DE3917417C2 - Keramischer Hochspannungskondensator und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen keramischen Hoch­ spannungskondensator nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und Verfahren zu dessen Herstellung.

Im allgemeinen hat dielektrisches keramisches Material wie Bariumtitanat eine hohe Dielektrizitätskonstante und einen kleinen tan δ, und somit ist ein Kondensator erzielbar, wel­ cher eine vergleichsweise hohe Kapazität und hohen Spannungs­ widerstand trotz einer geringen Größe aufweist. Aus diesem Grunde wurden bisher Kondensatoren, bei denen ein derartiges Material verwendet wurde, auch für Stromversorgungsausrü­ stung, beispielsweise als stoßspannungsabsorbierende Konden­ satoren für Stromkreisunterbrecher, verwendet.

Zur Messung der Kurzschlußspannung von Kondensatoren werden zwei Methoden angewendet; eine Methode, bei welcher Hochspan­ nungsimpulse an die äußeren Anschlüsse eines einzelnen zu vermessenden Kondensators angelegt werden und der Kurz­ schlußtest durchgeführt wird, indem die angelegte Spannung allmählich erhöht wird, und eine Methode, bei welcher eine große Anzahl von zu vermessenden Kondensatoren in einer Se­ rien/Parallelanordnung miteinander verbunden und Hochspan­ nungsimpulse an zwei Anschlüssen des Kondensatorkreises ange­ legt werden, und bei welcher der Kurzschlußtest durchgeführt wird, indem die angelegte Spannung allmählich erhöht wird. In einigen Fällen war der Wert der Kurzschlußspannung pro Kon­ densator, der durch die Methode der Verbindung einer großen Anzahl von Kondensatoren in einer Serien/Parallelanordnung erhalten wurde, kleiner als der Wert der Kurzschlußspannung, der durch die Methode der Messung eines einzelnen Kondensa­ tors erhalten wurde. Dieses Phänomen trat auf, wenn ein be­ sonderer leitfähiger Klebstoff als Bindemittel zwischen der Elektrode und den äußeren Anschlüssen verwendet wurde, und trat bemerkenswerterweise nicht auf, wenn ein leitfähiger Klebstoff verwendet wurde, der mit einer speziellen Kompo­ nente und einem speziellen Mischungsverhältnis präpariert wurde.

Ein möglicher Grund für die Verringerung des Wertes der Kurz­ schlußspannung pro Kondensator, wenn eine große Anzahl von zu vermessenden Kondensatoren in einer Serien/Parallelanordnung miteinander verbunden sind, ist, daß insbesondere wenn eine Impulsspannung mit einer sehr kurzen Wellenfrontdauer ange­ legt ist, der der Harzkomponente in dem leitfähigen Klebstoff zugeschriebene Widerstandswert stark ansteigt, wodurch eine Hochspannung an den leitfähigen Klebstoffbereich zwischen der Elektrode und dem äußeren Anschluß angelegt wird und ein Un­ gleichgewicht in der Spannungsverteilung auf jedes Teil des Kondensators stattfindet. In einem solchen Fall, wenn ein Kurzschluß in dem leitfähigen Klebstoffbereich stattfindet, ändert sich die Spannungsverteilung auf jedes Teil eines Kon­ densators und die Spannungsverteilung auf jeden einer Mehr­ zahl von Kondensatoren sehr stark, und es ist durchaus denk­ bar, daß ein Kurzschluß an dem Kondensator stattfindet, an welchem die höchste Spannung angelegt ist.

Das oben beschriebene Problem tritt nicht auf, wenn der An­ schluß durch Löten an der Elektrode befestigt werden kann, aber in einem Kondensator mit einer hohen Kurzschlußspannung, wie beispielsweise in Fig. 4 gezeigt, wurde für die Elektrode ein Basismetall wie Aluminium verwendet, wodurch ein Lötver­ fahren nicht angewendet werden konnte. Zusätzlich wird in Be­ tracht gezogen, eine wie in Fig. 4 gezeigte Glasbehandlung auf einen wie in Fig. 3 gezeigten Kondensator mit Silberelektroden anzuwenden, jedoch verbessert dies kaum die Impulsspannungswiderstandscharakteristik im Vergleich zu der Anwendung der Glasbehandlung bei einer Basismetallelektrode.

