaffen, die bei ein­ facherer und kostengünstigerer Auslegung der Magnetanordnung eine zuverlässige Positionsbestimmung ermöglicht.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß ein Permanentmagnet der Magnetanordnung als axial polarisiertes, ring- oder scheiben­ förmiges Magnetteil ausgebildet ist, das so mit dem Antriebs­ element verbunden ist, daß seine beiden Polflächen axial aus­ gerichtet sind, und daß die Magnetanordnung ferner ein koaxial neben einer der Polflächen des Magnetteils angeordnetes, ring- oder scheibenförmiges Polteil umfaßt.

Auf diese Weise läßt sich bereits mit einem einzigen Permanent­ magnetteil ein Magnetfeld mit einem Feldlinienverlauf schaffen, der eine zuverlässig und exakt auswertbare Betätigung der Sensor­ einrichtung ermöglicht. Als Magnetteil kann ein standardisiertes Teil verwendet werden, das sich bei unterschiedlichen Einsatz­ bedingungen verwenden läßt. Die spezielle Anpassung an den je­ weiligen Einsatzzweck erfolgt über das axial vorgeschaltete Polteil, das relativ preisgünstig ist, da es sich beispiels­ weise um ein einfaches ferromagnetisches Bauteil in Gestalt einer Stahlscheibe oder eines Stahlringes handeln kann. Die an der dem Polteil zugewandten Polfläche des ring- oder scheiben­ förmigen Magnetteils axial aus- oder eintretenden Feldlinien erfahren in dem Polteil eine Umlenkung, wobei durch die Ausge­ staltung des Polteils der die Sensoreinrichtung erreichende Feldlinienanteil z. B. in Verlauf und Dichte wunschgemäß beein­ flußt werden kann. Es bereitet keine Probleme, einen vorteil­ haft steilen Gradienten der Feldstärke einzustellen.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unter­ ansprüchen aufgeführt.

Obwohl die Magnetanordnung in bezug auf die Anzahl der Magnet­ teile und der Polteile prinzipiell keinen Beschränkungen unter­ liegt, wird außer einer Magnetanordnung, die lediglich ein einziges Magnetteil und ein einziges Polteil umfaßt, vor allem eine solche Magnetanordnung als vorteilhaft angesehen, die ein einziges Polteil und zwei Magnetteile enthält, wobei das Pol­ teil an axial entgegengesetzten Seiten jeweils von einem der axial polarisierten ring- oder scheibenförmigen Permantmagnet­ teile flankiert wird. Die Ausrichtung trifft man in diesem Falle vorzugsweise derart, daß sich Polflächen gleichnamiger Polari­ sierung gegenüberliegen. Auf diese Weise wird der magnetische Fluß beider Magnetteile in dem Polteil konzentriert radial nach außen gelenkt.

Wie sich gezeigt hat, liefert eine Magnetanordnung mit einem Polteil für die Auswertung ein Signal, das wesentlich weniger stark von Abstandsschwankungen zwischen der Magnetanordnung und dem Schallwellenleiter abhängt als bei einer polscheiben­ losen Magnetanordnung.

Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung ist die den Schallwellen­ leiter umfassende Sensoreinrichtung, die sich längsseits neben dem das Antriebselement aufnehmenden Gehäuseraum erstreckt, in einer kanalartigen Aufnahme untergebracht, die in die Ge­ häusewand des Linearantriebes integriert ist. Hierdurch ist gewährleistet, daß bei der Montage der Sensoreinrichtung auto­ matisch der gewünschte exakte Abstand zur Magnetanordnung des Antriebsteils eingehalten wird. Die Montage und Ausrichtung ist also im Vergleich zu einer Anordnung, bei der die Sensor­ einrichtung an der Außenseite des Zylindergehäuses angeordnet ist, erheblich vereinfacht. Auch ist es möglich, radial sehr nahe an den das Antriebselement aufnehmenden Gehäuseraum her­ anzurücken, so daß man schwächere und damit kostengünstigere Magnetteile verwenden kann. Diese Ausgestaltung ist im übrigen nicht nur bei der erfindungsgemäßen Magnetanordnung von Vorteil, sondern läßt sich auch im Zusammenhang mit auf beliebige andere Weise ausgestalteten Magnetanordnungen einsetzten, beispiels­ weise derjenigen, die in der EP 0 498 918 A1 beschrieben ist.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeich­ nung näher erläutert. Es zeigen im einzelnen:

