DE3818119C2 - - Google Patents
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
-
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
Die Erfindung geht aus von einer Sonde zum elektrischen
Kontaktieren einer Zuleitung eines elektronischen Bauteils
gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Eine Sonde dieser Gattung ist bekannt aus der US-Patent
schrift 42 14 201, worin auch erwähnt ist, daß man mit
derartigen Sonden Spannungsabfälle entlang aufeinanderfol
genden Abschnitten der Zuleitung eines elelektronischen
Bauteils messen kann. Bei der bekannten Sonde sind drei
Kontaktspitzen vorgesehen, die längs einer Geraden
fluchtend in gleichen Abständen zueinander liegen und durch
umgebogene Endabschnitte dreier Drähte gebildet sind,
welche in Rillen einer Trägerplatte verlaufen. Die umgebo
genen Endabschnitte der Drähte stehen aus den Rillen über
die Oberfläche der Trägerplatte vor, und zwar schräg
geneigt in einer Richtung, die entweder quer oder längs zum
Verlauf der in den Rillen liegenden Drahtlängen weist. Wenn
also die Kontaktspitzen in Richtung senkrecht zur Oberflä
che der Träger belastet werden, dann verformen sich die in
den Rillen liegenden Drahtlängen elastisch, im einen Fall
als Torsionsfeder und im anderen Fall als Stabfeder.
Hiermit ist aber auch die Gefahr gegeben, daß sich die
Relativlage der Kontaktspitzen zueinander leicht verändert.
Wenn diese Veränderung in der erwähnten US-Patentschrift
auch als vernachlässigbar bezeichnet wird, so wäre es für
eine gute Reproduzierbarkeit durchzuführender Messungen
doch wünschenswert, solche Änderungen praktisch auszu
schließen.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht somit darin,
die Genauigkeit der Positionierung der Kontaktspitzen
hinsichtlich ihrer Relativlage zu verbessern. Diese Aufgabe
wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Patentanspruchs
1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind
in Unteransprüchen gekennzeichnet.
Durch die erfindungsgemäße Führung der die Kontaktspitzen
bildenden Endabschnitte der Drähte in Löchern einer
darüberliegenden Deckplatte wird die relative Positionie
rung der Kontaktspitzen und damit auch deren gegenseitiger
Abstand genau durch die Positionen der Löcher in der Deck
platte bestimmt und kann nicht durch Biegung der Drähte
verändert werden. In einer besonders vorteilhaften
Ausgestaltung sind die Trägerplatte und die Deckplatte mit
den dazwischen verlaufenden Drähten an einer von den
Kontaktspitzen beabstandeten Stelle zusammengehalten und
derart flexibel, daß eine Bewegung entlang einer zur
äußeren Oberfläche der Deckplatte senkrechten Kontaktrich
tung möglich ist, wenn die Platten an der besagten
beabstandeten Stelle gehalten werden. Somit ergibt sich
eine Elastizität beim Andrücken der Kontaktspitzen an den
zu kontaktierenden Gegenstand, ohne daß durch die elasti
sche Verformung die Relativlage der Kontaktspitzen verän
dert wird.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung gehen aus
nachstehender Beschreibung hervor, in der ein bevorzugtes
Ausführungsbeispiel anhand von Zeichnungen erläutert wird.
In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 schematisch und in auseinander gezogener Form einen
Vertikalschnitt durch eine erfindungsgemäße Sonde;
Fig. 2 eine Draufsicht auf die Deckplatte der Sonde nach
Fig. 1;
Fig. 3 eine Draufsicht auf die Trägerplatte und die daran
befestigten Drähte der Sonde nach Fig. 1.
Wie in den Fig. 1 bis 3 dargestellt, enthält die insge
samt mit 10 bezeichnete Sonde eine Deckplatte 12 (eine 0,38
mm dicke Platte aus Epoxymaterial mit Glasfüllmasse, im
Handel erhältlich), eine Trägerplatte 14 (1,57 mm dick, aus
dem gleichen Material) und Wolframdrähte 16, 18, 20
(Legierung) mit einem Durchmesser von 0,508 mm, die
sandwichartig zwischen die beiden Platten geschichtet sind
und deren Endabschnitte 22, 24, 26, welche die Kontaktspit
zen oder "Tastenden" der Sonde darstellen, aus zugeordneten
Löchern 28, 30, 32 in der Deckplatte 12 herausstehen. Die
Deckplatte 12 und die Trägerplatte 14 werden zwischen zwei
Klemmplatten 34 und 36 durch Schrauben (nicht gezeigt)
festgehalten, die durch Löcher 38 greifen. Die weiter oben
erwähnten Löcher 28, 30, 32 haben jeweils einen Durchmesser
von 0,508 mm und liegen längs einer geraden Linie 40
beabstandet, mit jeweils einem Mitte-Mitte-Abstand von
0,762 +/- 0,025 mm. Die Kontaktspitzen 22, 24, 26 stehen
über die äußere Oberfläche 42 der Deckplatte 12 um 0,653 +
0,172 /- 0,000 mm vor. Die Kontaktspitzen sind auf spitze
Punkte zugeschärft, um die Kontaktgabe und Reproduzierbar
keit zu verbessern. Die Drähte 16, 18, 20 sind an leitenden
Belägen 44, 46, 48 an der oberen Fläche der Trägerplatte 14
festgelötet und haben rechtwinklige Biegungen, wo sie in
Löcher 28, 30, 32 eintreten. Die Drähte 18 und 20 haben
außerdem nahe den zugeordneten Löchern Umlenkungen 50 und
52, um elektrischen Kontakt mit den jeweils anderen Drähten
zu vermeiden.
