DE3727849C2 - Verfahren zur Montage einer Elektronenkanone für eine Kathodenstrahlröhre - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Montage einer Elektronenkanone für eine Kathodenstrahlröhre gemäß dem Oberbegriff des Patenanspruchs 1.

Die konstruktiven Merkmale einer dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 entsprechenden Elektronenkanone sind aus US-PS 3 230 600 bekannt.

Elektronenkanonen der oben genannten Art werden beispiels­ weise in Kathodenstrahlröhren für Fernsehgeräte, Daten­ sichtgeräte und dergleichen eingesetzt.

Bekanntlich weisen solche Elektronenkanonen mehrere in vor­ gegebenen Abständen axial miteinander ausgerichtete Gitter auf.

Die Einsatzspannung oder Abschaltung E_KCO der Elektronen­ kanone läßt sich anhand der folgenden Formel bestimmen:

In dieser Gleichung bezeichnet
d₀₁ den Abstand zwischen der Kathode und einer ersten, der Kathode am nächsten gelegenen Gitter­ elektrode
d₁₂ den Abstand zwischen der ersten Gitterelektrode und der unmittelbar nachfolgenden zweiten Gitter­ elektrode.

Bei der Herstellung der Elektronenkanone müssen die oben definierten Abstände d₀₁ und d₁₂ sorgfältig eingehalten werden, damit die Elektronenkanonen eine einheitliche Abschaltspannung E_KCO aufweisen. Besonders kritisch ist dabei die genaue Einhaltung des Abstands zwischen der Kathode und der ersten Gitterelektrode.

Bei herkömmlichen Verfahren zur Montage von Elektronen­ kanonen sind die einzelnen Gitterelektroden mit Montage­ stiften oder einstückig angeformten Ansätzen versehen, die in radialsymmetrischen oder diametral gegenüberlie­ genden Positionen angeordnet sind und vom Umfangsrand der Gitterelektrode aus radial nach außen vorspringen. Die Montagestifte oder Ansätze der einzelnen Gitter­ elektroden sind in bestimmten axialen Positionen in zwei gläserne Stützen eingeschmolzen. Bei diesem Vorgang werden die Gitterelektroden in vorgegebenen gegenseitigen Abstän­ den gehalten. Nach Abschluß des Einschmelzvorgangs werden diese Abstände durch die Stützen aufrechterhalten. Nachdem in der oben beschriebenen Weise die Gitterelektroden und die Einfassungsstäbe zu einer Einheit zusammengefügt sind, wird ein Kathodensockel, der ein oder mehrere Kathoden trägt, an der ersten Gitterelektrode montiert, wobei mit Hilfe geeigneter Abstandshalter ein vorgegebener Abstand zwischen dem Kathodensockel und der ersten Gitter­ elektrode aufrechterhalten wird. Anschließend wird der Abstand d₀₁ zwischen der der ersten Gitterelektrode zuge­ wandten Endflache der Kathode und einer Ebene der ersten Gitterelektrode, in der sich eine den Strahldurchlaß für den Elektronenstrahl bildende Öffnung befindet, mit Hilfe eines Luftmikroineters gemessen und auf den gewünschten Wert eingestellt.

Bei diesem herkömmlichen Verfahren werden während des Ein­ schmelzens der Ansätze der Gitterelektroden in die Stützstäbe die Abstände zwischen den einzelnen Gitter­ elektroden mit Hilfe geeigneter Abstandshalter aufrecht­ erhalten, und die Anordnung aus Gitterelektroden und Abstandshaltern wird durch eine Spannvorrichtung fest zusammengehalten. Die Stützstäbe liegen von entgegen­ gesetzten Seiten her an den Montagestiften oder Ansätzen der Gitterelektroden an. Anschließend werden die gläser­ nen Stützstäbe erhitzt und zusammengedrückt, so daß die Montagestifte oder Ansätze in die Stützstäbe ein­ geschmolzen werden. Auf diese Weise werden die Gitter­ elektroden mechanisch mit den Stützstäben verbunden. Bei diesem Vorgang wird auch der Abstand zwischen den ersten und zweiten Gitterelektroden derart festgelegt, daß sich die gewünschte Abschaltspannung ergibt. In der Praxis tritt jedoch eine Veränderung des Abstands zwischen den ersten und zweiten Gitterelektroden ein, da diese Gitterelektroden während des Einschmelzvorgangs zusammengedrückt werden. Bei der Herstellung der Elektronen­ kanonen ist es daher schwierig, eine einheitliche Abschalt­ spannung zu gewährleisten.