Die deutsche Offenlegungsschrift DE-OS 24 62 480 offenbart einen keramischen Hochspannungskondensator, der zwei gegenüberliegende Elektroden auf einem dielektrischen keramischen Element beinhaltet, wobei die Elektroden aus Silbermaterial gebildet sind und ein äußerer Anschluß auf jede der Elektroden aufgelötet ist. Jedoch ist in der Nähe der Endkanten einer jeden der Elektroden auf den Oberflächenbereichen des dielektrischen keramischen Elementes die keramische Verbindung nicht chemisch reduziert.

Es ist somit die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen keramischen Hochspannungskondensator nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bereit zu stellen, der in der Lage ist, eine Verringerung des Wertes der Kurzschluß­ spannung pro Kondensator zu verhindern, auch wenn eine große Anzahl von Kondensatoren in einer Serien/Parallelanordnung miteinander zur Verwendung als ein Kondensator mit einer ho­ hen Kapazität und einem hohen Spannungswiderstand miteinander verbunden sind, und ein Verfahren zur Herstellung eines der­ artigen keramischen Hochspannungskondensators anzugeben.

Der erfindungsgemäße keramische Hochspannungskondensator ist dadurch gegekennzeichnet, daß an den Oberflächenbereichen des dielektrischen keramischen Ele­ mentes in der Nähe einer jeden Elektrodenendkante chemisch reduzierte Bereiche gebildet sind.

Weiterhin umfaßt ein Verfahren zur Herstellung eines kerami­ schen Hochspannungskondensators im Sinne der vorliegenden Er­ findung einen Schritt der Vorbereitung eines dielektrischen keramischen Elementes, einen Schritt der Vorbereitung eines leitfähigen Materials, dessen Hauptkomponente Silberpuder ist, einen Schritt der Vorbereitung eines Reduziermittels, dessen Hauptkomponente ein Metall ist, das eine stärkere Oxi­ dationsneigung als das dielektrische keramische Element hat, einen Schritt der Beschichtung des dielektrischen keramischen Elementes mit einem leitfähigen Materiale derart, daß die Oberflä­ che des dielektrischen keramischen Elementes an ihren Endkantenbe­ reichen freiliegt, einen Schritt der Elektrodenbildung, in­ dem das leitfähige Material, mit welchem das dielektrische keramische Element beschichtet wurde, erwärmt wird, einen Schritt der Beschichtung der freiliegenden Bereiche des di­ elektrischen keramischen Elementes an den Elektrodenendkanten mit dem Reduziermittel, einen Schritt der Bildung chemisch reduzierter Bereiche auf dem dielektrischen keramischen Element durch Er­ wärmung des dielektrischen keramischen Elementes, welches mit dem Reduziermittel beschichtet ist, und einen Schritt des An­ lötens eines äußeren Anschlusses an jede der Elektroden.

Ein weiteres Verfahren zur Herstellung eines keramischen Hochspannungskondensators im Sinne der vorliegenden Erfindung umfaßt einen Schritt der Vorbereitung eines dielektri­ schen keramischen Elementes, einen Schritt der Vorbereitung eines leitfähigen Materials, dessen Hauptkomponente Silberpu­ der ist, einen Schritt der Vorbereitung eines Reduziermit­ tels, dessen Hauptkomponente ein Metall ist, das eine stär­ kere Oxidationsneigung als das dielektrische keramische Ele­ ment hat, einen Schritt der Beschichtung des dielektrischen keramischen Elementes mit dem leitfähigen Material derart, daß die Oberfläche des dielektrischen keramischen Elementes an den Endkanten freiliegt, einen Schritt der Beschichtung der freiliegenden Bereiche des dielektrischen keramischen Elemen­ tes an den Endkanten des leitfähigen Materials, mit welchem das dielektrische keramische Element beschichtet wurde, mit dem Reduziermittel, einen Schritt der Bildung chemisch reduzierter Re­ gionen gleichzeitig mit der Bildung von Elektroden, indem das mit dem leitfähigen Material und dem Reduziermittel beschich­ tete dielektrische keramische Element erwärmt wird, und einen Schritt des Anlötens eines äußeren Anschlusses an jede der Elektroden.

