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Die vorliegende Erfindung betrifft einen Gaslaser-Apparat
gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1. Ein derartiger
Gaslaser-Apparat ist in der EP-A-0 235 788 beschrieben.
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Als der Gaslaser des obengenannten Typs wird ein CO&sub2;-Laser
zur Werkstoffbearbeitung verwendet. Der CO&sub2;-Laser umfaßt im
allgemeinen einen mit einem Gasgemisch als ein Lasermedium
gefüllten Entladungsabschnitt, eine Vielzahl von im
Entladungsabschnitt vorgesehenen Stabanoden, welche in Form eines
Reed- bzw. Rohrschirms angeordnet sind, und eine Vielzahl von
im allgemeinen L-förmigen Stabkathoden, welche den Stabanoden
gegenüberliegend angeordnet sind. Eine
Gleichstrom-Hochspannungsquelle ist über Ballastwiderstände zwischen die
Entladungselektroden geschaltet. Die Gleichspannung wird über
den Entladungselektroden angelegt, wodurch sie eine
Glimmentladung zwischen den Elektroden verursacht und dadurch das
Gasgemisch anregt. Das Gasgemisch wird über einen
Wärmetauscher von der Kathodenseite zur Anodenseite zurückgeführt um
zu verhindern, daß seine Temperatur ansteigt. Für beide der
Entladungselektroden wird herkömmlicherweise Molybdän
aufgrund seines hohen Schmelzpunktes verwendet.
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Für den in einer Fertigungsstraße eines Unternehmens zum
Zwecke der Werkstoffbearbeitung eingesetzten Laserapparat ist
es anders als bei einem im Labormaßstab zu Forschungszwecken
dienenden Laser wünschenswert, ein möglichst langes
Wartungsintervall des Laserapparats zu erreichen, da das
Wartungsintervall die Produktivität der Fertigungsstraße beeinflußt.
Beim herkömmlichen CO&sub2;-Laser unterliegen die
Entladungselektroden einer Zustandsverschlechterung, und die elektrische
Entladung im Entladungsabschnitt des Lasers geht von der
Glimm- zur Lichtbogenentladung über, wenn die Elektroden
nicht gewartet werden. Unter diesen Bedingungen wird die
Wartung der Entladungselektroden in relativ kurzen
Intervallen wiederholt ausgeführt. So kann beispielsweise der
herkömmliche 5 kW-Transversal-Gaslaser maximal 200 Stunden
kontinuierlich arbeiten.
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Die Erfinder der vorliegenden Erfindung führten Experimente
zur Untersuchung des Mechanismus der Zustandsverschlechterung
von Entladungselektroden durch. Aus den Experimenten ersahen
die Erfinder, dar die aus Molybdän bestehenden Kathoden einer
physikalischen Zerstäubungswirkung aufgrund des Aufpralls
positiver Ionen während der Glimmentladung unterliegen. Da
Molybdän außerdem eine geringe Sublimationstemperatur von
unter 700ºC hat, ist es auch wahrscheinlich, daß Molybdän von
der chemischen Zerstäubungswirkung beeinträchtigt wird.
Demzufolge erfahren die Entladungselektroden aufgrund sowohl
physikalischer als auch chemischer Zerstäubungswirkung eine
Zustandsverschlechterung. Die Kontrolle der Molybdänkathode
nach einer langen Einsatzzeit ergibt, daß sich entlang den
Korngrenzen auf der Oberfläche der Molybdänkathode
netzförmige Vorsprünge gebildet haben, was ein deutliches Anzeichen
dafür ist, dar die Zerstäubung ungleichmäßig auf die Kathode
wirkt. Des weiteren bildet sich auf der Kathodenoberfläche
ein dünner Oxidfilm. Es ist anzunehmen, daß der dünne
Oxidfilm auf eine extrem kleine Menge von Sauerstoff
zurückzuführen ist, die im Gasgemisch aus He, N&sub2; und CO&sub2; im
Verhältnis 50:45:5 enthalten ist. Weiterhin wird angenommen, daß der
Sauerstoff auf Leckage durch Dichtelemente eines luftdichten
Behälters des Gaslaser-Apparats oder auf Zerlegung des im
Gasgemisch enthaltenen CO&sub2; basiert.