Bei einem anderen herkömmlichen Montageverfahren wird der Abstand (d₀₁ + d₁₂) zwischen der Kathodenoberfläche und der zweiten Gitterelektrode mit Hilfe eines von der Seite der zweiten Gitterelektrode her eingeführten Luft­ mikrometers gemessen. Die Position des Kathodensockels wird anhand des Ergebnisses dieser Messung eingestellt. Obgleich sich bei diesem Verfahren die Abstandssumme d₀₁ + d₁₂ relativ genau einstellen läßt, ist es nicht möglich, die einzelnen Abstände d₀₁ und d₁₂ getrennt einzustellen. Wie aus der oben angegebenen Gleichung hervorgeht, hat jedoch der Abstand zwischen der Kathoden­ oberfläche und der ersten Gitterelektrode einen größeren Einfluß auf die Abschaltspannung als der Abstand zwischen den ersten und zweiten Gitterelektroden. Aus diesem Grund läßt sich auch mit diesem Montageverfahren keine einheit­ liche Abschaltspannung der Elektronenkanonen erreichen.

Bei einem anderen herkömmlichen Montageverfahren werden die erste Gitterelektrode und die Kathode vor der Einbettung in die Glas-Stütze zu einer Einheit vormontiert. Bei der Vormontage dieser Gitter/Kathoden-Einheit wird der Abstand zwischen der Kathodenoberfläche und dem ersten Gitter mit Hilfe eines Luftmikrometers präzise auf den vor­ gegebenen Wert d₀₁ eingestellt. Anschließend wird die vor­ montierte Einheit zusammen mit den übrigen Gitterelektroden in die Glas-Stütze eingefaßt. Diese Einfassung erfolgt im wesentlichen in der gleichen Weise wie bei dem oben beschriebenen Verfahren.

Bei der Vormontage läßt sich zwar der Abstand d₀₁ genau einstellen, doch bleibt das oben erläuterte Problem der Deformation der ersten und zweiten Gitterelektroden bestehen.

In den letzten Jahren hat sich ein erhöhter Bedarf an hoch­ auflösenden Kathodenstrahlröhren ergeben. Für solche Kathodenstrahlröhren ist eine hochpräzise Einstellung der Abschaltspannung und folglich eine hohe Herstellgenauigkeit der Elektronenkanonen erforderlich.

Aus der US-PS 4376 257, vergleiche insbesondere Fig. 3 mit zugehöriger Beschreibung, ist ferner eine Elektronen­ kanone bekannt, bei der ebenfalls die Kathode und die dieser am nächsten liegende erste Gitterelektrode eine Bau­ gruppe bilden, in der die Positionen der Kathode und der ersten Gitterelektrode relativ zueinander festgelegt sind und bei außerdem zur Befestigung der Baugruppe an der Glasstütze ein getrennt von der Baugruppe ausgebildeter Halter vorgesehen ist, der mit einem im wesentlichen rechtwinklig zur Längsachse der Elektronenkanone vorspringenden Ansatz in die Glas-Stütze eingebettet ist und in welchem die Bau­ gruppe unter Einhaltung eines vorgegebenen Abstands zwischen den ersten und zweiten Gitterelektroden fest montierbar ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Montagever­ fahren zur Herstellung von Elektronenkanonen anzugeben, durch das die Streuung der Abschaltspannung reduziert wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren zur Montage einer Elektronenkanone mit den in Patentanspruch 1 angegebenen Merkmalen.

Vorteilhafterweise werden die Kathode und die dieser am näch­ sten gelegene erste Gitterelektrode als eine Baugruppe vormontiert, die an einem Halter befestigt wird, der zuvor zusammen mit der zweiten und ggf. weiteren Gitterelektroden in die Glas-Stützen eingeschmolzen wurde.

