DE102004016622A1 - Positionssensoranordnung - Google Patents
Positionssensoranordnung Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004016622A1 DE102004016622A1 DE200410016622 DE102004016622A DE102004016622A1 DE 102004016622 A1 DE102004016622 A1 DE 102004016622A1 DE 200410016622 DE200410016622 DE 200410016622 DE 102004016622 A DE102004016622 A DE 102004016622A DE 102004016622 A1 DE102004016622 A1 DE 102004016622A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- core
- position sensor
- sensor arrangement
- arrangement according
- elongated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/22—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
- G01D5/2291—Linear or rotary variable differential transformers (LVDTs/RVDTs) having a single primary coil and two secondary coils
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Es wird eine Positionssensoranordnung mit einem weichmagnetischen, lang gestreckten Kern (10) vorgeschlagen, auf dem eine durch eine Wechselspannung beaufschlagbare Primärspule (L2) sowie zwei voneinander beabstandete, in Reihe geschaltete, gegengepolte Sekundärspulen (L1, L3) angeordnet sind. Ein Messobjekt (15) weist einen den Kern (10) an der jeweiligen Position sättigenden Permanentmagneten (16) auf und bewegt sich in einer Relativbewegung entlang des Kerns (10). Eine Auswerteeinrichtung (18) ist wenigstens zur Erfassung der in den Sekundärspulen (L1, L3) induzierten Differenzspannung vorgesehen. Der lang gestreckte Kern (10) besteht aus zwei parallelen, lang gestreckten Kernlängsbereichen (11, 12), von denen einer (11) die Spulen (L1-L3) trägt, wobei die lang gestreckten Kernlängsbereiche (11, 12) an ihren Enden unter Bildung eines geschlossenen Kerns durch Querbereiche (13, 14) miteinander verbunden sind. Durch den geschlossenen Kern können Nebenmaxima außerhalb des aktiven Sensorbereichs verhindert oder deutlich reduziert werden, und die Empfindlichkeit des Sensors erhöht sich bei gleichem Kernquerschnitt.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Positionssensoranordnung mit einem weichmagnetischen, langgestreckten Kern, auf dem eine durch eine Wechselspannung beaufschlagbare Primärspule sowie zwei voneinander beabstandete, in Reihe geschaltete, gegengepolte Sekundärspulen angeordnet sind, mit einem entlang des Kerns in einer Relativbewegung bewegbaren Messobjekt, das einen den Kern an der jeweiligen Position sättigenden Permanentmagneten aufweist, wobei eine Auswerteeinrichtung wenigstens zur Erfassung der in den Sekundärspulen induzierten Differenzspannung vorgesehen ist.
- Eine derartige, aus der
DE 44 259 04 A1 bzw. der korrespondierendenUS 5781006 bekannte Positionsanordnung besitzt einen langgestreckten, stabförmigen Magnetkern, dessen Länge der Länge der Primärspule entspricht. Die beiden Sekundärspulen sind auf der Primärspule an deren entgegengesetzten Endbereichen angeordnet. - Nachteilig an der bekannten Anordnung ist zum einen die große Totlänge des Sensors, das heißt, die effektive Messlänge bezogen auf die Sensorlänge ist relativ gering. Als weiterer gravierender Nachteil hat sich die Empfindlichkeit auf Nebenmaxima herausgestellt, die sich außerhalb des aktiven Sensorbereichs befinden und deren Messsignale sich vom Nutzmesssignal im Sensorbereich nicht unterscheiden lassen. Die Nebenmaxima entstehen durch die Empfindlichkeit auf negative axiale Feldkomponenten und durch die Unempfindlichkeit auf radiale Feldkomponenten.
- Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, bei einer Positionssensoranordnung der eingangs genannten Gattung die effektive Messlänge bezogen auf die Sensorlänge zu vergrößern und Nebenmaxima außerhalb des aktiven Sensorbereichs zu verhindern oder möglichst weitgehend zu reduzieren.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der langgestreckte Kern aus zwei parallelen, langgestreckten Kernlängsbereichen besteht, von denen einer die Spulen trägt, und dass die langgestreckten Kernlängsbereiche jeweils an ihren Enden unter Bildung eines geschlossenen Kerns durch Querbereiche miteinander verbunden sind.