Fig. 1 einen mit einer ersten Bauform der erfindungs­ gemäßen Positionserfassungsvorrichtung ausge­ statteten Linearantrieb im Längsschnitt gemäß Schnittlinie I-I aus Fig. 2,

Fig. 2 einen Querschnitt durch den Linearantrieb aus Fig. 1 gemäß Schnittlinie II-II, und

Fig. 3 ein vergrößertes Detail des Linearantriebes aus Fig. 1 im Bereich der Magnetanordnung, wo­ bei strichpunktiert die optionale Verwendung eines zweiten Magnetteils angedeutet ist.

Bei dem abgebildeten Linearantrieb 1 handelt es sich um einen fluidisch und vorzugsweise pneumatisch angetriebenen Arbeits­ zylinder. Er hat ein Gehäuse 2, in dem ein länglicher Gehäuse­ raum 3 ausgebildet ist, der ein beim Ausführungsbeispiel von einem Kolben gebildetes Antriebselement 4 axial bewegbar ge­ führt aufnimmt. An dem Antriebselement 4 ist ein beim Aus­ führungsbeispiel von einer Kolbenstange gebildetes stangen­ förmiges Übertragungselement 5 fest angebracht, welches den Gehäuseraum 3 koaxial durchzieht und wenigstens eine (6′) der beiden stirnseitigen Abschlußwände 6, 6′ des Gehäuses 2 nach außen hin durchsetzt. In der entsprechenden Durchbrech­ ung der Abschlußwand 6′ ist in an sich bekannter Weise eine Führungs- und/oder Dichtungsanordnung 7 für das Übertragungs­ element 5 angeordnet.

An dem Antriebselement 4 ist eine Dichtungsanordnung 8 vorge­ sehen, die mit der radial orientierten Innenumfangsfläche 12 des Gehäuseraumes 3 dichtend zusammenarbeitet. Auf diese Weise ist der Gehäuseraum 3 axial in zwei beidseits des An­ triebselements 4 angeordnete Arbeitsräume 10, 11 unterteilt, die mit in dem Gehäuse 2 verlaufenden Druckmittelkanälen 13 kommunizieren, um durch Zufuhr bzw. Abfuhr von Druckmittel eine gewünschte Bewegung des Antriebselements 4 in Richtung der Längsachse 14 des Gehäuseraumes 3 zu verursachen.

Der Linearantrieb 1 kann prinzipiell auch kolbenstangenlos ausgebildet sein, wobei dann andere Übertragungselemente vor­ gesehen sind, um eine Bewegungskopplung zwischen dem Antriebs­ element 4 und einer außerhalb des Gehäuseraumes 3 angeordneten Kraftabnahme herzustellen.

Das Gehäuse 2 des Linearantriebes 1 hat im Querschnitt ge­ sehen zweckmäßigerweise eine rechteckige Außenkontur, wie dies aus Fig. 2 hervorgeht. Die Innenkontur des Gehäuseraumes 3 und entsprechend die Außenkontur des Antriebselements 4 ist an sich beliebig, kann beispielsweise oval sein und ist vorzugsweise wie abgebildet kreisförmig.

