DE4000099A1 - Vorrichtung zum aufspannen von werkstuecken mittels unterdruck - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Aufspannen von Werkstücken mittels Unterdruck nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. dem des Anspruchs 12.

Bei derartigen bekannten Vorrichtungen zum Aufspannen von Werkstücken mittels Unterdruck sind die Vakuumspannplatten entweder genau auf die Spannfläche der betreffenden Werkstücke abgestimmt oder es müssen die nicht vom Werkstück abgedeckten Ansaugausnehmungen durch Abdichtmaterialien abgedeckt werden.

Als Abdichtmaterialien werden dabei geformte Kunststoffe, wie Dichtschnüre, Dichtstreifen, Abdeckfolien, gefettete Dichtschrauben oder einfaches Verpackungsklebeband verwendet. Die einzelnen Abdichtmaterialien werden hierbei werkstückspezifisch zugeschnitten.

Derartige Vorrichtungen sind somit nur dort verwendbar, wo stets dieselben Werkstücke aufzuspannen sind. Dennoch ist die notwendige Handhabung und Wartung der Abdichtmaterialien umständlich. Ein Einsatz dieser bekannten Vorrichtungen in hochflexiblen automatischen Stationen ist deshalb nicht nur unwirtschaftlich sondern auch praktisch unmöglich.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum Aufspannen von Werkstücken mittels Unterdruck der eingangs genannten Art zu schaffen, die bei verhältnismäßig geringem Realisierungsaufwand eine hohe Flexibilität und Anpaßbarkeit ohne zusätzlichen Aufwand an die unterschiedlichsten Werkstücke aufweist.

Zur Lösung dieser Aufgabe sind bei einer Vorrichtung zum Aufspannen von Werkstücken mittels Unterdruck der eingangs genannten Art bei einem ersten Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale und bei einem zweiten Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung die im Anspruch 12 angegebenen Merkmale vorgesehen.

Durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen ist erreicht, daß die Vorrichtung zum Aufspannen von Werkstücken mittels Unterdruck ein schnelles und sicheres Spannen von Werkstücken mit den unterschiedlichsten Geometrien ermöglicht. Die Vorrichtung ist damit flexibel einsetzbar, da sie ohne zusätzliche Maßnahmen an beliebige Werkstückformen angepaßt werden kann. Gleichzeitig sind die Kosten zur Realisierung bzw. Herstellung der Vorrichtung verhältnismäßig gering. Eine Handhabung von Dichtmaterialien oder dgl. von Hand entfällt, so daß auch keinerlei gesonderte Einstellzeit anfällt. Desweiteren ist auch keine Lagerhaltung für bspw. verschiedenartig ausgebildete Spannplatten oder anderen werkstückspezifischen Elementen notwendig. Desweiteren ist ein selbsttätiger Verschmutzungsschutz der Vorrichtung, insbesondere der Spannplatte und eine geringe Störanfälligkeit erreicht.

Mit den Merkmalen des Anspruchs 2 ist eine erste Ausführungsform des vorgenannten ersten Ausführungsbeispieles erreicht, bei dem die Dichtelemente in Abhängigkeit vom Werkstück schaltbar sind. Dies bedeutet, daß im Ruhezustand, also vor dem Auflegen eines Werkstückes alle Dichtelemente in ihrem Schließzustand sind, so daß die Vorrichtung gegen Verschmutzung gesichert ist.

Zweckmäßigerweise sind dabei die Merkmale gemäß Anspruch 3 vorgesehen, so daß unter äußerst geringem Aufwand und in einfacher Weise eine entsprechende Schaltbarkeit unmittelbar durch das Werkstück möglich ist. Dabei ist es vorteilhaft, die Merkmale gemäß Anspruch 4 vorzusehen.

Bei einer anderen Ausführungsform des vorgenannten ersten bevorzugten Ausführungsbeispieles vorliegender Erfindung sind die Merkmale gemäß Anspruch 5 vorgesehen, so daß die Dichtelemente im Ruhezustand stets in die Ansaugausnehmungen freigebener Stellung gehalten sind und erst mit dem Beaufschlagen eines Unterdrucks dann in Schließstellung gelangen, wenn sie nicht vom Werkstück abgedeckt sind.

