DE3722619C2

DE3722619C2 - Device for measuring the scattering parameters of a planar structure in the millimeter wave range

Info

Publication number: DE3722619C2
Application number: DE19873722619
Authority: DE
Inventors: Karl-Ernst Dr Schmegner; Bernd Dipl Ing Adelseck; Helmut Kuhrmann
Original assignee: Daimler Benz Aerospace AG
Current assignee: Airbus Defence and Space GmbH
Priority date: 1987-07-09
Filing date: 1987-07-09
Publication date: 1995-11-09
Anticipated expiration: 2007-07-10
Also published as: DE3722619A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Messung der Streuparameter nach Betrag und Phase von planaren Strukturen im Millimeterwellenbereich gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Eine solche Meßvorrichtung ist bereits aus der DE 33 30 099 C2 bekannt.The invention relates to a device for Measurement of the scattering parameters according to the amount and phase of planar structures in the millimeter wave range according to Preamble of claim 1. Such a measuring device is already known from DE 33 30 099 C2.

Bei der bekannten Meßvorrichtung ist die zu untersuchende planare Struktur mit einem leitfähigen Kleber auf die Oberseite eines scheibenförmigen Magazins geklebt. Das Magazin sitzt formschlüssig in einer Vertiefung auf der Oberseite eines Trägerteils. Links und rechts neben dem Magazin endet jeweils eine Streifenleitung, die durch einen angelöteten Draht mit dem zugehörigen Anschluß flecken auf der planaren Struktur verbunden ist. Das Trägerteil befindet sich im Inneren eines Hohlleiters, der aus zwei formschlüssig ineinander greifenden Teilen be steht, und wird durch seine Formgestaltung und die der Hohlleiterteile in dem Hohlleiter fixiert. Die Streifen leitungen münden mit ihrem anderen Ende auf dem Trägerteil jeweils in einen Streifenleitungs/Hohlleiter-Übergang.In the known measuring device, the one to be examined is planar structure with a conductive adhesive on the Glued top of a disc-shaped magazine. The Magazine sits positively in a recess on the Top of a support part. Left and right of that Each magazine ends with a stripline that passes through a soldered wire with the associated connector patch is connected to the planar structure. The Carrier part is inside a waveguide, the be made of two interlocking parts stands, and is by its design and that of Waveguide parts fixed in the waveguide. The stripes Lines end at the other end on the carrier part each in a stripline / waveguide transition.

Zum Auswechseln der Magazine beispielsweise bei Reihen untersuchungen von planaren Strukturen muß die gesamte Meßvorrichtung zunächst komplett demontiert und nach dem Magazinwechsel wieder montiert, justiert und fixiert werden. Außerdem sind bei jeden Wechsel der Magazine die verlöteten Verbindungsdrähte zu lösen und anschließend wieder zu verlöten. Besonders kritisch ist bei der be kannten Meßvorrichtung schließlich, daß auch die Streifen leitungs/Hohlleiter-Übergänge nach jedem Wechsel neu justiert und fixiert werden müssen, wodurch sich i. a. große Abweichungen in der Reproduzierbarkeit der Streu parameter ergeben, was sich ungünstig auf hochgenaue Messungen z. B. mit einem automatischen Netzwerks analysator auswirkt.For changing the magazines, for example, in rows Examinations of planar structures must be carried out throughout Measuring device first completely disassembled and after Magazine change reassembled, adjusted and fixed become. In addition, with each change of the magazines to loosen soldered connecting wires and then to solder again. The be finally knew measuring device that the strips Cable / waveguide transitions new after every change must be adjusted and fixed, which i. a. large deviations in the reproducibility of the litter parameters result, which adversely affects highly accurate Measurements e.g. B. with an automatic network analyzer affects.

Andere Ausgestaltungen von Streifenleitungs/Hohlleiter- Übergänge sind aus der US 4 453 142 zu entnehmen und aus dem Artikel von M. V. Schneider, B. Glance und W. F. Bodtmann: "Microwave and Millimeter Wave Hybrid integrated Circuits for Radio Systems", erschienen in "The Bell System Technical Journal", Juli/August 1969, Seite 1703-1726. Other configurations of stripline / waveguide Transitions can be found in and from US 4,453,142 the article by M. V. Schneider, B. Glance and W. F. Bodtmann: "Microwave and Millimeter Wave Hybrid integrated Circuits for Radio Systems ", published in" The Bell System Technical Journal ", July / August 1969, page 1703-1726.

Diese Übergänge weisen jedoch eine zu geringe Bandbreite für die Meßtechnik mit einem automatischen Netzwerks analysator auf.However, these transitions have too little bandwidth for measurement technology with an automatic network analyzer on.