Bei dem erfindungsgemäßen keramischen Hochspannungskondensa­ tor wird der chemisch reduzierte Bereich auf den in der Nähe der Elek­ trodenendkanten liegenden Oberflächenbereiches des di­ elektrischen keramischen Elementes gebildet. In diesen Berei­ chen, in welchen das dielektrische keramische Material chemisch redu­ ziert wurde, sind Träger vorhanden, wodurch diese Bereiche einen geringeren Widerstand im Vergleich mit anderen Berei­ chen aufweisen. Da diese Bereiche mit geringem Widerstand an den Endkanten der Elektrode vorhanden sind, ist die Kon­ zentration des elektrischen Feldes im Elektrodenendkantenbe­ reich vermindert und der Spannungsgradient ist schwach ge­ dämpft. Endsprechend liegt ein hoher Spannungswiderstand an dem gesamten Kondensator vor. Weiterhin wird der äußere An­ schluß an der Elektrode angelötet, indem Silbermaterial als Elektrode verwendet wird, wodurch die Verbindung zwischen der Elektrode und dem äußeren Anschluß stabil ist und die insta­ bilen Bedingungen aufgrund des leitfähigen Klebstoffes nicht existieren.

Es wird Silbermaterial für die Elektrode verwendet, und der äußere Anschluß wird an der Elektrode angelötet, wodurch der Bindungsstatus zwischen der Elektrode und dem äußeren Anschluß ungeachtet der an den Verbindungsbereich angelegten Spannung stabil ist, und dadurch kann die Verringerung der Kurzschlußspannung ver­ hindert werden, auch wenn eine große Anzahl von Kondensatoren in Serien/Parallelanordnung verwendet werden. Zusätzlich wei­ sen die auf der Oberfläche des dielektrischen keramischen Elementes in der Nähe der Elektrodenendkanten gebildeten chemisch re­ duzierten Bereiche einen im Vergleich mit anderen Elementbe­ reichen kleinen Isolationswiderstand auf, wodurch der Span­ nungsgradient an den Elektrodenendkanten verringert ist, wo­ raus eine Verbesserung der Kurzschlußspannung des dielek­ trischen keramischen Elementes resultiert.

Weiterhin wird im Sinne des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Beschichtung des dielektrischen keramischen Elementes ein Me­ tallmaterial mit einer starken Oxidationsneigung verwendet, wodurch der chemisch reduzierte Bereich auf der Oberfläche des dielek­ trischen keramischen Elementes gebildet wird. Zusätzlich sind die Elektrode und der äußere Anschluß verlötet und so der oben beschriebene keramische Hochspannungskondensator erziel­ bar.

Ausgestaltungen des keramischen Hochspannungskondensators sowie des Verfahrens nach Anspruch 3 sind den jeweiligen Unteransprüchen zu entnehmen.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nun anhand der Zeichnungen beschrieben. Dabei zeigen:

Fig. 1 eine Schnittansicht, die die Struktur eines Aus­ führungsbeispieles eines erfindungsgemäßen kerami­ schen Hochspannungskondensators darstellt;

Fig. 2A, 2B, 2C perspektivische Ansichten eines jeden Vorgangs bei der Herstellung des Kondensators; und

Fig. 3 und 4 entsprechende Schnittansichten herkömmli­ cher keramischer Hochspannungskondensatoren.

Fig. 3 und 4 sind Schnittansichten, die jeweils ein Bespiel eines herkömmlichen Kondensators für Stromleistungsausrüstung zeigen.

Wie in Fig. 3 zu sehen, umfaßt ein Kondensator 1 ein zylin­ drisches dielektrisches keramisches Element 2, wobei auf des­ sen oberer Oberfläche eine Silberelektrode 3 und auf dessen unterer Oberfläche eine Silberelektrode 4 gebildet sind. Der Kondensator 1 ist so ausgestaltet, daß die Durchmesser der Elektroden 3 und 4 etwas kleiner als der Durchmesser des Ele­ mentes 2 sind, wodurch der Oberflächenabstand zwischen den Enden der Elektroden 3 und 4 verlängert ist. Dies verbessert die Druckwiderstandscharakteristik des Kondensators 1 gegen kriechende Endladung. In dem Mittelbereich der Elektrode 3 ist ein äußerer Anschluß 5 mittels eines leitfähigen Kleb­ stoffes 6 angeordnet. Entsprechend ist im Mittelbereich der Elektrode 4 ein äußerer Anschluß 7 mittels einer leitfähigen Klebstoffschicht 8 angeordnet. Weiterhin ist die Umgebung des dielektrischen keramischen Elementes 2 mit einem Isolierharz 9 geformt. Schraubenmuttern sind an den äußeren Anschlüssen 5 und 7 angeordnet, um den Anschluß an Leitungen oder anderer Kondensatoren der gleichen Form zum Anschluß in Serie zuzu­ lassen.