Zweckmäßigerweise sind dabei die Merkmale gemäß Anspruch 6 vorgesehen, so daß sich eine konstruktiv einfache Ausführung ergibt.

Bei beiden vorgenannten Ausführungsformen des eingangs genannten ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels vorliegender Erfindung sind die Merkmale gemäß Anspruch 7 zweckmäßigerweise verwirklicht. Dabei können die Federmittel sowohl in mechanischer als auch in pneumatischer oder hydraulischer Weise verwirklicht sein. Es ist auch möglich, dem Dichtelement durch eine entsprechende Eigenelastizität die Wirkung des Federmittels inhärent zu machen.

Je nach der ausgeführten Ausführungsform des bevorzugten ersten Ausführungsbeispieles vorliegender Erfindung sind für die Federmittel entweder die Merkmale gemäß Anspruch 8 oder die gemäß Anspruch 9 verwirklicht.

Zweckmäßige Ausgestaltungen der Dichtelemente beim vorgenannten bevorzugten ersten Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung ergeben sich ferner aus den Merkmalen des Anspruchs 10 oder 11.

Beim eingangs genannten zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung ist es für eine gute Abdichtung zweckmäßig, die Merkmale gemäß Anspruch 13 vorzusehen.

Eine herstellungstechnisch einfache und wenig aufwendige Lösung zur Verwirklichung der Dichtfolie ergibt sich durch die Merkmale des Anspruchs 14.

Weitere Einzelheiten der Erfindung sind der folgenden Beschreibung zu entnehmen, in der die Erfindung anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher beschrieben und erläutert ist. Es zeigen:

Fig. 1 in schematischer, teilweise längsgeschnittener Seitenansicht eine Vorrichtung zum Aufspannen von Werkstücken mittels Unterdruck gemäß einem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung,

Fig. 2a, b und c Varianten der Dichtelemente der Vorrichtung nach Fig. 1 in den Teilfiguren a und b in geschnittener Darstellung bzw. in Teilfigur c einen Querschnitt der Variante nach Teilfigur b, und

Fig. 3-5 in schematischer, teilweise geschnittener und abgebrochener Seitenansicht die Vorrichtung zum Aufspannen von Werkstücken mittels Unterdruck gemäß einem zweiten, dritten und vierten Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung.

Die in der Zeichnung anhand von mehreren Ausführungsbeispielen dargestellte Vorrichtung 10, 30, 50 bzw. 70 dient zum Aufspannen von Werkstücken 11, 31, 51, 71 unterschiedlichster Form bzw. Grundflächen auf einer Aufspannfläche 12, 32, 52, 72 mittels Unterdruck. Dabei ist es auch möglich, zwei oder mehr Werkstücke gleichzeitig mittels einer Vorrichtung aufzuspannen.

Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung 10 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung besitzt eine Spannplatte 13 in Form einer mit einer Vielzahl von Ansaugbohrungen 14 versehenen Rasterplatte, die über senkrechte längs- und/oder querverlaufende Stege 15 auf einer Grundplatte 16 aufliegt und mit dieser verbunden ist. Zwischen den einzelnen Stegen 15 sind unterhalb der Ansaugbohrungen 14 Ansaugräume 17 gebildet, die mittels Durchgänge 18 in den Stegen 15 untereinander und mit mindestens einer Unterdruck-Anschlußbohrung 19 verbunden sind, die in nur mit einem Pfeil p gekennzeichneter Weise mit einem nicht dargestellten Unterdruckerzeuger verbindbar ist.