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Andererseits ergibt die Kontrolle der Molybdänanode nach
einer langen Einsatzzeit, daß sich eine angehäufte oder
aufgeschichtete Substanz mit einer Dicke von etwa 1 oder 2 um
auf ihrer der Kathode gegenüberliegenden Seite befindet, und
daß schwarze Vorsprünge, deren Außendurchmesser etwa 100 um
beträgt, auf ihrer Oberfläche festgestellt werden. Da es sich
bei der angehäuften Substanz um amorphes, teilweise auf der
der Kathode gegenüberliegenden Anodenseite befindliches MoO&sub3;
handelt, nimmt man an, daß die obenbeschriebene
Kathodenzerstäubung Kathodenmaterialpartikel streut und in der
Gasgemischströmung zur Anode transportiert, was in der auf der
Anode angehäuften Substanz resultiert. Eine Analyse ergibt,
daß die auf der angehäuften Substanz ausgeformten Vorsprünge
aus Kohlenstoff bestehen. Daraus wird gefolgert, daß Mikro-
Lichtbögen an den Vorsprüngen erzeugt werden.
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Aufgrund der obenbeschriebenen Analysenergebnisse wird
folgender Mechanismus angenommen, der von der
Zustandsverschlechterung der Entladungselektroden zur Erzeugung von
Mikro-Lichtbögen führt: Die Molybdänkathode unterliegt der
Zerstäubungswirkung aufgrund der Glimmentladung in
Entladungsabschnitt des Gaslasers, was in der ungleichmäßig auf
der Anode angehäuften Substanz resultiert. Da die angehäufte
Substanz ein Molybdänoxid ist, hat eine isolierende
Eigenschaft. Die Konzentration des elektrischen Feldes tritt an
manchen Bereichen der Anodenoberfläche auf. Demgegenüber sind
die netzförmigen Vorsprünge aufgrund der ungleichmäßigen
Zerstäubungswirkung auf der Kathodenoberfläche ausgebildet,
welche ebenfalls die Konzentration des elektrischen Feldes
verursachen. Die Mikro-Lichtbögen werden aufgrund der
Konzentration des elektrischen Feldes erzeugt, und das elektrische
Feld neigt dazu, sich mit zunehmender Anzahl der Mikro-
Lichtbogenerzeugungspunkte an diesen Punkten zu
konzentrieren, wodurch die Ungleichmäßigkeit der Entladungsleistung
zunimmt. Die Entladungsleistung erreicht örtlich den
Lichtbogengrenzwert oder übersteigt ihn, und schließlich wechselt
die Glimmentladung über den Entladungsabschnitt zur
Lichtbogenentladung. Die obenbeschriebene Bedingung trifft nicht
nur auf die Gaslaser des Gleichspannungsentladungstyps,
sondern auch auf diejenigen des
Wechselspannungsentladungstyps zu, bei denen beide Entladungselektroden abwechselnd der
Zerstäubung und dadurch dem Verschleiß und der
Zustandsverschlechterung unterliegen.
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Soweit bisher beschrieben, besteht beim herkömmlichen
Gaslaser ein Problem darin, daß das aufgrund der Zerstäubung an
der Seite einer Entladungselektrode produzierte Oxid auf der
Oberfläche der anderen Entladungselektrode angehäuft wird und
die Zustandsverschlechterung der Elektrode den
Lichtbogengrenzwert senkt, wodurch ein verkürztes Wartungsintervall
notwendig wird.
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Es ist deshalb eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen
Gaslaser-Apparat bereitzustellen, bei dem die
Zustandsverschlechterung der Entladungselektroden verhindert und somit
deren Wartungsintervall verbessert werden kann.
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Die US-A-4 122 411 beschreibt verschiedene Werkstoffe zur
Verwendung für eine zerstäubungsbeständige Kathode, welche Ti
und Mo als ein Basismaterial enthalten, deren Arbeitsfläche
vorzugsweise mit einem Oxid, z.B. des Titan, beschichtet ist.
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Der Gaslaser-Apparat der vorliegenden Erfindung entspricht
den Ansprüchen 1 bis 4. Nach einer Ausführungsform bestehen
die Oberflächen der beiden Entladungselektroden aus Titanoxid
anstelle der herkömmlichen aus Molybdän bestehenden
Elektroden.
