DE3919330A1 - Verfahren und einrichtung zum pruefen der oberflaeche eines scheibenfoermigen aufzeichnungstraegers - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche einer Scheibe und insbesondere ein Verfahren und eine Einrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächenfehlern einer Scheibe, wie Kratzer oder nadelstichförmige Vertiefungen, bei scheibenförmigen Aufzeichnungsträgern.

Herkömmlicherweise wird die Oberfläche einer Scheibe (scheibenförmiger Aufzeichnungsträger), wie z. B. einer optischen Laserscheibe (laser visual disk, nachfolgend als LVD bezeichnet) oder einer compact disk bzw.Kompaktscheibe (nachfolgend CD bezeichnet) visuell geprüft und bewertet. Wegen der Abhängigkeit der Genauigkeit der visuellen Prüfung von den Fähgkeiten der Prüfperson und wegen der niedrigen Effektivität visueller Inspektion, sind seit vielen Jahen viele Anstrengungen in die Entwicklung einer automatischen Prüftechnologie für LVDs und CDs gesteckt worden.

Um automatisch Oberflächenfehler, z. B. von einem langen Band oder einer langen Bahn zu erfassen, wird als Bahn kontinuierlich in Längsrichtung in einer Richtung mit konstanter Geschwindigkeit vorwärtsbewegt und durch einen bewegten Lichtpunkt in eine Richtung rechtwinklig zur Richtung, in der die Bahn bewegt wird, abgetastet. Das Licht, das durch die Oberfläche der Bahn, einschließlich der Oberflächenfehler moduliert und reflektiert wird, wird durch eine Lichtaufnahmevorrichtung erfaßt, um Oberflächenfehler zu erfassen, wodurch die Oberfläche der Bahn eingeschätzt wird. Ein solches Verfahren ist z. B. in der japanischen Patentanmeldung 55-87 907 erläutert. Wegen der berührungslosen Abtastung des zu prüfenden Materials ist dieses Verfahren grundsätzlich wirksam für die Prüfung von LVDs und CDs anwendbar.

In der Zwischenzeit wird auf optischen Aufzeichnungsträgern bzw. optischen Scheiben, wie z. B. auf LVDs eine Signalspeicherfläche ausgebildet, mit einer größeren Anzahl von Vertiefungen oder Vorsprüngen, beschichtet mit einer transparenten Schutzschicht. Diese Vertiefungen oder Vorsprünge sind auf koaxialen Spuren in gleichmäßigen Abständen verteilt angeordnet. Das Licht, das durch die Vertiefung gestreut und reflektiert wird, wird erfaßt, um ein Signal auszulesen, das auf der Speicherfläche der Scheibe gespeichert ist. Die Vertiefungskonfigurationen und -anordnungen werden in zwei Gruppen eingeteilt, je nachdem, wie die Scheiben angetrieben werden, um die Signale aufzuzeichnen und wiederzugeben, nämlich entsprechend der Arten der Scheibenantriebssysteme, nämlich dem Antriebssystem mit konstanter Lineargeschwindigkeit (CLV-System) und dem Antriebssystem mit einer konstanten Winkelgeschwindigkeit (CAV-System). Bei den LVDs vom CLV-Typ, die so angetrieben werden, daß alle Spuren mit einer konstanten und gleichen Lineargeschwindigkeit laufen, werden die Vertiefungen in der gleichen Konfiguration ausgebildet und in regelmäßigen Umfangsabständen für alle Spuren angeordnet. Andererseits sind bei den LVDs vom CAV-Typ, die stets mit einer konstanten Winkelgeschwindigkeit angetrieben werden, unabhängig von der Lage der Spuren, die Vertiefungen auf einer Spur in Umfangsrichtung kürzer ausgebildet als dies bei einer Spur der Fall ist, die radial weiter außen liegt und werden in engerer Abfolge angeordnet als dies bei der äußeren Spur der Fall ist.