Jeder der Ansaugbohrungen 14 ist ein Dichtelement 21 zugeordnet, das bei diesem Ausführungsbeispiel innerhalb des Ansaugraumes 17 angeordnet ist und einen der Ansaugbohrung 24 zugewandten kegelförmigen Dichtkopf 22 und einen entgegengesetzt hierzu gerichteten Schaft 23 besitzt. An der Unterseite des Dichtkopfes 22 stützt sich das eine Ende einer Druckfeder 24 ab, die den Schaft 23 umgibt und sich mit ihrem anderen Ende an einer Bodenfläche 25 der Grundplatte 16 abstützt. Die Druckfeder 24 bewirkt, daß im Ruhezustand der Dichtkopf 22 mit seiner Kegelfläche 26 teilweise durch die Ansaugbohrung 14 gedrängt ist, derart, daß ein Teil der Kegelfläche 26 an der Unterkante der Ansaugbohrung 14 druckdicht anliegt und daß ein Betätigungsende 27 der Kegelfläche 26 über die Spannfläche 12 der Spannplatte 13 ragt.

Wird ein Werkstück 11 auf die Spannplatte 13 gelegt, so werden diejenigen Dichtelemente 21, deren Ansaugbohrungen 14 vom Werkstück 11 zumindest im wesentlichen überdeckt sind, unter dem Eigengewicht des Werkstücks 11 entgegen der Wirkung der Druckfedern 24 in den Ansaugraum 17 zurückgedrängt, so daß an diesem Flächenbereich die Ansaugbohrungen 14 geöffnet und mit der Anschlußbohrung 19 verbunden sind. Werden nun mittels des nicht dargestellten Unterdruckerzeugers über die Anschlußbohrung 19 die Ansaugräume 17 mit Unterdruck beaufschlagt, so wird das auf Ansaugbohrungen 14 liegende Werkstück 11 auf die Spannfläche 12 der Spannplatte 13 aufgespannt. Die Kraft der Druckfedern 24 der in Schließstellung verbleibenden Dichtelemente 21 ist dabei größer als der maximal aufzubringende Unterdruck. Wird der Unterdruck nach Bearbeitung des Werkstücks 11 abgeschaltet und werden die Ansaugräume 17 entlüftet, so kann das Werkstück 11 von der Spannplatte 13 wieder abgenommen werden, so daß die betreffenden Dichtelemente 21 unter der Wirkung der Druckfedern 24 in ihre Ruhelage zurückkehren können.

Gemäß den in den Teilfiguren 2 dargestellten Varianten, können die Dichtelemente 21′ bzw. 21′′ auch kugelförmig oder leistenförmig ausgebildet sein. Es versteht sich auch hier, daß im Ruhezustand die Dichtelemente 21′ bzw. 21′′ die Spannfläche der Spannplatte 13 überragen. Das leistenförmige Dichtelement 21′ ist für schlitzförmige Ansaugöffnungen (statt der Ansaugbohrungen 14) in der Spannplatte 13 vorgesehen.

Es versteht sich, daß, wie in Fig. 1 gestrichelt angedeutet ist, die Spannplatte 13 eine praktisch beliebig große Spannfläche 12 besitzen kann. Es ist möglich, die Ansaugbohrungen 14 bzw. andersartig ausgebildete Ansaugausnehmungen matrixförmig oder in beliebig anderer Art und Weise an der Spannplatte 13 vorzusehen. Es ist ferner möglich, auf der Spannplatte 13 gleichzeitig mehr als ein Werkstück 11 zu spannen, wenn die Grundfläche des betreffenden Werkstückes entsprechend kleiner als die Spannfläche 12 ist. Werden eine oder mehrere der Ansaugbohrungen 14 bzw. Ansaugschlitze nur unvollständig abgedeckt, so ergeben sich zwar Verluste im Aufbau des Unterdrucks, jedoch können diese durch eine entsprechende Dimensionierung des Unterdruckerzeugers aufgefangen werden.