Ferner ist aus der DD-PS 1 53 439 ein Streifenleitungs-/Koaxial leitungs-Übergang bekannt, der eine federnde Kontaktierung zwischen Streifenleitung und Koaxialleitung aufweist.Furthermore, from DD-PS 1 53 439 is a strip line / coaxial known line transition, which is a resilient contact between Has stripline and coaxial line.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Meßvor richtung der eingangs genannten Art zu schaffen, mit der die Streuparameter der planaren Struktur im Millimeter wellengebiet nach Betrag und Phase mit hoher Reproduzier barkeit gemessen werden können, die einfach zu bedienen ist und die ein schnelles und problemloses Auswechseln der Meßobjekte gestattet.The object of the invention is a Meßvor to create direction of the type mentioned with the the scattering parameters of the planar structure in millimeters wave area by amount and phase with high reproducibility availability can be measured, which is easy to use and is a quick and easy replacement of the Measurement objects allowed.

Die erfindungsgemäße Lösung der Aufgabe ist im Patent anspruch 1 beschrieben. Die weiteren Ansprüche enthalten vorteilhafte Aus- und Weiterbildungen der Erfindung.The solution to the problem according to the invention is in the patent Claim 1 described. The other claims included advantageous training and further developments of the invention.

Erfindungsgemäß geschieht das Einbringen eines Magazins mit der zu untersuchenden planaren Struktur in die Meßvor richtung bzw. das Auswechseln der Magazine, ohne daß dabei die empfindlichen und schwierig zu justierenden Streifen leitungs/Hohlleiter-Übergänge (bzw. Streifenleitungs/ Koaxialleitungs-Übergänge) demontiert werden müssen.According to the invention, a magazine is inserted with the planar structure to be examined in the measurement direction or changing the magazines without doing so the delicate and difficult to adjust strips Line / waveguide transitions (or stripline / Coaxial line transitions) must be dismantled.

Hierzu wird das Magazin mit der planaren Struktur auf seiner Oberseite zwischen zwei Fixierteile eingefügt. Auf jedem der beiden Fixierteile ist auf der dem Magazin zugewandten Seite eine Trägerplatte angebracht, auf deren Oberseite die Streifenleitungen verlaufen und unmittelbar in der Nähe des Magazins enden. Mit ihrem anderen Ende sind die Streifenleitungen jeweils mit einem Streifen leitungs/Hohlleiter- bzw. Streifenleitungs/Koaxial leitungs-Übergang verbunden. Die Übergänge sind dabei auf der dem Magazin abgewandten Seite des jeweiligen Fixier teils angebracht, so daß die Streifenleitungen und das Magazin mit der planaren Struktur von oben frei zugänglich sind.For this, the magazine with the planar structure is opened its top inserted between two fixing parts. On each of the two fixing parts is on the magazine facing side a support plate attached, on the The top of the striplines run and immediately end near the magazine. With its other end the strip lines are each with a strip Line / waveguide or stripline / coaxial line transition connected. The transitions are open the side of the respective fixation facing away from the magazine partly attached so that the striplines and that Magazine with the planar structure freely accessible from above are.

Zur Justierung werden die Fixierteile und das Magazin solange gegeneinander verschoben, bis die Enden der Streifenleitungen den zugehörigen Anschlußflecken auf der planaren Struktur unmittelbar gegenüberliegen. An schließend werden die Fixierteile und das Magazin in dieser Position zueinander fixiert. Nach erfolgter Justierung und Fixierung werden die Streifenleitungen mit den Anschlußflecken verbunden, indem von oben flach ausgebildete Verbindungsteile auf die Streifenleitungs enden bzw. auf die Anschlußflecken gedrückt werden.The fixing parts and the magazine are used for adjustment moved against each other until the ends of the Strip lines the associated connection patch on the planar structure directly opposite. On the fixing parts and the magazine in this position fixed to each other. After done The striplines are adjusted and fixed with the pads connected by being flat from above trained connecting parts on the stripline end or be pressed on the connection pads.

Der Vorteil der Erfindung besteht vor allem darin, daß vorhandene Feldstörungen der Übergänge in einen un kritischen Bereich gelegt werden, so daß eine hohe Reproduzierbarkeit der Messungen erreicht wird. Außerdem können die Meßobjekte sehr einfach ausgewechselt werden. Eine besonders einfache Bedienung der gesamten Meßvor richtung wird erreicht, wenn die planare Struktur mittels einer Aussaugvorrichtung durch Unterdruck auf der Ober seite des Magazins fixiert werden. In diesem Fall können die planare Struktur direkt ausgewechselt werden, ohne daß danach die Meßvorrichtung neu justiert werden muß, was sich günstig bei Reihenuntersuchungen von planaren Strukturen auswirkt.The main advantage of the invention is that existing field disturbances of the transitions into an un critical area, so that a high Reproducibility of the measurements is achieved. also the test objects can be exchanged very easily. A particularly simple operation of the entire measuring device direction is achieved if the planar structure is achieved by means of a suction device by negative pressure on the upper side of the magazine. In this case, you can the planar structure can be replaced directly without then the measuring device must be readjusted, which is favorable for serial examinations of planar structures affects.