Weiterhin weist der in Fig. 4 gezeigte Kondensator die annä­ hernd gleiche Struktur wie der in Fig. 3 gezeigte Kondensator auf, unterscheidet sich jedoch darin, daß für die Elektroden 10 und 11 Aluminium verwendet wurde und Glasstücke 12 und 13, deren Hauptkomponente Borosilikatbleiglas ist, sind ringför­ mig auf die Endkanten der Elektroden im Schmelzklebverfahren aufgebracht. Die Anordnung von Glasbereichen an den Endkanten der Elektroden 10 und 11 in dieser Art kann die Druckwider­ standscharakteristik gegen kriechende Endladung verbessern. Weiterhin weisen die Glasbereiche 12 und 13 eine vergleichs­ weise höhere dielektrische Konstante als das Isolierharz 9 auf, wodurch die Konzentration des elektrischen Feldes an den Elektrodenenden verringert ist, woraus eine Verbesserung der Kurzschlußspannung des dielektrischen keramischen Elementes in der Umgebung der Elektrodenendkanten resultiert.

Diese herkömmlichen keramischen Hochspannungskondensatoren weisen die oben beschriebenen Nachteile auf.

Fig. 1 zeigt eine Schnittansicht eines Ausführungsbeispieles eines erfindungsgemäßen keramischen Hochspannungskondensa­ tors, und Fig. 2A, 2B und 2C zeigen perspektivische Ansichten des Zustandes in jedem Vorgang bei der Herstellung des Kon­ densators.

Ein wie in Fig. 1 gezeigter keramischer Hochspannungskonden­ sator 20 umfaßt ein zylindrisches dielektrisches keramisches Element 22, welches aus Material beispielsweise der BaTiO₃ Serie oder SrTiO₃ Serie hergestellt ist, wobei auf der oberen und unteren Oberfläche des dielektrischen keramischen Elemen­ tes 22 Silberelektroden 24 und 26 ausgebildet sind. Diese Elektroden 24 und 26 sind derart ausgebildet, daß ihre Durch­ messer kleiner als der Durchmesser des dielektrischen kerami­ schen Elementes 22 sind. Anschließend werden Reduziermittel­ schichten 28 und 30 in Ringform an den Endkanten der Elek­ troden 24 und 26 gebildet. Reduzierte Bereiche 32 und 34 des dielektrischen keramischen Materials werden ringförmig ent­ sprechend in den Oberflächenbereichen des dielektrischen ke­ ramischen Elementes 22 in der Umgebung der Reduziermittel­ schichten 28 und 30 gebildet. Ein äußerer Anschluß 36 ist im Mittelbereich der Elektrode 24 mittels einer Lötschicht 38 angelötet. Entsprechend ist ein äußerer Anschluß 40 im Mit­ telbereich der Elektrode 26 mittels einer Lötschicht 42 an­ gelötet. Weiterhin ist die äußere Oberfläche außer der Berei­ che der äußeren Anschlüsse 36 und 40 mit einem Isolierharz 44 geformt.

Der in Fig. 1 gezeigte keramische Hochspannungskondensator wird insbesondere wie im folgenden beschrieben hergestellt.

Zuerst wird, wie in Fig. 2A gezeigt, eine leitfähige Paste, die Silberpuder als Hauptkomponente, Schmelzglas u. dgl. ent­ hält, durch das Siebdruckverfahren auf die Endoberflächen des keramischen Elementes 22 innerhalb eines Bereiches, dessen Durchmesser um einen vorbestimmten Betrag kleiner als der Durchmesser des Elementes 22 ist, aufgebracht. Dieses wird auf eine Temperatur von ca. 150°C erwärmt, und passiert an­ schließend einen Brennofen bei einer Maximumtemperatur von 860°C während einer Zeitdauer von 10-15 Std. zur Ausbildung von Silberelektroden.