Auf diese Weise wird verhindert, daß die vormontierte Baugruppe Druckkräften ausgesetzt wird, die zu einer Verformung der ersten Gitterelektrode führen könnten. Der Abstand zwischen der ersten und zweiten Gitterelek­ trode läßt sich daher auf einfache Weise genau und dauer­ haft einstellen.

Der Abstand zwischen der emittierenden Oberfläche der Kathode und der durch eine Strahldurchlaßöffnung in der ersten Gitterelektrode definierten Ebene läßt sich bereits bei der Vormontage der Kathoden/Gitter-Baugruppe exakt einstellen.

Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen des Erfindungsgedankens ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen.

Im folgenden wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine Frontansicht einer Ausführung einer Elektronenkanone, bei der die Erfindung Anwendung findet

Fig. 2 einen vergrößerten Schnitt einer Ein­ zelheit einer Montageanordnung für eine vorgefertigte Baugruppe aus einer ersten Gitterelektrode und einem mehrere Kathoden tragenden Kathodensockel;

Fig. 3 eine Ansicht der Elektronenkanone von unten in Fig. 1;

Fig. 4 eine teilweise aufgeschnittene Front­ ansicht der Baugruppe aus erster Gitterelektrode und Kathodensockel;

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht eines Halters in der Montageanordnung gemäß Fig. 2; und

Fig. 6 eine teilweise aufgeschnittene Front­ ansicht einer vormontierten Baugruppe aus Gitterelektroden und einer Glasstütze.

Gemäß Fig. 1 weist eine Elektronenkanone erste bis fünfte Gitterelektroden G₁, G₂, G₃, G₄ und G₅ auf. Die Gitterelektroden sind jeweils in einem im wesentlichen rechtwinklig zur Längs­ achse der Elektronenkanone verlaufenden ebenen Abschnitt mit einer Öffnung h₁, h₂, h₃, . . . versehen und derart ange­ ordnet, daß die Mittelachsen der Öffnungen h₁, h₂, h₃, . . . mit der Längsachse der Elektronenkanone zusammenfallen.

Am äußeren Rand der zweiten bis vierten Gitterelektroden G₂, G₃, G₄ und G₅ sind jeweils zwei Montagestifte 1, 10, 100 bzw. 101 starr befestigt. Die Montagestifte 1, 10, 100 und 101 sind in radialsymmetrischen Positionen angeordnet und erstrecken sich vom äußeren Rand der zugehörigen Gitterelektrode aus nach außen. Die Montagestifte 1, 10, 100 und 101 sind in zwei Stützstäbe 2 aus Glas einge­ bettet, so daß die zugehörigen zweiten bis fünften Gitter­ elektroden G₂ bis G₅ an den Stützstäben 2 betestigt sind. Die erste Gitterelektrode G₁ weist dagegen keine Montagestifte auf und ist an einem ringförmigen Gitter­ halter 13 befestigt, wie in Fig. 2 gezeigt ist. Der Gitterhalter 13 weist eine im wesentlichen ringförmige oder zylindrische Gestalt auf und ist an seinem äußeren Rand in radialsymmetrischen Positionen mit starr befestigten Haltestiften oder -ansätzen 13a versehen. Die Haltestifte 13a sind ebenso wie die Haltestifte 1, 10, 100 und 101 für die zweite bis fünfte Gitterelektrode in die Stützstäbe 2 eingebettet, so daß auch der Gitterhalter an den Stütz­ stäben abgestützt ist.

Die erste Gitterelektrode G₁ besitzt eine im wesentlichen becherförmige Gestalt und ist zu der von der zweiten Gitterelektrode G₂ abgewandten Seite hin geöffnet, wie in Fig. 2 und 4 zu erkennen ist. Durch die erste Gitter­ elektrode G₁ wird auf diese Weise ein Innenraum 14 be­ grenzt, in dem eine Kathodenanordnung 11 untergebracht ist. Die Kathodenanordnung 11 weist ein oder mehrere Elektroden K und einen Kathodensockel 3 auf. Der Kathoden­ sockel 3 ist aus einem isolierenden Material hergestellt und bildet eine axial verlaufende Öffnung 4, durch die sich die Kathoden K erstrecken. Im Fall einer Farbkathoden­ strahlröhre ist die Elektronenkanone mit drei Kathoden zur Erzeugung von drei Elektronenstrahlen für die rote, blaue und grüne Farbkomponente versehen. Die Kathoden K sind miteinander ausgerichtet, wie in Fig. 3 gezeigt ist. Die Spitze jeder einzelnen Kathode K weist als solche eine übliche Konstruktion auf und ist im wesentlichen zylin­ drisch gestaltet und mit einer Hülse 16 sowie mit einer Beschichtung aus einem bekannten Kathodenmaterial versehen.

