DE3818119C2 - - Google Patents

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DE3818119C2
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Teradyne Inc
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • GPHYSICS
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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

Die Erfindung geht aus von einer Sonde zum elektrischen Kontaktieren einer Zuleitung eines elektronischen Bauteils gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Eine Sonde dieser Gattung ist bekannt aus der US-Patent­ schrift 42 14 201, worin auch erwähnt ist, daß man mit derartigen Sonden Spannungsabfälle entlang aufeinanderfol­ genden Abschnitten der Zuleitung eines elelektronischen Bauteils messen kann. Bei der bekannten Sonde sind drei Kontaktspitzen vorgesehen, die längs einer Geraden fluchtend in gleichen Abständen zueinander liegen und durch umgebogene Endabschnitte dreier Drähte gebildet sind, welche in Rillen einer Trägerplatte verlaufen. Die umgebo­ genen Endabschnitte der Drähte stehen aus den Rillen über die Oberfläche der Trägerplatte vor, und zwar schräg geneigt in einer Richtung, die entweder quer oder längs zum Verlauf der in den Rillen liegenden Drahtlängen weist. Wenn also die Kontaktspitzen in Richtung senkrecht zur Oberflä­ che der Träger belastet werden, dann verformen sich die in den Rillen liegenden Drahtlängen elastisch, im einen Fall als Torsionsfeder und im anderen Fall als Stabfeder. Hiermit ist aber auch die Gefahr gegeben, daß sich die Relativlage der Kontaktspitzen zueinander leicht verändert. Wenn diese Veränderung in der erwähnten US-Patentschrift auch als vernachlässigbar bezeichnet wird, so wäre es für eine gute Reproduzierbarkeit durchzuführender Messungen doch wünschenswert, solche Änderungen praktisch auszu­ schließen.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht somit darin, die Genauigkeit der Positionierung der Kontaktspitzen hinsichtlich ihrer Relativlage zu verbessern. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in Unteransprüchen gekennzeichnet.
Durch die erfindungsgemäße Führung der die Kontaktspitzen bildenden Endabschnitte der Drähte in Löchern einer darüberliegenden Deckplatte wird die relative Positionie­ rung der Kontaktspitzen und damit auch deren gegenseitiger Abstand genau durch die Positionen der Löcher in der Deck­ platte bestimmt und kann nicht durch Biegung der Drähte verändert werden. In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung sind die Trägerplatte und die Deckplatte mit den dazwischen verlaufenden Drähten an einer von den Kontaktspitzen beabstandeten Stelle zusammengehalten und derart flexibel, daß eine Bewegung entlang einer zur äußeren Oberfläche der Deckplatte senkrechten Kontaktrich­ tung möglich ist, wenn die Platten an der besagten beabstandeten Stelle gehalten werden. Somit ergibt sich eine Elastizität beim Andrücken der Kontaktspitzen an den zu kontaktierenden Gegenstand, ohne daß durch die elasti­ sche Verformung die Relativlage der Kontaktspitzen verän­ dert wird.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung gehen aus nachstehender Beschreibung hervor, in der ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel anhand von Zeichnungen erläutert wird. In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 schematisch und in auseinander gezogener Form einen Vertikalschnitt durch eine erfindungsgemäße Sonde;
Fig. 2 eine Draufsicht auf die Deckplatte der Sonde nach Fig. 1;
Fig. 3 eine Draufsicht auf die Trägerplatte und die daran befestigten Drähte der Sonde nach Fig. 1.
Wie in den Fig. 1 bis 3 dargestellt, enthält die insge­ samt mit 10 bezeichnete Sonde eine Deckplatte 12 (eine 0,38 mm dicke Platte aus Epoxymaterial mit Glasfüllmasse, im Handel erhältlich), eine Trägerplatte 14 (1,57 mm dick, aus dem gleichen Material) und Wolframdrähte 16, 18, 20 (Legierung) mit einem Durchmesser von 0,508 mm, die sandwichartig zwischen die beiden Platten geschichtet sind und deren Endabschnitte 22, 24, 26, welche die Kontaktspit­ zen oder "Tastenden" der Sonde darstellen, aus zugeordneten Löchern 28, 30, 32 in der Deckplatte 12 herausstehen. Die Deckplatte 12 und die Trägerplatte 14 werden zwischen zwei Klemmplatten 34 und 36 durch Schrauben (nicht gezeigt) festgehalten, die durch Löcher 38 greifen. Die weiter oben erwähnten Löcher 28, 30, 32 haben jeweils einen Durchmesser von 0,508 mm und liegen längs einer geraden Linie 40 beabstandet, mit jeweils einem Mitte-Mitte-Abstand von 0,762 +/- 0,025 mm. Die Kontaktspitzen 22, 24, 26 stehen über die äußere Oberfläche 42 der Deckplatte 12 um 0,653 + 0,172 /- 0,000 mm vor. Die Kontaktspitzen sind auf spitze Punkte zugeschärft, um die Kontaktgabe und Reproduzierbar­ keit zu verbessern. Die Drähte 16, 18, 20 sind an leitenden Belägen 44, 46, 48 an der oberen Fläche der Trägerplatte 14 festgelötet und haben rechtwinklige Biegungen, wo sie in Löcher 28, 30, 32 eintreten. Die Drähte 18 und 20 haben außerdem nahe den zugeordneten Löchern Umlenkungen 50 und 52, um elektrischen Kontakt mit den jeweils anderen Drähten zu vermeiden.
Zur Durchführung einer Messung mit der Sonde 10 (Einzelheiten möglicher Messungen selbst sind z. B. in der oben erwähnten US-Patentschrift beschrieben) werden die Kontaktspitzen 22, 24, 26 von der prüfenden Person, welche die Sonde 10 nahe den beiden Klemmplatten 34 und 36 ergreift, gegen die Zuleitung einer zu prüfenden integrier­ ten Schaltung gelegt. Die Deckplatte 12 und die Träger­ platte 14 biegen sich dabei leicht durch, und die Tastspit­ zen der Wolframlegierung stechen in die Zuleitung und bilden dabei einen guten elektrischen Kontakt mit letzte­ rer. Die Löcher 28, 30, 32 halten die Kontaktspitzen in genauer Ausrichtung und korrektem gegenseitigen Abstand während der Messung, was die Reproduzierbarkeit verbessert. Durch das Anlöten der Drähte 16, 18, 20 an die leitenden Beläge 44, 46, 48 sind die Drähte sicher positioniert.