Die Führung der Dichtelemente 21 bzw. 21′, die hier mittels der Druckfeder 24 erfolgt, kann auch durch eine gesonderte Buchse gebildet sein, die darüber hinaus zur Höheneinstellung mit einem Schraubeinsatz versehen sein kann. Das Dichtelement 21′′ ist in nicht dargestellter Weise innerhalb eines T-förmigen Schlitzes in der Spannplatte 13 geführt. Es ist ferner möglich, die Druckfeder 24 durch ein bspw. pneumatisches oder hydraulisches Federmittel zu ersetzen.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist ebenfalls eine Spannplatte 33 vorgesehen, in der Ansaugbohrungen 34 in beliebiger Anzahl und Anordnung vorgesehen sind. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Ansaugbohrungen 34 jedoch gegenüber der Spannfläche 32 der Spannplatte 33 am Boden 35 einer bspw. zylindrischen Ausnehmung 37 also gegenüber der Spannfläche 32 vertieft angeordnet.

In der Ausnehmung 37 ist ein tellerförmiger Dichtkopf 42 eines Dichtelementes 41 angeordnet, dessen Schaft 43 die Ansaugbohrung 34 durchdringt und in den Raum 40 zwischen Spannplatte 13 und Grundplatte 36 dringt, der bei diesem Ausführungsbeispiel nicht unterteilt ist, jedoch ebenfalls über eine Anschlußbohrung 39 mit einem nicht dargestellten Unterdruckerzeuger verbunden ist.

Um den Schaft 43 des Dichtelements 41 ist ebenfalls eine Feder 44 angeordnet, die sich einenends, indem sie die Ansaugbohrung 34 durchdringt, an der Unterseite des Dichtkopfes 42 und andernends an der Bodenfläche 55 der Grundplatte 16 abstützt. An der Unterseite des Dichtkopfes 42 des Dichtelements 41 ist ferner ein Dichtring 48 vorgesehen, der die Druckfeder 44 umgibt, dessen Durchmesser jedoch größer ist als der der Ansaugbohrung 34.

Im Ruhezustand kann der Dichtkopf 42 des Dichtelements 41 mit seiner Außenfläche die Spannfläche 32 der Spannplatte 33 entweder überragen oder auch nicht. Wird ein Werkstück 31 auf die Spannfläche 32 der Spannplatte 33 gelegt, so wird eine bestimmte Anzahl der Ausnehmungen 37 mit den darin angeordneten Dichtelementen 41 und damit der Ansaugbohrungen 34 abgedeckt. Wird nun die Vorrichtung 30 mit Hilfe des Unterdruckerzeugers mit Unterdruck beaufschlagt, so werden diejenigen Dichtelemente 41, die nicht vom Werkstück 31 abgedeckt sind, unter der Wirkung des Unterdrucks und entgegen der Wirkung der Druckfeder 44 zum Boden 35 und damit zur Ansaugbohrung 34 hin angezogen, so daß die betreffenden Ansaugbohrungen 34 von den Dichtelementen 41 abgedichtet werden. Der Unterdruck baut sich weiterhin über die anderen Ansaugbohrungen 34, die vom Werkstück 31 abgedeckt sind, an der Unterseite des Werkstücks 31 auf, so daß dieses an der Spannplatte 33 aufgespannt wird. Der Unterdruck wirkt dabei nicht auf die im geschlossenen Unterdruckraum 37 angeordneten Dichtelemente 41, die vom Werkstück 31 abgedeckt sind.

Wird der Raum 40 zwischen Spannplatte 33 und Grundplatte 36 entlüftet, so gelangen diejenigen Dichtelemente 41, die nicht vom Werkstück 31 abgedeckt sind, unter der Wirkung der Druckfedern 44 zurück in ihre Ausgangs- bzw. Ruhelage und das Werkstück 31 kann wieder abgenommen werden. Auch hier ist es möglich, die Druckfedern durch pneumatische oder hydraulische Federmittel zu ersetzen, und es ist je nach Größe der Spannplatte 33 und der verwendeten Werkstücke 31 möglich, in einem Arbeitsgang mehrere Werkstücke aufzuspannen.