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Da Titanoxid ein äußerst stabiles Material ist, hat es eine
kleine Zerstäubungsrate und neigt nicht zur Beeinträchtigung
durch physikalisches Zerstäuben. Da weiterhin der Dampfdruck
bei hoher Umgebungstemperatur relativ niedrig ist, neigt
Titanoxid nicht zur Beeinträchtigung durch chemisches
Zerstäuben. Bei einer Temperatur des TiO&sub2; von ca. 1530ºC nimmt
der Dampfdruck den Wert von 10&supmin;&sup6; Torr an, während bei
gleichen Dampfdruckbedingungen die Temperatur des MoO&sub3; nur 490ºC
erreicht. Folglich wird verhindert, daß die aufgrund des
Zerstäubens an einer Entladungselektrode resultierende Substanz
auf der anderen Entladungselektrode angehäuft wird, was eine
Konzentration des elektrischen Feldes vermeidet. Außerdem ist
der Oberflächenzustand des Titans stabil, was zusätzlich zur
Vermeidung von Konzentration des elektrischen Feldes und
damit zum Auftreten von Mikro-Lichtbögen beiträgt. Da also
eine Zustandsverschlechterung der Entladungselektronen
vermieden werden kann, kann eine stabile Entladung über einen
langen Zeitraum sichergestellt werden.
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Die Entladungselektroden mit Titanoxidoberflächen können nach
den folgenden Verfahren erhalten werden. Bei einem ersten
Verfahren werden die Entladungselektroden aus Titan als einem
Basismaterial gebildet. Vor dem Einbau der
Entladungselektroden in den Gaslaser-Apparat werden die Elektroden unter
Umgebungsluft gebrannt, so daß ihre Oberflächen oxidieren. Bei
einem zweiten Verfahren werden die Entladungselektroden aus
Titan als einem Basismaterial gebildet und in den Gaslaser-
Apparat eingebaut. Wenn die elektrische Entladung zwischen
den Entladungselektroden auf die übliche Weise eingeleitet
wird, wird das Basismaterial Titan aufgrund der durch die
Entladung entstehenden Hitze erwärmt, und eine extrem kleine
Sauerstoffmenge, welche in dem als das Lasermedium dienenden
Gasgemisch enthalten ist, bewirkt die Oxidation des
Basismaterials, wodurch man die Titanoxidoberfläche erhält. Bei
einem dritten Verfahren werden die Entladungselektroden als
Molybdän als Basismaterial gebildet. Danach wird Titan
mittels Sputtern, Ionenbeschichten oder Laserplattieren auf die
Elektrodenoberflächen aufgebracht. Danach werden die
Elektroden entweder zuvor gebrannt oder unmittelbar in den Gaslaser-
Apparat eingebaut, wo durch Einleiten der elektrischen
Entladung der Elektrodenoberflächen oxidieren. Im Fall des
Gaslaser-Apparats des Gleichspannungsentladungstyps kann eine
der Elektroden aus dem Entladungselektrodenpaar mit der
Titanoberfläche versehen werden. Im Fall des Gaslaser-
Apparats des Wechselspannungsentladungstyps jedoch müssen
beide der Entladungselektroden mit der Titanoberfläche
versehen werden.
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Nunmehr werden Ausführungsformen der Erfindung beispielhaft
und unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen
beschrieben; es zeigen:
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Fig. 1 eine Teilschnittansicht einer Kathode für den
Gaslaser-Apparat einer ersten Ausführungsform, bei der
die vorliegende Erfindung angewandt werden kann;
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Fig. 2 eine perspektivische Ansicht der Kathode;
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Fig. 3 eine Schnittansicht des Entladungsabschnitts des
Gaslaser-Apparats;
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Fig. 4 eine graphische Darstellung des Ergebnisses der
Elementaranalyse in Richtung der Kathodentiefe vor
Einleiten der Entladung;
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Fig. 5 eine graphische Darstellung des Ergebnisses der
Elementaranalyse in Richtung der Kathodentiefe nach
Ablauf von 200 Stunden ab dem Einleiten der
Entladung;
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Fig. 6 eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen
Entladungsleistung und Entladungsdauer in der
Praxis;
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Fig. 7 eine perspektivische Darstellung einer gemäß der
Erfindung eingesetzten Entladungselektrode im
Gaslaser-Apparat der zweiten Ausführungsform;
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Fig. 8 eine Teilschnittansicht einer im Impulslaser-
Apparat einer dritten Ausführungsform eingesetzten
Kathode; und
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Fig. 9 eine Schnittansicht des Entladungsabschnitts des
Impulslaser-Apparats.
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Eine erste Ausführungsform, bei der der Gaslaser-Apparat ein
CO&sub2;-Laser zur Werkstoffbearbeitung ist, wird nunmehr anhand
der Fig. 1 bis 4 der beiliegenden Zeichnungen beschrieben.