- Der geschlossene Kern hilft in vorteilhafter Weise die bisher beim Stand der Technik vorhandenen Nebenmaxima zu unterdrücken, da er gleichermaßen empfindlich ist für die axiale wie die radiale Feldkomponente des Permanentmagneten. Die Spannung über der Primärspule bildet somit ein zuverlässiges Bereichs-Kriterium, mit dessen Hilfe Doppeldeutigkeiten im Messsignal der Spulen ausgeschlossen werden können. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass sich durch die höhere effektive Permeabilität im geschlossenen Kern die Empfindlichkeit des Sensors bei gleichem Kernquerschnitt erhöht.
- Schließlich wird noch erreicht, dass sich die effektive Messlänge bezogen auf die Sensorlänge vergrößert.
- Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch 1 angegebenen Positionssensoranordnung möglich.
- Der geschlossene Kern ist zweckmäßigerweise als langgestreckter Rechteckkern ausgebildet.
- Eine weitere Vergrößerung der effektiven Messlänge bezogen auf die Sensorlänge wird dadurch erreicht, dass die Bewegungsbahn des Messobjekts entlang des keine Spulen aufweisenden Kernlängsbereichs verläuft, wobei der die Spulen tragende andere Kernlängsbereich von der Bewegungsbahn abgewandt ist.
- Als vorteilhaft hat es sich auch erwiesen, wenn die Primärspule in der Längsrichtung des Kerns zwischen den beiden Sekundärspulen angeordnet ist.
- In einer bevorzugten Auslegung ist eine den Kern durch das magnetische Wechselfeld in die Nähe der Sättigungsinduktion des Kernmaterial treibende Windungszahl der Primärspule, Fre quenz und Amplitude des Wechselstroms vorgesehen, wobei die Frequenz vorzugsweise zwischen 10 kHz und 200 kHz beträgt. Dabei sollen sich die Verluste in Grenzen halten und die Reaktionszeit der Sensoranordnung in der Größenordnung von ca. 1 ms verbleiben.
- Zur Vorgabe des Messbereichs ist die Auswerteeinrichtung in vorteilhafter Weise auch zur Erfassung der Spannung über der Primärspule ausgebildet, wobei das Über- oder Unterschreiten einer vorgebbaren Schwellspannung durch die Messspannung den Messbereich begrenzt.
- In einer vorteilhaften konstruktiven Ausgestaltung ist der als Rechteckkern ausgebildete Kern aus U-Kernen zusammengesetzt, wobei die langgestreckten U-Schenkel aneinanderliegen und die Querschenkel die beiden entgegengesetzten Querbereiche bilden. Dadurch wird eine Verkleinerung der Wirbelstromverluste bewirkt sowie eine Erhöhung der gemessenen Spannungen an der Primärspule und Sekundärspule.
- Um die einzelnen Kerne gegeneinander zu isolieren, sind diese zweckmäßigerweise mit einer Isolierschicht, insbesondere einem Isolierlack, überzogen. Der Kernquerschnitt der einzelnen U-Kerne sollte kleiner als 1,5 mm sein.
- Zur Fixierung der U-Kerne aneinander werden die die beiden Kernlängsbereiche bildenden U-Kerne zum einen durch einen Spulenkörper und zum anderen durch ein insbesondere als Schrumpfschlauch ausgebildetes Halteelement zusammengehalten.
- Die Positionssensoranordnung hat sich als besonders zur Positionserfassung des angetriebenen Elements eines Linearantriebs geeignet erwiesen, wobei der Kern in einer Längsnut am Gehäuse des Linearantriebs und der Permanentmagnet am angetriebenen Element des Linearantriebs angeordnet ist.
- Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
-
1 eine schematische Darstellung der Positionssensoranordnung als Ausführungsbeispiel der Erfindung, -
2 die Darstellung der konstruktiven Ausbildung eines Kerns, der aus U-Kernen zusammengesetzt ist, -
3 ein Signaldiagramm zur Erläuterung der Spannungsverhältnisse an der Primärspule und -
4 ein Signaldiagramm zur Erläuterung der Spannungsverhältnisse an den Sekundärspulen. - Die in
1 dargestellte Positionssensoranordnung besitzt einen langgestreckten, rechteckförmigen Kern10 aus weichma gnetischem Material, beispielsweise kristallinem, amorphem oder ferritischem Material. Der rechteckförmige Kern10 besteht aus zwei langgestreckten, parallelen Kernlängsbereichen11 ,12 und zwei diese an den Endbereichen verbindenden, wesentlich kürzeren Querbereichen13 ,14 . Auf dem einen Kernlängsbereich11 sind mittig eine Primärspule L2 und an den beiden Endbereichen zwei Sekundärspulen L1 und L3 angeordnet. Entlang dem nicht mit den Spulen L1 bis L3 versehenen Kernlängsbereich12 ist ein Messobjekt15 verfahrbar, dessen Position bestimmt werden soll. Das Messobjekt15 ist beispielsweise der Kolben eines Arbeitszylinders oder ein sonstiges angetriebenes Teil eines Linearantriebs. Das Messobjekt15 trägt einen Permanentmagneten16 . - Die Primärspule L2 wird von einer Wechselstromquelle
17 beaufschlagt, wobei die Windungszahl der Primärspule L2 sowie die Frequenz und Amplitude des Wechselstroms der Wechselstromquelle17 so gewählt werden, dass das magnetische Wechselfeld den Kern10 in die Nähe der Sättigungsinduktion des Kernmaterials treibt, dass sich jedoch andererseits die Verluste in Grenzen halten und die Reaktionszeit der Positionssensoranordnung in der Größenordnung von ca. 1 ms bleibt. Typische Frequenzen hierzu sind 10 bis 200 kHz. - In einer Auswerteeinrichtung
18 , in der im Ausführungsbeispiel auch die Wechselstromquelle17 enthalten ist, werden die Primärspannung U1 und die Sekundärspannung U2 gemessen. - Die Auswertung wird im Folgenden anhand der in den
3 und4 dargestellten Diagramme erläutert. - Nähert sich das Messobjekt
15 mit dem Permanentmagneten16 dem Kern10 , so wird dieser lokal gesättigt. Es bilden sich Streuluftfelder aus, die den magnetischen Wechselfluss im Kern verändern und verzerren. Gleichzeitig erhöhen sich die Gesamtverluste, sodass sich die Spannung U1 über der Primärspule L2 bei eingeprägtem Strom verringert. Dieser Spannungsabfall wird erfindungsgemäß dazu benutzt, die Anwesenheit des Messobjekts15 zu detektieren. Dabei hilft der geschlossene Kern, die bisher beim Stand der Technik vorhandenen Nebenmaxima zu unterdrücken, da er gleichermaßen empfindlich ist auf die axiale wie auf die radiale Feldkomponente des Permanentmagneten16 . Die gestrichelten Linien zeigen die Nebenmaxima bei der eingangs genannten bekannten Anordnung, die erfindungsgemäß unterdrückt werden, wie aus3 hervorgeht. Die Spannung U1 über der Primärspule L2 dient als zuverlässiges Kriterium, den Messbereich festzulegen. Hierzu wird eine Schwelle S festgelegt, wobei deren Unterschreiten durch die Spannung U1 den Messbereich M definiert. Bei den bekannten Anordnungen müsste diese Schwellspannung S wesentlich niedriger gelegt werden, um zu verhindern, dass die Nebenmaxima Fehlsignale erzeugen. Dies würde den Messbereich verringern. - Durch die Erregung der mittleren Primärspule L2 und die Wechselstromquelle