Die in Fig. 4 dargestellte Ausführungsform der Vorrichtung 50 ist bis auf die Ausbildung des Dichtelementes 61 ähnlich dem Ausführungsbeispiel der Fig. 3 ausgebildet. Das Dichtelement 61 ist hier eine elastische Dichtplatte 62, die an einem Umfangsbereich in der Ausnehmung 37 ortsfest eingespannt ist und die in Ruhelage die gegenüber der Aufspannfläche 52 vertieft angeordnete Ansaugbohrung 54 dadurch offen hält, daß ein dem Einspannbereich 63 abgewandter Dichtbereich 64 der Ansaugbohrung 54 abgewandt nach oben steht.

Wird nun ein Werkstück 51 auf die Spannplatte 53 gelegt und wird der Raum 60 zwischen Spannplatte 53 und Grundplatte 56 mit Unterdruck beaufschlagt, so werden all diejenigen Dichtelemente 61 in ihre die Ansaugbohrungen 54 schließende Stellung gebracht, die vom Werkstück 51 nicht abgedeckt sind. Dies erfolgt dadurch, daß der Dichtbereich 64 der elastischen Dichtplatte 62 des Dichtelements 61 entgegen seiner innewohnende Federkraft an die Ansaugbohrung 54 herangezogen wird. Die übrigen Dichtelemente 61, also diejenigen, die vom Werkstück 51 überdeckt sind, verbleiben in ihrer offenen Stellung, so daß in diesem Bereich an der Unterseite des Werkstücks 51 der Unterdruck wirken kann und das Werkstück 51 somit auf der Spannfläche 53 aufgespannt ist.

Ein Entlüften des Raumes 60 führt wiederum zu einem Öffnen derjenigen Dichtelemente 61, die nicht vom Werkstück 51 abgedeckt sind und zu einem Entlüften der Ausnehmungen 57 unterhalb des Werkstücks 51, so daß das letztere wieder abgenommen werden kann.

Beim in Fig. 5 dargestellten Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung ist die Vorrichtung 70 in Bezug auf die Spannfläche 72, die Spannplatte 73, die Ansaugbohrungen 74, die Grundplatte 76 und den Raum 80 zwischen Spannplatte 73 und Grundplatte 76 entsprechend den Ausführungsbeispielen der Fig. 3 und 4 aufgebaut.

Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Ausnehmungen 77, an deren Grund die Ansaugbohrungen 74 angeordnet sind, von einem Dichtelement 81 in Form einer elastischen Dichtfolie 82 überdeckt. Diese elastische Dichtfolie 82, die beim Ausführungsbeispiel einstückig ist, erstreckt sich über die gesamte Spannplatte 73, ist an dieser befestigt und ragt mit Zwischenbereichen 83 ggf. in die Ausnehmungen 77. Die Zwischenbereiche 83 der elastischen Dichtfolie 82 besitzen in ihrer Ausgangslage einen bestimmten Abstand zum Boden 75, in welchem die Ansaugbohrungen 74 angeordnet sind. Nach Auflegen eines Werkstücks 71 auf die Spannplatte 73 werden über die Anschlußbohrung 79 der Raum 80 und damit über die Anschlußbohrung 74 die Teilräume 85 zwischen elastischer Dichtfolie 82 und Boden 75 der Ausnehmungen 77 mit Unterdruck beaufschlagt. Unter der Wirkung des Unterdruck verformt sich die elastische Dichtfolie 82 derart, daß ihre Zwischenbereiche 83 zu den Ansaugbohrungen 74 hingezogen werden, so daß sich die Teilräume 85 verkleinern. Dadurch vergrößern sich aber die den Teilräumen 85 abgewandten Teilräume 88 oberhalb der Zwischenbereiche 83 der elastischen Dichtfolie 82, was bzgl. der Flächenbereiche, in denen das Werkstück 71 die Ausnehmungen 77 überdeckt, zur Folge hat, daß in den oberen Teilräumen 88 ein Saugdruck und damit ein Unterdruck entsteht, so daß das Werkstück 71 in diesen Bereichen mittels Unterdruck auf die Spannplatte 73 aufgespannt wird.