Die Kathoden K werden auf dem Kathodensockel 3 mit Hilfe von Kathoden-Montagestiften 5 und im wesentlichen V-förmigen Haltebügeln 6 in der gewünschten Montagestellung gehalten. Wie in Fig. 3 zu erkennen ist, sind die Kathoden-Montage­ stifte 5 in radialsymmetrischen Positionen in Bezug auf die Öffnungen 4 und zu der von der ersten Gitterelektrode G₁ entgegengesetzten Seite weisend angeordnet. Jeder der V-förmigen Haltebügel 6 weist zwei starr mit der Hülse 16 verbundene Schenkel 6a auf und ist im Verbindungsbereich der beiden Schenkel 6a an dem Kathoden-Montagestift 5 befestigt. Auf diese Weise werden die Kathoden K an dem Kathodensockel 3 gehalten.

Der Kathodensockel 3 ist auf einem Träger 15 aus Metall montiert. Wie in Fig. 2 und 4 zu erkennen ist, weist der Träger 15 einen im wesentlichen längs des äußeren Randes des Kathodensockels L3 verlaufenden Umfangsabschnitt 15a und einen im wesentlichen rechtwinklig zu dem Umfangs­ abschnitt verlaufenden Flansch 15b auf, der, an einer ebenen Oberfläche des Kathodensockels anliegt. Der Träger 15 ist durch Laser-Schweißung oder mit Hilfe eines anderen geeigneten Befestigungsverfahrens an der ersten Gitter­ elektrode G₁ befestigt. Somit bilden die erste Gitter­ elektrode G₁, die Kathoden K und der Kathodensockel 3 eine vorgefertigte Kathoden/Gitter-Baugruppe 17.

In der Kathoden/Gitter-Baugruppe 17 wird für den Abstand d₀₁ zwischen der Spitze oder Endfläche der Kathode und der Ebene der ersten Gitterelektrode G₁, die die Strahl­ öffnung h₁ enthält, ein vorgegebener Wert eingehalten. Bei der Befestigung der Kathoden/Gitter-Baugruppe 17 an dem Gitterhalter 13 wird der Abstand d₁₂ zwischen den ersten und zweiten Gitterelektroden G₁ und G₂ ebenfalls auf einen bestimmten Wert eingestellt.

Nachfolgend soll das Verfahren zur Montage der oben be­ schriebenen Elektronenkanone erläutert werden.

Wie in Fig. 5 zu erkennen ist, weist der Gitterhalter 13 eine im wesentlichen zylindrische Gestalt mit einstückig angeformten Montagestiften 13a auf. Jeder der Montagestifte 13a weist gegabelte Schenkel 13b auf, die im wesentlichen rechtwinklig zur Achse der Elektronenkanone von den oberen und unteren Enden des Gitterhalters 13 vorspringen und in die Glas-Stützstäbe 2 eingeschmolzen werden.

Der Gitterhalter 13 ist mit den zweiten bis fünften Gitter­ elektroden G₂, G₃, G₄ und G₅ aus gerichtet, und zwischen den einzelnen Gitterelektroden und dem Gitterhalter werden vorgegebene Abstände eingestellt. Der Gitterhalter 13 und die zweiten bis fünften Gitterelektroden werden in an sich bekannter Weise in Position gehalten. In diesem Zustand werden die Glas-Stützstäbe 2 an beiden Seiten der ausgerichteten Gitterelektroden und Gitterhalter positioniert. Anschließend werden die Gitterelektroden und der Gitterhalter in die Stützstäbe eingeschmolzen, indem die Stützstäbe 2 erwärmt und in Richtung auf den Gitter­ halter und die zweiten bis fünften Gitterelektroden zu­ sammengedrückt werden, so daß die Montagestifte 13a, 1, 10, 100 und 101 in die Glas-Stützstäbe 2 eingebettet werden. Die durch den Gitterhalter 13 und die zweiten bis fünften Gitterelektroden G₂ bis G₅ gebildete Einheit 18 bildet zusammen mit den Glas-Stützstäben 2 eine Einheit, die in Fig. 6 gezeigt ist und nachfolgend als zweite "Gitterbaugruppe 20" bezeichnet werden soll.