Eine der herkömmlichen Oberflächenfehlerprüfeinrichtungen, die eine Oberfläche einer LVD mit einem bewegten Lichtpunkt abtastet, ist in Fig. 1 dargestellt. Ein Abtaststrahl 3, erzeugt durch einen Scanner 2, tastet eine Oberfläche einer LVD 4 entlang einer sich radial erstreckenden Linie 5 ab, die durch die Drehachse 6 der LVD 4 hindurchgeht. Das Licht 3 a, das direkt von der Oberfläche der LVD 4 reflektiert wird, wird durch eine Lichterfassungseinheit 7 aufgenommen und hierdurch in ein photoelektrisches Ausgangssignal umgewandelt. Das photoelektrische Ausgangssignal wird analysiert, um die Oberfläche der LVD 4 zu bewerten. Wegen der Gleichmäßigkeit der Oberflächenreflexionsfähigkeit entlang der zu prüfenden Oberfläche der LVD 4, weist das reflektierte Licht 3 a von der sich drehenden LVD 4 keine Brechungen auf, wenn die Abtastlinie 5 durch die Drehmitte 6 der LVD hindurchgeht. Wenn der Abtaststrahl 3 durch eine transparente Schutzschicht 8, mit der die LVD 4 beschichtet ist, hindurchgeht, wird er durch die Vertiefungen der LVD 4 gebeugt und gestreut und das gebeugte und gestreute Licht verläuft üblicherweise in Richtungen, die sehr verschieden von derjenigen sind, in der das Licht 3 a von der Oberfläche der transparenten Schicht 8 auf der LVD 4 reflektiert wird und wird daher nicht durch die Lichterfassungseinheit 7 aufgenommen.

Wenn die Lichterfassungseinheit 7 nicht nur gestreutes Licht 3 b aufnimmt, das durch einen Oberflächenfehler S der LVD 4 reflektiert wird, sondern auch gebeugtes und gestreutes Licht 11, das durch eine Vertiefung 10 a der LVD 4 reflektiert wird, wie in Fig. 2 gezeigt, aufnimmt, da bei den LVDs vom CLV-Typ das Licht 11, das durch die jeweilige Vertiefung 10 a gebeugt und reflektiert wird, zu der Lichterfassungseinheit 7 unter dem gleichen Winkel hin gerichtet wird, wie das Licht, das durch die Oberfläche der LVD 4 gebeugt und reflektiert wird, nimmt die Lichterfassungseinheit 7 das gebeugte und gestreute Licht 11 auf, obwohl selbiges bei der Bewertung der Oberfläche der LVD 4 zusätzlich zur Aufnahme des reflektierten Lichtes 3 a nicht erwünscht ist.

Da die Lichtmenge oder Stärke des Lichtes, das durch jede Vertiefung gestreut wird, im wesentlichen konstant ist, unabhängig von der Lage auf der LVD vom CLV-Typ, kann die Lichterfassungseinheit 7 das gebeugte Licht 11, reflektiert durch die Vertiefungen 10 a, leicht von dem Licht trennen, das durch den Oberflächenfehler S reflektiert wird. Da die Vertiefungen auf unterschiedlichen Spuren in ihrer Größe bei einer LVD vom CAV-Typ unterschiedlich sind und in unterschiedlichen Winkelabständen vorgesehen sind, ist die Richtung bzw. die Orientierung der Winkel, unter denen das Licht durch die Vertiefungen auf den unterschiedlichen Spuren gestreut und reflektiert wird, verschieden, je nach dem Ort der Vertiefungen auf den Spuren. Andererseits ist der Reflexionswinkel des gebeugten Lichtes von der Oberfläche der LVD 4 im wesentlichen über die Oberfläche der LVD 4 konstant. Die Lichtaufnahmeeinheit 7, die eine wirksame Lichtempfangsfläche mit einer Breite W (gezeigt durch eine unterbrochene Linie in Fig. 3) besitzt, nimmt das gebeugte Licht auf in Form eines kreisförmigen Bogens, reflektiert von den Vertiefungen auf unterschiedlichen Spuren an unterschiedlichen Stellen derselben und verfehlt einen Teil dieser kreisförmigen Bogen, wie dies in Fig. 3 gezeigt ist. Das heißt, wie in Fig. 4 dargestellt ist, je weiter innen eine Spur, auf der sich eine Vertiefung befindet, angeordnet ist, desto niedriger ist das photoelektrische Ausgangssignal von der Lichtaufnahmeeinheit 7, die das gebeugte Licht von der Vertiefung aufnimmt. Die Änderung oder Differenz des Ausgangssignals von der Lichtempfangseinheit 7 infolge des jeweiligen Ortes der Anordnung der Vertiefungen ist von beträchtlicher Größe im Vergleich zu dem Ausgangssignal, das infolge von Oberflächenfehlern der LVD erzeugt wird. Daher ist es sehr schwierig, diese Veränderungen, die infolge des Ortes der Ausbildung der Vertiefungen verursacht werden, elektrisch zu kompensieren und entsprechend ist das herkömmliche Oberflächenprüfverfahren und die zugehörige Einrichtung nicht immer effektiv auf LVDs anwendbar.

Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Einrichtung zum Prüfen einer Oberfläche eines scheibenförmigen Aufzeichnungsträgers, insbesondere einer Kompaktdisk (CD) auf der Grundlage des gebeugten und reflektierten Lichtes von der Oberfläche zu schaffen, durch das bzw. durch die die Genauigkeit der Prüfung unabhängig von gebeugtem Licht, das von Vertiefungen oder Vorsprüngen zur Aufzeichnung herrührt, die durch eine transparente Schicht bedeckt sind, ist.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird das folgende Ziel erfindungsgemäß durch ein Verfahren und eine Einrichtung zur Oberflächenprüfung erreicht, wobei eine Scheibenoberfläche mit einem Lichtstrahl entlang einer Abtastlinie parallel zu und weg zu einer Linie, die durch eine Drehmitte der zu prüfenden Scheibe geht, abgetastet wird. Dieses Verfahren und diese Einrichtung kann effektiver auf eine Laseroptikscheibe (laser visual disk LVD) mit einer Signalspeicherfläche angewandt werden, die eine koaxiale Anordnung von Vertiefungen oder Vorsprüngen aufweist, die durch eine transparente Schicht bedeckt und geschützt sind.

Nach einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist der Abstand, um den die Abtastlinie von der Mittellinie der LVD entfernt bzw. beabstandet ist, vorzugsweise größer als 10 mm.

Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist zur Lösung der vorgenannten Aufgabe eine Oberflächenprüfeinrichtung vorgesehen, die erfindungsgemäß eine Abtasteinrichtung (scanner) zur Abtastung einer Oberfläche einer sich drehenden Scheibe entlang einer Abtastlinie parallel zu und weg von einer Linie, die durch die Drehmitte der Scheibe hindurch verläuft, sowie eine Lichterfassungseinrichtung aufweist, um gebeugtes Licht, reflektiert durch die Scheibenoberfläche, aufzunehmen, um ein elektrisches Ausgangssignal entsprechend der Stärke des gebeugten Lichtes zu bilden. Eine Niveau-Festlegungseinrichtung ist in Verbindung mit der Lichterfassungseinrichtung vorgesehen, um so ein Niveau bzw. einen bestimmten Grenzwert für die Prüfung entsprechend den Schwankungen oder Veränderungen einer Komponente des elektrischen Ausgangssignals mit niedriger Frequenz einzurichten. Eine Erfassungseinrichtung für abnormale Ausgangssignalkomponenten ist in Verbindung mit der Lichterfassungseinrichtung vorgesehen, um das elektrische Ausgangssignal mit dem Grenzwert bzw. eingerichteten Niveau zu vergleichen, um so abnormale Komponenten des elektrischen Ausgangssignals von der Lichterfassungseinrichtung zu erfassen, wodurch die Anwesenheit von Oberfächenfehlern nachgewiesen bzw. erfaßt wird.

Da die Abtastlinie in der Richtung weg von einer Linie, die durch die Drehmitte der Scheibe verläuft, kann die Oberflächenprüfung ohne den Einfluß von Licht ausgeführt werden, das durch Vertiefungen oder Vorsprünge der Scheibe, bedeckt mit der transparenten Schicht, gestreut und gebeugt wird, so daß Oberflächenfehler der Scheibe wirksam erfaßt werden können.

Ein Abstand der Abtastlinie weg von der durch die Mitte der Scheibe verlaufende Linie (Mittellinie) von 10 cm ermöglicht es, die Oberflächenprüfung einer LVD-Scheibe mit hoher Genauigkeit durchzuführen.