Im folgenden wird die Erfindung anhand der Figuren näher erläutert. In den Figuren sind vorteilhafte Ausführungs formen der Erfindung sowie weitere Details der erfindungs gemäßen Lösung dargestellt. Es zeigenIn the following, the invention will be explained in more detail with reference to the figures explained. In the figures are advantageous execution forms of the invention and further details of the Invention presented appropriate solution. Show it

Fig. 1 einen Teil einer vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Lösung in perspektivischer Darstellung. Fig. 1 shows a part of an advantageous embodiment of the solution according to the invention in a perspective view.

Fig. 2 eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Lösung im Querschnitt (Aus schnitt). Fig. 2 shows a further advantageous embodiment of the solution according to the invention in cross section (from section).

Fig. 3-4 eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Lösung mit zwei Streifen leitungs/Koaxialleitungs-Übergängen im Quer schnitt bzw. in der Draufsicht. Fig. 3-4 a further advantageous embodiment of the solution according to the invention with two strips of line / coaxial line transitions in cross section or in plan view.

Fig. 5-6 eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Lösung mit vier Streifen leitungs/Hohlleiter-Übergängen im Querschnitt bzw. in einem horizontalen Schnitt. Fig. 5-6 a further advantageous embodiment of the solution according to the invention with four strips of line / waveguide transitions in cross section or in a horizontal section.

Der in Fig. 1 gezeigte Teil einer vorteilhaften Aus führungsform der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung besteht aus den beiden Fixierteilen 3 und 4, die sich mit ihren Stirnseiten gegenüberstehen. Zwischen ihnen ist das Magazin 2 mit der planaren Struktur 1 auf seiner Oberseite eingefügt. Auf der Oberseite der beiden Fixierteile 3 und 4 ist jeweils eine Trägerplatte 30 und 40 aufgebracht, vorzugsweise eine Keramikleiterplatte, die mit einen elektrisch leitenden Kleber aufgeklebt ist. The part shown in Fig. 1 from an advantageous embodiment of the measuring device according to the invention consists of the two fixing parts 3 and 4 , which face each other with their end faces. Between them, the magazine 2 with the planar structure 1 is inserted on its top. On the top of the two fixing parts 3 and 4 , a carrier plate 30 and 40 is applied, preferably a ceramic circuit board, which is glued on with an electrically conductive adhesive.

Auf der Oberseite der Trägerplatten 30 und 40 verläuft jeweils eine Streifenleitung 31 und 41, die an der stirn seitigen Kante der Trägerplatte unmittelbar in der Nähe eines Anschlußfleckens 10, 11 auf der planaren Struktur 1 endet. Die Streifenleitungen 31, 41 sind über flach aus gebildete Verbindungsteile (vorzugsweise flache Goldband stückchen) 5a und 5b mit den Anschlußflecken 10, 11 ver bunden. Zur Herstellung der Verbindung wird auf die Ver bindungsteile eine äußere Kraft F ausgeübt, die die Ver bindungsteile 5a, 5b auf die zu verbindenden Streifen leitungen 31, 41 bzw. Anschlußflecken 10, 11 drückt.A strip line 31 and 41 runs on the upper side of the carrier plates 30 and 40 , which ends at the front edge of the carrier plate immediately in the vicinity of a connection pad 10 , 11 on the planar structure 1 . The strip lines 31 , 41 are on flat formed from connecting parts (preferably flat gold ribbon pieces) 5 a and 5 b with the connection pads 10 , 11 connected. To produce the connection, an external force F is exerted on the connecting parts, which presses the connecting parts 5 a, 5 b onto the strip lines 31 , 41 or connecting pads 10 , 11 to be connected .

Der in Fig. 2 gezeigte Teil einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung besteht beispielhaft aus dem Fixierteil 3 mit Trägerplatte 30 und Streifenleitung 31 sowie dem Magazin 2 mit der planaren Struktur 1. Das Verbindungsteil 5a ist an einem Stempel 50a befestigt, der mittels einer Feder 51a federnd in einem Halter 52a sitzt.The part of a further advantageous embodiment of the measuring device according to the invention shown in FIG. 2 consists, for example, of the fixing part 3 with the carrier plate 30 and strip line 31 and the magazine 2 with the planar structure 1 . The connecting part 5 a is attached to a stamp 50 a, which resiliently sits in a holder 52 a by means of a spring 51 a.