Die Kathoden/Gitter-Baugruppe 17 wird auf folgende Weise vormontiert. Zunächst wird der Träger 15 durch Laserschweißung an dem Kathodensockel 3 befestigt. Anschließend wird die Einheit aus Träger und Kathodensockel in den Innenraum 14 der ersten Gitterelektrode eingeführt und dort durch Punktschweißung befestigt, wie in Fig. 2 gezeigt ist. Anschließend werden die Kathoden K in die Öffnungen 4 ein­ gesetzt, und der Abstand d₀₁ wird mit Hilfe der Kathoden- Montagestifte 5 und der V-förmigen Haltebügel 6 eingestellt. Zur genauen Einstellung des Abstands d₀₁ zwischen der Stirn­ fläche der Kathode und der Ebene H1 der Gitterelektrode wird ein Luftmikrometer von der Seite der ersten Gitter­ elektrode G₁ her in die Strahlöffnung h₁ eingeführt. Mit Hilfe des Luftmikrometers wird der Abstand d₀₁ gemessen. Auf der Grundlage dieser Messung wird die Position der Kathode derart eingestellt, daß der Abstand d₀₁ exakt mit dem vorgegebenen Wert übereinstimmt. Die Befestigung der V-förmigen Haltebügel 6 an den Kathoden-Montagestiften 5 erfolgt daher erst nach der genauen Einstellung des Abstands zwischen der Kathode und der ersten Gitterelektrode.

Die Kathoden/Gitter-Baugruppe 17 wird anschließend mit der zweiten Gitterbaugruppe 20 verbunden. Bei diesem Montageschritt wird der Abstand d₁₂ zwischen der Ebene H₁ der ersten Gitter­ elektrode G₁ und der Ebene H₂ der zweiten Gitterelektrode G₂ eingestellt, indem die Position der Kathoden/Gitter-Bau­ gruppe 17 ihn Bezug auf den Gitterhalter festgelegt wird. Für diese Einstellung wird der Abstand zwischen den Ebenen H₁ und H₂ mit Hilfe des Luftmikrometers in an sich bekannter Weise gemessen. Nach der genauen Einstellung des Abstands d₁₂ zwischen den ersten und zweiten Gitterelektroden G₁ und G₂ wird die Kathoden/Gitter-Baugruppe 17 durch Punktschweißung, beispielsweise durch Laserschweißung starr, mit dem Gitter­ halter 13 verbunden.

Wie aus der obigen Beschreibung hervorgeht, kann die durch die erste Gitterelektrode und die Kathode gebildete Bau­ gruppe vormontiert werden, wobei sich der gewünschte Ab­ stand d₀₁ zwischen der Stirnfläche der Kathode und der Ebene H₁ und der ersten Gitterelektrode genau einstellen läßt. Da diese vormontierte Baugruppe getrennt von dem Gitterhalter ausgebildet ist, wird die Baugruppe nicht den Kräften und Wärmeeinwirkungen ausgesetzt, die andern­ falls beim Einbetten in die Glas-Stützstäbe auftre­ ten würden. Da ferner die Position der ersten Gitterelektrode eingestellt werden kann, nachdem die zweite Gitterelektrode in ihrer Position festgelegt ist, wird auch eine genaue Einstellung des Abstands d₁₂ zwischen den ersten und zweiten Gitterelektroden ermöglicht. Durch das erfindungs­ gemäße Montageverfahren wird aus diesen Gründen eine höhere Produktqualität, bzw. eine höhere Ausbeute qualitativ einwandfreier Elektronenkanonen erreicht.