Der Linearantrieb 1 ist mit einer allgemein mit 15 bezeichneten Positionserfassungsvorrichtung ausgestattet. Diese ermöglicht eine Bestimmung der momentanen Axialposition des Antriebs­ elements 4, um auf diese Weise z. B. eine Folgesteuerung weiterer Einrichtungen zu ermöglichen. Mit Hilfe der Positionserfas­ sungsvorrichtung 15 läßt sich jederzeit die aktuelle Posi­ tion des Antriebselements 4 mit Bezug zum Gehäuse 2 erfassen. Gewährleistet wird diese Erfassungsmöglichkeit durch die be­ sondere Ausgestaltung der Positionserfassungsvorrichtung, die praktisch ein Ultraschallwegmeßsystem darstellt. Solche Weg­ meßsysteme sind als solches schon sehr lange Stand der Technik, eine ausführliche Beschreibung findet sich beispielsweise in der US 3 898 555. Abgesehen von der Anordnung und Ausgestal­ tung der noch zu erläuternden und zur Abtastung dienenden Ma­ gnetanordnung kann die erfindungsgemäße Positionserfassungsvor­ richtung 15 den gleichen Aufbau wie die in der US 3 898 555 beschriebene haben. Eine detaillierte Erläuterung erübrigt sich daher an dieser Stelle, man kann sich auf die Grundlagen beschränken.

Die beispielsgemäße Positionserfassungsvorrichtung 15 verfügt über eine insgesamt stabähnliche Sensoreinrichtung 16, die im Bereich radial außerhalb des Gehäuseraumes 3 am Gehäuse 2 fest­ gelegt ist. Sie ist so ausgerichtet, daß ihre Längsachse 17 zu derjenigen (14) des Gehäuseraumes 3 parallel verläuft. Sie er­ streckt sich über die gesamte Hublänge des Antriebselements 4 und daher vorzugsweise zumindest über die gesamte Länge des Ge­ häuseraumes 3, den sie radial außen flankiert. Wie in Fig. 2 angedeutet, umfaßt die Sensoreinrichtung 16 ein rohrförmiges Teil, den sogenannten Schallwellenleiter 18, der aus magneto­ striktivem Material besteht. Es handelt sich also um einen Stoff, der unter Einfluß eines Magnetfeldes z. B. eine Quer­ schnitts- und Längenänderung erfährt und insbesondere ferro­ magnetisch ist. Seine Längsachse fällt mit der Längsachse 17 zusammen. Konzentrisch innerhalb des röhrchenförmigen Schall­ wellenleiters 18 erstreckt sich ein z. B. von einem Draht ge­ bildeter elektrischer Leiter 22. Radial außerhalb des Schall­ wellenleiters 18 ist zweckmäßigerweise noch ein zu letzterem koaxial angeordnetes und insbesondere ebenfalls rohrförmiges Schutzgehäuse 23 vorgesehen, welches unmagnetisch ist und vor­ zugsweise aus Kunststoffmaterial besteht. Es schützt die aus Schallwellenleiter 18 und elektrischem Leiter 22 bestehende Einheit vor Beschädigungen. Der radiale Spalt zwischen dem Schallwellenleiter 18 und dem diesen konzentrisch umgebenden Schutzgehäuse 23 kann mittels Querstegen 24 überbrückt sein, die eine exakte Zentrierung in dem Schutzgehäuse 23 bewirken.

An dem einen stirnseitigen Endbereich der Sensoreinrichtung 16 ist eine gestrichelt angedeutete Dämpfungsstrecke 25 für Schall­ wellen angeordnet. Die entgegengesetzte axiale Stirnseite der Sensoreinrichtung 16 steht mit einer Auswerteeinrichtung 26 in Verbindung.

Zur Positionserfassungsvorrichtung 15 gehört des weiteren eine sich im Gehäuseraum 3 befindende Magnetanordnung 27, die mit dem Antriebselement 4 mitbewegbar verbunden und insbesondere unmittelbar an dem Antriebselement angebracht ist. Sie dient als Indikator der Sensoreinrichtung 16 und liefert zusammen mit dem Stromimpuls das den Wiedemanneffekt hervorrufende Magnetfeld, von dem in Fig. 3 eine Feldlinie 32 repräsentativ angedeutet ist. Das Magnetfeld der Magnetanordnung 27 strahlt radial nach außen ab und durchsetzt dabei den Schallwellenleiter 18. Die Position dieses Durchsetzungsbereiches 29 verlagert sich axial entsprechend der axialen Verlagerung des Antriebsele­ ments 4.