Wird der Raum 80 entlüftet, so gelangen die Zwischenbereiche 83 der elastischen Dichtfolie 82 unter der Wirkung der elastischen Rückstellkraft der Dichtfolie innerhalb der Ausnehmungen 77 wieder nach oben, was bewirkt, daß die oberen Teilräume 88 unterhalb des Werkstücks 71 wieder entspannt werden und das Werkstück 71 abgenommen werden kann.

Es versteht sich, daß es auch bei dieser Vorrichtung 70 möglich ist, je nach Größe der Spannplatte 73 und der Werkstücke 71 in einem Arbeitsgang mehrere Werkstücke 71 aufzuspannen.

Claims (14)

1. Vorrichtung zum Aufspannen von Werkstücken mittels Unterdruck, mit einer Spannplatte, die mit einer Vielzahl von durchgehenden Ansaugausnehmungen versehen ist, welche an der Unterseite der Spannplatte mit einem Unterdruckerzeuger verbindbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Ansaugausnehmung (14, 34, 54) in der Spannplatte (13, 33, 53) ein Dichtelement (21, 41, 61) derart zugeordnet ist, daß die vom aufzuspannenden Werkstück (11, 31, 51) im wesentlichen vollständig überdeckten Ausnehmungen (14, 34, 54) geöffnet und die restlichen Ausnehmungen (14, 34, 54) in der Spannplatte (13, 33, 53) von den betreffenden Dichtelementen (21, 41, 61) bei Unterdruck verschlossen sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtelement (21) im Ruhezustand die Ansaugausnehmung (14) in der Spannplatte (13) verschließt und bei Auflegen des Werkstücks (11) auf die Spannplatte (13) Offenbar ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtelement (21) ein über die Spannfläche (12) der Spannplatte (13) ragendes Betätigungsteil (27) zum Öffnen der Ansaugausnehmung (14) aufweist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtelement (21) die Ansaugausnehmung (14) in der Spannplatte (13) von deren Unterseite her verschließt.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtelement (41, 61) im Ruhezustand die Ansaugausnehmung (34, 54) in der Spannplatte (33, 53) offenhält und bei aufgelegtem Werkstück (31, 51) und Beaufschlagen mittels Unterdruck die Ausnehmung (34, 54) schließt.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ansaugausnehmung (34, 54) gegenüber der Spannfläche (32, 52) der Spannplatte (33, 53) versenkt ist und daß das Dichtelement (41, 61) die Ansaugausnehmung von der Oberseite her verschließt.

7. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtelement (21, 41, 61) durch Federmittel (24, 44, 64) in seinen Ruhestand gedrängt ist.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4 und nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kraft des Federmittels (24) größer als der maximal aufzubringende Unterdruck ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 oder 6 und nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kraft des Federmittels (44, 64) geringer als der mindestens aufzubringende Unterdruck ist.

10. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtelement (21, 41) durch ein auf und ab bewegbares kolbenähnliches Bauteil gebildet ist.

11. Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtelement (61) durch eine elastisch federndes, einendig eingespanntes scheibenförmiges Bauteil (62) gebildet ist.

12. Vorrichtung zum Aufspannen von Werkstücken mittels Unterdruck, mit einer Spannplatte, die mit einer Vielzahl von durchgehenden Ausnehmungen versehen ist, welche an der Unterseite der Spannplatte mit einem Unterdruckerzeuger verbindbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Ansaugausnehmungen (77) gegenüber der Spannfläche (72) der Spannplatte (73) vertieft angeordnet sind, daß jede Ansaugausnehmung (77) von einer elastischen Dichtfolie (82) in einem Abstand überdeckt ist und daß bei aufgelegtem Werkstück (71) und Beaufschlagen mittels Unterdruck zwischen Dichtfolie (82) und Werkstückunterseite ein Unterdruckraum (88) aufgebaut ist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtfolie (82) umfangsseitig eingespannt ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß alle Ansaugausnehmungen (77) von einer gemeinsamen, auf der Spannfläche (72) der Spannplatte (73) angeordneten Dichtfolie (82) überdeckt sind.