Claims (8)

1. Verfahren zur Montage einer Elektronenkanone einer Kathodenstrahlröhre, wobei die Elektronenkanone aufweist:

• - wenigstens eine erste und zweite Gitterelektrode (G₁, G₂), die in der Längsachse der Elektronenkanone koaxial aufeinanderfolgend ausgebildete Strahldurchlässe (h₁) aufweisen,
• - wenigstens eine Kathode (K), die ebenfalls in Richtung der Längsachse der Elektronenkanone ausgerichtet ist und deren Stirnfläche einen vorgegebenen Abstand (d₀₁) zu der Strahldurchlaß-Ebene (H₁) der ersten Gitterelektrode (G₁) aufweist, und
• - einer Glas-Stütze (2), in die rechtwinklig zur Längsachse der Elektronenkanone vorspringende Ansätze (1, 10, 100, 101 der Gitterelektroden eingebettet sind und durch die Gitterelektroden und die Kathode in vorgegebenen Positionen relativ zueinander gehalten werden,
  gekennzeichnet durch folgende Schritte:
• - Vormontieren einer durch die Kathode (K) und die dieser am nächsten liegenden ersten Gitterelektrode (G₁) gebildeten Baugruppe (17) unter Einhaltung des vorgegebenen Abstands (d₁₀) zwischen der Kathode und der ersten Gitter­ elektrode, so daß die Positionen der Kathode (K) und der ersten Gitterelektrode relativ zueinander festgelegt sind,
• - Ausrichten eines getrennt von der Baugruppe (17) ausgebildeten Halters (13) mit einem im wesentlichen rechtwinklig zur Längsachse der Elektronenkanone vorspringenden Ansatz (13a), in welchem die Baugruppe (17) fest montierbar ist, und der übrigen Gitterelektroden (G₂) mit vorgegebenen gegenseitigen Abständen,
• - Fixieren der durch den Halter (13) und die übrigen Gitterelektroden (G₂) gebildeten Anordnung durch Einbetten der jeweiligen Ansätze (13a, 1) in die Glas-Stütze (2) und
• - starres Befestigen der Baugruppe (17) an dem Halter (13), unter Einhaltung eines vorgegebenen Abstands (d₁₂) zwischen der ersten und zweiten Gitterelektrode (G₁, G₂).

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Baugruppe einen Kathodensockel (3), an dem die Kathode (K) mit Hilfe von Befestigungsmitteln (5, 6) gehalten ist, sowie einen an dem Kathodensockel (3) befestigten Träger (15) aus Metall aufweist, mit folgenden Schritten:
Bei der Montage der Baugruppen (17) werden die erste Gitterelektrode (G₁) und der Kathodensockel (3) in ihrer Position relativ zueinander fixiert, und der Abstand zwischen der Stirnfläche der Kathode und der Strahlendurch­ laß-Ebene der ersten Gitterelektrode (G₁) wird festgelegt, indem die Position der Kathode (K) in Bezug auf die erste Gitterelektrode (G₁) eingestellt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (15) durch Punkt­ schweißung starr an dem Halter (13) befestigt wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter (13) eine im wesentlichen zylindrische Gestalt aufweist und an wenigstens einem seiner axialen Enden mit den seitlich vom Rand des Halters vorspringenden Ansätzen (13a) versehen ist.

5. Verfahren nach eine der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Einstellung der Position der Kathode (K) nach der Fixierung der Relativposition der ersten Gitterelektrode (G₁) und des Kathodensockels (3) erfolgt.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Montage der durch die Kathode und die erste Gitterelektrode gebildeten Baugruppe (17) an dem Halter (13) erfolgt, nachdem der Halter (13) und die übrigen Gitterelektroden durch das Einbetten in die Glas-Stütze (2) zu einer Einheit (20) zusammengefügt wurden.

7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die durch den Gitterhalter (13) und die zweite und gegebenenfalls weitere Gitterelektroden (G₂-G₅) gebildete Einheit (18) zusammen mit der Glasstütze (2) eine zweite Gitterbaugruppe (20) bilden und daß diese zweite Gitterbaugruppe (20) unter Einstellung des Abstandes (d₁₂) zwischen der Ebene (H₁) der ersten Gitterelektrode (G₁) und der Ebene (H₂) der zweiten Gitterelektrode (G₂) mit der Baugruppe (17) verbunden wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bildung der zweiten Baugruppe (20) der Halter (13) und die Gitterelektroden (G₂-G₅) in einer gemeinsamen Stütze (2) fixiert werden.