Im Betrieb wird von der Auswerteeinrichtung 26 ein Stromimpuls durch den elektrischen Leiter 22 hindurchgeschickt. Er erzeugt ein mit nahezu Lichtgeschwindigkeit axial wanderndes zirkulares Magnetfeld, das auch in dem Schallwellenleiter 18 verläuft. Er­ reicht dieses Magnetfeld den erwähnten Durchsetzungsbereich 29, erzeugt die Überlagerung des zirkularen Magnetfeldes des Stromes und des Feldes der permantentmagnetischen Magnetanordnung 27 in dem Durchsetzungsbereich infolge Magnetostriktion eine mecha­ nische Verspannung des Schallwellenleiters 18. Dieser Effekt ist als Wiedemann-Effekt bekannt. Als Resultat wird auf dem Schall­ wellenleiter eine Torsionswelle ausgelöst, die den Schallwellen­ leiter mit Schallgeschwindigkeit durchläuft, und zwar ausgehend vom Durchsetzungsbereich 29 in beide axiale Richtungen. Die eine Torsionswelle wird in der Dämpfungsstrecke 25 bis auf ein erträg­ liches Maß gedämpft (Echosignal wird verringert). Die andere läuft in Richtung zur Auswerteinrichtung 26 und wird am Ende des Schallwellenleiters 18 in einem Wandler, wie er beispielsweise in der US 3 898 555 beschrieben ist, in einen Stromimpuls umge­ wandelt. Aus einer in der Auswerteeinrichtung 26 erfolgenden Zeitmessung zwischen der Startzeit des Eingangs-Stromimpulses und dem Eintreffzeitpunkt des resultierenden Ausgangs-Stromimpulses läßt sich die Position der Magnetanordnung 27 und damit diejenige des Antriebselementes 4 und einer gegebenenfalls an dem Über­ tragungselement 5 angebrachten und zu bewegenden Last bestimmen.

Die beim Ausführungsbeispiel vorhandene und bevorzugt ver­ wendete Magnetanordnung 27 umfaßt ein einziges permanent­ magnetisches ringförmiges Magnetteil 33 sowie ein einziges, aus ferromagnetischem Material bestehendes ringförmiges Pol­ teil 34, das an einer Axialseite des Magnetteils 33 ange­ ordnet ist. Das ringförmige Magnetteil 33 ist axial polari­ siert, so daß seine beiden in Axialrichtung weisenden Stirn­ flächen zwei Polflächen 35, 36 mit entgegengesetzter Polari­ sierung bilden. Die Polflächen 35, 36 verlaufen also jeweils in einer Ebene rechtwinkelig zur Längsachse 14. Das Polteil 34 ist koaxial mit Bezug zum Magnetteil 33 angeordnet, wobei seine eine axiale Stirnfläche 37 der einen Polfläche 35 zugewandt ist, bevorzugt liegt die Stirnfläche 37 an der zugewandten Polfläche 35 ohne Zwischenraum unmittelbar an.

Als zweckmäßig hat es sich erwiesen, das Polteil 34 an der­ jenigen Polfläche 35 anzuordnen, an der sich der Nordpol N des ringförmigen dauermagnetischen Magnetteils 33 befindet.

Die Magnetanordnung 27 ist zweckmäßigerweise insgesamt eine kreiszylindrische Anordnung, wobei das Magnetteil 33 und das Polteil 34 jeweils einen kreisförmig konturierten Außenumfang besitzen, wobei die Außendurchmesser beider Teile vorzugsweise identisch sind. Die Magnetanordnung 27 ist im übrigen auch vor­ zugsweise koaxial mit Bezug zum Gehäuseraum 3 angeordnet, so daß ihre Längsachse mit der Längsachse 14 zusammenfällt.