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Wie zunächst aus der Fig. 3 ersichtlich ist, wird ein
Gasgemisch veranlaßt, von der linken zur rechten Seite einen
Innenhohlraums eines Entladungsabschnitts 1 zu strömen. Das
Gasgemisch wird von einem Wärmetauscher (nicht dargestellt)
gekühlt und durch den Hohlraum des Entladungabschnitts 1
zurückgeführt. Das Gasgemisch besteht aus He, N&sub2; und CO&sub2; im
Verhältnis 50:45:5. Es ist zu berücksichtigen, daß eine
extrem kleine Menge Sauerstoff oder dergl. im Gasgemisch
enthalten ist. Der Druck des Gasgemischs beträgt etwa 4 x 10³
Pascal (30 Torr) und seine Durchsatzrate im
Entladungsabschnitt beträgt in der Mitte des Hohlraums ca. 70 m/s.
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Jede Stabanode 2 der Entladungselektroden umfaßt eine
schlanke sich senkrecht erstreckende Stabelektrode. Eine
Vielzahl solcher Stabanoden 2 sind über den Hohlraum des
Entladungsabschnitts 1 angeordnet. Jede Stabkathode 3 der
Entladungselektroden umfaßt eine im wesentlichen L-förmige
schlanke Stabelektrode. Eine Vielzahl solcher Stabkathoden 3
sind so angeordnet, daß eines ihrer Enden in Richtung der
Stabanoden 2 weist. Eine Gleichspannungsquelle 5 ist über
Ballastwiderstände 4 mit jeweils einem Widerstand von 20 kX
zwischen die Elektroden 2 eingeschaltet, so daß über die
Elektroden 2 und 3 eine hohe Gleichspannung angelegt wird.
Wenn die Gleichspannung über den Elektroden 2 und 3 angelegt
ist, während das Gasgemisch durch den Hohlraum des
Entladungsabschnitts 1 strömt, wird eine Glimmentladung
eingeleitet. Ein Bereich, in dem Glimmen vorliegt, ist in der Fig. 3
durch gekreuzte schräge Linien markiert. Ein
Belichtungsabschnitt jeder Stabkathode 3, welcher mit dem Glimmen
abgedeckt ist, unterliegt dem Einfluß des Gasdrucks oder dergl.
In der Ausführungsform befindet sich der Belichtungsabschnitt
jeder Stabkathode 3 innerhalb von 10 mm bis 20 mm vom
distalen Ende jeder Stabkathode 3 entfernt. Bei Eintritt der
Glimmentladung wird das CO&sub2; im als Lasermedium dienenden
Gasgemisch erregt, und zwischen herkömmlichen Resonatoren, die
jeweils mit einem Reflektor (nicht dargestellt) ausgestattet
sind, tritt Laserschwingung ein. In der Fig. 3 ist eine
Strahlachse mit Bezugszeichen 6 gekennzeichnet.
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Titan wird als das Basismaterial 7 jeder Stabkathode 3
verwendet, und auf der Oberfläche des Belichtungsabschnitts
bildet sich, wie schematisch in der Fig. 1 dargestellt, ein
dünner Titanoxidfilm 8. Jede mit dem Titanoxidfilm 8 versehene
Stabkathode 3 wird wie folgt hergestellt: Die gesamten
Stabkathoden 3 werden zuerst aus Titan gebildet und in dem
Entladungsabschnitt 1 des Gaslaser-Apparats eingebaut. Die
elektrische Entladung wird dann zwischen den
Entladungselektroden 2 und 3 auf die gleiche Weise wie bei der üblichen
Verwendung des Apparats eingeleitet. Die Stabkathoden 3
werden durch das Glimmen erwärmt, und die Oberfläche jeder
Stabkathode 3 oxidiert aufgrund einer extrem kleinen Menge
Sauerstoff, welche im Gasgemisch enthalten ist, wodurch sich ein
dünner Titanoxidfilm auf der Oberfläche jeder Stabkathode 3
bildet. Hierzu zeigen die Fig. 5 und 6 die Ergebnisse einer
Elementaranalyse entsprechend eines auf dem Auger-Effekt
basierenden Analyseverfahrens der Kathode in Richtung ihrer
Tiefe vor dem Eintreten der elektrischen Entladung sowie nach
200stündiger Entladung. In jeder graphischen Darstellung
repräsentiert die waagrechte Achse die Tiefe von der
Kathodenoberfläche aus und die senkrechte Achse das
Elementarverhältnis auf Basis der Spektralintensität. Wie die graphischen
Darstellungen zeigen, hat sich nach 200stündiger elektrischer
Entladung ein dünner Titanoxidfilm mit einer Dicke von etwa
50 nm (500 Å) auf der Oberfläche der aus Titan als
Basismaterial geformten Kathode gebildet. Es ist zu berücksichtigen,
daß die Dicke des so entstandenen Titanoxidfilms nahezu
proportional zur Entladedauer ist.