Claims (10)

1. Sonde zum elektrischen Kontaktieren einer Zuleitung eines elektronischen Bauteils an mehreren Punkten, mit einer der Anzahl der zu kontaktierenden Punkte entsprechenden Mehrzahl von Drähten, die auf der Oberfläche einer Trägerplatte aus Isoliermaterial gehalten sind und die in der Nähe ihrer einen Enden derart umgebogen sind, daß ihre Endabschnitte von dieser Oberfläche abstehen und Kontaktspitzen bilden, welche längs einer Geraden fluchtend in vorbestimmten Abständen zueinander liegen, dadurch gekennzeichnet, daß die umgebogenen Endabschnitte (22, 24, 26) der Drähte (16, 18, 20) durch eine sich über die Oberfläche der Trägerplatte (14) erstreckende Deckplatte (12) hindurch in Löchern (28, 30, 32) geführt sind, die an der von der Trägerplatte (14) abgewandten äußeren Oberfläche (42) der Deckplatte (12) so liegen, daß die dort herausstehenden Kontaktspitzen (22, 24, 26) ihre vorbestimmte Lage beibehalten.
2. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Drähte (16, 18, 20) und die Anzahl der Löcher (28, 30, 32) in der Deckplatte (12) gleich drei ist.
3. Sonde nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Löcher (28, 30, 32) an der äußeren Oberfläche (42) der Deckplatte (12) entlang einer Linie in gleichen Längen beabstandet sind.
4. Sonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die äußere Oberfläche (42) und die der Trägerplatte (14) zugewandte Oberfläche der Deckplatte (12) eben und parallel zueinander sind.
5. Sonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (14) aus einem lsoliermaterial besteht und leitende Beläge (44, 46, 48) auf ihrer der Deckplatte (12) zugewandten Oberfläche trägt, und daß die Drähte (16, 18, 20) an den leitenden Belägen festgelötet sind.
6. Sonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl die Deckplatte (12) als auch die Trägerplatte (14) ebene Platten sind, die mit den dazwi­ schen verlaufenden Drähten (16, 18, 20) an einer von den Kontaktspitzen (22, 24, 26) beabstandeten Stelle zusammengehalten sind und flexibel sind, um eine Bewegung entlang einer zur äußeren Oberfläche (42) der Deckplatte (12) senkrechten Kontaktrichtung zu erlauben, wenn sie an der von den Kontaktspitzen (22, 24, 26) beabstandeten Stelle gehalten werden.
7. Sonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Drähte (16, 18, 20) aus Wolfram sind.
8. Sonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckplatte (12) und die Träger­ platte (14) jeweils aus einem Plattenwerkstoff aus Epoxyma­ terial mit Glasfüllmasse bestehen.
9. Sonde nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die gleichen Längen 0,762 mm sind.
10. Sonde nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktspitzen (22, 24, 26) um etwa 0,635 mm von der äußeren Oberfläche (42) der Deckplatte (12) vorstehen.
DE3818119A 1987-05-29 1988-05-27 Sonde zum pruefen elektronischer bauteile Granted DE3818119A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

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US07/056,102 US4812745A (en) 1987-05-29 1987-05-29 Probe for testing electronic components

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Publication Number Publication Date
DE3818119A1 DE3818119A1 (de) 1988-12-08
DE3818119C2 true DE3818119C2 (de) 1992-04-23

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DE3818119A Granted DE3818119A1 (de) 1987-05-29 1988-05-27 Sonde zum pruefen elektronischer bauteile

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FR (1) FR2615955B1 (de)
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