17 wird im geschlossenen Kern10 ein magneti scher Fluss erzeugt, welcher durch die beiden äußeren Sekundärspulen L1 und L3 gemessen wird. Die beiden Sekundärspulen L1 und L3 sind gegensinnig gepolt, sodass die Sekundärspannung U2 in der Mittelstellung des Permanentmagneten16 (Position 2) zu null wird. Außerhalb der Mitte entsteht eine von null verschiedene Spannung U2, die außerdem zur Primärspannung U1 phasenverschoben ist. Die Phasenverschiebung kommt dadurch zustande, dass, wenn sich der Permanentmagnet 16 zum Beispiel auf der rechten Seite des Kerns10 befindet (Position 3), dieser an dieser Stelle durch die lokale Sättigung aufgetrennt wird. Dadurch fließt der Großteil des magnetischen Flusses durch die linke Sekundärspule L1. Bewegt sich der Magnet nun zur mittleren Position2 , so sind beide Magnetflüsse in den Spulen L1 und L3 gleichgroß und heben sich durch die Gegenpolung auf. Bei einer weiteren Verschiebung zur Position1 hin kehren sich die Verhältnisse um, und es fließt mehr Strom durch die Sekundärspule L3. Dadurch entsteht gemäß4 ein nahezu lineares Wegsignal innerhalb des Messbereichs M. Die Empfindlichkeit der Sensoranordnung lässt sich an die Stärke des Magnetfeldes des Permanentmagneten16 durch die Wahl der Erregerstromamplitude anpassen, indem das innere Magnetfeld bei nicht vorhandenem äußerem Magnetfeld gerade unterhalb der Sättigungsgrenze gehalten wird. Je geringer der Abstand zur Sättigungsgrenze, desto höher ist die Empfindlichkeit auf äußere Felder. Die Spannung U2 ist gemäß obiger Beschreibung innerhalb des Messbereichs M linear abhängig von der Position des Permanentmagneten16 und dient somit als Positionssignal für diesen. - In
2 ist der konstruktive Aufbau des Kerns10 dargestellt. Er besteht aus zwei langen, schmalen U-Kernen19 ,20 , die gegenseitig so angeordnet sind, dass ihre U-Schenkel jeweils aneinanderliegen und die beiden Kernlängsbereiche11 ,12 bilden, wobei die Querschenkel jeweils die beiden entgegengesetzten Querbereiche13 ,14 bilden. Die U-Schenkel der U-Kerne19 ,20 werden einerseits durch einen Spulenkörper21 und andererseits durch einen Schrumpfschlauch22 zusammengehalten. Prinzipiell kann auch ein Schrumpfschlauch als Spulenkörper dienen, oder es werden zwei spulenkörperartige Fixierelemente für die Fixierung der U-Schenkel aneinander verwendet. Der Kernquerschnitt der U-Kerne19 ,20 kann beispielsweise 1 mm betragen, wobei auch eine größere Zahl von U-Kernen19 ,20 verwendet werden kann, beispielsweise sechs oder acht, wobei sich dann der Kernquerschnitt der einzelnen U-Kerne verringert. Eine mögliche Realisierung eines solchen geschlossenen Kerns10 benutzt beispielsweise sechs U-Kerne mit einem Kernquerschnitt von 0,4 mm. Der Kernquerschnitt hängt nicht zuletzt auch von der Gesamtdimensionierung der Positionssensoranordnung ab. - Die einzelnen U-Kerne
19 ,20 werden bei der Montage mit einem Schutzlack oder einer anderen Isolierschicht überzogen, um sie gegeneinander zu isolieren. Hierdurch können die Wirbelstromverluste reduziert werden. - Die beschriebene Positionssensoranordnung kann beispielsweise zur Positionserkennung des Kolbens in einem Zylinder eingesetzt werden oder zur Positionserkennung eines anderen angetriebenen Elements eines Linearantriebs. Prinzipiell sind alle Anwendungen möglich, bei denen ein mit einem Permanentmagneten versehenes Element entlang einer Bahn bewegt wird.
- Für den Anwendungsfall bei einem Zylinder wird der mit den Spulen aus L1 bis L3 versehene geschlossene Kern
10 beispielsweise in einer nach außen offenen Nut des Zylindergehäuses angeordnet, wobei der nicht mit den Spulen L1 bis L3 versehene Kernlängsbereich12 radial nach innen weist und entsprechend der andere Kernlängsbereich11 radial nach außen. Der Permanentmagnet16 wird am Kolben angebracht. Die in den3 und4 dargestellten Kurvenverläufe stellen die Verhältnisse dar, bei denen der Abstand zwischen der Bewegungsbahn des Permanentmagneten16 und dem Kernlängsbereich12 3 mm beträgt. Dabei wurde eine Wechselstromquelle von 70 mA bei einer Frequenz von 40 kHz verwendet.