Aus der vergrößerten Darstellung gemäß Fig. 3 ist zu entnehmen, daß die Feldlinien 32 des von dem Magnetteil 33 erzeugten Magnetfeldes durch das anschließende Polteil 34 einseitig radial nach außen gelenkt werden und dabei im Bereich des radialen Außen­ umfanges des Polteils 34 im wesentlichen senkrecht zu der Außen­ umfangsfläche des Polteils 34 gerichtet sein können. Dadurch treten die Feldlinien 32 an der radial gegenüberliegenden Stelle der Sensoreinrichtung 16 relativ steil in den Schall­ wellenleiter ein. Auch die Feldliniendichte ist dort relativ hoch. Im Gegensatz dazu erfolgt der Eintritt der von der ent­ gegengesetzten polteillosen Polfläche 36 ausgehenden Feld­ linienabschnitte erheblich weniger steil und relativ spitz­ winkelig mit Bezug zur Längsachse 17, so daß sich insgesamt ein sehr ausgeprägter Feldlinienverlauf einstellt, der ein zuverlässig erfaßbares Schallwellensignal erzeugt. Die Posi­ tionsbestimmung kann sehr exakt erfolgen, da die Genauigkeit von eventuellen Abstandsschwankungen zwischen der Magnetan­ ordnung und dem Schallwellenleiter kaum beeinträchtigt wird.

Durch das vorgeschaltete Polteil 34 ist also die Möglichkeit gegeben, den Feldlinienverlauf zu beeinflussen und dem Bedarf entsprechend auszurichten. Variationsmöglichkeiten sind bei­ spielsweise Dicke, Durchmesser oder Materialauswahl des Pol­ teils. Man hat auf diese Weise die Möglichkeit, die Anpas­ sung der Magnetanordnung an die unterschiedlichen Gegeben­ heiten des jeweiligen Linearantriebes über die geeignete Aus­ wahl des Polteils vorzunehmen, das sich relativ kostengünstig herstellen läßt, wobei man als Magnetteil auf Standardteile zurückgreift, die man nicht von Fall zu Fall in spezieller Ausgestaltung anfertigen muß.

Eine ebenfalls vorteilhaft arbeitende Variante der Magnetan­ ordnung 27 ist noch in Fig. 3 angedeutet. Bei dieser Variante ist zusätzlich ein zweites ringförmiges und dauermagnetisches Magnetteil 33′ vorgesehen (strichpunktiert eingezeichnet), das sich an der der axialen Stirnfläche 37 axial entgegen­ gesetzten Stirnfläche 37′ des Polteils 34 befindet. Das Polteil 34 ist dadurch axial beidseits von jeweils einem Magnetteil 33, 33′ flankiert, die vorzugsweise so ausgerichtet sind, daß ihre Polflächen mit gleichnamiger Polarisierung einander zugewandt sind. Beispielsgemäß wird das Polteil 34 beidseits unmittelbar von Nordpolflächen flankiert.

Das Polteil und ein jeweiliges Magnetteil sind beim Ausführungs­ beispiel jeweils einstückig ausgebildet. Es versteht sich je­ doch, daß jeweils auch eine mehrteilige Ausführungsform möglich ist, beispielsweise indem relativ dünne lamellenartige Teile aufeinandergeschichtet werden.

Des weiteren kann es sich bei den vorhandenen Pol- und Magnet­ teilen 34, 33, 33′ von Fall zu Fall auch um ungelochte Scheiben­ teile handeln, auch Kombinationen von Ring- und Scheibenteilen sind möglich. Die Ringgestalt, die man je nach den Gegebenheiten auch als Lochscheibengestalt bezeichnen könnte, hat im vor­ liegenden Falle unter anderem den Vorteil einer einfachen Zen­ trierung und Lagerung am Antriebselement 4.