Die Fig. 3 und 4 zeigen eine vorteilhafte Ausführungs form der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung mit zwei Streifenleitungs/Koaxialleitungs-Übergängen im Querschnitt (Fig. 3) und in der Draufsicht (Fig. 4; ohne die Halter 52 mit den Stempeln 50). Figs. 3 and 4 show an advantageous execution form of the measuring device according to the invention with two strip-line / coaxial line transitions in cross section (Fig. 3) and in the top view (FIG. 4; without the holder 52 with the punches 50).

Die Meßvorrichtung besteht aus einem linken und einem rechten Fixierteil 3, 4, auf die die Keramikleiterplatten 30, 40 mit einem elektrisch leitenden Kleber aufgeklebt sind. (Höhenunterschied 0.01 mm). Die Innenleiter 81a, der Koaxialstecker 8a, 8b sind auf die Streifen leitungen 31, 41 durch Druckkontakt fixiert. Die Außen leiter 80a sind mittels Schrauben 83a und
Flanschen 82a an den Fixierteilen 3, 4 befestigt.The measuring device consists of a left and a right fixing part 3 , 4 , on which the ceramic circuit boards 30 , 40 are glued with an electrically conductive adhesive. (Height difference 0.01 mm). The inner conductor 81 a, the coaxial connector 8 a, 8 b are fixed to the strip lines 31 , 41 by pressure contact. The outer conductor 80 a are by means of screws 83 a and
Flanges 82 a attached to the fixing parts 3 , 4 .

Beide Fixierteile 3, 4 sind bis auf die Bohrungen 32, 42 zur Aufnahme der Spannschraube 6 identisch. Die Bohrung 32 ist mit einem Gewinde versehen, während die Bohrung 42 kein Gewinde aufweist. Die Fixierung der beiden Teile geschieht über Führungsstifte 7a, 7b, die in ent sprechende Bohrungen 33a, 43a; 33b, 43b in den Fixier teilen eingefügt sind. Mit der Spannschraube 6 wird das eingefügte Magazin 2, dessen Seitenflächen (wie auch die Stirnseitenteile der Fixierteile, die von den Seiten flächen des Magazins berührt werden) planparallel aus gebildet sind, mit der aufgeklebten planaren Struktur 1 auf seiner Oberseite zwischen den beiden Fixierteilen 3, 4 leicht eingespannt (das Magazin weist ebenfalls eine Durchgangsloch 22 ohne Gewinde für die Spannschraube 6 auf), um ein Positionieren der Enden der Streifen leitungen 31, 41 zu den Anschlußflecken auf der planaren Struktur 1 durch Verschieben des Magazins 2 zu er möglichen, und anschließend durch Anziehen der Spann schraube 6 festgespannt.Both fixing parts 3 , 4 are identical except for the bores 32 , 42 for receiving the clamping screw 6 . The bore 32 is threaded, while the bore 42 has no thread. The fixation of the two parts is done via guide pins 7 a, 7 b, the corresponding holes 33 a, 43 a; 33 b, 43 b are inserted into the fixing parts. With the clamping screw 6 , the inserted magazine 2 , the side surfaces (as well as the end face parts of the fixing parts, which are touched by the side surfaces of the magazine) are formed plane-parallel, with the glued-on planar structure 1 on its upper side between the two fixing parts 3 , 4 slightly clamped (the magazine also has a through hole 22 without thread for the clamping screw 6 ) to allow positioning of the ends of the strip lines 31 , 41 to the connection pads on the planar structure 1 by moving the magazine 2 , and then tightened by tightening the clamping screw 6 .

Die Kontaktierung der Anschlußflecken auf der planaren Struktur 1 mit den Streifenleitungen 31, 41 geschieht durch federnde Kontaktstempel 50a, 50b, die jeweils spielfrei in einem Halter 52a, 52b sitzen. Die Halter 52a, 52b sind einzeln parallel schwenkbar in dem zu gehörigen Fixierteil gelagert, um den freien Zugang von oben zu den Streifenleitungen 31, 41 bzw. zu der planaren Struktur 1 zu ermöglichen. The contacting of the connection pads on the planar structure 1 with the strip lines 31 , 41 takes place by resilient contact stamps 50 a, 50 b, each of which is seated in a holder 52 a, 52 b without play. The holders 52 a, 52 b are individually pivotable in parallel in the associated fixing part in order to allow free access from above to the strip lines 31 , 41 or to the planar structure 1 .