Claims (11)
- Positionssensoranordnung mit einem weichmagnetischen, langgestreckten Kern (
10 ), auf dem eine durch eine Wechselspannung beaufschlagbare Primärspule (L2) sowie zwei voneinander beabstandete, in Reihe geschaltete, gegengepolte Sekundärspulen (L1, L3) angeordnet sind, und mit einem entlang des Kerns (10 ) in einer Relativbewegung bewegbaren Messobjekt (15 ), das einen den Kern (10 ) an der jeweiligen Position sättigenden Permanentmagneten (16 ) aufweist, wobei eine Auswerteeinrichtung (18 ) wenigstens zur Erfassung der in den Sekundärspulen (L1, L3) induzierten Differenzspannung vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass der langgestreckte Kern (10 ) aus zwei parallelen, langgestreckten Kernlängsbereichen (11 ,12 ) besteht, von denen einer (11 ) die Spulen (L1-L3) trägt, und dass die langgestreckten Kernlängsbereiche (11 ,12 ) jeweils an ihren Enden unter Bildung eines geschlossenen Kerns durch Querbereiche (13 ,14 ) miteinander verbunden sind. - Positionssensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Kern (
10 ) als Rechteckkern ausgebildet ist. - Positionssensoranordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsbahn des Messobjekts (
15 ) entlang des keine Spulen aufweisenden Kernlängsbereichs (12 ) verläuft, und dass der die Spulen (L1-L3) tragende Kernlängsbereich (11 ) von der Bewegungsbahn abgewandt ist. - Positionssensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Primärspule (L2) in der Längsrichtung des Kerns (
10 ) zwischen den beiden Sekundärspulen (L1, L2) angeordnet ist. - Positionssensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass (
10 )eine den Kern durch das magnetische Wechselfeld in die Nähe der Sättigungsinduktion des Kernmaterial treibende Windungszahl der Primärspule (L2), Frequenz und Amplitude des Wechselstroms vorgesehen ist, wobei die Frequenz vorzugsweise zwischen 10 kHz und 200 kHz beträgt. - Positionssensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinrichtung (
18 ) auch zur Erfassung der Spannung (U1) über der Primärspule (L2) ausgebildet ist, wobei das Über- oder Unter schreiten einer vorgebbaren Schwellspannung (S) durch die Messspannung (U1) den Messbereich begrenzt oder definiert. - Positionssensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der als Rechteckkern ausgebildete Kern (
10 ) aus U-Kernen (19 ,20 ) zusammengesetzt ist, wobei die langgestreckten U-Schenkel aneinanderliegen und die Querschenkel die beiden entgegengesetzten Querbereiche (13 ,14 ) bilden. - Positionssensoranordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Kernquerschnitt der einzelnen U-Kerne kleiner als 1,5 mm ist.
- Positionssensoranordnung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die U-Kerne (
19 ,20 ) mit einer Isolierschicht, insbesondere einem Isolierlack, überzogen sind. - Positionssensoranordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die die beiden Kernlängsbereiche bildenden Schenkel der U-Kerne (
19 ,20 ) zum einen durch einen Spulenkörper (21 ) und zum anderen durch ein insbesondere als Schrumpfschlauch (22 ) ausgebildetes Halteelement zusammengehalten werden. - Positionssensoranordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Anordnung des Kerns (
10 ) in einer Längsnut am Gehäuse des Linearantriebs, wobei der Permanentmagnet (16 ) am angetriebenen Element des Linearantriebs angeordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200410016622 DE102004016622B4 (de) | 2004-04-03 | 2004-04-03 | Positionssensoranordnung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200410016622 DE102004016622B4 (de) | 2004-04-03 | 2004-04-03 | Positionssensoranordnung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004016622A1 true DE102004016622A1 (de) | 2005-10-27 |
DE102004016622B4 DE102004016622B4 (de) | 2008-11-27 |
Family
ID=35062203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE200410016622 Expired - Fee Related DE102004016622B4 (de) | 2004-04-03 | 2004-04-03 | Positionssensoranordnung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102004016622B4 (de) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008011971A1 (de) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | Kuhnke Automotive Gmbh & Co. Kg | Magnetisches Wegsensorsystem |
DE102008062864A1 (de) * | 2008-05-21 | 2009-11-26 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Wegsensoranordnung |
EP2149784A1 (de) * | 2008-07-31 | 2010-02-03 | Kuhnke Automotive GmbH & Co. KG | Magnetisches Wegsensorsystem |
CN102679857A (zh) * | 2012-05-13 | 2012-09-19 | 浙江师范大学 | 一种微米级被动式动态位移传感器 |
CN102679858A (zh) * | 2012-05-16 | 2012-09-19 | 浙江师范大学 | 一种动态微米级被动式微位移传感器 |