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Da gemäß dem obenbeschriebenen Aufbau die
Belichtungsabschnittsoberfläche jeder Stabkathode 3 mit dem dünnen
Titanoxidfilm 8 bedeckt ist, dessen physikalische Zerstäubungsrate
beachtlich niedrig ist, wird das physikalische Zerstäuben
auch dann nahezu ausgeschaltet, wenn die elektrische
Entladung eine Beeinträchtigung der Stabkathode 3 durch die
Zerstäubungswirkung verursacht. Da weiterhin Titanoxid ein
stabiles Material ist und einen niedrigen Dampfdruck in einer
Atmosphäre hoher Temperatur hat, wird auch das chemische
Zerstäuben vermieden. Dementsprechend wird eine Menge der auf
der Stabanode 2 angehäuften Substanz deutlich im Vergleich
zum Fall der herkömmlichen aus Molybdän gebildeten Kathode
verringert, so daß eine Konzentration des elektrischen Feldes
auf der Anodenoberfläche und damit Auftreten von
Mikro-Lichtbögen vermieden wird. Da außerdem der Titanoxidfilm 8 stabil
ist, wird eine Konzentration des elektrischen Feldes bedingt
durch ungleichmäßiges Zerstäuben, wie dies im Falle der
herkömmlichen Molybdänkathode zu erkennen ist, auf der
Oberfläche jeder Stabkathode 3 ausgeschaltet, wodurch das Auftreten
von Mikro-Lichtbögen weiter eingeschränkt wird.
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Als Ergebnis des obenbeschriebenen Aufbaus kann eine
Zustandsverschlechterung bei den Elektroden 2 und 3 verhindert
und deshalb eine stabile Entladung über eine lange Dauer
aufrechterhalten werden. Des weiteren können das
Wartungsintervall das Gaslaser-Apparats und die Produktivität einer
Fertigungsstraße, in der der Gaslaser-Apparat arbeitet, verbessert
werden. Die Fig. 6 zeigt die Beziehung zwischen der
Entladungsleistung und der Entladungsdauer in der Praxis für den
Fall eines 5 kW-Transversal-CO&sub2;-Laser. Wie aus der Fig. 6
ersichtlich ist, nimmt die praktische Entladungsleistung bei
der herkömmlichen Molybdänkathode allmählich ab, und die
elektrische Entladung wird nur über etwa 100 Stunden
aufrechterhalten. Bei der erfindungsgemäßen Titankathode
dagegen, kann die praktische Entladungsleistung selbst nach
200stündiger Entladung auf einem hohen Wert gehalten werden. Die
waagrechte Achse in der Fig. 6 kennzeichnet den
logarithmischen Maßstab.
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Der Durchmesser der Titankathode hat nach der 200stündigen
elektrischen Entladung um etwa 9 um abgenommen. Auf Basis
dieses Ergebnisses beträgt die Betriebslebensdauer der in der
Ausführungsform eingesetzten Titankathode etwa 10.000
Stunden. Bei herkömmlichen Kathoden muß die auf der Kathode
angehäuf te Substanz in Intervallen von jeweils höchstens
200-Stunden entfernt werden. Beim erfindungsgemäßen Apparat
dagegen kann das Intervall auf etwa 1500 Stunden verlängert
werden, was dem 7,5fachen des herkömmlichen Apparats entspricht.
Wie aus der Fig. 6 zu ersehen ist, hat die Titankathode 3 die
Tendenz zu einer niedrigen praktischen Entladungsleistung in
der Anfangsphase der elektrischen Entladung, die mit
anhaltender Entladung zunimmt. Wird jedoch das Einbrennen mit der
Kathode 3 länger ausgeführt als im herkömmlichen Apparat bei
Testbetrieb des Apparats zur Vorbereitung für die
Auslieferung oder den Transport ab Werk, dann kann die praktische
Entladungsleistung zunächst auf einem hinreichend hohen Wert
gehalten werden.
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Obwohl die vorliegende Erfindung vorzugsweise für einen
biaxialen Querströmungs-CO&sub2;-Laser mit Gleichspannungsentladung
angewandt wird, kann die Erfindung auch auf andere Laser-
Apparate des Typs, bei dem die Entladungselektroden in der
Atmosphäre des als Ladermedium dienenden Gasgemischs
ungeachtet der Art des Gasgemischs angeordnet sind, wie z.B.
Axialströmungs-Gaslaser, dreiachsige Querströmungs-Gaslaser
und dergl. Die Entladungskathode ist im wesentlichen Σ-förmig
ausgeführt, wie eine Kathode 9 in der Fig. 7 als eine zweite
erfindungsgemäße Ausführungsform.
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Wie in der eine dritte Ausführungsform darstellenden Fig. 8
gezeigt, kann jede Stabkathode 3 aus Molybdän als einem
Basismaterial 10 gebildet werden. Auf jeder Stabkathode 3
kann eine Titanbeschichtung 11 aufgebracht und dann oxidiert
werden, so daß sich auf der Oberfläche jeder Stabkathode 3
ein Titanoxidfilm bildet. Das Verfahren zum Aufbringen der
Titanbeschichtung 11 auf jeder Stabkathode 3 umfaßt Sputtern,
Ionenbeschichten oder Laserplattieren, die dem Fachmann
hinreichend bekannt sind. Von diesen Verfahren gilt
Laserplattieren als das geeigneste, da es die größte Schichtdicke von
etwa 0,4 mm ermöglicht. Weiterhin kann zur Oxidierung der
Titanbeschichtung 11 das gleiche Verfahren wie bei der
vorigen Ausführungsform angewandt werden. Wahlweise kann die
Kathode vor der Montage des Laser-Apparats erwärmt werden,
damit die Titanbeschichtung oxidiert.
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Obwohl die Erfindung vorzugsweise auf den Gaslaser der
vorigen Ausführungsform mit Gleichspannungsentladung angewandt
wird, kann sie auch für einen Gaslaser des
Wechselspannungsentladungstyps vorgesehen werden. Da beide Elektroden
abwechselnd
von der Zerstäubungswirkung im Gaslaser des
Wechselspannungsentladungstyps betroffen sind, muß sowohl die
Kathode als auch die Anode mit der Titanoxidoberfläche versehen
werden. Es wird davon ausgegangen, daß sich der Aufbau, bei
dem sowohl die Kathode als auch die Anode mit
Titanoxidoberfläche versehen ist, in einfacher Weise aus der Beschreibung
der ersten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die Fig. 1
bis 4 erkennen läßt, so daß auf eine Beschreibung sowie auf
Zeichnungen hierfür verzichtet wird.
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Um die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe zu lösen,
können außerdem die Entladungselektroden aus Titan als
Basismaterial oder aus Molybdän als Basismaterial mit
Titanbeschichtung gebildet werden, anstatt zuvor Titanoxid auf die
Oberflächen der Entladungselektroden aufzubringen, wie oben
beschrieben. Bei der Inbetriebnahme des Gaslaser-Apparats
verursacht die zwischen den Entladungselektroden induzierte
elektrische Entladung die Oxidation von deren Oberflächen,
und dementsprechend ist schließlich die Oberfläche jeder
Elektrode mit Titanoxid bedeckt. Da sich diese Konstruktion
ebenfalls in einfacher Weise aus der ersten Ausführungsform
herleiten läßt, wird auf eine detallierte Beschreibung mit
Zeichnungen verzichtet.
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Die Fig. 8 und 9 zeigen eine vierte Ausführungsform, welche
einen Impulslaser mit gepulster Leistung betrifft.
Stabkathoden 13 und Stabanoden 14, welche jeweils aus Titan als ein
Basismaterial gebildet sind, sind einander gegenüberliegend
an den oberen und unteren Seiten eine Entladungsabschnitts 12
angeordnet. Eine gepulste Spannungsversorgung ist über die
Elektroden angeschlossen. Der Titanoxidfilm bildet sich auf
der Oberfläche des Belichtungsabschnitts jeder Elektrode
aufgrund der Oxidation des Titan als Basismaterial. Das als
das Lasermedium dienende Gasgemisch kann entweder von rechts
nach links oder umgekehrt strömen, wie aus der Fig. 9
ersichtlich ist. Mit der vierten Ausführungsform läßt sich
derselbe Effekt erzielen wie mit der ersten Ausführungsform.