Die Fig. 5 und 6 zeigen eine vorteilhafte Ausführungs form der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung mit vier Streifenleitungs/Hohlleiter-Übergängen im Querschnitt (Fig. 5) und in einem horizontalen Schnitt (Fig. 6). FIGS. 5 and 6 show an advantageous execution form of the measuring device according to the invention with four strip-line / waveguide transitions in cross section (Fig. 5) and in a horizontal section (Fig. 6).

Die Meßvorrichtung besteht aus einem linken und einem rechten Fixierteil 3 und 4, auf die Keramikleiterplatten 30, 40 mit einem elektrisch leitenden Kleber aufgeklebt sind (Höhendifferenz: (0.01 mm). Die Streifenleitungen 31, 39, 41, 49 verlaufen auf der Oberseite der Trägerplatten 30, 40 und münden mit ihren einem Ende jeweils in einen Streifenleitungs/Hohlleiter-Übergang 9a, 9b, 9c, 9d.The measuring device consists of a left and a right fixing part 3 and 4 , on which ceramic circuit boards 30 , 40 are glued with an electrically conductive adhesive (height difference: (0.01 mm). The strip lines 31 , 39 , 41 , 49 run on the top of the carrier plates 30 , 40 and with one end each in a strip line / waveguide transition 9 a, 9 b, 9 c, 9 d.

Beide Fixierteile 3, 4 sind bis auf die Bohrungen 32a, 42a, 32b, 42b zur Aufnahme der Spannschrauben 6a, 6b identisch. Die Bohrungen 32a, 32b sind mit einem Gewinde versehen, während die Bohrungen 42a, 42b kein Gewinde aufweisen. Die Fixierung der beiden Fixierteile zueinander geschieht über Führungsstifte 7a, 7b, die in entsprechende Bohrungen 33a, 43a, 33b, 43b in den Fixierteilen eingefügt sind. Mit den Spannschrauben 6a, 6b wird das eingelegte planparallele Magazin 2 mit aufgeklebter planarer Struktur 1 zwischen den beiden Fixierteilen 3, 4 leicht einge spannt, um ein Positionieren der Enden der Streifen leitungen 31, 39, 41, 49 zu den Anschlußflecken auf der planaren Struktur 1 durch Verschieben des Magazins 2 zu ermöglichen, und anschließend durch Anziehen der Spann schrauben 6a, 6b festgespannt. Both fixing parts 3 , 4 are identical except for the holes 32 a, 42 a, 32 b, 42 b for receiving the clamping screws 6 a, 6 b. The holes 32 a, 32 b are provided with a thread, while the holes 42 a, 42 b have no thread. The two fixing parts are fixed to one another via guide pins 7 a, 7 b, which are inserted into corresponding bores 33 a, 43 a, 33 b, 43 b in the fixing parts. With the clamping screws 6 a, 6 b, the inserted plane-parallel magazine 2 with glued planar structure 1 between the two fixing parts 3 , 4 is slightly clamped in order to position the ends of the strip lines 31 , 39 , 41 , 49 to the connection spots on the planar structure 1 by moving the magazine 2 , and then tightened by tightening the clamping screws 6 a, 6 b.

Die Kontaktierung der Anschlußflecken auf der planaren Struktur 1 mit den Streifenleitungen 31, 39, 41, 49 geschieht durch federnde Kontaktstempel 50, die jeweils spielfrei in einem Halter 52 sitzt. Die Halter 52 sind einzeln parallel schwenkbar in dem zugehörigen Fixierteil 3, 4 gelagert, um den freien Zugang von oben zu den Streifenleitungen 31, 39, 41, 49 bzw. zu der planaren Struktur 1 zu ermöglichen.The contacting of the connection pads on the planar structure 1 with the strip lines 31 , 39 , 41 , 49 takes place by means of resilient contact stamps 50 , which are each seated in a holder 52 without play. The holders 52 are individually pivotable in parallel in the associated fixing part 3 , 4 in order to allow free access from above to the strip lines 31 , 39 , 41 , 49 or to the planar structure 1 .

Es versteht sich, daß die Erfindung mit fachmännischen Wissen auf vielerlei Art und Weise abgewandelt und weiter gebildet bzw. an spezielle Einsatzbedingungen angepaßt werden kann, ohne daß dies hier näher erläutert werden müßte.It is understood that the invention with expert Knowledge changed in many ways and continues formed or adapted to special conditions of use can be, without this being explained in more detail here ought to.

So kann z. B. für die Messung mehrerer gleichartiger Meßobjekte ein Magazin mit einer Ansaugvorrichtung zum Einsatz kommen, bei dem die zu untersuchenden planaren Strukturen nicht - wie bisher üblich - aufgeklebt, sondern mit Unterdruck auf dem Magazin fixiert werden. Dadurch entfällt der zeitaufwendige Umbau und die erneute Justierung der Meßvorrichtung.So z. B. for the measurement of several similar Measurement objects a magazine with a suction device for Use in which the planar to be examined Structures not - as usual - glued on, but can be fixed on the magazine with negative pressure. This eliminates the time-consuming conversion and renewed Adjustment of the measuring device.