Zur Durchführung einer Messung mit der Sonde 10
(Einzelheiten möglicher Messungen selbst sind z. B. in der
oben erwähnten US-Patentschrift beschrieben) werden die
Kontaktspitzen 22, 24, 26 von der prüfenden Person, welche
die Sonde 10 nahe den beiden Klemmplatten 34 und 36
ergreift, gegen die Zuleitung einer zu prüfenden integrier
ten Schaltung gelegt. Die Deckplatte 12 und die Träger
platte 14 biegen sich dabei leicht durch, und die Tastspit
zen der Wolframlegierung stechen in die Zuleitung und
bilden dabei einen guten elektrischen Kontakt mit letzte
rer. Die Löcher 28, 30, 32 halten die Kontaktspitzen in
genauer Ausrichtung und korrektem gegenseitigen Abstand
während der Messung, was die Reproduzierbarkeit verbessert.
Durch das Anlöten der Drähte 16, 18, 20 an die leitenden
Beläge 44, 46, 48 sind die Drähte sicher positioniert.
Claims (10)
1. Sonde zum elektrischen Kontaktieren einer Zuleitung
eines elektronischen Bauteils an mehreren Punkten,
mit einer der Anzahl der zu kontaktierenden Punkte
entsprechenden Mehrzahl von Drähten, die auf der Oberfläche
einer Trägerplatte aus Isoliermaterial gehalten sind und
die in der Nähe ihrer einen Enden derart umgebogen sind,
daß ihre Endabschnitte von dieser Oberfläche abstehen und
Kontaktspitzen bilden, welche längs einer Geraden fluchtend
in vorbestimmten Abständen zueinander liegen,
dadurch gekennzeichnet,
daß die umgebogenen Endabschnitte (22, 24, 26) der
Drähte (16, 18, 20) durch eine sich über die
Oberfläche der Trägerplatte (14) erstreckende Deckplatte
(12) hindurch in Löchern (28, 30, 32) geführt sind, die an
der von der Trägerplatte (14) abgewandten äußeren Oberfläche
(42) der Deckplatte (12) so liegen, daß die dort herausstehenden
Kontaktspitzen (22, 24, 26) ihre vorbestimmte Lage
beibehalten.
2. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Anzahl der Drähte (16, 18, 20) und die Anzahl der Löcher
(28, 30, 32) in der Deckplatte (12) gleich drei ist.
3. Sonde nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Löcher (28, 30, 32) an der äußeren Oberfläche (42)
der Deckplatte (12) entlang einer Linie in gleichen Längen
beabstandet sind.
4. Sonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die äußere Oberfläche (42) und die der
Trägerplatte (14) zugewandte Oberfläche der Deckplatte (12)
eben und parallel zueinander sind.
5. Sonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (14) aus einem
lsoliermaterial besteht und leitende Beläge (44, 46, 48)
auf ihrer der Deckplatte (12) zugewandten Oberfläche trägt,
und daß die Drähte (16, 18, 20) an den leitenden Belägen
festgelötet sind.
6. Sonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß sowohl die Deckplatte (12) als auch die
Trägerplatte (14) ebene Platten sind, die mit den dazwi
schen verlaufenden Drähten (16, 18, 20) an einer von den
Kontaktspitzen (22, 24, 26) beabstandeten Stelle zusammengehalten sind
und flexibel sind, um eine Bewegung entlang einer zur
äußeren Oberfläche (42) der Deckplatte (12) senkrechten
Kontaktrichtung zu erlauben, wenn sie an der von den
Kontaktspitzen (22, 24, 26) beabstandeten Stelle gehalten werden.
7. Sonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Drähte (16, 18, 20) aus Wolfram
sind.
8. Sonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Deckplatte (12) und die Träger
platte (14) jeweils aus einem Plattenwerkstoff aus Epoxyma
terial mit Glasfüllmasse bestehen.
9. Sonde nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die
gleichen Längen 0,762 mm sind.
10. Sonde nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die
Kontaktspitzen (22, 24, 26) um etwa 0,635 mm von der äußeren Oberfläche
(42) der Deckplatte (12) vorstehen.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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US07/056,102 US4812745A (en) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | Probe for testing electronic components |
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