Das Antriebselement 4 selbst besteht aus unmagnetischem, nicht magnetisierbarem Material wie Aluminium oder Kunststoff. Auch das Übertragungselement 5 sollte möglichst nicht oder nur ge­ ring magnetisierbar sein. Die Magnetanordnung 27 ist beim Aus­ führungsbeispiel vollständig in das Antriebselement 4 einge­ bettet und allseits von diesem umschlossen. Einerseits ist die Magnetanordnung dadurch gut geschützt, andererseits wird ver­ hindert, daß eventuelle metallische Partikel der Magnetanord­ nung auf die die Lauffläche für das Antriebselement 4 bildende Innenumfangsfläche 12 gelangen und einen Verschleiß verur­ sachen.

Das Antriebselement 4 umfaßt vorliegend zwei axial aufeinander­ folgend angeordnete Bestandteile bzw. Kolbenteile 38, 38′, die fest zusammengehalten werden. Im Innern des Antriebselements 4 befindet sich ein Aufnahmeraum 39, in dem die Magnetanordnung 27 angeordnet ist, die koaxial auf einen Endabschnitt 40 des Übertragungselements 5 aufgeschoben ist. Im getrennten Zustand der beiden Bestandteile 38 ist der Aufnahmeraum 39 zur Mon­ tage oder Demontage der Magnetanordnung 27 offen. Den Zusammen­ halt der Anordnung gewährleistet ein endseitig auf das Übertragungselement 5 aufgeschraubtes Befestigungselement 45, das die Gesamtanordnung des Antriebselements 4 gegen eine Ring­ stufe 41 des Übertragungselements 5 spannt.

Zweckmäßigerweise ist vorgesehen, daß im Falle einer Magnet­ anordnung 27 mit wie vorliegend einem einzigen Polteil 34 letzteres axial mittig im Antriebselement 4 angeordnet ist.

Im Bereich der Trennstelle zwischen den beiden Bestandteilen 38 kann am Außenumfang des Antriebselements 4 ein Gleitring 45 vorgesehen sein, der für eine relativ verschleißfreie Zu­ sammenarbeit mit der Innenumfangsfläche 12 sorgt.

Ein weiterer Vorteil der beispielsgemäßen Positionserfassungs­ vorrichtung 15 ergibt sich aus der Art der Anbringung der stab- oder stangenähnlichen Sensoreinrichtung 16. Es sind Maßnahmen getroffen, die dafür sorgen, daß die Sensoreinrichtung 16 nur in vorbestimmten Ausrichtungen mit Bezug zum Gehäuseraum 3 ange­ ordnet werden kann, so daß bei der Erstmontage und auch im Falle eines notwendig gewordenen Austausches keine problema­ tischen Justieraufgaben zu bewältigen sind. Diese nachfolgend beschriebenen Maßnahmen sind bei der zuvor erläuterten bei­ spielsgemäßen Magnetanordnung 27 besonders vorteilhaft, doch lassen sie sich auch im Zusammenhang mit jedweder sonstigen Ausgestaltung der Magnetanordnung 27 einsetzen.

Die erwähnten Maßnahmen bestehen im wesentlichen darin, daß die Sensoreinrichtung nicht am Außenumfang des Gehäuses 2 ange­ ordnet, sondern in einer kanalähnlich ausgebildeten Aufnahme 46 aufgenommen ist, die in die Wand 47 des Gehäuses 2 inte­ griert ist. Die Aufnahme 46 befindet sich also innerhalb der Gehäusewand 47 des Linearantriebes 1, so daß sich eine starre, unveränderliche Zuordnung zu dem das Antriebselement 4 mit der Magnetanordnung 27 aufnehmenden Gehäuseraum 3 ergibt. Die Querschnittskontur der Aufnahme 46 ist an diejenige der Sensoreinrichtung 16 - vorliegend an diejenige des Schutz­ gehäuses 23 - angepaßt, so daß die Sensoreinrichtung 16 in Querrichtung der Aufnahme 46 praktisch spielfrei aufgenommen ist. Um dies zu gewährleisten, ist es am einfachsten, die Konturen der Aufnahme 46 und der Sensoreinrichtung 16 komplementär zu­ einander auszubilden. Wird die Sensoreinrichtung 16 in die Auf­ nahme 46 eingesteckt, ergibt sich somit automatisch der vorbe­ stimmte und gewünschte Radialabstand zur Magnetanordnung 27.