Auch können Fixierteile Streifenleitungs/Hohlleiter-Über gänge und Streifenleitungs-/Koaxialleitungs-Übergänge in Kombination enthalten bzw. ein Fixierteil mit Streifen leitungs/Hohlleiter-Übergängen mit einem Fixierteil mit Streifenleitungs/Koaxialleitungs-Übergängen zu einer Meß vorrichtung kombiniert werden, um beispielsweise Dioden auf vorteilhafte Weise untersuchen zu können. Fixing parts can also stripline / waveguide over gangways and stripline / coaxial line transitions in Combination included or a fixing part with strips Cable / waveguide transitions with a fixing part Stripline / coaxial line transitions to a measurement device can be combined, for example, diodes to be able to examine in an advantageous manner.

Weiterhin können zur leichteren Justierung die Stirnseiten der Fixierteile mit einen Wulst versehen werden, der beispielsweise unterhalb des Magazins parallel zu dessen Unterseite verläuft, einen rechteckförmigen Querschnitt hat und auf dem das Magazin zum liegen kommt. Der Wulst kann auch U-förmig ausgebildet sein.The end faces can also be adjusted more easily the fixing parts are provided with a bead which for example below the magazine parallel to it Underside runs, has a rectangular cross section and on which the magazine comes to rest. The bead can also be U-shaped.

Schließlich ist es nicht notwendig, die Verbindungsteile fest an der Unterseite der zugehörigen Stempel anzu bringen. Sie können auch mit einem ihrer Enden fest an dem Ende der zugehörigen Streifenleitung auf der Trägerplatte bzw. an den zugehörigen Anschlußflächen auf der planaren Struktur angebracht werden.After all, it is not necessary to use the connecting parts firmly on the underside of the associated stamp bring. They can also be attached to one of their ends firmly End of the associated stripline on the carrier plate or at the associated pads on the planar Structure to be attached.

Claims

1. Vorrichtung zur Messung der Streuparameter einer planaren Struktur im Millimeterwellenbereich, mit einem Magazin, auf dessen Oberseite die planare Struktur ange bracht ist, welche auf ihrer Oberseite Anschlußflecken aufweist, mit Streifenleitungen, welche links und rechts neben dem Magazin enden und über Verbindungsteile mit den Anschlußflecken verbindbar sind, mit Fixierteilen, welche zusammengefügt die Streifenleitungen und das Magazin zueinander fixieren, wobei die fixierten Streifen leitungen mit der planaren Struktur annähernd in einer Ebene liegen, dadurch gekennzeichnet,

- daß sich zwei aufrecht stehende Fixierteile (3, 4) mit ihren Stirnseiten gegenüberstehen;
- daß zwischen den beiden Fixierteilen (3, 4) das ebenfalls aufrecht stehende Magazin (2) form schlüssig eingeklemmt ist;
- daß auf den Oberseiten der beiden Fixierteile (3, 4) jeweils eine Trägerplatte (30, 40) angebracht ist, welche mit ihrer Stirnseite unmittelbar bis an die Stirnseite des zugehörigen Fixierteils (3, 4) heran reicht
- daß auf den Oberseiten der beiden Trägerplatten (30, 40) jeweils mindestens eine Streifenleitung (31, 41) verläuft, welche mit ihrem einen Ende an der oberen stirnseitigen Kante der zugehörigen Trägerplatte (30, 40) in unmittelbarer Nähe jeweils eines der Anschlußflecken (10, 11) der planaren Struktur (1) endet
- daß die Verbindung von Streifenleitung (31, 41) und zugehörigem Anschlußflecken (10, 11) jeweils durch Einwirkung einer äußeren Kraft (F) auf das zuge hörige Verbindungsteil (5a, 5b) für die Dauer der Einwirkung herstellbar ist, wobei die Kraft (F) das über der Streifenleitung (31, 41) und dem Anschluß flecken (10, 11) befindliche Verbindungsteil (5a, 5b) auf die Streifenleitung (31, 41) und den An schlußflecken (10, 11) preßt.