Anschließend wird ein Reduziermittel, eine Paste deren Haupt­ komponenten beispielweise ca. 80 Gewichts% Aluminiumpuder und ca. 20 Gewichts% Borosilikonbleiglas sind, vorbereitet. Diese Paste wird ringförmig in einem Bereich, dessen äußerer Durch­ messer größer und dessen innerer Durchmesser kleiner als der Durchmesser der Elektrode ist, aufgetragen, erwärmt und bei einer Temperatur von ca. 150°C getrocknet. Anschließend wird das mit der Paste beschichtete Element 22 gebrannt, indem es für ca. 2 Std. durch einen Brennofen bei einer Maxi­ mumtemperatur von 830-860°C läuft. Während des Brennvor­ ganges reduziert das in der Paste lokal enthaltene Aluminium­ puder die Oberflächenteile des dielektrischen keramischen Elementes, um die ringförmigen reduzierten Bereiche 32 und 34 zu bilden. Zusätzlich wird der Aluminiumpuder von der Luft durch das Borosilikonbleiglas abgeschirmt, wodurch die Oxida­ tion des Aluminiumpuders durch Luftsauerstoff kaum fort­ schreiten kann. Die Volumenisolationswiderstände der durch diesen Brennprozeß gebildeten reduzierten Bereiche 32 und 34 werden 10⁹ Ωcm oder kleiner, was eine erhebliche Reduktion gegenüber vorher 10¹²-10¹⁴ Ωcm bedeutet.

Anschließend werden, wie in Fig. 2C gezeigt, die äußeren An­ schlüsse 36 und 40 in den Mittelbereichen der Elektroden 24 und 26 entsprechend aufgelötet, und weiterhin die Harzformung 44 angewendet, wodurch der keramische Hochspannungskondensa­ tor hergestellt ist.

Zusätzlich kann das Reduziermittel auf die freiliegenden Be­ reiche des dielektrischen keramischen Elementes 22 nach der Beschichtung mit der leitfähigen Paste und vor der Erwärmung aufgetragen werden. In diesem Falle werden die reduzierten Bereiche 32 und 34 im Element 22 gleichzeitig mit der Ausbil­ dung Silberelektroden durch Erwärmung des dielektrischen ke­ ramischen Elementes 22, welches mit dem leitfähigen Material und dem Reduziermittel beschichtet ist, gebildet.

Die folgende Tabelle zeigt die Ergebnisse der Kurz­ schlußtests, die mit dem oben beschriebenen Ausführungsbei­ spiel des erfindungsgemäßen Kondensators und den konventio­ nellen Kondensatoren gemäß Fig. 3 und 4 durchgeführt wurden.

Tabelle

Hier bedeutet jeder numerische Wert das Spannungsverhältnis, wobei der Wert der Kurzschlußspannung als 1 genommen wurde, welcher bei der Durchführung des Kurzschlußtestes mit einem einzelnen Kondensator gemäß Fig. 3 erreicht wurde, bei wel­ chem Silberelektroden verwendet und die äußeren Anschlüsse daran mittels des leitfähigen Klebstoffes befestigt wurden. Weiterhin bedeutet jeder numerische Wert, der bei den Tests mit mehreren zusammengeschalteten Kondensatoren erhalten wurde, das Spannungsverhältnis der berechneten Kurzschluß­ spannung pro einem Kondensator, wobei der Kurzschlußtest mit einer Mehrzahl von Kondensatoren, die in einer Se­ rien/Parallelanordnung miteinander verbunden wurden, durchge­ führt wurde.

Somit kann das Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Kon­ densators, wenn einzeln verwendet, einen Spannungswiderstand erreichen, der annähernd gleich mit dem des in Fig. 4 gezeig­ ten Kondensators ist, bei welchem die Glasbehandlung auf die Aluminiumelektroden angewendet wurde. Zusätzlich, auch wenn eine große Anzahl von Kondensatoren verwendet wird, erreicht die Spannung pro einzelnem Kondensator einen Wert, der annä­ hernd gleich zu dem Wert ist, der bei den Tests mit einzelnen Kondensatoren erreicht wurde.