Es versteht sich, daß die Sensoreinrichtung 16 zweckmäßiger­ weise lösbar in die zugeordnete Aufnahme 46 einsteckbar ist. Daher ist die Aufnahme 46 beim Ausführungsbeispiel im Bereich zumindest einer Stirnseite offen, wobei die Öffnung eine Ein­ stecköffnung 48 bildet, über die die Steckmontage oder die Ent­ nahme der Sensoreinrichtung 16 erfolgt. An der entgegenge­ setzten Stirnseite kann die Aufnahme 46 wie abgebildet ge­ schlossen sein.

Um auch eine stets reproduzierbare Einstecktiefe der Sensor­ einrichtung 16 zu gewährleisten, sind vorzugsweise zusätz­ liche Begrenzungsmittel 49 vorgesehen, die die Einstecktiefe vorgeben. Sie sind beispielsgemäß gebildet von einer neben der Einstecköffnung 48 angeordneten gehäusefesten Fläche 50 und einer mit dieser zusammenarbeitenden Bauteilfläche 51 der Auswerteeinrichtung 26, die in axial starrer Verbindung mit der Sensoreinrichtung 16 steht. Besagte Fläche 50 kann insbesondere eine dem Gehäuseraum 3 axial entgegengesetzte Stirnfläche des Gehäuses 2 und insbesondere der zugeordneten Abschlußwand 6 sein, wie dies beim Ausführungsbeispiel der Fall ist. Hier befindet sich auch die Einstecköffnung 48 an besagter Stirnfläche der Abschlußwand 6. Diese Abschlußwand 6 ist zweck­ mäßigerweise diejenige, die vom Übertragungselement 5 nicht durchsetzt wird. Auch im Einsatz des Linearantriebes 1 ist daher ein ungefährliches Auswechseln der Sensoreinrichtung 16 möglich, da nur an der Rückseite des Linearantriebes 1 zu mani­ pulieren ist.

Die stirnseitig an das Gehäuse 2 anschließende Auswerteeinrich­ tung 26 ist zweckmäßigerweise in einem Schutzraum 52 unterge­ bracht, der sich beispielsgemäß vollständig in einem Schutzge­ häuse 53 befindet, das stirnseitig an das Gehäuse 2 insbesondere lösbar angesetzt ist. Die äußere Querschnittskontur des Schutz­ gehäuses 53 stimmt vorzugsweise mit derjenigen des Gehäuses 2 zusammen, so daß sich durchgehend eine einheitliche Kontur ein­ stellt.

Zum Anschluß an eine Stromversorgung oder eine weitere über- oder nebengeordnete Auswerteeinheit verfügt das Schutzgehäuse 53 über eine Wanddurchbrechung 54, die die Durchführung eines mit der Auswerteeinrichtung 26 verbundenen Kabels 55 gestattet. An Stelle des direkten Kabelanschlusses kann vorzugsweise auch eine lösbare Steckverbindung erfolgen. So kann z. B. eine erste Leitungsanordnung zwischen der Auswerteeinrichtung 26 und einer am Schutzgehäuse 53 vorgesehenen internen Steckver­ bindungseinrichtung vorgesehen sein, die ihrerseits mit einer weiteren externen Leitungsanordnung lösbar verbindbar ist, welche zu der Auswerteeinheit geführt werden kann. Jede Leitungs­ anordnung kann als flexibles Kabel ausgeführt sein.