1. Device for measuring the scattering parameters of a planar structure in the millimeter-wave range, with a magazine, on the top of which the planar structure is placed, which has connection spots on its top, with strip lines which end to the left and right of the magazine and via connecting parts with the Connection patches can be connected, with fixing parts which, when joined together, fix the strip lines and the magazine to one another, the fixed strip lines lying approximately in one plane with the planar structure, characterized in that

- That two upright fixing parts ( 3 , 4 ) face each other with their end faces;
- That between the two fixing parts ( 3 , 4 ) the upright magazine ( 2 ) is clamped positively;
- That on the top of the two fixing parts ( 3 , 4 ) a support plate ( 30 , 40 ) is attached, which extends with its end face directly to the end face of the associated fixing part ( 3 , 4 )
- That at least one strip line ( 31 , 41 ) runs on the upper sides of the two carrier plates ( 30 , 40 ), which has one end at the upper front edge of the associated carrier plate ( 30 , 40 ) in the immediate vicinity of one of the connection pads ( 10 , 11 ) of the planar structure ( 1 ) ends
- That the connection of the strip line ( 31 , 41 ) and associated connection patch ( 10 , 11 ) each by the action of an external force (F) on the associated connecting part ( 5 a, 5 b) can be produced for the duration of the action, the Force (F) on the strip line ( 31 , 41 ) and the connection patch ( 10 , 11 ) located connecting part ( 5 a, 5 b) on the strip line ( 31 , 41 ) and the connection patch ( 10 , 11 ) presses.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Streifenleitungen (31, 39, 41, 49) mit ihrem anderen Ende jeweils an einen Streifenleitungs/Hohl leiter-Übergang (9a, 9b, 9c, 9d) angeschlossen sind. 2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the strip lines ( 31 , 39 , 41 , 49 ) are each connected at their other end to a strip line / waveguide transition ( 9 a, 9 b, 9 c, 9 d) .

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Streifenleitungen (31, 41) mit ihrem anderen Ende jeweils an einen Streifenleitungs/Koaxialleitungs-Übergang (8a, 8b) angeschlossen sind.3. Apparatus according to claim 1, characterized in that the strip lines ( 31, 41 ) are each connected at their other end to a strip line / coaxial line transition ( 8 a, 8 b).

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine der Streifenleitungen (31, 41) mit ihrem anderen Ende an einen Streifen leitungs/Hohlleiter-Übergang (9) und mindestens eine andere Streifenleitung (31, 41) an einen Streifen leitungs/Koaxialleitungs-Übergang (8) angeschlossen ist.4. The device according to claim 1, characterized in that at least one of the strip lines ( 31 , 41 ) with its other end to a strip line / waveguide transition ( 9 ) and at least one other strip line ( 31 , 41 ) to a strip line / Coaxial line transition ( 8 ) is connected.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stirnseiten der beiden Fixierteile (3, 4) und die mit den Stirnseiten in Berührung stehenden Seitenflächen des Magazins (2) planparallel ausgebildet sind.5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the end faces of the two fixing parts ( 3 , 4 ) and the side faces of the magazine ( 2 ) in contact with the end faces are plane-parallel.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Stirnseiten der beiden Fixierteile (3, 4) unter halb des Magazins (2) jeweils einen parallel zur Unter seite des Magazins (2) verlaufende Wulst (34, 44) mit rechteckförmigen Querschnitt aufweisen, auf dem das Magazin mit seiner Unterseite aufliegt.6. The device according to claim 5, characterized in that the end faces of the two fixing parts ( 3 , 4 ) under half of the magazine ( 2 ) each have a parallel to the underside of the magazine ( 2 ) extending bead ( 34 , 44 ) with a rectangular cross-section on which the magazine rests with its underside.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Stirnseiten der beiden Fixierteile (3, 4) einen U-förmig ausgebildeten Wulst mit rechteckförmigen Quer schnitt aufweisen in welchem das Magazin (2) einfügbar ist. 7. The device according to claim 5, characterized in that the end faces of the two fixing parts ( 3 , 4 ) have a U-shaped bead with a rectangular cross-section in which the magazine ( 2 ) can be inserted.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Fixierteile (3, 4) Bohrungen (33a, 43a, 33b, 43b) zur Aufnahme von Führungsstiften (7a, 7b) aufweisen.8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the fixing parts ( 3 , 4 ) bores ( 33 a, 43 a, 33 b, 43 b) for receiving guide pins ( 7 a, 7 b).

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Fixierteile (3, 4) Bohrungen (32, 42; 32a, 42a, 32b, 42b) zur Aufnahme von Fixierelementen (6; 6a, 6b) aufweisen.9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the fixing parts ( 3 , 4 ) bores ( 32 , 42 ; 32 a, 42 a, 32 b, 42 b) for receiving fixing elements ( 6 ; 6 a, 6 b) have.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Magazin (2) mindestens eine Bohrung (22) zur Durchführung mindestens eines Fixierelements (6) aufweist.10. The device according to claim 9, characterized in that the magazine ( 2 ) has at least one bore ( 22 ) for carrying out at least one fixing element ( 6 ).

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 10, da durch gekennzeichnet, daß die Bohrungen (32; 32a, 32b) des einen Fixierteils (3) mit einem Gewinde und die Bohrungen (42; 42a, 42b) des anderen Fixierteils (4) ohne Gewinde versehen sind und daß als Fixierelemente Schrauben (6; 6a, 6b) vorgesehen sind, deren Schaft nur am unteren Ende mit einem Gewinde versehen ist.11. The device according to one of claims 9 to 10, characterized in that the bores ( 32 ; 32 a, 32 b) of a fixing part ( 3 ) with a thread and the bores ( 42 ; 42 a, 42 b) of the other Fixing part ( 4 ) are provided without thread and that screws ( 6 ; 6 a, 6 b) are provided as fixing elements, the shaft of which is provided with a thread only at the lower end.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, da durch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung der äußeren Kraft (F) jeweils ein Stempel (50) vorgesehen ist, welcher von oben auf das zugehörige Verbindungsteil (5) drückt.12. The device according to one of claims 1 to 11, characterized in that a stamp ( 50 ) is provided to generate the external force (F), which presses from above onto the associated connecting part ( 5 ).

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Stempel (50) spielfrei und mittels einer Feder (51) federnd gelagert in einem Halter (52) sitzt. 13. The apparatus according to claim 12, characterized in that the stamp ( 50 ) without play and by means of a spring ( 51 ) resiliently seated in a holder ( 52 ).

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die zu einem Fixierteil (3, 4) gehörenden Halter (52) zu einer gemeinsamen Halterung (52a, 52b) zusammengefaßt sind.14. The apparatus according to claim 13, characterized in that the holder ( 52 ) belonging to a fixing part ( 3 , 4 ) are combined to form a common holder ( 52 a, 52 b).

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterungen (52a, 52b) einzeln parallel schwenkbar in den zugehörigen Fixierteilen (3, 4) gelagert sind.15. The apparatus according to claim 14, characterized in that the brackets ( 52 a, 52 b) are individually pivotable in parallel in the associated fixing parts ( 3 , 4 ).

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsteile (5a, 5b) jeweils an der Unterseite des zugehörigen Stempels (50a, 50b) fest angebracht sind.16. The device according to one of claims 12 to 15, characterized in that the connecting parts ( 5 a, 5 b) are each firmly attached to the underside of the associated stamp ( 50 a, 50 b).

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsteile (5a, 5b) mit einem ihrer beiden Enden jeweils an der Oberseite des zugehörigen Anschlußfleckens (10, 11) fest angebracht sind.17. The device according to one of claims 12 to 15, characterized in that the connecting parts ( 5 a, 5 b) with one of their two ends are fixedly attached to the top of the associated connection patch ( 10 , 11 ).

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungsteile (5a, 5b) mit einem ihrer beiden Enden jeweils an der Oberseite der zugehörigen Streifenleitung (31, 41) fest angebracht sind.18. Device according to one of claims 12 to 15, characterized in that the connecting parts ( 5 a, 5 b) with one of their two ends are fixedly attached to the top of the associated strip line ( 31 , 41 ).

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 18, da durch gekennzeichnet, daß die Verbindungsteile (5a, 5b) rechteckförmige Goldbandstückchen sind.19. Device according to one of claims 12 to 18, characterized in that the connecting parts ( 5 a, 5 b) are rectangular gold ribbon pieces.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 19, da durch gekennzeichnet, daß die Trägerplatten (31, 41) Keramikleiterplatten sind. 20. Device according to one of claims 1 to 19, characterized in that the carrier plates ( 31 , 41 ) are ceramic circuit boards.

21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 20, da durch gekennzeichnet, daß die planare Struktur (1) auf die Oberseite des Magazins (2) mit einem leitfähigen Kleber aufgeklebt ist.21. Device according to one of claims 1 to 20, characterized in that the planar structure ( 1 ) on the top of the magazine ( 2 ) is glued with a conductive adhesive.

22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 20, da durch gekennzeichnet, daß die planare Struktur (1) mittels Unterdruck auf der Oberseite des Magazins (2) fixiert ist.22. Device according to one of claims 1 to 20, characterized in that the planar structure ( 1 ) is fixed by means of negative pressure on the top of the magazine ( 2 ).

23. Vorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die planare Struktur (1) über einer Öffnung auf der Oberseite des Magazins (2) sitzt und diese vollständig abdeckt und daß diese Öffnung Teil einer Saugeinrichtung ist, die den Unterdruck erzeugt.23. The device according to claim 22, characterized in that the planar structure ( 1 ) sits above an opening on the top of the magazine ( 2 ) and completely covers this and that this opening is part of a suction device which generates the negative pressure.