Weiterhin wurde in dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel Aluminiumpulver als ein Reduziermittel verwendet, jedoch kann ein anderes Metallpulver mit einer starken Oxidationsneigung, beispielsweise Kupfer oder Nickel ebenso verwendet werden.

Claims (6)

1. Keramischer Hochspannungskondensator, bei welchem zwei gegenüberlie­ gende Elektroden auf einem dielektrischen keramischen Element gebildet sind, die Elektroden aus Silbermaterial gebildet sind und ein äußerer An­ schluß (36, 42) auf jede der Elektroden aufgelötet ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein chemisch reduzierter Bereich (32, 34) in der Nähe der Endkanten einer jeden der Elektroden (24, 26) auf den Oberflächenbereichen des dielektri­ schen keramischen Elementes gebildet ist.

2. Keramischer Hochspannungskondensator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Hauptkomponente des dielektri­ schen keramischen Elementes Strontiumtitanat- oder Bariumtitanatmaterial ist.

3. Verfahren zur Herstellung eines keramischen Hochspannungskondensators, gekennzeichnet durch,

• (a) einen Schritt der Vorbereitung eines dielektrischen keramischen Elementes,
• (b) einen Schritt der Vorbereitung eines leitfähigen Materials, dessen Haupt­ komponente Silberpuder ist,
• (c) einen Schritt der Vorbereitung eines Reduziermittels, dessen Hauptkompo­ nente ein Metall ist, das eine stärkere Oxidationsneigung als das dielektrische keramische Element aufweist,
• (d) einen Schritt der Beschichtung des dielektrischen keramischen Elementes mit dem leitfähigen Material derart, daß die Oberfläche des dielektrischen kera­ mischen Elementes an den Endkantenbereichen freiliegt,
• (e) einen Schritt der Ausbildung der Elektroden durch Erwärmen des leitfähigen Materials, welches auf das dielektrische keramische Element aufgetragen ist,
• (f) einen Schritt des Auftragens des Reduziermittels auf die freiliegenden Berei­ che des dielektrischen keramischen Elementes an den Elektrodenendkanten­ bereichen,
• (g) einen Schritt der Ausbildung von chemisch reduzierten Bereichen in dem die­ lektrischen keramischen Element, indem das dielektrische keramische Ele­ ment, welches mit dem Reduziermittel beschichtet ist, erwärmt wird, und
• (h) einen Schritt des Anlötens eines äußeren Anschlusses an jede der Elektroden.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt des Anlötens der äußeren Anschlüsse an jede der Elektroden nach dem Schritt des Ausbildens der chemisch reduzierten Bereiche in dem dielek­ trischen keramischen Element durchgeführt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Material des Reduziermittels eine Paste ist, die Aluminiumpuder, Nickel­ puder oder Kupferpuder als Hauptkomponenten sowie Glaspuder enthält.

6. Verfahren zur Herstellung eines keramischen Hochspannungskondensa­ tors, gekennzeichnet durch

• (a) einen Schritt der Vorbereitung eines dielektrischen keramischen Elementes,
• (b) einen Schritt der Vorbereitung eines leitfähigen Materials, dessen Haupt­ komponente Silberpuder ist,
• (c) einen Schritt der Vorbereitung eines Reduziermittels, dessen Hauptkompo­ nente ein Metall ist, das eine stärkere Oxidationsneigung als das dielektrische keramische Element aufweist,
• (d) einen Schrift der Beschichtung des dielektrischen keramischen Elementes mit dem leitfähigen Material derart, daß die Oberfläche des dielektrischen kerami­ schen Elementes an den Endkantenbereichen freiliegt,
• (e) einen Schritt des Auftragens des Reduziermittels auf die freiliegenden Berei­ che des dielektrischen keramischen Elementes an den Endkantenbereichen des auf das dielektrische keramische Element aufgetragenen leitfähigen Ma­ terials,
• (f) einen Schritt der Ausbildung von chemisch reduzierten Bereichen in dem die­ lektrischen keramischen Element gleichzeitig mit der Ausbildung von Elek­ troden, indem das mit dem leitfähigen Material und dem Reduziermittel be­ schichtete keramische Element erwärmt wird, und
• (g) einen Schritt des Anlötens eines äußeren Anschlusses an jede der Elektroden.