Das Gehäuse 3 ist vorzugsweise als Strangpreßteil ausgebildet, in das bei der Fertigung die Aufnahme 46 unmittelbar eingeformt wird. Bevorzugt handelt es sich um ein Aluminium-Strangpreß­ profilteil. Auf diese Weise erübrigt sich eine aufwendige Nach­ arbeit, z. B. Tieflochbohren. Auch kann man auf diese Weise noch andere erforderliche Kanäle mit einbringen.

Claims (13)

1. Auf Ultraschallbasis arbeitende Positionserfassungsvor­ richtung (15) an einem Linearantrieb (1), zur Erfassung der Axialposition eines im Gehäuse (2) eines Linearantriebes (1) axial beweglich angeordneten Antriebselementes (4), mit einer im radialen Umfangsbereich des Antriebselementes (4) gehäusefest angeordneten Sensoreinrichtung (16), die einen sich in Längs­ richtung des Gehäuses (2) erstreckenden Schallwellenleiter (18) aus für Magnetostriktion geeignetem Material aufweist, der mit einer Auswerteeinrichtung (26) kommuniziert, und mit einer einen Permanentmagneten enthaltenden Magnetanordnung (27), die innerhalb des Gehäuses (2) derart mit dem Antriebs­ element (4) verbunden ist, daß ihr Magnetfeld (32) auf den momentan radial benachbarten Bereich des Schallwellenleiters (18) einwirkt, dadurch gekennzeichnet, daß ein Permanentmagnet der Magnetanordnung (27) als axial polarisiertes, ring- oder scheibenförmiges Magnetteil (33) ausgebildet ist, das so mit dem Antriebselement (4) verbunden ist, daß seine beiden Pol­ flächen (35, 36) axial ausgerichtet sind, und daß die Magnet­ anordnung (27) ferner ein koaxial neben einer der Polflächen (35) des Magnetteils (33) angeordnetes, ring- oder scheiben­ förmiges Polteil (34) umfaßt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Polteil (34) der Magnetanordnung (27) koaxial beidseits von einem jeweils axial polarisierten ring- oder scheibenförmigen permanentmagnetischen Magnetteil (33, 33′) flankiert ist, wobei die beiden Magnetteile (33, 33′) so angeordnet sind, daß ihre Polflächen mit gleichnamiger Polarisierung einander zugewandt sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Polteil (34) auf der Seite der Nordpolfläche (35) eines jeweiligen Magnetteils (33, 33′) angeordnet ist.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetanordnung (27) zumindest teil­ weise in das Antriebselement (4) eingebettet ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Magnetanordnung (27) vollständig von dem Antriebselement (4) umschlossen ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Antriebselement (4) zwei axial aufeinanderfolgend angeordnete Bestandteile (38) hat, die einen Aufnahmeraum (39) begrenzen, der die Magnetanordnung (27) aufnimmt.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die ring- oder scheibenförmigen Teile (33, 33′, 34) der Magnetanordnung (27) unmittelbar aneinander an­ liegen.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Linearantrieb (1) ein Arbeitszylinder und das Antriebselement (4) dessen Kolben ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die längsseits neben dem das Antriebselement (4) aufnehmenden Gehäuseraum (3) angeordnete Sensoreinrichtung (16) in einer in die Wand (47) des Gehäuses (2) des Linearan­ triebes (1) integrierten und parallele zur Gehäuselängsachse (14) verlaufenden kanalartigen Aufnahme (46) angeordnet ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (3) als Strangpreßprofilteil ausgebildet ist, das vorzugsweise aus Aluminiummaterial besteht.

11. Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die kanalartige Aufnahme (46) an wenigstens einer Stirnseite unter Bildung einer Einstecköffnung (48) für die Sensoreinrichtung (16) offen ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinrichtung (26) in einem sich axial an die kanalartige Aufnahme (46) anschließenden Schutz­ raum (52) untergebracht ist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Schutzraum (52) zumindest teilweise in einem axial an das Gehäuse (2) des Linearantriebes (1) angesetzten Schutzgehäuse (53) befindet.