Bevorzugte Ausgestaltungen des Erfindungsgegenstandes sind in den Unteransprüchen dargelegt.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels und Zeichnungen näher erläutert. In diesen zeigt

Fig. 1 eine erläuternde, perspektivische Darstellung, die eine herkömmliche LVD-Oberflächenprüfeinrichtung zeigt,

Fig. 2 eine Darstellung, die ein Reflexionsmuster des Lichtes von einer LVD-Scheibe zeigt,

Fig. 3 eine Darstellung, die ein Lichtmuster des reflektierten Lichtes von einer LVD-Oberfläche an einer Lichterfassungseinheit zeigt,

Fig. 4 ein Diagramm, das die Wellenform eines photoelektrischen Ausgangssignals von einer Lichterfassungseinheit, die Licht aufnimmt, das durch eine Oberfläche einer LVD-Scheibe ohne Oberflächenfehler reflektiert wird, zeigt

Fig. 5 eine erläuternde, perspektivische Darstellung, teilweise als Blockschaltbild, die eine Oberflächenprüfeinrichtung nach einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung darstellt,

Fig. 6 eine Darstellung ähnlich derjenigen in Fig. 3, die ein Lichtmuster des reflektierten Lichtes von einer LVD-Oberfläche an einer Lichterfassungseinheit der Oberflächenprüfeinrichtung zeigt, die in Fig. 5 dargestellt ist,

Fig. 7 ein Diagramm ähnlich demjenigen in Fig. 4, das eine Wellenform eines photoelektrischen Ausgangssignals von einer Lichterfassungseinheit zeigt, die Licht durch eine Oberfläche einer LVD-Scheibe ohne Oberflächenfehler nach der vorliegenden Erfindung reflektiert, und

Fig. 8A bis 8C Ausgangssignale von verschiedenen Schaltkreiselementen der Oberflächenprüfeinrichtung, die in Fig. 5 gezeigt ist.

Bezugnehmend nunmehr auf die Zeichnungen, insbesondere auf Fig. 5, ist eine Oberflächenprüfeinrichtung nach einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung gezeigt, mit einem Scanner 2, bestehend aus einem Laserschwinger und einem Polygon-Drehspiegel, wie dies im Stand der Technik zur Bildung eines bewegten Lichtpunktes bekannt ist und daher hier nicht im einzelnen erläutert werden muß. Die Abtasteinrichtung bzw. der Scanner 2 bildet einen Laserstrahl 3, so daß er die Oberfläche bzw. Oberseite einer LVD 4 vom CAV-Typ unter Prüfung entlang einer Linie 5 abtastet, die um eine Strecke L von einer Linie 15 beabstandet ist und sich zu dieser parallel erstreckt, wobei die Linie 15 durch die Drehmitte der LVD hindurchgeht und die hier verschiedentlich auch als Mittellinie bezeichnet ist. Der Abstand L ist gewöhnlich größer als 10 mm. Da die LVD 4 durch einen Scheibenantrieb 17 mit konstanter Geschwindigkeit angetrieben wird, kann so der Laserstrahl 3 die Gesamtoberfläche der LVD 4 abtasten.

Eine Lichterfassungseinheit 11 ist so über der LVD 4 und parallel zu der Linie 15 angeordnet, daß sie gebeugtes Reflexionslicht von Oberflächenfehlern S der LVD 4 aufnehmen kann und auch Licht aufnehmen kann, das durch Vertiefungen der LVD 4 gestreut und gebeugt wird. Wenn die Oberfläche der LVD 4 keine Oberflächenfehler S aufweist, wird das reflektierte Licht 3 a von der Oberfläche unter einen rechten Winkel gerichtet bzw. reflektiert, so daß es nicht durch die Lichterfassungseinheit 11 empfangen wird.

Wenn die Lichterfassungseinheit 11 Licht empfängt, erzeugt sie ein Ausgangssignal von einem Niveau, das der Stärke des empfangenen Lichtes entspricht und gibt ein Ausgangssignal an eine Oberflächenfehler-Erfassungseinheit 18. Diese Oberflächenfehler-Erfassungseinheit 18 umfaßt eine Abtast-Halte-Schaltung 19 zum Modulieren der Wellenform des Ausgangssignales auf eine bestimmte Abtastfrequenz, eine Bandpaß-Filterschaltung 20 für getrennte Veränderungen des Ausgangssignales, das durch die Oberflächenfehler S der LVD 4 verursacht wird, eine Binärsignal-Erzeugerschaltung 21, eine Tiefpaßfilterschaltung 22 und einen Verstärker 23. Der Tiefpaßfilter 22 filtert die niedrigfrequenten Komponenten aus dem modulierten, in seiner Wellenform veränderten Ausgangssignal heraus, das an diesen von dem Abtast-Halte-Schaltkreis 19 gelegt wird. Der Binärsignal-Erzeugerschaltkreis 21 wandelt das Ausgangssignal von der Bandpaßfilterschaltung 20 in bezug auf ein Grenzwertsignal um, das durch den Verstärker 23 gegeben wird.

Um die Oberfläche der LVD 4 zu prüfen, wird die LVD 4 auf einem Scheibenantrieb 17 angeordnet und mit einer konstanten, jedoch verhältnismäßig niedrigen Drehzahl angetrieben. Es wird bevorzugt, den Laserstrahl 3 mit einer konstanten Geschwindigkeit zu schwingen, die in bezug auf die Drehgeschwindigkeit der LVD 4 größer ist, um eine präzise Abtastung auszuführen.

Innerhalb einer Abtastung der Oberfläche des LVD 4 entlang einer einzigen Linie, der Linie 5 mit dem Laserstrahl 3, verläuft das reflektierte Licht 3 a von der regelmäßigen bzw. gleichmäßigen Oberfläche an der Linie 5 ohne Oberflächenfehler, so daß es von der Lichterfassungseinheit 11 entfernt verläuft und von dieser nicht erfaßt wird.

Es wird bevorzugt, ein Licht-Absorptionsteil anzuordnen, um das reflektierte Licht 3 a zu absorbieren, um zu verhindern, daß dieses vagabundierend in Richtung der Lichterfassungseinheit 11 verläuft.

Der Laserstrahl 3 verläuft zum Teil durch die transparente Schutzschicht 8 hindurch und erreicht die Signalspeicherfläche der LVD 4, in der Vertiefungen ausgebildet sind. Das Licht 11, das durch eine Vertiefung gestreut und gebeugt wird, verläuft zu der Lichterfassungseinheit 10 und bildet ein kreisbogenförmiges Lichtmuster auf der Lichterfassungseinheit 10, ähnlich der Form der Vertiefung. Da die Abtastlinie 5 bei einer Abtastung parallel zu der Mittellinie 15, die durch die Drehmitte 6 der LVD 4 verläuft, um den Abstand W erfolgt, wird ein kreisbogenförmiges Lichtmuster des gebeugten Lichtes 11 von einer Vertiefung an der Lichterfassungseinheit 10 unter einem Winkel in bezug auf das Licht geneigt, das von einer benachbarten Vertiefung reflektiert wird, die sich außerhalb der ersterwähnten Vertiefung befindet. Entsprechend kann das gebeugte Licht 11 von nahezu sämtlichen Vertiefungen auf einer einzigen Abtastlinie durch die Lichterfassungseinheit 10 aufgenommen und umfangen werden, die eine wirksame Lichtaufnahmefläche der Breite W besitzt. Wenn sich keine Oberflächenfehler auf der einzelnen Abtastlinie befinden, erzeugt die Lichterfassungseinheit 10 das Ausgangssignal, das in Fig. 7 gezeigt ist, und das als im wesentlichen schwankungsfrei angesehen werden kann.

Wenn die Lichterfassungseinheit 10 gebeugtes Licht von Oberflächenfehlern S der LVD 4 entlang einer einzelnen Abtastlinie aufnimmt, erzeugt es ein Ausgangssignal A, das in Fig. 8A gezeigt ist. Das Ausgangssignal A enthält Schwankungen bzw. eine Welligkeit a, die von den Oberflächenfehlern S herrührt. Das Ausgangssignal A wird durch die Abtast-Halteschaltung 19 und die Bandpaßfilterschaltung 20 einer Modulation bzw. Wellenform-Veränderung bzw. Formgebung zu dem Ausgangssignal 8 unterzogen, das in Fig. 8B gezeigt ist. Andererseits filtert der Tiefpaßfilter 22 die Frequenzanteile mit niedriger Frequenz, die als "Druck" (surge) bezeichnet werden, aus dem Ausgangssignal A von dem Abtast-Halte-Schaltkreis 19 aus. Die so ausgefilterten niederfrequenten Bestandteile werden durch den Verstärker 23 verstärkt, so daß sie ein Ausgangssignal C bilden, mit der Wellenform, die in Fig. 8C dargestellt ist. Das Ausgangssignal C wird als Signal verwendet, das einen Grenzwert in dem Binärsignal-Erzeugerschaltkreis 21 bildet. Das heißt, der Binärsignal-Erzeugerschaltkreis 21 gibt ein binäres Signal des Signalswertes "1" aus, das die Anwesenheit eines Oberflächenfehlers angibt, wenn das Ausgangssignal B den Grenzwert bzw. das Grenzwertniveau übersteigt. Daher erzeugt die binäre Signal-Erzeugerschaltung 21 ein Ausgangssignal D, das impulsartige Signale, wie in Fig. 8C gezeigt, für das Abtasten der einzelnen Linien enthält. Wie aus dem obigen deutlich ist, kann ein Oberflächenfehler, welcher sich nahe der innersten Spur befindet, exakt erfaßt werden.

Obwohl die vorliegende Erfindung durch ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel derselben und unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert wurde, wird darauf hingewiesen, daß verschiedene Abwandlungen und Modifikationen für den Fachmann von dem Ausführungsbeispiel deutlich sind. Daher sind alle solche Modifikationen, die nicht ausdrücklich ausgeschlossen sind, als im Rahmen der Erfindung liegend, insbesondere im Rahmen der Ansprüche liegend, anzusehen.

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Einrichtung zum Abtasten einer Oberfläche einer optischen Scheibe, die Signalspeichervertiefungen oder -vorsprünge aufweist, welche mit einer transparenten Schicht bedeckt sind, wobei ein beweglicher Lichtpunkt verwendet wird, um die Oberflächenfehler der optischen Scheibenoberfläche zu erfassen. Die optische Scheibe wird mit einer konstanten Geschwindigkeit bzw. Drehzahl angetrieben und entlang einer Abtastlinie abgetastet, die sich parallel zu einer Linie erstreckt, welche durch das Drehzentrum der optischen Scheibe läuft. Eine Lichtaufnahmeeinheit nimmt gebeugtes Licht, das durch die Scheibenoberfläche reflektiert wird, auf, um ein Ausgangssignal entsprechend der Stärke des gebeugten Lichtes zu erzeugen und wandelt es in ein elektrisches Ausgangssignal um, das verwendet wird, um die Oberfläche der optischen Scheibe zu bewerten.

Claims (4)

1. Verfahren zur Abtastung einer Oberfläche eines scheibenförmigen Aufzeichnungsträgers, insbesondere Scheibe, die Vertiefungen oder Vorsprünge zur Signalspeicherung aufweist, die mit einer transparenten Schicht bedeckt sind, mit einem beweglichen Lichtpunkt, um Oberflächenfehler der Scheibenoberfläche zu erfassen, gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte:
Drehen der Scheibe (4) mit einer konstanten Drehgeschwindigkeit,
Abtasten der Scheibenoberfläche entlang einer Abtastlinie (5), die sich parallel zu und weg von einer Linie (15) erstreckt, die sich durch die Drehmitte der Scheibe (4) hindurch erstreckt und
Aufnehmen des gebeugten Lichtes (11), das durch die Scheibenoberfläche reflektiert wird, um ein Ausgangssignal entsprechend der Stärke des gebeugten Lichtes zu erzeugen.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastlinie (5) um zumindest 10 mm von der Mittellinie (15) entfernt ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe (4) eine Laseroptikscheibe (LVD) ist.

4. Einrichtung zur Oberflächenprüfung, die eine Oberfläche einer Scheibe, welche Vertiefungen oder Vorsprünge zur Signalaufzeichnung aufweist, die mit einer transparenten Schicht abgedeckt sind, mit einem beweglichen Lichtpunkt abtastet und die Oberfläche auf der Grundlage des von der abgetasteten Oberfläche reflektierten Lichtes prüft, gekennzeichnet durch:
einen Scheibenantrieb (17) zum rotierenden Antreiben der Scheibe (4) mit einer konstanten Drehzahl,
einen Scanner (2) zum Abtasten einer Oberfläche der rotierenden Scheibe (4) entlang einer Abtastlinie (5), die parallel zu und weg von einer Linie (15) verläuft, die durch das Drehzentrum der Scheibe (4) verläuft,
ein Lichterfassungselement (7) zur Aufnahme von gebeugtem Licht, das durch die Scheibenoberfläche reflektiert wird, um ein elektrisches Ausgangssignal entsprechend der Stärke des gebeugten Lichtes zu erzeugen,
eine Einrichtung (18) zum Bilden eines Niveaus für die Prüfung entsprechend einer Schwankung einer niederfrequenten Komponente des elektrischen Ausgangssignals, und
eine Erfassungseinrichtung (18) zum Bewerten des elektrischen Ausgangssignals durch das vorgegebene Niveau, um so abnormale Bestandteile in dem elektrischen Ausgangssignal zu erfassen, wodurch die Anwesenheit von Oberflächenfehlern (S) nachgewiesen und erfaßt wird.