WO2015124123A1 (de) | 2014-02-18 | 2015-08-27 | Balluff Gmbh | Positionsmessvorrichtung und verfahren zum betreiben der positionsmessvorrichtung |
DE102018217514A1 (de) * | 2018-10-12 | 2020-04-16 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Wegsensor mit Rückschlusskern |
DE102018217517A1 (de) * | 2018-10-12 | 2020-04-16 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Wegsensor mit Rückschlusskern in einer Gehäusekavität |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2006996A1 (de) * | 1970-02-16 | 1971-08-26 | Allco Sa | Aufnehmer fur geradlinige Bewegungen oder Winkelbewegungen |
DE4425904A1 (de) * | 1994-07-21 | 1996-01-25 | Vacuumschmelze Gmbh | Magnetischer Wegsensor |
DE19805783A1 (de) * | 1998-02-12 | 1999-09-16 | Siemens Ag | Anordnung zur zweidimensionalen, berührungslosen Positionsbestimmung eines Meßobjektes |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2325752C3 (de) * | 1973-05-21 | 1975-11-06 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Einrichtung zur Umformung eines Wegs in eine elektrische Größe |
-
2004
- 2004-04-03 DE DE200410016622 patent/DE102004016622B4/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2006996A1 (de) * | 1970-02-16 | 1971-08-26 | Allco Sa | Aufnehmer fur geradlinige Bewegungen oder Winkelbewegungen |
DE4425904A1 (de) * | 1994-07-21 | 1996-01-25 | Vacuumschmelze Gmbh | Magnetischer Wegsensor |
DE19805783A1 (de) * | 1998-02-12 | 1999-09-16 | Siemens Ag | Anordnung zur zweidimensionalen, berührungslosen Positionsbestimmung eines Meßobjektes |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008011971A1 (de) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | Kuhnke Automotive Gmbh & Co. Kg | Magnetisches Wegsensorsystem |
DE102008062864A1 (de) * | 2008-05-21 | 2009-11-26 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Wegsensoranordnung |
EP2149784A1 (de) * | 2008-07-31 | 2010-02-03 | Kuhnke Automotive GmbH & Co. KG | Magnetisches Wegsensorsystem |
CN102679857A (zh) * | 2012-05-13 | 2012-09-19 | 浙江师范大学 | 一种微米级被动式动态位移传感器 |
CN102679858A (zh) * | 2012-05-16 | 2012-09-19 | 浙江师范大学 | 一种动态微米级被动式微位移传感器 |
WO2015124123A1 (de) | 2014-02-18 | 2015-08-27 | Balluff Gmbh | Positionsmessvorrichtung und verfahren zum betreiben der positionsmessvorrichtung |
DE102018217514A1 (de) * | 2018-10-12 | 2020-04-16 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Wegsensor mit Rückschlusskern |
DE102018217517A1 (de) * | 2018-10-12 | 2020-04-16 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Wegsensor mit Rückschlusskern in einer Gehäusekavität |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102004016622B4 (de) | 2008-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0693673B1 (de) | Magnetischer Wegsensor | |
DE69936138T2 (de) | Magnetischer kraftsensor und verfahren zu dessen herstellung | |
DE10392253B4 (de) | Magnetisch neutraler Verschiebungs-(Drehmoment-)Wandler für ein ferromagnetisches Element mit Spule(n) und Magnetfeldsensor(en) | |
DE102010010388B4 (de) | Magnetverbund | |
DE102009014801A1 (de) | Induktiver Näherungsschalter | |
DE102015200268B3 (de) | Anordnung zur Messung einer Kraft oder eines Momentes mit einem Magnetfeldsensor und mit einem Magnetfeldleitelement | |
WO2004103792A1 (de) | Schienenanordnung, weiche und transportvorrichtung mit magnetostriktiven sensoren | |
DE2352851A1 (de) | Induktiver weggeber oder drehwinkelgeber | |
DE3410534A1 (de) | Weg- oder geschwindigkeitsaufnehmer fuer hydraulische oder pneumatische zylinder oder ventile | |
DE102004016622B4 (de) | Positionssensoranordnung | |
EP0936444B1 (de) | Anordnung zur berührungslosen Positionsbestimmung eines Messobjektes, vorzugsweise einer Schaltwelle eines Kraftfahrzeuggetriebes | |
DE102005007731B4 (de) | Positionssensoranordnung | |
DE102012102855A1 (de) | Verfahren und Anordnung zur Positionsbestimmung eines Bauteils sowie Sensor | |
DE102010029870A1 (de) | Sensor | |
WO2005052506A2 (de) | Berührungslos arbeitendes wegmesssystem | |
DE10342473B4 (de) | Magnetischer Wegsensor | |
DE112016005382T5 (de) | Hubdetektor | |
DE3713880A1 (de) | Magnetschranke | |
WO2005088257A2 (de) | Berührungslos arbeitendes wegmesssystem | |
EP3314310B1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur erfassung eines gegenstandes | |
DE10129819C2 (de) | Messgerät | |
DE102005035799B4 (de) | Kontaktloser Magnetpositionssensor | |
DE2916500C2 (de) | ||
WO2004038440A1 (de) | Spulenanordnung als magnetfeldsensor zur positionsbesttimmung | |
EP0707190A2 (de) | Positionsmessstrecke |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: FESTO AG & CO. KG, 73734 ESSLINGEN, DE |
|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |