DE3917717C2 - - Google Patents
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 5
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 210000002105 tongue Anatomy 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
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Description
Die Erfindung betrifft eine Meßeinrichtung gemäß dem Oberbegriff des
Patentanspruchs 1. Eine derartige Meßeinrichtung dient zur Messung der relativen
Lage und/oder der Relativverschiebung zweier längs einer geraden Linie
relativ zueinander bewegbarer Bauteile wie beispielsweise zweier Maschinenteile
einer Werkzeugmaschine.
In der am 18. August 1987 eingereichten US-Patentanmeldung Serial No.
0 86 537 der Anmelderin wird eine Befestigungsanordnung für eine Meßeinrichtung
beschrieben, die einen mit im wesentlichen zylindrischen Endstücken
versehenen langgestreckten Teilungsträger aufweist. Die Endstücke
sind sehr genau in einer Linie mit dem Teilungsträger ausgerichtet. Die Befestigungsanordnung
umfaßt einen starr an einer Oberfläche eines der zu messenden
Bauteile zu befestigenden Montageblock, auf dem die Endstücke montiert
werden. Zwischen den Endstücken und dem Montageblock sind Vorsprünge
vorgesehen, die eine Schwenkbewegung der Endstücke mit dem
Teilungsträger in bezug auf den Montageblock während der Montage gestatten,
so daß eine Feineinstellung zur Erzielung einer genauen Parallelität zwischen
der Achse des Teilungsträgers und der Richtung der Relativbewegung
der Bauteile ermöglicht wird (vgl. auch DE-OS 37 27 857).
Bei der bekannten Anordnung ist weiterhin ein Skalenkanal vorgesehen, der
einen Hohlraum zur Aufnahme des Teilungsträgers bildet. Der Skalenkanal
dient zum Schutz des Teilungsträgers gegen von außen eindringenden Staub
sowie zur magnetischen Abschirmung des Teilungsträgers, falls es sich um
eine magnetische Meßeinrichtung mit einem magnetischen Teilungsträger
handelt.
Bei dieser herkömmlichen Konstruktion ist bei der Herstellung des Skalenkanals
keine hohe Genauigkeit erforderlich, da der Teilungsträger selbst mit
hoher Genauigkeit parallel zur Bewegungsrichtung der Meßobjekte ausgerichtet
werden kann.
In der Praxis ist die Anordnung aus Skalenkanal und Teilungsträger vormontiert,
wobei der Teilungsträger durch den Skalenkanal staubdicht abgedeckt
wird. Aus diesem Grund besteht bei der Anbringung der Meßeinrichtung an
dem zu vermessenden Bauteil keine Möglichkeit, die genaue Lage des Teilungsträgers
direkt optisch oder mechanisch zu erfassen, um die Parallelein
stellung vorzunehmen. Es kann daran gedacht werden, an der Außenfläche
des Skalenkanals Ausrichtmarken anzubringen, durch die eine Bezugsfläche
definiert wird, bei der genaue Parallelität zu dem Teilungsträger gewährleistet
ist.
Ein Problem besteht jedoch darin, daß solche Ausrichtmarken nicht mit aus
reichender Genauigkeit hergestellt werden können.
In GB 20 86 036 wird eine auf dem Moir´-Effekt beruhende Meßeinrichtung
beschrieben, bei der der Teilungsträger mit Hilfe von Klammern derart
an einem Maschinenteil montiert ist, daß er in der Ebene der Oberfläche des
Maschinenteils quer zur Richtung der Relativbewegung der Maschinenteile
verstellbar ist. Da ist das Moir´-Muster bildenden Linien schräg zur
Bewegungsrichtung angestellt sind, wird auf diese Weise eine feinfühlige Korrektur
des Meßsignals bei Positionsabweichungen des Teilungsträgers in Richtung
der Relativbewegung ermöglicht. Für die Ausrichtung des Meßkopfes relativ
zum Teilungsträger bei Meßeinrichtungen, die nicht auf dem Moir´-Prinzip
beruhen, ist diese Lösung jedoch nicht anwendbar.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßeinrichtung der eingangs
genannten Gattung zu schaffen, die sich einfach herstellen läßt und die dennoch
bei der Montage eine genaue Ausrichtung in bezug auf die Bewegungs
richtung der zu vermessenden Bauteile gestattet.
Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist in Patentanspruch 1
angegeben.
Die Unteransprüche betreffen vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen
der Erfindung, durch die eine einfache und genaue Herstellung einer
Bezugsfläche an dem Skalenkanal und eine einfache Justierung eines zur
Befestigung eines längs des Teilungsträgers beweglichen Meßkopfes an einem
der zu vermessenden Bauteile dienenden Verbindungsstücke unter Zuhilfe
nahme der Bezugsfläche ermöglicht werden.
Im folgenden wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand
der Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Meßeinrichtung
gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der
Erfindung;
Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie II-II in Fig. 1;
Fig. 3 eine Explosionsdarstellung der Meßeinrichtung;
Fig. 4 eine perspektivische Ansicht eines Federelements in
der Meßeinrichtung;
Fig. 5 eine Frontansicht einer Werkzeugmaschine, mit der
bei der Anbringung von Ausrichtmarken Bearbeitungsvorgänge
zur Einstellung der Höhe der Ausrichtmarken
ausgeführt werden;
Fig. 6 einen Schnitt längs der Linie VI-VI in Fig. 5;
Fig. 7 einen vergrößerten Schnitt zur Veranschaulichung der
Anordnung eines Meßkopfträgers;
Fig. 8 eine perspektivische Ansicht der Meßeinrichtung zur
Veranschaulichung der Anordnung der Meßeinrichtung
an einem der zu vermessenden Objekte;
Fig. 9 und 10 Schnitte zur Veranschaulichung der Positionierung einer
Halterung für den Meßkopfträger;
Fig. 11 ein Flußdiagramm eines Verfahrens zur Montage der
Meßeinrichtung;
Fig. 12 eine perspektivische Ansicht der Meßeinrichtung mit
einem Halter für den Meßkopfträger; und
Fig. 13 einen Schnitt längs der Linie XIII-XIII in Fig. 12.
Gemäß Fig. 1 bis 3 umfaßt eine Meßeinrichtung einen Teilungsträger 10,
einen Skalenkanal 20 und einen Ablesekopf oder Meßkopf 30. Im gezeigten
Ausführungsbeispiel handelt es sich bei dem Teilungsträger 10 um einen
magnetischen Teilungsträger. Obgleich die Erfindung in der vorliegenden Beschreibung
am Beispiel einer magnetischen Meßeinrichtung mit einem Teilungsträger
in der Form eines zylindrischen Stabes erläutert wird, der nachfolgend
als "Skalenstab" bezeichnet werden soll, ist die Erfindung auch in
Verbindung mit anderen Ausführungsformen magnetischer oder nichtmagnetischer
Teilungsträger, beispielsweise Glas-Teilungsträger anwendbar.
Da im gezeigten Ausführungsbeispiel ein magnetischer Skalenstab als Teilungsträger
10 vorgesehen ist, handelt es sich bei dem Meßkopf 30 um einen
magnetischen Meßkopf. Je nach Art des verwendeten Teilungsträgers ist die
Erfindung jedoch auch in Verbindung mit anderen Meßköpfen anwendbar.
Der Skalenkanal 20 ist im gezeigten Ausführungsbeispiel als hohler Kasten
mit quadratischem oder rechteckigem Querschnitt ausgebildet und mit
einem axial verlaufenden Schlitz 26 versehen, durch den sich ein mit dem
Meßkopf 30 verbundener Meßkopf-Träger 32 erstreckt. Der Skalenkanal
20 dient zum Schutz des Skalenstabes 10 gegen von außen eindringenden
Staub und zugleich als magnetische Abschirmung zum Schutz des Skalenstabes
10 und des Meßkopfes gegen externes magnetisches Rauschen. Zu diesem
Zweck weist der Skalenkanal 20 einen inneren magnetisch leitfähigen
Kanal 22 auf, der nachfolgend als "innerer Kanal" bezeichnet werden soll.
Weiterhin ist der Skalenkanal 20 außen mit einer Zierverkleidung 24 versehen,
die nachfolgend als "äußerer Kanal" bezeichnet werden soll. Der äußere
Kanal 24 ist mit Endkappen 28 versehen. Im gezeigten Ausführungsbeispiel
ist der innere Kanal 22 durch Preßformen oder Gießen aus einem magnetisch
leitfähigen Material, wie beispielsweise Stahl, hergestellt. Der äußere Kanal
24 besteht dagegen aus einem leichten Material, beispielsweise aus Aluminium
und ist durch Ziehen oder in einem Extrusionsverfahren hergestellt.
Zylindrische Endstücke 12 und 14 sind fest an beiden Enden des Skalenstabes
10 angebracht. Wie aus Fig. 1 und 3 hervorgeht, ist das Endstück 12
mit einem in Umfangsrichtung verlaufenden, im wesentlichen sphärischen
Wulst 16 versehen. Das Endstück 14 weist dagegen eine glatte Umfangsfläche
auf. Beide Endstücke 12 und 14 sind in montiertem Zustand sorgfältig mit
dem Skalenstab 10 ausgerichtet. Ein Verfahren zur Anbringung der Endstücke
12 und 14 an den beiden Enden des Skalenstabes 10 ist in der eingangs
erwähnten US-Patentanmeldung Serial No. 0 86 537 beschrieben. Dieses
Verfahren wird zweckmäßigerweise bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel
der Meßeinrichtung angewandt, um eine exakte koaxiale Ausrichtung
der Endstücke 12 und 14 in bezug auf die Längsachse des Skalenstabes 10 zu
gewährleisten. Die Gestaltung der Endstücke kann jedoch von der in diesem
Ausführungsbeispiel beschriebenen Gestaltung abweichen. Die Endstücke 12
und 14 sind an einem von zwei Objekten oder Bauteilen montiert, deren relative
Position oder relative Verschiebung gemessen werden soll. In der vorliegenden
Beschreibung wird davon ausgegangen, daß die Meßeinrichtung an einer
Werkzeugmaschine installiert ist, die einen beweglichen Tisch 40 und
einen Werkzeugschlitten 42 aufweist. Die Meßeinrichtung kann jedoch auch
an beliebigen anderen Vorrichtungen installiert sein, bei denen Positionen
oder Verschiebungen längs der geraden Linie mit hoher Genauigkeit gemessen
werden müssen. Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Skalenstab 10
an dem beweglichen Tisch der Werkzeugmaschine montiert, und eine Halterung
34, die über den Träger 32 mit dem Meßkopf 30 verbunden ist, ist
an dem Werkzeugschlitten montiert. Wahlweise ist jedoch auch eine umgekehrte
Anordnung denkbar.
Zur Montage und sicheren Befestigung der Endstücke 12 und 14 des Skalenstabes
10 an dem beweglichen Tisch sind Montageblöcke 50 und 52 vorgesehen.
Der Montageblock 50 bildet eine Platte mit einer axial verlaufenden Nut
50a zur Aufnahme des Endstückes 12. Am Boden der Nut 50a sind nicht gezeigte
Vorsprünge ausgebildet, die dem sphärischen Wulst 16 gegenüberliegen.
In einem praktischen Ausführungsbeispiel sind die Vorsprünge in Form
eines Dreiecks angeordnet, so daß drei Berührungspunkte mit dem Wulst 16
definiert werden. Eine Schelle 54 ist an der Stelle, an der sich der Wulst 16
befindet, am äußeren Umfang des Endstückes 12 angebracht und so geformt,
daß das Endstück 12 mit seinem Wulst 16 in Dreipunkt-Berührung mit den
Vorsprüngen des Montageblocks 50 gehalten wird.
Der Montageblock 52 ist ebenfalls mit einer axial verlaufenden Nut 52a zur
Aufnahme des Endstückes 14 versehen. Die Nut 52a weist einen im wesentlichen
rechteckigen Querschnitt auf und ist mit nicht gezeigten Vorsprüngen
versehen, die vom Boden vorstehen. In der Praxis ist der Montageblock 52
mit zwei in Querrichtung angeordneten Vorsprüngen versehen, die an zwei in
Querrichtung versetzten Punkten mit dem Umfang des Endstücks in Berührung
stehen. Das Endstück 14 ist mit Hilfe einer Schelle 56 fest in dem Montageblock
52 gehalten. Gemäß Fig. 1 und 5 weist die Schelle 56 einen
Vorsprung 56a auf, der in Richtung auf die gegenüberliegende Oberfläche des
Endstückes 14 vorragt. Der Vorsprung 56a bildet zusammen mit den Vorsprüngen
an dem Montageblock 52 eine Dreipunkt-Abstützung für das Endstück.
Die Anordnung, durch die Dreipunkt-Berührungen zwischen dem Endstück
und dem Montageblock gebildet werden, ist ebenfalls in der US-Patentanmeldung
Serial No. 0 86 537 beschrieben.
Zwischen den inneren und äußeren Kanälen 22 und 24 sind Blattfedern 60
angeordnet. Gemäß Fig. 4 ist jede der Blattfedern 60 derart gebogen, daß
sie eine im wesentlichen L-förmige Gestalt aufweist. Die so gebogene Blattfeder
60 weist einen vertikalen Schenkel 62 und einen horizontalen Schenkel
64 auf. Die beiden Endabschnitte 66 der Blattfeder sind abwärts gebogen und
bilden nachgiebige Kontaktzungen. Der Winkel R₁ zwischen den Mittelbereichen
des im wesentlichen vertikal verlaufenden Schenkels 62 und des im
wesentlichen horizontal verlaufenden Schenkels beträgt etwa 135°. An den
Enden der Blattfeder beträgt der zwischen dem vertikalen Schenkel 62 und
dem horizontalen Schenkel 64 gebildete Winkel R₂ etwa 90°. Längs der Innenecke
68 zwischen dem vertikalen Schenkel 62 und dem horizontalen
Schenkel 64 ist ein doppelseitiges Klebeband 69 angebracht.
Wie in Fig. 2 und 3 zu erkennen ist, sind die Blattfedern 60 an einer der
oberen Kanten (der oberen linken Kante in Fig. 2) des inneren Kanals 22
angelegt. Mit Hilfe des doppelseitigen Klebebandes 69 ist die Blattfeder 60 in
der in Fig. 2 gezeigten Weise an der Kante des inneren Kanals festgelegt.
Das untere Ende des vertikalen Schenkels 62 steht elastisch mit dem senkrechten
Wandabschnitt des äußeren Kanals 24 in Berührung, so daß dieser
elastisch vorgespannt wird. Außerdem stehen die abgewinkelten Endabschnitte
66 der Blattfeder mit der Innenfläche des oberen Wandabschnitts in
Berührung, so daß der äußere Kanal zusätzlich nach oben vorgespannt wird.
Der äußere Kanal 24 wird somit nach oben links in Fig. 2 vorgespannt, so
daß er fest an der vorderen Wand des inneren Kanals anliegt. Im Ergebnis
kann so das Spiel zwischen den inneren und äußeren Kanälen 22 und 24 beseitigt
werden, indem die vormontierte Skalenstab-Baugruppe zur Mitte des
äußeren Skalenkanals versetzt angeordnet wird. Durch die Wirkung der Blattfedern
60 wird die Position des äußeren Kanals 24 in bezug auf den inneren
Kanal 22 festgelegt.
Nach dem Zusammenbau der inneren und äußeren Kanäle 24 werden die
Blattfedern 60 auf dem äußeren Umfang des inneren Kanals 22 angebracht.
In diesem Zustand ist eine feste Anlage der Blattfedern 60 an dem inneren
Kanal 22 möglich, da der Innenwinkel R₂ an beiden axialen Enden der Blattfedern
90° beträgt. Nach dem Aufsetzen der Blattfedern 60 wird der äußere
Kanal auf dem inneren Kanal angeordnet, wobei sich die Blattfedern 60 in der
in Fig. 2 gezeigten Weise elastisch an den äußeren Kanal anlegen.
Der äußere Kanal 24 ist mit nach außen weisenden geprägten oder gepreßten
Vorsprüngen 24a und 24b versehen. Zwei dieser Vorsprünge 24a sind an
der vertikal verlaufenden vorderen Wand des äußeren Kanals angeordnet, und
zwei weitere dieser Vorsprünge 24b befinden sich auf der waagerechten oberen
Wand des Skalenkanals. Die Vorsprünge 24a haben ebene Stirnflächen
25a, die in einer gemeinsamen vertikalen Ebene liegen. Diese vertikale Ebene
verläuft exakt parallel zur Achse des Skalenstabes 10. In ähnlicher Weise
liegen die ebenen Stirnflächen 25b der Vorsprünge 24b in einer gemeinsamen
horizontalen Ebene, die parallel zur Achse des Skalenstabes 10 verläuft.
Diese vertikalen und horizontalen Ebenen dienen als Bezugsebenen für die
Montage des Skalenstabes 10 mit dem Skalenkanal 20 an dem beweglichen
Tisch 40 der Werkzeugmaschine.
Zur Einstellung der Höhe der Stirnflächen 25a der Vorsprünge 24a über der
Grundläche werden die Vorsprünge ursprünglich tiefer ausgeprägt, so daß
ihre Stirnfläche eine größere Höhe als im Endzustand aufweist. Anschließend
wird die Höhe der Stirnflächen 25a durch maschinelle Bearbeitung der Vorsprünge
eingestellt, so daß die Stirnflächen beider Vorsprünge in der vertikalen
Bezugsebene ausgerichtet sind. In ähnlicher Weise werden die Höhen
der Stirnflächen 25b der Vorsprünge 24b eingestellt, indem die Vorsprünge
zunächst mit größerer Höhe ausgebildet und anschließend durch maschinelle
Bearbeitung derart reduziert werden, daß die Stirnflächen 25b in der waagerechten
Bezugsebene ausgerichtet sind. Somit können die Vorsprünge 24a
und 24b als Ausrichtmarken verwendet werden, mit denen sich der Skalenstab
10 und der Skalenkanal exakt parallel zu der Bewegungsrichtung des beweglichen
Tisches relativ zu dem Werkzeugschlitten 42 der Werkzeugmaschine
positionieren und montieren lassen. Ein zweckmäßiges Verfahren zur
Bearbeitung der Vorsprünge zur Nivellierung der Stirnflächen 25a und 25b
relativ zu den Bezugsebenen soll nachfolgend anhand der Fig. 5 und 6 erläutert
werden. Für die maschinelle Bearbeitung kann eine Werkzeugmaschine
verwendet werden, wie in Fig. 5 und 6 gezeigt ist. Die Werkzeugmaschine
hat ein Bett 70 mit einer als Bezugsebene dienenden Oberfläche 70a.
Zwei Halteklauen 72a und 72b dienen zur Befestigung der Endstücke 12 und
14 unter Einhaltung genauer Parallelität zwischen der Achse des Skalenstabes
10 und der Bezugsfläche 70a des Bettes 70. Die Halteklauen 72a und 72b
haben Vorsprünge 74a und 74b, die den an den Montageblöcken 50 und 52
ausgebildeten Vorsprüngen entsprechen. Die Werkzeugmaschine weist einen
Tisch 76 auf, der mit Hilfe einer Kugelmutter 78 in x-Richtung antreibbar ist.
Der Tisch 76 trägt einen in Richtung der y-Achse orientierten Werkzeugkopf
80 und einen in Richtung der z-Achse orientierten Werkzeugkopf 82. Die
Werkzeugköpfe 80 und 82 sind über einen Träger 77 und Tragarme 77a und
77b an dem Tisch 76 befestigt. Der in Richtung der y-Achse orientierte
Werkzeugkopf 80 weist einen Fingerfräser 84 auf, der in y-Richtung bewegbar
ist. Entsprechend weist der Werkzeugkopf 82 einen in Richtung der z-
Achse bewegbaren Fingerfräser 86 auf. Die Höhe des Fingerfräsers 86 ist so
eingestellt, daß er sich in einer etwas niedrigeren Position befindet als die
unbearbeiteten freien Enden der Vorsprünge 24b. In dieser Position wird der
Fingerfräser 86 mit hoher Geschwindigkeit angetrieben und in Richtung der
x-Achse bewegt. In ähnlicher Weise ist der Fingerfräser 82 des Werkzeugkopfes
84 so eingestellt, daß er näher an der Hauptfläche des äußeren Kanals
24 liegt als die unbearbeiteten freien Enden der Vorsprünge 24a. In dieser
Stellung wird der Fingerfräser 84 mit hoher Geschwindigkeit angetrieben
und mit dem beweglichen Tisch 76 in Richtung der x-Achse bewegt. Da der
Tisch 76 und mit diesem die Fingerfräser 84 und 86 exakt parallel zu der Bezugsfläche
70a bewegt werden, werden die Vorsprünge 24a und 24b derart
plangefräst, daß ihre beim Fräsen entstehenden Stirnflächen 25a und 25b in
einer Ebene liegen, die parallel zu der Achse des Skalenstabes 10 verläuft.
Der Skalenstab 10 und der aus den inneren und äußeren Kanälen 22 und 24
gebildete Skalenkanal 20 werden als eine Einheit auf dem beweglichen Tisch
installiert. Die Parallelität der Achse des Skalenstabes 10 wird mit Hilfe eines
Meßwerkzeugs, beispielsweise einer Meßuhr, justiert, so daß die vertikalen
und horizontalen Bezugsebenen, die durch die jeweiligen Stirnflächen 25a
und 25b der Vorsprünge 24a und 24b verlaufen, parallel zur Bewegungsrichtung
des beweglichen Tisches 40 der Werkzeugmaschine orientiert sind. Die
Feinjustierung, die durch die Dreipunkt-Abstützung der Endstücke 12 und 14
in den Montageblöcken 50 und 52 ermöglicht wird, ist bereits in der US-Patentanmeldung
Serial No. 0 86 537 beschrieben worden.
Der Meßkopf 30 ist einstückig mit dem Träger 32 ausgebildet, der sich
durch den Schlitz 22 des Skalenkanals erstreckt. Zum Schutz des Innenraumes
des Skalenkanals 20 sind an den beiden unteren Rändern des äußeren
Kanals 24 zwei Dichtlippen 28a und 28b angeordnet. Die Dichtlippen 28a und
28b bestehen aus elastischem Material und weisen freie Enden 29a und 29b
auf, die normalerweise miteinander in Berührung stehen und durch den Träger
32 elastischen verformt werden können, so daß der Meßkopf 30 und
der Träger 32 längs der Achse des Skalenstabes 10 bewegbar sind.
Der Träger 32 ist mit dem Werkzeugschlitten 42 der Werkzeugmaschine
über die Halterung 34 verbunden. Wie ein Vergleich der Fig. 1 und 2
zeigt, kann die Halterung 34 je nach Art der Befestigung der Meßeinrichtung
aus einer mehr oder weniger großen Anzahl von Bauteilen bestehen und/oder
eine unterschiedliche Form aufweisen. Der Träger 32 ist mit zwei durchgehenden
Öffnungen 36 versehen, die von Positionierstiften 38 durchlaufen
werden. Die Positionierstifte 38 sind in Richtung auf die Halterung 34 verlängert
und werden in einer durchgehenden Öffnung 34a aufgenommen, so daß
die Relativposition des Trägers 32 in bezug auf die Halterung 34 festgelegt
wird. In einer axial versetzten Position sind Befestigungsschrauben 32a
zur starren Verbindung des Trägers 32 mit der Halterung 34 angeordnet.
Anstelle der in durchgehenden Öffnungen angeordneten Positionierstifte 38
können gemäß Fig. 7 auch verdeckte Stifte 38′ in Sackbohrungen 36′ angeordnet
sein. In diesem Fall kann auch die durchgehende Öffnung in der Halterung
durch eine Sackbohrung 34a′ ersetzt werden.
Bei der oben beschriebenen Konstruktion ist die Halterung 34 mit dem Träger
32 in einer Position verbunden, die gegenüber dem unteren Rand
des äußeren Kanals 24 um die Strecke L₁ nach unten versetzt ist, und die
vordere Stirnfläche 34b der Halterung 34 ist in bezug auf die an der Vorderseite
des äußeren Kanals 24 definierte Bezugsebene PB seitlich um die
Strecke L₂ versetzt.
Gemäß Fig. 3 ist der Träger 32 mit vertikal orientierten Langlöchern
32b zur Aufnahme der Befestigungsschrauben 32a versehen. Der axiale Abstand
zwischen den Positionierstiften 38 und den Langlöchern 32b hat den
Wert m, und der Abstand zwischen den Positionierstiften 38 beträgt M. Die
Öffnungen 34a zur Aufnahme der Positionierstifte in der Halterung 34 und die
Gewindeöffnungen 34b der Halterung 34 sind in entsprechender Weise angeordnet.
Der Abstand zwischen den Öffnungen 34a und den Gewindeöffnungen
34b beträgt m, und der Abstand zwischen den einzelnen Öffnungen 34a zur
Aufnahme der Positionierstifte hat den Wert M. Die Langlöcher 32b in dem
Träger 32 ermöglichen eine Feineinstellung der Relativposition des Trägers
32 und der Halterung 34. Eine solche Feineinstellung unter Verwendung
einer Kombination aus Langlöchern und Befestigungsschrauben ist
beschrieben in dem US-Patent Nr. 46 49 648 (Nagaoka et al.).
Damit eine genaue Messung der Relativposition oder der relativen Verschiebung
zwischen dem beweglichen Tisch 40 und dem Werkzeugschlitten 42
der Werkzeugmaschine ermöglicht wird, muß die Halterung 34 so an dem
Werkzeugschlitten 42 befestigt werden, daß sie parallel zur Bewegungsrichtung
des beweglichen Tisches ausgerichtet ist. Da der Skalenstab 10 genau
parallel zur Bewegungsrichtung des beweglichen Tisches auf dem beweglichen
Tisch 40 montiert ist, kann die Position der Halterung 34 in bezug auf
die Achse des Skalenstabes 10 bestimmt werden. Da jedoch der Skalenstab
10 als Teil einer vormontierten Baugruppe an dem beweglichen Tisch 40
montiert und durch den Skalenkanal 20 abgedeckt ist, so daß er nicht von außen
zugänglich ist, wird in der Praxis die Positionierung der Halterung 34
anhand der an den äußeren Oberflächen des äußeren Kanals 24 definierten
Bezugsebenen PB und PA vorgenommen.
Zur Positionierung der Halterung 34 wird eine Positionierlehre 90 verwendet.
Die Positionierlehre 90 dient als Attrappe für den Träger 32 während
der Montage der Halterung 34 in der gewünschten Position an dem
Werkzeugschlitten 32. Um eine einfache Positionierung der Halterung 34 zu
ermöglichen, ist die Positionierlehre 90 so konstruiert, daß sie lösbar auf
dem Skalenkanal 20 montierbar ist. Gemäß Fig. 8 und 9 weist die Positionierlehre
90 einen als Attrappe für den Träger 32 dienenden Abschnitt
92 auf. Dieser Abschnitt soll nachfolgend als "Trägerattrappe" bezeichnet
werden. Die Trägerattrappe ist in einem Stück mit einem im wesentlichen
L-förmigen Abschnitt 94 ausgebildet, der sich über den vorderen vertikalen,
in Fig. 8 und 9 jedoch in horizontaler Stellung gezeigten Abschnitt
des Skalenkanals 20 erstreckt. Der Abschnitt 94 soll nachfolgend als "Halteabschnitt"
bezeichnet werden. Die Höhe eines vertikalen Teils 94a des Halteabschnitts
94 ist so gewählt, daß die Trägerattrappe 92 in einer Position
gehalten wird, die im wesentlichen der Position des Trägers 32 entspricht.
An dem vertikal verlaufenden Teil 94b des Halteabschnitts 94 ist eine im wesentlichen
L-förmige Feder 96 befestigt, die nach rückwärts abgewinkelt ist
und mit ihrem waagerecht verlaufenden Abschnitt 96a der oberen waagerechten
Oberfläche des äußeren Kanals 24 gegenüberliegt. Die L-förmige Feder
96 ist an dem vertikal verlaufenden Teil 94b des Halteabschnitts 94 mit
Hilfe einer Befestigungsschraube 98 befestigt. Die Feder 96 weist ein streifenförmiges
freies Ende 100 auf, das in eine in dem vertikal verlaufenden
Teil 94b des Halteabschnitts 94 ausgebildete durchgehende Öffnung 102 eingreift.
Das entgegengesetzte Ende 96c der Feder 96 ist zu einer Eingriffsklaue
gebogen. Diese Eingriffsklaue 96c ist derart angeordnet, daß sie in eine
axial verlaufende Ziernut 24c in dem oberen waagerechten Abschnitt des äußeren
Kanals 24 eingreift. Die Ziernut 24c verläuft in Abstand zu dem waagerechten
Teil 94b des Halteabschnitts 94. Durch die Feder 96 wird das Positionierwerkzeug
90 elastisch gegen die an dem äußerem Kanal 24 definierten
Bezugsflächen gespannt, so daß die Trägerattrappe 92 relativ zu diesen
Bezugsflächen positioniert wird. Die Trägerattrappe 92 weist zwei in Abstand
zueinander angeordnete durchgehende Öffnungen 102 auf, deren Positionen
im wesentlichen den Positionen der Positionierstifte 38 des Trägers
32 entsprechen. Der Abstand zwischen den Öffnungen 102 stimmt somit
genau mit dem Abstand M zwischen den Positionierstiften 38 überein.
Die Dicke t der Trägerattrappe 92 ist jedoch um so viel größer als die
Dicke des Trägers 32, daß die der Halterung 34 zugewandete Oberfläche
92a an der betreffenden Oberfläche des Trägers plaziert werden kann,
um die Höhe der Oberfläche so zu bestimmen, daß sie exakt mit der des Trägers
übereinstimmt. Wie in Fig. 9 zu erkennen ist, weist die Trägerttrappe
92 einen Fortsatz 104 auf, der nach oben vorspringt und an
den unteren Rand des äußeren Kanals 24 angelegt werden kann.
Das Verfahren zur Montage der Halterung 34 mit Hilfe der Positionierlehre
90 soll nachfolgend anhand der Fig. 11 erläutert werden. In einem anfänglichen
Schritt P 100 wird die Positionierlehre in der in Fig. 10 gezeigten
Stellung auf den äußeren Kanal 24 aufgesteckt. Anschließend wird die Halterung
34 gemäß Schritt P 101 ungefähr in der gewünschten Position vorübergehend
an dem Werkzeugschlitten befestigt. In Schritt 102 wird die Positionierlehre
90 in eine Position bewegt, die annähernd der Verbindungsstelle
entspricht, an der die Halterung montiert ist. In Schritt 103 werden die Positionierstifte
104 durch die durchgehenden Öffnungen 102 der Positionierlehre
90 gesteckt. Anschließend wird in den Schritten P 103 und P 104 die
Feineinstellung vorgenommen. Bei dieser Feineinstellung wird die Position
der Halterung 34 genau eingestellt, indem die Befestigungsschrauben 34c gelockert
und die Halterung in Schritt 104 etwas innerhalb des durch die Langlöcher
34d gebildeten Spiels bewegt wird. Danach wird in Schritt P 103 erneut
überprüft, ob die Positionierstifte durch die Positionieröffnungen 34a
gesteckt werden können. Auf diese Weise wird die Position der Halterung 34
durch Wiederholen der Schritte P 103 und P 104 so eingestellt, daß die Positionieröffnungen
34a die Positionierstifte 104 aufnehmen. In Schritten P 105
und P 106 wird die Höhe der Halterung 34 überprüft und beispielsweise mit
Hilfe von Abstandshaltern so eingestellt, daß die Oberfläche der Halterung 34
der ihr zugewandten Oberfläche der Trägerattrappe 32 in sehr kleinem
Abstand H gegenüberliegt. Der Abstand H zwischen den einander zugewandten
Oberflächen wird durch Wiederholen der Schritt P 105 und P 106 auf etwa
1 mm eingestellt. Am Schluß dieses Einstellvorgangs wird die Halterung 34
mit Hilfe der durch die Langlöcher 34d der Halterung verlaufenden Befestigungsschrauben
34c starr an dem Werkzeugschlitten 42 befestigt. Nach Abschluß
der Einstellarbeiten wird die Positionierlehre 90 in Schritt P 107 von
dem Skalenkanal 20 entfernt. Der Träger 32 wird in Schritt P 108 in die
Positon bewegt, in der sich die Halterung 34 befindet. Wenn diese Position
erreicht ist, wird in Schritt P 109 der Positionierstift 38 des Trägers 32
in die Positionieröffnung der Halterung 34 eingeführt. Schließlich werden in
Schritt P 110 der Träger 32 und die Halterung 34 fest miteinander verbunden.
Bei den oben beschriebenen Einstellvorgängen wird der Träger 32 vorzugsweise
in einer Stellung gehalten, in der er bei den Einstellarbeiten nicht
stört. Zu diesem Zweck wird ein Feststeller 110 verwendet. Der Feststeller
110 ist in einem Stück aus einem plastisch oder elastisch verformbaren Material
wie beispielsweise Kunststoff hergestellt und hat die in Fig. 8, 12
und 13 gezeigte Form. Der Feststeller 110 weist einen Eingriffsabschnitt 112
zum Erfassen des Trägers 33 und einen Anlageabschnitt 114 auf, der den
äußeren Kanal 24 umgreift. Zur nachgiebigen Befestigung an dem äußeren
Kanal 24 ist der Anlageabschnitt 114 mit einem hakenförmigen Endabschnitt
versehen, der eine Ecke des äußeren Kanals 34 umgreift und den Anlageabschnitt
114 elastisch gegen den äußeren Kanal spannt, so daß der Träger
32 dauerhaft festgehalten wird. Sowohl der Eingriffsabschnitt 112 als
auch der Anlageabschnitt 114 sind so gestaltet, daß sie elastisch mit dem jeweils
zugehörigen Teil, also dem Träger 32 bzw. dem äußeren Kanal 24
in Eingriff stehen, so daß der Träger vorübergehend an dem äußeren Kanal
24 in Position gehalten werden kann.
Der Feststeller 110 ist auch nützlich bei einem Transport der Meßeinrichtung
mit Skalenkanal und montiertem Meßkopf und Träger. Während
des Transports wird der Träger 32 in der in Fig. 12 gezeigten Weise
festgehalten.
Claims (10)
1. Meßeinrichtung zur Überwachung von Relativverschiebungen zwischen
einem ersten Bauteil (40) und einem zweiten Bauteil (42), mit:
- - einem an seinen beiden Enden mit Endstücken (12, 14) versehenen langge streckten Teilungsträger (10),
- - zwei an dem ersten Bauteil (40) befestigten Lagern (50, 52) zur Aufnahme der Endstücke (12, 14),
- - einem den Teilungsträger aufnehmenden Hohlkörper (20),
- - einem axial auf dem Teilungsträger (10) verschiebbaren Meßkopf (30) zum Ablesen der Skalenteilung und zur Erzeugung eines entsprechenden Ablesesignals und
- - einem mit dem zweiten Bauteil (42) verbundenen Mitnehmer (32), der zusammen mit dem Meßkopf (30) bewegbar ist,
dadurch gekennzeichnet, daß außen an dem Hohlkörper (20) wenigstens
eine Bezugsfläche (PA; PB) für die Ausrichtung des Trägers (32) in bezug
auf
die Endstücke (12, 14) ausgebildet ist.
2. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Hohlkörper (20) ein Innenteil (22) und ein Außenteil (24) mit jeweils im
wesentlichen rechteckigem, vorzugsweise annähernd quadratischem Quer
schnitt aufweist, die derart ineinandergefügt sind, daß die Außenfläche des
Innenteils (22) der Innenfläche des Außenteils (24) gegenüberliegt, und daß
zwischen den Innen- und Außenteilen eine Vorspanneinrichtung (60) vorgesehen
ist, durch die das Außenteil derart gegen das Innenteil gespannt wird,
daß die Bezugsfläche (PA; PB) an dem Außenteil (24) in bezug auf das Innen
teil
(22) festgelegt wird.
3. Meßeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
Vorspanneinrichtung eine an einer Kante des Innenteils (22) angeordnete
Blattfeder aufweist, die elastische Kräfte in zwei zueinander senkrechten
Richtungen auf das Außenteil (24) ausübt.
4. Meßeinrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der Hohlkörper (20) mit mehreren in Längsrichtung
verteilten Vorsprüngen (24a, 24a; 24b, 24b) versehen ist, deren Stirnflächen in
einer gemeinsamen Ebene parallel zu dem Teilungsträger (10) liegen und
wenigstens eine Bezugsebene (25a, 25a; 25b, 25b) für die Positionierung des
Teilungsträgers (10) in bezug auf das erste Bauteil (40) definieren.
5. Meßeinrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet
durch ein lösbar auf dem Hohlkörper (20) montiertes und elastisch
gegen die Bezugsfläche (PA oder PB) oder Bezugsflächen (PA; PB) vorgespanntes Positionier
werkzeug (90), das in Längsrichtung des Hohlkörpers (20) bewegbar ist, und
ein in bezug auf das Positionierwerkzeug (90) positionierbares Verbindungs
teil (34) zur Verbindung des Trägers (32) mit dem zweiten Bauteil (42).
6. Meßeinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das
Verbindungsteil (34) mit einem Vorsprung oder einer Ausnehmung
(34a; 34a′) versehen ist und daß der Mitnehmer (32) eine an den Vorsprung des
Verbindungsteils angepaßte Ausnehmung bzw. einen an die Ausnehmung des
Verbindungsteils angepaßten Vorsprung (38; 38′) aufweist.
7. Meßeinrichtung nach Anspruch 5 oder 6, gekennzeichnet durch Positionier
stifte (38; 104) und durch in einander entsprechenden Positionen
angeordnete Bohrungen (34a; 36; 102) zur Aufnahme der Positionierstifte in dem
Verbindungsteil (34), dem Mitnehmer (32) und dem Positionierwerkzeug
(90).
8. Meßeinrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet
durch eine zur vorübergehenden Fixierung des Trägers dienenden
Feststeller (110) mit einem Anlageabschnitt (114) zur Anlage an dem
Hohlkörper (20), einem Hakenabschnitt, der mit dem Anlageabschnitt über einen
Steg aus flexiblem Material verbunden ist und den Anlageabschnitt in fester
Anlage an dem Hohlkörper (20) hält, und mit einem Halter (112) zur Auf
nahme des Trägers (32).
9. Meßeinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der
Anlageabschnitt (114), der Hakenabschnitt und der Halter (112) des Fest
stellers (110) in einem Stück aus einem flexiblen Material hergestellt sind.
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